專(zhuān)利名稱(chēng)：：印刷方法和顯示設(shè)備制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及采用墊板(blanket)和凸版(reliefprintingplate)的印刷方法，以及采用該印刷方法的顯示設(shè)備制造方法。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，已經(jīng)大力發(fā)展了所謂"可印刷的電子裝置(printableelectronics)"的
技術(shù)領(lǐng)域：
?？捎∷⒌碾娮友b置的目標(biāo)是利用印刷方法和納米壓印方法以低成本來(lái)制造迄今完全采用半導(dǎo)體制造技術(shù)生產(chǎn)的昂貴電子部件。另一個(gè)目標(biāo)是用膜代替基板，以提供柔性裝置。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，已經(jīng)提出了各種印刷方法(例如，日本專(zhuān)利No.3689536和非專(zhuān)利文件，Yo皿-Gyo皿g，etal.〃DesignParametersofRollPrintingProcessforTFT-LCDFabrication"，SID08GIGEST，p.637-640,2008)。
發(fā)明內(nèi)容在日本專(zhuān)利No.3689536中，提出了采用反轉(zhuǎn)膠印印刷方法(reverseoffsetprintingmethod)精確地印刷樹(shù)脂(例如，抗蝕劑材料)的方法。具體地講，通過(guò)采用用于彩色濾色器的樹(shù)脂作為油墨，獲得厚度為0.8ym的印刷圖案。盡管沒(méi)有詳細(xì)描述印刷圖案的分辨率，但是所希望的目標(biāo)線(xiàn)寬至少為約50m，這是因?yàn)椴噬珵V色器是用于液晶顯示器。在日本專(zhuān)利No.3689536中，因?yàn)榻o出了"這表明可以印刷寬度為lOiim的線(xiàn)"的描述，所以該印刷方法的尺寸極限估計(jì)為約10ym。Yoim—Gyoimg等人的非專(zhuān)禾U文件"DesignParametersofRollPrintingProcessforTFT-LCDFabrication"(2008年，SID08GIGEST，637-640頁(yè))提出了采用反轉(zhuǎn)膠印印刷方法來(lái)形成薄膜晶體管的方法。在該方法中觀(guān)察到，在印刷膜厚度為約1Pm的抗蝕劑圖案時(shí)，根據(jù)印刷方向而出現(xiàn)約0.5至4.Oym的圖案邊緣模糊。如上所述，在現(xiàn)有技術(shù)中，在印刷樹(shù)脂、有機(jī)溶劑等構(gòu)成的油墨時(shí)，出現(xiàn)了印刷圖案的銳度(sharness)隨著膜的厚度增加而降低的問(wèn)題。本發(fā)明是考慮到上述問(wèn)題而做出的，并希望提供一種印刷方法及采用該印刷方法的顯示設(shè)備制造方法，在該印刷方法中不論印刷圖案的膜厚均可以執(zhí)行銳度優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)的印刷。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法包括如下步驟在墊板上形成轉(zhuǎn)印層；通過(guò)將包括突起部的成型構(gòu)件的該突起部壓向轉(zhuǎn)印層，在轉(zhuǎn)印層上形成凹槽部分，該突起部具有預(yù)定的圖案，該凹槽部分具有與該突起部對(duì)應(yīng)的圖案；在第一轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使墊板上的轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)并使他們加壓接觸在一起以選擇性地去除轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于凸部的部分，在墊板上形成印刷圖案層，該凸部具有與該突起部的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的圖案；以及在第二轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使墊板上的印刷圖案層和要被印刷的基板彼此面對(duì)并使他們加壓接觸在一起，將印刷圖案層轉(zhuǎn)印到要被印刷的基板上。"凹槽部分"不限于具有狹長(zhǎng)形狀的圖案，而是可以為具有任何形狀的圖案。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的顯示設(shè)備制造方法包括在基板上形成顯示元件和驅(qū)動(dòng)該顯示元件的薄膜晶體管的步驟，上述形成薄膜晶體管的步驟包括如下步驟在墊板上形成轉(zhuǎn)印層；通過(guò)將包括突起部的成型構(gòu)件的該突起部壓向轉(zhuǎn)印層，在轉(zhuǎn)印層上形成凹槽部分，該突起部具有預(yù)定的圖案，該凹槽部分具有與該突起部對(duì)應(yīng)的圖案；在第一轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使墊板上的轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)并使他們加壓接觸在一起以選擇性地去除轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于凸部的部分，在墊板上形成印刷圖案層，該凸部具有與該突起部的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的圖案；以及在第二轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使墊板上的印刷圖案層和作為要被印刷基板的基板彼此面對(duì)并使他們加壓接觸在一起，將印刷圖案層轉(zhuǎn)印到基板上；以及通過(guò)采用印刷圖案層形成薄膜。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法和顯示設(shè)備制造方法中，成型構(gòu)件的突起部壓向墊板上的轉(zhuǎn)印層，從而具有與突起部對(duì)應(yīng)的圖案的凹槽部分形成在轉(zhuǎn)印層上(成型工藝)。其后，通過(guò)使墊板上的轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)并使他們加壓接觸，選擇性地去除轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于凸部的部分并將印刷圖案層形成在墊板上(第一轉(zhuǎn)印工藝)。其后，通過(guò)使墊板上的印刷圖案層和要被印刷的基板彼此面對(duì)并使他們壓接觸，印刷圖案層轉(zhuǎn)印到要被印刷的基板上(第二轉(zhuǎn)印工藝)。這樣，通過(guò)采用成型構(gòu)件凹槽部分形成在轉(zhuǎn)印層上，其后采用凸版進(jìn)行第一轉(zhuǎn)印工藝，從而即使轉(zhuǎn)印層(印刷圖案層)的膜厚較大，也可以比現(xiàn)有技術(shù)更容易地剪切轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于凸部的部分。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法和顯示設(shè)備制造方法，通過(guò)將成型構(gòu)件的突起部壓向墊板上的轉(zhuǎn)印層，具有與突起部對(duì)應(yīng)的圖案的凹槽部分形成在轉(zhuǎn)印層上，其后通過(guò)使墊板上的轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)且使他們加壓接觸，選擇性地去除轉(zhuǎn)印層中對(duì)應(yīng)于凸部的部分并在墊板上形成印刷圖案層，從而即使在轉(zhuǎn)印層(印刷圖案層)的厚度較大時(shí)，也可以容易地剪切轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于凸部的部分。因此，不論印刷圖案的膜厚，均可以進(jìn)行銳度高于現(xiàn)有技術(shù)的印刷。圖1A-1C是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法的部分主要工藝的截面圖；圖2是示出圖1所示成型件的具體結(jié)構(gòu)的放大截面圖；圖3A-3B是示出圖1所示工藝的后續(xù)工藝的截面圖；圖4A-4C是解釋形成在油墨上的狹縫間的距離與凸版的凸部寬度之間的關(guān)系的截面圖；圖5是示出平板墊板和凸版之間的接觸方法示例的截面圖；圖6A-6C是示出圖3所示工藝的后續(xù)工藝的截面圖；圖7A-7B是示出根據(jù)比較示例的印刷方法的部分工藝的截面圖；圖8A-8B是解釋在根據(jù)比較示例和實(shí)施例的印刷方法的第一轉(zhuǎn)印工藝中油墨分離形式的截面圖；圖9是示出根據(jù)本發(fā)明的修改示例的印刷方法的部分工藝的截面圖；圖10是示出在圖9所示的印刷方法的第一轉(zhuǎn)印工藝中油墨分離形式的截面圖；圖11是示出由圖9所示的印刷方法形成的印刷圖案示例的截面圖12A-12H是示出采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法的薄膜晶體管形成方法的部分主要工藝的截面圖；圖13A-13B是圖12所示的部分工藝的俯視圖；圖14A-14E是圖12所示工藝的后續(xù)工藝的截面圖；以及圖15A-15C是圖14所示的部分工藝的俯視圖。具體實(shí)施例方式在下文，將參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。將以下面的順序描述實(shí)施例。1.實(shí)施例(采用成型件的印刷方法的工藝示例)2.示例3.修改示例和應(yīng)用實(shí)例〈1.實(shí)施例>[采用成型件的印刷方法的工藝示例]圖1至5是解釋根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法的截面圖。(轉(zhuǎn)印層形成工藝(涂覆工藝))首先，如圖1A所示，通過(guò)在平板墊板1上涂覆油墨2，在平板墊板1上形成由油墨2構(gòu)成的轉(zhuǎn)印層。平板墊板1必須可以柔性地變形，以與下述要被印刷的基板(基板4)實(shí)現(xiàn)良好的接觸。因此，對(duì)于平板墊板1的機(jī)械特性，楊氏模量(Young'smodulus)優(yōu)選為約0.01至10MPa?？紤]到油墨2的涂覆特性和剝離特性，平板墊板1的表面張力優(yōu)選為15至40dyn/cm。作為滿(mǎn)足上述特性的材料，硅酮橡膠、氟樹(shù)脂等可以用作平板墊板1的材料。作為油墨2，可以采用樹(shù)脂、金屬粉末和氧化物粉末的至少之一的混合物，并且其中包括O.l至90w^的低極性溶劑作為溶劑。作為如上所述的低極性溶劑，例如可以采用混合溶劑，該混合溶劑包括直鏈烷烴、芳香烴、酯、卣代烷、酯化合物和環(huán)醚化合物中的至少一種。油墨2在常規(guī)溫度(25°C)下的粘度優(yōu)選為約1.0至150000mPa。作為在平板墊板1上涂覆油墨2的方法，例如優(yōu)選旋涂法、模涂法(diecoatingmethod)、凹板涂覆法和CAP涂覆法等。(成型工藝)接下來(lái)，如圖1B所示，將成型件(成型構(gòu)件)的突起部51壓向平板墊板1上的油墨2(轉(zhuǎn)印層)，成型件包括具有預(yù)定圖案的突起部51。這樣，例如如圖1C所示，當(dāng)將成型件5從油墨2移除時(shí)，在油墨2上形成凹槽部分21，其圖案對(duì)應(yīng)于突起部51的圖案。成型件5必須具有使油墨2成型的剛性。具體地講，成型件5的材料優(yōu)選具有約1至500GPa的楊氏模量。例如，如圖2中的符號(hào)Pl所示，突起部51相對(duì)于基體50的傾斜角al和a2優(yōu)選在45。至90°的范圍內(nèi)，并且更優(yōu)選a1和a2二者都為90°，因?yàn)榭梢杂行У胤乐钩尚腿毕?。成型?必須具有相對(duì)于油墨2的剝離特性。具體地講，為了保證相對(duì)于涂覆在表面張力低的平板墊板1上的油墨2的剝離特性，優(yōu)選成型件5的表面張力等于或小于平板墊板1的表面張力(例如，約為l5至40dyn/cm)。(第一轉(zhuǎn)印工藝(去除工藝))6接下來(lái)，如圖3A所示，將平板墊板1和凸版3設(shè)置為彼此面對(duì)并使其彼此接觸，凸版3包括具有預(yù)定圖案(與突起部51的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的圖案)的凸部31。這樣，例如如圖3B所示，當(dāng)分離彼此接觸的平板墊板1和凸版3時(shí)，油墨2中對(duì)應(yīng)于凸部31的部分(圖3B中油墨2B的部分)被從平板墊板1選擇性地去除。另一方面，油墨2保留在平板墊板1上沒(méi)有被凸版3轉(zhuǎn)印的區(qū)域(圖3B中的油墨2A的部分)中，從而印刷圖案2A形成在平板墊板1上。凸版3的形狀與用于去除油墨2的圖案(突起部51的反轉(zhuǎn)圖案)對(duì)應(yīng)，如圖3A和圖4A至4C(圖3A中由符號(hào)P2表示的部分的放大圖)所示。具體地講，首先如圖3A和4A所示，存在要去除的油墨圖案的寬度(凹槽21之間的距離d2)與凸部31的寬度d3相同的情況。然而，例如如圖4B所示，凸部31的寬度d3可以小于要去除的油墨圖案的寬度(凹槽21之間的距離d2)。相反，例如如圖4C所示，凸部31的寬度d3可以大于要去除的油墨圖案的寬度(凹槽21之間的距離d2)，直到油墨2不被切斷(divide)的程度。為了成功地從平板墊板1去除油墨2，凸版3的表面張力必須高于平板墊板1的表面張力，并且優(yōu)選為約40至80dyn/cm。另外，當(dāng)采用有機(jī)溶劑等清除從平板墊板1去除的油墨2B時(shí)，凸版3必須具有耐久性。因此，凸版3的材料優(yōu)選為氧化物、金屬等。當(dāng)使平板墊板1和凸版3彼此接觸時(shí)，采用加壓壓縮(采用壓縮氣體加壓法)。壓縮氣體加壓法是這樣的方法將平板墊板1和凸版3設(shè)置為彼此面對(duì)，使其接近，并且每個(gè)都固定到預(yù)定的臺(tái)階上。然后，壓縮氣體從一定的位置噴射到平板墊板1和凸版3的任何一個(gè)的背面，并推動(dòng)平板墊板1或凸版3，從而使平板墊板1和凸版3彼此接觸。此時(shí)，被推動(dòng)的物體和作為壓縮空氣供氣源的臺(tái)階之間形成的空間被氣密地密封(下述的圖5中箭頭P4所示的空間)。具體地講，如圖5所示，平板墊板1的外周邊被機(jī)械地固定到下臺(tái)階61，并且由提供在下臺(tái)階61中的開(kāi)口部分611A和611B真空吸附并固定，如圖5中的符號(hào)P5和P6所示。凸版3固定到上臺(tái)階62，壓縮空氣從靠近下臺(tái)階61的中心提供的開(kāi)口部分610(用作真空排氣開(kāi)口和壓縮空氣注入開(kāi)口)注入，以推動(dòng)平板墊板。在此情況下，彼此接近的平板墊板1和凸版3之間的距離精確地控制為1ym至lmm，并且轉(zhuǎn)印壓力也精確地控制為約0.lkPa至100kPa。這樣，因?yàn)樵谄桨鍓|板1上可以以低且平穩(wěn)的壓力進(jìn)行控制，所以可以轉(zhuǎn)印油墨2卻不壓碎油墨。(第二轉(zhuǎn)印工藝(轉(zhuǎn)印工藝))接下來(lái)，如圖6A所示，將平板墊板1上的印刷圖案層2A和基板4(要被印刷基板)設(shè)置為彼此面對(duì)，并且使其彼此接觸。這樣，例如如圖6B所示，當(dāng)分離彼此接觸的平板墊板1和基板4時(shí)，印刷圖案層2A轉(zhuǎn)印到基板4上。當(dāng)使平板墊板1和基板4彼此接觸時(shí)，如上所述采用加壓壓縮(采用壓縮氣體加壓法)。作為基板4，例如可以采用由諸如硅、合成石英、玻璃、金屬、樹(shù)脂和樹(shù)脂膜等材料制成的基板。這樣，例如如圖6C所示，與凸版3上的凸部31的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的印刷圖案2A形成在基板4上。在如上所述的印刷方法中，當(dāng)薄膜形成材料用作構(gòu)成轉(zhuǎn)印層的油墨2以形成轉(zhuǎn)印層時(shí)，印刷圖案層2A直接形成在薄膜中。在此情況下，作為薄膜形成材料，例如可以采用的材料包括丙烯酸樹(shù)脂、用作熱塑樹(shù)脂的環(huán)氧樹(shù)脂以及包括聚酰亞胺樹(shù)脂、硅氧烷樹(shù)脂和氟樹(shù)脂的樹(shù)脂等。在如上所述的印刷方法中，在圖6A和6B所示的第二轉(zhuǎn)印工藝前，可以事先在基板4上均勻地形成薄膜，并且在第二轉(zhuǎn)印工藝中印刷圖案層2A可以轉(zhuǎn)印到薄膜上。在此情況下，作為構(gòu)成轉(zhuǎn)印層的油墨2，采用用于蝕刻薄膜的光致抗蝕劑材料。此外，當(dāng)這樣做時(shí)，在第二轉(zhuǎn)印工藝后，通過(guò)采用基板4上的印刷圖案2A蝕刻薄膜，可以形成圖案與印刷圖案2A對(duì)應(yīng)的薄膜。[印刷方法的操作與效果](比較示例)在現(xiàn)有技術(shù)的比較示例的印刷方法中，例如如圖7A和7B所示，沒(méi)有進(jìn)行本實(shí)施例的成型工藝。具體地講，緊接在圖1A所示的轉(zhuǎn)印層形成工藝(涂覆工藝)之后，進(jìn)行圖7A和7B所示的第一轉(zhuǎn)印工藝(去除工藝)。因此，例如如圖7A和8A(對(duì)應(yīng)于圖7B中的符號(hào)P103所示的部分的放大圖)所示，當(dāng)油墨102(印刷圖案層102A)的厚度大時(shí)，與凸部31對(duì)應(yīng)的部分(油墨102B的部分)將難于剪切(shear)。具體地講，因?yàn)榧羟袘?yīng)力隨著油墨102的厚度增加，所以切割表面具有粗糙的形狀。因此，隨著油墨102(印刷圖案層102A)的膜厚增加，印刷圖案的銳度下降。另一方面，在本實(shí)施例的印刷方法中，在成型工藝中成型件5的突起部51壓向平板墊板1上的油墨2，從而具有與突起部51對(duì)應(yīng)的圖案的凹槽部分21形成在油墨2上。其后，在第一轉(zhuǎn)印工藝(去除工藝)中，使平板墊板1上的油墨2和凸版3加壓接觸，從而油墨2上與凸部31對(duì)應(yīng)的部分被選擇性地去除，并在平板墊板1上形成印刷圖案層2A。如上所述，通過(guò)采用成型件5而在油墨2上形成凹槽部分21，并且其后通過(guò)采用凸版3來(lái)進(jìn)行第一轉(zhuǎn)印工藝，從而當(dāng)在第一轉(zhuǎn)印工藝中去除不想要的油墨2B時(shí)，凹槽部分21的區(qū)域優(yōu)先被切斷。這樣，可以防止油墨2的希望圖案變形。因此，例如如圖3B和8B(對(duì)應(yīng)于圖3B中符號(hào)P3所示的部分的放大圖)所示，即使油墨2(印刷圖案層2A)的厚度較大，也易于剪切油墨2中對(duì)應(yīng)于凸部31的部分。如上所述，在本實(shí)施例中，通過(guò)將成型件5的突起部51壓向平板墊板1上的油墨2，具有對(duì)應(yīng)于突起部51的圖案的凹槽部分21形成在油墨2上，其后通過(guò)使平板墊板1上的油墨2和凸版3加壓接觸，選擇性地去除油墨2中對(duì)應(yīng)于凸部31的部分并在平板墊板1上形成印刷圖案層2A，從而即使在油墨2(印刷圖案層2A)的厚度較大時(shí)，也可以容易地剪切油墨2中對(duì)應(yīng)于凸部31的部分。因此，不論印刷圖案的厚度，均可以進(jìn)行比現(xiàn)有技術(shù)分辨率高的印刷?！?.示例>在下文，將描述本發(fā)明的具體示例。這里，在將要描述的示例中，光致抗蝕劑AZ1500(產(chǎn)品名稱(chēng)由AZElectricMaterials制造)被印刷為基板4上的印刷圖案層2A。(轉(zhuǎn)印層形成工藝(涂覆工藝))通過(guò)在厚度為0.2mm的玻璃上采用硅酮橡膠層進(jìn)行200ym的旋涂，形成平板墊板1。光致抗蝕劑AZ1500(20cP)(由AZElectricMaterials制造)用作油墨2。油墨2由CAP涂布機(jī)涂覆在平板墊板1上，油墨2的膜厚度為3i！m。(成型工藝)通過(guò)采用光刻方法圖案化石英玻璃，制成成型件5。具體地講，通過(guò)干法蝕刻方法，制成線(xiàn)/間隔為lym/3iim的圖案。此時(shí)，線(xiàn)圖案的高度為5ym。其后，通過(guò)將成型件5浸入含氟化合物(fluorochemical)表面涂覆材料KP-801M中并干燥，進(jìn)行防水處理。此時(shí)，成型件5的表面張力為20dyn/cm。通過(guò)使成型件5和平板墊板1重疊，進(jìn)行成型工藝，并且通過(guò)lMPa的壓力將它們壓10分鐘。其后，當(dāng)將成型件5從平板墊板1剝離時(shí)，在壓成型件5的區(qū)域上形成凹槽部分21。(第一轉(zhuǎn)印工藝(去除工藝))通過(guò)采用光刻方法圖案化石英玻璃，制成凸版3。具體地講，通過(guò)干法蝕刻方法，制成線(xiàn)/間隔為3iim/4iim的圖案。此時(shí)，線(xiàn)圖案的高度為1Pm。通過(guò)定位并疊合凸版3和平板墊板1且將它們壓緊，進(jìn)行去除工藝。當(dāng)這樣做時(shí)，用10kPa的壓力將它們壓1分鐘，然后將它們彼此剝離。這樣，從平板墊板1去除不想要的油墨2B，而希望的圖案保留在平板墊板1上。(第二轉(zhuǎn)印工藝(轉(zhuǎn)印工藝))保留在平板墊板1上的圖案被轉(zhuǎn)印到作為基板4的玻璃基板上。具體地講，通過(guò)定位并疊合基板4和平板墊板1且將它們壓緊，圖案被轉(zhuǎn)印。當(dāng)這樣做時(shí)，用10kPa的壓力將它們壓1分鐘，然后將它們彼此剝離。這樣，油墨2A從硅酮橡膠制成的平板墊板1轉(zhuǎn)印到作為基板4的玻璃基板上。通過(guò)進(jìn)行上述工藝，可以獲得膜厚度為3iim、圖案線(xiàn)寬度為3ym的精細(xì)圖案，以作為AZ1500的印刷圖案?！?.修改示例和應(yīng)用實(shí)例>盡管已經(jīng)采用實(shí)施例和示例描述了本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于實(shí)施例等，各種修改都是可能的。例如，盡管在實(shí)施例等中，已經(jīng)描述了形成在油墨2上的凹槽部分21具有凹陷形狀的情況，但是例如如圖9所示，可以形成穿透到平板墊板1的表面的凹槽部分21。當(dāng)如上所述凹槽部分21穿透到表面時(shí)，例如如圖10所示，可以更容易地剪切油墨2中對(duì)應(yīng)于凸部31的部分。例如，以這樣方式形成的印刷圖案2A具有圖ll所示的截面形狀。盡管已經(jīng)采用平板墊板作為墊板示例描述了上面的實(shí)施例等，但是在本發(fā)明的印刷方法中，可以采用其他形狀(例如，巻筒狀等)的墊板。另外，并不限制構(gòu)成上述實(shí)施例等中描述的元件的材料和厚度、或者膜形成方法和膜形成條件，可以采用其他材料或其他厚度，也可以采用其他膜形成方法和其他膜形成條件。(薄膜晶體管形成方法的應(yīng)用示例)另外，由本發(fā)明實(shí)施例形成的印刷圖案可以應(yīng)用到采用該印刷圖案的電子裝置(例如，薄膜晶體管和電容器)中。同樣，該印刷圖案可以應(yīng)用到包括該薄膜晶體管等的顯示設(shè)備和顯示元件(例如，液晶顯示設(shè)備和有機(jī)EL顯示器等)中。具體地講，在該顯示設(shè)備的制造方法中，通過(guò)上述實(shí)施例等的印刷方法形成印刷圖案層2A，并且可以在形成薄膜晶體管的工藝中通過(guò)采用該印刷圖案層2A而形成薄膜。圖12至15示出了采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法的薄膜晶體管形成方法的部分主要工藝。圖12和14示出了截面圖，圖13和15示出了俯視圖。在圖12和14所示的工藝中，陰影線(xiàn)工藝(hatchedprocesses)(如圖12C、12G、14A、14C、14E所示的工藝)是采用本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法的工藝。在薄膜晶體管形成方法中，首先在基板4上形成鈍化層71(圖12A)，其后在鈍化層71上形成柵極電極層72(圖12B)。接下來(lái)，通過(guò)采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法，在柵極電極層72上印刷柵極電極的蝕刻抗蝕劑層(圖12中未示出)，并進(jìn)行濕法蝕刻。這樣，形成了圖案化的柵極電極72A(圖12C、13A)。接下來(lái)，在鈍化層71和柵極電極72A上形成柵極絕緣膜73(圖12D)，其后，在柵極絕緣膜73上形成a-Si/H(i)層74(圖12E)。其后，在a-Si/H(i)層74上形成蝕刻停止層75(圖12F)。通過(guò)采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法，在蝕刻停止層75上印刷蝕刻停止抗蝕劑層(圖12中未示出)，并進(jìn)行濕法蝕刻。這樣，蝕刻停止層75A選擇性地提供在對(duì)應(yīng)于溝道層的區(qū)域上(圖12G、13B)。接下來(lái)，在a_Si/H(i)層74和蝕刻停止層75A上形成a-Si/H(n+)層76(圖12H)。通過(guò)采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法，在a-Si/H(n+)層76上印刷a-Si/H(n+、i)層的抗蝕劑層(圖12中未示出)，并進(jìn)行濕法蝕刻。這樣，a-Si/H(i)層74和a_Si/H(n+)層76選擇性地提供在對(duì)應(yīng)于柵極電極72A的區(qū)域上(圖14A)。接下來(lái)，源-漏電極層77形成在柵極絕緣膜73、a-Si/H(i)層74和a-Si/H(n+)層76上(圖14B)。通過(guò)采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法，在源-漏電極層77上印刷源-漏電極層的抗蝕劑層(圖14中未示出)，并進(jìn)行濕法蝕刻。這樣，形成了源-漏電極77A(圖14C、15A)。接下來(lái)，通過(guò)在a-Si/H(n+)層76上進(jìn)行干法蝕刻，選擇性地去除蝕刻停止層75A上的a-Si/H(n+)層76(圖14D、15B)。接下來(lái)，形成鈍化層78，其后，通過(guò)采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法，在鈍化層78上印刷鈍化層的抗蝕劑層(圖14中未示出)，并進(jìn)行干法蝕刻。通過(guò)進(jìn)行上述工藝，形成采用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的印刷方法的薄膜晶體管(圖14E、15C)。本申請(qǐng)包含2009年1月7日提交至日本專(zhuān)利局的日本優(yōu)先權(quán)專(zhuān)利申請(qǐng)JP2009-001248中披露的相關(guān)主題事項(xiàng)，其全部?jī)?nèi)容通過(guò)弓I用結(jié)合于此。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，在所附權(quán)利要求及其等同特征的范圍內(nèi)，根據(jù)設(shè)計(jì)需要及其他因素，可以進(jìn)行各種修改、結(jié)合、部分結(jié)合和替換。權(quán)利要求一種印刷方法，包括如下步驟在墊板上形成轉(zhuǎn)印層；在成型工藝中，通過(guò)將包括突起部的成型構(gòu)件的所述突起部壓向所述轉(zhuǎn)印層，在所述轉(zhuǎn)印層上形成凹槽部分，所述突起部具有預(yù)定的圖案，所述凹槽部分具有與所述突起部對(duì)應(yīng)的圖案；在第一轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使所述墊板上的所述轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)并使所述轉(zhuǎn)印層和所述凸版加壓接觸在一起以選擇性地去除所述轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于所述凸部的部分，在所述墊板上形成印刷圖案層，所述凸部具有與所述突起部的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的圖案；以及在第二轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使所述墊板上的所述印刷圖案層和要被印刷的基板彼此面對(duì)并使所述印刷圖案層和所述基板加壓接觸在一起，將所述印刷圖案層轉(zhuǎn)印到要被印刷的所述基板上。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的印刷方法，其中在所述成型工藝中，所述凹槽部分形成為穿透到所述墊板的表面。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的印刷方法，其中在所述成型工藝中，采用表面張力小于或等于所述墊板的表面張力的成型構(gòu)件。4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的印刷方法，其中在所述成型工藝中，采用所述突起部相對(duì)于基體的傾斜角大于或等于45。而小于或等于90°的成型構(gòu)件。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的印刷方法，其中通過(guò)采用薄膜的形成材料來(lái)形成所述轉(zhuǎn)印層，所述薄膜由所述印刷圖案層構(gòu)成。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的印刷方法，其中包括樹(shù)脂的材料用作所述薄膜的形成材料。7.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的印刷方法，其中在所述第二轉(zhuǎn)印工藝之前在要被印刷的所述基板上均勻地形成薄膜，并在所述第二轉(zhuǎn)印工藝中將所述印刷圖案層轉(zhuǎn)印到所述薄膜上，并且所述轉(zhuǎn)印層由蝕刻所述薄膜時(shí)采用的光致抗蝕劑材料形成。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的印刷方法，其中在所述第二轉(zhuǎn)印工藝之后，采用要被印刷的所述基板上的印刷圖案層來(lái)蝕刻所述薄膜。9.一種顯示設(shè)備的制造方法，包括如下步驟在基板上形成顯示元件和驅(qū)動(dòng)所述顯示元件的薄膜晶體管，其中形成所述薄膜晶體管的步驟包括如下步驟在墊板上形成轉(zhuǎn)印層；在成型工藝中，通過(guò)將包括突起部的成型構(gòu)件的所述突起部壓向所述轉(zhuǎn)印層，在所述轉(zhuǎn)印層上形成凹槽部分，所述突起部具有預(yù)定的圖案，所述凹槽部分具有與所述突起部對(duì)應(yīng)的圖案；在第一轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使所述墊板上的所述轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)并使所述轉(zhuǎn)印層和所述凸版加壓接觸在一起以選擇性地去除所述轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于所述凸部的部分，在所述墊板上形成印刷圖案層，所述凸部具有與所述突起部的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的圖案；以及在第二轉(zhuǎn)印工藝中，通過(guò)使所述墊板上的所述印刷圖案層和作為要被印刷基板的基板彼此面對(duì)并使所述印刷圖案層和所述基板加壓接觸在一起，將所述印刷圖案層轉(zhuǎn)印到所述基板上；以及通過(guò)采用所述印刷圖案層形成薄膜。全文摘要印刷方法和顯示設(shè)備制造方法。該印刷方法包括如下步驟在墊板上形成轉(zhuǎn)印層；通過(guò)將包括突起部的成型構(gòu)件的突起部壓向轉(zhuǎn)印層，在轉(zhuǎn)印層上形成凹槽部分，突起部具有預(yù)定的圖案，凹槽部分具有與突起部對(duì)應(yīng)的圖案；通過(guò)使墊板上的轉(zhuǎn)印層和包括凸部的凸版彼此面對(duì)并使他們加壓接觸在一起以選擇性地去除轉(zhuǎn)印層上對(duì)應(yīng)于凸部的部分，在墊板上形成印刷圖案層，凸部具有與突起部的反轉(zhuǎn)圖案對(duì)應(yīng)的圖案；以及通過(guò)使墊板上的印刷圖案層和要被印刷的基板彼此面對(duì)并使他們加壓接觸在一起，印刷圖案層轉(zhuǎn)印到要被印刷的基板上。文檔編號(hào)B41F16/00GK101791899SQ20101000208公開(kāi)日2010年8月4日申請(qǐng)日期2010年1月7日優(yōu)先權(quán)日2009年1月7日發(fā)明者田中正信,龜井隆廣申請(qǐng)人:索尼公司