專利名稱：有機(jī)抗反射涂料聚合物及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適合用在半導(dǎo)體器件的有機(jī)抗反射涂層中的有機(jī)聚合物，及其制備方法。更具體地說(shuō)，本發(fā)明的聚合物可用于在制備64M、256M、1G、4G和16G DRAM半導(dǎo)體器件而采用193nm(ArF)波長(zhǎng)的照相平版印刷術(shù)時(shí)，涂布在半導(dǎo)體芯片上形成涂層以防止光從芯片的下層反射回來(lái)。包含本發(fā)明聚合物的抗反射涂料也可消除在使用ArF照射線時(shí)的駐波效應(yīng)，以及由光刻膠層本身的厚度變化引起的反射／衍射。本發(fā)明也涉及含有上述聚合物的抗反射涂料組合物、由該組合物得到的抗反射涂料及其制備方法。
在用于制備半導(dǎo)體時(shí)制成超細(xì)圖案的照相平版印刷方法中，將不可避免地所產(chǎn)生輻射線的駐波的反射陷波(reflective notching)。這個(gè)效應(yīng)是由于涂覆在晶片上的底層的光學(xué)性質(zhì)以及在光刻膠層的厚度變化，以及從底層衍射和反射的光引起臨界尺寸改變而引起的。因此，已有人提議，將一被稱為抗反射涂層的薄層引入至半導(dǎo)體器件上，以防止光從底層反射。這個(gè)抗反射涂層通常包含了在平版印刷方法中所用照射光源的波長(zhǎng)范圍內(nèi)能吸光的有機(jī)材料。
根據(jù)所用的涂布材料，將抗反射涂料大體上分為無(wú)機(jī)和有機(jī)抗反射涂料，或根據(jù)工作機(jī)理，而分為吸光性和光干涉性的。
無(wú)機(jī)抗反射涂料主要用在采用波長(zhǎng)為365nm的I-線輻照的照相平版印刷方法中。TiN或無(wú)定形碳廣泛用在吸光性涂料中，而SiON則用在光干涉性涂料中。
無(wú)機(jī)SiON也用于采用KrF光源的超細(xì)圖案形成工藝中的抗反射涂料。最近的趨勢(shì)是嘗試將有機(jī)化合物應(yīng)用至抗反射涂料中。根據(jù)目前已有的知識(shí)，合適的有機(jī)抗反射涂料必須滿足下列基本要求首先，在形成圖案的過(guò)程中，不應(yīng)發(fā)生由于溶解在有機(jī)抗反射涂料所用的溶劑中而使光刻膠層從基材上剝離。由于這個(gè)原因，有機(jī)抗反射涂料需要設(shè)計(jì)成具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)且無(wú)副產(chǎn)物產(chǎn)生。
其次，不應(yīng)有化學(xué)物質(zhì)如胺或酸遷移至有機(jī)抗反射涂料或從其中遷移出。這是因?yàn)槿绻兴徇w移，光敏圖案的底端會(huì)出現(xiàn)劃痕，而當(dāng)有堿如胺遷移，則引起沉渣(footing)現(xiàn)象。
第三，有機(jī)抗反射涂料的蝕刻速度應(yīng)比光敏層的蝕刻速度更快，這使得利用光敏薄膜作為掩蔽，蝕刻過(guò)程能有效地進(jìn)行。
第四，抗反射涂料應(yīng)以盡可能薄的厚度發(fā)揮作用。
迄今為止還未開(kāi)發(fā)出適合用在使用ArF光源的制備超細(xì)圖案的方法中的抗反射涂料。而且，由于還沒(méi)見(jiàn)有可控制在193nm光源處的干涉的無(wú)機(jī)抗反射涂料，所以目前正在研究將有機(jī)化學(xué)物質(zhì)用于抗反射涂料中。
因此，希望使用和開(kāi)發(fā)一種有機(jī)抗反射涂料，其能夠在特定波長(zhǎng)處強(qiáng)吸收光而防止在平版印刷方法中駐波效應(yīng)和光反射，并消除了從底層背衍射和反射光。
本發(fā)明提供一種新型的有機(jī)化合物，該有機(jī)化合物適合在采用193nm(ArF)和248nm(KrF)光源形成超細(xì)圖案的照相平版印刷術(shù)的抗反射涂料中使用。
本發(fā)明提供了制備一種可在照相平版印刷術(shù)中使用的化合物的方法。
本發(fā)明還提供了一種含有上述化合物的抗反射涂料組合物及其制備方法。本發(fā)明也提供了由上述涂料組合物制成的抗反射涂料及其制備方法。
本發(fā)明的聚合物包含一種在193nm處具有高吸收的苯基和酰胺鍵的單體，所以該聚合物樹(shù)脂可吸收193nm波長(zhǎng)的光。通過(guò)添加具有環(huán)氧結(jié)構(gòu)的另一種單體而將使用開(kāi)環(huán)反應(yīng)的交聯(lián)機(jī)理引入至本發(fā)明的優(yōu)選聚合物樹(shù)脂中，以致于當(dāng)聚合物樹(shù)脂的涂層被“硬烘烤”時(shí)，也就是在100-300℃下加熱10-1000秒時(shí)，發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。從而，大大地提高了使用本發(fā)明的所述聚合物的抗反射涂層的成膜、緊密度和溶解性能。特別是，通過(guò)最高的本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了交聯(lián)反應(yīng)效率和貯存穩(wěn)定性。為了制得涂料組合物，本發(fā)明的抗反射涂料樹(shù)脂在所有烴類溶劑中均具有極佳的溶解性，但其在硬烘烤后卻具有極高的耐溶劑性以致于它們根本不溶解在任何溶劑中。這些優(yōu)點(diǎn)使得所述樹(shù)脂可毫無(wú)問(wèn)題地涂覆形成抗反射涂層，該涂層阻止了在其上的光敏層上形成圖案時(shí)產(chǎn)生劃痕和沉渣問(wèn)題。此外，由本發(fā)明的丙烯酰胺聚合物形成的涂層比光敏薄膜涂層具有更高的蝕刻速率，從而提高了它們之間的蝕刻選擇比率。
本發(fā)明的優(yōu)選的共聚合物樹(shù)脂由下述通式1和通式2表示 其中，Ra、Rb、Rc和R4均為氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；w、x、y和z均為0．01-0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且n1和n2均為1-4的整數(shù)。 其中，Ra、Rb和Rc均為氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；x、y和z均為0．01-0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且n為1-4的整數(shù)。
本發(fā)明的聚合物樹(shù)脂特別適合用在有機(jī)抗反射涂料中，因?yàn)樗鼈儼哂袑?duì)193nm波長(zhǎng)輻射線有極佳吸收的苯基和酰胺鍵的一種單體。優(yōu)選的單體包含由下述通式3表示的N-對(duì)-甲苯磺酰烷基丙烯酰胺型單體 其中，R為氫或甲基。
通式1表示的聚合物1可按照下述的反應(yīng)式1制備，其中將N-對(duì)-甲苯磺酰烷基丙烯酰胺型單體、丙烯酸羥烷基酯型單體、丙烯酸甲酯型單體和丙烯酸縮水甘油醚型單體借助于一種引發(fā)劑、在一種溶劑中進(jìn)行聚合反應(yīng)。每種單體的摩爾分?jǐn)?shù)為0．01-0．99。 其中，Ra、Rb、Rc和Rd均表示氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；且n1和n2均為1-4的整數(shù)。
上述通式2表示的聚合物可按照下述的反應(yīng)式2制得，其中將N-對(duì)-甲苯磺酰烷基丙烯酰胺型單體、丙烯酸羥烷基酯型單體和丙烯酸甲酯型單體借助于一種引發(fā)劑、在一種溶劑中進(jìn)行聚合反應(yīng)。每種單體的摩爾分?jǐn)?shù)為0．01-0．99。 其中，Ra、Rb和Rc均表示氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；且n為1-4的整數(shù)。
通常的自由基引發(fā)劑，優(yōu)選2，2-偶氮二異丁腈(AIBN)、過(guò)氧化乙酰、過(guò)氧化月桂酰和叔丁基過(guò)氧化物可用于引發(fā)制備通式1和通式2的聚合物的聚合反應(yīng)。同時(shí)也可將通常的溶劑用于所述聚合反應(yīng)中，溶劑優(yōu)選選自于四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮或二噁烷。制備通式1和通式2的聚合物的聚合反應(yīng)優(yōu)選在50-80℃下進(jìn)行。
本發(fā)明的半導(dǎo)體器件可按如下步驟制得將通式1或2的共聚物單獨(dú)地或者與0．1-30重量％的選自于丙烯醛、二乙基乙醛和密胺型交聯(lián)劑的一種交聯(lián)添加劑一同溶解在一種合適的有機(jī)溶劑中。過(guò)濾所得溶液并涂覆于晶片上，然后硬烘烤以制成交聯(lián)的抗反射涂層。然后由此可采用常規(guī)方法制得半導(dǎo)體器件。
通常的有機(jī)溶劑可用于制備抗反射涂料組合物，優(yōu)選3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和甲基醚乙酸丙二醇酯?；谒玫目狗瓷渫苛蠘?shù)脂共聚物的重量，所用溶劑的量?jī)?yōu)選為200-5000重量％。
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的抗反射涂料在采用193nm ArF輻射線制備超細(xì)圖案的照相平版印刷方法中表現(xiàn)出優(yōu)異性能。當(dāng)采用248 KrF、157nmF2激光、電子束(E-束)、超遠(yuǎn)紫外和離子束作為光源時(shí)，同樣表現(xiàn)出這些性質(zhì)。
下列實(shí)施例是用于更清楚地向本領(lǐng)域熟練人員展示本發(fā)明的原理和實(shí)施。因此，它們是某些優(yōu)選實(shí)施方式的說(shuō)明，并不用于限制本發(fā)明。
實(shí)施例1 合成N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺單體將48重量％的N-羥甲基丙烯酰胺單體水溶液加入至二乙醚或正己烷之后，沉淀該溶液、分離和干燥。將30．33g(0．3mol)N-羥甲基丙烯酰胺和66．73g(0．35mol)對(duì)-甲苯磺酰氯分別添加至40．48g(0．4mol)三乙胺中并使混合物完全溶解。在500ml圓底燒瓶中，在氮?dú)夥障率筃-羥甲基丙烯酰胺／三乙胺混合物與在攪拌下緩慢地加入的對(duì)-甲苯磺酰氯／三乙胺混合物反應(yīng)。將反應(yīng)持續(xù)進(jìn)行24小時(shí)以上。且在反應(yīng)過(guò)程中，由TLC方法檢測(cè)反應(yīng)速率。反應(yīng)完成之后，用硫酸中和反應(yīng)混合物，并用去離子水洗滌，然后提取有機(jī)溶劑層中的反應(yīng)物。用MgSO4除去有機(jī)溶劑中的水并對(duì)剩余物進(jìn)行減壓蒸餾，就制得由下述化學(xué)式1表示的所述單體。產(chǎn)率為85-90％。 實(shí)施例2 合成N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺單體將48重量％的N-羥甲基甲基丙烯酰胺單體水溶液加入至二乙醚或正己烷之后，沉淀該溶液、分離和干燥。將34．54g(0．3mol)N-羥甲基甲基丙烯酰胺和66．73g(0．35mol)對(duì)-甲苯磺酰氯分別添加至40．48g(0．4mol)三乙胺中并使混合物完全溶解。然后在500ml圓底燒瓶中，在氮?dú)夥障率筃-羥甲基甲基丙烯酰胺／三乙胺混合物與在攪拌下緩慢地加入的對(duì)-甲苯磺酰氯／三乙胺混合物反應(yīng)。將反應(yīng)持續(xù)進(jìn)行24小時(shí)以上。且在反應(yīng)過(guò)程中，由TLC方法檢測(cè)反應(yīng)速率。反應(yīng)完成之后，用硫酸中和反應(yīng)混合物，并用去離子水洗滌，然后提取有機(jī)溶劑層中的反應(yīng)物。用MgSO4除去有機(jī)溶劑中的水并對(duì)剩余物進(jìn)行減壓蒸餾，就制得由下述化學(xué)式2表示的所述單體。產(chǎn)率為85-90％。 實(shí)施例3合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、29g(0．25mol)丙烯酸羥乙酯、10．01(0．1mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式3表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物，產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例4合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入78．96g(0．33mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、26g(0．2mol)甲基丙烯酸羥乙酯、15．17g(0．15mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式4表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物，產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例5合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、32．54g(0．25mol)丙烯酸羥丙酯、10．01g(0．1mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式5表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物，產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例6合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．33mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、33．14g(0．23mol)甲基丙烯酸羥丙酯、10．01g(0．1mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式6表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。
實(shí)施例7合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．33mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、28．83g(0．2mol)丙烯酸羥丁酯、10．01g(0．1mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式7表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例8合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、29．03g(0．25mol)甲基丙烯酸羥乙酯、15．02g(0．15mol)丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩校乖摲磻?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式8表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例9合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、26．3g(0．2mol)丙烯酸羥乙酯、12．91g(0．15mol)丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩校乖摲磻?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式9表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。
實(shí)施例10合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、32．54g(0．25mol)丙烯酸羥乙酯、15．02g(0．15mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩校乖摲磻?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式10表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例11合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、31．72g(0．22mol)甲基丙烯酸羥丙酯、12．91g(0．15mol)丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式11表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為65-70％。 實(shí)施例12合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、28．83g(0．2mol)丙烯酸羥丁酯、10．01g(0．15mol)甲基丙烯酸甲酯、和42．65g(0．3mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式12表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)共聚物。產(chǎn)率為65-70％。 實(shí)施例13合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、34．84g(0．3mol)丙烯酸羥乙酯和25．03g(0．25mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩校乖摲磻?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式13表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例14合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入78．96g(0．33mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、45．55g(0．35mol)甲基丙烯酸羥乙酯和25．03g(0．25mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式14表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例15合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、42．95g(0．33mol)丙烯酸羥丙酯和22．03g(0．22mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式15表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例16合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、47．58g(0．33mol)甲基丙烯酸羥丙酯和25．03g(0．25mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式16表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例17合成聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入71．78g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺、43．25g(0．3mol)丙烯酸羥丁酯和25．03g(0．3mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式17表示的聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例18合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、29．03g(0．25mol)丙烯酸羥乙酯和29．03g(0．25mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式18表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例19合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、41．64g(0．32mol)甲基丙烯酸羥乙酯和25．03g(0．3mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩校乖摲磻?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式19表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例20合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、42．95g(0．25mol)丙烯酸羥丙酯和25．03g(0．3mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩校乖摲磻?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式20表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例21合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、43．25g(0．3mol)甲基丙烯酸羥丙酯和25．03g(0．3mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式21表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為70-75％。 實(shí)施例22合成聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物在500ml圓底燒瓶中加入75．99g(0．3mol)N-對(duì)-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺、47．58g(0．33mol)丙烯酸羥丁酯和25．03g(0．3mol)甲基丙烯酸甲酯。將該混合物在攪拌下加入至300克另外制得的四氫呋喃中并充分混合。然后在0．1-3g 2，2-偶氮二異丁腈存在下，在氮?dú)夥罩?，使該反?yīng)混合物于60-75℃進(jìn)行聚合反應(yīng)5-20小時(shí)。在聚合反應(yīng)完成后，在乙醚或正己烷中沉淀所述溶液并過(guò)濾出沉淀物，且經(jīng)干燥得到由下述化學(xué)式22表示的聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯)共聚物。產(chǎn)率為65-70％。 實(shí)施例23制備抗反射涂料涂膜將由實(shí)施例5-12制得的、具有通式1表示的化學(xué)結(jié)構(gòu)的一種樹(shù)脂溶于200-5000重量％的甲基醚乙酸丙二醇酯(PGMEA)中。過(guò)濾該溶液后，將其涂覆在晶片上，然后在100-300℃下硬烘烤10-1000秒。然后可將光刻膠薄膜涂覆于由此制得的抗反射涂層上，并成像制得超細(xì)圖案。
實(shí)施例24制備抗反射涂料將由實(shí)施例13-22制得的、具有通式2表示的化學(xué)結(jié)構(gòu)的一種樹(shù)脂溶于200-5000重量％的甲基醚乙酸丙二醇酯(PGMEA)中。將該溶液?jiǎn)为?dú)地或者與0．1-30重量％的選自于丙烯醛二甲縮醛、丙烯醛二乙醛和密胺型交聯(lián)劑的一種交聯(lián)添加劑結(jié)合使用，經(jīng)過(guò)濾后，將其涂覆在晶片上，然后在100-300℃下硬烘烤10-1000秒。然后可將光刻膠薄膜涂覆于由此制得的抗反射涂層上，并成像制得超細(xì)圖案。
如上所述，通式1或2的抗反射涂料聚合物，例如化學(xué)式3-22的共聚物樹(shù)脂，含有在193nm波長(zhǎng)處具有極強(qiáng)輻射吸收的苯基和酰氨鍵，且因此適合于抗反射涂料。當(dāng)本發(fā)明的聚合物用于制備半導(dǎo)體超細(xì)圖像成型方法中作為抗反射涂料時(shí)，因?yàn)橄藦木讓右鸬呐R界尺寸變化，從而可生成適用于64M、256M、1G、4G和16G DRAM半導(dǎo)體器件的超細(xì)圖案，并大大提高了產(chǎn)率。
權(quán)利要求
1.一種包含由下述通式3表示的單體的聚合物 其中，R是氫或甲基；且n為2或3。
2.一種制備由下述通式3表示的單體的方法， 其中，R是氫或甲基；其包括將N-羥甲基丙烯酰胺或N-羥甲基甲基丙烯酰胺溶解在三乙胺中制成第一種溶液；將對(duì)-甲苯磺酰氯溶解在三乙胺中制成第二種溶液；將第一種和第二種溶液在氮?dú)夥罩蟹磻?yīng)；中和并洗滌所述反應(yīng)物；提取有機(jī)溶劑層并從中除去水分；并在減壓下蒸餾剩余物。
3.由下述通式1表示的一種聚合物 其中，Ra、Rb、Rc和Rd均為氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；w、x、y和z均為0．01-0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且n1和n2均為1-4的整數(shù)。
4.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中R1表示甲基。
5.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．25∶0．1∶0．3。
6.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．2∶0．1∶0．3。
7.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．25∶0．1∶0．3。
8.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．23∶0．1∶0．3。
9.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．2∶0．1∶0．3。
10.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．25∶0．15∶0．3。
11.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．2∶0．15∶0．3。
12.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．25∶0．15∶0．3。
13.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．22∶0．15∶0．3。
14.如權(quán)利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸縮水甘油酯)，且w∶x∶y∶z的比率為0．3∶0．2∶0．1∶0．3。
15.制備如權(quán)利要求3的聚合物的方法，其包括將N-對(duì)-甲苯磺酰烷基丙烯酰胺型單體、丙烯酸羥烷基酯型單體、丙烯酸烷基酯型單體和丙烯酸縮水甘油醚型單體借助于一種引發(fā)劑、在一種溶劑中進(jìn)行聚合反應(yīng) 其中，Ra、Rb、Rc和Rd均表示氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C6烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；且n1和n2均為1-4的整數(shù)。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，R1代表甲基且每種單體的摩爾分?jǐn)?shù)為0．01-0．99。
17.如權(quán)利要求15所述的方法，其中所述引發(fā)劑選自于2，2-偶氮二異丁腈、過(guò)氧化乙酰、過(guò)氧化月桂酰和叔丁基過(guò)氧化物。
18.如權(quán)利要求15所述的方法，其中所述溶劑選自于四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮和二噁烷。
19.如權(quán)利要求15所述的方法，其中所述聚合反應(yīng)在50-80℃下進(jìn)行。
20.由下述通式2表示的一種聚合物 其中，Ra、Rb和Rc分別為氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；x、y和z均為0．01-0．99的摩爾分?jǐn)?shù)；且n為1-4的整數(shù)。
21.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中R1表示甲基。
22.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(丙烯酰基甲苯磺酰乙基胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．3∶0．25。
23.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．33∶0．35∶0．25。
24.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．33∶0．22。
25.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率0．3∶0．33∶0．25。
26.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．3∶0．3。
27.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．25∶0．3。
28.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥乙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．32∶0．3。
29.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．33∶0．3。
30.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-甲基丙烯酸羥丙酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．3∶0．3。
31.如權(quán)利要求20所述的聚合物，其中所述聚合物是聚(N-甲苯磺酰甲基甲基丙烯酰胺-丙烯酸羥丁酯-甲基丙烯酸甲酯)，且x∶y∶z的比率為0．3∶0．33∶0．3。
32.一種制備如權(quán)利要求20的聚合物的方法，其包括如下述反應(yīng)式2所示，將N-對(duì)-甲苯磺酰烷基丙烯酰胺型單體、丙烯酸羥烷基酯型單體和丙烯酸烷基酯型單體借助于一種引發(fā)劑、在一種溶劑中進(jìn)行聚合反應(yīng) 其中，Ra、Rb和Rc均表示氫或甲基；R1表示氫、羥基，經(jīng)取代或未取代的、直鏈或支鏈C1-C5烷基、環(huán)烷基、烷氧基烷基或環(huán)烷氧基烷基；且n為1-4的整數(shù)；及每種單體的摩爾分?jǐn)?shù)為0．01-0．99。
33.如權(quán)利要求32所述的方法，其中，R1代表甲基。
34.如權(quán)利要求32所述的方法，其中所述引發(fā)劑選自于2，2-偶氮二異丁腈、過(guò)氧化乙酰、過(guò)氧化月桂酰和叔丁基過(guò)氧化物。
35.如權(quán)利要求32所述的方法，其中所述溶劑選自于四氫呋喃、甲苯、苯、甲乙酮和二噁烷。
36.如權(quán)利要求32所述的方法，其中所述聚合反應(yīng)在50-80℃下進(jìn)行。
37.一種含有如權(quán)利要求3所述聚合物的抗反射涂料。
38.一種制備包含抗反射涂層的半導(dǎo)體器件的方法，其包括將權(quán)利要求3的聚合物溶解在200-5000重量％的一種有機(jī)溶劑中以形成一種涂料組合物；過(guò)濾該組合物，將該組合物涂覆到晶片上，并將經(jīng)涂覆的晶片在100-300℃下硬烘烤10-1000秒。
39.如權(quán)利要求38所述的方法，其中所述有機(jī)溶劑選自于3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和甲基醚乙酸丙二醇酯。
40.一種抗反射涂料，其包含如權(quán)利要求20的聚合物和一種選自于丙烯醛二甲縮醛、丙烯醛二乙縮醛和密胺型交聯(lián)劑的添加劑。
41.制備一種包含抗反射涂層的半導(dǎo)體器件的方法，其包括將權(quán)利要求20的聚合物溶解在200-5000重量％的一種有機(jī)溶劑中，然后溶解入一種選自于丙烯醛二甲縮醛、丙烯醛二乙縮醛和密胺型交聯(lián)劑的添加劑以形成一種涂料組合物；過(guò)濾該組合物，將該組合物涂覆到晶片上，并將涂覆后的晶片在100-300℃下硬烘烤10-1000秒。
42.如權(quán)利要求41所述的方法，其中所述有機(jī)溶劑選自于3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、環(huán)己酮和甲基醚乙酸丙二醇酯。
43.如權(quán)利要求45所述的方法，其中所述添加劑的用量為0．1-30重量％。
44.一種包含如權(quán)利要求37-40所述的抗反射涂料組合物的半導(dǎo)體器件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種適用于采用193nm ArF輻射線的照相平版印刷方法的半導(dǎo)體器件中的有機(jī)抗反射涂料用聚合物,及其制備方法。所述聚合物含有在193nm波長(zhǎng)處具有高吸收的苯基和酰胺鍵。當(dāng)本發(fā)明的聚合物用在形成超細(xì)圖案的抗反射涂料中時(shí),消除了由于晶片底層的光學(xué)性質(zhì)及其上的光刻膠層厚度的改變而引起的駐波,也可防止光從下層衍射及反射而引起臨界尺寸變化。本發(fā)明的抗反射涂料可穩(wěn)定地生成適用于半導(dǎo)體器件的超細(xì)圖案,且產(chǎn)率大大提高。還涉及含有上述抗反射聚合物的組合物,含有該組合物的抗反射涂料以及含有這些抗反射涂料的半導(dǎo)體器件。
文檔編號(hào)G03F7/09GK1290713SQ00107858
公開(kāi)日2001年4月11日 申請(qǐng)日期2000年6月26日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月26日
發(fā)明者洪圣恩, 鄭旼鎬, 白基鎬 申請(qǐng)人:現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社