專利名稱：：液體排放方法和液體排放頭的制作方法(
技術(shù)領(lǐng)域：
)本發(fā)明涉及通過施加熱能給液體而產(chǎn)生氣泡從而把所需液體量排放的一種液體排放方法以及一種液體排放頭、一種液體排放頭架和一種液體排放裝置。(
背景技術(shù)：
)一種現(xiàn)有技術(shù)是一種常規(guī)噴墨記錄法，即所說的氣泡噴墨記錄法，在該方法中依據(jù)一個被記錄的信號施加脈沖能量例如熱能給排放墨，隨著墨水體積的急劇變化(產(chǎn)生氣泡)導(dǎo)致墨水狀態(tài)的變化，通過這種狀態(tài)的變化形成的壓力從墨水排放口排放以把墨水施加到記錄介質(zhì)上。在美國專利號4,723,129中，公開了一種利用上述氣泡噴墨記錄法的一種記錄裝置，該裝置由一個墨水排放口、一個與該墨水排放口相連接的墨水流通道以及一個用于產(chǎn)生排放墨水流通道中的墨水的能量的電熱轉(zhuǎn)換裝置。通過這種記錄法可以在高速和低噪音下記錄一個高質(zhì)量的圖象。同時，對于這種排放方法，排放頭上可以高密度地設(shè)置這種墨水排放口。因此，氣泡噴墨記錄法有很多優(yōu)點。例如，通過一個緊湊型設(shè)備可以實現(xiàn)記錄一個高分辨率圖象和甚至彩色圖象。由于這個原因，氣泡噴墨記錄法最近不但用于各種辦公設(shè)備上例如打印機(jī)、復(fù)印機(jī)以及傳真機(jī)而且用于工業(yè)系統(tǒng)象印染機(jī)上。如上所述，最近隨著在各種領(lǐng)域的推廣氣泡噴墨技術(shù)已經(jīng)取得以下進(jìn)展例如，生熱元件已經(jīng)通過調(diào)整保護(hù)性膜的厚度來進(jìn)行優(yōu)化以提高能量效率。這種提高對于提高熱能傳遞給液體例如墨水的效率非常有效。另一方面，人們提出了一種在高速度穩(wěn)定產(chǎn)生氣泡條件下正確排放液體例如墨水以獲得一個高質(zhì)量的圖象的一個驅(qū)動條件。為了實現(xiàn)高速記錄人們提出了一種改進(jìn)流通道形狀，當(dāng)一個液體排放過程完成后實現(xiàn)排放頭的很高的再補(bǔ)充速度。如上所述，人們提出了各種各樣的流通道。日本專利擬公開號63-199972公開了一種流通道結(jié)構(gòu)，如圖36A及36B所示。在該專利中公開的發(fā)明是一種流通道結(jié)構(gòu)以及一種基于氣泡產(chǎn)生而導(dǎo)致的回壓波(一種與液體排放口相反的方向上的壓力，即向著液體室12的壓力)的一種液體排放頭的制造方法。該回壓波是一種相反的能量，因為它不是液體排放方向上的能量。在圖36A和圖36B所示的流通道的情況中，在相對于生熱元件2與液體排放口11相對的位置上，遠(yuǎn)離生熱元件的生泡區(qū)，設(shè)置一個閥10。這個閥10由一個板制造。如圖36B所示，它在流通道3的頂板上有一個初始位置。當(dāng)氣泡產(chǎn)生時，它落入到流通道3中。在圖36A和36B所示的情況中，閥10可以控制部分回壓波以防止回壓波向上游方向移動。結(jié)果，能量損失得到了控制。然而，對氣泡產(chǎn)生過程仔細(xì)研究表明，通過在充滿液體的流通道3中設(shè)置一個閥10來實現(xiàn)對部分回壓波的控制對液體排放過程來說不是最佳的。這就是說，開始時，如上所述，回壓波本身不會對液體排放過程有直接影響。當(dāng)回壓波在流通道3中產(chǎn)生時，如圖36A所示，一個對液體排放過程有直接影響的壓力可以從流通道3中排放液體。因此，回壓波的控制，特別是部分回壓波的控制不會對液體排放過程有太大的直接影響。另一方面，在氣泡噴墨記錄法中，由于在生熱元件與墨水接觸的條件下生熱過程重復(fù)發(fā)生，燒焦的墨可能會聚集在生熱元件的表面。某些墨水會留下大量的墨，導(dǎo)致氣泡的產(chǎn)生非常不穩(wěn)定。結(jié)果，墨水的均勻排放無法保證。因此，人們期待著一種在不使得液體變質(zhì)的情況下均勻排放液體的方法，即使這種排放液體很容易破壞，甚至不會產(chǎn)生足夠的氣泡。日本專利申請延遲公開號61-69467，55-81172和美國專利號4,480,259等公開一種排放方法，其中使用了兩種分離的液體，稱為生泡液和排放液，通過把氣泡壓力給后者而排放后者。在這些發(fā)明中，墨水，即排放液與生泡液通過一個由硅膠等制成的柔性膜完全分隔開，因此，前者不會與后者接觸，同時，氣泡產(chǎn)生的壓力通過柔性膜的位移傳遞給排放液。通過這種結(jié)構(gòu)，在生熱元件表面上的燒焦墨的聚集可以防止，排放液可以自由選擇。然而，在上述結(jié)構(gòu)的排放頭中，排放液與生泡液完全分離，氣泡產(chǎn)生的壓力通過柔性膜的膨脹/收縮和位移傳遞給排放液，因此，這種壓力的相當(dāng)大的一部分被這種柔性膜吸收。此外，柔性膜不會產(chǎn)生很大位移，因此雖然可以獲得排放液與生泡液的完全分隔開的優(yōu)點，但是能量效率和液體排放壓力很低。本發(fā)明的發(fā)明人作了下面的分析，提供了利用氣泡以及排放頭的新型液體排放方法，該排放方法基于下面的液滴排放理論分析流通道中的可動元件的力學(xué)原理的第一個技術(shù)分析；通過氣泡壓力分析液滴排放原理的的第二個分析；分析生熱元件的生泡區(qū)的第三個分析。結(jié)果，可以將基于在流通道中產(chǎn)生氣泡(由于薄膜沸騰而發(fā)泡)的液體排放方法中基本的排放性質(zhì)提高到一個從常規(guī)角度無法實現(xiàn)的水平。本申請人已經(jīng)建立了一種全新的方法，基于上面的分析，該方法通過設(shè)計可動元件在上游側(cè)的支承端和在排放口即下游側(cè)的自由端積極控制氣泡，同時通過在生熱元件區(qū)域或者生泡區(qū)上安置可動元件自身。本申請人已經(jīng)對這種方法申請了專利。更特別是，我們發(fā)現(xiàn)，考慮到用于一定液體排放量的氣泡能量，通過在下游側(cè)形成氣泡的增長部分氣泡的排放性質(zhì)可以大大提高。我們還發(fā)現(xiàn)，上面提到的氣泡對液體的排放性質(zhì)有最大的影響。換句話說，通過有效地把這樣的氣泡增長部分導(dǎo)向排放口，液體排放效率和液體排放速度可以提高。相對于常規(guī)的排放方法，通過把氣泡的增長部分移動向可動元件的自由端的下游側(cè)，根據(jù)本發(fā)明的方法達(dá)到了一個相當(dāng)高的水平。在本發(fā)明的情況中，最好研究可動元件、流通道等相對于在生泡區(qū)中心線，例如，穿過一個電熱轉(zhuǎn)換元件的流體的流動方向上的一個區(qū)域的下游側(cè)，或者生泡區(qū)表面中心線的下游側(cè)的氣泡產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)因素。另一方面，通過改進(jìn)可動元件的設(shè)計以及液體供給通道的結(jié)構(gòu)可以大大提高液體的再補(bǔ)充速度。如上所述，本發(fā)明針對于一種液體排放方法和一種液體排放頭，其中，通過設(shè)計可動元件的方向與流通道中的生泡區(qū)相對，使得氣泡的產(chǎn)生方向集中于下游側(cè)。本發(fā)明的目標(biāo)通過改善的液體排放理論，通過改進(jìn)可動元件和流通道的結(jié)構(gòu)，有效地利用氣泡能量，從而提高液體排放效率和穩(wěn)定性。本發(fā)明的目標(biāo)還通過發(fā)現(xiàn)一種新型的液體排放量控制裝置實現(xiàn)非常穩(wěn)定的液體排放操作。本發(fā)明的主要目標(biāo)如下所述。(技術(shù)方案)本發(fā)明的第一個目標(biāo)是提供一種液體排放方法和一種液體排放頭，其中，從液體排放口到可動元件的自由端之間的空間內(nèi)的體積作為待排放的液體量受到控制。本發(fā)明的第二個目標(biāo)是提供一種液體排放方法和一種液體排放頭，其中，通過施加高于可以把從液體排放口到可動元件的自由端之間的液體排放所需的液體排放能量，使得排放操作更加穩(wěn)定。本發(fā)明的第三個目標(biāo)是提供一種液體排放方法和一種液體排放頭，其中，液滴排放過程結(jié)束后彎液面的再補(bǔ)充速度提高。本發(fā)明的第四個目標(biāo)是提供一種通過控制劇烈產(chǎn)生的氣泡的一種新型液體排放原理。本發(fā)明的第五個目標(biāo)是提供一種液體排放方法和一種液體排放頭等，其中，通過提高液體排放效率和液體排放壓力以及降低生熱元件的表面上流體中集聚的熱，同時降低生熱元件上的殘余氣泡，使得液體可以被均勻排放。本發(fā)明的第六個目標(biāo)是提供一種液體排放頭等，其中，通過降低由于回壓波導(dǎo)致的沿著與流體供應(yīng)方向相反的方向上慣性，同時利用可動元件的閥作用降低彎液面的返回速度而提高液體再補(bǔ)充頻率，并且提高打印速度。本發(fā)明的第七個目標(biāo)是提供一種液體排放方法和一種液體排放頭等，它們具有足夠高的液體排放效率和足夠高的液體排放速度，其中，在生熱元件表面上集聚的燒焦的液體可以被降低，利用這種排放方法和排放頭被排放流體的應(yīng)用范圍可以被擴(kuò)大。本發(fā)明的第八個目標(biāo)是提供一種液體排放方法和一種液體排放頭等，其中，排放液的種類可以自由選擇。本發(fā)明的第九個目標(biāo)是提供一種液體排放頭和液體排放裝置，通過用較少部件制造用于提供多種液體的液體引入通道使得液體排放頭和液體排放裝置的制造費用低廉，從而提供一種緊湊型的液體排放頭和液體排放裝置等。在上述的依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭在一個流體通道中裝有一個可動元件，通過在生泡區(qū)產(chǎn)生的氣泡使得可動元件產(chǎn)生位移，該排放頭可以把液滴從液體排放口排放，通過限制液體排放量為排放液體能量達(dá)到某值時的一個水平，以及在該限制區(qū)內(nèi)把液體排放，獲得一個更穩(wěn)定的液體排放量和更高的液體再補(bǔ)充性能。實現(xiàn)上述目標(biāo)的典型的要求如下依據(jù)本發(fā)明的液體排放方法使用，一種由一個液體排放口組成的液體排放頭；在液體中產(chǎn)生氣泡的生泡區(qū)；可以在第一個位置和第二個位置之間移動的可動元件，其中的第二個位置和第一個位置相比更遠(yuǎn)離生泡區(qū)。在這種液體排放頭中，通過生泡能量在生泡區(qū)產(chǎn)生的氣泡的壓力使得可動元件從第一個位置移動到第二個位置。同時，由于通過可動元件的位移，氣泡向相對于上游方向更加向下游方向膨脹。在這種狀態(tài)下，液體通過施加給該液體的液體排放能量從排放口排放。在這種情況下，可動元件相對于其支承端在下游側(cè)有一個自由端，從排放口排放的液體量由飽和區(qū)內(nèi)的液體排放能量控制，該飽和區(qū)隨著該能量的增加而飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放方法使用的液體排放頭包括一個液體排放口；一個與所說的液體排放口相連接的第一液體流通道；一個包含生泡區(qū)的第二液體流通道；在液體排放口側(cè)具有自由端的可動元件，它位于第一液體流通道和生泡區(qū)之間。在這個液體排放頭中，可動元件的自由端通過生泡能量在生泡區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的的氣泡的壓力向第一液體流通道內(nèi)位移。在這種狀態(tài)下，通過可動元件的位移產(chǎn)生的壓力使得液體排放能量施加給該液體，從而使得液體從液體排放口被排放。從液體排放口排放的液體排放量由液體排放頭依據(jù)飽和區(qū)內(nèi)液體排放能量控制，該飽和區(qū)隨著該能量的增加而飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放方法，從生熱元件的上游側(cè)沿著位于液體流通道中的該生熱元件提供液體；由氣泡產(chǎn)生能量激發(fā)，隨著生熱元件生熱產(chǎn)生氣泡；由氣泡產(chǎn)生形成的壓力移動可動元件的自由端，該可動元件在液體排放口側(cè)具有自由端并與生熱元件面對；通過可動元件的位移產(chǎn)生的壓力使得液體排放能量施加給該液體，從而使得液體從液體排放口被排放。在這種情況下，液體在一個區(qū)內(nèi)被排放，在該區(qū)內(nèi)，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放方法，使用一個可動元件，該可動元件在液體排放口一側(cè)有一個可以位移的自由端；施加產(chǎn)生氣泡能量給液體導(dǎo)致薄膜沸騰后，氣泡至少包括一個壓力分量直接作用到液滴排放操作上面，從而使得可動元件產(chǎn)生位移；通過施加液體排放能量給該液體，使得包含有壓力分量的氣泡導(dǎo)向液體排放口一側(cè)，從而使得液體從液體排放口被排放。在這種情況下，通過施加與一個區(qū)對應(yīng)的液體排放能量使得液體被排放，在該區(qū)內(nèi)，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放方法，其中，液體由生泡能量在生泡區(qū)產(chǎn)生的氣泡，從相對于液滴排放方向的位于生泡區(qū)的一側(cè)的下游的液體排放口排放，該液滴排放方向不與生泡區(qū)相對。上述的液體排放方法使用一個可動元件，該可動元件具有一個自由端以及以及一個表面，該自由端使得生泡區(qū)一側(cè)的液體排放口相對于液體排放口密封，該表面的范圍是從相對于自由端位于相對一側(cè)的支承端到液體排放口。通過移動幾乎密封的自由端以及施加液滴排放壓力給液體，上述的液體排放方法通過使得生泡區(qū)向著液體排放口開口而排放液體。在這種情況下，通過施加與一個區(qū)對應(yīng)的液體排放能量使得液體被排放，在該區(qū)內(nèi)，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘?，該液體排放頭包括一個液體排放口；一個在液體中產(chǎn)生氣泡的生泡區(qū)；以及一個安置在生泡區(qū)內(nèi)的可動元件，可以在第一個位置和第二個位置之間移動，其中的第二個位置和第一個位置相比更遠(yuǎn)離生泡區(qū)。在這種液體排放頭中，可動元件由產(chǎn)生氣泡脈沖能量在生泡區(qū)產(chǎn)生的氣泡的壓力從第一個位置移動到第二個位置。同時，通過可動元件的位移，氣泡相對于上游方向更加向下游方向移動。在這種情況下，通過施加液體排放能量給液該液體，從而液體從排放口排放。通過施加與一個區(qū)對應(yīng)的液體排放能量使得液體被排放，在該區(qū)內(nèi)，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘撸撘后w排放頭包括一個與液體排放口相連接的第一液體流通道；一個包括生泡區(qū)的第二液體流通道，在該生泡區(qū)內(nèi)，通過產(chǎn)生氣泡能量，熱量施加給液體；以及一個可動元件，該可動元件在液體排放口側(cè)具有一個自由端，位于第一液體流通道和生泡區(qū)之間。在這個液體排放頭中，通過在生泡區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的壓力以及由壓力導(dǎo)向液體排放口使得生泡能量施加給液體，使得可動元件的自由端向第一液體流通道內(nèi)位移，從而液體被排放。在這種條件下，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭包括一個液體排放口；包括通過加熱液體用于在液體中產(chǎn)生氣泡的生熱元件的液體流通道以及一個液體供給通道用于從生熱元件的上游側(cè)沿著此生熱元件給生熱元件提供液體；可動元件在液體排放口一側(cè)有一個自由端，與所說的生熱元件相對，由產(chǎn)生的氣泡壓力使得自由端產(chǎn)生位移把壓力導(dǎo)入液體排放口。當(dāng)液體由生熱元件產(chǎn)生的液體排放能量從液體排放口排放后，從小孔(orifice)排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和。或者，依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭包括一個液體排放口；一個通過加熱液體而在液體中產(chǎn)生氣泡的生熱元件；可動元件，在液體排放口一側(cè)有一個自由端，與生熱元件相對，由產(chǎn)生的氣泡壓力使得自由端產(chǎn)生位移從而把壓力導(dǎo)入液體排放口；以及液體供給通道，用于沿著接近生熱元件的一個表面從上游側(cè)給生熱元件提供液體。當(dāng)液體由生熱元件產(chǎn)生的液體排放能量從液體排放口排放后，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放口包括多個液體排放口；用于形成與對應(yīng)的液體排放口相連接的多個第一液體流通道的多個溝槽；包括凹入部分的帶有溝槽的元件，該凹入部分形成為多個第一液體流通道提供液體的第一公共液體室；一個元件基片，包括通過加熱生熱元件從而在液體中產(chǎn)生氣泡的多個生熱元件；一個位于帶有溝槽的元件和元件基片之間的分隔壁，構(gòu)成第二液體流通道的與生熱元件相對應(yīng)的壁的一部分，該分隔壁包括一個可動元件，位于與生熱元件相對的一個位置上，通過氣泡產(chǎn)生的壓力可以向第一液體流通道內(nèi)產(chǎn)生位移。當(dāng)來自生熱元件的液體排放能量使得液體從液體排放口排放時，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和?；蛘?，依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭架包括一個液體排放頭和一個液體容器，該液體容器內(nèi)盛有提供給液體排放頭的液體。或者，依據(jù)本發(fā)明的液體排放裝置包括一個液體排放頭和一個驅(qū)動信號供給裝置，該驅(qū)動信號供給裝置用于提供一個驅(qū)動信號從而從液體排放頭排放液體?；蛘咭罁?jù)本發(fā)明的液體排放裝置包括一個液體排放頭和一個記錄介質(zhì)傳輸裝置，該記錄介質(zhì)傳輸裝置用于傳輸該記錄介質(zhì)，接受從液體排放頭排放的液體。根據(jù)本發(fā)明的液體排放方法、液體排放頭等，通過產(chǎn)生的氣泡和由該氣泡使得可動元件產(chǎn)生位移的合成效應(yīng)使得液體排放效率提高。同時，通過在一定區(qū)域內(nèi)排放液體，獲得一個非常穩(wěn)定的液體排放量和一個速度更快的液體再補(bǔ)充速度，在該區(qū)域內(nèi)，從液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而飽和。結(jié)果，使得氣泡產(chǎn)生穩(wěn)定，液滴形成穩(wěn)定，并且同時，通過在高速度下排放液體能夠?qū)崿F(xiàn)記錄高質(zhì)量的圖象。形成的圖象具有很高的質(zhì)量，其密度有很小的誤差和不均勻度，因為由于環(huán)境變化和液體排放頭固有的不均勻度性質(zhì)導(dǎo)致的液體排放量的變化很小。參考下面的本發(fā)明的最佳實施例的附圖，本發(fā)明的其它優(yōu)點將更容易理解。在本專利說明書中，使用的術(shù)語“上游”和“下游”分別是指相對于液體從液體供給源穿過生泡區(qū)(或者可動元件)到液體排放口的方向以及與該方向相反的方向。相對于氣泡本身的“下游側(cè)”主要是指直接相對于液滴排放過程的氣泡排放口一側(cè)。更特別是，這樣的術(shù)語是指沿著液體流動方向以及本結(jié)構(gòu)設(shè)計中氣泡的中央部分的下游側(cè)，以及生熱元件中心線的下游側(cè)的一個區(qū)域。術(shù)語“基本密封”是指這樣一個狀態(tài)，在氣泡的增長過程中，可動元件產(chǎn)生位移前氣泡不可能穿過可動元件周圍的縫隙。術(shù)語“分隔壁”在廣義上是指一個壁(可能包括一個可動元件)用于把生泡區(qū)和與液體排放口相連通的區(qū)域分隔開，在狹義上是指一個把生泡區(qū)和于液體排放口相連通的液體流通道分隔開的壁，以防止在液體流通道中的液體的混合。術(shù)語“可動元件的自由端的位移軌跡”是指由可動元件的自由端繞其支承端形成的一個圓弧形表面。如果圓弧很小，它可以看成一個平面。術(shù)語液體排放量的“基本飽和的飽和區(qū)域”包括一個完全飽和區(qū)域，在該區(qū)域內(nèi)，該區(qū)域是指液體排放面的液體排放面積So(μm2)乘以從液體排放面到可動元件的自由端形成的一個位移軌跡或者路徑表面之間的距離OE(μm)所表示的區(qū)域；該術(shù)語還包括另外一個區(qū)域，從一個曲線離開某一區(qū)的偏移點到一個完全飽和區(qū)域之間的一個區(qū)域，在該區(qū)，液體排放量正比于有效的生泡面積。上述的偏移點會根據(jù)液體的狀態(tài)、液體排放頭的液體排放口的形狀或者接近液體排放口的面積變化而稍微改變。然而，在小于150μm的范圍內(nèi)，用于液體排放頭的該飽和區(qū)域可以用0.9S0·OE來表示。該偏移點實際上是一個把液體拖回的拖回液體分力，在液體排放過程中液體被拖回。它與液體排放口周圍的液體拖回力對應(yīng)。它可以被看成一個最大值(2πR×1μm)。因此，包括偏移點的基本飽和區(qū)域可以表示為(S0-2πR)·OE。術(shù)語“記錄是指在記錄設(shè)備上形成一個有意義的圖象例如字符和數(shù)字以及形成一個無意義的圖象例如一個圖案的一個過程。(附圖描述)圖1A、1B、1C和1D表示依據(jù)本發(fā)明的液體排放原理的液體排放過程的示意剖面圖。圖2表示依據(jù)本發(fā)明的第一個實施例的液體排放頭的一個部分剖面透視圖。圖3表示在一個常規(guī)的液體排放頭中來自氣泡的壓力傳播的示意圖。圖4表示在圖1中的液體排放頭的來自氣泡的壓力傳播的示意圖。圖5A和圖5B表示第一個實施例的液體排放頭的的一個示意平面圖。圖6表示圖5A中沿著直線6-6的一個示意剖面圖。圖7A、7B和7C表示第一個實施例的液體排放過程。圖8是一個曲線，表示生熱元件的有效生泡面積與液體排放量之間的關(guān)系。圖9表示第一個實施例的液體流動的示意圖。圖10表示依據(jù)本發(fā)明的第二個實施例的液體排放頭的一個部分剖面透視圖。圖11表示依據(jù)本發(fā)明的第三個實施例的液體排放頭的一個部分剖面透視圖。圖12表示依據(jù)本發(fā)明的第四個實施例的液體排放頭的一個剖面圖。圖13A、13B和13C表示依據(jù)本發(fā)明的第五個實施例的液體排放頭的一個示意剖面圖。圖14表示依據(jù)本發(fā)明的第六個實施例的液體排放頭(帶有兩個液體流通道)的一個剖面圖。圖15表示依據(jù)本發(fā)明的第六個實施例的液體排放頭的一個部分剖面透視圖。圖16A和圖16B表示一個可動元件的操作的一個示意剖面圖。圖17表示可動元件和一個第一液體流通道的結(jié)構(gòu)的縱向剖面圖。圖18A表示可動元件的形狀的一個平面圖。圖18B表示液體流通道的形狀的一個平面圖。圖18C表示可動元件于液體流通道之間相對關(guān)系的一個示意圖。圖19A、19B和19C表示另一個可動元件的一個例子的平面圖。圖20是一個曲線，表示常規(guī)液體排放頭的生熱元件的面積與墨水排放量的關(guān)系。圖21A和21B表示可動元件和生熱元件的設(shè)計的一個平面圖。圖22是一個曲線，表示生熱元件的一個邊緣到生熱元件的支承端之間的距離與可動元件的位移之間的關(guān)系。圖23表示生熱元件和可動元件設(shè)計的一個示意圖。圖24A表示帶有一個保護(hù)性膜的液體排放頭的一個縱向的平面圖。圖24B表示不帶有一個保護(hù)性膜的液體排放頭的一個縱向的平面圖。圖25表示一個驅(qū)動脈沖信號的形狀的一個示意圖。圖26表示帶有兩條液體流通道的一個液體供給通道的剖面圖。圖27表示一個圖26中的液體排放頭的一個分解透視圖。圖28A、28B、28C、28D和28E是一個液體排放頭制造過程的第一個實施例的流程圖。圖29A、29B、29C和29D是一個液體排放頭制造過程的第二個實施例的流程圖。圖30A、30B、30C和30D是一個液體排放頭制造過程的第三個實施例的流程圖。圖31一個液體排放頭架的一個分解透視圖。圖32表示一個液體排放設(shè)備的結(jié)構(gòu)的一個示意透視圖。圖33表示圖32的設(shè)備的電路排布的方框圖。圖34表示一個噴墨記錄系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的一個簡圖。圖35表示一個排放頭工具箱的一個示意圖。圖36A和36B表示一個常規(guī)液體排放頭的液體流通道的一個簡圖。(最佳實施例的詳細(xì)描述)本發(fā)明下面將參考附圖進(jìn)行描述。在最佳實施例的描述前，描述一下本發(fā)明所依據(jù)的液體排放操作的原理。根據(jù)本發(fā)明的液體排放操作的原理，通過控制氣泡壓力的傳播方向和氣泡增長方向，從而利用在液體流通道中的可動元件來排放液體，就可以提高液體排放力和液體排放效率。圖1A到1D表示依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭，沿著液體流通道方向切開的剖面圖。這些圖依次表示了基于上述的液滴排放理論的液滴排放過程。圖2表示了后面要描述的本發(fā)明的第一個實施例的液體排放頭的結(jié)構(gòu)。在這樣的液體排放頭例子中，在一個元件基片1上設(shè)置有一個生熱元件2(在本實施例中，生熱元件的尺寸是40μm×105μm)，作為一個產(chǎn)生液體排放能量的元件，用于給液體提供熱能。在這樣的元件基片1上，沿著生熱元件2有一個液體流通道10。液體流通道10與液體排放口18相連通，同時與用于向多個液體流通道10提供液體的公共液體室13相連通。流通道10接受的液體量等于從這樣的公共液體室13排出液體排放口的液體量。一個片形可動元件31由彈性材料例如金屬制成，并帶有一個平的部分。它安置在用于液體流通道10的元件基片1上，與生熱元件2相對?？蓜釉?1的一端以懸臂的形式固定于一個基座(支座)34上，此基座通過在液體流動通道10的壁和元件基片上模制(patterning)光敏樹脂而形成?；?4支承可動元件31，同時作為它的支承端(它的支承部分)33。在從公共液體室13穿過可動元件31到液體排放口18的液體排放操作中的大液體流的上游側(cè)，可動元件31有一個支承端33(一個支承部分或者一個固定點)。它安置在與生熱元件2面對、距離生熱元件15μm的一個位置上，因此它覆蓋生熱元件2，它的自由端(它的自由端部分)32位于支承端33的下游側(cè)。在生熱元件2與可動元件31之間形成生泡區(qū)。生熱元件2和可動元件31的種類、形狀和布置不限于上述情況。如果可動元件可以控制氣泡的產(chǎn)生和下面描述的壓力傳播，任何的種類、形狀和布置都可以使用。為后面要描述的液體流動的描述清楚起見，上述的液體流通道10由可動元件31分成兩個區(qū)，分別稱為第一液體流通道14，與液體排放口18直接相連接，第二液體流通道16，具有生泡區(qū)11和液體供給通道12。當(dāng)能量施加給生熱元件2，在可動元件31與生熱元件2之間的生泡區(qū)11內(nèi)的液體被加熱。結(jié)果，如在美國專利號4,723,129中描述的，由于薄膜沸騰而在液體中產(chǎn)生氣泡。由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力和氣泡優(yōu)先作用于可動元件31上。如圖1B、1C及圖2所示，可動元件31繞其支承端移動，使得它向液體排放口一側(cè)開口。氣泡壓力和增長的氣泡本身依據(jù)可動元件31的位移程度被導(dǎo)向液體排放口18。本發(fā)明的液體排放原理之一將描述如下。本發(fā)明的一個最重要的原理之一是，與氣泡面對的可動元件31從第一個位置，稱為靜止位置移動到第二個位置，稱為由氣泡壓力或者氣泡本身導(dǎo)致的位移后位置，利用可動元件31氣泡壓力或者氣泡本身被推向具有液體排放口的下游側(cè)。本發(fā)明示意圖，如圖4所示，對比常規(guī)的不使用可動元件的液體流通道的示意圖，如圖3所示，對上述原理作更詳細(xì)描述。在這些圖中，VA表示向著液體排放口方向的液體傳播方向，VB表示向著上游側(cè)的液體傳播方向。在圖3中的常規(guī)液體排放頭沒有控制氣泡40的壓力傳播方向的裝置。因此，氣泡40的壓力沿著各個方向，稱為氣泡40的正常線以V1-V8所示的方向傳播。在所有這些分量中，從氣泡的中心來看，V1-V4的分量更接近于液體排放口，對沿著VA方向的液體排放過程有強(qiáng)烈的影響。這些分量是對液體排放效率、液體排放力、液體排放速度等有重要影響的力。在所有這些分量V1-V4中，V1對于沿著VA方向的液體排放過程有最大的影響，V4對于沿著VA方向的液體排放過程有最小的影響。相反，在本發(fā)明圖4中的情況下，所有的沿著各個方向傳播的分力，V1-V4都通過可動元件31被導(dǎo)向下游側(cè)(液體排放口)，稱為VA的壓力傳播方向。因此，氣泡40的壓力高效地推動液體。象壓力分力V1-V4一樣，氣泡本身被導(dǎo)向下游側(cè)，氣泡在下游側(cè)的增長大于在上游側(cè)的增長。因為氣泡本身的增長和氣泡壓力傳播方向由可動元件控制，液體排放效率、液體排放力、液體排放速度極大改善。再參考圖1A到1D，液體排放頭的操作將描述如下。圖1A表示了在能量例如象電能被施加給生熱元件2之前亦即生熱元件產(chǎn)生熱之前的液體排放頭。注意到，可動元件31被安置與液體排放頭的生熱元件產(chǎn)生的氣泡的下游側(cè)相對。換句話說，可動元件31安置在液體流通道中的生熱元件的中心3的下游側(cè)(即在穿過生熱元件的中心3與液體流通道的縱軸相交的一條線的下游側(cè))。圖1B表示了液體排放頭，其中，隨著能量例如象電能使得生熱元件2產(chǎn)生熱，隨著該熱的產(chǎn)生，在生泡區(qū)11內(nèi)的液體的一部分被加熱，隨著薄膜沸騰而產(chǎn)生氣泡。在這種情況下，通過氣泡40的壓力可動元件31從第一個位置移動到第二個位置，以把該壓力向液體排放口傳播。注意到，可動元件31的自由端32位于下游側(cè)(液體排放口一側(cè))，它的支承端33位于上游側(cè)(公共液體室一側(cè))，因此，至少可動元件的一部分面對生熱元件2的下游側(cè)，又稱為氣泡的下游側(cè)。圖1C表示了氣泡更加增大的狀態(tài)。在這個圖中，可動元件31通過氣泡40的壓力更進(jìn)一步移動。產(chǎn)生的氣泡在下游側(cè)的增長大于在上游側(cè)的增長，同時它越過可動元件31的第一個位置(點劃線)。如上所述，隨著氣泡40的增長可動元件31緩慢移動，氣泡的增長一致地向使得氣泡40的體積和壓力更容易移動的方向亦即向可動元件的自由端方向發(fā)展，最終導(dǎo)向液體排放口。結(jié)果，液體排放效率被提高?？蓜釉?1幾乎不會阻止氣泡的傳播以及由氣泡產(chǎn)生形成的壓力波導(dǎo)向液體排放口。隨著壓力的傳播，這樣的元件可以高效地控制壓力傳播的方向以及氣泡的增長方向。圖1D表示了在上述的薄膜沸騰后，依據(jù)氣泡內(nèi)的壓力的氣泡40的收縮和消失。在這種情況下，電能不在提供給生熱元件2。(至少，不提供足以支持氣泡的能量)?？蓜釉?1由于氣泡的收縮以及彈性可動元件31本身的恢復(fù)力導(dǎo)致的負(fù)壓從而從第二個位置移動到圖1A中的初始位置(第一個位置)。當(dāng)氣泡破裂后，為補(bǔ)充生泡區(qū)11內(nèi)氣泡體積的降低以及補(bǔ)充排放的液體量，在上游側(cè)(圖中的B側(cè))的液體亦即從如流動VD1和VD2所示的公共液體室以及從如流動VC所示的液體排放口的液體產(chǎn)生流動。在上述的液體排放過程中，電子脈沖能量被施加給生熱元件2。在這種情況下，由于氣泡的產(chǎn)生過程導(dǎo)致的液滴的排放與施加的脈沖能量相對應(yīng)。(該脈沖由產(chǎn)生氣泡的脈沖和不產(chǎn)生氣泡的先頭脈沖結(jié)合而成。)因此，當(dāng)這樣的脈沖是一個電能時，與一個液滴排放對應(yīng)的脈沖的能量數(shù)可以由脈沖持續(xù)過程中的電流和電壓的乘積獲得。由于氣泡產(chǎn)生的可動元件的操作和液滴排放操作已經(jīng)作了描述。液體排放頭中的液體再補(bǔ)充操作將在下面作詳細(xì)描述。如圖1C所示，當(dāng)氣泡40經(jīng)過其最大體積而開始收縮，液體通過在第一液體流通道14一側(cè)的液體排放口18以及在第二液體流通道16內(nèi)的公共液體室13流動到生泡區(qū)11，以彌補(bǔ)由于氣泡破裂導(dǎo)致的液體體積的降低。在沒有可動元件31的常規(guī)液體流通道的情況中，從液體排放口以及公共液體室一側(cè)流入氣泡破裂點的液體量由鄰近液體排放口的區(qū)域以及鄰近公共液體室的區(qū)域內(nèi)的流動阻力(亦即，流通道的阻力加上液體的慣性)來控制。因此，如果鄰近液體排放口的區(qū)域的流動阻力低，大量的液體可以流入到氣泡破裂點，彎液面的返回距離增大。特別是，如果鄰近液體排放口的區(qū)域的流動阻力降低以提高液體排放效率，則這樣的流動阻力越低，彎液面的返回距離越大。結(jié)果，液體的再補(bǔ)充時間增加，高速打印是不可能的?；谏鲜龅囊后w排放原理，在具有可動元件31的液體排放頭的情況中，當(dāng)氣泡破裂，可動元件31返回到最初位置，彎液面返回運動停止。在這樣的排放頭中，氣泡體積W被可動元件31分成向上的體積W1和向下的體積W2亦即位于生泡區(qū)11一側(cè)的體積W2。液體體積W2的降低的體積主要由在第二液體流通道16內(nèi)的流動VD2來提供。在常規(guī)的液體排放頭中，彎液面的返回距離與氣泡體積W的大約一半對應(yīng)，而在依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭中，彎液面的返回距離可以降低到氣泡體積W1的大約一半。此外，與W2對應(yīng)的液體主要通過氣泡破裂壓力由第二液體流通道16的上游側(cè)沿著可動元件31的生熱元件一側(cè)來提供。因此，實現(xiàn)了更快的液體再補(bǔ)充操作。在常規(guī)的液體排放頭的情況中，如果液體的再補(bǔ)充操作利用氣泡收縮壓力來完成，彎液面的振動增加，圖象質(zhì)量變差。然而，在依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭的情況中，可動元件31防止了在第一液體流通道14內(nèi)的液體與液體排放口一側(cè)的生泡區(qū)11內(nèi)的液體互相連通。結(jié)果，彎液面的振動極大降低。如上所述，通過利用本發(fā)明的液體排放原理，通過第二液體流通道16的液體供給通道12能夠完成給生泡區(qū)11提供液體的再補(bǔ)充操作，通過控制上述的彎液面的返回運動及振動從而完成高速的液體再補(bǔ)充操作。結(jié)果，實現(xiàn)了穩(wěn)定液體排放操作和重復(fù)的液體排放操作。當(dāng)本發(fā)明用于記錄領(lǐng)域時，能夠獲得質(zhì)量提高的圖象和高速的記錄。在上述的液體排放原理有其它的一些有效功能，下面將要描述。這就是說，可以防止由于氣泡產(chǎn)生形成壓力的向上游方向的傳播(回壓波)。在常規(guī)液體排放裝置的情況中，在所有的在生熱元件上產(chǎn)生的氣泡的壓力中，在公共液體室一側(cè)的壓力變?yōu)榘岩后w推回上游側(cè)的壓力(回壓波)。這種回壓波在上游側(cè)產(chǎn)生壓力，由于液體的流動而產(chǎn)生液體的移動以及慣性。這樣的壓力阻止了在液體流通道中的液體再補(bǔ)充操作以及高速的驅(qū)動操作。通過利用上述的液體排放原理，可動元件31控制這些效果并且改善液體再補(bǔ)充操作。依據(jù)本發(fā)明的實施例將參考這樣的原理在下面作詳細(xì)描述。(實施例1)依據(jù)本發(fā)明的第一個實施例的液體排放頭將在下面作詳細(xì)描述。該液體排放頭的結(jié)構(gòu)與圖2中所示的部分剖面透視圖中的排放頭相同。然而，可動元件31的自由端到第一液體流通道內(nèi)的液體排放口18之間的距離稍長于圖2中所示的情況。此外，從該自由端到緊靠液體排放口18的位置之間的液體流通道的截面形狀不變化。該截面在接近液體排放口18處突然減小。因此形成液體排放口18。圖5A是液體排放頭的液體排放區(qū)的示意剖面圖。這是從第一液體流通道14看該區(qū)的簡圖。圖6是圖5A到5B中沿著6-6線切開的液體排放頭的示意剖面圖。圖7A到7C表示液體排放頭的液體排放順序操作。在圖中，S0(μm2)是液體排放口18的(開口)面積，OE(μm)是從液體排放面與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的距離，Vd(μm3)是一個液體排放操作的液體排放量。在大多數(shù)液體排放頭中，典型地，經(jīng)常使用的上限值為S0≤1000，OE≤150，Vd≤100×103。當(dāng)從這個排放頭的小孔排放出液滴時，生熱元件2和可動元件31設(shè)計為具有足夠的液體排放量，因此，一個液體排放操作的液體排放量的值由下面給出的公式計算Vd＝S0×OE……(1a)這就是說，液體排放量Vd應(yīng)該為從液體排放口18到可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的體積(圖中陰影線所示)。當(dāng)可動元件31的自由端的寬度比液體排放口的直徑窄時，這樣的體積是包括于自由端的位移軌跡面于液體排放口之間的體積。為實現(xiàn)Vd＝40×103體積的液體的排放，S0應(yīng)為400而OE應(yīng)為100。在這種情況下，生熱元件2的寬度應(yīng)為36μm，長度應(yīng)為85μm。從穩(wěn)定性的角度考慮，可動元件31的寬度最好應(yīng)大于液體排放口的直徑，該寬度應(yīng)大于生熱元件的寬度亦即大于40μm。另一方面，可動元件與生泡區(qū)有相同的寬度。這樣的寬度大于有效生泡區(qū)的寬度(比生熱元件的周邊小1～8μm的區(qū)域)。液體排放口的周邊由一層液體覆蓋，這些液體由于其粘度而未被排出。根據(jù)液體的物理性質(zhì)該層液體的厚度可能為0～10％。這就是說，Vd可以用下列等式表示S0×OE≥Vd≥0.9×S0×OE……(1b)在排出Vd體積的液體時，排出量至少維持在小于±15％。在圖6中，可動元件31的運動的位移軌跡面大于液體排放口面積，與小孔的投影平面的所有區(qū)域相交。如果該位移軌跡面不與該區(qū)域相交，可動元件的自由端沿著流動方向上分成前部和后部，因此，流體排放量不精確。在某些情況下，依據(jù)可動元件的自由端，液體被分成一個前部和后部。在其它的情況下，液體在鄰近支承端的一個直線附近被分隔開。從自由端看，這樣的直線大約距離支承端10μm，則液體排放量可以由下面給出的等式表示的范圍來控制S0×(OE+10μm)≥Vd≥S0×OE……………(1c)如何獲得這樣的排放量將參考圖7A到圖7C中作描述。圖7A表示能量施加給生熱元件2前的靜止?fàn)顟B(tài)。這個液體流通道充滿著某種液體，例如墨水，在液體排放口形成一個彎液面M。如上所述，注意到，可動元件31位于至少面對氣泡下游的位置上，該氣泡是由來至生熱元件2的熱量形成的。這就是說，可動元件31與在液體流通道中的生熱元件2的中心(一個穿過生熱元件2中心并與流通道的縱軸相交的一條線(圖6中的虛線所示))的下游側(cè)相對，因此，可動元件31隨著氣泡的下游部分而被推動。在這種狀態(tài)下，電能施加給生熱元件2。圖7B表示了電能施加給生熱元件2的狀態(tài)。在這種情況下，在生泡區(qū)11內(nèi)的部分液體隨著熱的產(chǎn)生而被加熱，由薄膜沸騰而產(chǎn)生氣泡。因此，可動元件31通過氣泡產(chǎn)生形成的壓力向上面的第一液體流通道14流動。隨著可動元件31的移動，壓力從可動元件31的自由端的位移位置向著排放口傳播。向著自由端側(cè)的下游側(cè)，以及第一公共液體室移動。根據(jù)液體流通道的結(jié)構(gòu)、液體的種類和施加的能量，典型地，在施加脈沖能量開始后的1μm內(nèi)，由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力到達(dá)一個最大值，往后逐漸降低。這就是說，這樣的壓力到達(dá)最大值早于氣泡的增長過程，作為波動(一個壓力波)傳播的壓力開始下降，而氣泡還在增長。圖7C表示了氣泡還在進(jìn)一步增長。在這種情況下，可動元件依據(jù)氣泡產(chǎn)生形成的壓力進(jìn)一步向上移動。產(chǎn)生的氣泡在下游側(cè)的增長大于上游側(cè)的增長，并在第一液體流通道內(nèi)延伸。因為可動元件31依據(jù)氣泡的增長進(jìn)一步移動，氣泡的增長方向是壓力和體積變化更容易的方向，亦即向著可動元件31的自由端的方向。在這種情況下，壓力在可動元件31的自由端的下游側(cè)向排放口18方向傳播。在這種液體排放頭的情況下，如圖中所示，液體流通道的截面從可動元件31的自由端到液體排放口18逐漸變窄。因此，在液體排放口18附近的流動阻力逐漸增加。特別是，在上述的很短時間內(nèi)由壓力向小孔加速的液體的大部分充滿于陰影部分S0×OE。因此，在液體分排放過程中，充滿在其它部分的液體移動但只有很少部分被排放。在液體流通道14中的可動元件31的自由端的下游側(cè)的所有液體不可能被排放。這就是說，只有與小孔和自由端的位移軌跡面之間的空間內(nèi)的體積對應(yīng)的液體，亦即由等式(1)表示的液體排放量Vd被排放。在流動方向改變的自由端，流動被分成兩個部分，一個部分流向小孔，另一個部分流向下游部分。結(jié)果，只有由等式(1a)、(1b)和(1c)所示的液體被排放。圖8表示了當(dāng)依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭中液體排放壓力變化時液體排放量Vd的變化。液體排放飽和區(qū)，亦即本發(fā)明的特征之一將參考這個附圖作一描述。在本實施例中，生熱元件的面積變化(增加)以改變液體排放能量。這個生熱元件由一個氣泡產(chǎn)生區(qū)(有效的氣泡產(chǎn)生面積H)和一個非氣泡產(chǎn)生區(qū)，亦即邊緣部分(在本實施例中，邊緣部分4μm寬度的區(qū)域)。在該邊緣部分內(nèi)，由于溫度低而沒有氣泡產(chǎn)生。如果其它設(shè)計參數(shù)恒定，液體排放量幾乎與這樣的有效生泡面積H成正比。然而，當(dāng)Vd隨著有效的氣泡產(chǎn)生面積H的增加而增加，在Hv變成Vd＝S0×OE，由于上述原因，其中液體排放量不變化的區(qū)域(飽和區(qū))出現(xiàn)。因此，通過設(shè)置生熱元件的面積使得有效的氣泡產(chǎn)生面積大于Hv，保證了穩(wěn)定的液體排放量，而與環(huán)境因素?zé)o關(guān)。這就是說，典型地，可以獲得以Vd＝S0×OE表示的穩(wěn)定的液體排放量Vd。即使液體的粘度很高，可以在S0×OE≥Vd≥0.9×S0×OE的范圍內(nèi)保證穩(wěn)定的液體排放量Vd，精確度為±5％。即使液體由于可動元件的移動在偏離自由端的位移軌跡面的一個直線處被分隔開，也可以獲得S0×(OE+10μm)≥Vd≥S0×OE的液體排放量。即使在最糟糕的情況下，即上述的兩個相反的因素同時存在時，仍可以獲得S0×(OE+10μm)≥Vd≥0.9×S0×OE的液體排放量。在本發(fā)明的實施例中，在飽和區(qū)內(nèi)的作為液體排放量的液體排放能量通過改變生熱元件的面積來調(diào)節(jié)。然而，這樣的液體排放能量也可以通過改進(jìn)液體流通道、可動元件等的結(jié)構(gòu)來調(diào)節(jié)。如圖8所示，隨著有效生泡面積H(亦即施加的能量)的增加，液體排放量Vd趨于飽和。當(dāng)有效生泡面積為Hv時，從液體排放口18排放的液體排放量可以表示為Vd＝S0×OE。在這種情況下，在有效生泡面積大于Hv時，液體排放量Vd變得恒定，獲得一個穩(wěn)定的液體排放量，而與有效生泡面積H(施加的能量)無關(guān)。在本實施例中，如上所述，對應(yīng)體積Vd＝S0×OE的液體從液體排放口18排放。沒有排放的液體沿著液體流通道的內(nèi)壁，留在可動元件31的自由端的下游側(cè)的第一液體流通道14內(nèi)。因此，當(dāng)液體排放后借助殘余液體的表面張力可以更容易地完成液體的再補(bǔ)充作業(yè)。如上所述，在本實施例中，充滿在液體排放口18與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的空間內(nèi)的液體可以被定義為液體排放量，因此所需的液體排放量可以通過改變液體排放口面積S0和距離液體排放口18的距離OE來得到。此外，通過施加液體排放能量大于上述體積液體所需的液體排放能量，可以獲得一個穩(wěn)定的液體排放量，由于環(huán)境和制造因素導(dǎo)致的誤差將會很小。另一方面，液體排放后，液體的再補(bǔ)充速度也更容易地完成，能夠獲得一個高速的打印速度。本實施例的其它結(jié)構(gòu)特點和效果將在下面作描述。在本實施例中，第二液體流通道16包括一個液體供應(yīng)流通道12，其內(nèi)壁基本與生熱元件上游側(cè)的生熱元件2的生熱表面(在同樣高度上的生熱表面)平齊。在這種情況下，沿著可動元件31的生泡區(qū)11附近的表面，提供如VD2所示的液體給生泡區(qū)11的表面和生熱元件2的表面。因此，液體不會停滯在生熱元件2的表面。很容易地清除溶解在液體中的氣體和殘留在這里的氣泡。同時，防止集聚大量的熱量。因此，在高速下可以重復(fù)穩(wěn)定地產(chǎn)生氣泡。在本實施例中，第二液體流通道16有一個液體供應(yīng)流通道12，帶有一個基本平的的內(nèi)壁。本發(fā)明不限于該結(jié)構(gòu)。液體流通道的形狀可以包括任何具有光滑內(nèi)壁并幾乎在同一高度與生熱元件的表面相連接的液體流通道，在這種液體流通道的結(jié)構(gòu)中，液體不會停滯在生熱元件的表面，不會導(dǎo)致液體供應(yīng)的大的波動。液體通過一個可動元件的側(cè)面(一個狹縫35)提供給生泡區(qū)的液體如VD1所示。為了把由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力有效地導(dǎo)向液體排放口，可以使用一個大的可動元件，它可以覆蓋整個生泡區(qū)11(覆蓋生熱元件的表面)如圖1A到1D或者7A到7C所示。如果上述的大的可動元件具有這樣的結(jié)構(gòu)，即，當(dāng)可動元件31返回到第一個位置時，在生泡區(qū)11和第一液體流通道14內(nèi)的流動阻力增加，則可防止液體從VD1到生泡區(qū)11的流動。然而，在本實施例的液體排放頭的情況下，由于提供給生泡區(qū)11的VD1存在，大大改善了液體的供應(yīng)操作。因此，即使生泡區(qū)11被覆蓋上可動元件31以提高液體排放效率，液體供應(yīng)效率也不會減低。如圖9所示，可動元件31的自由端32相對于其支承端33位于上游側(cè)。因此，在氣泡產(chǎn)生過程中，由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力和增長的氣泡被高效地導(dǎo)向液體排放口。此外，由于這樣的結(jié)構(gòu)，不僅液體排放性能和效率大大提高，而且在液體供應(yīng)過程中，液體流通道10中的流動阻力下降。結(jié)果，實現(xiàn)了一個高速的液體再補(bǔ)充操作。這些優(yōu)點可以通過下面的結(jié)構(gòu)來獲得，在該結(jié)構(gòu)中可動元件31的自由端是這樣設(shè)計的，如圖9所示，當(dāng)由于液體排放操作而拖回的彎液面M由于毛細(xì)管力返回到液體排放口，以及當(dāng)提供液體以補(bǔ)充氣泡破裂而損失的液體時，它們不會阻止在液體流通道10中的流動S1、S2和S3。更特別是，在本實施例中，如上所述，可動元件31的自由端32位于生熱元件2的中心線3的下游側(cè)，生熱元件2把可動元件的自由端分成一個上游部分和一個與生熱元件2相對的下游部分(該線穿過生熱元件2的中心(中點)與液體流通道的縱軸相交)。因此，在生熱元件的中心線的下游側(cè)產(chǎn)生的對液體排放操作有重大影響的壓力和氣泡推動可動元件31?？蓜釉?1向著液體排放口18傳遞這樣的壓力和氣泡，極大地改善液體的排放效率和液體排放力。通過在下游側(cè)利用氣泡也可以獲得許多所需的效果。在本實施例中的結(jié)構(gòu)中，可動元件31的自由端的瞬時機(jī)械運動可以實現(xiàn)有效的液體排放操作。(實施例2)圖10表示依據(jù)本發(fā)明的第二個實施例的液體排放頭。在整個圖中，A表示運動中的可動元件(氣泡未示出)。B表示初始位置的可動元件。在狀態(tài)B，生泡區(qū)11基本密封液體排放口。(在這個圖中，一個把A和B分隔開的流通道壁未示出)在圖中，可動元件31在其側(cè)面帶有兩個基底34，在兩個基底之間形成一個液體供應(yīng)流通道12。因此，液體可以在生熱元件的表面沿著可動元件31，或者通過安置在基本同樣高度或帶有基本同樣高度的表面的液體供應(yīng)流通道來提供。在本實施例的結(jié)構(gòu)中，通過液體排放口18的液體排放操作被設(shè)置在飽和區(qū)內(nèi)。排放能量對應(yīng)液體排放口18與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的空間的體積。因此，象第一個實施例一樣，通過在飽和區(qū)內(nèi)使用這種結(jié)構(gòu)的液體排放頭，既可以獲得一個穩(wěn)定液體排放量又可以獲得一個穩(wěn)定的液體再補(bǔ)充操作。當(dāng)可動元件31位于初始位置時(第一個位置)，它與安置在靠近生熱元件2的下游側(cè)壁36和側(cè)壁37或者與其接觸，并與生熱元件2的下游側(cè)橫向相交。在這種情況下，可動元件31使得生泡區(qū)11的液體排放口18的側(cè)面與其它部分之間密封。因此，由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力，特別是是在氣泡的下游側(cè)的所有壓力集中地作用于可動元件31的自由端。當(dāng)氣泡破裂時，可動元件31返回到第一個位置。在這種情況下，如果液體提供給生熱元件2的表面上，生泡區(qū)11一側(cè)的液體排放口18被基本密封。因此，可以獲得上述的各種效果，象第一個實施例中的防止彎液面的拖回運動等等。在液體再補(bǔ)充操作中，可以獲得與第一個實施例中同樣的功能和結(jié)果。在本實施例中，如圖2和10所示，一個用于支承可動元件31的基底34安置在上游側(cè)，與生熱元件2相距一定距離?；?4的寬度比液體流通道10的寬度要窄。如上所述，液體被提供給液體供應(yīng)流通道12?；?4的形狀不限于此。它可以具有任何形狀，只要它能順利地完成液體再補(bǔ)充操作。在本實施例中，可動元件31與生熱元件31之間的距離大約為5μm。然而，可動元件31與生熱元件2之間的任何間隙都可以，只要由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力被有效地傳遞向可動元件31。(實施例3)圖11表示了本發(fā)明的一個基本構(gòu)思。這個圖表示了本發(fā)明的第三個實施例的液體排放頭。在上述的第一和第二個實施例中，當(dāng)可動元件31快速移動時，由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力集中作用于可動元件31的自由端，以把氣泡的運動集中于液體排放口18。在本實施例中。產(chǎn)生的氣泡不會受到嚴(yán)格的限制。只有直接作用于液體排放口18一側(cè)的氣泡亦即在下游側(cè)的氣泡在可動元件31的自由端受到控制。這就是說，如圖11所示的液體排放頭不同于第一個實施例(見圖2)中的液體排放頭，在第一個實施例中，前者帶有一個凸進(jìn)部分(如圖中陰影線所示)作為位于元件基座1的生泡區(qū)11的下游側(cè)的端部的一個障礙物。簡單地說，可動元件31的自由端區(qū)域和兩側(cè)基本不在生泡區(qū)與液體排放口區(qū)域之間實現(xiàn)密封。相反，它們向著生泡區(qū)11開口。這是本實施例的一個特點。在本實施例中，通過液體排放口18的液體排放量也設(shè)置在飽和區(qū)域。排放能量對應(yīng)于液體排放口18與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的空間的體積。因此，象第一和第二個實施例一樣，通過在這樣的飽和區(qū)使用這樣的液體排放頭，可以獲得一個穩(wěn)定的液體排放量和一個高速的液體再補(bǔ)充操作。在本實施例中，氣泡可以在下游側(cè)的端部增長，直接作用于液滴排放操作。因此，這樣的壓力分力可以有效地排放液體。此外，可動元件31的自由端下游側(cè)(分力VB，VB和VB)施加向上的壓力給在下游側(cè)端部的氣泡以協(xié)助氣泡的增長。因此象第一和第二個實施例一樣，提高了液體排放效率。和這些實施例相比，本發(fā)明對生熱元件的操作有很高的反應(yīng)度，而且結(jié)構(gòu)更簡單，更容易制造。本實施例的可動元件31的支承端置于基底34內(nèi)，基底34的寬度比可動元件31的寬度要窄。因此當(dāng)氣泡破裂時，液體通過基底的側(cè)面(如箭頭所示)提供給生泡區(qū)11。這樣的基底可以具有任何形狀，只要它能保證液體的供應(yīng)即可。在本實施例中，在液體供應(yīng)過程中的液體再補(bǔ)充操作中，當(dāng)氣泡破裂時，從上游側(cè)流到生泡區(qū)11的液體受到可動元件31的控制。因此，它優(yōu)越于只帶有生熱元件的常規(guī)的生泡裝置。當(dāng)然，彎液面的拖回運動可以被降低。在第三個實施例中，最好使得可動元件31的自由端的側(cè)面與生泡區(qū)11之間基本密封。通過這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)導(dǎo)向液體排放口18的壓力轉(zhuǎn)換成如上所述的在液體排放口端部的氣泡的增長后，該壓力可以被利用了。結(jié)果，液體排放效率又進(jìn)一步提高了。(實施例4)通過上述的機(jī)械位移進(jìn)一步提高液體排放效率的一個例子將在下面描述。圖12表示了一個這樣的一個液體排放頭的一個橫截面視圖?？蓜釉?1進(jìn)一步向液體排放口18延伸，使得其自由端接近于生熱元件2的更下游側(cè)。因此，可動元件31的位移速度在其自由端位置增加，因此，由于可動元件31的位移產(chǎn)生的液體排放力的產(chǎn)生就被進(jìn)一步加強(qiáng)。在本實施例中，通過液體排放口18的液體排放量也被設(shè)置在飽和區(qū)域。液體排放能量對應(yīng)于液體排放口18與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的空間的體積。因此，象第一個實施例一樣，通過在飽和區(qū)內(nèi)使用液體排放頭，可以獲得一個穩(wěn)定的液體排放量和高速的液體再補(bǔ)充操作。在本實施例中，和前面的實施例相比，可動元件31的自由端更接近于液體排放口，氣泡的增長可以集中于更穩(wěn)定的分力方向，因此液體排放效率可以進(jìn)一步提高。根據(jù)在氣泡產(chǎn)生導(dǎo)致的壓力的中心處的氣泡增長速度可動元件31以R1的速度移動。然而，在遠(yuǎn)離支承端33的自由端位置上，可動元件31以一個更快的速度R2移動。因此，自由端32機(jī)械地作用于液體，使得液體移動得更快。結(jié)果，液體排放效率被進(jìn)一步提高。此外，該自由端與液體流動方向垂直，如圖1A到1D所示，由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力和可動元件的機(jī)械運動在液體排放操作中更有效地發(fā)揮作用。(實施例5)依據(jù)本發(fā)明的第五個實施例的液體排放頭將參考圖13A到13C進(jìn)行描述。不同于上述實施例的液體排放頭，本實施例的液體排放頭有一個與液體排放口18直接相連但不與液體室相連的液體流通道。因此，本排放頭的結(jié)構(gòu)可以被簡化。這就是說，所有液體的供應(yīng)只是通過沿著可動元件31的生泡區(qū)的表面的液體流通道。可動元件31的自由端32和支承端33以及它們相對于生熱元件2的方向與上述的實施例中的一樣。在本實施例中，通過液體排放口18的液體排放量也被設(shè)置在飽和區(qū)域。液體排放能量對應(yīng)于液體排放口18與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的空間的體積。因此，象第一個實施例一樣，通過在飽和區(qū)內(nèi)使用液體排放頭，可以獲得一個穩(wěn)定的液體排放量和高速的液體再補(bǔ)充操作。本實施例也實現(xiàn)了上述的效果例如高的液體排放效率和良好的液體供應(yīng)性質(zhì)。特別是，通過減小彎液面的拖回運動和利用氣泡破裂時產(chǎn)生的壓力迫使液體再補(bǔ)充操作來供應(yīng)所有的液體。圖13A表示了通過利用生熱元件2在液體中產(chǎn)生氣泡的狀態(tài)，圖13B表示上述的氣泡收縮時的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，可動元件31返回到初始位置，液體通過S3提供。圖13C表示當(dāng)可動元件31返回到初始位置時，彎液面M的輕微返回運動在氣泡破裂后通過在液體排放口18附近的毛細(xì)管力再補(bǔ)充液體。(實施例6)依據(jù)本發(fā)明的第六個實施例的液體排放頭將在下面描述。本實施例的主要的液體排放理論與上述的每一個實施例的一樣。本實施例使用多個液體流通道。因此，液體可以被分為一個產(chǎn)生氣泡的液體部分(生泡液)和另一個被排放的液體部分(排放液)。圖14表示了沿著液體流通道方向的本實施例的液體排放頭的示意剖面圖。圖15表示了這樣的液體排放頭的部分剖面透視圖。該液體排放頭具有一個基底1。生熱元件2設(shè)置在上面。用于生泡液的第二液體流通道16安置在生熱元件2上。此外，與液體排放口18相連的第一液體流通道14設(shè)置在這樣的液體流通道16上。第一液體流通道14的上游側(cè)與用于給多個第一液體流通道提供排放液的第一公共液體室15相連通。另一方面，第二液體流通道的上游側(cè)與用于給多個第二液體流通道提供生泡液的第二公共液體室17相連通。然而，當(dāng)同樣的液體用于生泡液和排放液時，只需要一個公共液體室。一個由彈性材料例如金屬制成的分隔壁30設(shè)置在第一液體流通14道和第二液體流通道16之間。這樣的分隔壁把兩個液體流通道互相分隔開。如果需要最好把生泡液和排放液盡可能分隔開，第一液體流通道14與第二液體流通道16應(yīng)完全分隔開。如果不需要這樣的分隔，就不需要具有完全分隔功能的分隔壁。在伸向生熱元件2表面上方的空間(這里稱為排放壓力產(chǎn)生區(qū)域；生泡區(qū)11以圖14中的A和B表示)內(nèi)的分隔壁是一個懸臂形式的可動元件，它包括一個位于液體排放口(液體下游側(cè))一側(cè)的帶有一個狹縫35的自由端和一個位于公共液體室15、17的支承端33?？蓜釉?1指向生泡區(qū)11(B)，因此當(dāng)生泡液產(chǎn)生氣泡時，在第一液體流通道14內(nèi)它向液體排放口18開口(如圖中的箭頭方向所示)。在圖15中，分隔壁30設(shè)置在基座1上，上面安置有一個發(fā)熱電阻作為生熱元件和一個線電極5，該線電極5用于通過組成第二液體流通道16的空間向這樣的發(fā)熱電阻提供電信號?？蓜釉?1的自由端32和支承端33以及生熱元件2的設(shè)計與上述的每一個實施例一樣。第二液體流通道16與生熱元件2之間的關(guān)系與上述實施例中液體供應(yīng)流通道12與生熱元件2之間的關(guān)系相同。本液體排放頭的操作將參考圖16A和16B進(jìn)行描述。在本液體排放頭的實際操作中，同樣的墨水用作第一液體流通道14的排放液以及第二液體流通道16的生泡液。當(dāng)由生熱元件2產(chǎn)生的熱量施加給第二液體流通道16內(nèi)的生泡區(qū)11內(nèi)的生泡液時，如上面的實施例所述，由于薄膜沸騰而在生泡液中產(chǎn)生氣泡40，如美國專利4,723,129中描述的那樣。在本實施例中，由于氣泡不可能從除了生泡區(qū)11的上游側(cè)外其它三個方向跑掉，氣泡產(chǎn)生形成的壓力集中作用于在液體排放壓力產(chǎn)生區(qū)域的可動元件31的側(cè)面。在這個狀態(tài)下，依據(jù)氣泡的產(chǎn)生，可動元件31從如圖16A所示的位置移動到如圖16B所示的位置。通過可動元件31的位移，第一液體流通道14與第二液體流通道16自由連通。由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力主要向第一液體流通道14內(nèi)的液體排放口18(沿著方向A)傳播。通過上述這樣的傳播壓力和可動元件的機(jī)械運動液體從排放口排放。當(dāng)氣泡收縮時，可動元件31返回到如圖16A所示的位置，與排放液體量對應(yīng)的液體從第一液體流通道14的上游側(cè)提供。在本實施例中，象上述的每一個實施例一樣，液體提供的方向為使得可動元件關(guān)閉，因此可動元件31不會阻止液體的再補(bǔ)充操作。在本實施例中，通過液體排放口18的液體排放量也被設(shè)置在飽和區(qū)域。液體排放能量對應(yīng)于液體排放口18與可動元件31的自由端的位移軌跡面之間的空間的體積。因此，象第一個實施例一樣，通過在飽和區(qū)內(nèi)使用此液體排放頭，可以獲得一個穩(wěn)定的液體排放量和高速的液體再補(bǔ)充操作。在本實施例中，關(guān)于由于可動元件31的移動導(dǎo)致的氣泡壓力傳播、氣泡增長方向、回壓波壓縮等等的主要部件的運動和效果與第一個實施例中的相同。然而，本實施例包括兩個液體流通道(雙液體流通道)，因此它有下列優(yōu)點這就是說，在本實施例中，排放液和生泡液可以被分隔開使用，前者可以通過后者的氣泡壓力排放。因此，任何高粘度液體例如聚乙二醇可以用下述的方法排放。聚乙二醇由于其在加熱過程中的較低的生泡能力從而通過常規(guī)的液體排放頭不可能被排放。這樣的高粘度液體被提供給第一液體流通道14。然后，一個具有較高的生泡性能的生泡液(乙醇與水的比例為4∶6而粘度為1～2CP的混合物)和一個低沸點的液體被提供給第二液體流通道16。在第一液體流通道14內(nèi)排放液可以通過第二液體流通道16內(nèi)的氣泡壓力作用下可以自由排放。通過選擇不會在生熱元件2的表面形成燒焦殘余物的液體作為生泡液，能夠獲得一個穩(wěn)定的氣泡產(chǎn)生和順利的液體排放操作。本實施例的液體排放頭與上述的其它實施例具有相同的效果。因此，任何高粘度液體可以在高效率和高排放力下排放。如果使用不耐高溫排放液，這樣的液體應(yīng)該被作為排放液置于第一液體流通道14內(nèi)，而不會輕易變質(zhì)能夠順利產(chǎn)生氣泡的液體應(yīng)該提供給第二液體流通道16。然后，液體可以在上述的高效率和高排放力下排放。(其它的實施例)依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭和液體排放方法的主要部件和主要過程已經(jīng)作了描述。本發(fā)明應(yīng)用于這些實施例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)將在下面參考附圖進(jìn)行描述。除非上面已經(jīng)描述，下述描述的任何結(jié)構(gòu)既可以被應(yīng)用于具有一個液體流通道的實施例，又可用于具有兩個液體流通道的實施例。(液體流通道的頂部形狀)圖17表示依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭沿著液體流通道方向的剖面圖。一個帶有溝槽的元件50設(shè)置于分隔壁30上。該溝槽用于形成第一液體流通道13(或者圖1A中的液體流通道10)。在本實施例中，在可動元件31的自由端32處，液體流通道的頂部高度增加。結(jié)果，可動元件31的可移動角度(自由端繞支承端33的旋轉(zhuǎn)角度)可以在更寬的范圍內(nèi)選擇?？紤]到液體流通道的結(jié)構(gòu)、可動元件的耐用性和生泡能力，可動元件31的移動范圍就可以被確定。這樣的移動范圍應(yīng)該覆蓋包括液體排放口18的軸向角范圍。如圖所示，通過設(shè)置可動元件的自由端的高度大于液體排放口18的直徑，從而能夠傳遞更充足的排放壓力。而且如圖所示，在可動元件31的支承端33的液體流通道的高度比自由端處的高度低，可以有效地防止壓力波由于可動元件31的運動而向上游方向傳播。(第二液體流通道和可動元件的設(shè)計)圖18A到18C表示上述的可動元件31與第二液體流通道16的設(shè)計圖。圖18A是一個鄰近分隔壁30和可動元件31的一個剖面的俯視圖。圖18B是一個去除了分隔壁30的第二液體流通道的俯視圖。圖18C表示可動元件31和第二液體流通道16相互迭置后的關(guān)系示意圖。在每一個圖中，排放口的前部位置如圖中的底部所示。本實施例的第二液體流通道16在生熱元件2的上游側(cè)有一個狹窄的部分19。(該上游側(cè)是指沿著從第二公共液體室穿過生熱元件、可動元件31和第一液體流通道到液體排放口的較長的流動方向上的一個上游部分。)這樣的較窄的部分19是一個室(生泡室)，該室可以防止氣泡產(chǎn)生形成的壓力跑向第二液體流通道16的上游側(cè)。在常規(guī)的液體排放頭中，同樣的液體流通道用于生泡液和排放液，而較窄的部分19設(shè)置于靠近液體室而不是靠近生熱元件以防止產(chǎn)生的壓力向液體室方向傳播。在這種情況下，不過多減少較窄部分的橫截面積是非常必要的，以便在足夠的速度下完成液體的再補(bǔ)充操作。然而，在本實施例的液體排放頭的情況下，能夠在第一液體流通道內(nèi)大量使用排放液而在安置有生熱元件2的第二液體流通道內(nèi)小量使用生泡液，因為后者的液體的消耗量不大。這就是說，只有小量的生泡液需要向第二液體流通道16的生泡區(qū)11補(bǔ)充。因此，上述的窄的部分19的縫隙可以被極大地降低，例如降低到幾個到十幾個μm，結(jié)果，能夠進(jìn)一步防止氣泡產(chǎn)生形成的壓力跑向外圍區(qū)域。這就是說，這樣的壓力可以被集中于可動元件31的側(cè)面。通過利用可動元件31使得這樣的壓力作為液體排放壓力，可以獲得更高的液體排放效率和更強(qiáng)大的液體排放壓力。第二液體流通道的形狀不限于上述的形狀。任何結(jié)構(gòu)都可以使用，只要它能夠有效地把氣泡產(chǎn)生形成的壓力有效地向可動元件31傳播。如圖18C所示，第二液體流通道16的壁的一部分被可動元件31的一側(cè)所覆蓋，因此可動元件31不會掉落到第二液體流通道16內(nèi)。通過這樣的結(jié)構(gòu)，上述的在排放液與生泡液之間的分隔變得更完全。此外，通過狹縫35的氣泡的釋放被防止，因此進(jìn)一步提高了液體排放效率和液體排放壓力。而且，從上游側(cè)通過氣泡破裂形成的液體再補(bǔ)充操作可以被進(jìn)一步提高。在圖16B和圖17中，隨著可動元件31的朝著第一液體流通道14向上的位移，第二液體流通道16內(nèi)產(chǎn)生的氣泡的一部分向第一液體流通道14內(nèi)延伸(擴(kuò)展)進(jìn)入。通過設(shè)置第二液體流通道16的高度使得如上所述使得氣泡延伸，液體排放壓力可以進(jìn)一步提高。為了使得氣泡延伸進(jìn)入第一液體流通道14，最好設(shè)置第二液體流通道16的高度低于氣泡的最大高度，例如幾個到30μm。在本實施例中，這樣的高度是15μm。(可動元件和分隔壁)圖19A到19C表示可動元件31的另外一個形狀。在圖中，在分隔壁上的狹帶35是可動元件31。圖19A表示了一個常規(guī)的可動元件。圖19B表示了在支承端一側(cè)有一個小的部分并可以自由移動的可動元件。圖19C表示在支承端一側(cè)有一個寬的部分因而具有很高的耐用性的可動元件。為順利的操作和高的耐用性，在如圖18A中，可動元件最好在支承端一側(cè)有一個較窄的弧形部分。因為可動元件31不進(jìn)入第二液體流通道16，所有它可以具有任何形狀使得它能夠在高的耐用性下操作。在上述的實施例中，片形的可動元件31和帶有該分隔膜的分隔壁30由厚度為5μm的鎳片制成。然而，分隔壁30和可動元件31可以由任何材料制成，只要這種材料既抗生泡液又抗排放液并且具有適合可動元件31的彈性，在其中可以形成一個狹縫。對于這種可動元件的最佳材料如下具有耐用性的金屬，如銀、鎳、金、鐵、鈦、鋁、鉑、鉭、不銹鋼或者磷青銅，它們的合金；樹脂材料，例如，具有含氮化物基團(tuán)如丙烯腈，丁二烯和苯乙烯的樹脂材料；具有酰胺基如聚酰胺的樹脂；具有羧基如聚碳酸酯的樹脂；具有醛基如聚醛樹脂的樹脂；具有砜基如聚砜的樹脂；液晶聚合物這樣的樹脂及它們的混合物；以及能耐墨水的金屬，如金、鎢、鉭、鎳、不銹鋼、鈦以及它們的合金；涂敷有這些金屬或合金的材料；或具有酰胺基如聚酰胺的樹脂；具有醛基如聚醛樹脂的樹脂；具有酮基如聚醚酮醚的樹脂；具有亞胺基如聚酰亞胺的樹脂；具有羥基如酚醛樹脂的樹脂；具有乙基如聚乙烯的樹脂；具有烷基如聚丙烯的樹脂；具有環(huán)氧基如環(huán)氧樹脂的樹脂；具有酰胺基如蜜胺樹脂的樹脂；具有羥甲基如甲苯樹脂的樹脂和它們的混合物；陶瓷材料如二氧化硅，以及它們的化合物。分隔壁的材料還包括具有很高的耐熱性、很強(qiáng)的防溶性、良好的塑造性的材料，例如現(xiàn)代的工程塑料，例如，聚乙烯、聚丙烯、聚酰胺、聚對苯二甲酸乙酯、蜜胺樹脂、酚醛樹脂、環(huán)氧樹脂、聚丁二烯、聚亞胺酯、聚醚酮醚、聚醚砜、多芳基化合物、聚酰亞胺、聚砜、液晶聚合物(LCP)，以及它們的混合物；或者金屬如二氧化硅，亞硝酸硅，鎳和金不銹鋼(goldstainlesssteel)，它們的合金和混合物；或者鍍有鈦的材料。在確定分隔壁的厚度時，應(yīng)當(dāng)考慮它的材料、形狀等，同時確保作為一可動元件所應(yīng)有的強(qiáng)度，并且能順利地操作，它的厚度最好為5～10μm。在本實施例中，作為可動元件31的狹縫35的寬度是2μm。如果這樣的壁需要用于防止兩種不同的液體亦即生泡液和排放液，狹縫35的寬度應(yīng)當(dāng)保證，在兩種液體之間形成的彎液面可以防止它們之間互相連通。例如，當(dāng)具有粘度2CP的液體作為生泡液，具有粘度100CP或者更大的液體作為排放液，狹縫的寬度為5μm可以防止它們之間互相混合。然而狹縫的寬度最好小于3μm。依據(jù)本發(fā)明的可動元件的厚度以μm計。任何厚度以cm單位計的可動元件不能用于本發(fā)明。如果在厚度以μm計的可動元件上面形成一個寬度以μm計的狹縫，在制造方法中應(yīng)當(dāng)考慮一些誤差。如果可動元件的自由端和/或一側(cè)相對的任何元件的厚度幾乎等于可動元件的厚度(圖16A、16B、17C所示)，考慮制造過程中的一些誤差，在給定的范圍內(nèi)通過調(diào)節(jié)狹縫的寬度和可動元件的厚度之間的關(guān)系可以防止生泡液和排放液的互相混合。在受限制的條件下，當(dāng)使用一個粘度為3CP或者更小的生泡液，而排放液具有高的粘度(5～10CP)，在W/t≤1的范圍內(nèi)可以防止兩種液體的互相混合。這個范圍可以作為設(shè)計階段的一個參考值。任何具有以μm或者類似量綱計的狹縫可以保證“基本密封狀態(tài)”。如上所述，生泡液和排放液可以分隔使用，可動元件基本是一個分隔壁。當(dāng)這樣的可動元件隨著氣泡的產(chǎn)生而移動時，一小部分生泡液與排放液混合。典型地，在噴墨記錄中，形成圖象的排放液含有3～5％的彩色顏料。因此，如果排放頭充有在20％范圍或者更少的范圍內(nèi)的生泡液，形成的圖象的密度不會改變很大。本發(fā)明包括兩種液體的這種混合。在實際的應(yīng)用上述的結(jié)構(gòu)的液體排放操作中，生泡液混合進(jìn)入各種粘度的排放液的百分比的上限是15％。在生泡液的粘度為5CP或者更小的情況下，依據(jù)驅(qū)動的頻率，這樣的百分比的上限為10。特別是，當(dāng)排放液的粘度小于20CP時，粘度越低，這樣的百分比越小(小于5％)。液體排放頭和可動元件的設(shè)計將在下面參考附圖進(jìn)行描述。然而，可動元件和生熱元件的形狀、尺寸、和數(shù)量不限于下面所述。通過優(yōu)化這些元件，氣泡產(chǎn)生形成的壓力可以更有效地作為液體排放壓力。在噴墨記錄法中，亦即氣泡噴墨記錄法，通過施加能量例如熱能給墨水產(chǎn)生一個突然的體積變化(由于氣泡的產(chǎn)生)，從而引起墨水的變化，由于這種狀態(tài)的變化產(chǎn)生的壓力使得墨水從排放口排放，這樣的墨水粘附在記錄介質(zhì)上。在這種情況下，如圖20所示，生熱元件2的面積和墨水排放量之間的關(guān)系是線性的，前者幾乎與后者成正比。我們已經(jīng)知道，存在一個有效的非生泡面積S，它不導(dǎo)致墨水的排放操作。我們也知道，從在生熱元件表面上的燒焦的殘余物的角度來看，這樣的有效的非生泡面積包圍著生熱元件。因此，可以考慮在生熱元件2的外周邊4μm寬度的范圍內(nèi)的區(qū)域不會導(dǎo)致氣泡的產(chǎn)生。為了更有效地利用氣泡產(chǎn)生形成的壓力，以這樣的方式安置可動元件將會非常有效，即可動元件的可操作部分覆蓋生熱元件2的距離外周邊4μm的生泡區(qū)。在本實施例中，有效的生泡面積如上所述，但是，這樣的面積將根據(jù)生熱元件的種類和制造方法而改變。圖21A和21B表示尺寸為58×150μm的生熱元件2和可動元件301和可動元件302(圖21A和圖21B所示)的布局的俯視圖。在圖21中，可動元件301的尺寸為53×145μm，小于生熱元件的面積。然而，這個尺寸幾乎等于有效生泡面積?？蓜釉O(shè)置為覆蓋上述的有效生泡面積。在圖21B中，可動元件302的尺寸為53×220μm，大于生熱元件2的面積。(可動元件302的寬度與生熱元件相同，但是從支承端到尖部的距離長于生熱元件2的長度。)象可動元件301一樣，可動元件302覆蓋有效生泡面積。兩種可動元件301、302的耐用性和液體排放效率在如下的測量狀態(tài)下測量。生泡液40％的乙醇水溶液排放墨水顏料墨水施加的電壓20.2V頻率3Khz結(jié)果，在可動元件301的測量中，如圖21A所示，當(dāng)1×107個脈沖施加后，其支承端發(fā)生破壞。在可動元件302的情況下，如圖21B所示，當(dāng)3×108個脈沖施加后，其支承端沒有發(fā)生破壞。從而證實，對于輸入能量，從液體排放量和液體排放速度計算的動能提高了大約1.5～2.5倍。從上述的試驗結(jié)果來看，很清楚，通過用可動元件的面積恰好覆蓋有效生泡面積可以提高耐用性和液體排放效率，其中可動元件的面積大于生熱元件的面積。圖22表示了從生熱元件的邊緣到可動元件的支承端的距離與可動元件的位移之間的關(guān)系。圖23表示了從側(cè)面看，生熱元件2與可動元件31的剖面圖。使用的生熱元件的尺寸是40×105μm。很清楚，隨著從生熱元件2的邊緣到可動元件31的支承端33的距離的增加，位移增加。最好通過尋找依據(jù)所需排放的墨水量、液體流通道結(jié)構(gòu)和生熱元件的形狀的優(yōu)化位移量來確定可動元件31的支承端33的位置。當(dāng)可動元件31的支承端33恰好位于生熱元件2的有效生泡面積之上時，由于可動元件位移產(chǎn)生的應(yīng)力以及由于氣泡產(chǎn)生形成的壓力直接作用于支承端33，使得可動元件31的耐用性降低。本發(fā)明的發(fā)明人通過試驗發(fā)現(xiàn)，當(dāng)可動元件31的支承端33恰好位于生熱元件2的有效生泡面積之上時，可動元件的分隔壁在施加脈沖到達(dá)約1×106時發(fā)生破壞，其耐用性降低。因此，通過設(shè)置這樣的支承端偏離這個位置，不具有很高耐用性的形狀和材料的可動元件31在實際中可以使用。然而，即使可動元件31的支承端33恰好位于生熱元件2的有效生泡面積之上，通過正確選擇可動元件的形狀和材料，可動元件可以具有很高的耐用性。通過這種結(jié)構(gòu)，可以獲得一個具有高的液體排放效率和良好耐用性的液體排放頭。(元件基底)帶有向液體提供熱能的生熱元件的元件基底的結(jié)構(gòu)將在下面作描述。圖24A和24B表示了依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭的縱向剖面圖。圖24A表示的液體排放頭帶有一個下面要說明的保護(hù)膜。圖24B表示的液體排放頭不帶有保護(hù)膜。一個帶有第二液體流通道16、分隔壁30、第一液體流通道14和用于形成第一液體流通道的帶有溝槽的元件50設(shè)置在元件基底上。在元件基底1上，一個由硅制成的基座107噴涂有一層用于隔熱和熱聚集的二氧化硅或者亞硝酸硅的薄膜106。在這樣的涂層中，一個由硼化鉿(HfB2)、氮化鉭(TaN)、鋁化鉭(TaAl)等等制成的電阻層105(厚度為0.1～0.2μm)，作為生熱元件2和線電極(厚度為0.2～1.0μm)被提花(patterned)如圖15所示。當(dāng)電壓從兩個線電極104傳遞到電阻層105時，電流流過該層，熱量產(chǎn)生。二氧化硅或者亞硝酸硅等的保護(hù)層104的厚度為0.1～2.0μm，形成于兩個線電極之間的電阻層上。在這個保護(hù)層上，涂覆一個鉭等的縫隙電阻層(厚度為0.1～0.6μm)103以保護(hù)電阻層105不受到各種液體例如墨水的破壞。特別是，由于氣泡產(chǎn)生和破裂產(chǎn)生的應(yīng)力和沖擊波非常敏感，因此，硬脆性的氧化膜的耐用性顯著降低。因此，使用一層金屬例如鉭(Ta)的縫隙阻隔層103?？梢允褂靡环N液體、液體流通道結(jié)構(gòu)和不需要上述保護(hù)層的阻隔材料的結(jié)合。圖24B表示了這種結(jié)合的一個例子。一個這種保護(hù)層的例子是銥-鉭-鋁合金。上述的每一個實施例的生熱元件可以只是上述的線電極之間的阻隔層或者一個阻隔層與保護(hù)層的一個結(jié)合。在上述的每一個實施例中，生熱元件具有一個生熱部分作為產(chǎn)生熱量的元件，該生熱部分通過一個電信號產(chǎn)生熱量。依據(jù)本發(fā)明的生熱元件不限于這種元件。任何生熱元件都可以使用，只要它能在生泡液中產(chǎn)生足夠的氣泡以排放液體。例如，可以使用一個生熱元件，它帶有一個光熱轉(zhuǎn)換器，當(dāng)受到激光等等的照射時會產(chǎn)生熱量，或者帶有一個生熱部分，它在高頻率下可以產(chǎn)生熱量。除了構(gòu)成生熱部分的電阻層105和構(gòu)成線電極104的電熱轉(zhuǎn)換元件外，在半導(dǎo)體的制造方法中還要使用驅(qū)動電熱轉(zhuǎn)換元件(生熱元件2)的功能部件，象晶體管、二極管、閂鎖寄存器(latchregister)和移位寄存器等。為了驅(qū)動基底上的電熱轉(zhuǎn)換元件的生熱部分以排放液體，一個如圖25所示的矩形波通過線電極104施加給電阻層105，以突然加熱這樣的電阻層105。在上述的每一個實施例的液體排放頭中，生熱元件2的驅(qū)動電壓為24V，脈沖寬度為7μs，電流為150mA，重復(fù)施加的頻率為6KHz。結(jié)果，液體亦即墨水通過上述的操作從液體排放口排放。然而，驅(qū)動信號不限于這樣的信號。任何信號都可以使用，只要能在生泡液中正確地產(chǎn)生氣泡即可。(帶有兩個液體流通道的液體排放頭的結(jié)構(gòu))下面描述的液體排放頭結(jié)構(gòu)可以把兩種液體分隔開，引入每一個第一公共液體室和第二公共液體室，部件數(shù)目降低，費用低廉。圖26表示一個液體排放頭的一個示意圖。與上述的實施例中的部件相同的部件參考同樣的標(biāo)號。這些部分的詳細(xì)描述在此忽略。圖27表示了這樣的一個液體排放頭的一個分解透視圖。帶有溝槽的元件50組成了開口板51，帶有一個液體排放口18，多個溝槽構(gòu)成了多個第一液體流通道凹入部分形成與多個第一液體流通道14相連通的第一公共液體室15，用于向每一個液體流通道提供液體(排放液)等等。通過使得分隔壁30與帶有溝槽的元件50的下部相連接，形成了多個第一液體流通道。這樣的帶有溝槽的元件50具有一個第一液體供給通道20，它通過第一公共液體室15與帶有溝槽的元件50的上部相連通。帶有溝槽的元件50還帶有一個第二液體供給流通道21，它穿過分隔壁30通過第二公共液體室與帶有溝槽的元件50的上部相連通。如圖26中的箭頭C所示，第一液體(排放液)提供給第一公共液體室15，然后穿過第一液體供應(yīng)流通道20到第一液體流通道14。如圖26中的箭頭D所示，第二液體(生泡液)提供給第二公共液體室17，然后穿過第二液體供應(yīng)流通道21到第二液體流通道16。在這種情況下，第二液體供應(yīng)流通道21設(shè)計為與第一液體供應(yīng)流通道20平行。然而，任何設(shè)計都可以，只要它能夠穿過設(shè)置在第一公共液體室15外面的分隔壁30與第二公共液體室17相連通。第二液體供應(yīng)流通道21的直徑可以考慮液體供應(yīng)量來確定。對于第二液體供應(yīng)流通道21，任何形狀象圓形和方形都可使用。第二公共液體室17可以利用分隔壁30把帶有溝槽的元件50分隔開形成。例如，如圖27所示，首先，通過利用在元件基底上形成一個干膜(dryfilm)形成一個公共液體室和一個第二液體流通道。第二，通過把帶有固定在元件基底1上的分隔壁30的帶有溝槽的元件50粘結(jié)成一個結(jié)合體形成第二公共液體室17和第二液體流通道16。在這個液體排放頭的情況中，如圖27所示，元件基底1安置在由金屬例如鋁制成的支座70上。這個元件基底1帶有多個作為生熱元件2的電熱轉(zhuǎn)換元件，生熱元件2用于產(chǎn)生熱量，從而依據(jù)薄膜沸騰在生泡液中產(chǎn)生氣泡。在元件基底1上，多個溝槽通過第二液體流通道壁構(gòu)成了第二液體流通道16。凹入部分和帶有可動元件31的分隔壁30安置在上面。這個凹入部分形成第二公共液體室(公共生泡液體室)17，與多個生泡液流通道(第二液體流通道)相連通，給每一個生泡液流通道提供生泡液。如上所述，帶有溝槽的元件50帶有一個溝槽，它與分隔壁30一起形成了排放液流通道(第一液體流通道)14；凹入部分作為第一公共液體室(公共排放液室)15，向每一個排放液流通道提供排放液；第一液體供應(yīng)流通道(排放液流通道)20，向第一公共液體室提供排放液；第二液體供應(yīng)流通道(生泡液供應(yīng)流通道)21，向第二公共液體室17提供液體。第二液體供應(yīng)流通道21與一個穿過分隔壁和第二公共液體室17相連通的連通道相連通，分隔壁30位于第一公共液體室15的外面。因此，生泡液可以被提供給第二公共液體室15，而不會穿過這個連通道與排放液混合。可動元件31安置在元件基底1的生熱元件2上。排放液連通道14安置在可動元件31的前部。在本實施例的情況下，帶有溝槽的元件50只帶有第二液體供應(yīng)流通道21。然而，帶有溝槽的元件50根據(jù)所需提供的液體量可以包括多個第二液體供應(yīng)流通道21。排放液供應(yīng)連通道20和生泡液供應(yīng)流通道21的截面積與所需供應(yīng)的液體量成正比。通過優(yōu)化連通道的面積，更緊湊的部件可以用于帶有溝槽的元件50。如上所述，在本實施例的情況中，向第二液體流通道提供第二液體的第二液體供應(yīng)流通道和向第一液體流通道供應(yīng)第一液體的第一液體供應(yīng)流通道由一個作為帶有溝槽的元件50的帶有溝槽的頂板形成。因此，構(gòu)件的數(shù)目可以被降低，制造過程可以縮短，能夠降低費用。第二液體利用第二液體供應(yīng)流通道穿過把第一液體和第二液體分隔開的分隔壁提供給與第二液體流通道相連的第二公共液體室。分隔壁、帶有溝槽的元件、和生熱元件基底可以在一步中結(jié)合在一起，因此可以生產(chǎn)出具有較高結(jié)合精度和改善的液體排放性能的液體排放頭。由于第二液體穿過分隔壁提供給第二公共液體室，足夠排放量的第二液體可以穩(wěn)定地供應(yīng)。(排放液和生泡液)如上所述，和一個常規(guī)的液體排放頭相比，依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭包括一個可移動元件，可以在較高的液體排放壓力和較高的液體排放效率下排放液體。當(dāng)同樣的液體用作排放液和生泡液時，這樣的液體不應(yīng)隨著生熱元件產(chǎn)生的熱量而破壞，不能在生熱元件上集聚燒焦的殘余物。此外，一個相反的狀態(tài)變化能夠產(chǎn)生于蒸發(fā)與凝聚之間。對于本發(fā)明的液體排放頭，各種液體可以使用，只要它不破壞液體流通道、可動元件、分隔壁等等。例如，在常規(guī)氣泡噴墨打印機(jī)上的墨水可以用作記錄介質(zhì)的液體(一種記錄液)。如上面的第六個實施例所述，當(dāng)在液體排放頭中具有兩個液體流通道，它們使用不同種類的液體作為排放液和生泡液時，任何性質(zhì)的液體都可以作為生泡液。這樣的液體的例子如下甲醇，乙醇，n-丙醇，異丙醇，n-己烷，n-庚烷，n-辛烷，甲苯，二甲苯，二氯甲烷，三氯乙烯，氟利昂TF，氟利昂BF，乙醚，二惡烷，環(huán)己烷，乙酸甲酯，丙酮，丁酮，水等等，以及它們的混合物。排放液體可以從各種液體中選擇，這些液體無需具有生泡液的特性和熱性能。任何具有低生泡性能因而不可能被輕易排放的液體，任何很容易破壞的液體和任何高粘度的液體都可以作為排放液。當(dāng)這樣的排放液單獨使用或者與生泡液一起使用時，排放液不應(yīng)阻礙可動元件的排放和生泡操作。極易受到熱影響的的液體如藥品、香料等也可以用作排放液。在本實施例中，有下述性質(zhì)的墨水用作記錄液體，它不僅可以作為排放液而且可以作為生泡液。由于液滴的著墨精度的提高，能夠獲得一個高質(zhì)量的圖象，其中，液滴在更高的液體排放壓力和更快的液體排放速度下排放。表1。表2<tablesid="table3"num="003"><tablewidth="882">物(酸價140和平均分子量8000)一乙醇胺0.25重量百分比％甘油69重量百分比％硫二甘醇5重量百分比％乙醇3重量百分比％水16.75重量百分比％排放液2(粘度55CP)聚乙二醇200100重量百分比％排放液3(粘度150CP)聚乙二醇600100重量百分比％</table></tables>當(dāng)使用任何通過常規(guī)的液體排放頭幾乎不能排放的液體時，由于低的排放速度導(dǎo)致液體排放方向的變化，在記錄介質(zhì)上的低的著墨精度亦即由于不穩(wěn)定的液體排放操作導(dǎo)致的不穩(wěn)定的液體排放量的原因，很難獲得一個高質(zhì)量的圖象。然而，在上述的實施例的情況中，通過利用生泡液可以實現(xiàn)足夠和穩(wěn)定的氣泡的產(chǎn)生。因此，液滴著墨精度可以提高，墨水排放量可以穩(wěn)定。結(jié)果記錄圖象的質(zhì)量可以極大地改善。(液體排放頭的制造)依據(jù)本發(fā)明的液體排放頭的制造方法將描述如下。在如圖2所示的液體排放頭的情況中，在元件基底1上通過提花(patterning)干膜形成用于可動元件31的基座34?？蓜釉?1粘結(jié)或者熔合在基座34上。然后，包括有多個溝槽的帶有作為每一個液體流通道10的溝槽的元件50，液體排放口18和作為公共液體室13的凹入部分以這種形式亦即溝槽與可動元件31相對應(yīng)的形式與元件基底連接在一起。帶有兩種液體流通道的液體排放頭的制造方法如圖14和27所示將描述如下。第二液體流通道16的壁在元件基底1上形成。分隔壁30安置在這樣的壁上。具有作為第一液體流通道14等等的溝槽的帶有溝槽的元件50安置在這樣的分隔壁30上?；蛘?，當(dāng)形成第二液體流通道壁后，帶有分隔壁30的帶有溝槽的元件50安置到這個壁上。這就制造了具有兩種液體流通道的液體排放頭。第二液體流通道的制造方法將在下面作詳細(xì)描述。圖28A到圖28E表示了具有兩個液體流通道的液體排放頭的制造方法的第一個實施例的示意剖面圖。在這個實施例中，如圖28A所示，通過利用一個與半導(dǎo)體的制造設(shè)備相同的設(shè)備，一個由硼化鉿、氮化鉭等構(gòu)成的具有生熱元件2的電熱轉(zhuǎn)換元件在元件基底1上形成。然后清洗元件基底1的表面以改善在下一個步驟中光敏樹脂的粘結(jié)性。為了進(jìn)一步改善這樣的粘結(jié)性，用紫外線、臭氧等對元件基底進(jìn)行照射以改善其表面狀態(tài)。然后用一種硅烷耦聯(lián)劑稀釋液旋轉(zhuǎn)涂敷這個改進(jìn)的表面。這種稀釋液是通過在乙醇中溶解重量百分比1％的硅烷耦聯(lián)劑而制備的(這種硅烷耦聯(lián)劑由NipponUnica制造，A189)。再一次清洗元件基底的表面，并在得到的表面上形成一層紫外線敏感樹脂膜(由TokyoOhka制造，干膜，OdylSY-318)，如圖28B所示。然后如圖28C所示，在干膜DF上放上光掩膜PM，并且用紫外線照射各部分，使得它成為第二液體流通道壁，這個通道壁位于干膜DF中并穿過光掩膜PM。這個照射步驟是在照射劑量約為600mJ/cm2下進(jìn)行的(所利用的設(shè)備MPA-600是從佳能公司(CANONINC)獲得的)。然后如圖28D所示，用由二甲苯和丁基溶纖劑醋酸酯(butylcellsolveacetate可從東京奧卡(TokyoOhka)有限公司獲得BMRC-3)組成的顯影劑使得干膜DF顯影，以便溶解沒有照射的部分，從而通過照射而變硬的部分就形成第二液體流通道壁。結(jié)果，在元件基底上的所有殘余物可通過氧氣等離子灰化系統(tǒng)(由Alcantech制造MAS-800)來加工大約90秒而去除。然后在150℃下用照射劑量為100mJ/cm2的紫外線照射2小時，使得照射的部分完全變硬。通過以上步驟，第二液體流通道的加熱板(單元基底)的精度一致。加熱板是通過把硅基底分割而形成的。采用連接有0.05mm厚的鉆石刀片的切割機(jī)(可以從TokyoSeimitsu獲得，AWD-4000)把硅基底分割并分成各個加熱板(元件基底)。所形成的加熱板(元件基底)用粘結(jié)劑(可以從Toray獲得，SE4400)固定在鋁制基座(基板)70上(如圖31所示)。然后，利用直徑為0.05mm的鋁線(未示出)，PC板71預(yù)先固定到帶有元件基底1的基座70上。如圖28E所示，帶有溝槽的元件50與分隔壁30的結(jié)合體通過上述的步驟共線并連接到形成的單元基底1上。這就是說，帶有分隔壁30的帶有溝槽的元件與元件基底對齊。它們通過保持彈簧78連接和固定。一個提供生泡液的供應(yīng)元件80連接和固定到基座70上。用硅密封劑(可以從ToshibaSilicone獲得，TSE399)密封鋁線間的縫隙、帶有溝槽的元件和元件基底以及用于墨水和生泡液的供應(yīng)元件之間的縫隙。因此這個液體排放頭就制成了。通過上述步驟制成第二液體流通道，該液體流通道與加熱板(生熱元件)高精度地對齊。特別是，通過提前把帶有溝槽的元件50與帶分隔壁30連接，可以獲得第一液體流通道14和可動元件31之間的更精確的對齊關(guān)系。通過這種高精度的制造絕技，可以穩(wěn)定液體排放操作和提高打印質(zhì)量。由于第二液體流通道可以在一步中在晶片上形成，液體排放頭可以大批量、低費用地制造。在本實施例中，隨著紫外線的照射而變硬的干膜用于形成第二液體流通道。也可能同這樣形成第二液體流通道，首先利用一種具有波長吸收頻帶約為248nm的樹脂膜形成元件基底疊層，然后使得其硬化，第三再用準(zhǔn)分子激光器直接去除對應(yīng)于第二液體流通道的部分樹脂。圖29A到29D表示具有兩個液體流通道的液體排放過程的第二個實施例。在本實施例中，如圖29A所示，厚度為15μm光阻層101以第二液體流通道的形式在SUS(不銹鋼)基底100上形成。然后，如圖29B所示，SUS基底100被電鍍上一層鎳，形成一個15μm厚的鎳層102。作為電鍍?nèi)芤?，可以使用含有減應(yīng)力劑(由WorldMetal制造，Zeroall)、硼酸、防凹痕劑(由WorldMetal制造，NP-APS)和氯化鎳的磺化鎳溶液。在電鍍過程中，一個電極與陽極相連，一個已經(jīng)提花(pattern)的SUS基底100與陰極相連，電鍍?nèi)芤旱臏囟缺３衷?0℃，電流密度調(diào)節(jié)到5A/cm2。然后，如圖29C所示，一個超聲波施加給已經(jīng)電鍍的SUS基底100，一從SUS基底上剝下鎳層102，以形成所需要的第二液體流通道。裝有電熱轉(zhuǎn)換元件的加熱板(元件基底)1利用類似與半導(dǎo)體的制造設(shè)備的一個制造設(shè)備在一個硅晶片上形成。象上述的每一個實施例一樣，利用切割機(jī)把硅晶片切開，分成每一個加熱板(元件基底)1。把形成的元件基底1與鋁支承70連接在一起，PC板已經(jīng)連接到鋁支承上。PC板71與一個鋁線(未示出)電連接。如圖29D所示，在前面步驟中形成的第二液體流通道與上述的元件基底1對齊并固定在元件基底1上。對于這樣安置的通道必須保證這樣的對齊不受到影響。因為在下一個步驟中，象第一個實施例一樣，這樣的通道將通過一個頂板和一個保持彈簧相連和粘結(jié)。在其中的頂板上固定有分隔壁。在本實施例的情況中，在上述的對齊和固定過程中，在元件基底1的表面施加一種隨著紫外線照射而硬化的粘結(jié)劑(由GraceJapan制造，AmiconUV-300)。通過利用一個紫外線照射設(shè)備在照射劑量為100mJ/cm2，照射時間為3秒鐘時這樣的粘結(jié)劑硬化。根據(jù)本實施例的制造方法，第二液體流通道與生熱元件精確對齊。此外，既然這樣的流通道壁由鎳制成，能夠獲得一個可靠的抵抗堿性溶液的液體排放頭。圖30A到30B表示了具有兩個液體流通道的液體排放頭的制造方法的第三個實施例。如圖30A所示，光阻層103應(yīng)用于厚度為15μm的SUS基底100的兩側(cè)?；?00有一個對準(zhǔn)孔或者一個標(biāo)記100a。作為光阻層，可以使用TokyoOhka制造的PMERP-AR900。然后，如圖30B所示，使用的光阻層用一個照射設(shè)備(由佳能公司制造MPA600)依據(jù)元件基底1上的對準(zhǔn)孔100a照射。與第二液體流通道對應(yīng)的光阻層103被除去。這樣的照射劑量為800mJ/cm2。然后如圖30C所示，帶有光阻層103在兩側(cè)提花的SUS基底100浸入到腐蝕溶液(含有氯化鐵或者氯化銅的水溶液)中，以腐蝕光阻層103未受照射的部分，把光阻層剝離下來。然后如圖30D所示，象前述的制造方法的實施例一樣，腐蝕后的SUS基底100與加熱板1對齊，并安置在加熱板上。因此，具有第二液體流通道的液體排放頭就組裝了。依據(jù)本實施例的制造方法，第二液體流通道16與生熱元件精確對齊。此外，因為該液體流通道由不銹鋼制成，能夠提供一種抵抗酸溶液和堿溶液的可靠的液體排放頭。如上所述，根據(jù)上述每一個實施例的制造方法，通過在元件基底上形成第二液體流通道壁，能夠使得電熱生成元件與第二液體流通道精確對齊。在切割和分隔過程之前，在基座的許多元件基底上形成第二液體流通道。因此，能夠大量低費用地制造這種液體排放頭。在依據(jù)這些制造方法制造的液體排放頭中，生熱元件與第二液體流通道精確對齊。因此，由來自電熱轉(zhuǎn)換元件的熱量導(dǎo)致氣泡產(chǎn)生形成的壓力能夠有效地利用，液體排放效率提高。(液體排放頭架(盒))具有依據(jù)上述每一個實施例的的液體排放頭的液體排放頭架將簡要描述如下。圖31表示了包括上述的液體排放頭的液體排放頭架的一個部分示意分解透視圖。這樣的液體排放頭架由兩個主要部件組成，亦即液體排放頭200和液體容器80。液體排放頭200由元件基底1，分隔壁30，帶有溝槽的元件50，保持彈簧78，液體供應(yīng)件90，支承70等組成。如上所述，多個發(fā)熱電阻元件(生熱元件)以行的形式排列于元件基底之上。在這個元件基底上，安裝了用于驅(qū)動多個生熱元件的多個功能部件。在元件基底1和帶有可動元件的分隔壁30上形成一個用于生泡液的連通道。通過把分隔壁30和帶有溝槽的頂板50結(jié)合在一起形成用于排放液的連通道(未示出)。保持彈簧78用于向著元件基底1方向擠壓帶有溝槽的元件50。通過這個力，元件基底1，分隔壁30，帶有溝槽的元件50和支承70組成一個整體。支承70支持元件基底1等。此外，在這樣的支持70上，有PC板71和接觸墊72，PC板71與元件基底1相連從而提供電信號，接觸墊72與設(shè)備的側(cè)面相連從而與設(shè)備交換電信號。液體容器90充滿排放液例如提供給液體排放頭的墨水和產(chǎn)生氣泡的生泡液。在液體容器90外部，安裝有一個定位件94，用于安裝一個連接件使得液體排放頭與液體容器90相連通，還安裝有一個固定軸95用于保持這樣的連接件。排放液從液體容器90的排放液供應(yīng)連通道92穿過連接件的液體供應(yīng)流通道84提供到液體供應(yīng)元件80的排放液供應(yīng)連通道81，然后穿過每一個連接件的液體供應(yīng)流通道83、71和21到達(dá)第一公共液體室。類似地，生泡液從液體容器90的排放液供應(yīng)連通道93穿過連接件的液體供應(yīng)流通道84提供到液體供應(yīng)元件80的排放液供應(yīng)連通道82，然后穿過每一個連接件的生泡液的供應(yīng)流通道84、71和22到達(dá)第一公共液體室。帶有液體供應(yīng)裝置和用于兩種不同液體亦即排放液和生泡液的液體容器的液體排放頭架將在下面進(jìn)行描述。如果同樣的液體作為這些液體，同樣的液體供應(yīng)流通道和同樣液體容器可以用于上述的兩種液體。當(dāng)每一個液體被完全用光后，把液體容器充滿每一種液體。因此，在液體容器中最好形成一個液體噴射口。液體排放頭和液體容器可以安裝成一體或者分別安裝。(液體排放裝置)圖32是說明安裝有液體排放頭的液體排放裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。在這個例子中，一個使用墨水作為排放液的噴墨記錄裝置IJRA進(jìn)行描述。在這個液體排放裝置(噴墨記錄裝置IJRA)上安裝有一個滑架HC，一個裝有墨水的液體罐90和一個液體排放頭200安裝在滑架上面?；蹾C沿著記錄介質(zhì)150例如象一個記錄紙寬度的方向上作往復(fù)運動，其中，記錄介質(zhì)由記錄介質(zhì)給進(jìn)裝置給進(jìn)。當(dāng)一個驅(qū)動信號從驅(qū)動信號供給裝置(未示出)到達(dá)滑架HC上的液體排放裝置，液體通過液體排放頭向著記錄介質(zhì)噴射。本發(fā)明的液體排放裝置包括一個作為記錄介質(zhì)給進(jìn)裝置和滑架HC的驅(qū)動源的馬達(dá)111；從驅(qū)動源到滑架傳遞力的齒輪112和113；一個滑架軸115。當(dāng)依據(jù)本發(fā)明的液體排放方法用這種記錄裝置向各種類型的記錄介質(zhì)上噴射液體時，能夠獲得一個滿意的圖象。圖33是一個說明使用本發(fā)明的液體排放方法和液體排放頭以通過噴墨記錄圖象的記錄裝置的全部結(jié)構(gòu)的方框圖。該記錄裝置接收主計算機(jī)300的打印數(shù)據(jù)作為控制信號。打印數(shù)據(jù)臨時保存在輸入接口301內(nèi)。同時，打印數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成在裝置內(nèi)部可以處理的數(shù)據(jù)，所形成的數(shù)據(jù)傳遞到中央處理器CPU302，中央處理器也作為液體排放頭驅(qū)動信號供給裝置?；趦Υ嬖谥蛔x存儲器ROM中的控制程序，中央處理器CPU302利用外圍設(shè)備象隨機(jī)存儲器304處理接收到的數(shù)據(jù)，把原始數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成打印數(shù)據(jù)。此外，為了在記錄紙上的滿意的位置上記錄圖象，中央處理器CPU302給馬達(dá)準(zhǔn)備驅(qū)動信號，隨著圖象數(shù)據(jù)的記錄的同時馬達(dá)移動記錄紙和排放頭。圖象數(shù)據(jù)和馬達(dá)驅(qū)動數(shù)據(jù)分別通過排放頭驅(qū)動器307和馬達(dá)驅(qū)動器306傳遞到液體排放頭200和驅(qū)動馬達(dá)306，馬達(dá)306在控制的時間內(nèi)驅(qū)動以形成圖象?？梢杂米魃鲜鲇涗浹b置、可以向其噴射液體例如墨水的記錄介質(zhì)是下列各種之一紙，OHP紙，用于光盤(磁盤)和裝飾性層狀產(chǎn)品的塑料材料，布，金屬例如鋁或者銅，皮革例如牛皮、豬皮或者人造皮革，木材例如膠合板或者竹子，陶瓷例如瓦，或者一個三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)例如海綿。該記錄裝置包括，在各種類型的紙和OHP紙上打印的打印機(jī)；在塑料材料例如光盤(磁盤)上記錄的塑料材料記錄裝置；在金屬板上記錄的金屬記錄裝置；在皮革上記錄的皮革記錄裝置；在陶瓷上記錄的陶瓷記錄裝置；在三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)例如海綿上記錄的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。在布上記錄的紡織材料記錄裝置。對于這些液體排放裝置，滿足各記錄介質(zhì)和記錄狀態(tài)的液體可以作為排放液。(記錄系統(tǒng))下面給出一個對噴墨記錄系統(tǒng)的例子的一個解釋，當(dāng)在記錄介質(zhì)上記錄一個圖象時，該噴墨記錄系統(tǒng)使用本發(fā)明的液體排放頭作為液體排放頭。圖34是解釋該噴墨記錄系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的一個特殊的圖，該噴墨記錄系統(tǒng)使用依據(jù)本發(fā)明的一個液體排放頭201。該噴墨記錄系統(tǒng)的液體排放頭201是一個實線型(全線型，fullline)液體排放頭，在該排放頭上，多個排放口以360dpi(在25.4mm的長度上有360點)的間隔沿著與記錄介質(zhì)150的可用記錄寬度對應(yīng)的長度上安裝。四個對應(yīng)的分別用于黃色(Y)、洋紅色(M)、青色(C)和黑色(BK)的液體排放頭201a、201b、201c、201d互相平行，以一個預(yù)定的間隔沿著X方向由保持器202固定。信號從構(gòu)成驅(qū)動信號供給裝置的排放頭驅(qū)動器307提供給這四個液體排放頭201a到201d，液體排放頭201a到201d對這些信號發(fā)生反應(yīng)而被驅(qū)動。四種顏色墨水，Y，M，C和BK通過各自的墨水容器204a到204d提供給液體排放頭201a到201d。生泡液保存在液體容器204e內(nèi)，通過這個液體容器204e提供給液體排放頭201a到201d。液體排放頭帽203a到203d分別位于液體排放頭201a到201d的下面，液體排放頭帽內(nèi)有吸墨元件例如海綿。當(dāng)不進(jìn)行記錄時，液體排放頭帽203a到203d覆蓋液體排放頭201a到201d以保護(hù)它們。此外，該記錄系統(tǒng)有一個給進(jìn)帶206，它用作給進(jìn)上述實施例中的描述的各種記錄介質(zhì)的給進(jìn)裝置。這個給進(jìn)帶206沿著一個由滾輪支承的預(yù)定路線安置，由一個與馬達(dá)驅(qū)動器305相連的一個驅(qū)動輪驅(qū)動。在這個噴墨記錄系統(tǒng)中，一個預(yù)處理器和一個后處理器沿著記錄介質(zhì)給進(jìn)路線分別置于上游和下游，在打印完成之前和之后進(jìn)行對于記錄介質(zhì)的各種處理。預(yù)處理器和后處理器依據(jù)記錄介質(zhì)的類型和墨水類型而變化。例如，一個記錄介質(zhì)例如金屬，塑料和陶瓷由紫外線和臭氧照射，作為一個預(yù)處理過程，處理記錄介質(zhì)的表面，結(jié)果使得墨水的粘結(jié)性提高。另外一些記錄介質(zhì)例如塑料，很可能產(chǎn)生靜電而吸引灰塵粘附到它們的表面從而干擾記錄過程。因此，作為對于這樣的記錄介質(zhì)的一個預(yù)處理過程，通過一個離子源去除記錄介質(zhì)上的靜電，結(jié)果清除了記錄介質(zhì)表面上的灰塵。而且，當(dāng)布作為記錄介質(zhì)時，作為一種預(yù)處理過程，選擇一種堿性物質(zhì)、一種含水物質(zhì)、一種合成橡膠、一種含水的復(fù)合金屬鹽(aqueousmetalcomplexsalt)、尿素或者硫脲施加到記錄介質(zhì)表面，防止產(chǎn)生線條邊緣發(fā)毛的圖象，提高上染率。預(yù)處理過程不限于上述這些，它們可能涉及記錄介質(zhì)的適合記錄的溫度的設(shè)置。后處理過程通過一個加熱步驟、一個用紫外線照射使得墨水固定的固定步驟或者一個清除在預(yù)處理過程中使用的且未被清除的處理劑。在這個實施例中，一個使用了一個實線(full-line)液體排放頭類型，但是液體排放頭不限于這種類型。上述的緊湊型液體排放頭可以沿著從記錄介質(zhì)到記錄圖象的寬度內(nèi)的方向上移動。(排放頭工具箱)其中一個構(gòu)件是本發(fā)明的液體排放頭的一個液體排放頭工具箱(套件盒)將在下面描述。圖35是一個液體排放頭工具箱的一個具體圖。在圖35所示的液體排放頭工具箱501中儲存一個液體排放頭510，該液體排放頭具有一個用于排放描述的排放口511；一個墨水容器520，這個墨水容器可以是液體排放頭510的一部分也可以是個分離的部分；盛有墨水，用于向墨水容器520補(bǔ)充墨水的墨水補(bǔ)充裝置530。當(dāng)墨水容器520中的墨水耗盡時，墨水補(bǔ)充裝置530的一個插入部分531部分地插入到與液體排放頭相連通的墨水容器520的一個連通孔521內(nèi)，或者插入到墨水容器520的壁內(nèi)，因此，通過使用插入的部分，供應(yīng)的墨水可以從墨水補(bǔ)充裝置到墨水容器520。由于本發(fā)明的液體排放頭，墨水容器和墨水補(bǔ)充裝置儲存在一個單一的工具箱內(nèi)，構(gòu)成一個液體排放頭工具箱，因此，即使當(dāng)墨水容器倒空時，它也很容易被再充滿，記錄很快恢復(fù)。盡管在這個實施例中的液體排放頭工具箱有一個墨水補(bǔ)充裝置，也可使用另外一種不帶有墨水補(bǔ)充裝置的液體排放頭工具箱，在液體排放頭工具箱501內(nèi)儲存有一個分離的充滿墨水的墨水容器和一個液體排放頭。盡管在如圖35所示的液體排放頭工具箱中只有墨水補(bǔ)充裝置，除了墨水容器外，在液體排放頭工具箱中還儲存有一個生泡液補(bǔ)充裝置以給生泡液容器補(bǔ)充液體。本發(fā)明主要描述了一種邊緣噴射(anedgeshooter)型的液體排放頭，它在生泡區(qū)的一個側(cè)面位置上有一個液體排放口。然而本發(fā)明也可以是側(cè)面噴射(ansideshooter)型液體排放頭，它在與生泡區(qū)或者生熱元件對應(yīng)的位置上有一個液體排放口。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，一種使用柔性膜的新型液體排放理論用于獲得一個特別高的液體排放效率和快速的液體再補(bǔ)充速度。而且，從排放口到柔性膜的自由端的位移軌跡面之間的空間的體積被定義為液體排放量，提供足夠的能量排放所定義的液體排放量。結(jié)果，液體排放量很容易控制，獲得了一個穩(wěn)定的液體排放量，液體再補(bǔ)充作業(yè)可以在高速下完成。此外，本發(fā)明實現(xiàn)了即使當(dāng)環(huán)境條件例如溫度改變時也能夠保證穩(wěn)定的液體排放量的一種效果。特別是，使用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，液體再補(bǔ)充特性被改善，實現(xiàn)了順序的排放操作、穩(wěn)定的氣泡產(chǎn)生和穩(wěn)定的液滴排放和通過快速排放液體的快速記錄，獲得了一個高質(zhì)量的圖象。當(dāng)一個很容易產(chǎn)生氣泡的液體，或者在生熱元件的表面上沉淀(燒焦)的產(chǎn)生和堆積很困難的液體用作具有兩條液體流通道的液體排放頭的生泡液時，排放液選擇的自由度增加。并且，即使是一種粘性液體也能夠?qū)崿F(xiàn)一個最佳的排放。當(dāng)一個常規(guī)的氣泡噴墨記錄法使用時，由于很難產(chǎn)生氣泡并且在生熱元件上產(chǎn)生燒焦物，因而排放是很困難的。此外，一個很容易受熱破壞的液體也很容易被排放，而保護(hù)其不受到熱的影響。權(quán)利要求1.一種液體排放方法，使用一種液體排放頭，該液體排放頭包括一個液體排放口；一個在液體中產(chǎn)生氣泡的生泡區(qū)；以及一個可動元件，可動元件可以在第一個位置和第二個位置之間移動，和第一個位置相比，第二個位置位于遠(yuǎn)離生泡區(qū)的一個位置，其中，所說的可動元件由在所說的生泡區(qū)氣泡產(chǎn)生形成的壓力而從第一個位置移動到第二個位置，同時，通過給液體施加液體排放能量，由于所說的可動元件的位移，和上游側(cè)相比，所說的氣泡向下游側(cè)膨脹得更大，以從所說的液體排放口排放液體，其特征在于可動元件相對于其在上游側(cè)的支承端在下游側(cè)有一個自由端，以及通過施加與一個飽和區(qū)相對應(yīng)的液體排放能量使得液體被排放，在該飽和區(qū)內(nèi)，要從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。2.根據(jù)權(quán)利要求1所說的液體排放方法，其特征在于，所說的氣泡膨脹超過所說的第一個位置，同時，所說的可動元件移動到所說的第二個位置，由于所說的可動元件的位移，氣泡在所說的可動元件的下游側(cè)增長。3.一種液體排放方法，使用一種液體排放頭，該液體排放頭包括一個液體排放口；一個與所說的液體排放口相連的第一液體流通道；一個包含生泡區(qū)的第二液體流通道；在液體排放口側(cè)具有自由端的可動元件，它位于所說的第一液體流通道和所說的生泡區(qū)之間，其中，所說的可動元件的自由端通過生泡能量在所說的生泡區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的的氣泡的所說的壓力向第一液體流通道內(nèi)位移，通過可動元件的位移產(chǎn)生的所說的壓力使得液體排放能量施加給該液體，從而使得液體從所說的液體排放口被排放，其特征在于液體排放頭在這樣的范圍內(nèi)使用，亦即要從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著這種排放的增加而基本飽和，通過施加與飽和區(qū)對應(yīng)的液體排放能量給液體使得液體被排放。4.根據(jù)權(quán)利要求3所說的液體排放方法，其特征在于，產(chǎn)生的氣泡根據(jù)所說的可動元件的位移向所說的第一液體流通道內(nèi)延伸。5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所說的液體排放方法，其特征在于，由在所說的飽和區(qū)內(nèi)施加所說的液體排放能量所造成的液體排放量基本等于由所說的液體排放口的面積與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間距離的乘積表示的體積。6.根據(jù)權(quán)利要求1或3所說的液體排放方法，其特征在于，由在所說的飽和區(qū)內(nèi)施加所說的液體排放能量所造成的液體排放量大于由所說的液體排放口面積的90％和所說的液體排放口與所說的自由端的位移軌跡面之間的距離的乘積所表示的體積，小于由所說的液體排放口面積和所說的液體排放口與所說的自由端的位移軌跡面之間的距離加上10μm的乘積所表示的體積。7.根據(jù)權(quán)利要求1或3所說的液體排放方法，其特征在于，所說的可動元件的位移量大于沿著所說的可動元件的位移方向上的所說的液體排放口的開口長度。8.根據(jù)權(quán)利要求1或3所說的液體排放方法，其特征在于，生熱元件安置在與所說的可動元件相對的位置上，所說的生泡區(qū)置于所說的可動元件與所說的生熱元件之間，所說的生泡能量提供給所說的生熱元件。9.根據(jù)權(quán)利要求8所說的液體排放方法，其特征在于，所說的自由端相對于所說的生熱元件的中心位于液體流通道方向的下游側(cè)。10.根據(jù)權(quán)利要求8所說的液體排放方法，其特征在于，熱量從所說的生熱元件傳遞給液體，由于薄膜沸騰而在所說的液體中產(chǎn)生氣泡。11.根據(jù)權(quán)利要求3所說的液體排放方法，其特征在于，同樣的液體提供給所說的第一液體流通道和所說的第二液體流通道。12.根據(jù)權(quán)利要求3所說的液體排放方法，其特征在于，提供給所說的第一液體流通道的液體不同于向所說的第二液體流通道提供的液體。13.一種液體排放方法，由氣泡生成從而從一個液體排放口排放液體，從所說的生熱元件的上游側(cè)沿著位于液體流通道中的該生熱元件提供液體；由氣泡產(chǎn)生能量激發(fā)，隨著生熱元件生熱產(chǎn)生氣泡；由氣泡產(chǎn)生形成的壓力移動可動元件的自由端，該可動元件在液體排放口側(cè)具有自由端并與生熱元件面對；通過可動元件的位移產(chǎn)生的壓力使得液體排放能量施加給該液體，從而使得液體從液體排放口被排放，其特征在于液體在一個區(qū)域內(nèi)被排放，在該區(qū)域內(nèi)，要從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。14.一種液體排放方法，使用一個可動元件，該可動元件在液體排放口一側(cè)有一個可以位移的自由端；施加產(chǎn)生氣泡能量給液體導(dǎo)致薄膜沸騰后，氣泡至少包括一個壓力分量直接作用到液滴排放操作上面，從而使得可動元件產(chǎn)生位移；通過施加液體排放能量給該液體，使得包含有壓力分量的氣泡導(dǎo)向液體排放口一側(cè)，從而使得液體從液體排放口被排放，其特征在于通過施加與一定區(qū)域?qū)?yīng)的液體排放能量使得液體被排放，在該區(qū)域內(nèi)，要從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。15.根據(jù)權(quán)利要求14所說的液體排放方法，其特征在于，包括所說的可動元件的自由端的前部從第一個位置移動第二個位置，在第一個位置，由于薄膜沸騰而產(chǎn)生氣泡的生泡區(qū)與所說的液體排放口之間基本密封，在第二個位置，通過所說的氣泡的一部分，所說的生泡區(qū)向所說的液體排放口開口。16.一種液體排放方法，其中，液滴由生泡能量在生泡區(qū)產(chǎn)生的氣泡從相對于液滴排放方向的位于生泡區(qū)的一側(cè)的下游的液體排放口排放，該液滴排放方向不與生泡區(qū)相對，其中使用一個可動元件，該可動元件具有一個自由端以及以及一個表面，該自由端使得生泡區(qū)一側(cè)的液體排放口相對于液體排放口基本密封，該表面的范圍是相對于自由端位于相對一側(cè)的支承端到所說的液體排放口；通過由所生成的氣泡移動所述基本密封的自由端，使生泡區(qū)向著液體排放口開口，以及通過施加液滴排放壓力給液體而排放液體，其特征在于通過施加與一個飽和區(qū)對應(yīng)的液體排放能量使得液體被排放，在該飽和區(qū)內(nèi)，要從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。17.根據(jù)權(quán)利要求13、14和16中的一個權(quán)利要求所說的液體排放方法，其特征在于，在所說的飽和區(qū)內(nèi)施加所說的液體排放能量時所造成的液體排放量基本等于由所說的液體排放口面積和所說的液體排放口與所說的自由端的位移軌跡面之間的距離的乘積所表示的體積。18.根據(jù)權(quán)利要求13、14和16中的一個權(quán)利要求所說的液體排放方法，其特征在于，在所說的飽和區(qū)內(nèi)施加所說的液體排放能量時所造成的液體排放量大于由所說的液體排放口面積的90％和所說的液體排放口與所說的自由端的位移軌跡面之間的距離的乘積所表示的體積，小于由所說的液體排放口面積和所說的液體排放口與所說的自由端的位移軌跡面之間的距離加上10μm的乘積所表示的體積。19.根據(jù)權(quán)利要求13、14和16中的一個權(quán)利要求所說的液體排放方法，其特征在于，所說的可動元件的位移大于沿著所說的可動元件的位移方向上液體排放口的開口長度。20.一種液體排放頭，它包括一個液體排放口；一個在液體中產(chǎn)生氣泡的生泡區(qū)；以及一個與所說的生泡區(qū)相對的可動元件，可以在第一個位置和第二個位置之間移動，其中的第二個位置和第一個位置相比更遠(yuǎn)離生泡區(qū)，其中，所說的可動元件由產(chǎn)生氣泡脈沖能量在生泡區(qū)產(chǎn)生的氣泡的壓力從第一個位置移動到第二個位置，同時，通過可動元件的位移，氣泡相對于上游方向更加向上游方向膨脹，其特征在于通過施加與一個飽和區(qū)對應(yīng)的液體排放能量使得液體從所說的液體排放口排放，在該飽和區(qū)內(nèi)，要從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。21.根據(jù)權(quán)利要求20所說的液體排放頭，其特征在于，由于所說的可動元件的位移，所說的的氣泡的下游部分向著所說的可動元件的下游一側(cè)增長。22.一種液體排放頭，它包括一個與液體排放口相連接的第一液體流通道；一個包括生泡區(qū)的第二液體流通道，在該生泡區(qū)內(nèi)，通過施加產(chǎn)生氣泡能量，使得熱量施加給液體，從而產(chǎn)生氣泡；以及一個可動元件，該可動元件在所說的液體排放口側(cè)具有一個自由端，位于所說的第一液體流通道和生泡區(qū)之間，其中，在這個液體排放頭中，通過在生泡區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的壓力以及由壓力導(dǎo)向液體排放口使生泡能量施加給液體，使得可動元件的自由端向第一液體流通道內(nèi)位移，從而使得液體被排放，其特征在于要從所說的液體排放口排放的所說的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。23.根據(jù)權(quán)利要求22所說的液體排放頭，其特征在于，所說的可動元件作為分隔壁的一部分，該分隔壁位于所說的第一液體流通道與所說的第二液體流通道之間。24.根據(jù)權(quán)利要求20或23所說的液體排放頭，其特征在于，該排放頭包括一個用于向多個所說的第一液體流通道提供第一液體的第一公共液體室，和用于向多個所說的第二液體流通道提供第二液體的第二公共液體室。25.根據(jù)權(quán)利要求20或22所說的液體排放頭，其特征在于，在所說的液體排放口的液體流通道的截面積小于在包括有安置可動元件的一個區(qū)域的位置的所說的液體流通道的截面積。26.根據(jù)權(quán)利要求20或22所說的液體排放頭，其特征在于，由如上所述施加的能量造成的基本飽和的液體排放量基本等于由所說的液體排放口的面積與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間距離的乘積表示的體積。27.根據(jù)權(quán)利要求20或22所說的液體排放頭，其特征在于，由如上所述施加的能量造成的基本飽和的液體排放量大于由所說的液體排放口的面積的90％與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間的距離的乘積表示的體積，小于由所說的液體排放口的面積與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間的距離加上10μm后的乘積表示的體積。28.根據(jù)權(quán)利要求20或22所說的液體排放頭，其特征在于，所說的可動元件的位移量大于沿著所說的可動元件的位移方向上的所說的液體排放口的開口長度。29.根據(jù)權(quán)利要求20或22所說的液體排放頭，其特征在于，所說的可動元件是片形的。30.根據(jù)權(quán)利要求20或22所說的液體排放頭，其特征在于，所說的生熱元件安置在與所說的可動元件相對的位置上，所說的生泡區(qū)置于所說的可動元件與所說的生熱元件之間。31.根據(jù)權(quán)利要求30所說的液體排放頭，其特征在于，所說的可動元件的自由端相對于所說的生熱元件的中心位于液體流通道方向的下游側(cè)。32.根據(jù)權(quán)利要求30所說的液體排放頭，其特征在于，設(shè)置一個液體供應(yīng)流通道，用于把液體從所說的生熱元件的上游側(cè)沿著該生熱元件供應(yīng)到所說的生熱元件。33.根據(jù)權(quán)利要求32所說的液體排放頭，其特征在于，所說的液體供應(yīng)流通道在所說的液體供應(yīng)流通道的上游側(cè)具有一個基本平的或者斜的內(nèi)壁，沿著所說的內(nèi)壁供應(yīng)液體給生熱元件。34.一種液體排放頭，它包括一個液體排放口；通過加熱液體用于在液體中產(chǎn)生氣泡的生熱元件的液體流通道；一個液體供給通道用于從生熱元件的上游側(cè)沿著此生熱元件給生熱元件提供液體；可動元件在所說的液體排放口一側(cè)有一個自由端，與所說的生熱元件相對，由產(chǎn)生的氣泡壓力使得自由端產(chǎn)生位移把壓力導(dǎo)入液體排放口，其特征在于當(dāng)液體由生熱元件產(chǎn)生的液體排放能量從所說的液體排放口排放時，從所述口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。35.一種液體排放頭，它包括一個液體排放口；一個通過加熱液體而在液體中產(chǎn)生氣泡的生熱元件；一個可動元件，在所說的液體排放口一側(cè)有一個自由端，與生熱元件相對，由產(chǎn)生的氣泡壓力使得自由端產(chǎn)生位移從而把壓力導(dǎo)入所說的液體排放口；以及液體供給通道，用于沿著接近生熱元件的一個表面從上游側(cè)給生熱元件提供液體，其特征在于當(dāng)液體由生熱元件產(chǎn)生的液體排放能量從所說的液體排放口排放時，從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著所說的液體排放能量的增加而基本飽和。36.一種液體排放頭，它包括多個液體排放口；用于形成與對應(yīng)的液體排放口相連接的多個第一液體流通道的多個溝槽；包括凹入部分的帶有溝槽的元件，該凹入部分形成為多個第一液體流通道提供液體的第一公共流體室；一個元件基片，包括通過加熱生熱元件從而在液體中產(chǎn)生氣泡的多個生熱元件；一個位于帶有溝槽的元件和元件基片之間的分隔壁，構(gòu)成第二液體流通道的與生熱元件相對應(yīng)的壁的一部分，該分隔壁包括一個可動元件，位于與生熱元件相對的一個位置上，通過氣泡產(chǎn)生的壓力可以向第一液體流通道內(nèi)產(chǎn)生位移，其特征在于當(dāng)利用施加能量給所說的生熱元件而獲得的液體排放能量使液體從所說的液體排放口排放時，從所說的液體排放口排放的液體排放量隨著液體排放能量的增加而基本飽和。37.根據(jù)權(quán)利要求34到36中的一個所說的液體排放頭，其特征在于，由如上所述施加的能量所造成的基本飽和的液體排放量基本等于由所說的液體排放口的面積與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間距離的乘積表示的體積。38.根據(jù)權(quán)利要求34到36中的一個所說的液體排放頭，其特征在于，由如上所述施加的能量所造成的基本飽和的液體排放量大于由所說的液體排放口的面積的90％與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間的距離的乘積表示的體積，小于由所說的液體排放口的面積與所說的液體排放口到所說的自由端的位移軌跡面之間的距離加上10μm后的乘積表示的體積。39.根據(jù)權(quán)利要求34到36中的一個所說的液體排放頭，其特征在于，所說的可動元件的位移量大于沿著所說的可動元件的位移方向上的所說的液體排放口的開口長度。40.根據(jù)權(quán)利要求34到36中的一個所說的液體排放頭，其特征在于，由于所說的生熱元件產(chǎn)生的熱量在液體中形成薄膜沸騰，從而所說的液體中產(chǎn)生所說的氣泡。41.根據(jù)權(quán)利要求34到36中的一個所說的液體排放頭，其特征在于，所說的可動元件的自由端位于所說的生熱元件的中心的下游側(cè)。42.根據(jù)權(quán)利要求36所說的液體排放頭，其特征在于，所說的帶有溝槽的元件包括一個第一引入流通道，用于向所說的第一公共液體室引入液體，以及一個第二引入流通道，用于向所說的第二公共液體室引入液體。43.根據(jù)權(quán)利要求34到36中的一個所說的液體排放頭，其特征在于，所說的生熱元件是一個電熱轉(zhuǎn)換元件，包括一個生熱電阻器，接收電流時能夠產(chǎn)生熱量。44.根據(jù)權(quán)利要求43所說的液體排放頭，其特征在于，所說的電熱轉(zhuǎn)換元件是所說的具有一層保護(hù)膜的生熱電阻器。45.根據(jù)權(quán)利要求43所說的液體排放頭，其特征在于，在所說的元件基底上，安置有一個線電極，用于把電信號傳遞給所說的電熱轉(zhuǎn)換元件，還安置有一個功能部件，用于選擇性地把一個電信號傳遞給所說的電熱轉(zhuǎn)換元件。46.一個液體排放頭架，包括權(quán)利要求20、22、34、35和36之一所限定的液體排放頭以及一個液體容器，該液體容器中充有提供給所說的液體排放頭的液體。47.一種液體排放裝置，包括權(quán)利要求20、22、34、35和36之一所限定的液體排放頭以及一個驅(qū)動信號供給裝置，該驅(qū)動信號供給裝置提供一個驅(qū)動信號，從而從所說的液體排放頭中排放液體。48.一種液體排放裝置，包括權(quán)利要求20、22、34、35和36之一所限定的液體排放頭以及一個記錄介質(zhì)傳輸裝置，該記錄介質(zhì)傳輸裝置傳輸一個記錄介質(zhì)，該記錄介質(zhì)接收從所說的液體排放頭排放的液體。全文摘要液體排放方法,使用液體排放頭,排放頭由排放口、在液體中產(chǎn)生氣泡的生泡區(qū)和可動元件構(gòu)成,可動元件可在第一和第二位置間移動,和第一位置相比,第二位置更遠(yuǎn)離生泡區(qū),可動元件由氣泡形成的壓力而從第一位置移到第二位置,同時,通過給液體施加液體排放能量,由于可動元件的位移,和上游側(cè)相比,氣泡向下游側(cè)膨脹得更大以從排放口排放液體?？蓜釉谙掠蝹?cè)有自由端,在飽和區(qū)施加液體排放能量使液體排放。在飽和區(qū)內(nèi),要從排放口排放的液體排放量隨著排放能量的增加而飽和。文檔編號B41J2/175GK1178165SQ97117439公開日1998年4月8日申請日期1997年7月9日優(yōu)先權(quán)日1996年7月9日發(fā)明者淺川佳惠,石永博之,野俊雄,吉平文,工藤清光申請人:佳能株式會社