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一種具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置的制作方法

文檔序號(hào):2511769閱讀:144來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:一種具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種硅片印刷裝置,具體涉及能實(shí)現(xiàn)雙平臺(tái)的輪流印刷的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置。
背景技術(shù)
隨著全球能源的日趨緊張,太陽(yáng)能以無(wú)污染、市場(chǎng)空間大等獨(dú)有的優(yōu)勢(shì)受到世界各國(guó)的廣泛重視,國(guó)際上眾多大公司投入太陽(yáng)能電池研發(fā)和生產(chǎn)行業(yè)。從太陽(yáng)能獲得電力,需通過(guò)太陽(yáng)能電池進(jìn)行光電變換來(lái)實(shí)現(xiàn),硅太陽(yáng)能電池是一種有效地吸收太陽(yáng)能輻射并使之轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體電子器件,廣泛應(yīng)用于各種照明及發(fā)電系統(tǒng)中。太陽(yáng)能電池制造商當(dāng)今面臨的挑戰(zhàn)正在開(kāi)始兩極分化成兩大重點(diǎn)提高太陽(yáng)能電池的功率以增加單位面積的發(fā)電量;其次是無(wú)需增加相應(yīng)投資而以現(xiàn)有的工藝提高生產(chǎn)力的愿望或需求。太陽(yáng)能電池印刷是電池片生產(chǎn)線的重要工序,對(duì)電池片的質(zhì)量起著重要作用,太陽(yáng)能電池印刷技術(shù)是一個(gè)有機(jī)的整體,是各種技術(shù)的組合。太陽(yáng)能電池分晶硅電池和薄膜電池,目前薄膜電池技術(shù)在成本上有相對(duì)優(yōu)勢(shì),但在技術(shù)成熟度、壽命和轉(zhuǎn)換效率方面都難以和晶硅電池相提并論,晶硅電池在太陽(yáng)能電池市場(chǎng)中占了絕對(duì)的壟斷地位,單位發(fā)電量的成本仍高于傳統(tǒng)的發(fā)電方式,因此降低成本是晶硅太陽(yáng)能行業(yè)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵因素,而晶硅電池片生產(chǎn)效率構(gòu)成電池片成本的一個(gè)重要因素?,F(xiàn)有印刷裝置一般采用單一承載平臺(tái)結(jié)構(gòu),如圖I所示,該印刷裝置只有一個(gè)承載平臺(tái),硅片從上游傳入硅片裝載裝置101,硅片裝載裝置101有硅片姿態(tài)調(diào)整功能,對(duì)硅片姿態(tài)做初步校正。然后,硅片沿著硅片裝載裝置101繼續(xù)向前傳遞。硅片傳遞到硅片承載平臺(tái)103的中央,硅片承載平臺(tái)103上的真空吸把硅片定住。進(jìn)板姿態(tài)相機(jī)107和出板姿態(tài)相機(jī)105可移動(dòng),從硅片承載平臺(tái)103兩側(cè)進(jìn)入,拍硅片對(duì)角的兩個(gè)邊沿部分的圖像,拍照后進(jìn)板姿態(tài)相機(jī)107和出板姿態(tài)相機(jī)105移出。絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)102拍照,獲取絲網(wǎng)印刷機(jī)106絲網(wǎng)底部?jī)蓚€(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)的圖像,調(diào)整絲網(wǎng)使絲網(wǎng)上的圖案與硅片對(duì)準(zhǔn)。絲網(wǎng)印刷機(jī)106升降臺(tái)下降,開(kāi)始刮墨印刷。印刷完畢后,絲網(wǎng)印刷機(jī)106升降臺(tái)上升,硅片承載平臺(tái)103上的真空吸關(guān)閉,硅片承載平臺(tái)103和硅片卸載裝置104上的運(yùn)輸帶配合,把硅片從硅片承載平臺(tái)103移到硅片卸載裝置104,再沿著硅片卸載裝置104傳遞到下游。不難看出,印刷裝置只有一個(gè)硅片承載平臺(tái)時(shí),裝載、拍照、調(diào)整、升降、印刷、卸載工序等串聯(lián)銜接,印刷完成一張硅片所耗的時(shí)間比較多,限制了生產(chǎn)效率的提升。有的印刷機(jī)還采用轉(zhuǎn)臺(tái)式結(jié)構(gòu),通過(guò)工位旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)換片和印刷并行操作,但一是轉(zhuǎn)臺(tái)成本較高,二是轉(zhuǎn)臺(tái)較大,不利于減少機(jī)器占地面積。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、生產(chǎn)效率高,占地面積少,可以實(shí)現(xiàn)換片與印刷工序并行操作的具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置。為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下。一種具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,包括兩個(gè)硅片承載平臺(tái),兩個(gè)進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī),一個(gè)絲網(wǎng)升降裝置,一個(gè)絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu),兩個(gè)絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī),一個(gè)刮墨裝置,兩套硅片裝載裝置,兩套硅片卸載裝置,兩套緩沖運(yùn)輸線;兩個(gè)硅片承載平臺(tái)安裝在一個(gè)橫向移動(dòng)的基座上,交替進(jìn)入印刷工位實(shí)現(xiàn)刮墨操作;進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)安裝在硅片承載平臺(tái)的換片工位上方,用于獲取硅片的圖像;絲網(wǎng)升降裝置安裝在印刷機(jī)的四個(gè)支撐柱上,用于使絲網(wǎng)貼近硅片和離開(kāi)硅片,以便實(shí)現(xiàn)硅片印刷、脫模以及清洗網(wǎng)底;絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝在印刷機(jī)的絲網(wǎng)升降裝置上,用于使絲網(wǎng)實(shí)現(xiàn)XY平行移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)定位;兩個(gè)絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)安裝在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)的下方,且對(duì)稱分布于在印刷工位的硅片承載平臺(tái)的兩側(cè),用來(lái)獲取絲網(wǎng)底部?jī)蓚€(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)的圖像;刮墨裝置安裝在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)的上方,通過(guò)刮刀的上下運(yùn)動(dòng)和前后運(yùn)動(dòng)把涂料壓印到硅片上;兩套硅片裝載裝置與未在印刷工位的硅片承載平臺(tái)對(duì)齊,且對(duì)稱分布在印刷機(jī)的兩側(cè),能調(diào)整硅片的角度和橫向偏移;硅片卸載裝置與硅片裝載裝置對(duì)稱分布在硅片承載平臺(tái)兩側(cè);兩套緩沖運(yùn)輸線均與硅片裝載裝置和硅片卸載裝置呈垂直布置,用于從上游接收需要印刷的硅片,或把印刷好的硅片傳送到下游。進(jìn)一步的,上述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置中,每個(gè)硅片承載平臺(tái)上方裝有運(yùn)輸帶,平臺(tái)中間部位有多個(gè)均勻分布的小孔,運(yùn)輸帶上面也有多個(gè)均勻分布的小孔,這些小孔通過(guò)真空吸功能把硅片吸附在平臺(tái)上;運(yùn)輸帶覆蓋平臺(tái)上用于支撐硅片的平面,這樣可以令印刷時(shí)硅片底部獲得均勻支撐,從而能減少硅片的破損。平臺(tái)下方有能實(shí)現(xiàn)橫向移動(dòng)的滑軌。該結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)換片與印刷工序過(guò)程并行。進(jìn)一步的,上述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置中,所述的絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)是一個(gè)平面二自由度串聯(lián)機(jī)構(gòu),能實(shí)現(xiàn)XY平行移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)定位。進(jìn)一步的,上述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置中,所述的刮墨裝置包括刮刀、刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和回墨機(jī)構(gòu),刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使刮刀前后運(yùn)動(dòng),刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使刮刀上下運(yùn)動(dòng),刮刀的上下運(yùn)動(dòng)和前后運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)把涂料壓印到硅片上。進(jìn)一步的,上述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置中,每套硅片裝載裝置上方裝有兩條用于調(diào)整硅片角度的運(yùn)輸帶,該兩條運(yùn)輸帶分別由兩個(gè)電機(jī)帶動(dòng),且該運(yùn)輸帶的附近裝有用于感應(yīng)硅片位置的三個(gè)光感,硅片裝載裝置下方具有用于平移運(yùn)動(dòng)來(lái)調(diào)整硅片橫向位移的底部平臺(tái)。進(jìn)一步的,上述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置中,每套緩沖運(yùn)輸線由三條直通運(yùn)輸帶和兩條轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶構(gòu)成,直通運(yùn)輸帶和轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶的配合,把硅片分配到兩個(gè)硅片裝載裝置或把經(jīng)過(guò)印刷的硅片從兩套獨(dú)立的硅片卸載裝置集中到同一個(gè)出板運(yùn)輸線。上述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置中,根據(jù)進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)、絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)所得硅片、絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)姿態(tài)信息,實(shí)現(xiàn)硅片和絲網(wǎng)的高精度對(duì)準(zhǔn)。本實(shí)用新型是在現(xiàn)有單承載臺(tái)工藝的基礎(chǔ)上對(duì)印刷設(shè)備創(chuàng)新設(shè)計(jì),采用雙承載平臺(tái)結(jié)構(gòu),使一個(gè)承載平臺(tái)在換硅片時(shí),另外一個(gè)承載平臺(tái)在進(jìn)行硅片印刷,保證了印刷裝置可以對(duì)兩片硅片同時(shí)實(shí)現(xiàn)換片和刮墨操作,即使換片與印刷工序過(guò)程并行。[0016]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有如下優(yōu)點(diǎn)和有益效果(I)本實(shí)用新型的進(jìn)出板都采用帶傳遞,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),制造和安裝簡(jiǎn)單,維護(hù)方便;(2)本實(shí)用新型采用雙承載平臺(tái)結(jié)構(gòu),使換片與印刷工序過(guò)程并行,從而減少了生廣時(shí)間,大幅提聞生廣線單位時(shí)間的生廣效率;(3)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)備占用面積小。

圖I是現(xiàn)有采用單承載平臺(tái)結(jié)構(gòu)的印刷裝置的示意圖。圖2是本實(shí)用新型的具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型的具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置左側(cè)示意圖。圖4是本實(shí)用新型的具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置右側(cè)示意圖。圖5是本實(shí)用新型的進(jìn)板裝置的示意圖。圖6是本實(shí)用新型的出板裝置的示意圖。圖7是本實(shí)用新型的硅片承載平臺(tái)的示意圖。圖8是本實(shí)用新型的硅片承載平臺(tái)的前視圖。圖9是本實(shí)用新型的絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)的示意圖。圖10是本實(shí)用新型的刮墨裝置的示意圖。圖11是本實(shí)用新型的硅片裝載裝置的示意圖。圖12是本實(shí)用新型的直通運(yùn)輸帶與轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶的裝配圖。圖13是本實(shí)用新型的流程示意圖。圖14是本實(shí)用新型的控制系統(tǒng)。圖中示出1 一第一硅片承載平臺(tái);2 —第二硅片承載平臺(tái);3 —絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu);4 一絲網(wǎng)升降裝置;5 —刮墨裝置;6 —第一硅片裝載裝置;7 —第二硅片裝載裝置;8 -第一硅片卸載裝置;9 一第二硅片卸載裝置;10 —第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī);11 一第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī);12 —第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī);13 —第二進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī);14 一第一直通運(yùn)輸帶;
15一第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶;16 —第二直通運(yùn)輸帶;17 —第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶;18 —第三直通運(yùn)輸帶;19 一第四直通運(yùn)輸帶;20 —第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶;21 —第五直通運(yùn)輸帶;22 -第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶;23 —第六直通運(yùn)輸帶;24 —基座。24 —基座;25 —娃片;26 —運(yùn)輸帶;27—電機(jī);28—滑軌。29—絲網(wǎng)固定架;30—導(dǎo)向輪;31 —導(dǎo)向塊;32 —傳動(dòng)板;33 —絲網(wǎng)鎖緊氣缸;34 —絲網(wǎng)。35 —刮刀;36 —刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu);37 —回墨機(jī)構(gòu);38 —刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。39 —硅片;40 —第一光感;41 一第二光感;42 —第三光感;43 —第一電機(jī);44 —第二電機(jī);45 —滑軌。46 —直通運(yùn)輸帶;47 —轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶;48 —升降裝置。
具體實(shí)施方式
為了更好地理解本實(shí)用新型,
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地描述,但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。如圖2 圖4所示,具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置包括第一硅片承載平臺(tái)1,第二硅片承載平臺(tái)2,絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3,刮墨裝置5,絲網(wǎng)升降裝置4,第一硅片裝載裝置6,第二硅片裝載裝置7,第一硅片卸載裝置8,第二硅片卸載裝置9,第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10,第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11,第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)12,第二進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)13,第一直通運(yùn)輸帶14,第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15,第二直通運(yùn)輸帶16,第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17,第三直通運(yùn)輸帶18,第四直通運(yùn)輸帶19,第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20,第五直通運(yùn)輸帶21,第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22,第六直通運(yùn)輸帶23。其中,第一直通運(yùn)輸帶14、第二直通運(yùn)輸帶16、第三直通運(yùn)輸帶18和第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15、第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17組成第一緩沖運(yùn)輸線;第四直通運(yùn)輸帶19、第五直通運(yùn)輸帶21、第六直通運(yùn)輸帶23和第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20、第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22組成第二緩沖運(yùn)輸線。所述各個(gè)裝置的構(gòu)成和作用如下(I)第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2硅片承載平臺(tái)的作用是在往硅片上涂覆印刷時(shí)給硅片提供平整的支撐。該印刷裝置采用雙硅片承載平臺(tái)結(jié)構(gòu)第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2,可以實(shí)現(xiàn)換片與印刷工序過(guò)程并行。如圖7、圖8所示,硅片承載平臺(tái)是一個(gè)平整的平臺(tái),平臺(tái)上方是一條寬而薄的扁平運(yùn)輸帶26,扁平運(yùn)輸帶26的驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪分布在平臺(tái)兩側(cè),由電機(jī)27帶動(dòng)。平臺(tái)中間部位有許多均勻分布的小孔,運(yùn)輸帶26上面也有許多均勻分布的小孔,這些小孔通過(guò)真空吸功能把硅片吸附在平臺(tái)上。運(yùn)輸帶26覆蓋平臺(tái)支撐硅片25的那個(gè)平面,這樣可以令印刷時(shí)硅片25底部獲得均勻支撐,從而能減少硅片25的破損。平臺(tái)下方有滑軌28,可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的橫向移動(dòng)。第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)12完全相同,對(duì)稱分布在基座24上。當(dāng)?shù)谝还杵休d平臺(tái)I或第二硅片承載平臺(tái)2在刮墨裝置5下方時(shí),稱為平臺(tái)在印刷工位(如圖2中第二硅片承載平臺(tái)2在印刷工位);而第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)與第一硅片裝載裝置6 (或第二硅片裝載裝置7)的運(yùn)輸帶對(duì)準(zhǔn)可以實(shí)施換片的位置,稱為換片工位(如圖2中第一硅片承載平臺(tái)I在換片工位)。第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2安裝在同一個(gè)可以橫向移動(dòng)的基座24上,因此當(dāng)?shù)谝还杵休d平臺(tái)I進(jìn)入印刷工位時(shí),第二硅片承載平臺(tái)2移出到換片工位;同樣,當(dāng)?shù)诙杵休d平臺(tái)2進(jìn)入印刷工位時(shí),第一硅片承載平臺(tái)I移出到換片工位。裝載新硅片時(shí),通過(guò)第一硅片裝載裝置6 (或第二硅片裝載裝置7)和第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)上的運(yùn)輸帶配合,把未印刷的硅片傳送到第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)上,當(dāng)硅片傳遞到平臺(tái)中央時(shí),開(kāi)啟平臺(tái)上的真空吸把硅片吸住,以防平臺(tái)運(yùn)動(dòng)或刮墨時(shí)硅片移動(dòng);卸載印刷過(guò)的硅片時(shí),通過(guò)第一硅片承載平臺(tái)1(或第二硅片承載平臺(tái)2)和第一硅片卸載裝置8 (或第二硅片卸載裝置9)上的運(yùn)輸帶配合,把印刷好的硅片傳送到第一硅片卸載裝置8 (或第二硅片卸載裝置9)上。( 2 )絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3的作用是根據(jù)硅片的姿態(tài)調(diào)整絲網(wǎng)的姿態(tài),令絲網(wǎng)上的圖案與硅片對(duì)齊,使涂料能正確轉(zhuǎn)印到絲網(wǎng)上。如圖9所示,絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3由絲網(wǎng)固定架29、導(dǎo)向輪30、導(dǎo)向塊31和傳動(dòng)板32等組成。導(dǎo)向塊31固定在絲網(wǎng)固定架29上,傳動(dòng)板32與絲網(wǎng)固定架29通過(guò)螺栓聯(lián)接。導(dǎo)向輪30定位不變,但可轉(zhuǎn)動(dòng)。導(dǎo)向塊31與導(dǎo)向輪30之間的配合如圖9右上側(cè)的局部圖所示。驅(qū)動(dòng)通過(guò)傳動(dòng)板32傳遞到絲網(wǎng)固定架29,使絲網(wǎng)固定架29能在XY平移和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。圖9所示的絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3僅是其中的一種代表機(jī)構(gòu),還有其他形式的絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu),這里不作過(guò)多說(shuō)明。因?yàn)榻z網(wǎng)34安裝在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3上,從而絲網(wǎng)34能實(shí)現(xiàn)XY平行移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)定位。絲網(wǎng)34調(diào)整后,通過(guò)絲網(wǎng)鎖緊氣缸33把絲網(wǎng)34鎖緊在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3上。(3)刮墨裝置5刮墨裝置5通過(guò)刮刀的上下運(yùn)動(dòng)和前后運(yùn)動(dòng)把涂料壓印到硅片上。如圖10所示,刮墨裝置5包括刮刀35、刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)38、刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)36和回墨機(jī)構(gòu)37等。其中,刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)36由電機(jī)驅(qū)動(dòng),刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)38由汽缸推動(dòng)。(4)絲網(wǎng)升降裝置4如圖2所示,絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3和刮墨裝置5安裝在絲網(wǎng)升降裝置4上,絲網(wǎng)升降裝置4由電機(jī)驅(qū)動(dòng),當(dāng)?shù)谝还杵休d平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)在印刷工位時(shí),通過(guò)絲網(wǎng)升降裝置4使絲網(wǎng)34貼近和離開(kāi)第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)上的硅片,以便實(shí)現(xiàn)硅片印刷或清洗網(wǎng)底。(5)第一硅片裝載裝置6和第二硅片裝載裝置7第一硅片裝載裝置6 (或第二硅片裝載裝置7)與第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)在換片工位時(shí)對(duì)齊,第一硅片裝載裝置6 (或第二硅片裝載裝置7)和第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)上的運(yùn)輸帶配合把硅片從第一硅片裝載裝置6 (或第二硅片裝載裝置7)輸送到第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)上。硅片裝載裝置還有硅片姿態(tài)調(diào)整功能。當(dāng)檢測(cè)到硅片姿態(tài)偏離嚴(yán)重時(shí),通過(guò)硅片裝載裝置上兩個(gè)運(yùn)輸帶的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)和底部平臺(tái)的橫向移動(dòng),可以把硅片姿態(tài)調(diào)整到一定的范圍內(nèi)。這種姿態(tài)調(diào)整是令硅片進(jìn)入硅片承載平臺(tái)時(shí)姿態(tài)不會(huì)超出絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)工作范圍。如圖11所示,如果第二光感41和第三光感42不能同時(shí)感應(yīng)硅片39,那么需要對(duì)硅片39進(jìn)行角度調(diào)整。假如第二光感41先感應(yīng)硅片39,則使第二電機(jī)44停轉(zhuǎn),同時(shí)使第一電機(jī)43反轉(zhuǎn)(電機(jī)正轉(zhuǎn),娃片前進(jìn))一點(diǎn),然后兩電機(jī)以相同轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn);假如第三光感42先感應(yīng)娃片39,則使第一電機(jī)43停轉(zhuǎn),同時(shí)使第二電機(jī)44反轉(zhuǎn)(電機(jī)正轉(zhuǎn),娃片前進(jìn))一點(diǎn),然后兩電機(jī)以相同轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)??吹诙飧?1和第三光感42是否能同時(shí)感應(yīng)硅片39,如果不能,則作相應(yīng)的調(diào)整,以此循環(huán),直至第二光感41和第三光感42能同時(shí)感應(yīng)硅片39。如果第一光感40不能感應(yīng)硅片39,則硅片裝載裝置沿著滑軌45向第一光感40靠近,當(dāng)?shù)谝还飧?0 —感應(yīng)到硅片39,硅片裝載裝置就停止移動(dòng)。基于以上原理,硅片裝載裝置不僅能微調(diào)硅片的角度,還能調(diào)整硅片的橫向偏移。為了使調(diào)整過(guò)程簡(jiǎn)單化,先對(duì)硅片進(jìn)行角度調(diào)整,再進(jìn)行橫向偏移調(diào)整。(6)第一硅片卸載裝置8和第二硅片卸載裝置9如圖2所示,第一硅片卸載裝置8 (或第二硅片卸載裝置9)與第一硅片裝載裝置6 (或第二硅片裝載裝置7)對(duì)稱分布在第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2兩側(cè),第一硅片卸載裝置8 (或第二硅片卸載裝置9)和第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)上的運(yùn)輸帶配合把硅片從第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)轉(zhuǎn)移到第一硅片卸載裝置8 (或第二硅片卸載裝置9)上。[0057](7)第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10和第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10和第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11安裝在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)3的下方,如圖9所示,絲網(wǎng)34上有兩個(gè)Mark點(diǎn),第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10和第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11就是用來(lái)獲取絲網(wǎng)34底部這兩個(gè)Mark點(diǎn)的圖像,從而計(jì)算出絲網(wǎng)34的姿態(tài)。(8)第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)12和第二進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)13如圖2所示,第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)12 (或第二進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)13)安裝在第一硅片承載平臺(tái)I (或第二硅片承載平臺(tái)2)在換片工位時(shí)的上方,用于獲取硅片的圖像,根據(jù)硅片圖像,進(jìn)板時(shí)可以分析硅片的姿態(tài)和是否破損,出板時(shí)檢查硅片是否破損。(9)第一緩沖運(yùn)輸線和第二緩沖運(yùn)輸線第一緩沖運(yùn)輸線與第一硅片卸載裝置8和第二硅片卸載裝置9呈垂直布置,由第一直通運(yùn)輸帶14、第二直通運(yùn)輸帶16、第三直通運(yùn)輸帶18和第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15、第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17構(gòu)成。其中,第一直通運(yùn)輸帶14、第二直通運(yùn)輸帶16、第三直通運(yùn)輸帶18共線;第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15與第一直通運(yùn)輸帶14垂直,且與第一硅片卸載裝置8共線;第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17與第三直通運(yùn)輸帶18垂直,且與第二硅片卸載裝置9共線。第二緩沖運(yùn)輸線與第一硅片裝載裝置6和第二硅片裝載裝置7呈垂直布置,由第四直通運(yùn)輸帶19、第五直通運(yùn)輸帶21、第六直通運(yùn)輸帶23和第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20、第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22構(gòu)成。其中,第四直通運(yùn)輸帶19、第五直通運(yùn)輸帶21、第六直通運(yùn)輸帶23共線;第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20與第四直通運(yùn)輸帶19垂直,且與第一硅片裝載裝置6共線;第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22與第六直通運(yùn)輸帶23垂直,且與第二硅片裝載裝置7共線。第二緩沖運(yùn)輸線從印刷機(jī)上游接收需要印刷的硅片,第一緩沖運(yùn)輸線把印刷好的硅片傳送到印刷機(jī)下游。如圖12所示,直通運(yùn)輸帶46與轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47呈垂直布置。轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47的下面有升降裝置48,與上面的運(yùn)輸帶結(jié)合在一起,使轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47在一定范圍內(nèi)上升和下降。轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47的中間位置對(duì)稱的開(kāi)有兩個(gè)小槽,使直通運(yùn)輸帶46的兩根運(yùn)輸帶能通過(guò)而不干涉,且槽深應(yīng)滿足轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47的升降范圍。轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47的上升和下降可使直通運(yùn)輸帶46和轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47上面的硅片相互移載當(dāng)轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47在直通運(yùn)輸帶46上方時(shí),轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47下降,可使轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47上面的硅片落到直通運(yùn)輸帶46上面;當(dāng)轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47在直通運(yùn)輸帶46下方時(shí),轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47上升,可把直通運(yùn)輸帶46上面的硅片托到轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶47上面。如圖5、圖6所示,四條轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶的初始位置為第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20在第四直通運(yùn)輸帶19的下方,第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22在第六直通運(yùn)輸帶23的下方,第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15在第一直通運(yùn)輸帶14的上方,第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17在第三直通運(yùn)輸帶18的下方。具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,具體的動(dòng)作過(guò)程如下I.進(jìn)板過(guò)程如圖5所示,第四直通運(yùn)輸帶19從印刷機(jī)上游接收需要印刷的硅片,硅片沿著第四直通運(yùn)輸帶19向前傳遞,當(dāng)硅片傳遞到第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20的正上方時(shí),硅片可有兩個(gè)方向繼續(xù)傳遞。(I)第一硅片承載平臺(tái)I進(jìn)板[0071]當(dāng)硅片向第一硅片裝載裝置6方向傳遞時(shí),第四直通運(yùn)輸帶19停止轉(zhuǎn)動(dòng),第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20上升,把硅片托起,直至第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20與第一硅片裝載裝置6齊高時(shí)停止上升;第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20和第一硅片裝載裝置6上的電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),把硅片從第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20轉(zhuǎn)移到第一硅片裝載裝置6 ;硅片傳遞到第一硅片裝載裝置6時(shí),第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20下降,下降到初始位置;第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20下降的同時(shí),硅片繼續(xù)向前傳遞,傳遞到第一硅片裝載裝置6的中間位置時(shí),如果硅片有一定角度和橫向偏移,則第一硅片裝載裝置6作相應(yīng)的調(diào)整把硅片擺好;硅片校正后,繼續(xù)把硅片運(yùn)輸?shù)降谝还杵休d平臺(tái)I。(2)第二硅片承載平臺(tái)2進(jìn)板當(dāng)硅片向第五直通運(yùn)輸帶21方向傳遞時(shí),第三轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶20不升起,硅片沿著第四直通運(yùn)輸帶19繼續(xù)向前傳遞,經(jīng)過(guò)第五直通運(yùn)輸帶21傳遞到第六直通運(yùn)輸帶23 ;當(dāng)硅片處于第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22的正上方時(shí),第六直通運(yùn)輸帶23停止轉(zhuǎn)動(dòng),第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22上升,把硅片托起,直至第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22與第二硅片裝載裝置7齊高時(shí)停止上升;第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22和第二硅片裝載裝置7上的電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng),把硅片從第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22轉(zhuǎn)移到第二硅片裝載裝置7 ;硅片傳遞到第二硅片裝載裝置7時(shí),第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22下降,下降到初始位置;第四轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶22下降的同時(shí),硅片繼續(xù)向前傳遞,傳遞到第二硅片裝載裝置7的中間位置時(shí),如果硅片有一定角度和橫向偏移,則第二硅片裝載裝置7作相應(yīng)的調(diào)整把硅片擺好;硅片校正后,繼續(xù)把硅片運(yùn)輸?shù)降诙杵休d平臺(tái)2。當(dāng)?shù)谝还杵休d平臺(tái)I進(jìn)入印刷工位時(shí),第二硅片承載平臺(tái)2移出到換片工位;同樣,當(dāng)?shù)诙杵休d平臺(tái)2進(jìn)入印刷工位時(shí),第一硅片承載平臺(tái)I移出到換片工位。2.印刷過(guò)程第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2交替進(jìn)入印刷工位實(shí)現(xiàn)刮墨操作,相應(yīng)地控制系統(tǒng)交替給第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2裝載硅片。如圖2所示,印刷過(guò)程如下(I)硅片通過(guò)第一硅片承載平臺(tái)I進(jìn)板傳遞到第一硅片承載平臺(tái)1,此時(shí)第一硅片承載平臺(tái)I處在換片工位,第一硅片承載平臺(tái)I上有硅片,第二硅片承載平臺(tái)2上沒(méi)有,當(dāng)硅片到達(dá)第一硅片承載平臺(tái)I的中央時(shí),真空吸打開(kāi),吸住硅片,第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)12拍照,獲取硅片的姿態(tài),同時(shí)分析硅片是否破損,如果沒(méi)有,則進(jìn)行下一操作;(2)第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10和第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11拍下印刷機(jī)的絲網(wǎng)34的Mark點(diǎn),通過(guò)絲網(wǎng)調(diào)整機(jī)構(gòu)3調(diào)整絲網(wǎng)34的姿態(tài)使絲網(wǎng)34上的圖案與硅片對(duì)準(zhǔn),同時(shí)第一硅片承載平臺(tái)I從換片工位向印刷工位移動(dòng),當(dāng)?shù)谝还杵休d平臺(tái)I到達(dá)印刷工位,絲網(wǎng)升降裝置4下降,使絲網(wǎng)34與硅片貼近,刮刀裝置5把錫漿或銀漿透過(guò)絲網(wǎng)34涂覆在硅片上,刮墨完成后,絲網(wǎng)升降裝置4上升,在第一硅片承載平臺(tái)I上的硅片被印刷的同時(shí),從第二硅片裝載裝置7傳遞硅片到第二硅片承載平臺(tái)2上,當(dāng)硅片到達(dá)第二硅片承載平臺(tái)2的中央時(shí),真空吸片打開(kāi),吸住硅片,第二進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)13拍照,獲取硅片的姿態(tài),同時(shí)分析硅片是否破損,如果沒(méi)有,則進(jìn)行下一操作;(3)第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10和第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11拍下印刷機(jī)的絲網(wǎng)34的Mark點(diǎn),通過(guò)絲網(wǎng)調(diào)整機(jī)構(gòu)3調(diào)整絲網(wǎng)34的姿態(tài)使絲網(wǎng)34上的圖案與硅片對(duì)準(zhǔn),同時(shí)第二硅片承載平臺(tái)2從換片工位向印刷工位移動(dòng),當(dāng)?shù)诙杵休d平臺(tái)2到達(dá)印刷工位,絲網(wǎng)升降裝置4下降,使絲網(wǎng)34與硅片貼近,刮刀裝置5把錫漿或銀漿透過(guò)絲網(wǎng)34涂覆在硅片上,刮墨完成后,絲網(wǎng)升降裝置4上升,在第二硅片承載平臺(tái)2上的硅片被印刷的同時(shí),印刷好的硅片從第一硅片承載平臺(tái)I傳遞到第一硅片卸載裝置8,而第一硅片裝載裝置6上未印刷的硅片被移入到第一硅片承載平臺(tái)1,當(dāng)硅片到達(dá)第一硅片承載平臺(tái)I的中央時(shí),真空吸片打開(kāi),吸住硅片,第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)12拍照,獲取硅片的姿態(tài),同時(shí)分析硅片是否破損,如果沒(méi)有,則進(jìn)行下一操作;(4)第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10和第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11拍下印刷機(jī)的絲網(wǎng)34的Mark點(diǎn),通過(guò)絲網(wǎng)調(diào)整機(jī)構(gòu)3調(diào)整絲網(wǎng)34的姿態(tài)使絲網(wǎng)34上的圖案與硅片對(duì)準(zhǔn),同時(shí)第一硅片承載平臺(tái)I從換片工位向印刷工位移動(dòng),當(dāng)?shù)谝还杵休d平臺(tái)I到達(dá)印刷工位,絲網(wǎng)升降裝置4下降,使絲網(wǎng)34與硅片貼近,刮刀裝置5把錫漿或銀漿透過(guò)絲網(wǎng)34涂覆在硅片上,刮墨完成后,絲網(wǎng)升降裝置4上升,在第一硅片承載平臺(tái)I上的硅片被印刷的同時(shí),印刷好的硅片從第二硅片承載平臺(tái)2傳遞到第二硅片卸載裝置9,而第二硅片裝載裝置7上未印刷的硅片被移入到第二硅片承載平臺(tái)2,當(dāng)硅片到達(dá)第二硅片承載平臺(tái)2的中央時(shí),真空吸片打開(kāi),吸住硅片,第二進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)13拍照,獲取硅片的姿態(tài),同時(shí)分析硅片是否破損,如果沒(méi)有,則進(jìn)行下一操作;(5)此后,第一硅片承載平臺(tái)I和第二硅片承載平臺(tái)2交替進(jìn)入印刷工位,循環(huán)過(guò)程如(3)、(4)所述。3.出板過(guò)程如圖6所示,出板裝置由第一緩沖運(yùn)輸線、第一硅片卸載裝置8和第二硅片裝載裝置9組成。印刷好的硅片從兩個(gè)方向傳到出板裝置。(I)第一硅片承載平臺(tái)I出板當(dāng)印刷好的硅片從第一硅片承載平臺(tái)I傳遞到第一硅片卸載裝置8時(shí),硅片沿著第一硅片卸載裝置8傳遞給第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15 ;當(dāng)硅片處在第一直通運(yùn)輸帶14的正上方時(shí),第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15停止轉(zhuǎn)動(dòng),同時(shí)第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15下降;當(dāng)硅片落到第一直通運(yùn)輸帶14上時(shí),第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15繼續(xù)下降一段距離后停止下降,同時(shí)第一直通運(yùn)輸帶14轉(zhuǎn)動(dòng);硅片沿著第一直通運(yùn)輸帶14繼續(xù)向前傳遞,經(jīng)過(guò)第二直通運(yùn)輸帶16傳遞到第三直通運(yùn)輸帶18,再把本設(shè)備印刷過(guò)的硅片送到印刷機(jī)下游,同時(shí)第一轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶15上升,回到初始位置。需要注意到是,當(dāng)印刷好的硅片從第一硅片承載平臺(tái)I傳遞到第一硅片卸載裝置8后,緊隨的就是第一硅片裝載裝置6把未印刷的硅片裝載到第一硅片承載平臺(tái)I上。(2)第二硅片承載平臺(tái)2出板當(dāng)印刷好的硅片從第二硅片承載平臺(tái)2傳遞到第二硅片卸載裝置9時(shí),硅片沿著第二硅片卸載裝置9繼續(xù)向前傳遞,同時(shí)第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17上升,直至第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17與第二硅片卸載裝置9齊高時(shí)停止上升;第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17轉(zhuǎn)動(dòng),硅片從第二硅片卸載裝置9傳遞到第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17 ;硅片沿著第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17運(yùn)輸,當(dāng)硅片處在第三直通運(yùn)輸帶18的正上方時(shí),第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17停止轉(zhuǎn)動(dòng),同時(shí)第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17下降;當(dāng)硅片落到第三直通運(yùn)輸帶18上時(shí),第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17繼續(xù)下降一段距離后停止下降,下降到初始位置,同時(shí)第三直通運(yùn)輸帶18轉(zhuǎn)動(dòng);硅片沿著第三直通運(yùn)輸帶18繼續(xù)向前傳遞,把本設(shè)備印刷過(guò)的硅片送到印刷機(jī)下游。在第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17處,有兩個(gè)方向的娃片向此處傳遞,應(yīng)把兩個(gè)方向的傳遞錯(cuò)開(kāi)。在出板裝置的適當(dāng)位置裝有傳感器,根據(jù)PLC控制系統(tǒng)的邏輯設(shè)計(jì)法,使硅片沿著第二直通運(yùn)輸帶16向第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17方向傳遞時(shí),第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17處在第三直通運(yùn)輸帶18的下方。當(dāng)硅片沿著第二硅片卸載裝置9向第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17方向傳遞時(shí),第二轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶17又上升到與第二硅片卸載裝置9等高。需要注意的是,當(dāng)印刷好的硅片從第二硅片承載平臺(tái)2傳遞到第二硅片卸載裝置9后,緊隨的就是第二硅片裝載裝置7把未印刷的硅片裝載到第二硅片承載平臺(tái)2上。綜上所述,本印刷裝置采用雙承載平臺(tái)結(jié)構(gòu),兩個(gè)承載平臺(tái)交替進(jìn)入印刷工位實(shí)現(xiàn)刮墨操作,使一個(gè)承載平臺(tái)在進(jìn)行換片的同時(shí),另外一個(gè)承載平臺(tái)在進(jìn)行硅片印刷,保證了印刷裝置可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)換片和刮墨操作,即使換片與印刷工序過(guò)程并行,從而減少了生產(chǎn)時(shí)間,大幅提高生產(chǎn)線單位時(shí)間的生產(chǎn)效率。而且進(jìn)出板都采用運(yùn)輸帶傳遞,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)還能實(shí)現(xiàn)出板破損檢測(cè)。如圖14所示,為了配合本實(shí)用新型的印刷裝置的工作,根據(jù)進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)、絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)所得硅片、絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)姿態(tài)信息,實(shí)現(xiàn)硅片和絲網(wǎng)的高精度對(duì)準(zhǔn)。本具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝工作時(shí)還需定位裝置、圖像采集裝置、攝像控制器、圖像采集卡、定位裝置控制器、圖像處理、通用計(jì)算機(jī)和運(yùn)動(dòng)控制器等。其中,定位裝置包括第一光感40、第二光感41和第三光感42 ;圖像采集裝置包括第一絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)10、第二絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)11、第一進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)12和第三進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)13 ;攝像控制器控制圖像采集裝置的圖像采集;圖像采集卡將圖像信號(hào)送給CPU處理或保存到存儲(chǔ)器;運(yùn)動(dòng)控制器控制印刷裝置的動(dòng)作。為了更直觀的了解該印刷裝置的工作流程,可以參考圖13。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)緊湊、傳動(dòng)平穩(wěn)、制造和安裝簡(jiǎn)單、維護(hù)方便、印刷質(zhì)量高、生產(chǎn)效率高、占地面積小等特點(diǎn),可用于硅片的各種印刷。以上所述之具體實(shí)施方式
僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式,并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍,凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,其特征在于包括兩個(gè)硅片承載平臺(tái)、兩個(gè)進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)、一個(gè)絲網(wǎng)升降裝置、一個(gè)絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu),兩個(gè)絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)、一個(gè)刮墨裝置、兩套硅片裝載裝置、兩套硅片卸載裝置和兩套緩沖運(yùn)輸線;兩個(gè)硅片承載平臺(tái)安裝在一個(gè)橫向移動(dòng)的基座上,用于交替進(jìn)入印刷工位實(shí)現(xiàn)刮墨操作;進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī)安裝在硅片承載平臺(tái)的換片工位上方,用于獲取硅片的圖像;絲網(wǎng)升降裝置安裝在印刷機(jī)的四個(gè)支撐柱上,用于使絲網(wǎng)貼近硅片和離開(kāi)硅片而實(shí)現(xiàn)硅片印刷、脫模以及清洗網(wǎng)底;絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝在印刷機(jī)的絲網(wǎng)升降裝置上,用于使絲網(wǎng)實(shí)現(xiàn)XY平行移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)定位;兩個(gè)絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī)安裝在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)的下方,且對(duì)稱分布于在印刷工位的硅片承載平臺(tái)的兩側(cè),用于獲取絲網(wǎng)底部?jī)蓚€(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)的圖像;刮墨裝置安裝在絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)的上方,用于通過(guò)刮刀的上下運(yùn)動(dòng)和前后運(yùn)動(dòng)把涂料壓印到硅片上;兩套硅片裝載裝置與未在印刷工位的硅片承載平臺(tái)對(duì)齊,且對(duì)稱分布在印刷機(jī)的兩側(cè),能調(diào)整硅片的角度和橫向偏移;硅片卸載裝置與硅片裝載裝置對(duì)稱分布在硅片承載平臺(tái)兩側(cè);兩套緩沖運(yùn)輸線均與硅片裝載裝置和硅片卸載裝置呈垂直布置,用于從上游接收需要印刷的硅片,或把印刷好的硅片傳送到下游。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,其特征在于每個(gè)硅片承載平臺(tái)上方裝有運(yùn)輸帶,平臺(tái)中間部位和運(yùn)輸帶上面也有多個(gè)均勻分布的用于通過(guò)真空吸功能把硅片吸附在平臺(tái)上的小孔;運(yùn)輸帶覆蓋平臺(tái)上用于支撐硅片的平面;平臺(tái)下方有能實(shí)現(xiàn)橫向移動(dòng)的滑軌。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,其特征在于所述的絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)是一個(gè)平面三自由度串聯(lián)機(jī)構(gòu),能實(shí)現(xiàn)XY平行移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,其特征在于所述的刮墨裝置包括刮刀、刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和回墨機(jī)構(gòu),刮刀前后運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于使刮刀前后運(yùn)動(dòng),刮刀上下運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于使刮刀上下運(yùn)動(dòng),刮刀的上下運(yùn)動(dòng)和前后運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)把涂料壓印到硅片上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,其特征在于每套硅片裝載裝置上方裝有兩條用于調(diào)整硅片角度的運(yùn)輸帶,該兩條運(yùn)輸帶分別由兩個(gè)電機(jī)帶動(dòng),且運(yùn)輸帶的附近裝有用于感應(yīng)硅片位置的三個(gè)光感;硅片裝載裝置下方具有用于平移運(yùn)動(dòng)來(lái)調(diào)整硅片橫向位移的底部平臺(tái)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,其特征在于,每套緩沖運(yùn)輸線由三條直通運(yùn)輸帶和兩條轉(zhuǎn)角移載運(yùn)輸帶構(gòu)成。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了具有雙平臺(tái)的全自動(dòng)視覺(jué)硅片印刷裝置,包括兩個(gè)硅片承載平臺(tái),兩個(gè)進(jìn)出板檢測(cè)相機(jī),一個(gè)絲網(wǎng)升降裝置,一個(gè)絲網(wǎng)姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu),兩個(gè)絲網(wǎng)基準(zhǔn)點(diǎn)相機(jī),一個(gè)刮墨裝置,兩套硅片裝載裝置,兩套硅片卸載裝置,兩套緩沖運(yùn)輸線;兩個(gè)硅片承載平臺(tái)安裝在一個(gè)橫向移動(dòng)的基座上,可交替進(jìn)入印刷工位實(shí)現(xiàn)刮墨操作,未在印刷工位的硅片承載平臺(tái)可同步裝載、卸載硅片;該印刷裝置采用雙硅片承載平臺(tái)結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)換片與印刷工序過(guò)程并行,提高生產(chǎn)效率,且該裝置結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)備占用面積小。
文檔編號(hào)B41F15/08GK202805899SQ20122020570
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月9日
發(fā)明者張憲民, 鄺泳聰, 歐陽(yáng)高飛, 陳家釗, 韓佳鵬 申請(qǐng)人:華南理工大學(xué)
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