專利名稱：噴墨制膜方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具備有噴墨記錄噴頭(以下稱為“噴墨噴頭”)的噴墨涂布裝置的清洗方法、噴嘴檢查方法、涂布控制方法、及成膜方法，特別涉及一種用以將在噴墨噴頭的噴嘴面及其周邊所附著的臟污、碎屑、雜質(zhì)等去除的清洗方法、噴嘴檢查方法、涂布控制方法、及成膜方法。另外，本說明書中的噴墨噴頭，沒有特別的限定，是具備有單一或多個噴嘴的噴墨嗔頭。
背景技術(shù)：
噴墨記錄裝置中，為了維持高品質(zhì)的記錄質(zhì)量，便必須將在噴墨記錄噴頭的油墨吐出面所殘留油墨、雜質(zhì)等予以去除。專利文獻I中揭示有，使擦拭刮板相對向于噴頭的油墨吐出面，通過進行擦拭動作來清洗的方法中，為了提升清洗性能，便關(guān)于擦拭刮板的材質(zhì)、角度、接觸方式等進行研究。
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專利文獻2中揭示有，相對吐出口在所述刮板清洗的回復(fù)操作方向的下游側(cè)設(shè)置油墨吸收用狹縫，將經(jīng)所述刮板刮取的油墨利用具有平行于多個吐出口且狹縫狀設(shè)置的抽吸口的油墨吸收用狹縫，吸取所述油墨以提升性能的方法等。在專利文獻3中揭示有，從噴霧器噴嘴朝噴墨噴頭的噴嘴及其周邊吹出而施行所述噴嘴面的洗凈之后，將附著于噴墨噴頭的噴嘴及其周邊的洗凈液利用刮板進行刮除等。專利文獻4中揭示有，配向膜的液滴吐出方法，使具有以既定間距排列的多個噴嘴的噴墨噴頭，對襯底進行相對移動，而從所述噴嘴將配向膜的液滴吐出于所述襯底上的方法，其中，所述噴墨噴頭對所述襯底相對移動的方向，是對所述襯底中構(gòu)成格子狀的像素排列方向，呈既定角度傾斜。專利文獻5中揭示有，薄膜形成裝置，包括有分別具有以一定間隔排列的多個噴嘴，具備有單一或多個噴墨噴頭的噴頭支撐構(gòu)造體；以及具有在這些多個噴嘴排列方向的正交方向上，可在這些多個噴嘴之間進行相對移動的襯底搬送平臺的襯底搬送機構(gòu)；而從所述多個噴嘴將薄膜形成用溶液噴射于在所述襯底搬送平臺上所搭載的襯底表面上，而施行涂布并形成薄膜的非接觸式薄膜形成裝置；其特征在于具備有至少內(nèi)部設(shè)有所述襯底搬送平臺、噴墨噴頭、及將所述噴頭支撐構(gòu)造體包含于內(nèi)部的作為噴射涂布成膜室的真空糟；以及為了能在減壓環(huán)境下施行噴射涂布成膜，而將所述真空槽內(nèi)部施行減壓的減壓手段。專利文獻6中揭示有，配向膜形成方法，具備有使用噴墨噴嘴將配向膜材料以液滴進行滴落，通過該滴落的液滴圖案，檢查所述噴墨噴嘴異常的檢查步驟；以及當在該檢查步驟判斷液滴圖案在既定范圍內(nèi)時，便使所述噴墨與襯底相對向，并使用所述噴墨噴嘴將配向膜材料以液滴滴落在該襯底上而成的配向膜的成膜步驟。專利文獻7中揭示有，裝置的制造方法，包括有對襯底的圖案形成區(qū)域，從液滴吐出噴頭吐出液體材料的步驟的裝置的制造方法；其特征在于包括有對除所述圖案形成區(qū)域以外的既定區(qū)域吐出所述液體材料的沖洗步驟。專利文獻I :日本特開2004-291364號公報專利文獻2 :日本特開2004-42571號公報專利文獻3 :日本特開2002-19132號公報專利文獻4 :日本特開2006-320839號公報
專利文獻5 :日本特開2006-289355號公報專利文獻6 日本特開2006-058772號公報專利文獻7 :日本特開2003-282245號公報

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明所欲解決的問題) 本發(fā)明的目的在于提供一種可解決后述技術(shù)問題的噴墨涂布裝置的清洗方法、噴嘴檢查方法、涂布控制方法、及成膜方法。(解決問題的手段)第I發(fā)明是噴墨噴頭的清洗方法，其特征在于，將噴墨噴頭的洗凈區(qū)域，利用具有洗凈液供應(yīng)口與抽吸口的單元構(gòu)件覆蓋，并通過從抽吸口作用抽吸力，從與抽吸口相對向的洗凈液供應(yīng)口，朝洗凈區(qū)域噴射洗凈液來加以洗凈。第2發(fā)明是，在第I發(fā)明中，在所述洗凈后，使噴墨噴頭與單元構(gòu)件僅稍微離開，通過對單元構(gòu)件作用抽吸力，來使噴墨噴頭的洗凈區(qū)域干燥。第3發(fā)明是，在第I或2發(fā)明中，洗凈液是使用由具有使液材溶解的因子的溶劑所構(gòu)成的液體。第4發(fā)明是噴墨噴頭的檢查方法，使從噴墨噴頭具有的噴嘴所噴射出的液材，滴落于檢查用構(gòu)件，并根據(jù)滴落的液滴圖案檢查所述噴嘴異常；所述噴墨噴頭的檢查方法的特征在于，所述檢查用構(gòu)件是由液材滴落處與非滴落處的反射率不同的材料來構(gòu)成。第5發(fā)明是，在第4發(fā)明中，所述檢查用構(gòu)件是由于液材的滴落而溶解的薄膜。第6發(fā)明是噴墨涂布控制方法，其特征在于，在從噴墨噴頭的吐出作業(yè)后，將在噴墨噴頭內(nèi)的流路所填充的吐出用液材替換為低揮發(fā)性替換材料，并在剛要開始吐出作業(yè)之前，將替換材料再次替換為吐出用液材。第7發(fā)明是，在第6發(fā)明中，替換材料是使用由具備使液材溶解的因子的溶劑所構(gòu)成的液體。第8發(fā)明是噴墨制膜方法，通過多個噴射步驟施行制膜；所述方法的特征在于，等待前一步驟所噴射的工件上液滴干燥至不流動的程度之后，將液材噴射向與前一步驟滴落的液材液滴接觸或部分重疊的位置。第9發(fā)明是，在第8發(fā)明中，增加噴射步驟的次數(shù)，并減少每一次的噴射量。第10發(fā)明是，在第8或9發(fā)明中，由膜形成布線圖案。
(發(fā)明效果)(I)關(guān)于噴墨噴頭的清洗，因為刮板等固體物不接觸到噴墨噴頭的噴嘴及其周邊，所以可在不發(fā)生磨損粉塵的情況下，清洗噴墨噴頭。另外，因為使用洗凈液，所以在油墨等液材已干燥等情況，仍能以強勁洗凈力進行清洗。另外，也具有可縮短作業(yè)時間，可廉價制作的特征。(2)能夠以高視覺識別性檢測出噴墨噴頭的噴嘴不良情況，特別是透明液材中能明顯地提高視覺識別性。(3)解決噴墨噴頭的涂布控制問題，能進行穩(wěn)定的吐出動作。特別是對高揮發(fā)性的液材具更高的效果。 (4)在由噴墨的成膜中，相比于現(xiàn)有手法，可縮小整體面的厚度差。


圖Ia為具備有實施例I的清洗機構(gòu)的裝置的整體概略俯視圖。圖Ib為具備有實施例I的清洗機構(gòu)的裝置的整體概略側(cè)視圖。圖2為表示實施例I的清洗機構(gòu)一形態(tài)的概要說明圖。圖3為表示實施例I的清洗機構(gòu)另一形態(tài)的概要構(gòu)造圖。圖4a為表示實施例I的洗凈單元的構(gòu)造俯視圖。圖4b為表示實施例I的洗凈單元的概略構(gòu)造側(cè)面剖視圖。圖5為實施例I的洗凈單元所施行的洗凈步驟與干燥步驟說明圖。圖6為實施例I的噴墨噴頭的洗凈步驟與干燥步驟流程圖。圖7為實施例I涉及的噴嘴檢查機構(gòu)說明圖。圖8為表示噴墨噴頭的涂布控制實施順序的流程圖。圖9為用于說明噴墨噴頭動作的簡略化概念構(gòu)造圖。圖10為圖9構(gòu)造中的噴墨噴頭的前處理動作說明圖。圖11為圖9構(gòu)造中的噴墨噴頭的后處理動作說明圖。圖12為現(xiàn)有的厚膜形成手法與本發(fā)明的厚膜形成手法的對比說明圖。圖13為由本發(fā)明制膜方法能夠形成的布線圖案。圖14為實施例2涉及的維護機構(gòu)構(gòu)造圖。圖15為表示透視實施例2的吸取/沖洗單元的側(cè)視圖。圖16為從實施例2的機器類所輸出的信號波形。符號說明2液材3洗凈液4使用過的洗凈液(廢液)5負壓6噴嘴7開閉機構(gòu)8信號產(chǎn)生裝置
9連通構(gòu)件10噴墨噴頭11液材吐出面12a、12b 液材瓶13洗凈液瓶14工件平臺15個人計算機(PC)
16操作桌19壓力供應(yīng)泵20洗凈單元21受液部22排放閥23清洗唇24底部抽吸口25洗凈液供應(yīng)口26洗凈液回收口28開口3 la、3 Ib洗凈液噴嘴電磁閥32a,32b側(cè)噴嘴大氣開放閥33供應(yīng)閥34a,34b負壓用電磁閥35洗凈液供應(yīng)閥36材料切換閥37噴射器38調(diào)節(jié)器40廢液罐41手動接頭51開閉電磁閥52滿量傳感器61抵接構(gòu)件62框架63支撐構(gòu)件64安裝構(gòu)件66接頭71正式液體72檢查用薄膜73板74攝像裝置75反射照明
76穿透照明77 攝像裝置的視野78 滴落的正式液體81 饋送用輥82 卷取用輥101 噴墨噴頭控制盒102 吸取/沖洗單元103 噴頭蓋單元
104 影像照相機105 液材切換單元106 噴墨控制襯底107 液材罐108 緊急停止開關(guān)109 底板110 橫梁112 各種空壓機器113 儀器盒114 控制盒121 X軸移動機構(gòu)122 Y軸移動機構(gòu)123 Z軸移動機構(gòu)1249軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)125 H9軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)151 第一閥152 第二閥
具體實施例方式本發(fā)明以噴墨涂布裝置相關(guān)的下述四個技術(shù)思想為基礎(chǔ)。(I)清洗方法及機構(gòu)[i]課題第一技術(shù)思想的課題在于改善在噴墨噴頭的射出面上所附著液滴的去除能力較低情形。另外，因為現(xiàn)有清洗機構(gòu)的尺寸較大，所以更小型化的目標也屬于待解決問題。還有，如現(xiàn)有不使用堅硬刮板施行清洗也屬待解決問題。理由是如果使刮板接觸到噴墨噴頭的噴嘴或其周邊部分，則有產(chǎn)生磨損粉塵的問題。如果產(chǎn)生磨損粉塵，則成為噴嘴遭堵塞的原因，有導(dǎo)致周邊環(huán)境遭污染的問題。此外，如果有磨損粉塵的產(chǎn)生可能性，則需要在無塵室內(nèi)使用而受到限制。[ii]主旨為將噴墨噴頭射出面上所附著的液材去除，使所附著的液材與溶解液材的洗凈液(洗凈劑)接觸，利用洗凈液將液材溶解較具效果。另外，在所述射出面上形成將液材射出的射出口，而毫無遺漏地使其周邊接觸到洗凈液是重要的。對射出面設(shè)有多個射出口的噴墨噴頭而言，特別重要。第一技術(shù)思想是從噴墨噴頭射出面一端所供應(yīng)的洗凈液，在所述射出面的表面上流動，并從距供應(yīng)洗凈液端最遠的一端進行回收。使用洗凈液從射出面端將在射出面上所附著的液材溶解，同時流動至射出面的相對向端，由此可無遺漏且效率佳地將射出面進行清洗。優(yōu)選為，從射出面的一端的多個位置將洗凈液供應(yīng)給射出面，并從相對向端的多個位置將洗凈液回收。此處對供應(yīng)洗凈液的位置數(shù)并不需要與將洗凈液回收的位置數(shù)相同。更優(yōu)選的是，從噴墨噴頭射出面的長邊方向側(cè)的一端供應(yīng)洗凈液，并從相同射出面長邊方向側(cè)的相對向端將洗凈液回收。理由是可縮短在噴墨射出面上的洗凈液流動距 離，可提升洗凈效率。根據(jù)具有多個射出口的噴墨噴頭，對于尺寸變大的單元也有效。另外，經(jīng)洗凈的射出面因洗凈液而濕潤，但為了能縮短等待時間，最好施行干燥。經(jīng)洗凈的射出面的干燥手段優(yōu)選為自然干燥或吹氣干燥，因為可防止射出面遭受污染。如上所述，如果在噴墨噴頭射出面上無液滴的附著，則提升從噴墨噴頭所射出液滴的量精度及液滴在工件上的滴落位置精度。較佳方式的洗凈液是由具備將油墨溶解的因子的無色溶劑(例如使油墨溶解的主成分的溶劑)構(gòu)成。但是，一般噴墨打印機所使用的油墨可分類為染料系或顏料系。所謂“染料”是指利用載體介質(zhì)作為分子進行分散或溶合的著色劑。載體介質(zhì)在室溫下呈液態(tài)或固態(tài)。通常所使用的載體介質(zhì)是水、或水與有機共溶劑的混合物。一般以水為主成分，并在其中含有著色劑、以及為了防止堵塞等情況含有諸如甘油等濕潤劑。當載體介質(zhì)是使用水的情況，一般此種油墨也出現(xiàn)耐水牢固性偏低的缺點。所謂“顏料”是指雖不溶于載體介質(zhì)中，但以小粒子形態(tài)分散或懸浮，平常為了不致發(fā)生凝聚與沉淀現(xiàn)象，利用分散劑而呈安定化的著色劑。此種化合物多數(shù)為已知，例如存在將有機顏料或碳黑等顏料使用界面活性劑或分散劑予以微粒子化，并通過分散于水等介質(zhì)中而作為著色劑使用的顏料油墨等。本技術(shù)思想與染料系或顏料系無關(guān)均可適用。油墨的黏度以數(shù)十cps程度的低黏度者為主流，但是在可進行飛散噴出的前提下，也可適用在數(shù)百cps程度的中黏度以上的情況。另外，本技術(shù)思想還可使用于諸如印刷襯底的布線圖案印刷、對微小零件施行潤滑劑的涂布、或戶外耐光性顯示材料印刷、UV硬化油墨印刷等情況所使用的功能性油墨。[iii]實施順序噴墨噴頭的清洗是依照Al步驟的順序?qū)嵤?參照圖6)。另外，“B.洗凈作業(yè)”以圖3所示構(gòu)造的順序例進行說明。CL噴墨噴頭對清洗機構(gòu)的安置)使噴墨噴頭10與清洗機構(gòu)的洗凈單元20相抵接。即，使噴墨噴頭10下面，以覆蓋在洗凈單元20中央部呈凹狀設(shè)置的受液部21的方式，抵接于洗凈單元20上面。清洗唇23 (cleaner lip)便成為噴墨噴頭10下面與洗凈單元20上面的接觸面。(B.洗凈作業(yè))I)開啟洗凈液噴嘴電磁閥3la、31b，而連通于經(jīng)由該電磁閥3la、3Ib相連接的流路。
2)利用側(cè)噴嘴大氣開放閥32a、32b阻斷與大氣間的連通，而位于與經(jīng)由該開放閥32a、32b相連接流路呈連通狀態(tài)的位置處。(利用開放閥32a將洗凈單元20與電磁閥31a相連通,而利用開放閥32b將電磁閥31b與排放閥22相連通。)3)利用排放閥22，使噴射器37、與洗凈單元20的受液部21相連通，并開啟負壓用電磁閥34a、34b。4)利用至所述3)為止的步驟，對洗凈單元20的流路，由噴射器37產(chǎn)生負壓，將洗凈液瓶13內(nèi)所儲存的洗凈液供應(yīng)至洗凈單元20。5)供應(yīng)至洗凈單元20的洗凈液，從洗凈液供應(yīng)口 25供應(yīng)于噴墨噴頭10。洗凈液供應(yīng)口 25靠近噴墨10的下面外周形成，從洗凈液供應(yīng)口 25所排出的洗凈液，有效率地供應(yīng)于噴墨噴頭10下面的外周端附近。6)對噴墨噴頭10下面所供應(yīng)的洗凈液，在噴墨噴頭10下面流動，并從與噴墨10下面的洗凈液供應(yīng)側(cè)的相對向端附近所形成的洗凈液回收口 26，再度回收于洗凈單元20中，或在到達洗凈液回收口 26之前，離開噴墨噴頭10下面，而回收于洗凈單元20的受液部21中。受液部21連通于排放閥22，而排放閥22則位于將經(jīng)由排放閥22的其它流路、與受液部21間的連通阻斷的位置處，因而在受液部21中滯留洗凈液。從洗凈液回收口 26流入于洗凈單元20的洗凈液，經(jīng)由排放閥22及噴射器37而回收于廢液罐40中。7)經(jīng)充分施行洗凈之后，將洗凈液噴嘴3la、3Ib關(guān)閉，并將負壓用電磁閥34a、34b關(guān)閉，而使側(cè)噴嘴大氣開放閥32a、32b位于與大氣相連通的位置。由此，停止洗凈液對洗凈單元20的供應(yīng)，受液部21的壓力從負壓變?yōu)榇髿鈮骸?C.噴墨噴頭自清洗機構(gòu)的脫離)使噴墨噴頭10下面離開洗凈單元20上面，在噴墨噴頭10下面與洗凈單元20上面之間形成間隙。該間隙基于后續(xù)要施行的干燥作業(yè)，而設(shè)為產(chǎn)生適當氣流的距離。(D.干燥作業(yè))I)為將廢液罐40與洗凈單元20相連通，切換排放閥22，將負壓用電磁閥34a、34b開啟。2)由此，洗凈單元20的受液部21與廢液罐40相連通，且對受液部21作用負壓，因此受液部21中所儲存的洗凈液便朝廢液罐40流動，而成為廢液的洗凈液由廢液罐40回收。3)另外，在噴墨噴頭10下面與洗凈單元20上面之間設(shè)置間隙，并從所述間隙將抵銷受液部21的負壓的大氣流入于受液部21中。在該間隙中流動的大氣作用為使在噴墨噴頭10下面所附著的洗凈液滴下，而滴下的洗凈液滴落于受液部21，并由廢液罐40回收。另外，也可通過對噴墨噴頭10下面與洗凈單元20間的距離調(diào)整，來調(diào)整氣流(負壓力)。4)在受液部21中所儲存的洗凈液回收至廢液罐40之后，如果也保持該狀態(tài)，則在所述間隙中流動的空氣作用為使噴墨噴頭10下面干燥。在噴墨噴頭10下面形成有射出液材的射出口，因為可在該下面不會接觸到其它物質(zhì)的情況進行干燥，所以可將所述射出口保持于極潔凈的狀態(tài)。5)將噴墨噴頭10下面充分干燥后，使負壓用電磁閥34a、34b動作而位于封閉位置，停止洗凈單元20對受液部21的負壓供應(yīng)。6)然后，使供應(yīng)閥33產(chǎn)生動作，而將噴墨噴頭10與液材供應(yīng)瓶12相連通，將液材流路整合成可將液材供應(yīng)于噴墨噴頭10的狀態(tài)。[iv]效果根據(jù)如所述所說明的第一技術(shù)思想，因為利用洗凈液施行清洗，所以不會產(chǎn)生磨損粉塵。另外，因為是利用負壓的作用來將洗凈液噴射的原理，所以如果噴墨噴頭未密接 洗凈單元則不供應(yīng)洗凈液。所以，即使萬一噴墨噴頭與洗凈單元相離開，仍可因為真空破壞而停止洗凈液的供應(yīng)，可防止將洗凈液噴出于洗凈單元外的情況發(fā)生。另外，因為干燥作業(yè)也是利用負壓作用實施，因此可防止洗凈單元的外部遭受洗凈液的污染。(2)噴嘴檢查方法及機構(gòu)[i]課題現(xiàn)有的噴墨涂布裝置由于屬于噴墨方式，所以因噴嘴故障、噴嘴朝向、噴嘴被液材阻塞等原因，導(dǎo)致發(fā)生有無法對必要處適當?shù)赝坎急匾恳旱蔚膯栴}。另外，如專利文獻6所揭示，在檢查用薄膜上滴下液材而實施的檢查方法中，因為經(jīng)滴落后，在到達影像辨識照相機為止，液滴的形狀已崩散，所以即使對液滴形狀施行影像辨識，仍無法精度佳地施行檢查。[ii]主旨第二技術(shù)思想如專利文獻6所揭示，屬于通過將液材滴下于檢查用構(gòu)件(受滴物)而執(zhí)行噴嘴檢查。不同于專利文獻6之處在于并非著眼于所涂布的液材(液滴)，而是受滴物中有液材涂布的部分與其它部分的對比。較佳方式的本發(fā)明為，受滴物由具溶解性材質(zhì)的檢查用薄膜構(gòu)成。由此，即使對視覺識別性差的透明液材，該液材所滴落處仍會溶解，使檢查用薄膜產(chǎn)生渾濁(透明度改變、或呈不透明)。所以，滴落處的視覺識別性高，可輕易地檢測出所滴落之處。特別是使用高透明度液體材料時的效果更為顯著。液材滴落的受滴物對應(yīng)射出的液材來適當選擇，重點在于液材滴落部分的反射率會改變。如果受滴物的滴落處被溶解，則會因漫反射等而改變反射率，因此可利用影像處理來高精度地擷取滴落處。可以是由滴落改變反射率的受滴物與液材的組合，也可以是液材滲入受滴物中的方式。液材滲入受滴物中的方式，特別有效的是，不以溶劑作為主成分的液體材料，例如以水為溶劑的液體材料。優(yōu)選為，受滴物在液材滴落的瞬間便迅速溶解(或滲透)。理由是如果滴落于受滴物上面的液材的保持時間較長，滴落痕跡直徑會擴大。較佳為，不使用溶解時擴散的材質(zhì)，而使用以貫穿下方的方式溶入(或滲透)材質(zhì)的受滴物。例如以甲苯為溶劑的液體材料，較佳為使用聚苯乙烯系薄膜。較佳為，受滴物厚度設(shè)定為不會因液材的滴落而溶解達受滴物背面。較佳為受滴物為透明，但未必一定要透明，也可著色。重點在于滴落部分與非滴落部分的識別性佳。受滴物當然是由單一材料構(gòu)成，但也包括表面經(jīng)涂布、多個薄膜形成層狀的情況。對受滴物滴落的液材識別，可使用諸如CCD照相機等攝像裝置、激光傳感器等感測裝置。影像處理為，例如對包含滴落處的攝像視野影像，施行邊緣擷取或二值化，由此來擷取滴落處。[iii]實施順序?qū)娮斓臋z查步驟，以圖7的(a)所示構(gòu)造的順序例進行說明。I)使卷取用輥82旋轉(zhuǎn)，使新的檢查用薄膜72位于噴墨噴頭10下方。此處，位于噴墨噴頭10下方的檢查用薄膜72是由板73定位，正確地保持與噴墨噴頭10間的距離。2)從噴墨噴頭10中吐出正式液體71，并滴落于檢查用薄膜72上面。由滴落使檢查用薄膜72溶解，而留下滴落的痕跡。3)再使卷取用輥82旋轉(zhuǎn)，而使檢查用薄膜72的滴落位置位于攝像裝置74上方。
4)利用攝像裝置74拍攝檢查用薄膜72。另外，攝像裝置74的拍攝，可使檢查用薄膜72停止之后再實施，也可在使檢查用薄膜72移動的狀態(tài)下實施。5)根據(jù)由攝像裝置74所取得的影像數(shù)據(jù)，檢查噴墨噴頭10的狀態(tài)。從滴落痕的“脫落”及“直徑”便可檢查堵塞事項，而從滴落位置的偏離便可檢查飛散不良情況。(3)涂布控制方法[i]課題課題為通過防止噴墨噴頭的噴嘴發(fā)生堵塞等不良情況，來實現(xiàn)穩(wěn)定油墨吐出動作，而具有所需精度。液材吐出動作停止時，噴墨噴頭的射出口附近的流路干燥，因液材的增黏化、從液材中固體成分的析出而發(fā)生堵塞、吐出液材的飛行彎曲情況，導(dǎo)致有無法進行穩(wěn)定吐出動作的問題。另外，如果液材的吐出穩(wěn)定性惡化，有無法制造出要求所需精度產(chǎn)品的問題，在量產(chǎn)過程中，從對一工件進行的吐出作業(yè)起至對下一個工件施行吐出作業(yè)為止，必須施行工件搬出、下一工件的搬入/定位、對準處理等處理。在此期間，噴墨噴頭不進行吐出作業(yè)而必須等待，但卻因等待而導(dǎo)致在噴墨噴頭中所填充的液材容易發(fā)生干燥現(xiàn)象的問題。[ii]主旨第三技術(shù)思想的特征在于經(jīng)吐出作業(yè)后，將在噴墨噴頭內(nèi)的流路中所填充的吐出用液材，替換為低揮發(fā)性液材(替換材料)，并在正要開始吐出作業(yè)之前，將替換材料再次替換為吐出用液材。此處，替換材料較佳為對液材具溶解作用的液體、或具洗凈作用的液體。較佳為，在將替換材料填充于噴墨噴頭內(nèi)的流路之后，追加對形成射出液材的射出口的噴墨噴頭下面施行洗凈的洗凈步驟。經(jīng)過所述替換材料填充與洗凈步驟的噴墨噴頭，不會有液材殘留，即便在吐出作業(yè)等待中，仍無液材增黏化、從液材中析出固體成分的顧慮。所以，可徹底地排除所述問題的發(fā)生。根據(jù)本技術(shù)思想，即使因意外的故障等因素導(dǎo)致長時間處于吐出作業(yè)等待時間，仍不致發(fā)生固體成分的析出/固化、噴嘴堵塞情形。還有，因為液材在正要進行吐出作業(yè)之前被填充于噴墨噴頭內(nèi)，因此能夠?qū)⑿迈r液材使用于工件上。[iii]實施順序涂布作業(yè)以如下順序?qū)嵤Ｊ紫?，將在噴墨噴頭下面所裝接的噴頭蓋單元脫離。噴頭蓋單元為可使形成于噴墨噴頭下面的射出口保持潔凈，并防止在與所述射出口相連通的噴墨噴頭內(nèi)的流路中所填充的流體(替換材料)發(fā)生不必要蒸發(fā)，而在涂布作業(yè)等待時進行裝接。在噴頭蓋單元脫離后，便在噴墨噴頭內(nèi)填充射出的液材。該液材填充前的噴墨噴頭內(nèi)的流路，填充有稱為替換材料的不同于液材的流體物。替換材料如前所說明，較佳為具有將液材溶解的作用。這樣，液材填充作業(yè)以吸取/沖洗單元將噴墨噴頭的所述射出口 覆蓋,并施加負壓而抽吸噴墨噴頭內(nèi)的替換材料并排出后,再同樣地利用抽吸動作進行油墨填充。S卩，所實施的噴墨噴頭的維護方法，是以單元構(gòu)件將噴墨噴頭所具有的噴嘴覆蓋，并產(chǎn)生負壓而抽吸液體的維護方法；其中設(shè)有將單元構(gòu)件與負壓產(chǎn)生機構(gòu)相連通的廢液罐；與噴墨噴頭連通的低黏性液體儲存部；與噴墨噴頭連通的油墨儲存部；以及使噴墨噴頭擇一地與低黏性液體儲存部或油墨儲存部相連通的液體切換機構(gòu)；使低黏性液體儲存部與噴墨噴頭相連通，并使單元構(gòu)件產(chǎn)生負壓，并在噴墨噴頭中填充低黏性液體，后續(xù)使油墨儲存部與噴墨噴頭相連通，并在噴墨噴頭中填充油墨。在噴墨噴頭中填充射出液材之后，將液材射出于工件之外的其它既定位置處，并確認是否有確實射出(虛擬噴射動作)。特別是當噴墨噴頭設(shè)有多個射出口的情況，必須確認是否從所有的射出口射出液材。在該確認作業(yè)中，在沒有從所有射出口射出液材的情況下，則將在噴墨噴頭中所填充的液材全部排出，并再度填充。以將替換材料替換為液材的方法來實施。經(jīng)再填充后，再度施行虛擬噴射動作，并確認是否從所有的射出口射出液材。如果確認已從所有射出口射出液材，則使噴墨噴頭與載置有工件的平臺進行相對移動，并將噴墨噴頭配置于工件上的涂布位置處，實施涂布作業(yè)。如果既定涂布作業(yè)完成，工件則被排出于通稱卸載機的工件收納裝置中。在執(zhí)行該工件排出的期間，針對噴墨噴頭依照所述要領(lǐng)，將在噴墨內(nèi)的流路中所填充的液材排出，并施行填充替換材料的作業(yè)。通過該項作業(yè),噴墨噴頭的流路內(nèi)的液材被替換為替換材料。當替換材料具有將液材溶解作用的情況，即使如果在流路內(nèi)還稍微殘留液材，也會由于溶解于該填充的替換材料，所以在噴墨噴頭的流路內(nèi)不會發(fā)生液材固化。替換材料的填充，將噴墨噴頭內(nèi)的流路施行靜態(tài)溶解洗凈。替換材料填充作業(yè)完成后，將噴墨噴頭下面施行清洗。較佳為，清洗利用在所述第一技術(shù)思想中所說明的使用洗凈液的手法實施。如果已完成至噴嘴清洗，則噴墨噴頭內(nèi)部外部均被洗凈，而成為無液材附著的潔凈狀態(tài)。待清洗已完成后，在噴嘴單元下面裝接噴頭蓋單元，從而防止替換材料的揮發(fā)。對每個工件重復(fù)實施以上的步驟。⑷成膜方法
[i]課題現(xiàn)有使用噴墨的成膜法有下述兩個問題。其一是高度方向(膜厚)的問題，另一是水平方向的問題。前者是無法解決成膜面的端部周邊出現(xiàn)壟起的咖啡潰現(xiàn)象(coffeestain phenomenon)，導(dǎo)致無法成膜為均勻膜厚的問題。后者是在成膜面的端部(邊緣)發(fā)生滲散情形，導(dǎo)致無法形成清晰邊緣線的問題。專利文獻4中揭示有為解決液滴間相連而形成一體導(dǎo)致配向膜膜厚形成不均勻的問題，使襯底呈既定角度傾斜，但是還沒有徹底解決膜厚不均勻的問題。另外，咖啡潰現(xiàn)象是在低黏度的溶液出現(xiàn)的現(xiàn)象，成為液晶顯示組件的配向膜致命問題。配向膜的情況下，因為主成分即聚酰亞胺較不易溶解，所以大量 使用溶解材料的Y-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯啶酮或丁基賽珞蘇等，并以低黏度施行噴射涂布，因而將容易發(fā)生咖啡潰現(xiàn)象。
[ii]主旨發(fā)明者發(fā)現(xiàn)如果以不會發(fā)生液體流動的方式施行涂布，則可進行整體均勻膜厚的成膜；以及發(fā)現(xiàn)如果從噴墨噴頭吐出并滴落于工件表面上的多個液滴間相結(jié)合，邊緣線將出現(xiàn)滲漏情形，由此創(chuàng)作出第四技術(shù)思想。第四技術(shù)思想的特征在于利用噴墨噴頭的第一射出動作射出于工件上之后，當對經(jīng)該射出所滴落的液材液滴的接觸位置或重疊位置進行射出時，等待直到工件上的液滴呈不流動程度的干燥狀態(tài)(包括物質(zhì)停止移動的半干燥狀態(tài)在內(nèi))，然后才施行射出。如此，如果在利用第一射出動作朝工件上所射出的第一液滴的干燥后，在第二射出動作以后的也朝第一液滴的接觸位置或重疊位置射出時，第二射出動作以后的液滴在工件上仍不會出現(xiàn)流體性結(jié)合情形。即，因為由第一射出動作所射出的液滴(第一液滴)呈干燥狀態(tài)，所以不會出現(xiàn)因第二射出動作以后所射出液滴(第二液滴)的接觸，而發(fā)生所謂液滴間結(jié)合而形成為一液滴現(xiàn)象的流體結(jié)合情形。另一方面，當如現(xiàn)有在第一液滴與第二液滴出現(xiàn)流體性結(jié)合的情況下，因為更明顯地出現(xiàn)咖啡潰現(xiàn)象，因而相比于中央處的膜厚，膜邊緣部的膜厚增厚。即，相比于結(jié)合前的一液滴中央處膜厚、與邊緣處膜厚間的厚度差，由液滴間相結(jié)合而形成的液滴中央處膜厚與邊緣處膜厚間的厚度差變?yōu)楦?。但是，當液滴間相結(jié)合并形成單一液滴的情況，因為因液材的流動而形成高度均勻化，因而經(jīng)結(jié)合后，不可能視覺識別該接觸區(qū)域或重疊區(qū)域。針對此點，本技術(shù)思想中，因為在每一次射出動作時均干燥且形成膜，所以相比于現(xiàn)有產(chǎn)生流體結(jié)合的手法，面的整體厚度差可縮小。圖12是膜形成中現(xiàn)有射出方法與本發(fā)明方法的比較圖。圖12中，上圖(a)表示朝工件上射出的液材相結(jié)合而呈一樣的現(xiàn)有方法，下圖(b)表示在工件上由第一射出所射出第一液滴群的各液滴，與相鄰接的其它液滴離開而配置，然后再以埋藏各液滴間隙的方式射出的具體的膜形成方法例。下圖(b)中，施行相對第一液滴群的射出位置朝右側(cè)射出的第二射出、相對第一液滴群的射出位置朝下側(cè)射出的第三射出、相對第一液滴群的射出位置朝右斜下側(cè)射出的第四射出。此處，在第二射出、第三射出、第四射出以后的射出中，當然也是分別在干燥至由前一步驟射出所形成液滴的流動受抑制的程度的狀態(tài)之后，才施行下一步驟的射出。而且，本技術(shù)思想當然并不僅局限于圖12所例示的射出位置順序。只要是利用多次射出步驟(噴射步驟)，在工件整面上施行均勻涂布的具規(guī)則性射出位置即可。由此，射出步驟的次數(shù)也可在三次以下，也可達五次以上。如果增加射出步驟的次數(shù)，并減少每單次射出步驟的涂布量，則可縮小工件表面的凹凸。理由是工件表面的凹凸、與涂布量具有相關(guān)聯(lián)關(guān)系。此外，如果減少涂布量，也有縮短干燥時間的效果。另外，當噴墨單元具有多個射出口的情況，由第一射出動作所射出的多個液滴(第一液滴群)間，在工件上滴落于相離開的位置處，液滴間并未相接觸。此情況下，由第二射出動作所射出的多個液滴(第二液滴群)，在第一液滴群干燥至不會流動程度之后才實施，當然也可獲得同樣的效果。工件上的液滴干燥可為自然干燥，但是通過使載置工件的平臺溫度上升，則可更迅速地加以干燥。使液滴干燥的溫度根據(jù)液材種類、間距、射出量等條件而適當調(diào)整，例如設(shè)定為從實驗環(huán)境溫度(例如15 25°C)至150°C的范圍內(nèi)，較佳為實驗環(huán)境溫度至100°C的范圍內(nèi)， 更佳為實驗環(huán)境溫度至50°C的范圍內(nèi)。另外，關(guān)于使液滴干燥至不會流動程度的干燥時間，也是根據(jù)平臺溫度、液材種類、間距、射出量等條件而適當調(diào)整，例如最好設(shè)定為從滴落起2(T100秒左右。如以上所說明的本發(fā)明成膜方法，相比于現(xiàn)有成膜方法，因為可減少邊緣部的滲出量，所以可適用于諸如液晶顯示組件的配向膜形成等各種用途。本發(fā)明的成膜方法也適用于如圖13所示在襯底上形成細微布線圖案。即，現(xiàn)有的成膜方法因為滲出量較多，恐將導(dǎo)致布線間出現(xiàn)相連接情況，所以將無法高密度形成細微圖案，但是依照本發(fā)明的成膜方法，則能高密度的形成細微布線。理由是本發(fā)明的成膜方法可大幅減少橫向(水平方向)的擴散量(后述實施例3中，擴散量為現(xiàn)有成膜方法的約1/10)。本發(fā)明成膜方法特別適用于膜厚為數(shù)nnT數(shù)十y m的薄膜形成。另外，本發(fā)明的成膜方法也可輕易地控制膜厚?，F(xiàn)有的成膜方法中，經(jīng)滴落后的液材與下一次射出的液材相結(jié)合，而形成一樣的液滴，并朝橫向(水平方向)擴散，所以較難控制膜厚。就此點而言，本發(fā)明的成膜方法是對經(jīng)滴落后呈不流動狀態(tài)的液材，射出下一液材并堆疊，由此增加膜厚，因此通過控制堆疊次數(shù)便可輕易地控制膜厚。以下，針對本發(fā)明的詳細內(nèi)容利用實施例進行說明，但是本發(fā)明并不受實施例的任何限制。[實施例I]本實施例的清洗機構(gòu)具備有洗凈部2，該洗凈部2具有對噴墨噴頭I噴射出洗凈液12的功能、及噴射出空氣的功能。圖Ia是表示具備本實施例清洗機構(gòu)的裝置的整體概略俯視圖，圖Ib是表示該裝置的整體概略側(cè)視圖。本實施例的裝置是，使噴墨噴頭10、與位于其下方的工件平臺14進行相對移動的同時施行涂布的噴墨涂布裝置。噴墨噴頭10經(jīng)由Z軸移動機構(gòu)123與H 0軸轉(zhuǎn)動機構(gòu)125而安裝于橫梁110。工件平臺14是真空吸附式工件平臺。在工件平臺14也可附加溫調(diào)操控器。噴墨噴頭10與工件平臺14的相對移動、以及噴墨噴頭10的清洗等動作控制，可由在涂布裝置旁邊所設(shè)置的操作桌16上的個人計算機(PC) 15執(zhí)行。
圖2是表示本實施例清洗機構(gòu)一形態(tài)的概要說明圖。圖2中，組件符號42是來自CDA (潔凈干燥空氣)的壓縮空氣，組件符號43是CDA吸入口開閉球閥，組件符號44是排氣空氣開閉球閥，組件符號45是排氣過濾器(操控器)。圖3是表示本實施例清洗機構(gòu)另一形態(tài)的概要構(gòu)造圖。洗凈單元20是用以在噴墨噴頭10洗凈時，防止洗凈液飛散于周邊用的零件。洗凈單元20是構(gòu)成將噴墨噴頭10的噴嘴面及其周邊從下方覆蓋的開口箱型等形狀。洗凈單元20，由于必須使用考慮到洗凈液等耐藥性的材質(zhì)，因而使用例如不銹鋼、鐵氟龍(注冊商標)等構(gòu)成。洗凈液用于將在噴墨噴頭10的噴嘴面與其周邊所附著的油墨完全沖洗掉，因而使用具備將油墨溶解的因子的無色溶劑(使油墨溶解的主成分的溶劑)。
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圖4a是表示洗凈單元20的構(gòu)造俯視圖，圖4b是表示洗凈單元20的概略構(gòu)造側(cè)·面剖視圖。洗凈單元20，在抵接于噴墨噴頭10的清洗唇23中央處設(shè)置開口 28，并在長邊的緣部將多個洗凈液供應(yīng)口 25與多個洗凈液回收口 26相對向設(shè)置。圖5的(a)是清洗時的說明圖。如該圖所示，洗凈單元20抵接于噴墨噴頭10，洗凈液從洗凈液供應(yīng)口 25朝噴墨噴頭10下面的外周端附近噴射，并從洗凈液回收口 26及受液部21進行回收，由此施行清洗。圖5的(b)是干燥時的說明圖。如該圖所示，待清洗結(jié)束后，使噴墨噴頭10與洗凈單元20稍微(例如3mm)離開,利用在這些間隙中流動的大氣,將在噴墨噴頭10上所附著的洗凈液吹飛，而使噴墨噴頭10及洗凈單元20干燥。洗凈單元20設(shè)有底部抽吸口 24，而所抽吸的廢液儲存于廢液罐40中。以上所概略說明的本實施例噴墨噴頭10的洗凈步驟及干燥步驟的流程圖，如圖6所示。但是，當使洗凈單元20內(nèi)產(chǎn)生負壓情況時，噴墨噴頭10下面(噴頭面)與洗凈單元20間的密接性就很重要。此處，當洗凈單元20對噴頭面的傾斜較大，則有產(chǎn)生間隙的問題。因此，本實施例中，通過可追蹤噴頭面傾斜的構(gòu)造，能夠確保洗凈單元20的密接性與密封性。即，通過將支撐洗凈單元20的支撐構(gòu)件以軟化彈性體構(gòu)成，就具有可追蹤噴頭面傾斜的自由度，可維持密封性。另外，洗凈單元20設(shè)有使其抵接或不抵接于噴墨噴頭10的開閉機構(gòu)。開閉機構(gòu)可采用一般使用作為升降用的諸如手動式、滾珠螺桿式、線性式等移動平臺而構(gòu)成，例如公知的移動平臺制造商有駿河精機公司制、THK公司制。(噴嘴檢查機構(gòu))本實施例的噴嘴檢查機構(gòu)如圖7所示構(gòu)成。首先，使噴墨噴頭10朝配置檢查用薄膜的檢查區(qū)域移動。在檢查區(qū)域中，對噴墨噴頭10所具有的各噴墨噴嘴狀態(tài)進行檢查。在檢查區(qū)域中，設(shè)置有以橫切噴墨噴頭10下方的方式進行移動的透明檢查用薄膜72。檢查用薄膜72是對正式液體71具溶解性的薄膜。檢查用薄膜72是由饋送用輥卷取呈卷筒狀，通過卷取用輥的卷取，能夠經(jīng)常將新的檢查用薄膜72用于檢查。來自噴墨噴頭10的滴落液滴由攝像裝置74進行攝像。攝像裝置74可由一般現(xiàn)有的CCD照相機等構(gòu)成。圖7的(a)表示攝像裝置由兩臺影像辨識照相機(區(qū)域傳感器)構(gòu)成的方式，圖7的(b)表示攝像裝置74由線傳感器構(gòu)成的方式。圖7的(b)中，通過合并使用反射照明75與穿透照明76來提高辨識性。不管選擇何種方式均屬于設(shè)計事項，根據(jù)檢查用薄膜72的寬度、檢測精度等要素來決定。檢查用薄膜72中，在沒有正式液體71的滴落的情況、或滴落位置發(fā)生偏離既定位置的情況下，噴嘴檢查機構(gòu)則視為出現(xiàn)噴嘴堵塞等故障，并顯示出錯誤信息。圖9是表示噴墨噴頭10的動作說明的簡略化概念構(gòu)造圖。如圖9所示，噴墨噴頭10經(jīng)由液材切換單元105，能夠選擇性地連通正式液體(射出的液材)與洗凈液。在工件平臺側(cè)面內(nèi)側(cè)配置三個單元。所配置的三個單元，在圖9中從左側(cè)朝右側(cè)依序?qū)娔珖婎^流路內(nèi)的液材替換為替換材料、或是產(chǎn)生用以將替換材料替換為液材用負壓的吸取/沖洗單元102、將噴嘴下面施行洗凈的洗凈單元20、將噴嘴下面進行封蓋的噴頭蓋單元103。 圖10是圖9構(gòu)造的噴墨噴頭10的前處理動作說明圖。針對圖10所示六個分圖進行說明。而且，切換單元105中，實線表示連通狀態(tài)，虛線表示阻斷狀態(tài)。[10-1]表示在噴墨噴頭10下面安裝噴頭蓋單元103，且利用切換單元與洗凈液相連通狀態(tài)的圖。屬于涂布作業(yè)等待時的狀態(tài)。[10-2]表示為進行涂布作業(yè)，而從噴墨噴頭10將噴頭蓋單元103脫離的狀態(tài)的圖。切換單元105位于將噴墨噴頭10與洗凈液相連通的位置。[10-3]表示噴墨噴頭10安置于吸取/沖洗單元102的狀態(tài)的圖。[10-4]將噴墨噴頭10安置于吸取/沖洗單元102之后，利用切換單元105切換成液材與噴墨噴頭10相連通的位置。然后，通過對吸取/沖洗單元102作用負壓，而進行噴墨噴頭10內(nèi)的液體替換動作(填充動作)。[10-5]表示將液材填充于噴墨噴頭10流路內(nèi)之后，在吸取/沖洗單元102上施行虛擬噴射動作的圖。該虛擬噴射并非利用諸如攝像裝置或感測裝置，確認是否有從噴墨噴頭10確實射出液材的作業(yè)，而是在將噴墨噴頭10流路內(nèi)的液材進行正式射出作業(yè)前所施行的預(yù)備流動作業(yè)。當施行用以進行噴嘴檢查的確認作業(yè)時，較佳為事先施行預(yù)備流動作業(yè)。當然，通過確認作業(yè)中的射出，也可兼具預(yù)備流動作業(yè)。[10-6]表示在使噴墨噴頭10進行移動的情況下，施行涂布作業(yè)的狀態(tài)的圖。圖11是圖9構(gòu)造的噴墨噴頭10的后處理動作說明圖。針對圖11所示的六個分圖進行說明。[11-1]表示待涂布作業(yè)結(jié)束后噴墨噴頭10移動至吸取/沖洗單元102上的狀態(tài)的圖。[11-2]表示將噴墨噴頭10安置于吸取/沖洗單元102，液材切換單元105切換成噴墨噴頭10與洗凈液相連通位置的狀態(tài)的圖。[11-3]表示待噴墨噴頭10內(nèi)的液體替換作業(yè)結(jié)束，噴墨噴頭10脫離吸取/沖洗單元102的狀態(tài)的圖。[11-4]表示將噴墨噴頭10安置于洗凈單元20，并施行洗凈作業(yè)的圖。液材切換單元105保持于將噴墨噴頭10與洗凈液相連通的位置處。[11-5]表示在洗凈步驟后，噴墨噴頭10移至噴頭蓋單元103上的圖。
[11-6]表示在噴墨噴頭10下面裝接有噴頭蓋單元103的圖。通過噴頭蓋單元103的裝接，射出口保持潔凈，且可防止在噴墨噴頭10內(nèi)的流路中所填充的替換材料發(fā)生不必要的蒸發(fā)。[實施例2]圖14表示本實施例噴墨涂布裝置的維護機構(gòu)構(gòu)造圖。噴墨噴頭10，具有多個噴嘴6，將由連通構(gòu)件9連通的第一罐12中所儲存的油墨2吐出來施行打印等。噴墨噴頭10的維護是將噴嘴6利用吸取/沖洗單元102覆蓋，并使吸取/沖洗單元102內(nèi)產(chǎn)生負壓，并將所抽吸的油墨等，排放于由連通構(gòu)件9來與吸取/沖洗單元102連通的廢液罐40中。吸取/沖洗單元102與噴墨噴頭10間的抵接，由開閉機 構(gòu)7自動地實施。開閉機構(gòu)7可以是使噴墨噴頭10進行相對移動，也可以是使吸取/沖洗單元102進行相對移動。另外，依照產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，也可構(gòu)成以手動進行吸取/沖洗單元102開閉。本實施例的維護機構(gòu)在所述現(xiàn)有構(gòu)造追加，利用連通構(gòu)件9來與噴墨噴頭10而相連通的第二罐13、以及擇一地切換噴墨噴頭10與第一罐12或第二罐13間的連通的液體切換單元105。在第二罐13中儲存有在開始維護時最先流入的低黏性液體的洗凈液3。本實施例中，洗凈液3使用將油墨2溶解的溶劑。由此，即使油墨2在流路內(nèi)出現(xiàn)凝固的情況也可溶解。另外，如圖15所示，本實施例的吸取/沖洗單元102構(gòu)成具有可追蹤噴頭面傾斜的自由度。抵接于噴頭面的抵接構(gòu)件21，是由硬化彈性體的蕭氏A硬度4(T80度(較佳為5(T70度)(JIS K6253規(guī)格)的橡膠構(gòu)成，利用黏接或螺固等方式裝接于框架62上面?？蚣?2是由以黏接或螺固等方式固接且以軟化彈性構(gòu)件(例如橡膠或彈簧)構(gòu)成的支撐構(gòu)件63支撐。支撐構(gòu)件63為了可追蹤噴墨噴頭I的噴嘴面安裝誤差(三維的傾斜)，也可穿透深度達40 80 (較佳50 70度)。支撐構(gòu)件63固接于板狀安裝構(gòu)件64。在框架62的底面部配設(shè)可將至少一個以上的抽吸用貫穿孔即底部抽吸口 24、與連通構(gòu)件9相連接的接頭66。根據(jù)所述所構(gòu)成的本實施例吸取/沖洗單元102，可在不受噴嘴面傾斜影響下，確保完全的密接性與密封性。本實施例的負壓產(chǎn)生機構(gòu)由信號產(chǎn)生裝置8、壓力供應(yīng)泵19、調(diào)節(jié)器38、及噴射器37構(gòu)成，并經(jīng)由廢液罐40連通于吸取/沖洗單元102。另外，負壓產(chǎn)生機構(gòu)中也可附加可吸收空氣聲的消音器。信號產(chǎn)生裝置8能夠設(shè)定并登錄多個圖案時間與電壓信號波形，且從多個登錄的圖案中僅選擇、輸出任一圖案。調(diào)節(jié)器38可對應(yīng)信號產(chǎn)生裝置8的信號波形電壓，進行壓力供應(yīng)。信號產(chǎn)生裝置8也可由例如脈沖產(chǎn)生器、PC等構(gòu)成。噴射器37可對應(yīng)從調(diào)節(jié)器38所供應(yīng)的壓力來產(chǎn)生負壓。調(diào)節(jié)器38與噴射器37可由市售空壓機器構(gòu)成。即使不對由調(diào)節(jié)器38與由噴射器37所產(chǎn)生的負壓進行控制，也可以是在從調(diào)節(jié)器38保持一定壓力的情況下，通過對在噴射器37的廢棄側(cè)所設(shè)置節(jié)流閥的節(jié)流量進行調(diào)整，來進行負壓的控制。
本實施例的負壓產(chǎn)生機構(gòu)，特征在于使吸取/沖洗單元102內(nèi)所產(chǎn)生的負壓緩和地回復(fù)至大氣壓。即，本實施例通過發(fā)出預(yù)設(shè)信號波形的信號產(chǎn)生裝置8，使吸取/沖洗單元102內(nèi)的負壓緩和地產(chǎn)生變化，由此可防止氣泡的再混入。設(shè)定的信號波形在使吸取/沖洗單元102內(nèi)的負壓緩和變化的前提下，可為直線性、也可為曲線性、也可為細微階段性變化的信號波形。曲線性波形有如圖16所示的Sin波形。如圖16的(a)所示，如果將從信號產(chǎn)生裝置8所輸出的信號波形設(shè)為Sin波形，則從調(diào)節(jié)器38所供應(yīng)的壓力如圖1 6的(b)所示變化，而噴射器37的負壓如圖16的(c)所示，可防止對噴墨噴頭10的噴嘴6前端的半月板施加振動。本實施例的涂布控制方法，依照圖8中左圖流程圖所示的順序?qū)嵤?。首先，將液材涂布裝置的電源開啟(開始)，液材涂布裝置執(zhí)行起始化動作(初期動作)。然后，設(shè)定所生產(chǎn)產(chǎn)品(品種)的相關(guān)裝置參數(shù)(數(shù)據(jù)設(shè)定)。該裝置參數(shù)是諸如工件尺寸、涂布區(qū)域、射出條件等。如果這些設(shè)定完成，則完成執(zhí)行生產(chǎn)的準備。接著，將工件從通稱裝載機的工件供應(yīng)裝置中，供應(yīng)于液材涂布裝置的平臺。在平臺上所載置的工件，在定位于平臺上后，確認工件上的涂布位置，并對液材涂布裝置與工件上的涂布位置的相對位置偏差進行校正(對準)。該項校正是實施，對工件位置利用CCD照相機等攝像裝置、及對所拍攝影像施行影像處理。此時，除進行使平臺旋轉(zhuǎn)移動的物理校正夕卜，也進行機器人移動相關(guān)程序的坐標位置校正的程序校正。通過施行至此的處理，就完成了為了對在裝置平臺上已定位的工件上的既定涂布位置正確地施行涂布的準備。如果以上的校正處理結(jié)束，則開始進行涂布作業(yè)。[實施例3]本實施例的成膜方法是，經(jīng)干燥至所滴落的液滴不流動程度之后，才射出下一個液滴，并通過滴落而形成膜的噴墨涂布方法。液材使用聚酰亞胺溶液，襯底使用玻璃襯底。聚酰亞胺溶液用以形成半導(dǎo)體絕緣層、液晶面板絕緣膜。玻璃襯底為了干燥所滴落液材至不會流動程度，而載置于可進行溫度調(diào)整的平臺上。[比較例]利用現(xiàn)有噴墨涂布方法，對25mm角的涂布區(qū)域，以30pl/滴、70微米間距施行涂布后，出現(xiàn)下述狀況。(A)橫向(水平方向)相對于規(guī)定的涂布區(qū)域，外圍擴散0. 5^1. Omm程度。(B)縱向(高度方向)涂布區(qū)域中央部為8(T85nm，邊緣部則為IOOOnm左右的高度。[實施例3]由本實施例的噴墨涂布方法，同樣地對25mm方塊的涂布區(qū)域，以8pl/滴、四次噴射、70微米間距施行涂布后，出現(xiàn)如下述狀況。(A)橫向(水平方向)相對于規(guī)定的涂布區(qū)域，外圍擴散0. 05^0. Imm程度。(B)縱向(高度方向)涂布區(qū)域中央部為80nnTl00nm，邊緣部則為80nnTl00nm左
右的高度。如上所述，可確認到本實施例的成膜方法相比于比較例所示現(xiàn)有成膜方法，實現(xiàn)有益的效果。更具體而言，可確認到本實施例的方法可實現(xiàn)減少在膜上所形成的凹凸，減少膜整面的高低差，還實現(xiàn)邊緣部滲出量也減少的效果。
(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明并不僅局限于噴墨打印機，還可適用于精密噴霧/注入裝置(包括涂布裝置在內(nèi))、精密涂布裝置等各種噴墨記錄。也可適用于噴墨式圖案化，例如有機EL顯示面板、大型彩色面板的印刷、工業(yè)用標記圖等用途的涂布裝置/描繪裝置/印刷裝置。關(guān)于噴墨記錄方法也是不論壓電式 等機械轉(zhuǎn)換方式、或電阻熱噴射式等氣泡產(chǎn)生方式均可適用。另外，也可利用于透鏡制造業(yè)界的透鏡著色步驟、或大型印刷產(chǎn)業(yè)的海報與建材裝飾方面。
權(quán)利要求
1.一種噴墨制膜方法，通過多個噴射步驟施行制膜；其特征在于，在第二噴射動作以后，在向與通過在前噴射動作所滴落的液滴接觸位置或重疊位置噴射液滴時，是在等待工件上的液滴達到不流動程度的干燥狀態(tài)之后才進行噴射。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的噴墨制膜方法，其特征在于，在第一噴射動作中，被噴射的液滴群的各液滴被分離配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴墨制膜方法，其特征在于，通過使載置工件的平臺溫度上升，來縮短工件上的液滴的干燥時間。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴墨制膜方法，其特征在于，通過具有多個射出口的噴墨噴頭來進行制膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴墨制膜方法，其特征在于，增加噴射步驟的次數(shù)，并減少每一次的噴射量。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴墨制膜方法，其特征在于，由膜形成布線圖案。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種噴墨制膜方法，通過多個噴射步驟施行制膜；其中在第二噴射動作以后，在向與通過在前噴射動作所滴落的液滴接觸位置或重疊位置噴射液滴時，是在等待工件上的液滴達到不流動程度的干燥狀態(tài)之后才進行噴射。
文檔編號B41J2/01GK102717596SQ201210186
公開日2012年10月10日 申請日期2008年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月21日
發(fā)明者生島和正 申請人:武藏工業(yè)株式會社