圖案形成裝置及圖案形成方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及圖案形成裝置及圖案形成方法。圖案形成裝置具有：第一保持單元（61），對(duì)在一面擔(dān)載有圖案形成材料（PT）的橡皮布（BL）以使圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢(shì)進(jìn)行支撐；第二保持單元（41），將對(duì)圖案形成材料進(jìn)行圖案成形的版（PP）或要被轉(zhuǎn)印圖案的基板（SB）作為處理對(duì)象物，以使處理對(duì)象物與第一保持單元（61）保持的橡皮布（BL）的上表面接近相向的方式，保持處理對(duì)象物；托起單元（641），從橡皮布（BL）的下表面?zhèn)染植客衅鹣鹌げ迹˙L）中央部的有效區(qū)域，使有效區(qū)域與被第二保持單元（41）保持的處理對(duì)象物抵接，托起單元（641）沿著橡皮布（BL）的下表面移動(dòng)使橡皮布（BL）的托起位置變化。
【專利說(shuō)明】圖案形成裝置及圖案形成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通過(guò)版對(duì)擔(dān)載于橡皮布上的圖案形成材料進(jìn)行圖案成形，或者將所形成的圖案轉(zhuǎn)印至基板來(lái)形成圖案的圖案形成裝置以及圖案形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]存在如下在玻璃基板、半導(dǎo)體基板等基板上形成圖案的技術(shù)，S卩，使擔(dān)載有圖案的橡皮布緊貼于基板上來(lái)將圖案轉(zhuǎn)印至基板。另外，存在如下使圖案擔(dān)載于橡皮布上的技術(shù)，SP，使版(負(fù)片版(negative plate))壓力接觸由圖案形成材料形成在橡皮布表面上的均勻的膜上，使該膜中的不需要的部分附著于版上來(lái)除去，從而僅將成為圖案的部分留在橡皮布上來(lái)進(jìn)行圖案形成(圖案成形)。
[0003]作為這樣的一個(gè)技術(shù)，例如將日本特開(kāi)平07-125179號(hào)公報(bào)所記載的印刷技術(shù)應(yīng)用于圖案轉(zhuǎn)印中。例如在日本特開(kāi)2002-036499號(hào)公報(bào)所記載的技術(shù)中，將向一個(gè)方向賦予張力來(lái)架設(shè)在機(jī)架上的版以相對(duì)于基板傾斜的狀態(tài)配置在基板的上方，通過(guò)沖壓輥將版從一端部依次按壓于基板上，然后剝離版，從而將版上的圖案轉(zhuǎn)印至基板。
[0004]在上述現(xiàn)有技術(shù)中，版和基板的對(duì)位精度有改進(jìn)的余地。即，在上述技術(shù)中，為了使輥抵接，需要以使版的上表面開(kāi)放的狀態(tài)保持版，為了防止版因自重而彎曲從而與基板發(fā)生接觸的情況，必須使版和基板之間的初始空隙大到某種程度。因此，在從該狀態(tài)下使兩者接近來(lái)按壓的過(guò)程中容易產(chǎn)生位置偏移。另外，在基板和版接近的一端側(cè)能夠進(jìn)行對(duì)位，但是在另一端側(cè)不能進(jìn)行對(duì)位，另外，從一端依次按壓的過(guò)程中，可能使位置偏移逐漸變大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供如下技術(shù)，即，在使版或者基板與橡皮布抵接來(lái)進(jìn)行圖案形成的圖案形成裝置以及圖案形成方法中，能夠使版或者基板與橡皮布以高的位置精度抵接。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的圖案形成裝置具有:第一保持單元，其對(duì)在一面上擔(dān)載有圖案形成材料的橡皮布，以使所述圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢(shì)進(jìn)行保持；第二保持單元，其將用于對(duì)所述圖案形成材料進(jìn)行圖案成形的版或者被轉(zhuǎn)印圖案的基板作為處理對(duì)象物，以使該處理對(duì)象物與被所述第一保持單元保持的所述橡皮布的上表面接近并相向的方式，保持該處理對(duì)象物；托起單元，其從所述橡皮布的下表面?zhèn)染植康赝衅鹚鱿鹌げ贾醒氩康挠行^(qū)域，來(lái)使所述有效區(qū)域與被所述第二保持單元保持的所述處理對(duì)象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面移動(dòng)來(lái)使所述橡皮布的托起位置發(fā)生變化。
[0007]另外，為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的圖案形成方法包括:保持工序，將用于對(duì)圖案形成材料進(jìn)行圖案成形的版或者要被轉(zhuǎn)印圖案的基板作為處理對(duì)象物，將該處理對(duì)象物保持為使處理對(duì)象面朝下的水平姿勢(shì)，并且將在一面上擔(dān)載有所述圖案形成材料的橡皮布保持為所述圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢(shì)且使所述圖案形成材料的擔(dān)載面與所述處理對(duì)象物的下表面接近并相向；托起工序，從所述橡皮布的下表面?zhèn)染植客衅鹚鱿鹌げ贾醒氩康挠行^(qū)域，來(lái)使所述有效區(qū)域與所述處理對(duì)象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面，使所述橡皮布的托起位置發(fā)生變化。
[0008]在這些發(fā)明中，從配置于處理對(duì)象物(版或者基板)的下方且與該處理對(duì)象物(版或者基板)相向的橡皮布的下表面?zhèn)染植客衅鹣鹌げ?，從而使橡皮布抵接于處理?duì)象物上。在這樣的結(jié)構(gòu)中，對(duì)配置于上側(cè)的處理對(duì)象物進(jìn)行的保持并不受到特別的限制，因此能夠在抑制彎曲的狀態(tài)下進(jìn)行保持。另一方面，配置于下側(cè)的橡皮布可能因自重而向下方彎曲，但是向與上側(cè)的處理對(duì)象物分離的方向彎曲，因此不會(huì)因彎曲而與處理對(duì)象物發(fā)生接觸。因此，能夠使處理對(duì)象物和橡皮布比以往更接近，將兩者之間的空隙設(shè)定為極其小的值。另夕卜，能夠以使處理對(duì)象物和橡皮布相互平行的方式進(jìn)行配置。
[0009]因此，能夠在這樣兩者接近的狀態(tài)下進(jìn)行對(duì)位，并且由于從接近的狀態(tài)到抵接為止的相對(duì)移動(dòng)量小，因此還能夠?qū)⑺鼈冎g的位置偏移抑制得小。因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠使作為處理對(duì)象物的版或者基板與橡皮布以高的位置精度抵接。此外，這里的處理對(duì)象物和橡皮布之間的抵接指，包括兩者隔著擔(dān)載于橡皮布的擔(dān)載面上的圖案材料相抵接的情況。
[0010]在這些發(fā)明中，例如也可以將橡皮布的下表面的在一個(gè)軸方向上比有效區(qū)域的長(zhǎng)度長(zhǎng)的區(qū)域一同托起，并且使托起位置從有效區(qū)域的與該軸方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一個(gè)方向移動(dòng)。另外，為了實(shí)現(xiàn)這些，也可以設(shè)置托起單元，該托起單元具有:托起輥，其沿著軸方向延伸設(shè)置；移動(dòng)部，其一邊支撐托起輥并能夠使托起輥?zhàn)杂尚D(zhuǎn)，一邊向與軸方向垂直的方向移動(dòng)。使處理對(duì)象物和橡皮布之間從一端朝向另一端沿一個(gè)方向進(jìn)行抵接，從而能夠防止在圖案形成材料中產(chǎn)生變形或者產(chǎn)生氣泡進(jìn)入處理對(duì)象物和橡皮布之間等缺陷。
[0011]另外，例如第一保持單元也可以以使有效區(qū)域的下方開(kāi)放的狀態(tài)保持橡皮布的周緣部。在這樣的結(jié)構(gòu)中，以使與有效區(qū)域相對(duì)應(yīng)的下面中央部開(kāi)放的狀態(tài)保持橡皮布，因此橡皮布的保持和托起單元的移動(dòng)相互不發(fā)生干涉。
[0012]此時(shí)，優(yōu)選保持橡皮布的至少與軸方向相垂直的方向上的兩端的周緣部。這樣，能夠防止隨著托起位置發(fā)生變化而橡皮布沿著該變化方向發(fā)生位移的情況。從防止彎曲的角度來(lái)說(shuō)，優(yōu)選保持橡皮布的整個(gè)周緣部。
[0013]例如也可以具有環(huán)狀的保持框，該保持框具有與有效區(qū)域相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口，并且該保持框的與橡皮布的周緣部相對(duì)應(yīng)的上表面為平面，在保持框上載置保持橡皮布。通過(guò)用環(huán)狀保持框保持橡皮布周緣部，保持橡皮布的整個(gè)周緣部，因此能夠有效地抑制因橡皮布的自重而產(chǎn)生的彎曲和托起時(shí)的位移。
[0014]另外，還可以設(shè)置輔助保持單元，來(lái)與橡皮布的下表面局部抵接。這樣，使進(jìn)行抵接之前的橡皮布的彎曲更小，并且能夠容易地管理與處理對(duì)象物之間的空隙量。
[0015]另外，在保持處理對(duì)象物時(shí)，例如也可以使處理對(duì)象物的上表面抵接于板狀構(gòu)件的下表面上來(lái)保持該處理對(duì)象物，其中，所述板狀構(gòu)件的下表面為平面尺寸大于等于處理對(duì)象物的平面尺寸的平面。通過(guò)使上表面與板狀構(gòu)件抵接，能夠防止處理對(duì)象物彎曲，并且能夠防止因與托起的橡皮布抵接而使處理對(duì)象物發(fā)生變形的情況。
[0016]另外，第一保持單元例如也可以具有抵接部，該抵接部的上表面為平坦且平面尺寸大于橡皮布的有效區(qū)域的平面尺寸的抵接面，該抵接面通過(guò)與橡皮布的下表面抵接來(lái)保持橡皮布，隨著托起單元移動(dòng)，抵接部向托起單元的移動(dòng)方向移動(dòng)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)使橡皮布下表面抵接于抵接面來(lái)以沒(méi)有彎曲的狀態(tài)保持橡皮布，另外，隨著托起單元移動(dòng)而使抵接部移動(dòng)，從而還避免抵接部和托起單元發(fā)生干涉。
[0017]或者，第一保持單元例如還可以具有多個(gè)局部支撐部，多個(gè)該局部支撐部分別與橡皮布的下表面局部抵接來(lái)從下表面?zhèn)戎蜗鹌げ嫉挠行^(qū)域；多個(gè)局部支撐部沿著托起單元的移動(dòng)方向排列設(shè)置，且能夠彼此獨(dú)立地進(jìn)行升降。
[0018]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠用多個(gè)局部支撐部將橡皮布保持為水平姿勢(shì)，而且多個(gè)局部支撐部能夠獨(dú)立地與橡皮布下表面抵接或者分離。被托起單元托起而緊貼在處理對(duì)象物上的橡皮布，不必從下方進(jìn)行支撐，因此局部支撐部只要對(duì)未與托起單元相抵接的部分進(jìn)行支撐即可。并且，若隨著托起單元接近而使托起單元的行進(jìn)方向上的局部支撐部依次向下方退避，則能夠一邊避免與托起單元發(fā)生干涉，一邊將通過(guò)托起單元進(jìn)行抵接之前的橡皮布保持為水平姿勢(shì)。
[0019]另外，就被托起而與處理對(duì)象物相抵接的橡皮布的有效區(qū)域而言，優(yōu)選至少在有效區(qū)域都與處理對(duì)象物抵接之前的期間，維持與處理對(duì)象物相抵接的狀態(tài)。在被托起而進(jìn)行抵接的處理對(duì)象物和橡皮布因解除該托起而自然分離的情況下，在抵接的部分和分離的部分的邊界部對(duì)圖案形成材料施加未預(yù)料的剪切力而引起損壞。為了避免這些，在橡皮布的整個(gè)有效區(qū)域與處理對(duì)象物抵接之后，用恰當(dāng)?shù)姆椒ǚ蛛x兩者是有效的。
[0020]另外，在使處理對(duì)象物和橡皮布相向配置的過(guò)程中，優(yōu)選在將處理對(duì)象物定位為水平姿勢(shì)之后，將橡皮布搬入于處理對(duì)象物的下方來(lái)使橡皮布與處理對(duì)象物相向。這樣，能夠防止在處理對(duì)象物的定位階段中落下灰塵等異物的情況下該異物附著于橡皮布上的情況。
[0021]根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)⑴渲糜谔幚韺?duì)象物的下方且與該處理對(duì)象物相向的橡皮布，從橡皮布的下表面?zhèn)韧衅鸲瓜鹌げ寂c處理對(duì)象物相抵接，因此能夠使處理對(duì)象物和橡皮布之間的空隙小來(lái)使它們相向。因此，使抵接時(shí)的位置偏移小，能夠使作為處理對(duì)象物的版或者基板與橡皮布以高的位置精度抵接。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是示出本發(fā)明的圖案形成裝置的第一實(shí)施方式的立體圖。
[0023]圖2是示出該圖案形成裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
[0024]圖3是示出下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0025]圖4是示出升降手單元的結(jié)構(gòu)的圖。
[0026]圖5是示出轉(zhuǎn)印輥單元的結(jié)構(gòu)的圖。
[0027]圖6是示出上載物臺(tái)組件的結(jié)構(gòu)的圖。
[0028]圖7是示出圖案形成處理的流程圖。
[0029]圖8A至SC是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0030]圖9A至9C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0031]圖1OA以及IOB是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0032]圖1lA至IlC是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。[0033]圖12A至12C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0034]圖13A至13C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0035]圖14是示出版或者基板與橡皮布之間的位置關(guān)系的圖。
[0036]圖15A至15C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0037]圖16A至16C是用于說(shuō)明從下方按壓橡皮布的結(jié)構(gòu)的優(yōu)越性的圖。
[0038]圖17是示出本發(fā)明的圖案形成裝置的第二實(shí)施方式的主要部分的圖。
[0039]圖18A以及18B是示出下載物臺(tái)與基板以及橡皮布之間的位置關(guān)系的圖。
[0040]圖19A至19D是示意性地示出第二實(shí)施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0041]圖20A至20E是示意性地示出第二實(shí)施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。
[0042]圖21是示出本發(fā)明的圖案形成裝置的第三實(shí)施方式的主要部分的圖。
[0043]圖22k以及22B是示出支撐手機(jī)構(gòu)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)及其動(dòng)作的圖。
[0044]圖23A以及23B是示出橡皮布支承構(gòu)件的更詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。
[0045]圖24A以及24B是示出橡皮布支承構(gòu)件和基板以及橡皮布之間的位置關(guān)系的圖。
[0046]圖25A至25C是示意性地示出第三實(shí)施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的第一圖。
[0047]圖26A至26D是示意性地示出第三實(shí)施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的第二圖。
[0048]圖27A至27D是示出第二實(shí)施方式的變形例的圖。
[0049]圖28是示出變形例的橡皮布按壓機(jī)構(gòu)以及轉(zhuǎn)印輥與橡皮布相抵接的抵接位置的圖。
[0050]其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:
[0051]1:圖案形成裝置
[0052]4:上載物臺(tái)部
[0053]6、8、9:下載物臺(tái)部
[0054]41:上載物臺(tái)(第二保持單元、板狀構(gòu)件)
[0055]61:下載物臺(tái)(第一保持單元、保持框)
[0056]81:下載物臺(tái)(第一保持單元、抵接部)
[0057]91a?91e、92a?92e:支撐手機(jī)構(gòu)(第一保持單元)
[0058]625:手部(輔助保持單元)
[0059]641、841、941:轉(zhuǎn)印棍(托起棍、托起單元)
[0060]644:升降機(jī)構(gòu)(移動(dòng)部，托起單元)
[0061]913,923:橡皮布支承構(gòu)件(局部支撐部)
[0062]31:PP版(處理對(duì)象物)
[0063]SB:基板(處理對(duì)象物)
【具體實(shí)施方式】
[0064]<第一實(shí)施方式>[0065]圖1是示出本發(fā)明的圖案形成裝置的第一實(shí)施方式的立體圖。另外，圖2是示出該圖案形成裝置的控制系統(tǒng)的框圖。此外，在圖1中，為了示出裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)而示出除去外部蓋的狀態(tài)。為了使各圖中的方向統(tǒng)一，如圖1右下方所示那樣設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)軸。在此,XY平面表示水平面,Z軸表示鉛垂軸。更詳細(xì)地,+Z方向表示鉛垂朝上方向。在從裝置觀察時(shí)的前表面方向?yàn)?Y方向，包括搬入搬出物品等從外部訪問(wèn)裝置的動(dòng)作是沿著Y軸方向進(jìn)行的。
[0066]該圖案形成裝置I的結(jié)構(gòu)為，在主機(jī)架2上安裝有上載物臺(tái)部4以及下載物臺(tái)部
6。在圖1中，為了明確地區(qū)分各部，對(duì)上載物臺(tái)部4標(biāo)注間距大的點(diǎn)，另外對(duì)下載物臺(tái)部6標(biāo)注間距更小的點(diǎn)。除了上述結(jié)構(gòu)之外，圖案形成裝置I還具有控制單元7 (圖2)，該控制單元7根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的處理程序控制裝置各部來(lái)執(zhí)行規(guī)定的動(dòng)作。對(duì)于上載物臺(tái)部4以及下載物臺(tái)部6的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，在后面進(jìn)行說(shuō)明，首先，對(duì)裝置I的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
[0067]圖案形成裝置I是通過(guò)使被下載物臺(tái)部6保持的橡皮布BL和被上載物臺(tái)部4保持的版PP或者基板SB相互抵接來(lái)形成圖案的裝置。更具體地說(shuō)，通過(guò)該裝置I進(jìn)行的圖案形成工序，如下所述。首先，使與要形成的圖案相對(duì)應(yīng)地制作的版PP，與均勻地涂敷有圖案形成材料的橡皮布BL抵接，由此對(duì)橡皮布BL所擔(dān)載的涂敷層進(jìn)行圖案成形(圖案成形處理)。然后，通過(guò)使這樣進(jìn)行了圖案成形的橡皮布BL和基板SB抵接，將橡皮布BL所擔(dān)載的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB (轉(zhuǎn)印處理)。由此，在基板SB上形成所希望的圖案。
[0068]這樣，該圖案形成裝置I能夠應(yīng)用于在基板SB上形成規(guī)定的圖案的圖案形成工序中的圖案成形處理以及轉(zhuǎn)印處理中，但是也可以以僅負(fù)責(zé)這些處理中的一種處理的方式來(lái)使用。
[0069]圖案形成裝置I的下載物臺(tái)部6被主機(jī)架2的基座機(jī)架21支撐。另一方面，上載物臺(tái)部4安裝在一對(duì)上載物臺(tái)支撐機(jī)架22、23上，一對(duì)上載物臺(tái)支撐機(jī)架22、23以在X方向夾持下載物臺(tái)部6的方式從基座機(jī)架21立起設(shè)置，并且沿著Y方向延伸。
[0070]另外，主機(jī)架2上安裝有用于檢測(cè)要搬入裝置內(nèi)的基板SB和橡皮布BL的位置的預(yù)定位攝像頭。具體地說(shuō)，用于在不同的3處檢測(cè)沿著Y軸方向搬入裝置內(nèi)的基板SB的邊緣的3臺(tái)基板用預(yù)定位攝像頭241、242、243，分別安裝在從上載物臺(tái)支撐機(jī)架22、23立起設(shè)置的懸臂上。同樣地，用于在不同的3處檢測(cè)沿著Y軸方向搬入裝置內(nèi)的橡皮布BL的邊緣的3臺(tái)橡皮布用預(yù)定位攝像頭244、245、246，分別安裝在從上載物臺(tái)支撐機(jī)架22、23立起設(shè)置的懸臂上。此外，在圖1中，未表示位于上載物臺(tái)部4的背后的一臺(tái)橡皮布用預(yù)定位攝像頭246。另外，在圖2中，將基板用預(yù)定位攝像頭簡(jiǎn)稱為“基板用PA攝像頭”，將橡皮布用預(yù)定位攝像頭間稱為“橡皮布用PA攝像頭”。
[0071]圖3是示出下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)的立體圖。在下載物臺(tái)部6中，在中央部開(kāi)口的板狀定位載物臺(tái)601的四角，沿著鉛垂方向(Z方向)分別立起設(shè)置有支柱602，通過(guò)這些支柱602來(lái)支撐載物臺(tái)支撐板603。雖然省略圖示，但是在定位載物臺(tái)601的下部6設(shè)置有例如交叉棍支撐導(dǎo)軌(Cross roller bearing)等定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605 (圖2),該定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605具有將沿著鉛垂方向Z延伸的旋轉(zhuǎn)軸作為旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)方向(下面，稱為“Θ方向”)、X方向以及Y方向這3個(gè)自由度。定位載物臺(tái)601通過(guò)該定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605安裝在基座機(jī)架21上。因此，通過(guò)定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605的動(dòng)作，能夠使定位載物臺(tái)601相對(duì)于基座機(jī)架21在規(guī)定的范圍內(nèi)在X方向、Y方向以及Θ方向上移動(dòng)。[0072]在載物臺(tái)支撐板603的上部配置有環(huán)狀矩形下載物臺(tái)61，該下載物臺(tái)61的上表面為大致與水平面一致的平面，在中央部形成有開(kāi)口窗611。在下載物臺(tái)61的上表面上載置有橡皮布BL，下載物臺(tái)61保持該橡皮布BL。
[0073]開(kāi)口窗611的開(kāi)口尺寸需要大于橡皮布BL的表面區(qū)域中的、有效發(fā)揮圖案形成區(qū)域的功能的中央部的有效區(qū)域(未圖示)的平面尺寸。即，在將橡皮布BL載置于下載物臺(tái)61時(shí)，需要使橡皮布BL下表面的、與有效區(qū)域相對(duì)應(yīng)的整個(gè)區(qū)域與開(kāi)口窗611相面對(duì)，使有效區(qū)域的下方處于完全開(kāi)放的狀態(tài)。另外，由圖案形成材料形成的涂敷層形成為至少覆蓋整個(gè)有效區(qū)域。
[0074]在下載物臺(tái)61的上表面61a上，以分別沿著開(kāi)口窗611的周緣各邊的方式設(shè)置有多個(gè)槽612。各槽612經(jīng)由未圖示的控制閥與控制單元7的負(fù)壓供給部704相連接。各槽612配置在平面尺寸小于橡皮布BL的平面尺寸的區(qū)域內(nèi)。并且，如在圖中用單點(diǎn)劃線所示，橡皮布BL以將這些槽612全部覆蓋的方式載置于下載物臺(tái)61上。另外，為了能夠?qū)崿F(xiàn)，在下載物臺(tái)上表面61a上恰當(dāng)配置有用于限制橡皮布BL的位置的擋止構(gòu)件613。
[0075]通過(guò)向各槽612供給負(fù)壓，使各槽612發(fā)揮真空吸附槽的功能，這樣將橡皮布BL的周緣部的四邊吸附保持在下載物臺(tái)61的上表面61a上。通過(guò)由相互獨(dú)立的多個(gè)槽612構(gòu)成真空吸附槽，即使因某些原因而一部分槽中產(chǎn)生真空破壞,也能夠通過(guò)其它槽來(lái)維持對(duì)橡皮布BL進(jìn)行吸附。因此，能夠可靠地保持橡皮布BL。另外，與設(shè)置單獨(dú)的槽的情況相t匕，能夠用強(qiáng)的吸附力吸附橡皮布BL。
[0076]在下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗611的下方設(shè)置有:升降手單元62、63，其用于使橡皮布BL沿著Z軸方向進(jìn)行上下移動(dòng)；轉(zhuǎn)印輥單元64，其從下方與橡皮布BL抵接來(lái)托起該橡皮布BL0
[0077]圖4是示出升降手單元的結(jié)構(gòu)的圖。由于兩個(gè)升降手單元62、63的結(jié)構(gòu)相同，因此在此僅對(duì)一個(gè)升降手單元62的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。升降手單元62具有從基座機(jī)架21沿著Z方向立起設(shè)置的兩個(gè)支柱621、622。板狀滑動(dòng)基座623以能夠進(jìn)行上下移動(dòng)的方式安裝在支柱621、622上。更具體地說(shuō)，在兩個(gè)支柱621、622上分別安裝有沿著鉛垂方向(Z方向)延伸的導(dǎo)軌6211、6221。安裝在滑動(dòng)基座623的背面即+Y側(cè)主面上的未圖示的滑塊以能夠自由滑動(dòng)的方式安裝在導(dǎo)軌6211、6221上。并且，例如具有馬達(dá)以及滾珠螺桿機(jī)構(gòu)等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)624，根據(jù)來(lái)自控制單元7的控制指令使滑動(dòng)基座623進(jìn)行上下移動(dòng)。
[0078]在滑動(dòng)基座623上以能夠自由進(jìn)行上下移動(dòng)的方式安裝有多個(gè)(在該例子中為4個(gè))手部625。就各手部625的結(jié)構(gòu)而言，除了根據(jù)配設(shè)位置不同而基座部分的形狀不同之夕卜，基本相同。各手部625固定在以能夠自由滑動(dòng)的方式與導(dǎo)軌626相卡合的滑塊627上，該導(dǎo)軌626沿著鉛垂方向(Z方向)安裝在滑動(dòng)基座623的前表面即-Y側(cè)主面上。滑塊627與升降機(jī)構(gòu)628相連接，該升降機(jī)構(gòu)628安裝在滑動(dòng)基座623的背面上，例如具有無(wú)桿缸體等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過(guò)該升降機(jī)構(gòu)628的動(dòng)作，使滑塊627相對(duì)于滑動(dòng)基座623沿著上下方向移動(dòng)。在各手部625上分別設(shè)置有獨(dú)立的升降機(jī)構(gòu)628，從而能夠使各手部625分別單獨(dú)地進(jìn)行上下移動(dòng)。
[0079]g卩，在升降手單元62中，升降機(jī)構(gòu)624使滑動(dòng)基座623進(jìn)行上下移動(dòng)，從而能夠使各手部625 —體地進(jìn)行升降，并且通過(guò)使各升降機(jī)構(gòu)628獨(dú)立地進(jìn)行動(dòng)作，能夠使各手部分別單獨(dú)地進(jìn)行升降。
[0080]手部625的上表面625a被加工成將Y方向作為長(zhǎng)度方向的細(xì)長(zhǎng)平面狀,該上表面625a能夠與橡皮布BL的下表面抵接來(lái)支撐橡皮布BL。另外，在上表面625a上設(shè)置有吸附孔625b，該吸附孔625b經(jīng)由未圖示的配管以及控制閥與設(shè)置在控制單元7上的負(fù)壓供給部704相連通。由此，根據(jù)需要向附孔625b供給來(lái)自負(fù)壓供給部704的負(fù)壓，從而能夠在手部625的上表面625a上吸附保持橡皮布BL。因此，能夠防止用手部625支撐橡皮布BL時(shí)的滑動(dòng)。
[0081]另外，根據(jù)需要，經(jīng)由未圖示的配管以及控制閥向吸附孔625b供給來(lái)自控制單元7的氣體供給部706的恰當(dāng)?shù)臍怏w，例如干燥空氣、非活性氣體等。即，通過(guò)由控制單元7控制各控制閥的開(kāi)閉，選擇性地向吸附孔625b供給來(lái)自負(fù)壓供給部704的負(fù)壓以及來(lái)自氣體供給部706的氣體。
[0082]在向吸附孔625b供給來(lái)自氣體供給部706的氣體時(shí)，從吸附孔625b噴出少量的氣體。由此，在橡皮布BL的下表面和手部上表面625a之間形成微小的間隙,手部625處于從下方支撐橡皮布BL且與橡皮布BL下表面分離的狀態(tài)。因此，能夠一邊通過(guò)各手部625支撐橡皮布BL，一邊使橡皮布BL在不與各手部625滑動(dòng)接觸的情況下沿著水平方向移動(dòng)。此外，也能夠在手部上表面625a上設(shè)置與吸附孔625b不同的另外的氣體噴出孔。
[0083]返回圖3，在下載物臺(tái)部6中，具有上述那樣的結(jié)構(gòu)的升降手單元62、63以手部625朝內(nèi)并在Y方向上相面對(duì)的方式相向配置。在各手部625下降至最低位置的狀態(tài)下，手部上表面625a位于下載物臺(tái)上表面61a的下方，即向-Z方向大幅度后退的位置。另一方面，在各手部625上升至最高位置的狀態(tài)下，各手部625的前端處于從下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗611向上方突出的狀態(tài)。此時(shí)，手部上表面625a到達(dá)至下載物臺(tái)上表面61a的上方，SP向+Z方向突出的位置。
[0084]另外，在從上方觀察時(shí)，在兩個(gè)升降手單元62、63的相互面對(duì)的手部625的前端彼此之間設(shè)置有一定的間隔，它們不會(huì)接觸。另外，如下面所述那樣，利用該間隙來(lái)使轉(zhuǎn)印輥單元64沿著X方向移動(dòng)。
[0085]圖5是示出轉(zhuǎn)印輥單元的結(jié)構(gòu)的圖。轉(zhuǎn)印輥單元64具有轉(zhuǎn)印輥641、支撐機(jī)架642、升降機(jī)構(gòu)644。轉(zhuǎn)印輥641是沿著Y方向延伸的圓筒狀輥構(gòu)件。支撐機(jī)架642沿著轉(zhuǎn)印棍641的下方在Y方向上延伸，用支撐機(jī)架642的兩端部支撐以轉(zhuǎn)印棍641能夠自由旋轉(zhuǎn)的方式支撐轉(zhuǎn)印輥641。升降機(jī)構(gòu)644具有恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使支撐機(jī)架642沿著Z方向上下移動(dòng)。轉(zhuǎn)印輥641不與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，而進(jìn)行自由旋轉(zhuǎn)。另外，在支撐機(jī)架642上設(shè)置有支撐輥643，該支撐輥643從下方與轉(zhuǎn)印輥641的表面抵接來(lái)防止轉(zhuǎn)印輥641彎曲。
[0086]轉(zhuǎn)印輥641的Y方向上的長(zhǎng)度小于下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗611的四邊中的、沿著Y方向的邊的長(zhǎng)度，即小于開(kāi)口窗611的Y方向上的開(kāi)口尺寸。且，轉(zhuǎn)印輥641的Y方向上的長(zhǎng)度大于被后述上載物臺(tái)保持的版PP或者基板SB沿著Y方向上的長(zhǎng)度。橡皮布BL中的、作為圖案形成區(qū)域而有效的有效區(qū)域的長(zhǎng)度，當(dāng)然小于等于版PP或者基板SB的長(zhǎng)度，因此在Y方向上，轉(zhuǎn)印輥641比有效區(qū)域長(zhǎng)。
[0087]升降機(jī)構(gòu)644具有:基座部644a ;支撐腳644b，其從該基座部644a向上方延伸，且與支撐機(jī)架642的Y方向上的中央附近相連接。通過(guò)馬達(dá)或者缸體等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠使支撐腳644b相對(duì)于基座部644a進(jìn)行上下移動(dòng)?；?44a以能夠自由滑動(dòng)的方式安裝在沿著X方向延伸設(shè)置的導(dǎo)軌646上，而且與例如具有馬達(dá)以及滾珠螺桿機(jī)構(gòu)等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)647相連接。導(dǎo)軌646沿著X方向延伸設(shè)置，安裝于固定在基座機(jī)架21上的下部機(jī)架645的上表面上。通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)647動(dòng)作，轉(zhuǎn)印輥641、支撐機(jī)架642以及升降機(jī)構(gòu)644 —體地沿著X方向移動(dòng)。
[0088]在后面詳細(xì)敘述，但是在該圖案形成裝置I中，使轉(zhuǎn)印輥641與被下載物臺(tái)61保持的橡皮布BL抵接，來(lái)局部托起橡皮布BL。由此，使橡皮布BL與被上載物臺(tái)保持且接近橡皮布BL來(lái)與橡皮布BL相向配置的版PP或者基板SB相抵接。
[0089]升降機(jī)構(gòu)644經(jīng)過(guò)升降手單元62、63的相互面對(duì)的手部625所產(chǎn)生的間隙來(lái)移動(dòng)。另外，各手部625的上表面625a能夠向-Z方向后退至轉(zhuǎn)印輥單元64的支撐機(jī)架642的下表面的下方。因此，通過(guò)在該狀態(tài)下使升降機(jī)構(gòu)644移動(dòng)，使轉(zhuǎn)印輥單元64的支撐機(jī)架642通過(guò)各手部625的上表面625a的上方。由此，能夠避免轉(zhuǎn)印輥單元64和手部625碰撞的情況。
[0090]接著，對(duì)于上載物臺(tái)部4的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，上載物臺(tái)部4具有:上載物臺(tái)組件40，其為沿著X方向延伸的結(jié)構(gòu)體；一對(duì)支撐柱45、46，其用于支撐上載物臺(tái)組件40 ;升降機(jī)構(gòu)47，其使整個(gè)上載物臺(tái)組件40沿著Z方向進(jìn)行升降移動(dòng)。支撐柱45、46分別從上載物臺(tái)支撐機(jī)架22、23立起設(shè)置，分別支撐上載物臺(tái)組件40的X方向上的兩端部。另夕卜，升降機(jī)構(gòu)47例如具有馬達(dá)以及滾珠螺桿機(jī)構(gòu)等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0091]圖6是示出上載物臺(tái)組件的結(jié)構(gòu)的圖。上載物臺(tái)組件40具有:上載物臺(tái)41 ;加固機(jī)架42，其設(shè)置在上載物臺(tái)41的上部；梁狀結(jié)構(gòu)體43 ;上部吸附單元44，其安裝在上載物臺(tái)41上。上載物臺(tái)41能夠在下表面保持版PP或者基板SB。梁狀結(jié)構(gòu)體43與加固機(jī)架42相結(jié)合，且沿著X方向水平延伸。如圖6所示，上載物臺(tái)組件40的形狀為關(guān)于包括上載物臺(tái)組件40的外形上的中心的XZ平面以及YZ平面分別大概對(duì)稱。
[0092]上載物臺(tái)41為平面尺寸稍小于要保持的版PP或者基板SB的平面尺寸的平板狀構(gòu)件，保持為水平姿勢(shì)的上載物臺(tái)41的下表面41a成為保持平面，該保持平面用于使版PP或者基板SB抵接來(lái)保持該版PP或者基板SB。對(duì)保持平面要求高的平面度，因此保持平面的材料優(yōu)選為石英玻璃或者不銹鋼板。另外，在保持平面上設(shè)置有用于安裝后述上部吸附單元44的吸附墊的貫通孔。
[0093]加固機(jī)架42由在上載物臺(tái)41的上表面上沿著Z方向延伸設(shè)置的加強(qiáng)筋的組合形成。如圖所示，為了防止上載物臺(tái)41彎曲來(lái)維持上載物臺(tái)41的下表面(保持平面)41a的平面度，將與YZ平面平行的加強(qiáng)筋421、與XZ平面平行的加強(qiáng)筋422分別恰當(dāng)組合有多個(gè)。加強(qiáng)筋421、422例如能夠由金屬板構(gòu)成。
[0094]另外，梁狀結(jié)構(gòu)體43是將多個(gè)金屬板組合而成的、將X方向作為長(zhǎng)度方向的結(jié)構(gòu)體，梁狀結(jié)構(gòu)體43的兩端部被支撐柱45、46支撐，并且能夠進(jìn)行上下移動(dòng)。具體地說(shuō)，在支撐柱45、46上分別設(shè)置有沿著Z方向延伸的導(dǎo)軌451、461，另一方面，在與該導(dǎo)軌451、461相向的梁狀結(jié)構(gòu)體43的+Y側(cè)主面上安裝有未圖示的滑塊，它們以能夠自由滑動(dòng)的方式相卡合。并且，如圖1所示，梁狀結(jié)構(gòu)體43和支撐柱46通過(guò)升降機(jī)構(gòu)47相連接，通過(guò)使升降機(jī)構(gòu)47進(jìn)行動(dòng)作，使梁狀結(jié)構(gòu)體43在維持水平姿勢(shì)的狀態(tài)下沿著鉛垂方向(Z方向)進(jìn)行移動(dòng)。上載物臺(tái)41通過(guò)加固機(jī)架42與梁狀結(jié)構(gòu)體43結(jié)合為一體，因此通過(guò)升降機(jī)構(gòu)47的動(dòng)作，使上載物臺(tái)41在保持平面41a保持為水平的狀態(tài)下進(jìn)行上下移動(dòng)。[0095]此外，加固機(jī)架42以及梁狀結(jié)構(gòu)體43的結(jié)構(gòu)并不限定于圖示的結(jié)構(gòu)。在此，將與YZ平面平行的板狀構(gòu)件和與XZ平面平行的板狀構(gòu)件組合起來(lái)獲得所需的強(qiáng)度，但是也可以將其它形狀的金屬板或角鋼構(gòu)件等恰當(dāng)組合。采用這樣的結(jié)構(gòu)是為了使上載物臺(tái)組件40變輕。為了減少各部彎曲的現(xiàn)象，也考慮使上載物臺(tái)41的厚度變大，或者將梁狀結(jié)構(gòu)體43形成為實(shí)心體，但是那樣會(huì)導(dǎo)致整個(gè)上載物臺(tái)組件40的質(zhì)量變大。
[0096]若配置于裝置的上部的結(jié)構(gòu)物的重量變大，則需要使用于支撐該結(jié)構(gòu)物或者使該結(jié)構(gòu)物移動(dòng)的機(jī)構(gòu)的強(qiáng)度以及耐久性進(jìn)一步提高，整個(gè)裝置也變得非常大且變重。因此，一邊通過(guò)組合板材等來(lái)獲取所需的強(qiáng)度，一邊使整個(gè)結(jié)構(gòu)物變輕的方式更現(xiàn)實(shí)。
[0097]另外，在被加固機(jī)架42包圍的上載物臺(tái)41的上部安裝有一對(duì)上部吸附單元44。在圖6上部示出將一個(gè)上部吸附單元44向上方取出的狀態(tài)。在上部吸附單元44中，在從支撐機(jī)架441向下方延伸的多個(gè)管442的下端上分別安裝有例如橡膠制成的吸附墊443。各管442的上端側(cè)經(jīng)由未圖示的配管以及控制閥與控制單元7的負(fù)壓供給部704相連接。支撐機(jī)架441呈不與構(gòu)成加固機(jī)架42的加強(qiáng)筋421、422發(fā)生干涉的形狀。
[0098]支撐機(jī)架441通過(guò)一對(duì)滑塊444和與該一對(duì)滑塊444相卡合的一對(duì)導(dǎo)軌445支撐在基座板446上，并且該支撐機(jī)架441能夠沿著鉛垂方向自由移動(dòng)。另外，基座板446和支撐機(jī)架441通過(guò)例如具有馬達(dá)以及滾珠螺桿機(jī)構(gòu)等恰當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)447相結(jié)合。通過(guò)升降機(jī)構(gòu)447的動(dòng)作，使支撐機(jī)架441相對(duì)于基座板446進(jìn)行升降，從而使與支撐機(jī)架441形成一體的管442以及吸附墊443進(jìn)行升降。
[0099]通過(guò)將基座板446固定在梁狀結(jié)構(gòu)體43的側(cè)面上，將上部吸附單元44安裝在上載物臺(tái)41上。在該狀態(tài)下，各管442的下端以及吸附墊443插入于設(shè)置在上載物臺(tái)41上的未圖示的貫通孔內(nèi)。并且，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)447的動(dòng)作，使吸附墊443在吸附位置和退避位置之間進(jìn)行升降移動(dòng)，其中，所述吸附位置指，吸附墊443的下表面突出至上載物臺(tái)41的下表面(保持平面)41a的下方的位置，所述退避位置指，吸附墊443的下表面退避在上載物臺(tái)41的貫通孔的內(nèi)部(上方)的位置。另外，在吸附墊443的下表面定位于與上載物臺(tái)41的保持平面41a大致相同的高度時(shí)，上載物臺(tái)41和吸附墊443能夠協(xié)同動(dòng)作來(lái)將版PP或者基板SB保持在保持平面41a上。
[0100]返回圖1，如上述那樣構(gòu)成的上載物臺(tái)組件40設(shè)置在基座板481上。更詳細(xì)地，支撐柱45、46分別立起設(shè)置在基座板481上，上載物臺(tái)組件40以能夠進(jìn)行升降的方式安裝在該支撐柱45、46上?；?81安裝在上載物臺(tái)支撐機(jī)架22、23上，被例如具有交叉輥支撐導(dǎo)軌等恰當(dāng)?shù)目蓜?dòng)機(jī)構(gòu)的上載物臺(tái)部支撐機(jī)構(gòu)482支撐。
[0101]因此，整個(gè)上載物臺(tái)組件40能夠相對(duì)于主機(jī)架2進(jìn)行水平移動(dòng)。具體地說(shuō)，基座板481借助上載物臺(tái)部支撐機(jī)構(gòu)482的動(dòng)作在水平面即XY平面內(nèi)進(jìn)行水平移動(dòng)。與支撐柱45、46分別對(duì)應(yīng)來(lái)設(shè)置的一對(duì)基座板481能夠相互獨(dú)立地進(jìn)行移動(dòng)。隨著基座板481移動(dòng)，上載物臺(tái)組件40能夠相對(duì)于主機(jī)架2在規(guī)定的范圍內(nèi)在X方向、Y方向以及Θ方向上移動(dòng)。
[0102]如上述那樣構(gòu)成的圖案形成裝置I的各部被控制單元7控制。如圖2所示，控制單元7具有CPU (中央處理器)701、馬達(dá)控制部702、閥控制部703、負(fù)壓供給部704。CPU701用于掌管整個(gè)裝置的動(dòng)作。馬達(dá)控制部702用于控制設(shè)置在各部上的馬達(dá)。閥控制部703用于控制設(shè)置在各部上的控制閥類。負(fù)壓供給部704產(chǎn)生用于向各部供給的負(fù)壓。此外，在能夠利用外部所供給的負(fù)壓的情況下，控制單元7也可以不具有負(fù)壓供給部。
[0103]馬達(dá)控制部702通過(guò)控制設(shè)置在各功能部上的馬達(dá)組，掌管裝置各部的定位和移動(dòng)。另外，閥控制部703通過(guò)控制設(shè)置在從負(fù)壓供給部704連接至各功能部的負(fù)壓配管路徑上以及從氣體供給部706連接至手部625的配管路徑上的閥組，掌管通過(guò)供給負(fù)壓來(lái)執(zhí)行的真空吸附以及解除真空吸附，以及掌管從手部上表面625a噴出氣體。
[0104]另外，該控制單元7具有對(duì)攝像頭所拍攝的圖像進(jìn)行圖像處理的圖像處理部705。圖像處理部705對(duì)安裝在主機(jī)架2上的基板用預(yù)定位攝像頭241?243以及橡皮布用預(yù)定位攝像頭244?246所拍攝的圖像進(jìn)行規(guī)定的圖像處理，檢測(cè)基板SB以及橡皮布BL的概略位置。另外，通過(guò)對(duì)后述精密定位用的定位攝像頭27所拍攝的圖像進(jìn)行規(guī)定的圖像處理，更精密地檢測(cè)基板SB和橡皮布BL之間的位置關(guān)系。CPU70基于這些位置檢測(cè)結(jié)果，控制上載物臺(tái)部支撐機(jī)構(gòu)482以及定位支撐機(jī)構(gòu)605，對(duì)被上載物臺(tái)41保持的版PP或者基板SB和被下載物臺(tái)61保持的橡皮布BL進(jìn)行對(duì)位(預(yù)定位處理以及精密定位處理)。
[0105]接著，如上述那樣構(gòu)成的圖案形成裝置I中的圖案形成處理進(jìn)行說(shuō)明。在該圖案形成處理中，被上載物臺(tái)41保持的版PP或者基板SB和被下載物臺(tái)61保持的橡皮布BL隔開(kāi)微小的空隙接近并相向配置。而且，轉(zhuǎn)印輥641—邊與橡皮布BL的下表面抵接來(lái)將橡皮布BL局部向上方托起，一邊沿著橡皮布BL下表面移動(dòng)。被托起的橡皮布BL首先與版PP或者基板SB局部抵接，隨著輥移動(dòng)，該抵接部分逐漸變大，最終與整個(gè)版PP或者基板SB相抵接。由此，能夠?qū)鍼P上的圖案形成在橡皮布BL上，或者從橡皮布BL向基板SB轉(zhuǎn)印圖案。
[0106]圖7是示出圖案形成處理的流程圖。另外，圖8A至圖15C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部之間的位置關(guān)系的圖。下面，一邊參照?qǐng)D8A至圖15C，一邊對(duì)于圖案形成處理中的各部的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。此外，為了以容易理解的方式表示處理的各階段中的各部之間的關(guān)系，有時(shí)省略圖示與該階段的處理沒(méi)有直接關(guān)系的結(jié)構(gòu)或者應(yīng)該在該結(jié)構(gòu)標(biāo)注的附圖標(biāo)記。另外，在被上載物臺(tái)41保持的處理對(duì)象物為版PP時(shí)和基板SB時(shí)，除了一部分動(dòng)作之外，其它動(dòng)作都相同，因此共用圖來(lái)恰當(dāng)理解版PP和基板SB。
[0107]在該圖案形成處理中，首先，將與要形成的圖案相對(duì)應(yīng)的版PP搬入于進(jìn)行了初始化的圖案形成裝置I中，并安裝在上載物臺(tái)41上(步驟S101)，搬入由圖案形成材料形成有均勻的涂敷層的橡皮布BL并安裝在下載物臺(tái)61上(步驟S102)。版PP以使與圖案相對(duì)應(yīng)的有效面朝下的方式被搬入，另外，橡皮布BL以使涂敷層朝上的方式被搬入。
[0108]圖8A至圖8C示出將版PP或者基板SB搬入于裝置中并安裝在上載物臺(tái)41上為止的過(guò)程。如圖8A所示，在初始狀態(tài)下，上載物臺(tái)41向上方退避來(lái)使與下載物臺(tái)61之間的間隔變大，從而在兩個(gè)載物臺(tái)之間形成大的處理空間SP。另外，各手部625退避至下載物臺(tái)61的上表面的下方。轉(zhuǎn)印輥641位于與下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗611相面對(duì)的位置中的、最靠近-X方向的位置，且在鉛垂方向(Z方向)上退避到下載物臺(tái)61的上表面的下方的位置。與負(fù)壓供給部704相連接的各控制閥關(guān)閉。
[0109]在該狀態(tài)下，將載置于外部的版用手部HP的版PP，在預(yù)先測(cè)量其厚度的基礎(chǔ)上，從裝置的前表面?zhèn)燃?Y方向朝向+Y方向搬入于處理空間SP內(nèi)。版用手部HP可以是由操作者進(jìn)行手動(dòng)操作的操作夾具，另外也可以是外部的搬運(yùn)機(jī)械手的手部。此時(shí)，通過(guò)使手部625以及轉(zhuǎn)印輥641退避至下方，能夠使搬入操作變得容易。當(dāng)版PP定位于規(guī)定的位置上時(shí)，如箭頭所示那樣使上載物臺(tái)41下降。
[0110]當(dāng)上載物臺(tái)41下降至與版PP接近的規(guī)定的位置時(shí)，如圖SB所示，設(shè)置在上載物臺(tái)41上的吸附墊443突出至上載物臺(tái)41的下表面即保持平面41a的下方，來(lái)與版PP的上表面相抵接。通過(guò)打開(kāi)與吸附墊443相連接的控制閥，通過(guò)吸附墊443吸附版PP的上表面來(lái)保持版PP。然后，在繼續(xù)進(jìn)行吸附的狀態(tài)下，使吸附墊443上升，從而從版用手部HP抬起版PP。在該時(shí)刻，版用手部HP向裝置外移動(dòng)。
[0111]最終，如圖8C所示，吸附墊443上升至其下表面的高度與保持平面41a高度相同或者稍高于保持平面41a的高度的位置，由此，版PP以其上表面與上載物臺(tái)41的保持平面41a緊貼的狀態(tài)被保持。也可以在上載物臺(tái)41的下表面設(shè)置吸附槽或者吸附孔，由此形成吸附從吸附墊443接收的版PP的結(jié)構(gòu)。這樣結(jié)束保持版PP的動(dòng)作。通過(guò)同樣的步驟，能夠通過(guò)基板用手部HS搬入基板SB。
[0112]圖9A至圖9C、圖1OA以及圖1OB示出搬入版PP之后，搬入橡皮布BL并保持在下載物臺(tái)61上為止的過(guò)程。當(dāng)結(jié)束由上載物臺(tái)41保持版PP的動(dòng)作時(shí)，如圖9A所示，使上載物臺(tái)41上升再次形成大的處理空間SP，并且使各手部625上升至下載物臺(tái)61的上表面61a的上方。此時(shí)，使各手部625的上表面625a都處于同一高度上。
[0113]在該狀態(tài)下，如圖9B所示，上表面上形成有由圖案成形材料形成的涂敷層PT的橡皮布BL，載置于外部的橡皮布用手部HB上來(lái)搬入處理空間SP內(nèi)。在搬入橡皮布BL之前測(cè)量橡皮布BL的厚度。優(yōu)選橡皮布用手部HB呈具有沿著Y方向延伸的指狀叉子型，以便能夠在不與手部625發(fā)生干涉的情況下通過(guò)手部625之間的間隙來(lái)進(jìn)入。
[0114]通過(guò)使橡皮布用手部HB進(jìn)入之后進(jìn)行下降或者使手部625上升，使手部625的上表面625a與橡皮布BL的下表面相抵接,如圖9C所不,之后橡皮布BL被手部625支撐。通過(guò)向設(shè)置在手部625上的吸附孔625b (圖4)供給負(fù)壓，能夠更可靠地進(jìn)行支撐。這樣，能夠?qū)⑾鹌げ糂L從橡皮布用手部HB交至手部625上，將橡皮布用手部HB排出至裝置外。
[0115]然后，如圖1OA所示，在使各手部625的上表面625a的高度一致的狀態(tài)下，使手部625進(jìn)行下降，最終使手部上表面625a的高度與下載物臺(tái)61的上表面61a的高度相同。由此，使橡皮布BL四邊的周緣部與下載物臺(tái)61的上表面61a相抵接。
[0116]此時(shí)，如圖1OB所示，向設(shè)置在下載物臺(tái)上表面61a上的真空吸附槽612供給負(fù)壓，從而吸附保持橡皮布BL。伴隨于此，解除通過(guò)手部625進(jìn)行的吸附。由此，橡皮布BL處于其四邊的周緣部被下載物臺(tái)61吸附保持的狀態(tài)。在圖1OB中，為了明確表示解除了通過(guò)手部625進(jìn)行的吸附保持，而使橡皮布BL和手部625分離，但是實(shí)際上維持橡皮布BL的下表面與手部上表面625a相抵接的狀態(tài)。
[0117]若在該狀態(tài)下使手部625離開(kāi)，則橡皮布BL因自重而中央部向下方彎曲，從而整體上呈向下凸的形狀。通過(guò)將手部625維持在與下載物臺(tái)上表面61a相同的高度上，能夠抑制這樣的彎曲來(lái)將橡皮布BL維持平面狀態(tài)。這樣，橡皮布BL處于其周緣部被下載物臺(tái)61吸附保持，且中央部被手部625輔助性地支撐的狀態(tài)，從而結(jié)束保持橡皮布BL的動(dòng)作。
[0118]版PP和橡皮布BL的搬入順序也可以與上述順序相反。但是，在搬入橡皮布BL之后搬入版PP的情況下，在搬入版PP時(shí)，可能在橡皮布BL上落下異物而導(dǎo)致由圖案形成材料形成的涂敷層PT發(fā)生污染或者產(chǎn)生缺陷。上述那樣在將版PP安裝在上載物臺(tái)41上之后在下載物臺(tái)61上安裝橡皮布BL，能夠事先避免這樣的問(wèn)題。[0119]返回圖7，這樣在上下載物臺(tái)上分別安裝版PP以及橡皮布BL時(shí)，接著對(duì)版PP以及橡皮布BL進(jìn)行預(yù)定位處理(步驟S103)。而且，進(jìn)行空隙調(diào)整，以使兩者隔開(kāi)預(yù)先設(shè)定的空隙并相向(步驟S104)。
[0120]圖1lA至圖1lC是示出空隙調(diào)整處理以及定位處理的過(guò)程的圖。其中，圖1lC所示的精密定位處理是，僅在后述轉(zhuǎn)印處理中所需的處理，因此在后面的轉(zhuǎn)印處理的說(shuō)明中敘述精密定位處理。如上述那樣從外部搬入版PP、基板SB或者橡皮布BL，但是在進(jìn)行交接時(shí)可能產(chǎn)生位置偏移。預(yù)定位處理是用于將被上載物臺(tái)41保持的版PP或者基板SB和被下載物臺(tái)61保持的橡皮布BL分別大概定位于適于之后的處理的位置上的處理。
[0121]圖1lA是示意性地示出用于執(zhí)行預(yù)定位的結(jié)構(gòu)的配置的側(cè)視圖。如上所述，在本實(shí)施方式中，在裝置上部上設(shè)置有共計(jì)6臺(tái)預(yù)定位攝像頭241?246。其中，3臺(tái)攝像頭241?243是用于檢測(cè)被上載物臺(tái)41保持的版PP (或者基板SB)的外緣的基板用預(yù)定位攝像頭。另外，其它3臺(tái)攝像頭244?246是用于檢測(cè)橡皮布BL的外緣的橡皮布用預(yù)定位攝像頭。此外，在此，為了便利而將預(yù)定位攝像頭241?243稱為“基板用預(yù)定位攝像頭”，但是這些攝像頭也能夠用于版PP的對(duì)位以及基板SB的對(duì)位中的任一對(duì)位，另外處理內(nèi)容也相同。
[0122]如圖1以及圖1lA所示，基板用預(yù)定位攝像頭241、242的X方向上的位置大致相同，而Y方向上的位置相互不同，分別從上方拍攝版PP或者基板SB的-X側(cè)外緣部。上載物臺(tái)41的平面尺寸稍小于基板SB的平面尺寸。因此，能夠從上方拍攝延伸至上載物臺(tái)41的端部的外側(cè)的版PP (或者基板SB)的-X側(cè)外緣部。另外，雖然未在圖中表示，但是在圖1IA紙面的靠讀者一側(cè)設(shè)置有另一臺(tái)基板用預(yù)定位攝像頭243，該攝像頭243從上方拍攝版PP (或者基板SB)的-Y側(cè)外緣部。
[0123]另一方面，橡皮布用預(yù)定位攝像頭244、246的X方向上的位置大致相同，而Y方向上的位置相互不同，分別從上方拍攝載置于下載物臺(tái)61的橡皮布BL的+X側(cè)外緣部。另夕卜，在圖1lA紙面的靠讀者一側(cè)設(shè)置有另一臺(tái)橡皮布用預(yù)定位攝像頭245，該攝像頭245從上方拍攝橡皮布BL的-Y側(cè)外緣部。
[0124]根據(jù)這些預(yù)定位攝像頭241?246所拍攝的拍攝結(jié)果，分別掌握版PP (或者基板SB)以及橡皮布BL的位置。并且，通過(guò)根據(jù)需要使上載物臺(tái)部支撐機(jī)構(gòu)482以及定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605進(jìn)行動(dòng)作，將版PP (或者基板SB)以及橡皮布BL分別定位于預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)位置上。
[0125]此外，如圖1lA所示，優(yōu)選在使橡皮布BL與下載物臺(tái)61 —起進(jìn)行水平移動(dòng)時(shí)，各手部625的上表面625a和橡皮布BL的下表面稍稍分離。為了達(dá)到該目的，能夠從手部625的吸附孔625b噴出氣體供給部706所供給的氣體。這在后述精密定位處理中也同樣。
[0126]另外，為了容易操作因薄或大而容易產(chǎn)生彎曲的基板SB，有時(shí)例如以使板狀支撐構(gòu)件與基板SB的背面抵接的狀態(tài)處理基板SB。在這樣的情況下，例如即使支撐構(gòu)件大于基板SB，只要將基板SB的外緣部的位置形成為容易檢測(cè)的結(jié)構(gòu)，也能夠進(jìn)行與上述同樣的預(yù)定位處理，例如用透明材料構(gòu)成支撐構(gòu)件，或者在支撐構(gòu)件上的局部設(shè)置透明的窗或者貫通孔等。
[0127]接著，如圖1lB所示，保持版PP的上載物臺(tái)41相對(duì)于保持橡皮布BL的下載物臺(tái)61下降，從而使版PP和橡皮布BL之間的間隔G與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定值一致。此時(shí)，考慮事先測(cè)量出的版PP以及橡皮布BL的厚度。S卩，以使將版PP以及橡皮布BL的厚度加進(jìn)去之后兩者的空隙成為規(guī)定值的方式，調(diào)整上載物臺(tái)41和下載物臺(tái)61之間的間隔。這里的空隙值G，例如能夠?yàn)?00 μ m左右。
[0128]就版PP以及橡皮布BL的厚度而言，不僅因制造上的尺寸偏差而存在個(gè)體差，而且即使是同一部件，也考慮例如因膨脹而引起的厚度的變化，因此優(yōu)選在每當(dāng)使用時(shí)都進(jìn)行測(cè)量。另外，就空隙G而言，可以用版PP的下表面和橡皮布BL的上表面之間來(lái)定義，另外也可以用版PP的下表面和擔(dān)載于橡皮布BL的圖案形成材料的涂敷層PT的上表面之間來(lái)定義。只要在涂敷階段嚴(yán)格管理涂敷層PT的厚度，則技術(shù)上是等價(jià)。
[0129]返回圖7，當(dāng)這樣版PP和橡皮布BL隔開(kāi)空隙G相向配置時(shí)，接著使轉(zhuǎn)印輥641 —邊與橡皮布BL的下表面抵接一邊沿著X方向移動(dòng)，從而使版PP和橡皮布BL相抵接。由此，通過(guò)版PP對(duì)橡皮布BL上的圖案形成材料的涂敷層PT進(jìn)行圖案成形(圖案成形處理:步驟S105)。
[0130]圖12A至12C示出圖案成形處理的過(guò)程。如圖12A所示，轉(zhuǎn)印輥641上升至橡皮布BL的正下方位置，并且進(jìn)行定位使得在X方向上轉(zhuǎn)印輥641的中心線處于與版PP的端部大致相同的位置，或者比版PP的端部向-X方向稍稍偏移的位置的。在該狀態(tài)下，如圖12B所示，轉(zhuǎn)印輥641進(jìn)一步上升來(lái)與橡皮布BL的下表面相抵接，將該抵接的位置的橡皮布BL局部向上方托起。由此，橡皮布BL (更嚴(yán)格地說(shuō)，擔(dān)載于橡皮布BL的圖案形成材料的涂敷層PT)以規(guī)定的按壓力按壓版PP的下表面。在Y方向上，轉(zhuǎn)印輥641比版PP (以及有效區(qū)域)更長(zhǎng)，因此版PP的下表面中的、從Y方向上的一端至另一端的沿著Y方向延伸的細(xì)長(zhǎng)區(qū)域與橡皮布BL相抵接。
[0131]在這樣轉(zhuǎn)印輥641按壓橡皮布BL的狀態(tài)下，使升降機(jī)構(gòu)644朝向+X方向移動(dòng)，從而使橡皮布BL的托起位置向+X方向移動(dòng)。此時(shí)，為了防止手部625與轉(zhuǎn)印輥641相接觸，因此如圖12C所示，在X方向上與轉(zhuǎn)印輥641之間的距離為規(guī)定值以下的手部625向下方退避，直到至少該手部625的上表面625a處于比支撐機(jī)架642的下表面更低的位置。
[0132]由于已經(jīng)解除了通過(guò)手部625進(jìn)行的吸附，因此不會(huì)存在手部625下降的同時(shí)將橡皮布BL向下方拉下的情況。另外，通過(guò)與轉(zhuǎn)印輥641的移動(dòng)同步地恰當(dāng)管理開(kāi)始下降的時(shí)刻，還能夠防止失去手部625的支撐的橡皮布BL因自重而向下方下垂的情況。
[0133]圖13A至13C示出轉(zhuǎn)印輥641的移動(dòng)過(guò)程。暫時(shí)抵接的版PP和橡皮布BL維持隔著圖案形成材料的涂敷層PT緊貼的狀態(tài)，因此如圖13A所示，隨著轉(zhuǎn)印輥641移動(dòng)，版PP與橡皮布BL緊貼的區(qū)域逐漸向+X方向擴(kuò)大。此時(shí)，如圖13A所示，隨著轉(zhuǎn)印輥641接近，手部625依次下降。
[0134]這樣，如圖13B所示，最終所有的手部625下降，轉(zhuǎn)印輥641到達(dá)至下載物臺(tái)61下方的+X側(cè)端部附近。在該時(shí)刻，轉(zhuǎn)印輥641到達(dá)至版PP的+X側(cè)端部的大致正下方或者比版PP的+X側(cè)端部靠近+X側(cè)的位置，從而使版PP的整個(gè)下表面與橡皮布BL上的涂敷層PT相抵接。
[0135]在轉(zhuǎn)印輥641維持恒定的高度移動(dòng)的期間，橡皮布BL下表面中的、被轉(zhuǎn)印輥641按壓的區(qū)域的面積是恒定的。因此，升降機(jī)構(gòu)644—邊賦予恒定的負(fù)載一邊將轉(zhuǎn)印輥641按壓于橡皮布BL上，從而版PP和橡皮布BL —邊以彼此之間夾持圖案形成材料的涂敷層PT，一邊以恒定的按壓力相互進(jìn)行按壓。由此，從而能夠良好地從版PP向橡皮布BL進(jìn)行圖案成形(將版PP上的圖案成形到橡皮布BL上)。
[0136]此外，在進(jìn)行圖案成形時(shí)，理想的是能夠有效利用版PP的表面整個(gè)區(qū)域，但是在版PP的周緣部上由于缺陷或搬運(yùn)時(shí)與搬運(yùn)手發(fā)生接觸等而不可避免地產(chǎn)生不能有效利用的區(qū)域。圖13B所示，在將版PP的除了端部區(qū)域的中央部分作為有效發(fā)揮版的功能的有效區(qū)域AR時(shí)，優(yōu)選至少在有效區(qū)域AR內(nèi)轉(zhuǎn)印輥641的按壓力以及移動(dòng)速度恒定。為此，需要使轉(zhuǎn)印輥641的Y方向長(zhǎng)度大于該方向上的有效區(qū)域AR的長(zhǎng)度。另外，在X方向上，使轉(zhuǎn)印輥641從比有效區(qū)域AR的-X方向的端部更靠近-X側(cè)的位置開(kāi)始移動(dòng)，至少在到達(dá)有效區(qū)域AR的+X方向的端部之前維持恒定速度。與版PP的有效區(qū)域AR相向的橡皮布BL的表面區(qū)域成為橡皮布BL側(cè)的有效區(qū)域。
[0137]圖14示出版或者基板與橡皮布之間的位置關(guān)系。更具體地說(shuō)，該圖是從上方觀察版PP或者基板SB與橡皮布BL抵接時(shí)的位置關(guān)系的俯視圖。如圖所示，橡皮布BL的平面尺寸大于版PP或者基板SB的平面尺寸。橡皮布BL中的在圖中標(biāo)注點(diǎn)的、接近周緣部的區(qū)域Rl是，在被下載物臺(tái)61保持時(shí)與下載物臺(tái)上表面61a抵接的區(qū)域。以使該區(qū)域內(nèi)側(cè)的區(qū)域的下表面開(kāi)放的狀態(tài)下，將橡皮布BL保持在下載物臺(tái)61上。
[0138]版PP和基板SB尺寸大致相同，它們的尺寸小于下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗尺寸。另夕卜，在實(shí)際的圖案形成中有效使用的有效區(qū)域AR的尺寸小于版PP或者基板SB的尺寸。因此，橡皮布BL中的與有效區(qū)域AR相對(duì)應(yīng)的區(qū)域的下表面開(kāi)放，處于與下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗611相面對(duì)的狀態(tài)。
[0139]標(biāo)注陰影的區(qū)域R2表示橡皮布BL下表面中的、同時(shí)受到轉(zhuǎn)印輥641按壓的區(qū)域(按壓區(qū)域)。按壓區(qū)域R2是沿著輥延伸設(shè)置方向即Y方向延伸的細(xì)長(zhǎng)區(qū)域，Y方向上的兩端部分別延伸至版PP或者基板SB的端部的外側(cè)。因此，在轉(zhuǎn)印輥641以與橡皮布BL下表面平行的狀態(tài)按壓橡皮布BL時(shí)，在Y方向上，該按壓力在有效區(qū)域AR的Y方向上的一端部至另一端部之間是均勻的。
[0140]這樣，一邊向有效區(qū)域AR賦予在Y方向上相同的按壓力，一邊使轉(zhuǎn)印輥641沿著X方向移動(dòng)，從而在整個(gè)有效區(qū)域AR內(nèi)，使版PP或者基板SB與橡皮布BL以相同的按壓力相互進(jìn)行按壓。由此，能夠防止因進(jìn)行不均勻的按壓而引起的圖案損壞，從而形成優(yōu)質(zhì)的圖案。
[0141]當(dāng)這樣轉(zhuǎn)印輥641到達(dá)至+X側(cè)端部時(shí)，使轉(zhuǎn)印輥641停止移動(dòng)，并且如圖13C所示，使轉(zhuǎn)印輥641向下方退避。由此，轉(zhuǎn)印輥641與橡皮布BL下表面分離，從而結(jié)束圖案成形處理。
[0142]返回圖7，當(dāng)這樣結(jié)束圖案成形處理時(shí)，搬出版PP以及橡皮布BL(步驟S106)。圖15A至15C示出搬出版以及橡皮布的過(guò)程。首先，如圖15A所示，使在進(jìn)行圖案成形處理時(shí)下降的各手部625再次上升，定位于使上表面625a的高度與下載物臺(tái)61的上表面61a的高度相同的位置。在該狀態(tài)下，解除通過(guò)上載物臺(tái)41的吸附墊443對(duì)版PP進(jìn)行的吸附。由此，解除通過(guò)上載物臺(tái)41保持版PP的動(dòng)作，版PP和橡皮布BL經(jīng)由圖案形成材料的涂敷層PT形成一體的層疊體留在下載物臺(tái)61上。通過(guò)手部625支撐層疊體的中央部。
[0143]接著，如圖15B所示，使上載物臺(tái)41上升來(lái)形成大的處理空間SP，解除通過(guò)下載物臺(tái)61的槽612進(jìn)行的吸附(在通過(guò)吸附槽或者吸附孔進(jìn)行吸附的情況下，解除通過(guò)它們進(jìn)行的吸附)，并且使手部625進(jìn)一步上升移動(dòng)至下載物臺(tái)61的上方。此時(shí)，優(yōu)選通過(guò)手部625吸附保持層疊體。
[0144]這樣，能夠從外部進(jìn)行訪問(wèn)。因此，如圖15C所示，從外部接受橡皮布用手部HB，進(jìn)行與搬入時(shí)相反的動(dòng)作，從而將緊貼有版PP的狀態(tài)的橡皮布BL向外部搬出。將這樣緊貼的版PP通過(guò)恰當(dāng)?shù)膭冸x裝置從橡皮布BL剝離，從而在橡皮布BL上形成規(guī)定的圖案。
[0145]接著，對(duì)于將形成在橡皮布BL上的圖案轉(zhuǎn)印至最終目的物即基板SB的情況進(jìn)行說(shuō)明。該工序基本與圖案成形處理的情況相同。即，如圖7所示，首先，將基板SB安裝在上載物臺(tái)41上(步驟S107)，接著，將已形成圖案的橡皮布BL安裝在下載物臺(tái)61上(步驟S108)。然后，對(duì)基板SB和橡皮布BL進(jìn)行預(yù)定位處理以及空隙調(diào)整之后(步驟S109、S110)，使轉(zhuǎn)印輥641在橡皮布BL下部移動(dòng)，從而將橡皮布BL上的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB (轉(zhuǎn)印處理；步驟S112)。在結(jié)束轉(zhuǎn)印之后，搬出形成一體的橡皮布BL和基板SB來(lái)結(jié)束處理(步驟S113)。這一系列動(dòng)作也與圖8A至圖15C所示的內(nèi)容相同。此外，在這些圖中，將版PP替換為基板SB時(shí)，附圖標(biāo)記PT指，進(jìn)行圖案成形處理之后的圖案。
[0146]其中，在轉(zhuǎn)印處理中，為了在基板SB的規(guī)定位置恰當(dāng)?shù)剞D(zhuǎn)印圖案，在使基板SB和橡皮布BL抵接之前，對(duì)兩者執(zhí)行更精密的對(duì)位(精密定位處理)(步驟S111)。圖1lC示出該過(guò)程。
[0147]在圖1中省略了記載，但是在該圖案形成裝置I上設(shè)置有精密定位攝像頭27，該精密定位攝像頭27被從基座機(jī)架21向+Z方向立起設(shè)置的支撐柱支撐。精密定位攝像頭27以使其光軸朝向鉛垂上方的方式設(shè)置有共計(jì)4臺(tái)，以便通過(guò)下載物臺(tái)61的開(kāi)口窗611來(lái)分別拍攝基板SB的四角。
[0148]在基板SB的四角上預(yù)先形成有成為位置基準(zhǔn)的定位標(biāo)記(基板側(cè)定位標(biāo)記)。另一方面，在橡皮布BL的與基板側(cè)定位標(biāo)記相對(duì)應(yīng)的位置上形成有橡皮布側(cè)定位標(biāo)記，該橡皮布側(cè)定位標(biāo)記為由版PP進(jìn)行了圖案成形的圖案中的一部分。精密定位攝像頭27在同一視場(chǎng)拍攝這些定位標(biāo)記，通過(guò)檢測(cè)它們之間的位置關(guān)系來(lái)求出兩者之間的位置偏移量，從而求出能夠修正這些位置偏移量的橡皮布BL的移動(dòng)量。通過(guò)定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605使定位載物臺(tái)601移動(dòng)求出的移動(dòng)量，來(lái)使下載物臺(tái)61在水平面內(nèi)移動(dòng)，從而對(duì)基板SB和橡皮布BL之間的位置偏移進(jìn)行修正。
[0149]在基板SB和橡皮布BL隔開(kāi)微小的空隙G相向的狀態(tài)下，用同一攝像頭拍攝分別形成在基板SB和橡皮布BL上的定位標(biāo)記，從而能夠?qū)錝B和橡皮布BL進(jìn)行高精度的對(duì)位。上述定位處理能夠稱為，與分別單獨(dú)拍攝基板SB以及橡皮布BL來(lái)進(jìn)行位置調(diào)整的情況相比更高精度的精密定位處理。在該狀態(tài)下使兩者抵接，由此在本實(shí)施方式中，能夠在基板SB的規(guī)定位置上形成進(jìn)行了高精度對(duì)位的圖案。并且，預(yù)先對(duì)基板SB以及橡皮布BL進(jìn)行預(yù)定位處理，從而將分別形成在基板SB以及橡皮布BL上的定位標(biāo)記定位于精密定位攝像頭27的視場(chǎng)內(nèi)。
[0150]此外，在通過(guò)版PP向橡皮布BL進(jìn)行圖案成形時(shí)，不必一定那樣進(jìn)行精密的定位處理。這是因?yàn)?，通過(guò)將橡皮布側(cè)定位標(biāo)記與圖案一同預(yù)先制作在版PP上，要形成在橡皮布BL上的圖案和橡皮布側(cè)定位標(biāo)記之間不會(huì)產(chǎn)生位置偏移，只要對(duì)橡皮布側(cè)定位標(biāo)記和基板側(cè)定位標(biāo)記進(jìn)行精密定位，則版PP和橡皮布BL之間的少量位置偏移不會(huì)影響圖案形成。從這一點(diǎn)說(shuō)，在圖案成形處理中僅執(zhí)行預(yù)定位處理。
[0151]另外，能夠這樣進(jìn)行精密的對(duì)位是因?yàn)?，由于該圖案形成裝置I具有使轉(zhuǎn)印輥641從橡皮布BL的下方抵接的結(jié)構(gòu)。對(duì)于這一點(diǎn)，一邊參照?qǐng)D16A至16C —邊進(jìn)行說(shuō)明。此外，下面，鑒于對(duì)位的重要性，以基板SB和橡皮布BL的組合來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但是版PP和橡皮布BL的組合也同樣。
[0152]圖16A至16C是用于說(shuō)明從下方按壓橡皮布的結(jié)構(gòu)的優(yōu)越性的圖。在圖16A所示的第一比較例中，將橡皮布BL配置在上方，將版PP或者基板SB配置在下方，通過(guò)輥R從上方按壓橡皮布BL。在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于原理上只用在周緣部保持橡皮布BL，因此如該圖所示，橡皮布BL因自重而彎曲，無(wú)法避免中央部比周緣部下垂的情況。尤其，近幾年基板進(jìn)一步大型化，與此對(duì)應(yīng)的橡皮布也需要變大，因此該趨勢(shì)變得更顯著。另外，難以控制該彎曲量。
[0153]因此，為了避免在進(jìn)行按壓之前基板SB和橡皮布BL之間發(fā)生無(wú)意的接觸，不得不使進(jìn)行按壓之前的處于相向狀態(tài)的基板SB和橡皮布BL之間的空隙GO大到某種程度。這樣，必須在大幅度分離的基板SB和橡皮布BL之間進(jìn)行對(duì)位，難以進(jìn)行精密的對(duì)位。另外，存在如下問(wèn)題，即，用于使基板SB和橡皮布BL接近并抵接的移動(dòng)量變大，在該移動(dòng)的過(guò)程中使位置偏移變大。
[0154]另外，在圖16B所示的第二比較例中，如上述專利文獻(xiàn)所記載的技術(shù)那樣，在將橡皮布BL的一端配置在接近基板SB的位置而將另一端配置在離基板SB更遠(yuǎn)的位置上的狀態(tài)下進(jìn)行轉(zhuǎn)印，從而避免無(wú)意的接觸。此時(shí)，即使能夠在空隙Gl小的一端側(cè)進(jìn)行高精度的對(duì)位，也不能在空隙G2大的另一端側(cè)進(jìn)行對(duì)位，另外同樣在另一端側(cè)移動(dòng)量大，因此隨著進(jìn)行轉(zhuǎn)印而可能使位置偏移逐漸變大。
[0155]相對(duì)于此，在圖16C所示的本實(shí)施方式中，使輥R與配置在下側(cè)的橡皮布BL的下方抵接，因此即使橡皮布BL的中央部下垂，也是與基板SB分離的方向，因此不會(huì)發(fā)生無(wú)意的接觸。因此，能夠在輥移動(dòng)方向的兩端側(cè)設(shè)定微小的空隙G，由此能夠進(jìn)行高精度的對(duì)位，并且由于轉(zhuǎn)印時(shí)的移動(dòng)量也小，因此還能夠?qū)⑦M(jìn)行對(duì)位之后的位置偏移抑制得小。
[0156]另外，就上側(cè)的基板SB而言，由于未在上部配置輥，因此在保持基板SB的上面?zhèn)葧r(shí)限制小，能夠以不產(chǎn)生彎曲的方式進(jìn)行保持。另外，就橡皮布BL而言，也如本實(shí)施方式的手部625那樣，能夠在不對(duì)輥移動(dòng)帶來(lái)影響的范圍內(nèi)，輔助性地支撐橡皮布BL的下表面，因此能夠減少?gòu)澢?br> [0157]如上面說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，下載物臺(tái)61發(fā)揮本發(fā)明的“第一保持單元”以及“保持框”的功能，另外，上載物臺(tái)41發(fā)揮本發(fā)明的“第二保持單元”以及“板狀構(gòu)件”的功能。另外，轉(zhuǎn)印輥641發(fā)揮本發(fā)明的“托起輥”的功能，另一方面，升降機(jī)構(gòu)644發(fā)揮本發(fā)明的“移動(dòng)部”的功能，這些構(gòu)件的一體地發(fā)揮本發(fā)明的“托起單元”的功能。另外，在本實(shí)施方式中，手部625發(fā)揮本發(fā)明的“輔助保持單元”的功能。而且，在本實(shí)施方式中，版PP以及基板SB相當(dāng)于本發(fā)明的“處理對(duì)象物”。
[0158]〈第二實(shí)施方式〉
[0159]接著，對(duì)于本發(fā)明的圖案形成裝置的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。第二實(shí)施方式的圖案形成裝置與上述第一實(shí)施方式的圖案形成裝置I相比，只有下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)中的一部分不同。另一方面，第一實(shí)施方式中的其它結(jié)構(gòu)，即主機(jī)架2、上載物臺(tái)部4以及控制單元7等基本能夠直接用作為第二實(shí)施方式中的主機(jī)架、上載物臺(tái)部以及控制單元等。因此，下面，以與第一實(shí)施方式不同之處，尤其下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)及其動(dòng)作為中心進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。
[0160]圖17是示出本發(fā)明的圖案形成裝置的第二實(shí)施方式的主要部分的圖。更詳細(xì)地，圖17是示出第二實(shí)施方式中的下載物臺(tái)部8的結(jié)構(gòu)的圖。下載物臺(tái)部8具有定位載物臺(tái)801。該定位載物臺(tái)801相當(dāng)于第一實(shí)施方式中的定位載物臺(tái)601,結(jié)構(gòu)以及功能也大致相同。即，定位載物臺(tái)801呈中央部開(kāi)口的板狀，以能夠相對(duì)于基座機(jī)架21 (圖1)在規(guī)定范圍內(nèi)移動(dòng)的方式，支撐在具有與第一實(shí)施方式的定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605同等的功能的定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)805上。
[0161]在定位載物臺(tái)801的上方配置有下載物臺(tái)81。具體地說(shuō)，定位載物臺(tái)801的上表面安裝有下載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)82,通過(guò)下載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)82支撐下載物臺(tái)81。下載物臺(tái)81是被支撐為大致水平姿勢(shì)的板狀構(gòu)件，下載物臺(tái)81的上表面被加工為大致平坦，成為與橡皮布BL的下表面相抵接的抵接面811。通過(guò)在抵接面811上載置橡皮布BL，使下載物臺(tái)81支撐橡皮布BL。
[0162]下載物臺(tái)81的外形為大致矩形，但是在矩形四邊中的一邊上設(shè)置有用于使后述轉(zhuǎn)印輥841進(jìn)入的缺口部812。如后述那樣，設(shè)置這樣的缺口部并不是必須的。
[0163]另外，在下載物臺(tái)81上表面的抵接面811上設(shè)置有多個(gè)槽813。此外，槽的數(shù)量以及配置方式并不限定于圖中所示的數(shù)量以及配置方式，而是任意的。經(jīng)由未圖示的配管向各槽813選擇性地供給設(shè)置在控制單元7上的負(fù)壓供給部704 (圖2)所供給的負(fù)壓，以及在本實(shí)施方式中新設(shè)置在控制單元7上的正壓供給部707所供給的正壓。在向槽813供給負(fù)壓的狀態(tài)下，下載物臺(tái)81能夠吸附保持載置于上表面上的橡皮布BL。另一方面，在向槽813供給正壓的狀態(tài)下，在下載物臺(tái)81和橡皮布BL之間形成薄的空氣層，橡皮布BL以從下載物臺(tái)81上表面的抵接面811浮起的狀態(tài)被保持。在后面敘述這樣做的理由。
[0164]在下載物臺(tái)81上分散配置有從下載物臺(tái)81的上表面(抵接面)811向下表面貫通的多個(gè)貫通孔814。在各貫通孔814中插入有升降銷831。更具體地說(shuō)，以與定位載物臺(tái)801中央的開(kāi)口部相面對(duì)的方式配置有升降單元83，設(shè)置在該升降單元83上的多個(gè)升降銷831分別插入于貫通孔814內(nèi)。此外，在圖17中僅圖示了升降單元83的一部分，但是升降單元83具有與設(shè)置在載物臺(tái)81上的各貫通孔814相對(duì)應(yīng)的升降銷831。
[0165]升降單元83以能夠自由升降的方式支撐在升降銷升降機(jī)構(gòu)830上。在升降銷升降機(jī)構(gòu)830使升降單元83上升并定位于上方位置的狀態(tài)下，各升降銷831的上端從貫通孔814突出到下載物臺(tái)81的上表面(抵接面)811的上方。在該狀態(tài)下，升降單元83能夠以使橡皮布BL與下載物臺(tái)81分離的狀態(tài)支撐橡皮布BL。因此，能夠接受被外部的機(jī)械手的手部等保持搬入裝置內(nèi)的未處理的橡皮布BL，或者將已處理的橡皮布BL交至機(jī)械手的手部
坐寸ο
[0166]另一方面，在升降銷升降機(jī)構(gòu)830使升降單元83下降的狀態(tài)下，各升降銷831的上端位于下載物臺(tái)81的上表面(抵接面)811的下方，在該狀態(tài)下，通過(guò)下載物臺(tái)81的抵接面811支撐橡皮布BL。這樣，通過(guò)升降單元83的升降，能夠在該下載物臺(tái)部8和外部裝置之間交接橡皮布BL。
[0167]而且，在下載物臺(tái)81的4處設(shè)置有例如由石英玻璃形成的透明窗815，能夠通過(guò)該透明窗815從下載物臺(tái)81的下表面?zhèn)扔^察上表面?zhèn)?。雖然省略圖示，但是與第一實(shí)施方式同樣地，在本實(shí)施方式中也設(shè)置有4臺(tái)精密定位攝像頭27 (圖2)，并且，精密定位攝像頭27以在4個(gè)透明窗815的下方分別設(shè)置有一臺(tái)且鉛垂朝上方向作為拍攝方向的方式固定在基座機(jī)架21上(更嚴(yán)格地說(shuō)，立起設(shè)置于基座機(jī)架21的支撐柱上)。因此，4臺(tái)精密定位攝像頭27能夠穿過(guò)定位載物臺(tái)81的開(kāi)口部、下載物臺(tái)81的透明窗815以及載置于下載物臺(tái)81的橡皮布BL來(lái)拍攝定位標(biāo)記(形成在橡皮布BL的上表面上的橡皮布側(cè)定位標(biāo)記以及形成在基板SB上的基板側(cè)定位標(biāo)記)。
[0168]這樣構(gòu)成的下載物臺(tái)81通過(guò)下載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)82安裝在定位載物臺(tái)801上。在下載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)82的、定位載物臺(tái)801的Y方向兩端部即+Y側(cè)端部和-Y側(cè)端部具有沿著X方向延伸設(shè)置的一對(duì)導(dǎo)軌821、821。并且，下載物臺(tái)81固定在以能夠自由滑動(dòng)的方式安裝在導(dǎo)軌821上的滑塊822上。在位于-Y側(cè)的導(dǎo)軌821的一端部附近設(shè)置有馬達(dá)823，馬達(dá)823的旋轉(zhuǎn)軸與沿著X方向延伸的滾珠螺桿機(jī)構(gòu)824相連接。構(gòu)成滾珠螺桿機(jī)構(gòu)824的滾珠螺母與滑塊822形成一體。因此，在馬達(dá)823接收來(lái)自控制單元7的控制指令進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，該旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)由滾珠螺桿機(jī)構(gòu)824轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，使下載物臺(tái)81與滑塊822 —起沿著X方向移動(dòng)。
[0169]以與下載物臺(tái)81的-X側(cè)相鄰的方式設(shè)置有轉(zhuǎn)印輥單元84。該轉(zhuǎn)印輥單元84的具體結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印輥單元64相等。S卩，轉(zhuǎn)印輥單元84具有轉(zhuǎn)印輥841，該轉(zhuǎn)印輥841呈輥狀，以能夠?qū)方向作為軸向自由旋轉(zhuǎn)的方式被支撐。轉(zhuǎn)印輥841能夠通過(guò)沿著鉛垂方向(Z方向)移動(dòng)來(lái)與橡皮布BL的下表面接近或者分離，并且能夠一邊與橡皮布BL的下表面抵接,一邊沿著X方向移動(dòng)。即，在本實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)印棍841的移動(dòng)方向和下載物臺(tái)81的移動(dòng)方向相同。
[0170]另外，本實(shí)施方式的下載物臺(tái)部8與第一實(shí)施方式的下載物臺(tái)部6同樣地，具有用于控制向槽814供給或停止供給正壓以及負(fù)壓的閥組，用于機(jī)械驅(qū)動(dòng)各部的馬達(dá)組，它們被控制單元7控制。
[0171]圖18A以及18B是示出下載物臺(tái)與基板以及橡皮布之間的位置關(guān)系的圖。更具體地說(shuō)，圖18A示出第二實(shí)施方式中的下載物臺(tái)81、載置于該下載物臺(tái)81的橡皮布BL、與橡皮布BL相向配置的基板SB (或者版)之間的水平方向上的位置關(guān)系。
[0172]如圖18A所示，下載物臺(tái)81的抵接面811的平面尺寸大于橡皮布BL中的、要擔(dān)載圖案的有效區(qū)域AR的平面尺寸。這樣，需要通過(guò)抵接面811支撐整個(gè)有效區(qū)域AR。另一方面，就支撐橡皮布BL的有效區(qū)域AR的外側(cè)的方式而言，只要能夠抑制橡皮布BL的周緣部因重力而向下方彎曲的情況，則可以是任意的方式。在本實(shí)施方式中，在Y方向上，下載物臺(tái)81的長(zhǎng)度大于橡皮布BL的長(zhǎng)度。因此，避免了橡皮布BL的Y方向上的兩端部因重力而彎曲的情況。另外，下載物臺(tái)81的抵接面811延伸至橡皮布BL的+X側(cè)端部的外側(cè)即+X側(cè)。
[0173]另一方面，橡皮布BL的-X側(cè)端部突出到下載物臺(tái)81的端部的外側(cè)即-X側(cè)的狀態(tài)被保持。更具體地說(shuō)，橡皮布BL中的有效區(qū)域AR的-X側(cè)端部位于抵接面811的端部的內(nèi)側(cè)，但是橡皮布BL本身的-X側(cè)端部突出到抵接面811的-X側(cè)，不受抵接面811的支撐。此外，不對(duì)橡皮布BL的-X側(cè)端部進(jìn)行支撐并不是必要的，而為了確保用于配置轉(zhuǎn)印輥841的空間而采用這樣的結(jié)構(gòu)。
[0174]在轉(zhuǎn)印棍841定位于規(guī)定的初始位置時(shí),轉(zhuǎn)印棍841與下載物臺(tái)81的-X側(cè)端部相鄰，且進(jìn)入下載物臺(tái)81的缺口部812的內(nèi)側(cè)。因此，在轉(zhuǎn)印輥841的兩端部的Y方向上的外側(cè)，下載物臺(tái)81向-X方向延伸，在該部分支撐橡皮布BL。由此，防止橡皮布BL因重力而向下方即轉(zhuǎn)印輥841側(cè)彎曲的情況。
[0175]并且，與第一實(shí)施方式同樣地，以與橡皮布BL相向的方式被上載物臺(tái)41 (圖6)保持的基板SB (或者版PP)，被定位其-X側(cè)的端部從設(shè)置在下載物臺(tái)81的-X側(cè)端部附近的缺口部812向外側(cè)稍稍突出的狀態(tài)。因此，在有效區(qū)域AR的外側(cè)，轉(zhuǎn)印輥841位于基板SB(或者版PP)的-X側(cè)端部的正下方位置。此外，與第一實(shí)施方式同樣地，在Y方向上，轉(zhuǎn)印輥841的長(zhǎng)度大于基板SB (或者版PP)的長(zhǎng)度。
[0176]圖18B示出下載物臺(tái)的最小尺寸。該圖所示的下載物臺(tái)89具有為了有效保持橡皮布BL而所需的最小限度的平面尺寸，這樣，下載物臺(tái)的平面尺寸，雖然需要至少大于橡皮布BL的有效區(qū)域AR的平面尺寸，但是不需要大于基板SB (或者版PP)以及橡皮布BL的平面尺寸。另外，也可以是不設(shè)置用于使轉(zhuǎn)印輥841進(jìn)入的缺口部的結(jié)構(gòu)。尤其，認(rèn)為在橡皮布BL中的有效區(qū)域AR的外側(cè)的空白部分的尺寸比較小時(shí)，因周緣部未被支撐而使橡皮布BL彎曲的程度也小，因此有時(shí)不必使下載物臺(tái)延伸至空白部分。
[0177]總之，只要能夠在有效區(qū)域AR的外側(cè)將轉(zhuǎn)印輥841配置在基板SB (或者版PP)的正下方，且能夠在不使橡皮布BL彎曲的情況下將橡皮布BL支撐為水平姿勢(shì)，則下載物臺(tái)的形狀、尺寸并不限定于上述實(shí)施方式，而能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定。
[0178]接著，對(duì)于本實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖案形成處理進(jìn)行說(shuō)明。該處理的目的和基本動(dòng)作與上述第一實(shí)施方式的處理(圖7)相同。其中，由于下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)不同，構(gòu)成下載物臺(tái)部的各部的動(dòng)作與第一實(shí)施方式不同。具體地說(shuō)，將基板SB或者版PP搬入于裝置中并保持在上載物臺(tái)41上的工序與第一實(shí)施方式相同。另一方面，將橡皮布BL搬入于裝置中并使橡皮布BL與被上載物臺(tái)41保持的基板SB或者版PP緊貼為止的工序與第一實(shí)施方式不同。下面，一邊參照?qǐng)D19A至19D、圖20A至20E，一邊以與第一實(shí)施方式不同的工序?yàn)橹行膩?lái)說(shuō)明動(dòng)作。
[0179]圖19A至19D、圖20A至20E是示意性地示出第二實(shí)施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。此外，在此，對(duì)于在上載物臺(tái)41上保持基板SB且將已形成圖案的橡皮布BL搬入于下載物臺(tái)81上來(lái)執(zhí)行轉(zhuǎn)印處理(圖7的步驟S107?S112)時(shí)的各部的動(dòng)作，進(jìn)行說(shuō)明。但是，如在第一實(shí)施方式中進(jìn)行了說(shuō)明，用于利用版PP和橡皮布BL來(lái)進(jìn)行圖案成形處理(圖7的步驟SlOl?S105)的動(dòng)作，除了不進(jìn)行精密定位處理之外，與轉(zhuǎn)印處理基本相同。因此，在下面的說(shuō)明中，通過(guò)將“基板SB”置換為“版PP”且省略精密定位處理，對(duì)圖案成形處理中的動(dòng)作也進(jìn)行說(shuō)明。
[0180]如圖19A所示，在從外部搬入橡皮布BL時(shí)，升降單元83定位于上方位置，由此各升降銷831處于突出到下載物臺(tái)81的上表面811的上方的狀態(tài)。因此，能夠從外部的搬運(yùn)機(jī)械手等所具有的橡皮布用手部(未圖示)接受橡皮布BL。此外，此時(shí)，轉(zhuǎn)印輥841定位于比圖18A所示的初始位置更向-X側(cè)退避的退避位置，從而避免與進(jìn)行升降的升降銷831發(fā)生干涉。
[0181]在該狀態(tài)下，升降單元83進(jìn)行下降來(lái)使升降銷831退避至下載物臺(tái)81的抵接面811的下方，從而如圖19B所示，將橡皮布BL從升降單元83交至下載物臺(tái)81。當(dāng)橡皮布BL載置于下載物臺(tái)81的上表面(抵接面)811時(shí)，向設(shè)置在抵接面811上的槽814供給來(lái)自負(fù)壓供給部704的負(fù)壓，由此將橡皮布BL吸附保持在抵接面811上。S卩，此時(shí)，槽814發(fā)揮真空吸附槽的功能。
[0182]接著，進(jìn)行預(yù)定位處理。在預(yù)定位處理中，與第一實(shí)施方式中的相同處理同樣地，通過(guò)橡皮布用預(yù)定位攝像頭244?246拍攝橡皮布BL的周緣部，根據(jù)該拍攝結(jié)果來(lái)使橡皮布BL在水平面內(nèi)移動(dòng)，從而將橡皮布BL定位于目標(biāo)位置。此時(shí)，如圖19C所示，定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)805與定位載物臺(tái)801 —起使下載物臺(tái)81在XY Θ方向上移動(dòng)，從而對(duì)橡皮布BL進(jìn)行定位。
[0183]接著，經(jīng)過(guò)空隙調(diào)整來(lái)進(jìn)行精密定位處理。如圖19D所示，通過(guò)配置于下載物臺(tái)81的下方的定位攝像頭27，穿過(guò)下載物臺(tái)81的透明窗815，對(duì)橡皮布BL和被上載物臺(tái)41保持并與橡皮布BL相向配置的基板SB進(jìn)行拍攝?；谒臄z的定位標(biāo)記的位置關(guān)系來(lái)使定位載物臺(tái)801移動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)精密定位處理這一點(diǎn)，與第一實(shí)施方式相同。
[0184]當(dāng)這樣對(duì)被上載物臺(tái)41保持的基板SB和被下載物臺(tái)81保持的橡皮布BL進(jìn)行的對(duì)位結(jié)束時(shí)，托起橡皮布BL來(lái)使其緊貼于基板SB上，從而轉(zhuǎn)印圖案。即，如圖20A所示，在轉(zhuǎn)印輥841移動(dòng)至基板SB的-X側(cè)端部正下方的初始位置之后，使轉(zhuǎn)印輥841向上方移動(dòng)，從而如圖20B所示，通過(guò)轉(zhuǎn)印輥841托起橡皮布BL，從而使橡皮布BL抵接于基板SB的下表面
[0185]然后，轉(zhuǎn)印輥841以與橡皮布BL下表面抵接的狀態(tài)向+X方向移動(dòng)，但是此時(shí)，如圖20C所示，下載物臺(tái)81與轉(zhuǎn)印輥841以相同速度向相同方向移動(dòng)。由此，轉(zhuǎn)印輥841和下載物臺(tái)81如看到那樣一體地向+X方向移動(dòng)，因此避免下載物臺(tái)81妨礙轉(zhuǎn)印輥841行進(jìn)的情況。另外，在通過(guò)轉(zhuǎn)印輥841托起之前，能夠?qū)⑾鹌げ糂L的姿勢(shì)維持為水平狀態(tài)，因此能夠?qū)⑾鹌げ糂L上的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB上的規(guī)定位置。
[0186]為了能夠進(jìn)行這樣的動(dòng)作，設(shè)置于下載物臺(tái)81的槽814發(fā)揮如下功能。S卩，當(dāng)結(jié)束精密定位處理時(shí)，停止向槽814供給負(fù)壓，從而解除對(duì)橡皮布BL的真空吸附。在該時(shí)刻，橡皮布BL僅僅只是載置于下載物臺(tái)81上。因此，通過(guò)由轉(zhuǎn)印輥841托起，使橡皮布BL容易向上方進(jìn)行位移來(lái)緊貼在基板SB上。
[0187]在橡皮布BL的一部分緊貼在基板SB上時(shí)，向槽814供給來(lái)自正壓供給部707的正壓。施加的正壓極其小，但是由此在橡皮布BL下表面和下載物臺(tái)81的抵接面811之間形成薄的空氣層，橡皮布BL以從下載物臺(tái)81稍稍浮起的狀態(tài)被支撐。通過(guò)這樣形成空氣層，使下載物臺(tái)81和橡皮布BL之間的摩擦變得極其小，從而能夠使下載物臺(tái)81伴隨著轉(zhuǎn)印輥841的移動(dòng)而進(jìn)行的移動(dòng)變得順暢。
[0188]若在通過(guò)轉(zhuǎn)印輥841托起之前開(kāi)始向槽814供給正壓，則橡皮布BL可能在水平方向上進(jìn)行移動(dòng)而在與基板SB之間產(chǎn)生位置偏移。在轉(zhuǎn)印輥841進(jìn)行托起動(dòng)作使橡皮布BL和基板SB開(kāi)始抵接之后再供給正壓，從而能夠避免這樣的位置偏移。
[0189]如圖20D所示，通過(guò)使轉(zhuǎn)印輥841移動(dòng)至基板SB的+X側(cè)端部，使整個(gè)基板SB緊貼在橡皮布BL上，從而使橡皮布BL上的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB。然后，如圖20E所示，升降銷831上升至被上載物臺(tái)41保持的基板SB和橡皮布BL形成一體而成的層疊體的正下方位置，解除通過(guò)上載物臺(tái)41對(duì)基板SB的真空保持，從而將層疊體從上載物臺(tái)41交至升降單元83。然后，將層疊體交至外部的機(jī)械手的手部等來(lái)搬出，從而結(jié)束圖案形成處理。此外，也可以使轉(zhuǎn)印輥841以及下載物臺(tái)81返回至圖19A所示的原來(lái)的位置之后搬出層疊體。
[0190]如上面說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，整個(gè)下載物臺(tái)部8發(fā)揮本發(fā)明的“第一保持單元”的功能，尤其下載物臺(tái)81發(fā)揮本發(fā)明的“抵接部”的功能。另外，轉(zhuǎn)印輥單元84發(fā)揮本發(fā)明的“托起單元”的功能。此外，其它各結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。
[0191]〈第三實(shí)施方式〉
[0192]接著，對(duì)于本發(fā)明的圖案形成裝置的第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。第三實(shí)施方式的圖案形成裝置與上述第一實(shí)施方式的圖案形成裝置I相比，只有下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)中的一部分不同。另一方面，第一實(shí)施方式中的其它結(jié)構(gòu)，即主機(jī)架2、上載物臺(tái)部4以及控制單元7等基本能夠直接用作為第三實(shí)施方式中的主機(jī)架、上載物臺(tái)部以及控制單元等。因此，下面，以與第一實(shí)施方式不同之處，尤其下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)及其動(dòng)作為中心進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。
[0193]圖21是示出本發(fā)明的圖案形成裝置的第三實(shí)施方式的主要部的圖。更詳細(xì)地，圖21是示出第三實(shí)施方式的下載物臺(tái)部9的結(jié)構(gòu)的圖。下載物臺(tái)部9具有定位載物臺(tái)901。該定位載物臺(tái)901相當(dāng)于第一實(shí)施方式中的定位載物臺(tái)601,結(jié)構(gòu)以及功能也大致相同。SP，定位載物臺(tái)901呈中央部開(kāi)口的板狀，以能夠相對(duì)于基座機(jī)架21 (圖1)在規(guī)定范圍內(nèi)移動(dòng)的方式，被具有與第一實(shí)施方式的定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)605同等的功能的定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)905支撐。
[0194]在定位載物臺(tái)901的上表面上設(shè)置有多個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)。更具體地說(shuō)，在相對(duì)于定位載物臺(tái)901的中央開(kāi)口部位于-Y側(cè)的定位載物臺(tái)901的上表面上，從-X側(cè)朝向+X側(cè)依次設(shè)置有5個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)91a、91b、91c、91d、91e。這5個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)91a、91b、91c、91d、91e的結(jié)構(gòu)彼此相同。
[0195]另一方面，在相對(duì)于定位載物臺(tái)901的中央開(kāi)口部位于+Y側(cè)的定位載物臺(tái)901的上表面上，從-X側(cè)朝向+X依次設(shè)置有5個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)92a、92b、92c、92d、92e。這5個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)92a、92b、92c、92d、92e的結(jié)構(gòu)彼此相同。而且，支撐手機(jī)構(gòu)91a和支撐手機(jī)構(gòu)92a呈關(guān)于X軸相互對(duì)稱的形狀，但是功能相同。另外，支撐手機(jī)構(gòu)91a、91b、91c、91d、91e分別配置于在X方向上與支撐手機(jī)構(gòu)92a、92b、92c、92d、92e相同的位置上。后面敘述詳細(xì)內(nèi)容，但是在本實(shí)施方式中，這些支撐手機(jī)構(gòu)91a、91b、91c、91d、91e、92a、92b、92c、92d、92e進(jìn)行協(xié)同動(dòng)作來(lái)將橡皮布BL支撐為水平姿勢(shì)。
[0196]另外，與最靠-X側(cè)的支撐手機(jī)構(gòu)91a、92a的-X側(cè)相鄰地設(shè)置有轉(zhuǎn)印輥單元94。該轉(zhuǎn)印輥單元94的具體結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印輥單元64相等。即，轉(zhuǎn)印輥單元94具有轉(zhuǎn)印輥941，該轉(zhuǎn)印輥941呈輥狀，以能夠?qū)方向作為軸向自由旋轉(zhuǎn)的方式被支撐，轉(zhuǎn)印輥941能夠通過(guò)沿著鉛垂方向(Z方向)移動(dòng)來(lái)與橡皮布BL下表面接近或者分離，并且能夠一邊與橡皮布BL下表面抵接,一邊沿著X方向移動(dòng)。轉(zhuǎn)印棍941與第一實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印棍641同樣地發(fā)揮如下功能，即，通過(guò)局部托起橡皮布BL來(lái)使其抵接于基板SB (或者版PP)，從橡皮布BL向基板SB轉(zhuǎn)印圖案，或者通過(guò)版PP對(duì)橡皮布BL上的圖案形成材料進(jìn)行圖案成形(將版PP上的圖案成形于橡皮布BL上的圖案形成材料上)。
[0197]圖22A以及22B是示出支撐手機(jī)構(gòu)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)及其動(dòng)作的圖。在此，舉出了配置于定位載物臺(tái)901的-Y側(cè)的一個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)91a和配置于定位載物臺(tái)901的+Y側(cè)的一個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)92a的例子，但是如上述那樣，支撐手機(jī)構(gòu)91b、91c、91d、91e與支撐手機(jī)構(gòu)91a的結(jié)構(gòu)相同，支撐手機(jī)構(gòu)92b、92c、92d、92e與支撐手機(jī)構(gòu)92a的結(jié)構(gòu)相同。另外，支撐手機(jī)構(gòu)92a的結(jié)構(gòu)關(guān)于X軸與支撐手機(jī)構(gòu)91a的結(jié)構(gòu)對(duì)稱。[0198]如圖22A所示，支撐手機(jī)構(gòu)91a具有:基座部911，其從定位載物臺(tái)901的上表面向+Y側(cè)傾斜并向斜上方延伸；臂部912，其從基座部911向與基座部911的延伸設(shè)置方向相同的方向延伸；橡皮布支承構(gòu)件913，其與臂部912的上端相連接，上表面沿著Y方向在水平方向上延伸。同樣地，支撐手機(jī)構(gòu)92a具有:基座部921，其從定位載物臺(tái)901的上表面向-Y側(cè)傾斜并向斜上方延伸；臂部922，其從基座部921向與基座部921的延伸設(shè)置方向相同的方向延伸；橡皮布支承構(gòu)件923，其與臂部922的上端相連接，上表面沿著Y方向在水平方向上延伸。
[0199]橡皮布支承構(gòu)件913、923的上表面被加工成大致平坦，它們的上表面在Z方向上的位置相互相同。因此，支撐手機(jī)構(gòu)91a、92a形成一體來(lái)從下方支撐橡皮布BL，從而能夠?qū)⑾鹌げ糂L保持為與Y軸平行的姿勢(shì)。此外，下面，在需要對(duì)分別設(shè)置在支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e上的橡皮布支承構(gòu)件913進(jìn)行區(qū)分的情況下，將用于區(qū)分各支撐手機(jī)構(gòu)的下標(biāo)(a?e)添加在附圖標(biāo)記上。例如，在設(shè)置于支撐手機(jī)構(gòu)91a的橡皮布支承構(gòu)件上標(biāo)注附圖標(biāo)記913a。在對(duì)于分別設(shè)置在支撐手機(jī)構(gòu)92a?92e上的橡皮布支承構(gòu)件923進(jìn)行區(qū)分的情況下也是同樣的。
[0200]支撐手機(jī)構(gòu)91a的臂部912與手升降機(jī)構(gòu)906相連接，能夠沿著臂部912的延伸設(shè)置方向相對(duì)于基座部911進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)。同樣地，支撐手機(jī)構(gòu)92a的臂部922也與手升降機(jī)構(gòu)906相連接，能夠沿著臂部922的延伸設(shè)置方向相對(duì)于基座部921進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)。手升降機(jī)構(gòu)906根據(jù)來(lái)自控制單元7 (圖2)的控制指令使兩個(gè)臂部912、922 —體地進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)。由此，橡皮布支承構(gòu)件913、923在分別維持水平姿勢(shì)且使彼此的高度一致的狀態(tài)下，沿著Z方向以及Y方向移動(dòng)。
[0201]這樣，在X方向上位于相同位置的一對(duì)支撐手機(jī)構(gòu)91a、92a中，它們分別所具有的橡皮布支承構(gòu)件913 (913a),923 (923a)—體地進(jìn)行升降。同樣地，在X方向位置相互相同的一對(duì)支撐手機(jī)構(gòu)9lb、92b之間、支撐手機(jī)構(gòu)9lc、92c之間、支撐手機(jī)構(gòu)91d、92d之間以及支撐手機(jī)構(gòu)91e、92e之間，設(shè)置在各支撐手機(jī)構(gòu)上的個(gè)橡皮布支承構(gòu)件913、923，也一邊在高度方向(Z方向)保持彼此相同的位置一邊進(jìn)行升降。其中，以如下方式構(gòu)成手升降機(jī)構(gòu)906，即，在X方向上的位置相互不同的支撐手機(jī)構(gòu)91a、91b、91c、91d、91e之間(或者支撐手機(jī)構(gòu)92a、92b、92c、92d、92e之間)，能夠使臂部912 (或者臂部922)相互獨(dú)立地進(jìn)行升降。
[0202]在通過(guò)手升降機(jī)構(gòu)906使橡皮布支承構(gòu)件913、923定位于圖22A所示的上部位置的狀態(tài)下，橡皮布支承構(gòu)件913、923通過(guò)與橡皮布BL的下表面抵接來(lái)支撐橡皮布BL。通過(guò)使各支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e、92a?92e的橡皮布支承構(gòu)件913、923定位于相同高度，能夠使它們形成一體來(lái)將橡皮布BL維持為水平姿勢(shì)。
[0203]另一方面，對(duì)于通過(guò)手升降機(jī)構(gòu)906使橡皮布支承構(gòu)件913、923定位于圖22B所示的下部位置的狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。若各支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e、92a?92e的橡皮布支承構(gòu)件913,923全部下降至下部位置，則此時(shí)在橡皮布支承構(gòu)件913、923的上表面位置，橡皮布BL被支撐為水平姿勢(shì)，但是在支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e (或者支撐手機(jī)構(gòu)92a?92e)之間，橡皮布支承構(gòu)件913 (或者橡皮布支承構(gòu)件923)能夠獨(dú)立地進(jìn)行升降。
[0204]考慮僅有一部分支撐手機(jī)構(gòu)的橡皮布支承構(gòu)件913、923位于下部位置而其它支撐手機(jī)構(gòu)的橡皮布支承構(gòu)件位于上部位置的狀態(tài)。在此，將僅有支撐手機(jī)構(gòu)91a、92a的橡皮布支承構(gòu)件913a、923a位于下部位置，其它支撐手機(jī)構(gòu)91b?91e、92b?92e的橡皮布支承構(gòu)件位于上部位置的情況作為例子來(lái)考慮。
[0205]在該情況下，橡皮布BL被位于上部位置的橡皮布支承構(gòu)件913b?913e、923b?923e，支撐在與圖22A所示的位置相同的位置上。因此，位于下部位置的支撐手機(jī)構(gòu)91a、92a的橡皮布支承構(gòu)件913a、923a，處于與橡皮布BL分離而向下方退避的狀態(tài)。
[0206]支撐手機(jī)構(gòu)91a的用于支撐橡皮布支承構(gòu)件913a的臂部912以及基座部911向傾斜方向延伸設(shè)置，橡皮布支承構(gòu)件913a在從上部位置向下部位置移動(dòng)時(shí)，向-Z方向移動(dòng)，并且伴隨有向-Y方向的移動(dòng)。同樣地，支撐手機(jī)構(gòu)92a的橡皮布支承構(gòu)件923a在從上部位置向下部位置移動(dòng)時(shí)，向-Z方向移動(dòng)，并且伴隨有向+Y方向的移動(dòng)。結(jié)果，兩個(gè)橡皮布支承構(gòu)件913a、923a以Z方向上的位置相同且在Y方向上與位于上部位置時(shí)相比相互分離更多的狀態(tài)定位于下部位置。
[0207]能夠使轉(zhuǎn)印輥單元94進(jìn)入這樣形成在橡皮布BL下表面和橡皮布支承構(gòu)件913a、923a之間的空間內(nèi)。具體地說(shuō)，能夠使轉(zhuǎn)印輥941以及用于支撐該轉(zhuǎn)印輥941的支撐機(jī)架942 (相當(dāng)于第一實(shí)施方式中的支撐機(jī)架642)，進(jìn)入在定位于下部位置的橡皮布支承構(gòu)件913a、923a的上表面和橡皮布BL下表面之間形成的Z方向上的間隙中。另外，能夠使用于支撐支撐機(jī)架942的支撐腳944 (相當(dāng)于第一實(shí)施方式中的支撐腳644b)，進(jìn)入橡皮布支承構(gòu)件913a、923a相互分離而形成的Y方向上的間隙中。
[0208]在這樣的結(jié)構(gòu)中，在使轉(zhuǎn)印輥單元94沿著X方向移動(dòng)時(shí)，使位于轉(zhuǎn)印輥單元94的行進(jìn)路線上的橡皮布支承構(gòu)件913、923向下部位置退避，從而能夠避免轉(zhuǎn)印輥單元94和橡皮布支承構(gòu)件913、923發(fā)生干涉。并且，將位于不與轉(zhuǎn)印輥單元94發(fā)生干涉的位置的橡皮布支承構(gòu)件913、923定位于上部位置，從而能夠繼續(xù)將橡皮布BL以水平姿勢(shì)保持在恒定高度上。因此，在本實(shí)施方式中，也與第一實(shí)施方式同樣地，能夠一邊將橡皮布BL維持為水平姿勢(shì)，一邊使轉(zhuǎn)印輥941沿著橡皮布BL的下表面進(jìn)行水平移動(dòng)。
[0209]圖23A以及23B是示出橡皮布支承構(gòu)件的更詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。更詳細(xì)地，圖23A是示出橡皮布支承構(gòu)件913上部的結(jié)構(gòu)的立體圖，圖23B是其剖視圖。在此，將一個(gè)橡皮布支承構(gòu)件913作為例子來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但是與此相向的另一個(gè)橡皮布支承構(gòu)件923的結(jié)構(gòu)也相同。
[0210]橡皮布支承構(gòu)件913的上表面被加工成平坦，為了降低橡皮布支承構(gòu)件913的上表面與橡皮布BL之間的摩擦阻力，進(jìn)行鏡面研磨加工或者例如通過(guò)氟樹(shù)脂等恰當(dāng)?shù)牟牧蟻?lái)進(jìn)行涂敷加工。另外，在橡皮布支承構(gòu)件913的上表面上設(shè)置有用于吸附保持橡皮布BL下表面的多個(gè)吸附孔914。如圖23B所示，通過(guò)三通閥95選擇性地向各吸附孔914供給控制單元7的負(fù)壓供給部704所供給的負(fù)壓，或者在本實(shí)施方式中設(shè)置于控制單元7的正壓供給部707所供給的正壓。在向各吸附孔914供給來(lái)自負(fù)壓供給部704的負(fù)壓時(shí)，通過(guò)各吸附孔914將橡皮布BL吸附保持在橡皮布支承構(gòu)件913的上表面上。另一方面，在向各吸附孔914供給來(lái)自正壓供給部707的正壓的情況下，通過(guò)從各吸附孔914噴出的氣體，橡皮布BL以從橡皮布支承構(gòu)件913的上表面稍稍浮起的狀態(tài)被支撐。此時(shí)，橡皮布支承構(gòu)件913和橡皮布BL之間的摩擦變的極其小。此外，橡皮布支承構(gòu)件913并不一定具有這樣從吸附孔914噴出氣體來(lái)使橡皮布BL浮起的功能。
[0211]另外，本實(shí)施方式的下載物臺(tái)部9與第一實(shí)施方式的下載物臺(tái)部6同樣地，具有用于控制向吸附孔914供給或停止供給正壓以及負(fù)壓的閥組，用于機(jī)械驅(qū)動(dòng)各部的馬達(dá)組，它們被控制單元7控制。
[0212]圖24A以及24B是示出橡皮布支承構(gòu)件和基板以及橡皮布之間的位置關(guān)系的圖。如圖24A所示，多個(gè)橡皮布支承構(gòu)件913、923以覆蓋橡皮布BL中央部中的整個(gè)有效區(qū)域AR的方式大致均等地分散配置，支撐橡皮布BL的下表面，尤其支持有效區(qū)域AR的下表面。由此，有效區(qū)域AR被保持為水平姿勢(shì)。
[0213]此外，就各橡皮布支承構(gòu)件913、923在有效區(qū)域AR的外部如何支撐橡皮布BL而言，只要能夠?qū)⑾鹌げ糂L支撐為水平姿勢(shì)，則可以是任意的。例如如圖24B所示，可以設(shè)置在Y方向上延伸至橡皮布BL的端部的外側(cè)的橡皮布支承構(gòu)件963，另外也可以設(shè)置僅在有效區(qū)域AR的外側(cè)與橡皮布BL相抵接的橡皮布支承構(gòu)件973。
[0214]轉(zhuǎn)印輥941在定位于規(guī)定的初始位置時(shí)，與橡皮布支承構(gòu)件913、923中最靠-X側(cè)的橡皮布支承構(gòu)件913a、923a的-X側(cè)相鄰。更具體地說(shuō)，轉(zhuǎn)印輥941將如下位置作為初始位置，即，是與橡皮布支承構(gòu)件913a、923a的-X側(cè)相鄰的位置，并且也是有效區(qū)域AR的外側(cè)即-X側(cè)且與第一實(shí)施方式同樣地被上載物臺(tái)41保持的基板SB (或者版PP)的-X側(cè)端部的+X側(cè)的位置，而且還是在橡皮布BL下表面的正下方位置與橡皮布BL分離的位置。此時(shí)，轉(zhuǎn)印輥941位于有效區(qū)域AR的外側(cè)的基板SB (或者版PP)的下方。
[0215]接著，對(duì)于本實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖案形成處理進(jìn)行說(shuō)明。該處理的目的和基本動(dòng)作與上述第一實(shí)施方式中的處理(圖7)相同。但是，由于下載物臺(tái)部的結(jié)構(gòu)不同，因此構(gòu)成下載物臺(tái)部的各部的動(dòng)作與第一實(shí)施方式不同。具體地說(shuō)，將基板SB或者版PP搬入于裝置中并保持在上載物臺(tái)41上的工序與第一實(shí)施方式相同。另一方面，將橡皮布BL搬入于裝置中來(lái)使橡皮布BL與被上載物臺(tái)41保持的基板SB或者版PP緊貼為止的工序與第一實(shí)施方式不同。以下，一邊參照?qǐng)D25A至25C、圖26A至26D, —邊以與第一實(shí)施方式不同的工序?yàn)橹行膩?lái)說(shuō)明動(dòng)作。
[0216]圖25A至25C、圖26A至26D是示意性地示出第三實(shí)施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關(guān)系的圖。此外，在此，對(duì)于在上載物臺(tái)41上保持基板SB且將已形成圖案的橡皮布BL搬入于下載物臺(tái)部9上來(lái)執(zhí)行轉(zhuǎn)印處理(圖7的步驟S107?S112)時(shí)的各部的動(dòng)作，進(jìn)行說(shuō)明。但是，如在第一實(shí)施方式中進(jìn)行了說(shuō)明，用于利用版PP和橡皮布BL來(lái)進(jìn)行圖案成形處理(圖7的步驟SlOl?S105)的動(dòng)作，除了不進(jìn)行精密定位處理之外，與轉(zhuǎn)印處理基本相同。因此，在下面的說(shuō)明中，通過(guò)將“基板SB”置換為“版PP”且省略精密定位處理，也對(duì)圖案成形處理中的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0217]如圖25A所示，在從外部搬入橡皮布BL時(shí)，所有橡皮布支承構(gòu)件913a?913e、923a?923e均處于定位于上部位置的狀態(tài)。因此，能夠從外部的搬運(yùn)機(jī)械手等所具有的橡皮布用手部(未圖示)接受橡皮布BL。此外，此時(shí)，轉(zhuǎn)印輥941定位于比圖24A所示的初始位置更向-X側(cè)退避的退避位置，從而避免與從外部進(jìn)入的橡皮布用手部、橡皮布BL發(fā)生干涉。另外，向設(shè)置在各橡皮布支承構(gòu)件的上表面上的吸附孔914供給負(fù)壓，從而吸附保持所接受的橡皮布BL。
[0218]接著，進(jìn)行預(yù)定位處理。在預(yù)定位處理中，與第一實(shí)施方式中的相同處理同樣地，通過(guò)橡皮布用預(yù)定位攝像頭244?246拍攝橡皮布BL的周緣部，根據(jù)該拍攝結(jié)果使橡皮布BL在水平面內(nèi)移動(dòng)，從而將橡皮布BL定位于目標(biāo)位置。此時(shí)，定位載物臺(tái)支撐機(jī)構(gòu)905與定位載物臺(tái)901 —起使各支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e、92a?92e —體地在XY Θ方向上進(jìn)行移動(dòng)，從而對(duì)橡皮布BL進(jìn)行定位。
[0219]接著，經(jīng)過(guò)空隙調(diào)整來(lái)進(jìn)行精密定位處理。如圖25B所示，通過(guò)配置于橡皮布BL的下方的定位攝像頭27，穿過(guò)橡皮布支承構(gòu)件的間隙，對(duì)橡皮布BL和被上載物臺(tái)41保持并與橡皮布BL相向配置的基板SB進(jìn)行拍攝。基于所拍攝的定位標(biāo)記的位置關(guān)系來(lái)使定位載物臺(tái)901移動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)精密定位處理這一點(diǎn)，與第一實(shí)施方式相同。
[0220]當(dāng)這樣對(duì)被上載物臺(tái)41保持的基板SB和被支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e、92a?92e支撐的橡皮布BL進(jìn)行的對(duì)位結(jié)束時(shí)，托起橡皮布BL來(lái)使其緊貼于基板SB上，從而轉(zhuǎn)印圖案。SP，如圖25C所示，在轉(zhuǎn)印輥941移動(dòng)至基板SB的-X側(cè)端部正下方的初始位置之后，使轉(zhuǎn)印輥941向上方移動(dòng)，從而如圖26A所示，通過(guò)轉(zhuǎn)印輥941托起橡皮布BL，從而使橡皮布BL抵接于基板SB的下表面。由此，開(kāi)始將橡皮布BL上的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB。
[0221]此外，在從搬入橡皮布BL到結(jié)束精密定位處理為止的期間內(nèi)，為了防止橡皮布BL相對(duì)于支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e、92a?92e發(fā)生位移，向橡皮布支承構(gòu)件913、923的各吸附孔914供給負(fù)壓來(lái)吸附保持橡皮布BL。另一方面，在開(kāi)始通過(guò)轉(zhuǎn)印輥941托起橡皮布BL之前，停止向各吸附孔914供給負(fù)壓，從而解除吸附保持。
[0222]然后，轉(zhuǎn)印輥941以與橡皮布BL下表面抵接的狀態(tài)向+X方向移動(dòng)。此時(shí)，如圖26B以及圖26C所示，與轉(zhuǎn)印輥941的移動(dòng)同步地，在轉(zhuǎn)印輥941的行進(jìn)路線上位于要與轉(zhuǎn)印輥941發(fā)生干涉的位置的橡皮布支承構(gòu)件913、923依次向下部位置退避。這樣，避免轉(zhuǎn)印輥941與橡皮布支承構(gòu)件913、923發(fā)生干涉。此時(shí)的各橡皮布支承構(gòu)件913、923的動(dòng)作與第一實(shí)施方式中的手部625的動(dòng)作類似。
[0223]在通過(guò)轉(zhuǎn)印輥941托起橡皮布BL之前，使橡皮布支承構(gòu)件913、923與橡皮布BL下表面抵接，從而能夠?qū)⑾鹌げ糂L的姿勢(shì)維持為水平狀態(tài)。由此，能夠?qū)⑾鹌げ糂L上的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB上的規(guī)定位置。另一方面，橡皮布BL中的被轉(zhuǎn)印輥941托起的區(qū)域，由于處于與基板SB緊貼的狀態(tài)，因此不必再通過(guò)橡皮布支撐構(gòu)件913、923來(lái)進(jìn)行支撐。因此，不必使向下部位置退避的橡皮布支承構(gòu)件913、923返回上部位置。
[0224]此外，為了防止隨著轉(zhuǎn)印輥941托起而橡皮布BL在水平方向上發(fā)生位置偏移的情況，也可以采用在各橡皮布支承構(gòu)件913、923開(kāi)始向下部位置移動(dòng)之前，向吸附孔914供給負(fù)壓的方式。在該情況下，需要采用能夠針對(duì)各橡皮布支承構(gòu)件913、923獨(dú)立控制供給負(fù)壓的時(shí)刻的結(jié)構(gòu)。
[0225]這樣，一邊使橡皮布支承構(gòu)件913、923依次退避，一邊如圖26D所示，使整個(gè)基板SB緊貼于橡皮布BL上，從而將橡皮布BL上的圖案轉(zhuǎn)印至基板SB。然后，使轉(zhuǎn)印輥941返回原來(lái)的位置，使各橡皮布支承構(gòu)件913、923上升，來(lái)從上載物臺(tái)41接受基板SB和橡皮布BL形成一體而成的層疊體。然后，將層疊體交至外部的機(jī)械手的手部等來(lái)搬出，從而結(jié)束圖案形成處理。
[0226]如上面說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，支撐手機(jī)構(gòu)91a?91e、92a?92e形成一體來(lái)發(fā)揮本發(fā)明的“第一保持單元”的功能，尤其橡皮布支承構(gòu)件913、923發(fā)揮本發(fā)明的“局部支撐部”的功能。另外，轉(zhuǎn)印輥單元94發(fā)揮本發(fā)明的“托起單元”的功能。此外，其它各結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。
[0227]< 其它 >[0228]此外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行除了上述內(nèi)容之外的各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，對(duì)版PP或者基板SB和橡皮布BL均進(jìn)行真空吸附保持，但是保持的方式并不限定于此，可以是任意的方式。
[0229]另外例如，在上述第一實(shí)施方式中，通過(guò)環(huán)狀下載物臺(tái)61保持矩形橡皮布BL的四邊周緣部，但是只要能夠維持橡皮布的姿勢(shì)，也可以開(kāi)放周緣部中的一部分。其中，為了防止隨著輥移動(dòng)而發(fā)生位置偏移，優(yōu)選至少保持輥移動(dòng)方向(X方向)上的兩端部。
[0230]另外例如，在上述第一實(shí)施方式中，在通過(guò)轉(zhuǎn)印輥641按壓橡皮布BL之前，通過(guò)手部625從下方輔助性地支撐橡皮布BL，但是這并不是必須的。例如，若橡皮布BL的尺寸小，則有時(shí)僅保持周緣部就能夠?qū)澢种频眯?，在這樣的情況下，并不特別需要輔助性的支撐。但是，在橡皮布大的情況下，為了防止因彎曲而引起的損壞，輔助性的支撐是有效的。
[0231]另外例如，在上述第二實(shí)施方式中，為了防止因轉(zhuǎn)印輥841托起而橡皮布BL在水平方向上發(fā)生偏移的情況，在被轉(zhuǎn)印輥841托起的橡皮布BL與基板SB抵接之后，解除下載物臺(tái)81對(duì)橡皮布BL進(jìn)行的吸附保持。在該情況下，尤其在與基板SB之間的緊貼面積小的初始階段中，隨著轉(zhuǎn)印輥841的水平移動(dòng)而橡皮布BL可能向相同方向移動(dòng)。為了防止這樣的情況，例如也可以進(jìn)行如下處理。
[0232]圖27A至27D是示出第二實(shí)施方式的變形例的圖。下面，對(duì)于與第二實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。如圖27A所示，在該變形例中，在被下載物臺(tái)81支撐的橡皮布BL的下方、且相當(dāng)于上載物臺(tái)41的-X側(cè)端部的正下方的位置上，設(shè)置有橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86。橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86具有:板狀構(gòu)件861，其將Y方向作為長(zhǎng)度方向來(lái)以大致垂直姿勢(shì)立起設(shè)置；彈性構(gòu)件862，其安裝在板狀構(gòu)件861的上端上；升降機(jī)構(gòu)863，其根據(jù)來(lái)自控制單元7的控制指令來(lái)使板狀構(gòu)件861進(jìn)行升降。
[0233]如圖27B所示，在轉(zhuǎn)印輥841向上方移動(dòng)來(lái)托起橡皮布BL的端部時(shí)，橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86也上升至使彈性構(gòu)件862的上端與轉(zhuǎn)印輥841的上端的高度大致相同的位置。即，此時(shí)，橡皮布BL被橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86以及轉(zhuǎn)印輥841這兩者向上方托起而按壓于基板SB上。在該狀態(tài)下，以如圖27C所示那樣維持橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86的位置的狀態(tài)，與第二實(shí)施方式同樣地，使轉(zhuǎn)印輥841以及下載物臺(tái)81向+X方向移動(dòng)。此時(shí)，橡皮布BL不僅緊貼于基板SB上，而且處于被橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86按壓于基板SB上的狀態(tài)，因此避免隨著轉(zhuǎn)印輥841的水平移動(dòng)而橡皮布BL在水平方向上，更具體地說(shuō)向+X方向移動(dòng)的情況。由此，能夠防止在基板SB和橡皮布BL上的圖案之間產(chǎn)生位置偏移的情況。
[0234]圖28是示出該變形例的橡皮布按壓機(jī)構(gòu)以及轉(zhuǎn)印輥與橡皮布相抵接的抵接位置的圖。在如圖27A所示的初始狀態(tài)下，轉(zhuǎn)印輥841在X方向上配置于橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86的板狀構(gòu)件861和下載物臺(tái)81之間。與第二實(shí)施方式同樣地，如圖28所示，轉(zhuǎn)印輥841首先在橡皮布BL中央部的有效區(qū)域AR的外側(cè)即-X側(cè)與橡皮布BL下表面相抵接。另一方面，橡皮布按壓機(jī)構(gòu)86在比轉(zhuǎn)印輥841更靠-X側(cè)的位置與橡皮布BL相抵接。為了防止因按壓上側(cè)開(kāi)放的橡皮布BL而使橡皮布BL向上方發(fā)生變形的情況，該按壓位置為基板SB的-X側(cè)端部的+X側(cè)，更優(yōu)選為如圖27B所示那樣上載物臺(tái)41的-X側(cè)端部的+X側(cè)。
[0235]這樣的橡皮布按壓機(jī)構(gòu)，在用多個(gè)支撐手機(jī)構(gòu)支撐橡皮布BL的第三實(shí)施方式的裝置中也有效發(fā)揮功能，能夠更有效地防止橡皮布BL的位置偏移。
[0236]本發(fā)明能夠優(yōu)選應(yīng)用于在玻璃基板、半導(dǎo)體基板等各種基板上形成圖案的圖案形成工序中的、通過(guò)版對(duì)橡皮布上的圖案形成材料進(jìn)行圖案成形的處理以及將橡皮布上的圖案轉(zhuǎn)印至基板的處理中的一個(gè)或兩個(gè)處理中。
【權(quán)利要求】
1.一種圖案形成裝置，其特征在于， 具有: 第一保持單元，其對(duì)在一面上擔(dān)載有圖案形成材料的橡皮布，以使所述圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢(shì)進(jìn)行保持； 第二保持單元，其將用于對(duì)所述圖案形成材料進(jìn)行圖案成形的版或者要被轉(zhuǎn)印圖案的基板作為處理對(duì)象物，以使該處理對(duì)象物與被所述第一保持單元保持的所述橡皮布的上表面接近并相向的方式，保持該處理對(duì)象物； 托起單元，其從所述橡皮布的下表面?zhèn)染植康赝衅鹚鱿鹌げ贾醒氩康挠行^(qū)域，來(lái)使所述有效區(qū)域與被所述第二保持單元保持的所述處理對(duì)象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面移動(dòng)來(lái)使所述橡皮布的托起位置發(fā)生變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述托起單元將所述橡皮布的下表面的在一個(gè)軸方向上比所述有效區(qū)域的長(zhǎng)度長(zhǎng)的區(qū)域一同托起，并且所述托起單元從所述有效區(qū)域的與該軸方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一個(gè)方向移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述托起單元具有:托起輥，其沿著所述軸方向延伸設(shè)置；移動(dòng)部，其一邊支撐所述托起棍并能夠使所述托起棍自由旋轉(zhuǎn)，一邊向與所述軸方向垂直的方向移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一保持單元以使所述有效區(qū)域的下方開(kāi)放的狀態(tài)保持所述橡皮布的周緣部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一保持單元具有環(huán)狀的保持框，該保持框具有與所述有效區(qū)域相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口，并且該保持框的與所述橡皮布的所述周緣部相對(duì)應(yīng)的上表面為平面，所述第一保持單元保持載置于該保持框上的所述橡皮布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述圖案形成裝置具有用于與所述橡皮布的下表面局部抵接的輔助保持單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第二保持單元具有板狀構(gòu)件，該板狀構(gòu)件的下表面為平面尺寸大于等于所述處理對(duì)象物的平面尺寸的平面，使所述處理對(duì)象物的上表面與該板狀構(gòu)件的下表面抵接來(lái)保持該處理對(duì)象物。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一保持單元具有抵接部，該抵接部的上表面為平坦且平面尺寸大于所述橡皮布的所述有效區(qū)域的平面尺寸的抵接面，通過(guò)該抵接面與所述橡皮布的下表面抵接來(lái)保持所述橡皮布，隨著所述托起單元移動(dòng)，所述抵接部向所述托起單元的移動(dòng)方向移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一保持單元具有多個(gè)局部支撐部，多個(gè)該局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面局部抵接來(lái)從下表面?zhèn)戎嗡鱿鹌げ嫉乃鲇行^(qū)域， 多個(gè)所述局部支撐部沿著所述托起單元的移動(dòng)方向排列設(shè)置，且能夠彼此獨(dú)立地進(jìn)行升降。
10.一種圖案形成方法，其特征在于，包括: 保持工序，將用于對(duì)圖案形成材料進(jìn)行圖案成形的版或者要被轉(zhuǎn)印圖案的基板作為處理對(duì)象物，將該處理對(duì)象物保持為使處理對(duì)象面朝下的水平姿勢(shì)，并且將在一面上擔(dān)載有所述圖案形成材料的橡皮布保持為所述圖案形成材料的擔(dān)載面朝上的水平姿勢(shì)且使所述圖案形成材料的擔(dān)載面與所述處理對(duì)象物的下表面接近并相向； 托起工序，從所述橡皮布的下表面?zhèn)染植客衅鹚鱿鹌げ贾醒氩康挠行^(qū)域，來(lái)使所述有效區(qū)域與所述處理對(duì)象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面，使所述橡皮布的托起位置發(fā)生變化。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述保持工序中，以使所述有效區(qū)域的下方開(kāi)放的狀態(tài)保持所述橡皮布的周緣部。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述托起工序中，將所述橡皮布的下表面的在一個(gè)軸方向上比所述有效區(qū)域的長(zhǎng)度長(zhǎng)的區(qū)域一同托起，并且使托起位置從所述有效區(qū)域的與該軸方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一個(gè)方向發(fā)生變化。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述保持工序中，保持所述橡皮布的與所述軸方向相垂直的方向上的兩端的周緣 部。
14.根據(jù)權(quán)利要求10至13中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述托起工序中，被托起而與所述處理對(duì)象物相抵接的所述橡皮布的所述有效區(qū)域，至少在所述有效區(qū)域都與所述處理對(duì)象物抵接之前的期間，維持與所述處理對(duì)象物相抵接的狀態(tài)。
15.根據(jù)權(quán)利要求10至13中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述保持工序中，在將所述處理對(duì)象物定位為水平姿勢(shì)之后，將所述橡皮布搬入所述處理對(duì)象物的下方并使所述橡皮布與所述處理對(duì)象物相向。
16.根據(jù)權(quán)利要求10至13中任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述托起工序中，使所述處理對(duì)象物的上表面抵接于板狀構(gòu)件的下表面來(lái)保持該處理對(duì)象物，所述板狀構(gòu)件的下表面為平面尺寸大于等于所述處理對(duì)象物的平面尺寸的平面。
【文檔編號(hào)】B41F7/02GK103963425SQ201410043945
【公開(kāi)日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年1月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月30日
【發(fā)明者】川越理史, 增市干雄, 上野博之, 正司和大, 芝藤?gòu)浬? 上野美佳 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社