專利名稱：絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)和用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)以及一種用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法，該絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)對所謂的空穴基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，空穴基板具有設(shè)置在基板本體的上表面上的電極和設(shè)置在形成于基板本體的上表面中的各開口的底表面上的電極。
背景技術(shù)：
在要安裝有電子元件的基板中，到目前為止已經(jīng)知道一種所謂的空穴基板，這種空穴基板具有設(shè)置在形成于基板本體的上表面中的各開口(空穴)的底表面上的電極和設(shè)置在基板本體的上表面上的電極。由于空穴基板能夠使電子元件進(jìn)行三維布置，因此空穴基板可以構(gòu)成緊湊的高密度基板。關(guān)于這種空穴基板，為了使設(shè)置在各空穴的底表面上的電極(即，空穴區(qū)域電極) 和設(shè)置在基板本體的上表面上的電極(即，平區(qū)域電極)印刷有膏劑(如焊料)，已經(jīng)使用一種通過將第一絲網(wǎng)印刷機(jī)聯(lián)接到第二絲網(wǎng)印刷機(jī)而構(gòu)建的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)。具體地，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)使用具有圖案孔的掩模對基板執(zhí)行絲網(wǎng)印刷，所述圖案孔設(shè)置在要嵌合到各空穴的向下突出的凸出部上，并對應(yīng)于各空穴區(qū)域電極。第二絲網(wǎng)印刷機(jī)使用具有對應(yīng)于各平區(qū)域電極的圖案孔的掩模對基板執(zhí)行絲網(wǎng)印刷。到目前為止，已經(jīng)知道這種絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)中的一些具有為各絲網(wǎng)印刷機(jī)設(shè)置的清潔單元(參見例如專利文獻(xiàn)1)。在基板已經(jīng)完成正在進(jìn)行的絲網(wǎng)印刷之后，相對于掩模相對地致動(dòng)清潔單元，從而為將要對下一要裝載的基板執(zhí)行的絲網(wǎng)印刷做準(zhǔn)備。清潔單元使掩模接觸區(qū)域與掩模的下表面接觸，從而清潔粘附到掩模的下表面的膏劑，其中掩模接觸區(qū)域通過使紙構(gòu)件在清潔單元的上端展開而形成。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 JP-A-2004-66832

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題然而，當(dāng)清潔單元清潔具有嵌合到各空穴的凸出部的掩模的下表面時(shí)，紙構(gòu)件與各凸出部的下表面順序接觸。當(dāng)紙構(gòu)件在已經(jīng)從一個(gè)凸出部的下表面去除膏劑之后與下一個(gè)要清潔的凸出部接觸時(shí)，從前面的凸出部去除的膏劑有時(shí)會(huì)擦到下一個(gè)凸出部上，這使得掩模清潔不充分，從而使絲網(wǎng)印刷的精度變差。因此，本發(fā)明旨在提供一種絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)和一種用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法，能夠充分地清潔用于對空穴基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的掩模。解決問題的手段本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)是通過將第一絲網(wǎng)印刷機(jī)聯(lián)接到第二絲網(wǎng)印刷機(jī)而構(gòu)建出的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)，其中，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)對具有設(shè)置在形成于基板本體的上表面的部分中的多個(gè)空穴的各底表面上的多個(gè)第一電極和設(shè)置在基板本體的上表面上的多個(gè)第二電極的基板進(jìn)行定位，并使具有第一圖案孔的第一掩模與基板的上表面接觸，從而對第一電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，第一圖案孔對應(yīng)于各第一電極且形成于將要嵌合到基板本體的各空穴中的多個(gè)向下突出的凸出部中的每個(gè)凸出部中，并且其中，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)對已經(jīng)由第一絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板進(jìn)行定位，并使具有對應(yīng)于各第二電極的第二圖案孔的平板形的第二掩模與基板的上表面接觸，從而對第二電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，該絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)還包括第一清潔單元和第二清潔單元，其中，第一清潔單元相對于第一掩模進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而使通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域與第一掩模的各凸出部的下表面順序地接觸，從而去除附著到第一掩模的各凸出部的各下表面的膏劑，并且其中，第二清潔單元相對于第二掩模進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而使通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域與第二掩模的下表面接觸，從而去除附著到第二掩模的下表面的膏劑，并且第一清潔單元具有紙構(gòu)件卷起單元，在去除附著到第一掩模的其中一個(gè)凸出部的下表面的膏劑之后且在紙構(gòu)件與下一個(gè)要去除膏劑的凸出部接觸之前，該紙構(gòu)件卷起單元卷起紙構(gòu)件，由此更新掩模接觸區(qū)域。本發(fā)明的用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法是用于清潔通過將第一絲網(wǎng)印刷機(jī)聯(lián)接到第二絲網(wǎng)印刷機(jī)而構(gòu)建出的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法，其中，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)對具有設(shè)置在形成于基板本體的上表面的部分中的多個(gè)空穴的各底表面上的多個(gè)第一電極和設(shè)置在基板本體的上表面上的多個(gè)第二電極的基板進(jìn)行定位，并使具有第一圖案孔的第一掩模與基板的上表面接觸，從而對第一電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，第一圖案孔對應(yīng)于各第一電極且形成于將要嵌合到基板本體的各空穴中的多個(gè)向下突出的凸出部中的每個(gè)凸出部中，并且其中，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)對已經(jīng)由第一絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板進(jìn)行定位，并使具有對應(yīng)于各第二電極的第二圖案孔的平板形的第二掩模與基板的上表面接觸，從而對第二電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，該方法包括相對于第一掩模相對地致動(dòng)具有通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域的第一清潔單元、從而使掩模接觸區(qū)域與第一掩模的各凸出部的下表面順序地接觸、由此去除附著到第一掩模的各凸出部的下表面的膏劑的步驟；以及，相對于第二掩模相對地致動(dòng)具有通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域的第二清潔單元、從而使掩模接觸區(qū)域與第二掩模的下表面接觸、由此去除附著到第二掩模的下表面的膏劑的另一步驟，其中，在借助第一清潔單元去除附著到第一掩模的各凸出部的下表面的膏劑的步驟中， 在去除附著到第一掩模的其中一個(gè)凸出部的下表面的膏劑之后且在第一清潔單元的紙構(gòu)件與下一個(gè)要去除膏劑的凸出部接觸之前，卷起紙構(gòu)件，由此更新掩模接觸區(qū)域。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在本發(fā)明中，在已經(jīng)使紙構(gòu)件的掩模接觸區(qū)域與第一掩模的其中一個(gè)凸出部的下表面接觸以去除附著到該下表面的膏劑之后，在紙構(gòu)件接觸下一個(gè)要去除膏劑的凸出部之前卷起紙構(gòu)件，從而更新掩模接觸區(qū)域。當(dāng)紙構(gòu)件在從一個(gè)凸出部去除膏劑之后與下一個(gè)要去除膏劑的凸出部接觸時(shí)，從前一凸出部去除的膏劑不會(huì)擦到后一凸出部上。因此，可以充分地清潔用于對空穴基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的掩模，使得可以提高印刷精度。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的平面圖。圖2是構(gòu)成本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷機(jī)的示意性部分視圖。圖3(a)是作為本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的印刷對象的空穴基板的平面圖， 圖3(b)是其側(cè)橫截面圖。圖4(a)是本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的第一掩模的平面圖，圖4(b)是其側(cè)橫截面圖。圖5(a)是本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的第二掩模的平面圖，圖5(b)是其側(cè)橫截面圖。圖6(a)是設(shè)置在本發(fā)明實(shí)施例的每個(gè)絲網(wǎng)印刷機(jī)中的清潔單元的斜視圖，圖 6(b)是其部分橫截面?zhèn)纫晥D。圖7(a)、(b)、(C)和(d)是本發(fā)明實(shí)施例的第一絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作說明圖。圖8(a)、(b)、(C)和(d)是本發(fā)明實(shí)施例的第二絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作說明圖。圖9(a)、(b)、(C)和(d)是設(shè)置在本發(fā)明實(shí)施例的第一絲網(wǎng)印刷機(jī)中的清潔單元的操作說明圖。圖10是設(shè)置在本發(fā)明實(shí)施例的第二絲網(wǎng)印刷機(jī)中的清潔單元的操作說明圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。在圖1中，本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1通過沿基板3的傳送方向(由圖1所示的箭頭A表示)連結(jié)兩個(gè)絲網(wǎng)印刷機(jī)2而構(gòu)建出。絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1的相對于基板3的傳送方向設(shè)置在上游位置的絲網(wǎng)印刷機(jī)2 (被視為第一絲網(wǎng)印刷機(jī)2a)執(zhí)行從上游位置裝載的基板3的送入和定位，隨后對基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。然后， 基板被送到設(shè)置在下游位置的另一絲網(wǎng)印刷機(jī)2(被視為第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b)。第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b執(zhí)行從第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加送出的基板3的送入和定位，隨后對基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷并將印刷好的基板送到未示出的下游單元(例如，元件裝載機(jī))。為了便于解釋，對應(yīng)于基板3的傳送方向的水平面內(nèi)的方向(即，圖1紙面的水平方向)被視為X軸方向，與X軸方向垂直的水平面內(nèi)的方向(即，圖1紙面的垂直方向)被視為Y軸方向。垂直方向(即，垂直于圖1紙面的方向)被視為Z軸方向。在圖1和2中，構(gòu)成絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1的兩個(gè)絲網(wǎng)印刷機(jī)2 (第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加和第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b)中的每個(gè)具有基板保持部12，該基板保持部12由將基板3定位在基臺 11上的一對傳送帶機(jī)構(gòu)構(gòu)建。除了絲網(wǎng)印刷掩模13以外，膏劑供給頭14、照相機(jī)單元15 和清潔單元16也位于基板保持部12上方的提升位置，從而能夠相對于基臺11移動(dòng)。在圖 1中，基板送入部1 和基板送出部12b沿著基板3的運(yùn)送方向(即，X軸方向)在基臺11 上設(shè)置在基板保持部12之前和之后的位置。基板送入部12a由將從外部裝載的基板3送到基板保持部12的一對傳送帶機(jī)構(gòu)構(gòu)建。由一對傳送帶機(jī)構(gòu)構(gòu)建的基板送出部12b將從基板保持部12接收到的基板3送到外部。在圖3 (a)和(b)中，基板3基本上由基板本體21形成，該基板本體21通過使上層側(cè)基板構(gòu)件21b結(jié)合到下層側(cè)基板構(gòu)件21a的上表面而制成。多個(gè)平區(qū)域電極fd設(shè)置在基板本體21的上表面(即，上層側(cè)基板構(gòu)件21b的上表面)上。此外，多個(gè)空穴區(qū)域電極cd設(shè)置在空穴CV的各底表面(即，下層側(cè)基板構(gòu)件21a的上表面)上，空穴CV是形成在基板本體21的上表面的一部分(即，上層基板構(gòu)件21b的一部分)中的開口。具體地， 基板3是包括形成在基板本體21的上表面的一部分中的多個(gè)空穴CV、設(shè)置在形成于基板本體21的上表面的一部分中的多個(gè)空穴CV的各底表面上的多個(gè)空穴區(qū)域電極cd(第一電極)、以及設(shè)置在基板本體21的上表面上的多個(gè)平電極fd(第二電極)的空穴基板。為第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加設(shè)置的掩模13在形狀上不同于為第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b設(shè)置的掩模13。在圖4(a)、(b)以及圖5(a)、(b)中，設(shè)置在第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加中的掩模13 (下文中視為第一掩模13a)和設(shè)置在第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b中的掩模13 (下文中視為第二掩模 13b)在整體上呈矩形形狀。每個(gè)第一掩模和第二掩模的四個(gè)邊由框架構(gòu)件13w圍繞。在圖4(a)和(b)中，向下突出以分別嵌合到設(shè)置在基板3中的多個(gè)空穴CV的多個(gè)凸出部13t設(shè)置在由第一掩模13a的框架構(gòu)件13w圍繞的區(qū)域內(nèi)。對應(yīng)于設(shè)置在基板3 的各空穴CV的底表面上的多個(gè)空穴區(qū)域電極cd的多個(gè)圖案孔(下文中視為“第一圖案孔 HI”)設(shè)置在各凸出部13t中。在圖5(a)和(b)中，對應(yīng)于設(shè)置在基板3上的多個(gè)平區(qū)域電極fd的多個(gè)圖案孔(下文中視為“第二圖案孔H2”)設(shè)置在由第二掩模13b的框架構(gòu)件 13w圍繞的區(qū)域中。在圖2中，設(shè)置在每個(gè)絲網(wǎng)印刷機(jī)2中的基板保持部12設(shè)置成能夠整體地在水平面方向(XY平面內(nèi)的方向)和垂直方向(ζ軸方向)上移動(dòng)。通過使整個(gè)基板保持部12移動(dòng)，可以使由基板保持部12保持的基板3位于掩模13下方的任意位置。在圖2中，設(shè)置在每個(gè)絲網(wǎng)印刷機(jī)2中的膏劑供給頭14設(shè)置在掩模13上方的提升位置，從而能夠在水平面方向(XY平面內(nèi)的方向)和垂直方向(Z軸方向)上移動(dòng)，沿著 Y軸方向彼此相對的兩個(gè)引導(dǎo)部Ha設(shè)置在膏劑供給頭的下部。每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件14a由在X 軸方向上延伸的刮刀形構(gòu)件構(gòu)成，并引導(dǎo)膏劑Pst的流路，使得供給(或泵送)到比容納在膏劑供給頭14中的膏劑盒14b低的位置的膏劑Pst集中地供給到掩模13上的目標(biāo)區(qū)域。在圖2以及圖6(a)和(b)中，設(shè)置在各絲網(wǎng)印刷機(jī)2中的清潔單元16 (即，設(shè)置在第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加中的第一清潔單元16a和設(shè)置在第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b中的第二清潔單元16b)設(shè)置成能夠整體地在水平面內(nèi)的方向(即，Y軸方向)上移動(dòng)(由圖1所示的箭頭 B表示)。每個(gè)清潔單元16包括噴嘴部41，對應(yīng)于紙構(gòu)件支撐部，具有水平的上端，并呈現(xiàn)矩形的筒狀封閉橫截面輪廓；和紙構(gòu)件42，在Y軸方向上延伸，并展開以沿Y軸方向通過噴嘴部41的上端。在噴嘴部41的上端展開的紙構(gòu)件42的一部分形成掩模接觸區(qū)域R(見圖6(b)和圖1)，該掩模接觸區(qū)域R借助噴嘴部41從下方與掩模13的下表面接觸。在掩模接觸區(qū)域R與第一掩模13a的凸出部13t的各下表面保持接觸的同時(shí)，設(shè)置在第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加中的第一清潔單元16a相對于第一掩模13a進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而去除(擦掉)附著到第一掩模13a的下表面的膏劑I^st。此外，在掩模接觸區(qū)域R與第二掩模1 的下表面保持接觸的同時(shí)，設(shè)置在第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b中的第二清潔單元16b相對于第二掩模1 進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而去除(擦掉)附著到第二掩模13b的下表面的膏劑 Pst0在每個(gè)清潔單元16中，一對輥構(gòu)件43設(shè)置在這樣的位置沿著Y軸方向?qū)娮觳?1 夾在這一對輥構(gòu)件之間。借助這對輥構(gòu)件43的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，紙構(gòu)件42被卷起，由此更新掩模接觸區(qū)域R。
在圖2以及圖6(a)和(b)中，空氣抽吸管道41a垂直地貫穿每個(gè)清潔單元16 (第一清潔單元16a和第二清潔單元16b)的噴嘴部41的內(nèi)部。真空壓力被供給到空氣抽吸管道41a的內(nèi)部，從而空氣可以經(jīng)由紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R被吸入空氣抽吸管道41a中。通過設(shè)置在各絲網(wǎng)印刷機(jī)2中的控制器50(圖幻控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)建的基板傳送機(jī)構(gòu)51 (圖幻的操作，來執(zhí)行用于傳送基板3的操作，其中傳送基板3的操作是基于基板送入部1 的操作、基板保持部12的操作和基板送出部12b的操作。此外，通過設(shè)置在各絲網(wǎng)印刷機(jī)2中的控制器50控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)成的基板定位機(jī)構(gòu)52 (圖 2)的操作，來執(zhí)行基于在水平面方向和垂直方向上致動(dòng)基板保持部12的相對于基板3的掩模13 (第一掩模13a或第二掩模13b)定位基板3的操作。通過控制器50控制由未示出的致動(dòng)器構(gòu)成的膏劑供給頭致動(dòng)機(jī)構(gòu)53 (圖幻的操作，來執(zhí)行基于在水平面方向和垂直方向上致動(dòng)膏劑供給頭14的將膏劑供給頭14定位到掩模13的操作。此外，通過控制器50控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)成的膏劑供給機(jī)構(gòu)M(圖 2)，來執(zhí)行從膏劑供給頭14供給膏劑I^st的操作。在圖2中，照相機(jī)單元15由具有向上取向的成像視野的第一照相機(jī)1 和具有向下取向的成像視野的第二照相機(jī)1 構(gòu)成。通過控制器50控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)成的照相機(jī)致動(dòng)機(jī)構(gòu)陽的操作，來執(zhí)行在水平面的方向上在掩模13下方的位置處致動(dòng)照相機(jī)單元15的操作。而且，控制器50控制第一照相機(jī)1 和第二照相機(jī)15b的成像操作。 借助第一照相機(jī)1 和第二照相機(jī)15b的成像操作獲取的圖像數(shù)據(jù)被輸入到控制器50(圖 2)。通過控制器50控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)成的清潔單元致動(dòng)機(jī)構(gòu)56 (圖幻的操作，來執(zhí)行用于使清潔單元16 (第一清潔單元16a和第二清潔單元16b)相對于掩模13定位并在Y軸方向上致動(dòng)清潔單元16的操作。此外，通過控制器50控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)成的紙構(gòu)件卷起機(jī)構(gòu)57 (圖2)的操作，借助一對輥構(gòu)件43執(zhí)行用于卷取紙構(gòu)件42的操作。此外，通過控制器50控制由未示出的致動(dòng)器等構(gòu)成的抽吸機(jī)構(gòu)58(圖2)的操作，來執(zhí)行基于向空氣抽吸管道41a的內(nèi)部供給真空壓力的用于經(jīng)由紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域 R通過抽吸去除空氣的操作。在絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1對基板3執(zhí)行絲網(wǎng)印刷的操作期間的步驟中，基板3首先被裝載到第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的基板送入部12a中。在借助未示出的檢測器檢測到基板3被裝載到基板送入部1 中時(shí)，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50致動(dòng)基板傳送機(jī)構(gòu)51，從而使基板保持部12從基板送入部1 接收基板3，并保持所接收的基板3 (第一基板保持步驟)。 在已經(jīng)使基板保持部12保持基板3之后，控制器致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而連同基板保持部12 —起致動(dòng)基板3。由此，使基板3相對于第一掩模13定位成使得設(shè)置在第一掩模13a 中的第一圖案孔Hl在垂直方向上與設(shè)置在基板3上的空穴區(qū)域電極cd相對(圖7 (a)，第一定位步驟)。在相對于第一掩模13a定位基板3的操作期間，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50控制照相機(jī)致動(dòng)機(jī)構(gòu)陽的操作，從而在第一掩模13a下方的位置水平地致動(dòng)照相機(jī)單元15。 第一照相機(jī)1 捕獲(識別)設(shè)置在第一掩模13a上的掩模側(cè)定位標(biāo)記(未示出)的圖像。 此外，第二照相機(jī)1 捕獲(識別)設(shè)置在基板3上的基板側(cè)定位標(biāo)記(未示出)的圖像。 基板3被致動(dòng)，使得這些定位標(biāo)記在垂直方向上相一致。
在已經(jīng)完成有關(guān)第一定位步驟的處理之后，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而連同基板保持部12 —起提升基板3 (由圖7(a)所示的箭頭Cl表示)，從而使基板3的上表面與第一掩模13a的下表面接觸。第一掩模13a的凸出部13t在垂直方向上嵌合到基板3的相應(yīng)的空穴CV中。第一掩模13a的第一圖案孔Hl在垂直方向上與基板3的相應(yīng)的空穴電極cd —致(圖7(b)，第一掩模接觸步驟)。在已經(jīng)完成有關(guān)第一掩模接觸步驟的處理之后，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50 使膏劑供給頭14的引導(dǎo)構(gòu)件Ha與第一掩模13a的上表面接觸，隨后將膏劑Pst從膏劑供給頭14供給到第一掩模13a的凸出部13t的各內(nèi)部。從而，第一掩模13a的第一圖案孔Hl 填充有膏劑I^st (圖7 (c)，第一膏劑填充步驟)。在已經(jīng)完成有關(guān)第一膏劑填充步驟的處理之后，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50 致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而使基板3連同基板保持部12 —起下降(由圖7(d)所示的箭頭 C2表示)，并使基板3和第一掩模13a在垂直方向上彼此相對地分離開。從而，膏劑Pst通過掩模而轉(zhuǎn)印，由此膏劑Pst印刷(轉(zhuǎn)印)到基板3的各空穴區(qū)域電極cd上(第一掩模轉(zhuǎn)印步驟)。在已經(jīng)完成有關(guān)第一掩模轉(zhuǎn)印步驟的處理之后，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50 致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而將基板保持部12的傳送帶機(jī)構(gòu)定位到基板送出部12b的傳送帶機(jī)構(gòu)。在基板保持部12的傳送帶機(jī)構(gòu)到基板送出部12b的傳送帶機(jī)構(gòu)的定位已經(jīng)結(jié)束之后，致動(dòng)基板傳送機(jī)構(gòu)51，從而使基板送出部12b從基板保持部12接收基板3。隨后，基板傳送機(jī)構(gòu)使基板送出部12b將基板3送出第一絲網(wǎng)印刷機(jī)2a(第一基板送出步驟)。當(dāng)借助未示出的檢測器檢測到基板3已經(jīng)被送出第一絲網(wǎng)印刷機(jī)2a、然后被裝載到基板送入部1 中時(shí)，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50致動(dòng)基板傳送機(jī)構(gòu)51，從而使基板保持部12從基板送入部1 接收基板3，并保持所接收的基板(第二基板保持步驟)。在已經(jīng)使基板保持部12保持基板3之后，控制器致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而連同基板保持部 12 一起致動(dòng)基板3。從而，使基板3相對于第二掩模1 定位成，使得設(shè)置在第二掩模1 中的第二圖案孔H2在垂直方向上與設(shè)置在基板3上的各平區(qū)域電極fd相對(圖8 (a)，第二定位步驟)。在使基板3相對于第二掩模1 定位的操作期間，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50 控制照相機(jī)致動(dòng)機(jī)構(gòu)陽的操作，從而在第二掩模Hb下方的位置水平地致動(dòng)照相機(jī)單元 15。第一照相機(jī)1 捕獲(識別)設(shè)置在第二掩模1 上的掩模側(cè)定位標(biāo)記(未示出)的圖像。此外，第二照相機(jī)1 捕獲(識別)設(shè)置在基板3上的基板側(cè)定位標(biāo)記(未示出) 的圖像?；?被致動(dòng)，使得這些定位標(biāo)記在垂直方向上相一致。在已經(jīng)完成有關(guān)第二定位步驟的處理之后，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而連同基板保持部12 —起提升基板3 (由圖8(a)所示的箭頭Dl表示)，從而使基板3的上表面與第二掩模13b的下表面接觸(圖8 (b))。第二掩模13b的第二圖案孔H2在垂直方向上與基板3的相應(yīng)的平區(qū)域電極fd —致(第二掩模接觸步驟)。由于空穴區(qū)域電極cd設(shè)置在凹進(jìn)于基板3的上表面中的各空穴CV中，因此，即使當(dāng)在將膏劑Pst印刷到各空穴電極cd的印刷已經(jīng)完成之后、第二掩模1 與基板3的上表面接觸時(shí)，第二掩模1 也不會(huì)接觸到各空穴區(qū)域電極cd上的膏劑I^st (參見圖8(c))。在已經(jīng)完成有關(guān)第二掩模接觸步驟的處理之后，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50使膏劑供給頭14的引導(dǎo)構(gòu)件Ha與第二掩模1 的上表面接觸，隨后將膏劑Pst從膏劑供給頭14供給到第二掩模13b的上表面。從而，第二掩模13b的第二圖案孔H2填充有膏劑 I^st (圖8 (c)，第二膏劑填充步驟)。在已經(jīng)完成有關(guān)第二膏劑填充步驟的處理之后，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50 致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而使基板3連同基板保持部12 —起下降，并使基板3和第二掩模 1 在垂直方向上彼此相對地分離開(由圖8(d)所示的箭頭D2表示)。從而，膏劑Pst通過掩模而轉(zhuǎn)印，由此膏劑Pst印刷(轉(zhuǎn)印)到基板3的各平區(qū)域電極fd上(第二掩模轉(zhuǎn)印步驟)。在已經(jīng)完成有關(guān)第二掩模轉(zhuǎn)印步驟的處理之后，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50 致動(dòng)基板定位機(jī)構(gòu)52，從而將基板保持部12的傳送帶機(jī)構(gòu)定位到基板送出部12b的傳送帶機(jī)構(gòu)。在基板保持部12的傳送帶機(jī)構(gòu)到基板送出部12b的傳送帶機(jī)構(gòu)的定位已經(jīng)結(jié)束之后，致動(dòng)基板傳送機(jī)構(gòu)51，從而使基板送出部12b從基板保持部12接收基板3。隨后，基板傳送機(jī)構(gòu)使基板送出部12b將基板3送出第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b (第二基板送出步驟)。由此完成了與絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1對基板3進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的步驟有關(guān)的處理。在本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1中，按照上述的過程，基板3被印刷有膏劑I^st。在有關(guān)絲網(wǎng)印刷工序的處理已經(jīng)執(zhí)行了等于基板3的數(shù)量的次數(shù)之后，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50利用設(shè)置在第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加中的清潔單元16(第一清潔單元16a)清潔第一掩模13a的下表面(凸出部13t的下表面)。在有關(guān)絲網(wǎng)印刷工序的處理已經(jīng)執(zhí)行了等于基板3的數(shù)量的次數(shù)之后，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的控制器50利用設(shè)置在第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b 中的清潔單元16(第二清潔單元16b)清潔第二掩模13b的下表面。在第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加中清潔第一掩模13a的操作期間，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50控制清潔單元致動(dòng)機(jī)構(gòu)56的操作，從而使第一清潔單元16a的紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R與第一掩模13a的凸出部13t的下表面之一接觸(圖9(a))，同時(shí)在水平面的方向(即，Y軸方向，由圖9(a)至9(d)中所示的箭頭E表示)上致動(dòng)整個(gè)第一清潔單元16a。 這樣，附著到第一掩模13a的凸出部13t的下表面的膏劑I^st (膏劑I^t的殘?jiān)麯S)粘到紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R，從而被去除。由此，清潔了第一掩模13a的其中一個(gè)凸出部13t 的下表面。在已經(jīng)清潔了一個(gè)凸出部13t的下表面之后，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50在 Y軸方向上致動(dòng)整個(gè)第一清潔單元16a，使得紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R與相鄰的凸出部 13t接觸?，F(xiàn)在清潔下一個(gè)凸出部13t的下表面(圖9(a)—圖9(b)—圖9(c)—圖9(d))。 由此，從全部凸出部13t的下表面去除膏劑Pst (第一膏劑去除步驟)。當(dāng)對附著到第一掩模13a的各凸出部13t的下表面的膏劑Pst進(jìn)行清潔時(shí)，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的控制器50，在紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R與凸出部13t的下表面保持接觸期間，使紙構(gòu)件42相對地固定到噴嘴部41，并且，以使紙構(gòu)件42擦拭各凸出部13t的下表面的方式有效地從凸出部13t的下表面清除(擦除)膏劑I^st。在附著到第一掩模13a 的其中一個(gè)凸出部13t的下表面的膏劑I^st已經(jīng)如上所述去除時(shí)，在紙構(gòu)件42與下一個(gè)要去除膏劑I^st的凸出部13t接觸之前，致動(dòng)紙構(gòu)件卷起機(jī)構(gòu)57，從而卷取紙構(gòu)件42 (由圖 9(d)所示的箭頭F表示)。由此，紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R得到更新(紙構(gòu)件卷起工序)。從而，可以防止從前一凸出部13t去除的膏劑Pst擦到隨后的凸出部13t上，否則當(dāng)掩模接觸區(qū)域在已經(jīng)完成第一掩模13a的一個(gè)凸出部13t的膏劑Pst的去除之后與下一個(gè)要去除膏劑Pst的凸出部13t接觸時(shí)可能出現(xiàn)上述情況。同時(shí)，在清潔第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的第二掩模13b的操作期間，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b 的控制器50控制清潔單元致動(dòng)機(jī)構(gòu)56的操作，從而使第二清潔單元16b的紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R與第二掩模13b的下表面接觸(圖10)，同時(shí)在水平面的方向(即，Y軸方向， 由圖10中所示的箭頭G表示)上致動(dòng)整個(gè)第二清潔單元16b。附著到第二掩模13b的下表面的膏劑I3St (膏劑Pst的殘?jiān)麯S)粘到紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R，從而被去除。由此， 清潔了第二掩模13b的下表面(第二膏劑去除步驟)。在清潔第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加的第一掩模13a和第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b的第二掩模1 時(shí)，絲網(wǎng)印刷機(jī)加和2b的控制器50控制抽吸機(jī)構(gòu)58的操作，從而經(jīng)由紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R通過抽吸從空氣抽吸管道41a去除空氣。附著于每個(gè)相應(yīng)掩模13 (第一掩模13a 或第二掩模13b)的下表面的膏劑Pst被吸出到紙構(gòu)件42，從而有效地執(zhí)行膏劑Pst的去除。如上所述，本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1通過將第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加聯(lián)接到第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b而構(gòu)建。具體地，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加對基板3進(jìn)行定位，基板3具有多個(gè)空穴區(qū)域電極cd(第一電極)和多個(gè)平區(qū)域電極fd(第二電極)，所述多個(gè)空穴區(qū)域電極Cd(第一電極)設(shè)置在形成于基板主體21的上表面的一部分中的多個(gè)空穴CV(開口)的各底表面上，所述多個(gè)平區(qū)域電極fd(第二電極)設(shè)置在基板本體21的上表面上。具有對應(yīng)于各空穴區(qū)域電極cd且形成于要嵌合到基板本體21的各空穴CV中的多個(gè)向下突出的凸出部 13t中的每個(gè)凸出部13t中的第一圖案孔Hl的第一掩模13a借助第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加與基板3的上表面接觸，從而對空穴區(qū)域電極cd進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。第二絲網(wǎng)印刷機(jī)2b對已經(jīng)由第一絲網(wǎng)印刷機(jī)加進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板3進(jìn)行定位，并使具有對應(yīng)于各平區(qū)域電極fd的第二圖案孔H2的平板形的第二掩模13b與基板3的上表面接觸，從而對平區(qū)域電極fd進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1還包括第一清潔單元16a和作為第二清潔單元的第二清潔單元16b。第一清潔單元16a相對于第一掩模13a進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而順序地使掩模接觸區(qū)域R與第一掩模13a的各凸出部13t的下表面接觸，從而去除粘附到第一掩模13a的各凸出部13t的各下表面的膏劑I^st，其中掩模接觸區(qū)域R通過使紙構(gòu)件42在用作紙構(gòu)件支撐部的噴嘴部41的上端展開而形成。第二清潔單元16b相對于第二掩模1 進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而使掩模接觸區(qū)域R與第二掩模1 的下表面接觸，從而去除粘附到第二掩模1 的下表面的膏劑I^t，其中掩模接觸區(qū)域R通過使紙構(gòu)件42在噴嘴部41的上端展開而形成。 第一清潔單元16a裝備有紙構(gòu)件卷起單元(即，紙構(gòu)件卷起機(jī)構(gòu)57)。在去除附著到第一掩模13a的其中一個(gè)凸出部13t的下表面的膏劑Pst之后且在紙構(gòu)件42與下一個(gè)要去除膏劑I3St的凸出部13t接觸之前，該紙構(gòu)件卷起單元卷起紙構(gòu)件42，由此更新掩模接觸區(qū)域 R0此外，用于清潔本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1的掩模13的方法包括相對于第一掩模13a相對地致動(dòng)具有通過使紙構(gòu)件42在用作紙構(gòu)件支撐部的噴嘴部41的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域R的第一清潔單元16a、從而順序地使掩模接觸區(qū)域R與第一掩模13a的各凸出部13t的下表面接觸、從而去除粘附到第一掩模13a的各凸出部13t的下表面的膏劑I3St的步驟(第一膏劑去除步驟)。該方法還包括相對于第二掩模1 相對地致動(dòng)具有通過使紙構(gòu)件42在噴嘴部41的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域R的第二清潔單元16b、 從而使掩模接觸區(qū)域R與第二掩模13b的下表面接觸、由此去除粘附到第二掩模13b的下表面的膏劑I3St的另一步驟(第二膏劑去除步驟)。在借助第一清潔單元16a去除粘附到第一掩模13a的各凸出部13t的下表面的膏劑Pst的步驟(第一膏劑去除步驟)中，在去除粘附到第一掩模13a的其中一個(gè)凸出部13t的下表面的膏劑Pst之后且在第一清潔單元 16a的紙構(gòu)件42與下一個(gè)要去除膏劑I3St的凸出部13t接觸之前，卷起紙構(gòu)件42，由此更新掩模接觸區(qū)域R。如上所述，本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1 (清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)1的掩模13的方法)構(gòu)造成，在已經(jīng)使紙構(gòu)件42的掩模接觸區(qū)域R與第一掩模13a的其中一個(gè)凸出部13t的下表面接觸以去除附著到該下表面的膏劑Pst之后且在紙構(gòu)件42與下一個(gè)要去除膏劑Pst的凸出部13t接觸之前，通過卷取紙構(gòu)件42來更新掩模接觸區(qū)域R。因此，當(dāng)紙構(gòu)件42在去除一個(gè)凸出部13t的膏劑Pst之后與下一個(gè)要去除膏劑Pst的凸出部13t接觸時(shí)，從前一凸出部13t去除的膏劑Pst不會(huì)擦到隨后的凸出部13t上。為此，可以充分地清潔對空穴基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的掩模13，使得可以提高印刷精度。雖然已經(jīng)描述了本發(fā)明的實(shí)施例，但是本發(fā)明不限于該實(shí)施例。例如，在前面的實(shí)施例中，設(shè)置在各絲網(wǎng)印刷機(jī)2中的清潔單元16 (第一清潔單元16a和第二清潔單元16b) 在Y軸方向上被致動(dòng)，從而清潔各掩模13的下表面，Y軸方向是與基板3的傳送方向(即， X軸方向)垂直的水平面中的方向。然而，不應(yīng)該對各清潔單元16的致動(dòng)方向加以特定的限制。清潔單元也可以在平行于基板3的傳送方向的X軸方向上被致動(dòng)，從而清潔掩模3 的下表面。本專利申請基于2009年12月16日提交的日本專利申請(JP-A_2009j84686)，這里將其全部主題引入作為參考。工業(yè)實(shí)用性提供了一種絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)和一種用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法，能夠充分地清潔用于對空穴基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的掩模。附圖標(biāo)記和符號說明1 絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)2a第一絲網(wǎng)印刷機(jī)2b第二絲網(wǎng)印刷機(jī)3 基板13a 第一掩模13t凸出部13b 第二掩模16a第一清潔單元16b第二清潔單元21 基板本體41噴嘴部(紙構(gòu)件支撐部)42 紙構(gòu)件58 紙構(gòu)件卷起機(jī)構(gòu)(紙構(gòu)件卷起單元)
Hl第一圖案孔
H2第二圖案孔
CV空穴(開口)
Cd空穴區(qū)域電極(第
fd平區(qū)域電極(第二
R掩模接觸區(qū)域
Pst膏劑
權(quán)利要求
1.一種絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)，通過將第一絲網(wǎng)印刷機(jī)聯(lián)接到第二絲網(wǎng)印刷機(jī)而構(gòu)建，其中，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)對具有設(shè)置在形成于基板主體的上表面的一部分中的多個(gè)空穴的各底表面上的多個(gè)第一電極和設(shè)置在基板本體的上表面上的多個(gè)第二電極的基板進(jìn)行定位，并使具有第一圖案孔的第一掩模與基板的上表面接觸，從而對第一電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，所述第一圖案孔對應(yīng)于各第一電極且形成于將要嵌合到基板本體的各空穴中的多個(gè)向下突出的凸出部中的每個(gè)凸出部中，并且其中，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)對已經(jīng)由第一絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板進(jìn)行定位，并使具有對應(yīng)于各第二電極的第二圖案孔的平板形的第二掩模與基板的上表面接觸，從而對第二電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，該絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)還包括第一清潔單元和第二清潔單元，其中，第一清潔單元相對于第一掩模進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而使通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域與第一掩模的各凸出部的下表面順序地接觸，從而去除附著到第一掩模的各凸出部的各下表面的膏劑，并且其中，第二清潔單元相對于第二掩模進(jìn)行相對的移動(dòng)，從而使通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域與第二掩模的下表面接觸，從而去除附著到第二掩模的下表面的膏劑，并且第一清潔單元具有紙構(gòu)件卷起單元，在去除附著到第一掩模的其中一個(gè)凸出部的下表面的膏劑之后且在紙構(gòu)件與下一個(gè)要去除膏劑的凸出部接觸之前，該紙構(gòu)件卷起單元卷起紙構(gòu)件，由此更新掩模接觸區(qū)域。
2.一種用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法，該絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)通過將第一絲網(wǎng)印刷機(jī)聯(lián)接到第二絲網(wǎng)印刷機(jī)而構(gòu)建，其中，第一絲網(wǎng)印刷機(jī)對具有設(shè)置在形成于基板本體的上表面的一部分中的多個(gè)空穴的各底表面上的多個(gè)第一電極和設(shè)置在基板本體的上表面上的多個(gè)第二電極的基板進(jìn)行定位，并使具有第一圖案孔的第一掩模與基板的上表面接觸， 從而對第一電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，所述第一圖案孔對應(yīng)于各第一電極且形成于將要嵌合到基板本體的各空穴中的多個(gè)向下突出的凸出部中的每個(gè)凸出部中，并且其中，第二絲網(wǎng)印刷機(jī)對已經(jīng)由第一絲網(wǎng)印刷機(jī)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的基板進(jìn)行定位，并使具有對應(yīng)于各第二電極的第二圖案孔的平板形的第二掩模與基板的上表面接觸，從而對第二電極進(jìn)行絲網(wǎng)印刷，該方法包括相對于第一掩模相對地致動(dòng)具有通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域的第一清潔單元、從而使掩模接觸區(qū)域與第一掩模的各凸出部的下表面順序地接觸、由此去除附著到第一掩模的各凸出部的下表面的膏劑的步驟；以及，相對于第二掩模相對地致動(dòng)具有通過使紙構(gòu)件在紙構(gòu)件支撐部的上端展開而形成的掩模接觸區(qū)域的第二清潔單元、從而使掩模接觸區(qū)域與第二掩模的下表面接觸、由此去除附著到第二掩模的下表面的膏劑的另一步驟，其中，在借助第一清潔單元去除附著到第一掩模的各凸出部的下表面的膏劑的步驟中，在去除附著到第一掩模的其中一個(gè)凸出部的下表面的膏劑之后且在第一清潔單元的紙構(gòu)件與下一個(gè)要去除膏劑的凸出部接觸之前，卷起紙構(gòu)件，由此更新掩模接觸區(qū)域。
全文摘要
公開了一種絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)和一種用于清潔絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)的掩模的方法，能夠充分地清潔用于對空穴基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的掩模。使紙構(gòu)件(42)的掩模接觸區(qū)域(R)接觸第一掩模(13a)的其中一個(gè)凸出部(13t)的底表面，并且，在去除粘附到該部分的膏劑(Pst)之后，直到紙構(gòu)件(42)與下一個(gè)要去除膏劑(Pst)的凸出部(13t)接觸的期間，紙構(gòu)件(42)被卷起，從而更新掩模接觸區(qū)域(R)。
文檔編號B41F15/08GK102369110SQ2010800155
公開日2012年3月7日 申請日期2010年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月16日
發(fā)明者時(shí)田邦彥, 田中哲矢 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社