專(zhuān)利名稱(chēng)：抵消反作用力的裝置,其設(shè)定和使用方法及涂布機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于抵消由諸如運(yùn)輸遙控設(shè)備或精加工工具的傳遞系統(tǒng)的移動(dòng)
產(chǎn)生的反作用力，因此減小振動(dòng)的裝置，一種設(shè)定所述反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法， 一種使用反作用力抵消裝置抵消反作用力的方法和一種具有所述反作用力抵消裝置的涂 布機(jī)。
背景技術(shù)：
通常，包括半導(dǎo)體制造設(shè)備或LCD制造設(shè)備的精加工遙控設(shè)備，或包括運(yùn)輸機(jī)械 的精密設(shè)備配備有線(xiàn)性系統(tǒng)，以便在沿X軸或Y軸方向精確移動(dòng)工作頭(下文中稱(chēng)之為"可 動(dòng)體")的同時(shí)執(zhí)行操作。 例如，將諸如包括在LCD制造設(shè)備中的涂布機(jī)的設(shè)備構(gòu)造成，在設(shè)置在頭單元上 的噴嘴和放置在托臺(tái)上的基板之間執(zhí)行相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，形成密封圖案或滴落液晶。涂布 機(jī)配備有通常稱(chēng)為線(xiàn)性引導(dǎo)件的線(xiàn)性系統(tǒng)，以便沿X， Y和Z軸方向移動(dòng)噴嘴或托臺(tái)。
在可動(dòng)體(移動(dòng)部分)沿支承體(固定部分)線(xiàn)性移動(dòng)的同時(shí)，操作每個(gè)線(xiàn)性系 統(tǒng)，即線(xiàn)性移動(dòng)單元以移動(dòng)或傳遞加工工具。當(dāng)可動(dòng)體在增大或降低速度的同時(shí)沿支承體 移動(dòng)時(shí)，根據(jù)牛頓第三定律(作用和反作用定律)，在支承體上不可避免地產(chǎn)生反作用力。 將產(chǎn)生的反作用力傳遞到支承體安裝其中的整個(gè)設(shè)備，因此產(chǎn)生振動(dòng)，從而妨礙更精確地 控制和驅(qū)動(dòng)加工工具。 因此，已經(jīng)對(duì)采用線(xiàn)性系統(tǒng)的多種精加工遙控設(shè)備和設(shè)備進(jìn)行研究，以減小由在 系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的反作用力所導(dǎo)致的振動(dòng)。 減小振動(dòng)的方法使用機(jī)械反作用力系統(tǒng)和軟件(S/W)振動(dòng)控制系統(tǒng)。機(jī)械反作用 力系統(tǒng)是使用質(zhì)量是可動(dòng)體的質(zhì)量的五倍或更多倍的質(zhì)量體來(lái)抵消反作用力，由此減小振 動(dòng)的系統(tǒng)。此外，S/W振動(dòng)控制系統(tǒng)是將特定輸入量添加到線(xiàn)性機(jī)構(gòu)的已有輸入量以形成 最終輸入量，由此控制可動(dòng)體的移動(dòng)，因此減小由可動(dòng)體的操作所產(chǎn)生的振動(dòng)的系統(tǒng)。就是 說(shuō)，S/W振動(dòng)控制系統(tǒng)使用以控制方法使得振動(dòng)最小化的方法，其中，當(dāng)控制且驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體 時(shí)，另外輸入與固有頻率相應(yīng)的新的反向頻率。 僅將機(jī)械反作用力系統(tǒng)或S/W振動(dòng)控制系統(tǒng)中的任意一個(gè)設(shè)置在具有線(xiàn)性系統(tǒng)
的常規(guī)設(shè)備中以減振。然而，僅借助一種系統(tǒng)難以獲得更為理想的減振效果。 特別地，機(jī)械反作用力系統(tǒng)使用質(zhì)量是可動(dòng)體的質(zhì)量的五倍或更多倍的質(zhì)量體來(lái)
減振，使得構(gòu)造質(zhì)量體需要很高成本，并且質(zhì)量體占據(jù)了較大的安裝空間，因此整個(gè)設(shè)備的
構(gòu)造是復(fù)雜的，且降低了競(jìng)爭(zhēng)力。

發(fā)明內(nèi)容
因此，緊記現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問(wèn)題已經(jīng)作出了本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是 提供一種用于使用軟件振動(dòng)控制方法和機(jī)械反作用力抵消方法，來(lái)更理想地減小加速系統(tǒng) 中產(chǎn)生的振動(dòng) 反作用力抵消裝置，一種設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法，一種使用反作用力抵消裝置抵消反作用力的方法，以及一種具有該反作用力抵消裝置的涂布機(jī)。
本發(fā)明的另一目的是提供一種反作用力抵消裝置，該反作用力抵消裝置檢查軟件 振動(dòng)控制單元的減振能力，由此使得構(gòu)成機(jī)械反作用力抵消單元的質(zhì)量體的質(zhì)量最小化， 因而簡(jiǎn)化了整個(gè)遙控設(shè)備和機(jī)器結(jié)構(gòu)，并使得減振效果最大化， 一種設(shè)定所述反作用力抵 消裝置的質(zhì)量體的方法，一種使用所述反作用力抵消裝置抵消反作用力的方法，和一種具 有所述反作用力抵消裝置的涂布機(jī)。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于抵消反作用力的裝置，該裝置包括支承 體，該支承體以相對(duì)于可動(dòng)體支承件沿X軸方向移動(dòng)的方式安裝到可動(dòng)體支承件；可動(dòng)體， 該可動(dòng)體沿支承體在X軸方向上線(xiàn)性移動(dòng)；軟件振動(dòng)控制單元，該軟件振動(dòng)控制單元以輸 入成形方法修正用于驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的基準(zhǔn)命令集，并輸出以輸入成形方法修正的成形命令， 以控制可動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)，由此減小當(dāng)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)；和機(jī)械反作用力抵消單元，該 機(jī)械反作用力抵消單元聯(lián)結(jié)到支承體，并且當(dāng)沿著支承體加速或減速可動(dòng)體時(shí)，使用質(zhì)量 體抵消施加在支承體上的反作用力。 所述裝置還包括振動(dòng)感測(cè)部分，該振動(dòng)感測(cè)部分用于探測(cè)在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中 產(chǎn)生的可動(dòng)體的振動(dòng)。響應(yīng)于在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的、并且由振動(dòng)感測(cè)部分探測(cè)到 的實(shí)際振動(dòng)感測(cè)結(jié)果，軟件振動(dòng)控制單元修正成形命令，并且輸出命令。
機(jī)械反作用力抵消單元包括通過(guò)連接單元聯(lián)結(jié)到支承體的質(zhì)量體。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法，該 方法包括a)在通過(guò)軟件振動(dòng)控制單元的輸入成形控制方法使振動(dòng)的產(chǎn)生減小的狀態(tài)下， 測(cè)量可動(dòng)體的加速度值；和b)基于在a)處測(cè)量到的可動(dòng)體的加速度值，設(shè)定機(jī)械反作用力 抵消單元的質(zhì)量體的目標(biāo)加速度，并且確定機(jī)械反作用力抵消單元的質(zhì)量體的質(zhì)量。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種抵消反作用力的方法，該方法包括a)使用 軟件振動(dòng)控制單元將驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)最小化，并且使用機(jī)械反作用力抵消 單元減小由在沿X軸方向加速或減速可動(dòng)體時(shí)產(chǎn)生的反作用力所導(dǎo)致的振動(dòng)；b)在a)進(jìn) 行的同時(shí)，測(cè)量由振動(dòng)感測(cè)部分探測(cè)到的可動(dòng)體的振動(dòng)量，并且將該振動(dòng)量反饋到軟件振 動(dòng)控制單元；和c)使用在b)中反饋的數(shù)據(jù)，在軟件振動(dòng)控制單元中修正成形命令，由此進(jìn) 行控制，以將在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)最小化。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種涂布機(jī)，該涂布機(jī)包括框架，該框架用于支 承其上安裝有基板的托臺(tái)；頭支承件，該頭支承件以沿Y軸方向移動(dòng)的方式安裝到框架的 上部；支承體，所述支承體以相對(duì)于所述頭支承件沿X軸方向移動(dòng)的方式安裝到頭支承件； 頭單元，該頭單元由支承體以沿X軸方向移動(dòng)的方式支承，并且具有噴嘴，從而將密封膠或 液晶涂布到安裝在托臺(tái)上的基板；X軸驅(qū)動(dòng)單元，該X軸驅(qū)動(dòng)單元用于沿支承體在X軸方向 上移動(dòng)頭單元；軟件振動(dòng)控制單元，該軟件振動(dòng)控制單元以輸入成形方法修正用于頭單元 的驅(qū)動(dòng)的基準(zhǔn)命令集，并且輸出以輸入成形方法修正的成形命令，以控制頭單元的驅(qū)動(dòng)，由 此減小當(dāng)驅(qū)動(dòng)頭單元時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)；和機(jī)械反作用力抵消單元，甚至是在沿Y軸方向移動(dòng) 頭支承件，以致支承體和頭單元的位置沿Y軸方向被改變時(shí)，該機(jī)械反作用力抵消單元也 使用聯(lián)結(jié)到支承體的質(zhì)量體來(lái)抵消當(dāng)沿X軸方向移動(dòng)頭單元時(shí)施加在支承體上的反作用 力。 涂布機(jī)還包括振動(dòng)感測(cè)部分，該振動(dòng)感測(cè)部分用于探測(cè)在驅(qū)動(dòng)頭單元的過(guò)程中產(chǎn)
5生的頭單元的振動(dòng)。響應(yīng)于在驅(qū)動(dòng)頭單元的過(guò)程中產(chǎn)生的、并且由振動(dòng)感測(cè)部分探測(cè)到的 實(shí)際振動(dòng)感測(cè)結(jié)果，軟件振動(dòng)控制單元修正成形命令，并且輸出命令。 機(jī)械反作用力抵消單元包括安裝在與框架間隔開(kāi)的位置處的質(zhì)量體，和連接在質(zhì) 量體和支承體之間、用于將反作用力從支承體傳輸?shù)劫|(zhì)量體的連接單元。


通過(guò)下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，將更加清楚地理解本發(fā)明的上述和其它目 的、特征和優(yōu)點(diǎn)，其中 圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于抵消反作用力的裝置的基本構(gòu)造的示意 圖； 圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的用于輸入成形修正的軟件振動(dòng)控制單元的方塊圖；
圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法的流程圖；
圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的抵消反作用力的方法的流程圖；并且
圖5是示出使用根據(jù)本發(fā)明的反作用力抵消裝置的涂布機(jī)的立體圖。
具體實(shí)施例方式
將根據(jù)本發(fā)明的反作用力抵消裝置以不同的方式應(yīng)用于精密機(jī)械，所述精密機(jī)械 諸如包括半導(dǎo)體制造設(shè)備和LCD制造設(shè)備的用于精加工的遙控設(shè)備或運(yùn)輸設(shè)備。
下面將參考附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。 圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的反作用力抵消裝置的基本構(gòu)造的示意圖。
參考圖l，將根據(jù)本發(fā)明的反作用力抵消裝置安裝到包括托臺(tái)1、框架2、可動(dòng)體支 承件3和可動(dòng)體5的設(shè)備。 這里，將托臺(tái)1構(gòu)造成充當(dāng)一般的工作臺(tái)。將框架2構(gòu)造成支承托臺(tái)1或與托臺(tái) l分離。此外，將可動(dòng)體支承件3安裝成被支承在框架2上?？蓜?dòng)體5是一種部件，將用于 主要對(duì)放置在工作臺(tái)上的物體執(zhí)行操作的工具安裝到該部件，并該將部件構(gòu)造成在可動(dòng)體 支承件3上沿X軸方向線(xiàn)性移動(dòng)。 由于設(shè)備的一般構(gòu)造對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是眾所周知的，因此這里將省略對(duì) 于該構(gòu)造的詳細(xì)描述。 可動(dòng)體5在可動(dòng)體支承件3上線(xiàn)性移動(dòng)?？蓜?dòng)體5的線(xiàn)性移動(dòng)通常通過(guò)線(xiàn)性馬達(dá) 實(shí)施。這里，將線(xiàn)性馬達(dá)的移動(dòng)部分安裝到可動(dòng)體5，并將固定部分安裝到可動(dòng)體支承件3。
為了構(gòu)造本發(fā)明的反作用力抵消裝置，將固定部分安裝成相對(duì)于可動(dòng)體支承件3 移動(dòng)。由此，不將由可動(dòng)體5沿X軸方向的加速或減速移動(dòng)所產(chǎn)生的反作用力傳遞到包括 可動(dòng)體支承件3的框架2。 可將這種固定部分直接安裝成相對(duì)于可動(dòng)體支承件3移動(dòng)，或通過(guò)輔助結(jié)構(gòu)安裝 成相對(duì)于可動(dòng)體支承件3移動(dòng)。下文中，將固定部分和用于支承固定部分的輔助結(jié)構(gòu)稱(chēng)為 支承體4。 響應(yīng)于X軸驅(qū)動(dòng)控制單元的控制信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)線(xiàn)性馬達(dá)，由此沿著支承體4在X軸 方向上移動(dòng)可動(dòng)體5。 當(dāng)沿X軸方向移動(dòng)可動(dòng)體5時(shí)，將反作用力沿著與可動(dòng)體5的移動(dòng)方向相反的方
6向施加在支承體4上。由于存在反作用力，而出現(xiàn)振動(dòng)。為了減振，安裝反作用力抵消裝置。
根據(jù)本發(fā)明的反作用力抵消裝置使用軟件振動(dòng)控制單元6和機(jī)械反作用力抵消 單元9，由此更理想地減振。 在詳細(xì)描述中，本發(fā)明的反作用力抵消裝置包括軟件振動(dòng)控制單元6和機(jī)械反作 用力抵消單元9。軟件振動(dòng)控制單元6以輸入成形方法修正用于驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的基準(zhǔn)命令 集，并且輸出成形命令以控制可動(dòng)體5的驅(qū)動(dòng)，由此減小在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的過(guò)程中產(chǎn)生的振 動(dòng)。當(dāng)將可動(dòng)體5聯(lián)結(jié)到支承體4，并且在增大或降低速度的同時(shí)沿著支承體4移動(dòng)該可動(dòng) 體5時(shí)，機(jī)械反作用抵消裝置9使用質(zhì)量體7抵消施加在支承體4上的反作用力。
優(yōu)選地，還在可動(dòng)體5上設(shè)置振動(dòng)感測(cè)部分5a，并且該振動(dòng)感測(cè)部分5a探測(cè)在驅(qū) 動(dòng)可動(dòng)體5的過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)，以執(zhí)行反饋控制。
將描述根據(jù)本發(fā)明的反作用力抵消裝置的各個(gè)部分。 首先，當(dāng)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5時(shí)，軟件振動(dòng)控制單元6減弱可動(dòng)體5自身的振動(dòng)(殘余振 動(dòng))，并且同時(shí)減小由可動(dòng)體5的移動(dòng)所產(chǎn)生的反作用力，由此使得系統(tǒng)的振動(dòng)最小化。
參考圖2，軟件振動(dòng)控制單元6以輸入成形方法使用輸入成形器來(lái)計(jì)算并輸出控 制信號(hào)，以輸出用于驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的成形命令。通過(guò)利用輸入成形器中的基準(zhǔn)命令巻積一 系列脈沖來(lái)實(shí)施輸入成形。而后將由巻積產(chǎn)生的成形命令用于驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5。
這里，可通過(guò)有關(guān)可動(dòng)體5的固有頻率和減速比的數(shù)據(jù)所確定的脈沖的振幅和時(shí) 間位置來(lái)確定輸入成形器的脈沖。此外，可在考慮到包括可動(dòng)體5的移動(dòng)速度以及加速和 減速部分的數(shù)量的不同參數(shù)的情況下來(lái)確定脈沖。
這樣，由于使用軟件振動(dòng)控制單元6來(lái)控制可動(dòng)體5的驅(qū)動(dòng)，因此在使得由可動(dòng)體 5的驅(qū)動(dòng)所產(chǎn)生的振動(dòng)的起因最小化的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5。由此，如上所述，減小了可動(dòng) 體的自身振動(dòng)，并且減小了施加在支承體4上的反作用力。 同時(shí)，使用振動(dòng)感測(cè)部分5a探測(cè)在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的過(guò)程中產(chǎn)生的可動(dòng)體5的振 動(dòng)，并且隨后將其進(jìn)行反饋。由此，當(dāng)再次修正成形命令，以輸出新的成形命令時(shí)，可進(jìn)一步 減小在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的過(guò)程中所產(chǎn)生的振動(dòng)。 這種振動(dòng)感測(cè)部分5a在通過(guò)由輸入成形器計(jì)算出的成形命令來(lái)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的 狀態(tài)下，測(cè)量可動(dòng)體5的實(shí)際的振動(dòng)量。當(dāng)振動(dòng)量超過(guò)預(yù)定水平，即基準(zhǔn)振動(dòng)量時(shí)，將它反 饋到輸入成形器，以改變輸入成形器的脈沖，并且輸出新的成形命令，由此減小可動(dòng)體5的 振動(dòng)量。 這種振動(dòng)感測(cè)部分5a可包括振動(dòng)傳感器。將振動(dòng)傳感器安裝在可動(dòng)體5或可探 測(cè)可動(dòng)體的振動(dòng)的位置。此外，振動(dòng)感測(cè)部分5a可使用由于可動(dòng)體5的驅(qū)動(dòng)所導(dǎo)致的加工 工具的位置變化。就是說(shuō)，振動(dòng)感測(cè)部分5a可使用利用代表可動(dòng)體5的實(shí)際移動(dòng)所處的狀 態(tài)的系統(tǒng)數(shù)據(jù)來(lái)間接計(jì)算可動(dòng)體5的振動(dòng)量的方法。 然后，將機(jī)械反作用力抵消單元9安裝成，在通過(guò)軟件振動(dòng)控制單元6使得可動(dòng)體 的自身振動(dòng)最小化的情況下，使用質(zhì)量體7更可靠地減小在可動(dòng)體5移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的反作 用力。 這種機(jī)械反作用力抵消單元9設(shè)置在支承體4的一端上，以通過(guò)連接單元8聯(lián)結(jié) 到質(zhì)量體7。 當(dāng)下面將描述設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體7的方法時(shí)，將詳細(xì)描述設(shè)定質(zhì)量體7的優(yōu)選質(zhì)量的方法。 如上所述，使用軟件振動(dòng)控制單元6減小可動(dòng)體的自身振動(dòng)。同時(shí)，通過(guò)使用機(jī)械
反作用力抵消單元9減小在沿X軸方向?qū)嵤┛蓜?dòng)體5的加速或減速移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的反作用
力，使得施加到系統(tǒng)的振動(dòng)最小化，并且由此可以更理想地控制該振動(dòng)。 此外，基于由振動(dòng)感測(cè)部分5a探測(cè)的可動(dòng)體5的實(shí)際振動(dòng)量，修正并通過(guò)反饋控
制再次控制由輸入成形器計(jì)算出的成形命令，并由此提高了減振能力。 現(xiàn)在，將參考圖3和4描述根據(jù)本發(fā)明的設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法
和使用反作用力抵消裝置抵消反作用力的方法。 圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法的流程圖，并且
圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的抵消反作用力的方法的流程圖。 首先，將參考圖3描述設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法。 在沒(méi)有安裝機(jī)械反作用抵消單元9的狀態(tài)下，以軟件振動(dòng)控制單元6的輸入成形
控制方法驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5。此時(shí)，在減小了可動(dòng)體5的振動(dòng)的狀態(tài)下，測(cè)量可動(dòng)體5的加速度值。 隨后，基于由軟件振動(dòng)控制單元6減小的可動(dòng)體5的加速度值，根據(jù)用于質(zhì)量體7 的目標(biāo)加速度值來(lái)確定機(jī)械反作用力抵消單元9的質(zhì)量體7的質(zhì)量。將以這種方式確定的 質(zhì)量體7通過(guò)連接單元8聯(lián)結(jié)到支承體4。 這里，將通過(guò)具體示例來(lái)描述根據(jù)本發(fā)明的設(shè)定反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方 法。 假定當(dāng)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5時(shí)產(chǎn)生的加速度a0為1G，可動(dòng)體5的加速度可通過(guò)軟件振動(dòng) 控制單元6的控制方法從1G減小到約0. 4G。當(dāng)然，這些是近似的數(shù)值，不是絕對(duì)加速度減縮量。 基于通過(guò)軟件振動(dòng)控制單元6減小的可動(dòng)體5的加速度0. 4G，確定機(jī)械反作用力 抵消單元9的質(zhì)量體7的質(zhì)量。 質(zhì)量體的質(zhì)量根據(jù)支承體和聯(lián)結(jié)到其上的質(zhì)量體的設(shè)定目標(biāo)加速度變化。在這 里，將以目標(biāo)加速度設(shè)定為0. 2G的情況作為一個(gè)示例進(jìn)行描述。 這里，O. 2G代表支承體和質(zhì)量體的最大容許加速度值，該最大容許加速度值已經(jīng) 在前面通過(guò)實(shí)驗(yàn)被確定，以使得系統(tǒng)能夠進(jìn)行最穩(wěn)定的操作。如果以0. 2G或更大的加速度 移動(dòng)與質(zhì)量體聯(lián)結(jié)的支承體(固定部分)4，就過(guò)度增大了可動(dòng)體(移動(dòng)部分)5和支承體4 之間的相對(duì)移動(dòng)范圍，從而使得強(qiáng)烈的振動(dòng)發(fā)生，由此導(dǎo)致整個(gè)系統(tǒng)的不穩(wěn)定操作。由于這 些原因，將描述目標(biāo)加速度設(shè)定為0. 2G的情況。 確定質(zhì)量體7的尺寸的質(zhì)量和加速度之間的關(guān)系由以下方程式給出
[方程式]
F = = m2a2 這里，F(xiàn)表示當(dāng)移動(dòng)可動(dòng)體時(shí)產(chǎn)生的反作用力，mi表示可動(dòng)體的質(zhì)量，&表示可動(dòng) 體的加速度(由軟件振動(dòng)控制單元減小的加速度)，m2表示質(zhì)量體的質(zhì)量，并且a2表示目標(biāo) 加速度(質(zhì)量體的加速度)。 在通過(guò)上述方程式確定質(zhì)量體7的尺寸的情況下，假定由軟件振動(dòng)控制單元6減 小的可動(dòng)體5的加速度ai是0. 4G，將目標(biāo)加速度a2設(shè)定為0. 2G，并且可動(dòng)體5的質(zhì)量為1 ，則可使用以下方程式計(jì)算質(zhì)量體7的質(zhì)量m2。 g卩，lXO. 4 = m2X0. 2，因而質(zhì)量體7的質(zhì)量m2等于2。 這樣，質(zhì)量體7的質(zhì)量m2大約與可動(dòng)體5的質(zhì)量的兩倍一樣重，并且充分抵消
了在可動(dòng)體5的移動(dòng)過(guò)程中所產(chǎn)生的反作用力，由此提供穩(wěn)定的系統(tǒng)操作。 當(dāng)然，如果在軟件振動(dòng)控制單元6中進(jìn)一步減小可動(dòng)體5的加速度A，則同樣將質(zhì)
量體7的質(zhì)量!112設(shè)定為更小。 然而，在與本發(fā)明不同的僅安裝質(zhì)量體7而不使用軟件振動(dòng)控制單元6的情況下，將描述設(shè)計(jì)用于獲得允許如上所述的穩(wěn)定的系統(tǒng)操作的0. 2G的加速度的質(zhì)量體的過(guò)程。
如果可動(dòng)體的加速度A是1G，則在相同的條件下將該值應(yīng)用于以下方程式。
在這種情況下，1X1 =m2' X0. 2。此時(shí)，質(zhì)量體的質(zhì)量m/等于5。
因此，如果僅通過(guò)機(jī)械反作用力抵消單元9使用質(zhì)量體7來(lái)減小反作用力，則當(dāng)將包括支承體的質(zhì)量體7的加速度減小到大約0. 2G時(shí)，就必須提供質(zhì)量與可動(dòng)體5的質(zhì)量的五倍一樣重的質(zhì)量體7。可以看出，需要這樣的質(zhì)量體，其尺寸是在使用軟件振動(dòng)控制單元6以及機(jī)械反作用力抵消單元9來(lái)減小反作用力時(shí)的質(zhì)量體的尺寸的數(shù)倍。
如上所述，如果測(cè)量由軟件振動(dòng)控制單元6減小的可動(dòng)體的加速度，并且基于該加速度來(lái)確定機(jī)械反作用力抵消單元9的質(zhì)量體7的尺寸，使得將反作用力抵消裝置構(gòu)造成，當(dāng)可動(dòng)體5沿X軸方向進(jìn)行加速或減速移動(dòng)，同時(shí)使得質(zhì)量體7的尺寸最小化時(shí)，將由反作用力產(chǎn)生的質(zhì)量體的加速度a2減小到0. 2G或更小，或者幾乎將其消去。因此，可以更理想地控制振動(dòng)，并且可靠且精確地操作該系統(tǒng)。 這將以圖1的虛線(xiàn)示出的質(zhì)量體7A的尺寸減小到以實(shí)線(xiàn)示出的質(zhì)量體7的尺寸，從而簡(jiǎn)化了整個(gè)系統(tǒng)的機(jī)械構(gòu)造，并且可靠和精確的操作是可能的。 如上所述，將參考圖4描述使用軟件振動(dòng)控制單元6和基于控制單元6設(shè)定的機(jī)械反作用力抵消單元9的本發(fā)明的反作用力抵消方法。 當(dāng)將由軟件振動(dòng)控制單元6修正的成形命令輸出到X軸驅(qū)動(dòng)控制單元，由此沿X軸方向驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5時(shí)，在通過(guò)由以輸入成形方法修正的成形命令使得可動(dòng)體5的振動(dòng)最小化的狀態(tài)下，沿X軸方向移動(dòng)可動(dòng)體5。同時(shí)，機(jī)械反作用力抵消單元9消去由可動(dòng)體5的加速或減速移動(dòng)所產(chǎn)生的反作用力。 使用軟件振動(dòng)控制單元6和機(jī)械反作用力抵消單元9抵消在可動(dòng)體5的移動(dòng)過(guò)程
中所產(chǎn)生的振動(dòng)和由反作用力產(chǎn)生的振動(dòng)，由此更有效地減小了整個(gè)系統(tǒng)的振動(dòng)。 此外，可由于安裝到可動(dòng)體5或周?chē)h(huán)境的工具的改變來(lái)改變可動(dòng)體5的固有頻率。 此時(shí)，使用在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5時(shí)探測(cè)實(shí)際振動(dòng)量的振動(dòng)感測(cè)部分5a精確地測(cè)量可動(dòng)體5的振動(dòng)量。當(dāng)測(cè)量到的振動(dòng)量超出基準(zhǔn)振動(dòng)量的范圍時(shí)，根據(jù)實(shí)際振動(dòng)量獲得新的成形命令。響應(yīng)于新的成形命令，控制可動(dòng)體5的X軸驅(qū)動(dòng)。 這樣，通過(guò)測(cè)量可動(dòng)體5的實(shí)際振動(dòng)量，并執(zhí)行反饋控制，能夠連續(xù)地并且更理想地減小會(huì)在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體5的過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)。 現(xiàn)在，將描述根據(jù)本發(fā)明的使用反作用力抵消裝置的涂布機(jī)。 圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的使用反作用力抵消裝置的涂布機(jī)的立體圖。 根據(jù)本發(fā)明的涂布機(jī)是具有上述反作用力抵消裝置的涂布機(jī)。
9
參考圖5，將根據(jù)本發(fā)明的涂布機(jī)構(gòu)造成，在構(gòu)成LCD的基板S上形成密封圖案或液晶層，并且包括托臺(tái)15，框架10，頭支承件20和頭單元30?；錝安裝在托臺(tái)15上?？蚣?0支承托臺(tái)15。頭支承件20以沿Y軸方向移動(dòng)的方式安裝在框架10上。頭單元30由頭支承件20以沿X軸方向移動(dòng)的方式支承，并且設(shè)置有噴嘴，由此將密封膠或液晶涂布在安裝在托臺(tái)15上的基板S上。 頭支承件20橫向地放置在托臺(tái)15的上部上，并且在其兩端被支承到框架10的上部。將頭支承件20以通過(guò)諸如線(xiàn)性馬達(dá)的Y軸驅(qū)動(dòng)單元25沿Y軸方向線(xiàn)性移動(dòng)的方式進(jìn)行安裝，所述Y軸驅(qū)動(dòng)單元25設(shè)置在支承在框架10上的頭支承件20的兩端上。當(dāng)每個(gè)Y軸驅(qū)動(dòng)單元25包括線(xiàn)性馬達(dá)時(shí)，Y軸驅(qū)動(dòng)單元25包括安裝到框架10的固定部分26和安裝到頭支承件20的移動(dòng)部分27。 多個(gè)頭單元30安裝于頭支承件20。每個(gè)頭單元30設(shè)置有噴嘴，該噴嘴將密封膠涂布或滴到安裝在托臺(tái)15上的基板S。 將頭單元30以沿頭支承件20的縱向，即X軸方向移動(dòng)的方式進(jìn)行設(shè)置。通過(guò)包括線(xiàn)性馬達(dá)的X軸驅(qū)動(dòng)單元35沿X軸方向移動(dòng)頭單元30。這里，優(yōu)選的是，X軸驅(qū)動(dòng)單元35包括線(xiàn)性馬達(dá)。在這種情況下，X軸驅(qū)動(dòng)單元35包括以沿X軸方向延伸的方式安裝到頭支承件20的固定部分36和安裝到各個(gè)頭單元30的移動(dòng)部分37。 這里，將固定部分36安裝成相對(duì)于頭支承件20沿X軸方向移動(dòng)，由此防止將在包
括移動(dòng)部分37的每個(gè)頭單元30移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的反作用力傳遞到頭支承件20。 在如此構(gòu)造的涂布機(jī)中，在沿頭支承件20在X軸方向上移動(dòng)頭單元30，并且在框
架10上沿Y軸方向移動(dòng)頭支承件20時(shí)，相對(duì)于基板沿X軸和Y軸方向移動(dòng)噴嘴，由此將密
封膠或液晶涂布到基板。 涂布機(jī)設(shè)置有軟件振動(dòng)控制單元6'和機(jī)械反作用力抵消單元50，以便當(dāng)沿X軸方向移動(dòng)每個(gè)頭單元30時(shí)，使得振動(dòng)最小化。這里，將軟件振動(dòng)控制單元6'構(gòu)造成，使用輸入到振動(dòng)感測(cè)部分5a'中的信號(hào)來(lái)執(zhí)行反饋控制，振動(dòng)感測(cè)部分5a'探測(cè)每個(gè)頭單元30中產(chǎn)生的振動(dòng)。 由于軟件振動(dòng)控制單元6'和振動(dòng)感測(cè)部分5a'與參考圖1描述的反作用力抵消裝置的軟件振動(dòng)控制單元和振動(dòng)感測(cè)部分具有相同的構(gòu)造和操作，因此這里將省略重復(fù)描述。 然而，將圖1所示設(shè)備中的機(jī)械反作用力抵消單元9構(gòu)造成，減小由在單軸傳遞系統(tǒng)中的可動(dòng)體5的移動(dòng)產(chǎn)生的反作用力，其中不沿Y軸方向移動(dòng)支承體4，而是僅沿X軸方向移動(dòng)可動(dòng)體5。同時(shí)，將根據(jù)本實(shí)施例的涂布機(jī)構(gòu)造成，使得在沿Y軸方向移動(dòng)頭支承件20時(shí)，沿Y軸方向移動(dòng)固定部分36和每個(gè)頭單元30。 這樣，將應(yīng)用于本發(fā)明的涂布機(jī)的機(jī)械反作用力抵消單元50構(gòu)造成，即使改變頭單元30的Y軸位置，也不斷減小在每個(gè)頭單元30的移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的X軸反作用力。
在如上述構(gòu)造的機(jī)械反作用力抵消單元50中，在軟件振動(dòng)控制單元6'的控制下，使得每個(gè)頭單元30的振動(dòng)最小化的狀態(tài)下，設(shè)定質(zhì)量體51的質(zhì)量，由此減小在驅(qū)動(dòng)頭單元30的過(guò)程中產(chǎn)生的X軸反作用力。 于此在下文中，將詳細(xì)描述將要應(yīng)用于涂布機(jī)的機(jī)械反作用力抵消單元50。
機(jī)械反作用力抵消單元50包括安裝成與框架10間隔開(kāi)的質(zhì)量體51，以及聯(lián)結(jié)在質(zhì)量體51和固定部分36之間，以將反作用力從支承體傳遞到質(zhì)量體51的連接單元55。
優(yōu)選地，每個(gè)質(zhì)量體51安裝在與框架10間隔開(kāi)的位置處。 可以通過(guò)本發(fā)明的設(shè)定質(zhì)量體的方法適當(dāng)?shù)卮_定每個(gè)質(zhì)量體51的質(zhì)量和數(shù)量。
將連接單元55安裝成，即使改變頭單元30的Y軸位置，也使用每個(gè)質(zhì)量體51抵消由每個(gè)頭單元30的X軸移動(dòng)產(chǎn)生的反作用力。 也就是說(shuō)，在本發(fā)明的涂布機(jī)中，每個(gè)頭單元30沿固定部分36在X軸方向上移動(dòng)，并且同時(shí)，沿Y軸方向移動(dòng)頭支承件20。由此，當(dāng)在頭支承件20沿Y軸方向移動(dòng)，并且改變頭單元30的實(shí)際Y軸位置的狀態(tài)下，沿X軸方向移動(dòng)頭單元30時(shí)，可以使用連接單元55和質(zhì)量體51抵消反作用力。 這種連接單元55包括聯(lián)結(jié)器70和連接引導(dǎo)件60。將每個(gè)聯(lián)結(jié)器70安裝成，從相關(guān)聯(lián)的固定部分36沿X軸方向伸出。連接引導(dǎo)件60由質(zhì)量體51支承，使得聯(lián)結(jié)器70相對(duì)于連接引導(dǎo)件60沿Y軸方向移動(dòng)。 每個(gè)聯(lián)結(jié)器70以沿X軸方向伸出的方式安裝到相關(guān)聯(lián)的固定部分36的一端，并且包括這樣的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)具有能夠?qū)⒃诿總€(gè)頭單元30的移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的反作用力充分傳遞到質(zhì)量體51的強(qiáng)度。在圖中，將頭單元30劃分為分別設(shè)置在頭支承件20的相對(duì)側(cè)上的液晶滴落頭單元和密封膠涂布頭單元。由此，聯(lián)結(jié)器70聯(lián)結(jié)到設(shè)置在頭支承件20的相對(duì)側(cè)上的相應(yīng)固定部分36。 連接引導(dǎo)件60以沿Y軸方向延伸的方式設(shè)置到框架10的一側(cè)，并且具有可聯(lián)結(jié)聯(lián)結(jié)器70的高度。 聯(lián)結(jié)器70和連接引導(dǎo)件60優(yōu)選地通過(guò)陰陽(yáng)聯(lián)結(jié)方法彼此聯(lián)結(jié)。這里，聯(lián)結(jié)器70聯(lián)結(jié)到連接引導(dǎo)件60，以便相對(duì)于連接引導(dǎo)件60限制聯(lián)結(jié)器70的X軸移動(dòng)，并且使得聯(lián)結(jié)器70能夠相對(duì)于連接引導(dǎo)件60進(jìn)行Y軸移動(dòng)。 此外，將連接引導(dǎo)件60安裝成由質(zhì)量體51支承。這里，由于連接將引導(dǎo)件60定向成沿Y軸方向是長(zhǎng)的。由此，為了穩(wěn)定地支承連接引導(dǎo)件60，優(yōu)選地安裝多個(gè)質(zhì)量體51。附圖示出安裝了兩個(gè)質(zhì)量體51，并且連接引導(dǎo)件60支承在兩個(gè)質(zhì)量體51的上端上的構(gòu)造。
同時(shí)，優(yōu)選地在每個(gè)聯(lián)結(jié)器70和連接引導(dǎo)件60之間的接合處中安裝支承件，以使得Y軸相對(duì)移動(dòng)能夠平穩(wěn)地執(zhí)行。支承件設(shè)置在每個(gè)聯(lián)結(jié)器70和連接引導(dǎo)件60的凹槽62之間的接觸面中，所述接觸面例如每個(gè)聯(lián)結(jié)器70的端表面，上表面或下表面。只要支承件使得執(zhí)行相對(duì)移動(dòng)的物體之間的摩擦力最小化，并且使得每個(gè)聯(lián)結(jié)器70能夠平穩(wěn)地移動(dòng)，就可以使用任何已知的支承件。 如下操作如上所述構(gòu)造的根據(jù)本發(fā)明的涂布機(jī)。就是說(shuō)，當(dāng)在將每個(gè)聯(lián)結(jié)器70的端部插入連接引導(dǎo)件60的凹槽62中的狀態(tài)下，頭支承件20沿Y軸方向移動(dòng)時(shí)，聯(lián)結(jié)到相應(yīng)固定部分36的聯(lián)結(jié)器70的端部沿連接引導(dǎo)件60的凹槽62移動(dòng)。在這種狀態(tài)下，當(dāng)每個(gè)頭單元30沿X軸方向移動(dòng)，并且將反作用力施加到固定部分36時(shí)，就將傳遞到每個(gè)聯(lián)結(jié)器70的反作用力通過(guò)連接引導(dǎo)件60傳遞到聯(lián)結(jié)器70連接于質(zhì)量體51的端部。由此，反作用力由質(zhì)量體51的動(dòng)能抵消。 這樣，即使在沿Y軸方向移動(dòng)頭單元30時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的涂布機(jī)也可使用軟件振動(dòng)控制單元6'以及具有連接單元55和質(zhì)量體51的機(jī)械反作用力抵消單元50，連續(xù)減小由X軸反作用力導(dǎo)致的振動(dòng)。
如上所述，本發(fā)明提供一種用于抵消反作用力的裝置，一種設(shè)定所述裝置的質(zhì)量體的方法，一種用于使用所述裝置抵消反作用力的方法，以及一種具有所述裝置的涂布機(jī)，所述裝置、所述方法和所述涂布機(jī)使用軟件振動(dòng)控制單元和機(jī)械反作用力抵消單元，由此更理想地減小了由在X軸驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的反作用力導(dǎo)致的振動(dòng)，因此完成更精確的工作。 此外，本發(fā)明基于軟件振動(dòng)控制單元的減振能力設(shè)定構(gòu)成機(jī)械反作用力抵消單元的質(zhì)量體的質(zhì)量，由此使得質(zhì)量體最小化，因而簡(jiǎn)化了整個(gè)遙控設(shè)備和機(jī)器結(jié)構(gòu)，并使得減振效果最大化。 雖然出于示例性的目的已經(jīng)公開(kāi)了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，在不背離如所附權(quán)利要求中公開(kāi)的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，多種修改，添加和替代是可能的。
權(quán)利要求
一種用于抵消反作用力的裝置，包括支承體，所述支承體以相對(duì)于可動(dòng)體支承件沿X軸方向移動(dòng)的方式安裝到所述可動(dòng)體支承件；可動(dòng)體，所述可動(dòng)體沿著所述支承體在X軸方向上線(xiàn)性移動(dòng)；軟件振動(dòng)控制單元，所述軟件振動(dòng)控制單元以輸入成形方法修正用于所述可動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)的基準(zhǔn)命令集，并且輸出以所述輸入成形方法修正的成形命令，以控制所述可動(dòng)體的驅(qū)動(dòng)，由此減小在驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)體時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)；和機(jī)械反作用力抵消單元，所述機(jī)械反作用力抵消單元聯(lián)結(jié)到所述支承體，并且使用質(zhì)量體來(lái)抵消在沿著所述支承體加速或減速所述可動(dòng)體時(shí)施加在所述支承體上的反作用力。
2. 如權(quán)利要求1中所述的裝置，還包括振動(dòng)感測(cè)部分，所述振動(dòng)感測(cè)部分用于探測(cè)在驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)體過(guò)程中產(chǎn)生的所述可動(dòng) 體的振動(dòng)，其中響應(yīng)于在驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的、并且由所述振動(dòng)感測(cè)部分探測(cè)到的實(shí)際振 動(dòng)感測(cè)結(jié)果，所述軟件振動(dòng)控制單元修正所述成形命令，并輸出命令。
3. 如權(quán)利要求1中所述的裝置，其中所述機(jī)械反作用力抵消單元包括通過(guò)連接單元聯(lián) 結(jié)到所述支承體的質(zhì)量體。
4. 一種設(shè)定在權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的反作用力抵消裝置的質(zhì)量體的方法，所 述方法包括a) 在通過(guò)軟件振動(dòng)控制單元的輸入成形控制方法使振動(dòng)的產(chǎn)生減小的狀態(tài)下，測(cè)量可 動(dòng)體的加速度值；禾口b) 基于在a)步驟測(cè)量到的所述可動(dòng)體的加速度值，設(shè)定機(jī)械反作用力抵消單元的質(zhì) 量體的目標(biāo)加速度，并且確定所述機(jī)械反作用力抵消單元的所述質(zhì)量體的質(zhì)量。
5. —種使用權(quán)利要求2中所述的反作用力抵消裝置來(lái)抵消反作用力的方法，所述方法 包括a) 使用軟件振動(dòng)控制單元將在驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)最小化，并且使用機(jī)械 反作用力抵消單元減小在沿X軸方向加速或減速所述可動(dòng)體時(shí)產(chǎn)生的反作用力導(dǎo)致的振 動(dòng)；b) 在a)進(jìn)行的同時(shí)，測(cè)量由振動(dòng)感測(cè)部分探測(cè)到的所述可動(dòng)體的振動(dòng)量，并且將所述 振動(dòng)量反饋到所述軟件振動(dòng)控制單元；以及c) 使用在b)處反饋的數(shù)據(jù)，在所述軟件振動(dòng)控制單元中修正成形命令，由此進(jìn)行控 制，以將在驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的所述振動(dòng)最小化。
6. —種涂布機(jī)，包括框架，所述框架用于支承其上安裝有基板的托臺(tái)；頭支承件，所述頭支承件以沿Y軸方向移動(dòng)的方式安裝到所述框架的上部； 支承體，所述支承體以相對(duì)于所述頭支承件沿X軸方向移動(dòng)的方式安裝到所述頭支承件；頭單元，所述頭單元由所述支承體以沿所述X軸方向移動(dòng)的方式支承，并且具有噴嘴， 從而將密封膠或液晶涂布到安裝在所述托臺(tái)上的基板；X軸驅(qū)動(dòng)單元，所述X軸驅(qū)動(dòng)單元用于沿所述支承體在所述X軸方向上移動(dòng)所述頭單兀；軟件振動(dòng)控制單元，所述軟件振動(dòng)控制單元以輸入成形方法修正用于所述頭單元的驅(qū) 動(dòng)的基準(zhǔn)命令集，并且輸出以所述輸入成形方法修正的成形命令，以控制所述頭單元的驅(qū) 動(dòng)，由此減小在驅(qū)動(dòng)所述頭單元時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)；禾口機(jī)械反作用力抵消單元，甚至是在沿Y軸方向移動(dòng)所述頭支承件，以致所述支承體和 所述頭單元的位置沿所述Y軸方向被改變時(shí)，所述機(jī)械反作用力抵消單元也用于使用聯(lián)結(jié) 到所述支承體的質(zhì)量體來(lái)抵消在沿X軸方向移動(dòng)所述頭單元時(shí)施加在所述支承體上的反 作用力。
7. 如權(quán)利要求6中所述的涂布機(jī)，還包括振動(dòng)感測(cè)部分，所述振動(dòng)感測(cè)部分用于探測(cè)在驅(qū)動(dòng)所述頭單元的過(guò)程中產(chǎn)生的所述頭 單元的振動(dòng)，其中響應(yīng)于在驅(qū)動(dòng)所述頭單元過(guò)程中產(chǎn)生的、并且由所述振動(dòng)感測(cè)部分探測(cè)到的實(shí)際振動(dòng) 感測(cè)結(jié)果，所述軟件振動(dòng)控制單元修正所述成形命令，并輸出命令。
8. 如權(quán)利要求6中所述的涂布機(jī)，其中所述機(jī)械反作用力抵消單元包括質(zhì)量體，所述質(zhì)量體安裝在與所述框架間隔開(kāi)的位置處；禾口連接單元，所述連接單元連接在所述質(zhì)量體和所述支承體之間，以將反作用力從所述 支承體傳遞到所述質(zhì)量體。
全文摘要
這里公開(kāi)了一種用于抵消反作用力的裝置，一種設(shè)定所述裝置的質(zhì)量體的方法，一種用于使用所述裝置來(lái)抵消反作用力的方法，和一種具有所述裝置的涂布機(jī)，所述裝置、所述方法和所述涂布機(jī)使用軟件振動(dòng)控制單元和機(jī)械反作用力抵消單元，由此更理想地減小在X軸驅(qū)動(dòng)可動(dòng)體的過(guò)程中產(chǎn)生的反作用力所產(chǎn)生的振動(dòng)，因而實(shí)現(xiàn)了很精確的傳遞系統(tǒng)。
文檔編號(hào)B41J25/00GK101734024SQ2009100030
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2009年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月20日
發(fā)明者徐容珪, 柳道鉉 申請(qǐng)人:塔工程有限公司