專利名稱：顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
MEMS 顯不器(Micro Electro Mechanical System Display、微機(jī)電系統(tǒng)顯不器)是有望取代液晶顯示器的顯示器(參照專利文獻(xiàn)I)。與利用偏振光的液晶光閘(快門)式不同，該顯示器通過機(jī)械光閘方式對光的透過窗進(jìn)行開閉，從而顯示圖像。光閘由薄膜構(gòu)成，構(gòu)成一個像素的光閘的縱橫尺寸為幾百Pm級，且厚度為幾級。通過一個光閘的開閉，能夠?qū)崿F(xiàn)一個像素的通斷(on-off)動作。光閘通過靜電引力進(jìn)行動作。專利文獻(xiàn)I :日本特開2008-197668號公報光閘在一對光透過性基板之間配置在由密封材料包圍的空間內(nèi)，該空間內(nèi)裝滿了 油。油能夠防止用于驅(qū)動光閘的彈簧發(fā)生挨靠，并使與光透過性基板的光折射率的差變小。將油從密封材料的由斷縫構(gòu)成的注入口注入，并在油注入之后用樹脂將注入口密封。為了使光閘的開閉動作高速化，雖然優(yōu)選低粘度的油，但是這樣的話，則存在油從注入口通過時速度變快而對光閘造成損傷的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明以當(dāng)注入使配置有機(jī)械式光閘的單元(cell)充滿的油時，減少對光閘造成的損傷為目的。(I)本發(fā)明的顯示裝置的特征在于，其具有以隔開間隔的方式配置的一對光透過性基板；緊貼在所述一對光透過性基板的相對面的彼此上，且具有斷縫并將空間包圍的密封材料；將所述密封材料的所述斷縫封堵，并將所述空間封閉而形成密封空間的端部密封材料；將所述密封空間裝滿的油；配置在所述油內(nèi)，并保持所述一對光透過性基板的所述間隔的間隔體；在一方的所述光透過性基板上形成的具有開口部的遮光膜；配置在所述油內(nèi)的光閘；配置在所述油內(nèi)的驅(qū)動部，該驅(qū)動部用于機(jī)械性地驅(qū)動所述光閘以控制向所述開口部行進(jìn)的光的透過以及遮斷；和在所述一對光透過性基板的所述相對的面的至少一方上形成的壁部，所述間隔體、所述光閘以及所述驅(qū)動部配置在根據(jù)透過所述開口部的光的有無以及強(qiáng)弱來顯示圖像的顯示區(qū)域內(nèi)，所述壁部具有配置在將所述密封材料的所述斷縫和所述顯示區(qū)域之間的最短路徑遮斷的位置上的部分，并由構(gòu)成所述間隔體、所述光閘以及所述驅(qū)動部的材料形成。根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)從密封材料的斷縫注入油時，能夠通過壁部減弱油的流動，從而能夠減少對光閘造成的損傷。另外，因?yàn)楸诓坑蓸?gòu)成間隔體、光閘以及驅(qū)動部的材料形成，所以通過使這些部件同時地形成而能夠避免工序數(shù)的增加。(2)根據(jù)(I)所述的顯示裝置，還可以為，其特征在于，所述壁部緊貼在所述一對光透過性基板的所述相對面的彼此上。(3)根據(jù)(2)所述的顯示裝置，還可以為，其特征在于，所述壁部以將所述顯示區(qū)域包圍的方式配置，且除了遮斷所述最短路徑的所述位置之外，還形成有狹縫。
(4)根據(jù)⑵所述的顯示裝置，還可以為，其特征在于，所述壁部在所述斷縫和所述顯示區(qū)域之間以從遮斷所述最短路徑的所述位置穿過并呈直線狀延伸的方式形成。(5)根據(jù)(4)所述的顯示裝置，還可以為，其特征在于，所述壁部以沿著多條平行的直線延伸且各自的沿著所述直線延伸的部分均具有狹縫的方式形成。(6)本發(fā)明的顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述顯示裝置具有以隔開間隔的方式配置的一對光透過性基板；緊貼在所述一對光透過性基板的相對面彼此的上，且具有斷縫并將空間包圍的密封材料；配置在所述油內(nèi)，并保持所述一對光透過性基板的所述間隔的間隔體；在一方的所述光透過性基板上形成的具有開口部的遮光膜；配置在所述空間內(nèi)的光閘；配置在所述空間內(nèi)的驅(qū)動部，該驅(qū)動部用于機(jī)械性地驅(qū)動所述光閘以控制向所述開口部行進(jìn)的光的透過以及遮斷；和在所述一對光透過性基板的所述相對的面的至少一方上形成的壁部，所述顯示裝置的制造方法包含裝配空單元的工序，該工序使得所述間隔體、所述光閘以及所述驅(qū)動部配置在根據(jù)透過所述開口部的光的有無以及強(qiáng)弱來顯示 圖像的顯示區(qū)域內(nèi)，并且使得所述壁部具有配置在將所述密封材料的所述斷縫和所述顯示區(qū)域之間的最短路徑遮斷的位置上的部分；和從所述密封材料的所述斷縫向所述空單元注入油的工序，在裝配所述空單元的工序中，使所述間隔體、所述光閘、所述驅(qū)動部以及所述壁部通過包含薄膜的成膜以及蝕刻的多個流程而同時地形成，在注入所述油的工序中，使所述空間內(nèi)部的氣壓與外部相比成為低氣壓，并從所述密封材料的所述斷縫注入所述油。根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)從密封材料的斷縫注入油時，能夠通過壁部減弱油的流動，并能減少對光閘造成的損傷。另外，因?yàn)槭贡诓颗c間隔體、光閘以及驅(qū)動部同時地形成，所以能夠避免工序數(shù)的增加。


圖I是本發(fā)明的實(shí)施方式的顯示裝置的側(cè)視圖。圖2是圖I所示的顯示裝置的俯視圖。圖3是光閘及其驅(qū)動部的立體圖。圖4是圖2所示的顯示裝置的沿IV-IV線剖面的放大圖。圖5是表示空單元的內(nèi)部的一部分的俯視圖。圖6是圖5所示的結(jié)構(gòu)的沿VI-VI線剖視圖。圖7是用于說明形成第二壁部、第二間隔部以及第二固定部的工序的圖。圖8是用于說明形成第二壁部、第二間隔部以及第二固定部的工序的圖。圖9是用于說明形成第二壁部、第二間隔部以及第二固定部的工序的圖。圖10是用于說明形成第二壁部、第二間隔部以及第二固定部的工序的圖。圖11是說明在空單元內(nèi)注入油的工序的圖。圖12是說明在空單元內(nèi)注入油的工序的圖。圖13是說明在空單元內(nèi)注入油的工序的圖。圖14是說明在空單元內(nèi)注入油的工序的圖。圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的顯示裝置的變形例的圖。圖16是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的顯示裝置的其他變形例的圖。附圖標(biāo)記說明
10光透過性基板、12光透過性基板、14光閘(快門)、16開口部、18背光源、20第一彈簧、22第一固定部、24第一布線、26第一部分、28第二部分、30第三部分、32第二固定部、34第二彈簧、36第二布線、38驅(qū)動部、40遮光膜、42開口部、44密封材料、46斷縫、48顯示區(qū)域、50端部密封材料、52油、54間隔體、56第一間隔部、58第二間隔部、58a樹脂部、58b樹脂部、58c無機(jī)部、60壁部、60a壁部的一部分、60b壁部的一部分、60c壁部的一部分、62第一壁部、64第二壁部、64a樹脂部、64b樹脂部、64c無機(jī)部、66狹縫、68第一樹脂層、70第二樹脂層、72無機(jī)層、74空單元、76真空槽、78容器、160壁部、260壁部、266狹縫。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖I是本發(fā)明的實(shí)施方式的顯示裝置的側(cè)視圖。顯示裝置具有一對光透過性基板10、12(例如玻璃基板)。一對光透過性基板10、12以隔開間隔(參照圖4)地相對的方式配置。圖2是圖I所示顯示裝置的俯視圖。在圖2中，用虛擬線表示上側(cè)的光透過性基板 12，而表示出內(nèi)部結(jié)構(gòu)。如圖2所示，在下側(cè)的光透過性基板10上設(shè)有多個(復(fù)數(shù)的)光閘14。圖3是光閘14及其驅(qū)動部的立體圖。光閘14由半導(dǎo)體或金屬等無機(jī)材料構(gòu)成，是具有開口部16的板部件。開口部16使光透過，并通過開口部16以外的部分將光遮斷。開口部16為在一個方向上較長的形狀。此外,如圖I所不，光由重疊在光透過性基板10上的背光源18供給。光閘14由第一彈簧20支承并從光透過性基板10浮起。光閘14通過多個(圖2中為四個)第一彈簧20支承。第一彈簧20由第一固定(anchor)部22固定在光透過性基板10上。具體為，第一固定部22設(shè)置在形成于光透過性基板10上的第一布線24上，且兩者電連接。第一彈簧20由能夠彈性變形的材料構(gòu)成，以能夠在與光閘14的板面平行的方向上變形的方式配置。具體為，第一彈簧20具有向從光閘14離開的方向(與開口部16的長度方向交叉(例如正交)的方向)延伸的第一部分26;向沿著開口部16的長度方向的方向，即從開口部16的長度方向的中央向著外方向延伸的第二部分28 ;和進(jìn)一步向從光閘14離開的方向(與開口部16的長度方向交叉(例如正交)的方向)延伸的第三部分30。而且，如圖3的箭頭所示，光閘14以能夠在與開口部16的長度方向交叉(例如正交)的方向上移動的方式由第一彈簧20支承。在光透過性基板10上設(shè)有由第二固定部32支承的第二彈簧34。第二固定部32設(shè)置在形成于光透過性基板10上的第二布線36上，且兩者電連接。第二彈簧34在與第一彈簧20的第二部分28相比更加遠(yuǎn)離光閘14的一側(cè)，與該第二部分28相對。對第二固定部32施加電壓，通過基于與第一彈簧20的第二部分28的電位差所導(dǎo)致的靜電引力，而使第二部分28被拉近至第二固定部32。當(dāng)?shù)诙糠?8被拉近時，經(jīng)由與第二部分28 —體的第一部分26，使光閘14也被拉近。也就是說，第一彈簧20以及第二彈簧34是用于將用于機(jī)械性地驅(qū)動光閘14的驅(qū)動部38構(gòu)成的部件。驅(qū)動部38也由半導(dǎo)體或金屬等無機(jī)材料構(gòu)成。圖4是圖2所示的顯示裝置的沿IV-IV線剖面的放大圖。在上側(cè)的光透過性基板12上形成有遮光膜40。在遮光膜40上形成有開口部42。光閘14的上述開口部16和遮光膜40的開口部42配置在相對的位置上，若使兩者連通則使光透過。當(dāng)通過光閘14的移動使遮光膜40的開口部42被遮蔽時，光被遮斷。換言之，機(jī)械性地驅(qū)動光閘14，以控制向遮光膜40的開口部42行進(jìn)的光的透過以及遮斷。通過對應(yīng)的一個開口部16以及一個開口部42而構(gòu)成一個像素，并通過多個像素使圖像被顯示。因此，設(shè)有多個(復(fù)數(shù)的)光閘
14。光閘14以及驅(qū)動部38配置在根據(jù)從開口部16、42透過的光的有無以及強(qiáng)弱來顯示圖像的顯示區(qū)域內(nèi)(參照圖2)。如圖4所示，一對光透過性基板10、12由密封材料44隔開間隔地固定。密封材料44緊貼在一對光透過性基板10、12的相對面的彼此上。另外，如圖2所示，密封材料44具有斷縫46且以將空間包圍的方式形成。具體為，密封材料44具有沿著將矩形的顯示區(qū)域48包圍的矩形輪廓而延伸的部分。此外，與矩形的顯示區(qū)域48對應(yīng)地，一對光透過性基板10、12也為矩形。而且，端部密封材料50封堵密封材料44的斷縫46，并將密封材料44所包圍的空間封閉而形成密封空間。
如圖4所示，在密封空間內(nèi)裝滿了油52(例如硅油)。光閘14以及驅(qū)動部38都配置在油52內(nèi)。通過油52能夠抑制基于光閘14以及驅(qū)動部38的動作所導(dǎo)致的振動，還能防止第一彈簧20和第二彈簧34的挨靠。在光透過性基板10、12由玻璃構(gòu)成的情況下，如果使用折射率與玻璃接近的油52，則通過裝滿油52，而能夠減少在與一對光透過性基板
10、12的界面上的光的反射。顯示裝置具有保持一對光透過性基板10、12的間隔的間隔體54。間隔體54也配置在油52內(nèi)，且配置在圖2所示的顯示區(qū)域48內(nèi)。圖4所示的間隔體54由設(shè)置在上側(cè)的光透過性基板12上的第一間隔部56和設(shè)置在下側(cè)的光透過性基板10上的第二間隔部58接合地構(gòu)成。第一間隔部56由樹脂構(gòu)成。第二間隔部58具有雙層的樹脂部58a、58b ;和覆蓋其表面的由半導(dǎo)體膜和金屬膜構(gòu)成的無機(jī)部58c。顯示裝置具有在一對光透過性基板10、12的相對的面的至少一方上形成的壁部60。在圖4所示的示例中，壁部60緊貼在一對光透過性基板10、12的相對面的彼此上。具體為，壁部60由設(shè)置在上側(cè)的光透過性基板12上的第一壁部62和設(shè)置在下側(cè)的光透過性基板10上的第二壁部64接合地構(gòu)成。壁部60由構(gòu)成間隔體54、光閘14以及驅(qū)動部38的材料形成。在圖4所示的示例中，第一壁部62由樹脂構(gòu)成。第二壁部64具有雙層的樹脂部64a、64b ;和覆蓋其表面的由半導(dǎo)體膜和金屬膜構(gòu)成的無機(jī)部64c。如圖2所示，壁部60以將顯示區(qū)域48包圍的方式配置。具體為，壁部60配置在將矩形的顯示區(qū)域48包圍的矩形輪廓上。壁部60具有配置在將密封材料44的斷縫46和顯示區(qū)域48之間的最短路徑遮斷的位置上的部分。即，壁部60至少具有一部分，以將密封材料44的斷縫46和顯示區(qū)域48之間的最短路徑遮斷。換言之,在密封材料44的斷縫46和顯示區(qū)域48之間具有壁部60的至少一部分。壁部60除了遮斷最短路徑的位置之外，還形成有狹縫66。圖2的示例中，在將矩形的顯示區(qū)域48包圍的矩形輪廓上，與密封材料44的斷縫46相對的直線上未形成有狹縫。壁部60具有從在該直線上延伸的部分60a隔開間隔地、向正交方向(從密封材料44的斷縫46離開的方向)延伸的部分60b，且在兩者之間形成有狹縫66。另外，在向從密封材料44的斷縫46離開的方向延伸的部分60b自身上也形成有狹縫66。進(jìn)一步地,在向從密封材料44的斷縫46離開的方向延伸的部分60b和隔著顯示區(qū)域48形成于密封材料44的斷縫46的相反側(cè)的部分60c之間(也就是角部)，也形成有狹縫66。另外，在隔著顯示區(qū)域48形成于密封材料44的斷縫46的相反側(cè)的部分60c自身上也形成有狹縫66。這樣，在壁部60上形成有多個狹縫66。油52從狹縫66穿過，而能夠在由壁部60包圍的區(qū)域的內(nèi)外流動。顯示裝置具有向空單元內(nèi)填充油52的結(jié)構(gòu)。圖5是表示空單元的內(nèi)部的一部分的俯視圖。圖6是圖5所示的結(jié)構(gòu)的沿VI-VI線的剖視圖。如上所述，空單元包含圖I中在配置于下側(cè)的光透過性基板10上設(shè)置的第二壁部64、第二間隔部58以及第二固定部32。第二固定部32與第二壁部64以及第二間隔部58的表層相同，且由無機(jī)材料(半導(dǎo)體或金屬)構(gòu)成。第二固定部32具有立體性地立起而從光透過性基板10浮起的部分。在第二固定部32的下方有第二布線36，實(shí)現(xiàn)了兩者的電連接。此外，第二間隔部58也配置在第二布線36上。圖7 圖10是說明形成第二壁部64、第二間隔部58以及第二固定部32的工序的圖。 如圖7所示，在圖I中配置于下側(cè)的光透過性基板10上形成第一樹脂層68。例如，將感光膠(photo resist)等感光性樹脂通過光刻法(lithography)印刻成形(patterning),并通過紫外線等使其硬化,從而形成第一樹脂層68。第一樹脂層68包含將第二壁部64的下層的樹脂部64a以及第二間隔部58的下層的樹脂部58a構(gòu)成的部分；和對第二固定部32的下側(cè)部分進(jìn)行模仿的部分。雖然第一樹脂層68以載置在第二布線36上的方式形成，但是避開了與第二固定部32的第二布線36的電連接部，也就是說，以使第二布線36的一部分露出的方式形成。如圖8所示，在第一樹脂層68上形成第二樹脂層70。第二樹脂層70也是將感光膠等感光性樹脂通過光刻法印刻成形而形成的。第二樹脂層70包含將第二壁部64的上層的樹脂部64b以及第二間隔部58的上層的樹脂部58b構(gòu)成的部分；和對第二固定部32的上側(cè)部分進(jìn)行模仿的部分。第二樹脂層70也是避開了與第二固定部32的第二布線36的電連接部，也就是以使第二布線36的一部分露出的方式形成。如圖9所示，與光透過性基板10并列地形成在其上的部件(第二布線36、第一樹脂層68以及第二樹脂層70)上,通過CVD (Chemical Vapor Deposition、化學(xué)氣相沉積)或派射(sputtering)等而形成無機(jī)層72 (例如a_SiN/Al膜),并如圖10所示地對其進(jìn)行蝕刻(etching)。無機(jī)層72可以為單層也可以為多層。通過蝕刻，能夠得到第二壁部64的無機(jī)部64c、第二間隔部58的無機(jī)部58c以及第二固定部32。而且，通過除去存在于第二固定部32下方的第一樹脂層68以及第二樹脂層70，從而能夠得到圖6所示的結(jié)構(gòu)。通過與第二固定部32的形成相同的工序，來形成光閘14、第一固定部22、第一彈簧20以及第二彈簧34。而且，在相對側(cè)的光透過性基板12上，同時形成第一壁部62以及第一間隔部56 (參照圖4)。通過以上工序，使間隔體54、光閘14、驅(qū)動部38以及壁部60通過包含薄膜的成膜以及蝕刻的多個流程而同時地形成。本實(shí)施方式的顯示裝置的制造方法包含上述工序，還包含后續(xù)的空單元的裝配工序?？諉卧哂幸愿糸_間隔的方式配置的一對光透過性基板10、12，兩者之間的結(jié)構(gòu)除了不具有油52這點(diǎn)之外，與上述顯示裝置的內(nèi)容相當(dāng)。也就是說，空單元是注入油52之前的狀態(tài)。圖11 圖14是說明在空單元內(nèi)注入油52的工序的圖。在本實(shí)施方式中，通過注入油52的工序，使空間內(nèi)部的氣壓與外部相比成為低氣壓，并從密封材料44的斷縫46注入油52。具體為，如圖11所示，準(zhǔn)備一個由密封材料44將空間包圍的空單元74。另外，在真空槽76內(nèi)準(zhǔn)備一個裝有油52的容器78。如圖12所示，在使真空槽76的內(nèi)部成為真空狀態(tài)后，使密封材料44的斷縫46 (注入口)與油52接觸。如圖13所示，使真空槽76的密閉狀態(tài)解除并漏入空氣，則在空單元74的內(nèi)部(由密封材料44包圍的空間)，使油52從密封材料44的斷縫46進(jìn)行填充。油52粘性越低，則流入速度越快。根據(jù)本實(shí)施方式，當(dāng)從密封材料44的斷縫46向顯示區(qū)域48注入油52時，能夠通過壁部60減弱油52的流動，從而能夠減少對配置在顯示區(qū)域48內(nèi)的光閘14 (參照圖2)造成的損傷。另外，因?yàn)槭贡诓?0與間隔體54、光閘14以及驅(qū)動部38同時形成，所以能夠 避免工序數(shù)的增加。這樣，如圖14所示地將油52填充。之后，如圖2所示，將斷縫46用端部密封材料50封堵。圖15以及圖16是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的顯示裝置的變形例的圖。在圖15所示的示例中，壁部160在斷縫46和顯示區(qū)域48之間以從遮斷最短路徑的位置穿過并呈直線狀延伸的方式形成。壁部160僅形成在該位置上，且不包圍顯示區(qū)域48。因?yàn)閺臄嗫p46流入的油52 (參照圖14)在流入顯示區(qū)域48之前至少先碰到壁部160,所以能夠達(dá)到上述效果。另外，因?yàn)楸诓?60以超過顯示區(qū)域48的寬度的長度連續(xù)地形成，所以油52以從顯示區(qū)域48的側(cè)面迂回的方式流動，因此，也能通過使流路變長來減緩流速。在圖16的示例中，壁部260以沿著多條平行的直線延伸且每個沿著直線延伸的部分均具有狹縫266的方式形成。因?yàn)楠M縫266相互交錯形成，所以油52(參照圖14)曲折地流動。由此，能夠延長油52的流路,從而能減緩流速。本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，還能進(jìn)行各種變形。例如，實(shí)施方式中已說明的結(jié)構(gòu)能夠置換成實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)、發(fā)揮相同作用效果的結(jié)構(gòu)或能夠達(dá)到相同目的的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種顯示裝置，其特征在于，其具有 以隔開間隔的方式配置的一對光透過性基板； 緊貼在所述一對光透過性基板的相對面的彼此上，且具有斷縫并將空間包圍的密封材料； 將所述密封材料的所述斷縫封堵，并將所述空間封閉而形成密封空間的端部密封材料； 充滿所述密封空間的油； 配置在所述油內(nèi)，并保持所述一對光透過性基板的所述間隔的間隔體； 在一方的所述光透過性基板上形成的具有開口部的遮光膜； 配置在所述油內(nèi)的光閘； 配置在所述油內(nèi)的驅(qū)動部，該驅(qū)動部用于機(jī)械性地驅(qū)動所述光閘以控制向所述開口部的光的透過以及遮斷；和 在所述一對光透過性基板的所述相對的面的至少一方上形成的壁部， 所述間隔體、所述光閘以及所述驅(qū)動部配置在根據(jù)透過所述開口部的光的有無以及強(qiáng)弱來顯示圖像的顯示區(qū)域內(nèi)， 所述壁部具有配置在將所述密封材料的所述斷縫和所述顯示區(qū)域之間的最短路徑遮斷的位置上的部分，并由構(gòu)成所述間隔體、所述光閘以及所述驅(qū)動部的材料形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯示裝置，其特征在于， 所述壁部緊貼在所述一對光透過性基板的所述相對面的彼此上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其特征在于， 所述壁部以將所述顯示區(qū)域包圍的方式配置，且除了遮斷所述最短路徑的所述位置之夕卜，還形成有狹縫。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其特征在于， 所述壁部在所述斷縫和所述顯示區(qū)域之間以從遮斷所述最短路徑的所述位置穿過并呈直線狀延伸的方式形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯示裝置，其特征在于， 所述壁部以沿著多條平行的直線延伸，且各自的沿著所述直線延伸的部分均具有狹縫的方式形成。
6.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述顯示裝置具有 以隔開間隔的方式配置的一對光透過性基板； 緊貼在所述一對光透過性基板的相對面的彼此上，且具有斷縫并將空間包圍的密封材料； 配置在所述油內(nèi)，并保持所述一對光透過性基板的所述間隔的間隔體； 在一方的所述光透過性基板上形成的具有開口部的遮光膜; 配置在所述空間內(nèi)的光閘； 配置在所述空間內(nèi)的驅(qū)動部，該驅(qū)動部用于機(jī)械性地驅(qū)動所述光閘以控制向所述開口部行進(jìn)的光的透過以及遮斷；和 在所述一對光透過性基板的所述相對的面的至少一方上形成的壁部， 所述顯示裝置的制造方法包含裝配空單元的工序，該工序使得所述間隔體、所述光閘以及所述驅(qū)動部配置在根據(jù)透過所述開口部的光的有無以及強(qiáng)弱來顯示圖像的顯示區(qū)域內(nèi)， 并且使得所述壁部具有配置在將所述密封材料的所述斷縫和所述顯示區(qū)域之間的最短路徑遮斷的位置上的部分；和 從所述密封材料的所述斷縫向所述空單元注入油的工序， 在裝配所述空單元的工序中，使所述間隔體、所述光閘、所述驅(qū)動部以及所述壁部通過包含薄膜 的成膜以及蝕刻的多個流程而同時地形成， 在注入所述油的工序中，使所述空間內(nèi)部的氣壓與外部相比成為低氣壓，并從所述密封材料的所述斷縫注入所述油。
全文摘要
本發(fā)明以當(dāng)注入使配置有機(jī)械式光閘的容器充滿的油時，減少對光閘造成的損傷為目的。本發(fā)明的顯示裝置具有具有斷縫(46)且將空間包圍的密封材料(44)；將密封材料(44)的斷縫(46)封堵而形成密封空間的端部密封材料(50)；將密封空間裝滿的油(52)；保持一對光透過性基板(10、12)的間隔的間隔體(54)；光閘(14)；用于機(jī)械性地驅(qū)動光閘(14)且配置在油(52)內(nèi)的驅(qū)動部(38)；和在一對光透過性基板(10、12)的相對的面的至少一方上形成的壁部(60)。壁部(60)具有配置在將密封材料(44)的斷縫(46)和顯示區(qū)域(48)之間的最短路徑遮斷的位置上的部分，并由構(gòu)成間隔體(54)、光閘(14)以及驅(qū)動部(38)的材料形成。
文檔編號G09G3/34GK102809815SQ20121018263
公開日2012年12月5日 申請日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月2日
發(fā)明者岡本正高, 新田秀和, 藤吉純 申請人:株式會社日本顯示器東