液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法、液滴噴出裝置和電光裝置的制作方法

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專利名稱：液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法、液滴噴出裝置和電光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法、液滴噴出裝置和電光裝置。
背景技術(shù)：
一般地，液晶顯示器安裝具有多個(gè)像素的濾色器襯底。濾色器襯底的各像素接收來(lái)自光源的光，使特定波長(zhǎng)的光透過(guò)，在液晶顯示器上顯示全色圖像。在濾色器的制造步驟中，為了謀求生產(chǎn)性的提高或生產(chǎn)成本的降低，采用利用液滴噴出頭的噴墨法(例如，專利文獻(xiàn)O。
液滴噴出頭具有貯存液體的多個(gè)腔、與該腔連通并且在一個(gè)方向上排列的多個(gè)噴嘴、把各腔內(nèi)的液體加壓的多個(gè)致動(dòng)器(例如，壓電元件或電阻加熱元件等)。液滴噴出頭輸入根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的致動(dòng)器中公共的驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)，從與各致動(dòng)器對(duì)應(yīng)的噴嘴噴出液體的液滴。噴墨法對(duì)液滴噴出頭供給濾色器材料，向?yàn)V色器襯底噴出濾色器材料的液滴，使命中襯底上的液滴干燥，從而形成像素。
噴墨法伴隨著描畫(huà)對(duì)象的高精彩化，希望灰度表現(xiàn)優(yōu)異的描畫(huà)。專利
文獻(xiàn)2設(shè)置了用于生成與墨水的噴出量對(duì)應(yīng)的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電壓波形的公共波形發(fā)生部件，根據(jù)灰度數(shù)據(jù)信號(hào)，選擇公共波形發(fā)生部件生成的驅(qū)動(dòng)電壓波形中的任意一個(gè)，并提供給致動(dòng)器。據(jù)此，能根據(jù)不同的驅(qū)動(dòng)電壓波形使液滴的尺寸變更，從而使得對(duì)噴嘴的內(nèi)徑或噴嘴的形成節(jié)距等不實(shí)施設(shè) 計(jì)變更的優(yōu)異的灰度表現(xiàn)成為可能。特開(kāi)平8-146214號(hào)公報(bào)特開(kāi)平9-11457號(hào)公報(bào)
所述噴墨法使濾色器襯底和液滴噴出頭在給定的掃描方向相對(duì)移動(dòng)，對(duì)各致動(dòng)器以給定的噴出頻率輸入所述的驅(qū)動(dòng)電壓波形。據(jù)此，排列的噴嘴的液滴以給定的噴出頻率依次噴出，沿著濾色器襯底的掃描方向，依次描畫(huà)液體的圖案。
可是，如果在排列的噴嘴的列內(nèi)在液滴的重量上產(chǎn)生偏移，則重量大的液滴或重量小的液滴沿著濾色器襯底的掃描方向連續(xù)。結(jié)果，沿著濾色器襯底的掃描方向，形成膜厚的臺(tái)階，使液晶顯示器的顯示圖像質(zhì)量顯著下降。
因此，如果能在各噴嘴上校正液滴的重量，就能提高膜厚的均一性，進(jìn)而能提高液晶顯示器的顯示圖像質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決所述問(wèn)題而提出的，其目的在于，提供一種能夠提高由噴出液滴所形成的膜圖案的膜厚均一性的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法、液滴噴出裝置和電光裝置。
本發(fā)明的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法包括將與噴出的液滴的重量對(duì)應(yīng)的等級(jí)對(duì)多個(gè)噴嘴的每一個(gè)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的等級(jí)設(shè)定步驟；按每個(gè)所述等級(jí) 生成驅(qū)動(dòng)所述噴嘴的致動(dòng)器、并把所述液滴的重量校正為預(yù)先規(guī)定的給定重量的驅(qū)動(dòng)波形的驅(qū)動(dòng)波形生成步驟；對(duì)根據(jù)所述描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的所述噴嘴的致動(dòng)器，供給與所述選擇的噴嘴的所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形，從選擇的所述噴嘴向?qū)ο笪飮姵鏊鼋o定重量的液滴的液滴噴出步驟。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的噴嘴接收與設(shè)定的等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形，噴出預(yù)先規(guī)定的給定重量的液滴。因此，多個(gè)噴嘴的每一個(gè)通過(guò)按每個(gè)等級(jí)生成的驅(qū)動(dòng)波形，把噴出的液滴的重量規(guī)格化為給定的重量。結(jié)果，按每個(gè)噴嘴來(lái)校正液滴的重量，所以能夠提高由液滴構(gòu)成的薄膜的膜厚均一性。
作為該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，可以構(gòu)成為所述液滴噴出步驟對(duì)于全部的所述噴嘴，把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)，對(duì)于全部的所述噴嘴，設(shè)定所述液滴的噴出和非噴出。
根據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，與液滴噴出、非噴出無(wú)關(guān)，對(duì)于全部噴嘴，把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。因此，根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的噴嘴更可靠地由對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形來(lái)驅(qū)動(dòng)。
作為該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，可以構(gòu)成為所述液滴噴出步驟每當(dāng) 對(duì)于全部的所述噴嘴而設(shè)定所述液滴的噴出和非噴出時(shí)，對(duì)于全部的所述
噴嘴，把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。
根據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，每當(dāng)設(shè)定液滴的噴出動(dòng)作時(shí)，對(duì)于各噴嘴，把驅(qū)動(dòng)波形迸行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。因此，噴出液滴的全部噴嘴更可靠地由對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形驅(qū)動(dòng)。
作為該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，可以構(gòu)成為所述液滴噴出步驟在對(duì) 于全部的所述噴嘴、把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)之后，對(duì)于全部的所述噴嘴，重復(fù)所述液滴的噴出、非噴出的設(shè)定。
根據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，與液滴噴出、非噴出無(wú)關(guān)，對(duì)于全部噴嘴，只一次把驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)，然后，能重復(fù)液滴的噴出動(dòng)作。因此，對(duì)于單一的噴嘴，能繼續(xù)把公共的驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)，噴出液滴的全部噴嘴更可靠地由對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形驅(qū)動(dòng)。
本發(fā)明的液滴噴出裝置是從與設(shè)置在液滴噴出頭上的多個(gè)致動(dòng)器的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)的噴嘴噴出液滴的液滴噴出裝置，包括根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)，生成對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把所述液滴噴出、非噴出進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的輸出控制信號(hào)的輸出控制信號(hào)生成部件；存儲(chǔ)對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把按照所述液滴的重量而設(shè)定的等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的信息的存儲(chǔ)部件；按每個(gè)所述等級(jí)，生成與所述等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)并把所述液滴的重量校正為預(yù)先規(guī)定的給定重量的驅(qū)動(dòng)波形的驅(qū)動(dòng)波形生成部件；使用所述存儲(chǔ)部件存儲(chǔ)的所述信息，生成對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把與所述等級(jí) 對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)后的公共選擇控制信號(hào)的公共選擇控制信號(hào)生成部件；根據(jù)所述公共選擇控制信號(hào)和所述輸出控制信號(hào)，對(duì)噴出所述液滴的所述噴嘴的所述致動(dòng)器，輸出與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形的輸出部件。
根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，基于描畫(huà)數(shù)據(jù)而選擇的噴嘴，接收與設(shè) 定的等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形，噴出預(yù)先設(shè)定的給定重量的液滴。因此，多個(gè) 噴嘴的每一個(gè)通過(guò)每個(gè)等級(jí)的驅(qū)動(dòng)波形，把噴出的液滴的重量規(guī)格化為給定的重量。結(jié)果，由于按每個(gè)噴嘴來(lái)校正液滴的重量，所以能夠提高由液滴構(gòu)成的薄膜的膜厚均一性。
作為該液滴噴出裝置，可以構(gòu)成為所述公共選擇控制信號(hào)生成部件生成與所述輸出控制信號(hào)同步的所述公共選擇控制信號(hào)，所述輸出部件根
據(jù)所述輸出控制信號(hào)、與所述輸出控制信號(hào)同步的所述公共選擇控制信號(hào)，對(duì)噴出所述液滴的所述噴嘴的所述致動(dòng)器輸出與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形。
根據(jù)該液滴噴出裝置，每當(dāng)執(zhí)行液滴的噴出動(dòng)作時(shí)，對(duì)于各噴嘴，把驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。因此，噴出液滴的全部噴嘴更可靠地由對(duì)應(yīng)的驅(qū) 動(dòng)波形驅(qū)動(dòng)。
作為該液滴噴出裝置，可以構(gòu)成為所述公共選擇控制信號(hào)生成部件在所述輸出控制信號(hào)之前，先行生成所述公共選擇控制信號(hào)，所述輸出部件每當(dāng)接收所述輸出控制信號(hào)時(shí)，使用所述先行生成的公共選擇控制信號(hào)，對(duì)噴出所述液滴的所述噴嘴的所述致動(dòng)器輸出與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形。
根據(jù)該液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，對(duì)于全部噴嘴，只一次把驅(qū)動(dòng)波形進(jìn) 行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)，然后，能夠使液滴的噴出動(dòng)作重復(fù)。因此，對(duì)于單一的噴嘴，能繼續(xù)把公共的驅(qū)動(dòng)波形對(duì)應(yīng)，全部噴嘴更可靠地由對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形驅(qū) 動(dòng)。
作為該液滴噴出裝置，可以構(gòu)成為具有用于計(jì)測(cè)所述液滴的重量的液滴重量裝置。
根據(jù)該液滴噴出裝置，能夠計(jì)測(cè)液滴的重量，與用另一種外部裝置計(jì) 測(cè)液滴的重量的情形相比，能取得更正確的重量。進(jìn)而能把液滴的重量更正確地規(guī)格化。
本發(fā)明的電光裝置是具有使對(duì)襯底噴出的液滴干燥而形成的薄膜的電光裝置，所述薄膜由所述液滴噴出裝置形成。
根據(jù)本發(fā)明的電光裝置，能提高各種薄膜的膜厚均一性。進(jìn)而能提高電光裝置的光學(xué)特性。

圖1是說(shuō)明液晶顯示裝置的立體圖。
圖2是說(shuō)明濾色器襯底的立體圖。圖3是說(shuō)明液滴噴出裝置的立體圖。圖4是說(shuō)明液滴噴出頭的立體圖。
圖5是說(shuō)明液滴噴出頭的主要部分剖視圖。
圖6是說(shuō)明液滴噴出裝置的電結(jié)構(gòu)的電方框電路圖。
圖7是說(shuō)明噴嘴的等級(jí)的圖。
圖8是說(shuō)明驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的圖。
圖9是說(shuō)明串行圖案數(shù)據(jù)的圖。
圖IO是說(shuō)明圖案數(shù)據(jù)的時(shí)序圖。
圖11是說(shuō)明串行公共選擇數(shù)據(jù)的圖。
圖12是說(shuō)明等級(jí)和驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的關(guān)聯(lián)的圖。
圖13是說(shuō)明頭驅(qū)動(dòng)電路的電方框電路圖。
圖14是說(shuō)明輸出控制信號(hào)生成電路的電方框電路圖。
圖15是說(shuō)明圖案數(shù)據(jù)合成電路的電路圖。
圖16是說(shuō)明公共選擇控制信號(hào)生成電路的電路圖。
圖17是說(shuō)明公共選擇數(shù)據(jù)譯碼電路的電路圖。
圖18是說(shuō)明頭驅(qū)動(dòng)電路的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。
圖19是說(shuō)明變更例的頭驅(qū)動(dòng)電路的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。
符號(hào)說(shuō)明
CF作為薄膜的濾色器；D液滴；N噴嘴；Ip描畫(huà)數(shù)據(jù)；PI輸出控制信號(hào)；PXA、 PXB、 PXC、 PXD公共選擇控制信號(hào)；PZ作為致動(dòng)器的壓電元件；10液滴噴出裝置；18液滴噴出頭；23液滴重量裝置；33作為存儲(chǔ)部件的RAM; 36作為驅(qū)動(dòng)波形生成部件的驅(qū)動(dòng)波形生成電路；50 作為輸出控制信號(hào)生成部件的輸出控制信號(hào)生成電路；60作為公共選擇控制信號(hào)生成部件的公共選擇控制信號(hào)生成電路；70構(gòu)成輸出部件的輸出合成電路。
具體實(shí)施例方式
以下，按照?qǐng)D1~圖18，說(shuō)明把本發(fā)明具體化的一個(gè)實(shí)施例。首先，說(shuō)明作為電光裝置的液晶顯示裝置1。圖1是表示液晶顯示裝置的全體的立體圖，圖2是表示液晶顯示裝置中設(shè)置的濾色器襯底的立體圖。
在圖1中，液晶顯示裝置1具有背光照明2和液晶面板3。背光照明 2使從光源4出射的光照射到液晶面板3的整個(gè)面上。液晶面板3具有元件襯底5和濾色器襯底6，這些元件襯底5和濾色器襯底6由四角框狀的密封材料7粘貼，在其間隙封入液晶LC。液晶LC調(diào)制來(lái)自背光照明2 的光，在濾色器襯底6的上面顯示希望的圖像。
在圖2中，在濾色器襯底6的上面(圖1的下面與元件襯底5相對(duì) 置的側(cè)面)形成格子狀的遮光層8和由該遮光層8包圍的多個(gè)空間(像素 9)。遮光層8由包含絡(luò)或碳?jí)K等遮光性材料的樹(shù)脂形成，把液晶LC的透過(guò)的光遮光。在各像素9內(nèi)，形成作為用于透過(guò)特定波長(zhǎng)的光的薄膜的濾色器CF。濾色器CF例如具有透過(guò)紅色的光的紅色濾色器CFR、透過(guò)綠色的光的綠色濾色器CFG、透過(guò)藍(lán)色的光的藍(lán)色濾色器CFB。利用本發(fā)明的液滴噴出裝置，形成濾色器CF。即，通過(guò)向?qū)?yīng)的像素9內(nèi)噴出各濾色器材料的液滴和把命中各像素9內(nèi)的液滴干燥，來(lái)形成濾色器CF。
這里，把濾色器襯底6的上面(圖l的下面)稱作噴出面6a。
下面，說(shuō)明用于形成所述濾色器CF的液滴噴出裝置。圖3是表示液滴噴出裝置的全體立體圖。
在圖3中，液滴噴出裝置10具有形成為長(zhǎng)方體形狀的基臺(tái)11。在基臺(tái)11的上面，形成沿著其長(zhǎng)度方向(Y方向)延伸的一對(duì)引導(dǎo)溝12，在一對(duì)引導(dǎo)溝12中安裝襯底臺(tái)13。襯底臺(tái)13與設(shè)置在基臺(tái)11上的臺(tái)電動(dòng) 機(jī)的輸出軸連接。襯底臺(tái)13在噴出面6a為上側(cè)的狀態(tài)下，安放濾色器襯底6，定位固定該濾色器襯底6。襯底臺(tái)13在臺(tái)電動(dòng)機(jī)正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)時(shí)，沿著引導(dǎo)溝12以給定的速度掃描，沿著Y方向?qū)V色器襯底6掃描。
在基臺(tái)ll的上側(cè)，沿著與Y方向正交的X方向，架設(shè)形成門形的引導(dǎo)構(gòu)件14。在引導(dǎo)構(gòu)件14的上側(cè)配置墨水容器15。墨水容器15忙存包含濾色器材料的液體(濾色器用墨水Ik)，以給定的壓力導(dǎo)出濾色器用墨水Ik。
在引導(dǎo)構(gòu)件14，形成在X方向延伸的上下一對(duì)的導(dǎo)軌16，在上下一對(duì)的導(dǎo)軌16上安裝滑架17。滑架17與設(shè)在引導(dǎo)構(gòu)件14上的滑架電動(dòng)機(jī) 的輸出軸連接。在滑架17的下側(cè)，安裝在X方向排列的多個(gè)液滴噴出頭 18 (以下，只稱作噴出頭18)?；?7在滑架電動(dòng)機(jī)正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)時(shí)，沿著導(dǎo)軌16掃描，使各噴出頭18沿著X方向掃描。
圖4是從下側(cè)(襯底臺(tái)13)觀察噴出頭18的圖，圖5是圖4的A-A
線剖視圖。
在圖4中，在噴出頭18的上側(cè)(圖3的下側(cè))設(shè)置噴嘴板19。在噴嘴板19的上面(圖3的下面)形成與濾色器襯底6平行的噴嘴形成面19a，在該噴嘴形成面19a上，沿著X方向，以等間隔排列以噴嘴形成面19a的法線方向貫通的180個(gè)通孔(噴嘴N)。在噴出頭18的下側(cè)(圖3的上側(cè)) 設(shè)置頭襯底20，在該頭襯底20的一側(cè)端，設(shè)置輸入端子20a。在輸入端子20a上輸入用于驅(qū)動(dòng)噴出頭18的各種信號(hào)。
在圖5中，在各噴嘴N的上側(cè)，形成分別與墨水容器15連通的腔21。各腔21分別貯存墨水容器15導(dǎo)出的濾色器用墨水Ik，向?qū)?yīng)的噴嘴N供給。在各腔21的上側(cè)，粘貼能在上下方向振動(dòng)的振動(dòng)板22，使得能夠擴(kuò) 大和縮小對(duì)應(yīng)的腔2i的容積。在振動(dòng)板22的上側(cè)，分別配置作為致動(dòng)器的壓電元件PZ。各壓電元件PZ在分別用于驅(qū)動(dòng)壓電元件PZ的信號(hào)(驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)(COM))被輸入時(shí)，在上下方向收縮和伸張，從而使對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板22振動(dòng)。
各腔21在分別對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板22振動(dòng)時(shí)，使對(duì)應(yīng)的噴嘴N的彎液面在上下方向振動(dòng)，從對(duì)應(yīng)的噴嘴N，把與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM (驅(qū)動(dòng)電壓) 對(duì)應(yīng)的給定重量的濾色器用墨水Ik作為液滴D噴出。噴出的液滴D沿著濾色器襯底6的大致法線飛行，命中與噴嘴N相對(duì)置的噴出面6a上的位置。
圖4中，在基臺(tái)11的左側(cè)配置液滴重量裝置23。液滴重量裝置23 按每個(gè)噴嘴N計(jì)測(cè)液滴D的重量(實(shí)際重量Iw)，能使用眾所周知的重量計(jì)測(cè)裝置。對(duì)液滴重量裝置23能使用例如由托盤接受噴出的液滴D而稱量液滴D的電子天平。此外，對(duì)液滴重量裝置23能使用這種裝置其利用具有電極的壓電振子，向該電極噴出液滴D，根據(jù)由于液滴D的命中而變化的壓電振子的共振頻率，檢測(cè)液滴D的實(shí)際重量Iw。
這里，把從列內(nèi)的全部噴嘴N噴出的各液滴D的實(shí)際重量Iw的平均值稱作平均實(shí)際重量Iwcen。而且，在把噴出的液滴D中變?yōu)樽畲蟮膶?shí)際重量Iw作為Iwmax、變?yōu)樽钚〉膶?shí)際重量Iw作為Iwmin時(shí)，平均實(shí)際重量Iwcen由Iwcen=(Iwmax+Iwmin)/2規(guī)定。對(duì)于安裝在滑架17上的多個(gè)噴出頭18，規(guī)定平均實(shí)際重量Iwcen。
下面，按照?qǐng)D6~圖18，說(shuō)明所述液滴噴出裝置10的電結(jié)構(gòu)。
圖6是表示液滴噴出裝置10的電結(jié)構(gòu)的方框電路圖。.
在圖6中，控制裝置30是使在液滴噴出裝置10中執(zhí)行各種處理動(dòng)作的裝置。控制裝置30具有外部I/F31 、由CPU等構(gòu)成的控制部32、由DRAM 和SRAM構(gòu)成并且作為存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部件的RAM33、存儲(chǔ)各種控制程序的ROM34。此外，控制裝置30具有生成時(shí)鐘信號(hào)的振蕩電路35、作為用于生成驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的驅(qū)動(dòng)波形生成部件的驅(qū)動(dòng)波形生成電路36、用于驅(qū)動(dòng)液滴重量裝置23的重量裝置驅(qū)動(dòng)電路37、用于掃描襯底臺(tái)13或滑架17的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路38、發(fā)送各種信號(hào)的內(nèi)部I/F39?？刂?裝置30通過(guò)介入外部I/F 31被連接到輸入輸出裝置40。此外，控制裝置 30通過(guò)介入內(nèi)部I/F39與襯底臺(tái)13、滑架17、液滴重量裝置23、以及噴出頭18的每一個(gè)所對(duì)應(yīng)的多個(gè)頭驅(qū)動(dòng)電路41連接。
輸入輸出裝置40例如是具有CPU、 RAM、 ROM、硬盤、液晶顯示器等的外部計(jì)算機(jī)。輸入輸出裝置40把用于按照ROM或硬盤中存儲(chǔ)的控制程序來(lái)驅(qū)動(dòng)液滴噴出裝置10的各種控制信號(hào)輸出到外部I/F31。外部I/F31 從輸入輸出裝置40接收描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip、基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv和頭數(shù)據(jù)Ih。
這里，描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip是關(guān)于濾色器CF的位置或膜厚的信息、關(guān)于液滴 D的噴出位置的信息、關(guān)于襯底臺(tái)13的掃描速度的信息等的、用于對(duì)噴出面6a的各像素9噴出液滴D的各種數(shù)據(jù)。
基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv是與用于把平均實(shí)際重量Iwcen校正為預(yù)先規(guī)定的給定重量(基準(zhǔn)重量)的驅(qū)動(dòng)電壓(基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓Vh0)相關(guān)的數(shù)據(jù)。因?yàn)楦鲊姵鲱^18的平均實(shí)際重量Iwcen不同，所以按每個(gè)噴出頭18來(lái)規(guī) 定基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv。 g卩，基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv是用于把各噴出頭18 的平均實(shí)際重量Iwcen校正為公共的基準(zhǔn)重量的數(shù)據(jù)。
頭數(shù)據(jù)Ih是把噴嘴N (壓電元件PZ)的每一個(gè)分類為4種"等級(jí)" 的數(shù)據(jù)，是對(duì)于各噴嘴N的每一個(gè)，把基于液滴D的重量的等級(jí)進(jìn)行對(duì) 應(yīng)關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。在頭數(shù)據(jù)Ih中，例如如圖7所示，對(duì)于噴出的液滴D的實(shí)際重量Iw滿足IwcenX 1. 02〉Iw^ IwcenX 1. 01的噴嘴N，設(shè)定等級(jí)"l"。對(duì)于噴出的液滴D的實(shí)際重量Iw滿足IwcenX 1. 01〉Iw^ Iwcen的噴嘴N，設(shè)定等級(jí)"2"，對(duì)于噴出的液滴D的實(shí)際重量Iw滿足Iwcen〉Iv^Iwcen
X0.99的噴嘴N，設(shè)定等級(jí)"3"。此外，對(duì)于噴出的液滴D的實(shí)際重量Iw 滿足IwcenX0.99〉Iw^IwcenX0.98的噴嘴N,設(shè)定等級(jí)"4"。
在圖6中，RAM33作為接收緩存器33a、中間緩存器33b、輸出緩存器 33c利用。
R0M34存儲(chǔ)控制部32執(zhí)行的各種控制例行程序、用于執(zhí)行該控制例行程序的各種數(shù)據(jù)。R0M34例如存儲(chǔ)用于把各點(diǎn)與灰度進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的灰度數(shù)據(jù)、用于把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM和這時(shí)的各噴嘴N進(jìn)行對(duì)應(yīng) 關(guān)聯(lián)的等級(jí)數(shù)據(jù)。
所謂灰度數(shù)據(jù)，是指由多個(gè)液滴D形成一個(gè)點(diǎn)、由是否噴出液滴D(即噴出、非噴出)的2灰度來(lái)模擬地表現(xiàn)多灰度的數(shù)據(jù)。等級(jí)數(shù)據(jù)如圖7所示，是用于把各等級(jí)("1" "4")分別與4種不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0M (第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD)中的任意一個(gè)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。即，等級(jí)數(shù)據(jù)是對(duì)于全部噴嘴N，用于把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。
在圖6中，振蕩電路35生成用于使各種數(shù)據(jù)或各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)同步的時(shí)鐘信號(hào)。振蕩電路35例如生成在各種數(shù)據(jù)串行傳送時(shí)所利用的傳送時(shí) 鐘SCLK。振蕩電路35生成在串行傳送的各種數(shù)據(jù)的并行變換時(shí)所利用的鎖定信號(hào)(圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA或公共選擇數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào) LATB)。此外，振蕩電路35生成用于規(guī)定液滴D的噴出時(shí)刻的狀態(tài)切換信號(hào)CHA。
驅(qū)動(dòng)波形生成電路36具有波形存儲(chǔ)器36a、鎖定電路36b、 D/A轉(zhuǎn)換器36c、放大器36d。波形存儲(chǔ)器36a把用于生成各種驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM 的波形數(shù)據(jù)與給定的地址對(duì)應(yīng)存儲(chǔ)。鎖定電路36b用給定的時(shí)鐘信號(hào)把控制部32從波形存儲(chǔ)器讀出的波形數(shù)據(jù)鎖定。D/A轉(zhuǎn)換器36c把鎖定電路 36b鎖定的波形數(shù)據(jù)變換為模擬信號(hào)，放大器36d把D/A轉(zhuǎn)換器36c變換的模擬信號(hào)放大，同時(shí)生成驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。
控制部32在輸入輸出裝置40輸入基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv時(shí)，通過(guò)介入驅(qū)動(dòng)波形生成電路36和參照基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv，讀出波形存儲(chǔ)器36a 的波形數(shù)據(jù)。然后，控制部32通過(guò)介入驅(qū)動(dòng)波形生成電路36，生成與噴
出頻率同步的4種驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM (第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào) COMD)。
控制部32通過(guò)介入驅(qū)動(dòng)波形生成電路36，把第一第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、 COMB、 COMC、 COMD作為分別與等級(jí)"1" ~ "4"對(duì)應(yīng)的不同的驅(qū)動(dòng)電壓構(gòu)成的信號(hào)來(lái)生成。例如，如圖7和圖8所示，控制部32 把第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA作為與等級(jí)"l"的噴嘴N對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓(第一驅(qū)動(dòng)電壓Vha)構(gòu)成的信號(hào)來(lái)生成。第一驅(qū)動(dòng)電壓Vha是比基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓Vh0更低電平的電壓(例如，Vha=VhOX0.985)。據(jù)此，等級(jí)"1"的噴嘴N在向?qū)?yīng)的壓電元件PZ輸入第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA時(shí)，使對(duì) 應(yīng)的壓電元件PZ的驅(qū)動(dòng)量(伸縮量)只減小第一驅(qū)動(dòng)電壓Vha的部分，從而校正液滴D的實(shí)際重量Iw，并把該液滴D的實(shí)際重量Iw作為平均實(shí) 際重量Iwcen (基準(zhǔn)重量)。
同樣，控制部32通過(guò)介入驅(qū)動(dòng)波形生成電路36，把第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD分別作為與等級(jí)"2"、等級(jí)"3"、等級(jí)"4"對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓(第二驅(qū)動(dòng)電壓Vhb、第三驅(qū)動(dòng)電壓Vhc、第四驅(qū)動(dòng)電壓Vhd)構(gòu)成的信號(hào)來(lái)生成。第二驅(qū)動(dòng)電壓Vhb、第三驅(qū)動(dòng)電壓Vhc、第四驅(qū)動(dòng)電壓Vhd分別是Vhb-VhOX0.995、 Vhc= Vh0X 1.005、 Vhd- Vh0X 1.015。等級(jí)"2"、等級(jí)"3"、等級(jí)"4" 的噴嘴N在對(duì)分別對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ輸入第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD時(shí)，通過(guò)與等級(jí)對(duì)應(yīng) 的驅(qū)動(dòng)電壓，校正液滴D的實(shí)際重量Iw，把該液滴D的實(shí)際重量Iw作為基準(zhǔn)重量。
據(jù)此，全部噴嘴N (壓電元件PZ)在分別輸入與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM時(shí)，能把各液滴D的實(shí)際重量Iw分別規(guī)格化為公共的基準(zhǔn) 重量。
在圖6中，控制部32輸出與重量裝置驅(qū)動(dòng)電路37對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。重量裝置驅(qū)動(dòng)電路37響應(yīng)來(lái)自控制部32的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，通過(guò)介入內(nèi)部I/F39來(lái)驅(qū)動(dòng)液滴重量裝置23。
控制部32輸出與電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路38對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。電動(dòng)機(jī)驅(qū)
動(dòng)電路38響應(yīng)來(lái)自控制部32的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，通過(guò)介入內(nèi)部I/F39來(lái)掃描襯底臺(tái)13、滑架17。
控制部32將外部I/F 31接收的描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip臨時(shí)存儲(chǔ)在接收緩存器33a 中?？刂撇?2把描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip變換為中間代碼，作為中間代碼數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到中間緩存器33b?？刂撇?2從中間緩存器33b讀出中間代碼數(shù)據(jù)，參照 ROM34內(nèi)的灰度數(shù)據(jù)，展幵為點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，把該點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到輸出緩存器33c。
點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)是用于把點(diǎn)圖案格子的各格子點(diǎn)分別與點(diǎn)的灰度(驅(qū)動(dòng)脈沖的圖案)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)是把二維描畫(huà)平面(噴出面 6a)的各位置(點(diǎn)圖案格子的各格子點(diǎn))分別與2位的值("00"、 "01""10" 或"ll")對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。而且，點(diǎn)圖案格子是規(guī)定了點(diǎn)的灰度的最小間隔的格子。
控制部32在展開(kāi)了襯底臺(tái)13的與1次掃描相當(dāng)?shù)狞c(diǎn)圖案數(shù)據(jù)時(shí)，就利用該點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，生成與傳送時(shí)鐘SCLK同步的串行數(shù)據(jù)，通過(guò)介入內(nèi) 部I/F39,把該串行數(shù)據(jù)向頭驅(qū)動(dòng)電路41串行傳送?？刂撇?2在把1次掃描的點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)串行傳送時(shí)，就刪除中間緩存器33b的內(nèi)容，對(duì)下一個(gè) 中間代碼數(shù)據(jù)執(zhí)行展開(kāi)處理。
這里，把利用點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)生成的串行數(shù)據(jù)稱作串行圖案數(shù)據(jù)SIA。串行圖案數(shù)據(jù)SIA以沿著掃描方向的點(diǎn)圖案格子的格子單位生成。
在圖9中，對(duì)于串行圖案數(shù)據(jù)SIA，僅僅以噴嘴N的數(shù)量(180個(gè)) 具有用于選擇點(diǎn)的灰度的2位值。串行圖案數(shù)據(jù)SIA具有由用于選擇點(diǎn)的灰度的2位值中的上位位構(gòu)成的180位的上位選擇數(shù)據(jù)SIH、和由下位位構(gòu)成的180位的下位選擇數(shù)據(jù)SIL。此外，串行圖案數(shù)據(jù)SIA除了上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL之外，還具有圖案數(shù)據(jù)SP。
圖案數(shù)據(jù)SP是由將上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL規(guī)定的4 值的每一個(gè)與8位的數(shù)據(jù)(各開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)Pnm (nm=00 03、 10 13、、 70 73))對(duì)應(yīng)的32位構(gòu)成的數(shù)據(jù)。各開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)Pnm (nm=00 03、 10 13、、 70 73)分別是用于規(guī)定壓電元件PZ的導(dǎo)通、斷開(kāi)的數(shù)據(jù)。
在圖10中，狀態(tài)切換信號(hào)CHA是由液滴D的噴出頻率生成的脈沖信號(hào)。這里，把對(duì)狀態(tài)切換信號(hào)CHA的每個(gè)脈沖規(guī)定的狀態(tài)稱作"狀態(tài)"。
狀態(tài)切換信號(hào)CHA把從先行的圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA生成到后續(xù)的圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA生成之間的狀態(tài)劃分為多個(gè)狀態(tài)(例如"0" ~
"7"的各狀態(tài))。而且，從先行的圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA生成到后續(xù) 的圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA生成之間的期間相當(dāng)于各噴嘴N分別與點(diǎn)圖案格子的單位格子相對(duì)置的期間。
控制部32介入頭驅(qū)動(dòng)電路41，按照?qǐng)DIO所示的真值表，把圖案數(shù)據(jù) SP的各數(shù)據(jù)(各開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)Pnm)分別與各狀態(tài)對(duì)應(yīng)。例如，控制部32介入頭驅(qū)動(dòng)電路41，對(duì)于上位選擇數(shù)據(jù)SIH為"0"、下位選擇數(shù)據(jù)SIL為
"0"的噴嘴N (壓電元件PZ)，把開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)POO、 PIO、、 P70進(jìn)行對(duì) 應(yīng)關(guān)聯(lián)?？刂撇?2把開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)POO、 PIO、、 P70分別與"0" ~ "7"的各狀態(tài)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。然后，控制部32通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)電路41，用設(shè)定為"l" 的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)P00 P70的狀態(tài)來(lái)對(duì)該壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。例如，P0O P60是"0"、 P70為"l"時(shí)，控制部32在狀態(tài)為"0" ~ "6" 時(shí)，斷開(kāi)壓電元件PZ，在狀態(tài)變?yōu)?7"的時(shí)刻，把該壓電元件PZ導(dǎo)通。同樣，控制部32對(duì)于上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL分別為
"01"、 "10"、 "11"的噴嘴N (壓電元件PZ)，分別把開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)P01 P71、 P02 P72、 P03 P73進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。控制部32將開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)P01 P71、 P02 P72、 P03 P73分別與"0" "7"的各個(gè)狀態(tài)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。然后，控制部32通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)電路41 ，以設(shè)定為"1 "的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)P01 P71 、P02 P72、 P03-P73的狀態(tài)向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。
據(jù)此，全部噴嘴N每當(dāng)分別生成串行圖案數(shù)據(jù)SIA時(shí)，此刻，對(duì)于對(duì)應(yīng)的格子，實(shí)現(xiàn)由對(duì)應(yīng)的上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL選擇的點(diǎn)灰度(即驅(qū)動(dòng)脈沖的圖案)。
在圖6中，控制部32將外部I/F31接收的頭數(shù)據(jù)Ih暫時(shí)存儲(chǔ)到接收緩存器33a中?？刂撇?2將頭數(shù)據(jù)Ih變換為中間代碼，作為中間代碼數(shù) 據(jù)存儲(chǔ)到中間緩存器33b?？刂撇?2從中間緩存器33b讀出中間代碼數(shù)據(jù)，參照ROM34內(nèi)的等級(jí)數(shù)據(jù)，展開(kāi)為公共選擇數(shù)據(jù)，把該公共選擇數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在輸出緩存器33c中。
公共選擇數(shù)據(jù)是把所述點(diǎn)圖案格子的各格子點(diǎn)分別與2位值("00"、
"01"、 "10"、 "11")進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)后的數(shù)據(jù)，是對(duì)于4值的每一個(gè)，把
所述第一第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、 COMB、 COMC、 COMD中的任意一個(gè)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。
控制部32如果取得了與襯底臺(tái)13的與1個(gè)掃描相當(dāng)?shù)墓策x擇數(shù)據(jù)，就利用公共選擇數(shù)據(jù)生成與傳送時(shí)鐘SCLK同步的串行數(shù)據(jù)，通過(guò)內(nèi)部 1/F39把該串行數(shù)據(jù)向頭驅(qū)動(dòng)電路41串行傳送?？刂撇?2如果串行傳送了 1次掃描的公共選擇數(shù)據(jù)，就刪除中間緩存器33b的內(nèi)容，對(duì)下一個(gè)中間代碼數(shù)據(jù)執(zhí)行展開(kāi)處理。
這里，把利用公共選擇數(shù)據(jù)生成的串行數(shù)據(jù)稱作串行公共選擇數(shù)據(jù) SIB。串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB與串行圖案數(shù)據(jù)SIA同樣，以沿著掃描方向的點(diǎn)圖案格子的格子單位生成。
在圖11中，串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB具有用于規(guī)定驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM 的種類的2位值中的由上位位構(gòu)成的180位的上位選擇數(shù)據(jù)SXH、由下位位構(gòu)成的180位的下位選擇數(shù)據(jù)SXL、以及控制數(shù)據(jù)CR。
上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL是用于按照?qǐng)D12所示的真值表，把各噴嘴N的每一個(gè)與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。
控制部32通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)電路41 ，使用上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù) 據(jù)SXL，按照?qǐng)D12所示的真值表，把180個(gè)的各個(gè)噴嘴N(壓電元件PZ) 分別與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。例如，控制部32通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)電路41，把上位選擇數(shù)據(jù)SXH為"0"、下位選擇數(shù)據(jù)SXL為"0" 的噴嘴N (壓電元件PZ)分別與第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA迸行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。控制部32把上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL為"01 "、" 10"、 " 11" 的噴嘴N (壓電元件PZ)分別與第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。
控制數(shù)據(jù)CR是用于驅(qū)動(dòng)設(shè)置在頭驅(qū)動(dòng)電路41中的溫度檢測(cè)電路的數(shù)據(jù)等的、用于使頭驅(qū)動(dòng)電路41執(zhí)行各種控制的數(shù)據(jù)。控制部32通過(guò)頭驅(qū)動(dòng)電路41，根據(jù)控制數(shù)據(jù)CR來(lái)檢測(cè)噴出頭18的溫度。
下面，說(shuō)明頭驅(qū)動(dòng)電路41。
在圖13中，頭驅(qū)動(dòng)電路41具有作為輸出控制信號(hào)生成部件的輸出控制信號(hào)生成電路50、作為公共選擇控制信號(hào)生成部件的公共選擇控制信號(hào)
生成電路60。此外，頭驅(qū)動(dòng)電路41具有輸出合成電路70 (第一第四公共輸出合成電路70A、 70B、 70C、 70D)、把邏輯信號(hào)升壓并且升壓到模擬開(kāi)關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓電平的電平移動(dòng)器71 (第一第四公共用電平移動(dòng)器 71A、 71B、 71C、 71D)。此外，頭驅(qū)動(dòng)電路41具有安裝了對(duì)壓電元件PZ 供給各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的模擬開(kāi)關(guān)的4系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)電路72 (第一第四公共用幵關(guān)電路72A、 72B、 72C、 72D)。由所述輸出合成電路70、電平移動(dòng)器71、以及開(kāi)關(guān)電路72構(gòu)成輸出部件。
首先，以下說(shuō)明用于生成輸出控制信號(hào)PI的輸出控制信號(hào)生成電路50。
在圖14中，輸出控制信號(hào)生成電路50具有移位寄存器51、鎖定電路 52、狀態(tài)計(jì)數(shù)器53、選擇器54、圖案數(shù)據(jù)合成電路55。
移位寄存器5具有圖案數(shù)據(jù)寄存器51A、下位選擇數(shù)據(jù)寄存器51B、上位選擇數(shù)據(jù)寄存器51C，并且從控制裝置30輸入串行圖案數(shù)據(jù)SIA和傳送時(shí)鐘SCLK。
對(duì)于圖案數(shù)據(jù)寄存器51A，串行傳送串行圖案數(shù)據(jù)SIA中的圖案數(shù)據(jù) SP，并根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK來(lái)依次移動(dòng)，從而存儲(chǔ)32位的圖案數(shù)據(jù)SP。對(duì)于下位選擇數(shù)據(jù)寄存器51B，串行傳送串行圖案數(shù)據(jù)SIA中的下位選擇數(shù)據(jù)SIL，并根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK來(lái)依次移動(dòng)，從而存儲(chǔ)180位的下位選擇數(shù)據(jù)SIL。對(duì)于上位選擇數(shù)據(jù)寄存器51C，串行傳送串行圖案數(shù)據(jù)SIA 中的上位選擇數(shù)據(jù)SIH，并根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK來(lái)依次移動(dòng)，從而存儲(chǔ)180 位的上位選擇數(shù)據(jù)SIH。
鎖定電路52具有圖案數(shù)據(jù)鎖定電路52A、下位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路 52B、上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路52C，并從控制裝置30輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA。
圖案數(shù)據(jù)鎖定電路52A在輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA時(shí)，鎖定圖案數(shù)據(jù)寄存器51A的數(shù)據(jù)即圖案數(shù)據(jù)SP。下位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路52B在輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA時(shí)，鎖定下位選擇數(shù)據(jù)寄存器51B的數(shù)據(jù) 即下位選擇數(shù)據(jù)SIL。上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路52C在輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA時(shí)，鎖定上位選擇數(shù)據(jù)寄存器51C的數(shù)據(jù)即上位選擇數(shù)據(jù)SIH。
狀態(tài)計(jì)數(shù)器53是3位的計(jì)數(shù)器電路，根據(jù)狀態(tài)切換信號(hào)CHA的上升沿計(jì)數(shù)，使?fàn)顟B(tài)變化。狀態(tài)計(jì)數(shù)器53從"0"到"7"把狀態(tài)計(jì)數(shù)后，通過(guò)輸入狀態(tài)切換信號(hào)CHA，把狀態(tài)返回"0"。此外，狀態(tài)計(jì)數(shù)器53在LATA 信號(hào)變?yōu)?H"電平(高電位的電平)時(shí)復(fù)位，把狀態(tài)返回"0"。狀態(tài)計(jì) 數(shù)器53在從控制裝置30輸入狀態(tài)切換信號(hào)CHA和圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào) LATA時(shí)，把狀態(tài)的值計(jì)數(shù)，并對(duì)選擇器54輸出。
選擇器54根據(jù)狀態(tài)計(jì)數(shù)器53輸出的狀態(tài)的值和圖案數(shù)據(jù)鎖定電路 52A鎖定的圖案數(shù)據(jù)SP，在該時(shí)刻，選擇與狀態(tài)的值對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)Pn0 Pn3，把選擇的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3對(duì)圖案數(shù)據(jù)合成電路55輸出。即，選擇器54在對(duì)圖案數(shù)據(jù)鎖定電路52A輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA時(shí)，讀入由圖案數(shù)據(jù)鎖定電路52A鎖定的圖案數(shù)據(jù)SP，按照?qǐng)DIO所示的真值表，選擇與狀態(tài)的值"n"對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3。例如，選擇器54 在狀態(tài)計(jì)數(shù)器53的狀態(tài)為"0"時(shí)，把與狀態(tài)"0"對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)SP即圖10所示的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)P00 P03對(duì)圖案數(shù)據(jù)合成電路55輸出。
圖案數(shù)據(jù)合成電路55從選擇器54輸入各開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3，讀入下位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路52B鎖定的下位選擇數(shù)據(jù)SIL、上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路52C鎖定的上位選擇數(shù)據(jù)SIH。圖案數(shù)據(jù)合成電路55使用各開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù) PnO Pn3、下位選擇數(shù)據(jù)SIL、上位選擇數(shù)據(jù)SIH，按照?qǐng)D10所示的真值表，對(duì)于每個(gè)狀態(tài)，生成對(duì)于180個(gè)噴嘴N用于規(guī)定液滴D的噴出、非噴出(各位的值"0"或"1")的180位的數(shù)據(jù)(輸出控制信號(hào)PI)。
圖案數(shù)據(jù)合成電路55例如如圖15所示，由與一個(gè)噴嘴N對(duì)應(yīng)的4 個(gè)與門55a， 55b， 55c， 55d、輸入這些與門55a, 55b， 55c， 55d的輸出的或門55e構(gòu)成。在與門55a、 55b、 55c、 55d上分別輸入上位選擇數(shù)據(jù) SIH、下位選擇數(shù)據(jù)SIL、對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3。在上位選擇數(shù)據(jù)SIH 和下位選擇數(shù)據(jù)SIL為"00"時(shí)，只有與門55a變?yōu)橛行?，開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)PnO ("0"或"1")作為對(duì)應(yīng)的噴嘴N的輸出控制信號(hào)PI而輸出。此外，在上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL為"01"、 "10"、 "11"時(shí)，分別只有與門55b、 55c、 55d變?yōu)橛行?，開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)Pnl、 Pn2、 Pn3 ("0"或"1") 作為對(duì)應(yīng)的噴嘴N的輸出控制信號(hào)PI而輸出。據(jù)此，與圖l所示的真值表對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)Pnm作為輸出控制信號(hào)PI輸出。
接著，以下說(shuō)明用于生成各公共選擇控制信號(hào)PXA、 PXB、 PXC、 PXD
的公共選擇控制信號(hào)生成電路60。
在圖16中，公共選擇控制信號(hào)生成電路60具有移位寄存器61、鎖定電路62、公共選擇信號(hào)譯碼電路63。
移位寄存器61具有控制數(shù)據(jù)寄存器61A、下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B、上位選擇數(shù)據(jù)寄存器61C，并從控制裝置30輸入串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB 和傳送時(shí)鐘SCLK。
對(duì)于控制數(shù)據(jù)寄存器61A，串行傳送串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB中的控制數(shù)據(jù)CR，并根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK來(lái)依次移動(dòng)，從而存儲(chǔ)32位的控制數(shù)據(jù) CR。對(duì)于下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B，串行傳送串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB中的下位選擇數(shù)據(jù)SXL,并根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK來(lái)依次移動(dòng)，從而存儲(chǔ)180位的下位選擇數(shù)據(jù)SXL。對(duì)于上位選擇數(shù)據(jù)寄存器61C，串行傳送串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB中的上位選擇數(shù)據(jù)SXH，并根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK來(lái)依次移動(dòng)，從而存儲(chǔ)180位的上位選擇數(shù)據(jù)SXH。
鎖定電路62具有控制數(shù)據(jù)鎖定電路62A、下位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路 62B、上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路62C，并從控制裝置30輸入公共選擇數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATB。
控制數(shù)據(jù)鎖定電路62A在輸入公共選擇數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATB時(shí)，鎖定控制數(shù)據(jù)寄存器61A的數(shù)據(jù)即控制數(shù)據(jù)CR，把鎖定的數(shù)據(jù)對(duì)給定的控制電路(例如溫度檢測(cè)電路等)輸出。下位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路62B在輸入公共選擇數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATB時(shí)，鎖定下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B的數(shù)據(jù) 即下位選擇數(shù)據(jù)SXL。上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路62C在輸入公共選擇數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATB時(shí)，鎖定上位選擇數(shù)據(jù)寄存器61C的數(shù)據(jù)即上位選擇數(shù)據(jù) SXH。
公共選擇數(shù)據(jù)譯碼電路63讀入下位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路62B鎖定的下位選擇數(shù)據(jù)SXL、上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路62C鎖定的上位選擇數(shù)據(jù)SXH。公共選擇數(shù)據(jù)譯碼電路63使用下位選擇數(shù)據(jù)SXL和上位選擇數(shù)據(jù)SXH，按照?qǐng)D12所示的真值表，關(guān)于4個(gè)不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的每一個(gè)，規(guī)定是否使用(選擇、非選擇)。公共選擇數(shù)據(jù)譯碼電路63生成對(duì)于180 個(gè)噴嘴N的每一個(gè)的、用于規(guī)定各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的選擇、非選擇的數(shù)據(jù)。這里，把關(guān)于第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的選擇、非選擇而規(guī)定的數(shù) 據(jù)稱作第一公共選擇控制信號(hào)PXA。此外，把關(guān)于第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào) COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD的選擇、非選擇而規(guī)定的數(shù)據(jù)分別稱作第二公共選擇控制信號(hào)PXB、第三公共選擇控制信號(hào)PXC、第四公共選擇控制信號(hào)PXD。
公共選擇數(shù)據(jù)譯碼電路63例如由與一個(gè)噴嘴N對(duì)應(yīng)的4個(gè)與門電路 63a、 63b、 63c、 63d構(gòu)成。在與門電路63a、 63b、 63c、 63d上分別輸入上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL。在上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL為"00"時(shí)，只有與門電路63a變?yōu)橛行В瑢?duì)應(yīng)的噴嘴N的第一公共選擇控制信號(hào)PXA作為"1"輸出，其他的第二第四公共選擇控制信號(hào)PXB、 PXC、 PXD作為"0"輸出。此夕卜，在上位選擇數(shù)據(jù)SXH 和下位選擇數(shù)據(jù)SXL為"01"、 "10"、 "00"時(shí)，僅僅與門電路63b、 63c、 63d分別變?yōu)橛行?，?duì)應(yīng)的噴嘴N的第二公共選擇控制信號(hào)PXB、第三公共選擇控制信號(hào)PXC、第四公共選擇控制信號(hào)PXD作為"1"輸出。據(jù)此，輸出與圖12所示的真值表對(duì)應(yīng)的第一第四公共選擇控制信號(hào)PXA、 PXB、 PXC、 PXD。
在圖13中，輸出合成電路70具有第一公共輸出合成電路70A、第二公共輸出合成電路70B、第三公共輸出合成電路70C、第四公共輸出合成電路70D。對(duì)各輸出合成電路70A、 70B、 70C、 70D分別從輸出控制信號(hào) 生成電路50公共輸入180位的輸出控制信號(hào)PI。此外，對(duì)各輸出合成電路70A、 70B、 70C、 70D，從公共選擇控制信號(hào)生成電路60分別輸入第一公共選擇控制信號(hào)PXA、第二公共選擇控制信號(hào)PXB、第三公共選擇控制信號(hào)PXC、第四公共選擇控制信號(hào)PXD。
第一第四公共輸出合成電路70A、 70B、 70C、 70D分別由與一個(gè)噴嘴N對(duì)應(yīng)的與門構(gòu)成。在第一公共輸出合成電路70A的各與門上分別輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI、對(duì)應(yīng)的第一公共選擇控制信號(hào)PXA。第一公共輸出合成電路70A的各與門輸出用于規(guī)定分別向?qū)?yīng)的壓電元件PZ是否輸出(供給、非供給)第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的信號(hào)(第一選擇公共輸出控制信號(hào)CPA)。在第二公共輸出合成電路70B的各與門上分別輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第二公共選擇控制信號(hào)PXB。第二公共輸出合成電路70B的各與門分別輸出用于規(guī)定向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給、非供給第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB的信號(hào)(第二選擇公共輸出控制信號(hào)CPB)。在第三公共輸出合成電路70C的各與門上分別輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第三公共選擇控制信號(hào)PXC。第三公共輸出合成電路70C的各與門分別輸出用于規(guī)定向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給、非供給第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC的信號(hào)(第三選擇公共輸出控制信號(hào)CPC)。在第四公共輸出合成電路70D的各與門上分別輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第四公共選擇控制信號(hào)PXD。第四公共輸出合成電路70D的各與門分別輸出用于規(guī)定向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給、非供給第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD的信號(hào)(第四選擇公共輸出控制信號(hào)CPD)。
第一公共輸出合成電路70A例如在輸出控制信號(hào)PI為"1"并且第一公共選擇控制信號(hào)PXA為"1"時(shí)，輸出用于向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的第一選擇公共輸出控制信號(hào)CPA(位值為"1" 的信號(hào))。相反，第一公共輸出合成電路70A在輸出控制信號(hào)PI為"0" 或者第一公共選擇控制信號(hào)PXA為"0"時(shí)，輸出用于對(duì)該壓電元件PZ 不供給第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的第一選擇公共輸出控制信號(hào)CPA (位值為"0"的信號(hào))。
據(jù)此，180個(gè)的各個(gè)噴嘴N (壓電元件PZ)分別根據(jù)輸出控制信號(hào) PI來(lái)決定液滴D的噴出、非噴出，根據(jù)第一第四公共選擇控制信號(hào)PXA、 PXB、 PXC、 PXD，決定各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的供給、非供給。
電平移動(dòng)器71具有第一第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、COMC、 COMD用的4系統(tǒng)的電平移動(dòng)器(第一公共用電平移動(dòng)器71A、第二公共用電平移動(dòng)器71B、第三公共用電平移動(dòng)器71C、第四公共用電平移動(dòng)器 71D)。對(duì)第一第四公共用電平移動(dòng)器71A、 71B、 71C、 71D，分別從對(duì) 應(yīng)的輸出合成電路70輸入第一第四選擇公共輸出控制信號(hào)CPA、 CPB、 CPC、 CPD。第一第四公共用電平移動(dòng)器71A、 71B、 71C、 71D分別把第一第四選擇公共輸出控制信號(hào)CPA、 CPB、 CPC、 CPD升壓為模擬開(kāi) 關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓電平，輸出與180個(gè)壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)信號(hào)。
開(kāi)關(guān)電路72具有第一第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、 COMB、 COMC、 COMD用的4系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)電路(第一公共用開(kāi)關(guān)電路72A、第二公共用開(kāi)
關(guān)電路72B、第三公共用開(kāi)關(guān)電路72C、第四公共用開(kāi)關(guān)電路72D)。第一第四公共用開(kāi)關(guān)電路72A、 72B、 72C、 72D具有分別與壓電元件PZ對(duì) 應(yīng)的180個(gè)模擬開(kāi)關(guān)。在第一第四公共用開(kāi)關(guān)電路72A、 72B、 72C、 72D 上，分別從對(duì)應(yīng)的電平移動(dòng)器71輸入開(kāi)關(guān)信號(hào)。在4系統(tǒng)的各模擬開(kāi)關(guān) 的輸入端分別輸入對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM，在4系統(tǒng)的各模擬開(kāi)關(guān)的輸出端分別公共連接對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ。各模擬開(kāi)關(guān)分別從對(duì)應(yīng)的電平移動(dòng)器71輸入開(kāi)關(guān)信號(hào)，在開(kāi)關(guān)信號(hào)為"H"電平時(shí)，輸出與對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。
據(jù)此，180個(gè)的各個(gè)噴嘴N (壓電元件PZ)在分別根據(jù)輸出控制信號(hào) PI選擇液滴D的噴出動(dòng)作時(shí)，根據(jù)第一第四選擇公共輸出控制信號(hào)CPA、 CPB、 CPC、 CPD，供給第一第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、 COMB、 COMC、 COMD中的任意一個(gè)。即，180個(gè)的各個(gè)噴嘴N (壓電元件PZ)在選擇液滴D的噴出動(dòng)作時(shí)，供給與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。
接著，以下說(shuō)明液滴噴出裝置10中安裝的液滴噴出頭18的驅(qū)動(dòng)方法。圖18是用于說(shuō)明對(duì)各壓電元件PZ供給的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的時(shí)序圖。
首先，如圖3所示，濾色器襯底6把其噴出面6a為上側(cè)而安裝在襯底臺(tái)13上。這時(shí)，襯底臺(tái)13把濾色器襯底6配置在滑架17的反Y箭頭方向。從該狀態(tài)，輸入輸出裝置40對(duì)控制裝置30輸入描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip、基準(zhǔn) 驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv、頭數(shù)據(jù)Ih?；鶞?zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv和頭數(shù)據(jù)Ih分別是根據(jù)由液滴重量裝置23計(jì)測(cè)的各液滴D的實(shí)際重量Iw所生成的數(shù)據(jù)。
這時(shí)，頭數(shù)據(jù)Ih把最位于X箭頭方向的噴嘴N (第一壓電元件PZ1) 分類為"1"的等級(jí)，把從X箭頭方向計(jì)算、第10個(gè)噴嘴N (第十壓電元件PZ10)分類為"4"的等級(jí)，把從X箭頭方向計(jì)算、第20個(gè)噴嘴N (第 20壓電元件PZ20)分類為"2"的等級(jí)。
配置滑架17，使得控制裝置30通過(guò)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路38掃描滑架17，并且當(dāng)濾色器襯底6在Y箭頭方向被掃描時(shí)，各噴出頭18通過(guò)濾色器襯底6。如果配置滑架17，控制裝置30就通過(guò)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路38開(kāi)始襯底臺(tái)13的掃描。
控制裝置30把從輸入輸出裝置40輸入的描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip展開(kāi)為點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)?？刂蒲b置30如果展開(kāi)相當(dāng)于襯底臺(tái)13的1次掃描的點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，
如圖18所示，則使用點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)來(lái)生成串行圖案數(shù)據(jù)SIA，把該串行圖案數(shù)據(jù)SIA與傳送時(shí)鐘SCLK同步而對(duì)頭驅(qū)動(dòng)電路41串行傳送。此外，控制裝置30把從輸入輸出裝置40輸入的頭數(shù)據(jù)Ih展開(kāi)為公共選擇數(shù)據(jù)。控制裝置30如果展開(kāi)相當(dāng)于襯底臺(tái)13的1次掃描的公共選擇數(shù)據(jù)，如圖 18所示，則使用公共選擇數(shù)據(jù)來(lái)生成串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB，把該串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB與傳送時(shí)鐘SCLK同步而對(duì)頭驅(qū)動(dòng)電路41串行傳送。
控制裝置30在襯底臺(tái)13到達(dá)給定的描畫(huà)開(kāi)始位置時(shí)，如圖18所示，向頭驅(qū)動(dòng)電路41輸出圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA和公共選擇數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATB，在頭驅(qū)動(dòng)電路41上鎖定串行圖案數(shù)據(jù)SIA和串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB。
控制裝置30如果鎖定了串行圖案數(shù)據(jù)SIA和串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB，就把狀態(tài)切換信號(hào)CHA對(duì)頭驅(qū)動(dòng)電路41輸出，把狀態(tài)從"0"按照"1"、 "2"、 "3"*"的順序切換。這時(shí)，控制裝置30參照基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv，使驅(qū)動(dòng)波形生成電路36生成4種驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM (第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào) COMA、第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)COMD)?？刂蒲b置30把第一第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、 COMB、 COMC、 COMD分別與圖案數(shù)據(jù)用鎖定信號(hào)LATA和狀態(tài)切換信號(hào)CHA同步，逐次對(duì)頭驅(qū)動(dòng)電路41輸出。
頭驅(qū)動(dòng)電路41如果鎖定串行圖案數(shù)據(jù)SIA，就按照上位選擇數(shù)據(jù)SIH 以及下位選擇數(shù)據(jù)SIL、圖10所示的真值表，把圖案數(shù)據(jù)SP的各數(shù)據(jù)分別與各狀態(tài)對(duì)應(yīng)，對(duì)180個(gè)的各個(gè)噴嘴N (壓電元件PZ)，規(guī)定各狀態(tài)的噴出、非噴出。例如，如圖18所示，在第一壓電元件PZ1和第10壓電元件PZ10，以"2"、 "3"、 "4"、 "5"的各狀態(tài)選擇液滴D的噴出。在第20 壓電元件PZ20，以"1"、 "3"、 "5"、 "7"的各狀態(tài)選擇液滴D的噴出。
結(jié)果，各噴嘴N分別按照所希望的驅(qū)動(dòng)脈沖的圖案而驅(qū)動(dòng)，形成所希望的灰度的點(diǎn)。
此外，頭驅(qū)動(dòng)電路41如果鎖定串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB，就按照上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL、圖12所示的真值表，為180個(gè)的各個(gè) 噴嘴N (壓電元件PZ)分別規(guī)定驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類。
例如，規(guī)定為等級(jí)"1"的第一壓電元件PZ1因?yàn)閷?duì)應(yīng)的上位選擇數(shù)
據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL是"00"，所以按照?qǐng)D12所示的真值表，規(guī) 定第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA。 S卩，對(duì)于分類為"1"的等級(jí)的第一壓電元件PZ1，供給與同等級(jí)對(duì)應(yīng)的第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA。此外，規(guī)定為等級(jí)"4"的第IO壓電元件PZIO，因?yàn)閷?duì)應(yīng)的上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL是"11"，所以按照?qǐng)D12所示的真值表，規(guī)定第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD。 g卩，對(duì)于分類為"4"的等級(jí)的第IO壓電元件PZIO，供給與同等級(jí)對(duì)應(yīng)的第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD。規(guī)定為等級(jí)"2"的第20壓電元件PZ20，因?yàn)閷?duì)應(yīng)的上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL是"01"，所以按照?qǐng)D12所示的真值表，規(guī)定第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB。即，對(duì)于分類為"2"的等級(jí)的第20壓電元件PZ20,供給與該等級(jí)對(duì)應(yīng)的第二驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)COMB。
結(jié)果，噴出液滴D的全部噴嘴N接收分別與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM，噴出公共的基準(zhǔn)重量的液滴D。
以下，記載按上述那樣構(gòu)成的本實(shí)施例的效果。
(1) 根據(jù)所述實(shí)施例，對(duì)于多個(gè)噴嘴N的每一個(gè)，把與噴出的液滴 D相對(duì)應(yīng)的"1" ~ "4"的等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。此外，為了使噴出的液滴 D的實(shí)際重量Iw變?yōu)轭A(yù)先規(guī)定的給定的基準(zhǔn)重量，生成與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)COM (第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD)。然后，對(duì)根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的各壓電元件PZ，供給與相同噴嘴N的等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM，從選擇的噴嘴N向噴出面噴出基準(zhǔn)重量的液滴D。
因此，根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip而選擇的噴嘴N,接收與設(shè)定的等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)COM，噴出預(yù)先規(guī)定的基準(zhǔn)重量的液滴D。結(jié)果，多個(gè)噴嘴N 的每一個(gè)，按照每個(gè)等級(jí)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM，把噴出的液滴D的重量規(guī)格化為給定的基準(zhǔn)重量。因此，由于對(duì)每個(gè)噴嘴N校正液滴D的重量，所以能提高濾色器CF的膜厚均一性。
(2) 根據(jù)所述實(shí)施例，生成公共選擇數(shù)據(jù)(串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB)，在每個(gè)狀態(tài)，對(duì)于180個(gè)的全部的噴嘴N，把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào) COM進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。此外，生成圖案數(shù)據(jù)(串行圖案數(shù)據(jù)SIA)，在每個(gè) 狀態(tài)，對(duì)于180個(gè)的全部的噴嘴N，設(shè)定液滴D的噴出、不噴出。因此，
對(duì)于全部噴嘴N，分別規(guī)定液滴D的噴出、不噴出，并且把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。結(jié)果，噴出液滴D的噴嘴N更可靠地由與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM所驅(qū)動(dòng)。
(3) 對(duì)于全部噴嘴N，在每個(gè)狀態(tài)，分別規(guī)定液滴D的噴出、不噴出，并且把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。因此，每當(dāng) 液滴D的噴出動(dòng)作時(shí)，對(duì)于各噴嘴N，把與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM 進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。結(jié)果，能更可靠地以基準(zhǔn)重量把噴出的全部液滴D規(guī)格化。
(4) 在所述實(shí)施例中，在液滴噴出裝置IO上安裝了計(jì)測(cè)液滴D的重量的液滴重量裝置23。因此，能在液滴的噴出環(huán)境中計(jì)測(cè)液滴的重量，與用另一種外部裝置計(jì)測(cè)液滴的重量的情況相比，能更可靠地取得正確的實(shí) 際重量Iw。進(jìn)而能更正確地以基準(zhǔn)重量把液滴D的實(shí)際重量Iw規(guī)格化。
而且，上述實(shí)施例也可以按如下變更。
在所述實(shí)施例中，采用下述結(jié)構(gòu)控制裝置30每當(dāng)傳送串行圖案數(shù) 據(jù)SIA時(shí)，傳送串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB。然后，采用這種結(jié)構(gòu)每當(dāng)生成用于規(guī)定液滴D的噴出、非噴出的輸出控制信號(hào)PI時(shí)，生成用于規(guī)定驅(qū) 動(dòng)波形信號(hào)COM的選擇、非選擇的第一第四公共選擇控制信號(hào)PXA、 PXB、 PXC、 PXD。
不周限于此，例如，如圖19所示，也可以采用下述結(jié)構(gòu)只先行傳
送串行公共選擇數(shù)據(jù)SIB，在公共選擇控制信號(hào)生成電路60 (下位選擇數(shù) 據(jù)鎖定電路62B、上位選擇數(shù)據(jù)鎖定電路62C)上存儲(chǔ)上位選擇數(shù)據(jù)SXH、下位選擇數(shù)據(jù)SXL、控制數(shù)據(jù)CR。然后，可以采用這種結(jié)構(gòu)，每當(dāng)頭驅(qū) 動(dòng)電路41鎖定串行圖案數(shù)據(jù)SIA和生成輸出控制信號(hào)PI時(shí)，利用先行存儲(chǔ)的上位選擇數(shù)據(jù)SXH和下位選擇數(shù)據(jù)SXL，生成第一第四公共選擇控制信號(hào)PXA、 PXB、 PXC、 PXD。
據(jù)此，對(duì)單一的噴嘴N，能夠把與各狀態(tài)中公共的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM 進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。因此，能更可靠地通過(guò)與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM 來(lái)驅(qū)動(dòng)噴出液滴D的全部的噴嘴N。
在所述實(shí)施例中，采用下述結(jié)構(gòu)控制部32把描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip展開(kāi)處理為點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)。不局限于此，例如，也可以采用下述結(jié)構(gòu)輸入輸出裝置 40把描畫(huà)數(shù)據(jù)Ip展開(kāi)為點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，輸入輸出裝置40把點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)對(duì)控制裝置30輸入。
在所述實(shí)施例中，把致動(dòng)器具體化為壓電元件PZ。不局限于此，例如，也可以把致動(dòng)器具體化為電阻加熱元件，接收給定的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)
COM，從而噴出液滴D。
在所述實(shí)施例中，采用下述結(jié)構(gòu)各噴出頭18只具有1列180個(gè)噴嘴N。不局限于此，也可以采用下述結(jié)構(gòu)各噴出頭18具有2列以上180 個(gè)噴嘴N，還可以用比180個(gè)更多的數(shù)量把列內(nèi)的噴嘴數(shù)具體化。
在所述實(shí)施例中，采用下述結(jié)構(gòu):把電光裝置具體化為液晶顯示裝置 1，通過(guò)液滴D制造濾色器CF。不局限于此，例如，也可以采用下述結(jié)構(gòu) 通過(guò)液滴D制造液晶顯示裝置1的取向膜?；蛘?，也可以釆用下述結(jié)構(gòu)
把電光裝置具體化為場(chǎng)致發(fā)光顯示裝置，噴出包含發(fā)光元件形成材料的液
滴D來(lái)制造發(fā)光元件。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，包括對(duì)多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把與噴出的液滴的重量對(duì)應(yīng)的等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的等級(jí)設(shè)定步驟；按每個(gè)所述等級(jí)生成用于驅(qū)動(dòng)所述噴嘴的致動(dòng)器和把所述液滴的重量校正為預(yù)先規(guī)定的給定重量的驅(qū)動(dòng)波形的驅(qū)動(dòng)波形生成步驟；以及對(duì)根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的所述噴嘴的致動(dòng)器，供給與所述選擇的噴嘴的所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形，從所述選擇的噴嘴向?qū)ο笪飮姵鏊鼋o定重量的液滴的液滴噴出步驟。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于-所述液滴噴出步驟對(duì)于全部的所述噴嘴，把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)，對(duì)于全部的所述噴嘴，設(shè)定所述液滴的噴出、非噴出。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于所述液滴噴出步驟每當(dāng)對(duì)于全部的所述噴嘴，設(shè)定所述液滴的噴出、非噴出時(shí)，對(duì)于全部的所述噴嘴，把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于所述液滴噴出步驟在對(duì)于全部的所述噴嘴，把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)之后，對(duì)于全部的所述噴嘴，重復(fù)所述液滴的噴出、非噴出的設(shè)定。
5. —種液滴噴出裝置，對(duì)設(shè)置在液滴噴出頭中的多個(gè)致動(dòng)器的每一個(gè)供給驅(qū)動(dòng)波形，從與所述致動(dòng)器對(duì)應(yīng)的噴嘴噴出液滴，其特征在于，包括輸出控制信號(hào)生成部件，根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)，生成對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把所述液滴噴出、非噴出進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的輸出控制信號(hào)；存儲(chǔ)部件，存儲(chǔ)對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把按照所述液滴的重量而設(shè)定的等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的信息；驅(qū)動(dòng)波形生成部件，按每個(gè)所述等級(jí)，生成與所述等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)和把所述液滴的重量校正為預(yù)先規(guī)定的給定重量的驅(qū)動(dòng)波形；公共選擇控制信號(hào)生成部件，使用所述存儲(chǔ)部件存儲(chǔ)的所述信息，生成對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)的公共選擇控制信號(hào)；和輸出部件，根據(jù)所述公共選擇控制信號(hào)和所述輸出控制信號(hào)，對(duì)噴出所述液滴的所述噴嘴的所述致動(dòng)器，輸出與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的液滴噴出裝置，其特征在于-所述公共選擇控制信號(hào)生成部件生成與所述輸出控制信號(hào)同步的所述公共選擇控制信號(hào)，所述輸出部件根據(jù)所述輸出控制信號(hào)和與所述輸出控制信號(hào)同步的所述公共選擇控制信號(hào)，對(duì)噴出所述液滴的所述噴嘴的所述致動(dòng)器，輸出與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述公共選擇控制信號(hào)生成部件在所述輸出控制信號(hào)之前，先行生成所述公共選擇控制信號(hào)，所述輸出部件每當(dāng)接收所述輸出控制信號(hào)時(shí)，使用所述先行生成的公共選擇控制信號(hào)，對(duì)噴出所述液滴的所述噴嘴的所述致動(dòng)器，輸出與所述等級(jí)對(duì)應(yīng)的所述驅(qū)動(dòng)波形。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5~7中的任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于具有用于計(jì)測(cè)所述液滴的重量的液滴重量裝置。
9. 一種電光裝置，具有通過(guò)使對(duì)襯底噴出的液滴干燥所形成的薄膜，其特征在于通過(guò)權(quán)利要求5 8中的任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置形成所述薄膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種提高噴出液滴所形成的膜圖案的膜厚均一性的液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)方法、液滴噴出裝置和電光裝置。對(duì)于多個(gè)噴嘴的每一個(gè)，把與噴出的液滴的重量對(duì)應(yīng)的“1”～“4”的等級(jí)進(jìn)行對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)。為了使噴出的液滴的實(shí)際重量變?yōu)轭A(yù)先規(guī)定的給定的基準(zhǔn)重量，生成與各等級(jí)的噴嘴對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM(第一驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第二驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第三驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第四驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD)。然后，對(duì)根據(jù)描畫(huà)數(shù)據(jù)選擇的各壓電元件，供給與噴嘴的等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM，從選擇的噴嘴噴出基準(zhǔn)重量的液滴。
文檔編號(hào)B41J2/04GK101190600SQ200710196108
公開(kāi)日2008年6月4日申請(qǐng)日期2007年11月28日優(yōu)先權(quán)日2006年12月1日
發(fā)明者水垣浩一申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社

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