專利名稱：液滴噴出裝置、電光裝置的制法、電光裝置和電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用噴墨方式的功能液滴噴頭在工件上進(jìn)行描繪的液滴 噴出裝置，特別是涉及搭載有功能液滴噴頭的噴出檢查部件的液滴噴出裝 置、電光裝置的制造方法、電光裝置和電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往，公知有通過使用功能液滴噴頭的描繪處理，形成成為液晶顯示裝置的濾色器或有機(jī)EL裝置的各像素的發(fā)光元件等的液滴噴出裝置。在 該液滴噴出裝置中設(shè)置安放工件的安放臺，和接受檢査噴出的被描繪單 元，其用于在從功能液滴噴頭噴出功能液后檢查有無噴出不良。被描繪單 元被支撐于使安放臺在掃描方向上移動的動器上，與安放臺一體移動。而 且，與在安放臺上更換工件(搬入/搬出)的動作并行，進(jìn)行功能液滴噴頭 的噴出不良的有無的檢查。(例如，參照特開2006-076067號公報(bào)。)可是，以往的液滴噴出裝置的噴出不良的檢查伴隨著圖像識別和圖像 處理，因?yàn)橄鄼C(jī)視野的關(guān)系，將來自全部噴出噴嘴的著落結(jié)果分為多個(gè)， 進(jìn)行批處理，所以需要花費(fèi)時(shí)間。另一方面，工件的更換由機(jī)械手取走處 理完畢的工件，并安放處理前的工件，所以用短時(shí)間即可完成。因此，在 并行進(jìn)行噴出檢査和工件的更換的序列動作中，安放臺一側(cè)的動作休止時(shí) 間變長，結(jié)果，存在工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變長的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種即使進(jìn)行功能液滴噴頭的噴出性能檢 查，工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間也不會變長的液滴噴出裝置、電光裝置的制 造方法、電光裝置和電子設(shè)備。本發(fā)明的液滴噴出裝置，其一邊使工件安放且面對描繪區(qū)的安放臺相
對于功能液滴噴頭在掃描方向上移動， 一邊從功能液滴噴頭向工件噴出功 能液來進(jìn)行描繪，該液滴噴出裝置具備噴出檢査部件，其具有配置在安 放臺的移動軌跡上并通過來自功能液滴噴頭的檢查噴出而被描繪檢查圖 案的被描繪單元，對描繪于被描繪單元上的檢查圖案進(jìn)行圖像識別，來檢 查功能液滴噴頭的噴出性能；工件對準(zhǔn)部件，其進(jìn)行工件相對于安放臺的 對準(zhǔn)；臺移動部件，其使安放臺在描繪區(qū)內(nèi)沿掃描方向移動，并且在描繪 區(qū)與描繪區(qū)近前的對準(zhǔn)位置之間沿掃描方向移動；單元移動部件，其使被 描繪單元與安放臺獨(dú)立地，并且在描繪區(qū)前方的避讓位置與功能液滴噴頭 正下方的檢查位置之間沿掃描方向移動；和控制部件，其控制功能液滴噴 頭、噴出檢查部件、臺移動部件、單元移動部件和工件對準(zhǔn)部件；控制部 件并行進(jìn)行使安放臺移動到對準(zhǔn)位置并且進(jìn)行工件對準(zhǔn)的對準(zhǔn)處理、使 被描繪單元移動到檢查位置并且進(jìn)行檢查噴出以及噴出性能檢查的檢查 處理。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，進(jìn)行通過臺移動部件和工件對準(zhǔn)部件，進(jìn)行將安放工件 的安放臺移動到對準(zhǔn)位置并進(jìn)行工件對準(zhǔn)的對準(zhǔn)處理，與此并行，通過與 臺移動部件獨(dú)立的單元移動部件、功能液滴噴頭和噴出檢查部件，將被描 繪單元移動到檢查位置并進(jìn)行檢查噴出和噴出性能檢查的檢查處理。這 樣，能同時(shí)并行地進(jìn)行對準(zhǔn)處理和檢查處理，利用工件的對準(zhǔn)處理時(shí)間， 能高效地進(jìn)行功能液滴噴頭的噴出性能檢查。因此，能一邊在機(jī)(on machine)進(jìn)行功能液滴噴頭的噴出性能檢查， 一邊縮短工件處理的生產(chǎn) 節(jié)拍時(shí)間，能提高工件的生產(chǎn)率P在該情況下，還具有工件更換部件，其在對準(zhǔn)位置相對安放臺進(jìn)行搬 出描繪完畢的工件并搬入描繪前的工件的更換處理，控制部件還控制工件 更換部件，在使安放臺移動到對準(zhǔn)位置后且在進(jìn)行對準(zhǔn)之前，進(jìn)行更換處 理，并且并行進(jìn)行更換處理和檢查處理。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，除對準(zhǔn)處理之外，利用工件的更換處理的時(shí)間，進(jìn)行功 能液滴噴頭的噴出性能檢査，所以能進(jìn)一步縮短工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí) 間。在以上情況下，臺移動部件具有第一動器，其支撐安放臺；和公共 支撐基座，其將第一動器滑動自如地支撐在掃描方向上；單元移動部件具
有第二動器，其支撐被描繪單元；和公共支撐基座，其將第二動器滑動 自如地支撐在掃描方向上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，安放臺和被描繪單元由不同的動器支撐，所以能使它們 同步移動，也可以以非同步方式分別移動。通過使動器為不同個(gè)體，能減 輕各動器的輸送重量，所以能提高描繪輸送的響應(yīng)性。此外，即使有時(shí)通過對準(zhǔn)動作，第一動器在x、 y、 e方向微小移動，對基于被描繪單元的檢査也不產(chǎn)生影響。此外，通過使支撐基座為公共基座，從而可實(shí)現(xiàn)緊湊 的設(shè)計(jì)。在該情況下，還具有定期沖洗盒，其配置在第二動器上，接受來自功 能液滴噴頭的功能液的拋棄噴出。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在下一描繪動作之前，從功能液滴噴頭對定期沖洗盒進(jìn) 行拋棄噴出后待機(jī)，轉(zhuǎn)移到下一描繪動作。通過在第二動器上設(shè)置定期沖 洗盒，能縮短從待機(jī)到描繪的轉(zhuǎn)移時(shí)間。因此，能有效防止在轉(zhuǎn)移時(shí)間中 噴嘴的干燥等。在以上情況下，被描繪單元具有描繪薄片，其被描繪檢查圖案；檢 查臺，其安放描繪薄片；和薄片輸送部件，其按照將描繪薄片的檢查完畢 部分從檢查臺送出并將未檢查完畢部分向檢查臺送入的方式輸送描繪薄 片；控制部件在使被描繪單元移動到避讓位置的狀態(tài)下，并行進(jìn)行向工件 的描繪和描繪薄片的輸送。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在使被描繪單元移動到避讓位置的狀態(tài)下，并行進(jìn)行向 工件的描繪和描繪薄片的輸送，從而利用描繪處理時(shí)間能高效進(jìn)行描繪薄 片的薄片輸送。此外，通過使被描繪單元移動到避讓位置，能在與描繪區(qū) 和安放臺之間保持一定的距離，從而伴隨著描繪薄片的薄片輸送而產(chǎn)生的 紙屑或塵埃不會附著在功能液滴噴頭和安放臺上安放的工件上，能確保功 能液滴噴頭或工件的清潔度。在該情況下，被描繪單元還包括不良檢測傳感器，其檢測由檢查臺送 入的描繪薄片的安放不良，控制部件在使被描繪單元移動到避讓位置的狀 態(tài)下，并行進(jìn)行向工件的描繪、和基于不良檢測傳感器的安放不良的檢測。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在使被描繪單元移動到避讓位置的狀態(tài)下，并行進(jìn)行向 工件的描繪和描繪薄片的安放不良的檢測，能防止功能液滴噴頭干擾描繪
薄片，并且利用描繪處理的時(shí)間，能高效地進(jìn)行描繪薄片的吸附不良的檢在本發(fā)明的電光裝置的制造方法中，使用所述的液滴噴出裝置，在工 件上形成基于功能液的成膜部。此外，本發(fā)明的電光裝置使用所述的液滴噴出裝置，在工件上形成有 基于功能液的成膜部。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，使用所述液滴噴出裝置，并行進(jìn)行工件的對準(zhǔn)處理和 功能液滴噴頭的噴出性能檢查，能縮短制造的周期，能提高工件的生產(chǎn)率。 另外，作為電光裝置(平板顯示器FPD)，考慮濾色器、液晶顯示裝置、 有機(jī)EL裝置、PDP裝置、電子發(fā)射裝置等。另外，電子發(fā)射裝置是包含 所謂的 FED(Field Emission Display)或 SED ( Surface-conduction Electron-Emitter Display)裝置的概念。進(jìn)而，作為電光裝置，還考慮金屬 布線的形成、透鏡的形成、抗蝕劑的形成和光擴(kuò)散體的形成等。在本發(fā)明的電子設(shè)備中，搭載有由所述的電光裝置的制造方法制造的 電光裝置或所述的電光裝置。這時(shí)，作為電子設(shè)備，除了搭載有所謂的平板顯示器的移動電話、個(gè) 人電腦之外，各種電氣產(chǎn)品也與其對應(yīng)。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的液滴噴出裝置的俯視圖。圖2是液滴噴出裝置的側(cè)視圖。圖3是功能液滴噴頭的外觀立體圖。圖4是構(gòu)成頭組的功能液滴噴頭的圖。圖5是頭單元中搭載的功能液滴噴頭的配色圖案的說明圖。圖6是濾色器的配色圖案的說明圖，(a)表示豎條排列，(b)表示鑲 嵌排列，(c)表示三角排列。圖7是基于液滴噴出裝置的描繪處理的說明圖，(a)是關(guān)于第一描繪 動作的俯視示意圖，(b)是關(guān)于第二描繪動作的俯視示意圖，(c)是關(guān)于 第三描繪動作的俯視示意圖。圖8是第二動器周圍的外觀立體圖。 圖9是說明描繪裝置的主控制系統(tǒng)的框圖。圖IO是說明描繪處理工序和噴出性能檢查工序的并行處理的流程圖。 圖11是說明描繪處理工序和噴出性能檢查工序的并行處理的工序圖。 圖12是說明濾色器制造工序的流程圖。圖13 (a) ~ (e)是按制造工序順序表示的濾色器的示意剖視圖。 圖14是表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的要 部剖視圖。圖15是表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的第2例的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。圖16是表示使用應(yīng)用了本發(fā)明的濾色器的第3例的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。圖17是作為有機(jī)EL裝置的顯示裝置的要部剖視圖。圖18是說明作為有機(jī)EL裝置的顯示裝置的制造工序的流程圖。圖19是說明無機(jī)物隔板層的形成的工序圖。圖20是說明有機(jī)物隔板層的形成的工序圖。圖21是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。圖22是說明形成了空穴注入/輸送層后的狀態(tài)的工序圖。圖23是說明形成藍(lán)色的發(fā)光層的過程的工序圖。圖24是說明形成了藍(lán)色的發(fā)光層后的狀態(tài)的工序圖。圖25是說明形成了各色的發(fā)光層后的狀態(tài)的工序圖。圖26是說明陰極的形成的工序圖。圖27是作為等離子體型顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置的要部分 解立體圖。圖28是作為電子發(fā)射裝置(FED裝置)的顯示裝置的要部剖視圖。 圖29 (a)是顯示裝置的電子發(fā)射部周圍的俯視圖，(b)是表示其形 成方法的俯視圖。圖中1—液滴噴出裝置；7—控制部件；17—功能液滴噴頭；21—安 放臺；22—X軸第一動器；23^X軸第二動器；24—X軸公共支撐基座； 41一對準(zhǔn)位置；131—定期沖洗盒；161—被描繪單元；171—描繪薄片； 172—檢査臺；173—薄片輸送部件；178—真空傳感器；W (工件) 一基 板。具體實(shí)施方式

以下，參照

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。本實(shí)施方式的液滴噴出 裝置被組入到平板顯示器的生產(chǎn)線中，例如使用導(dǎo)入了特殊墨水或發(fā)光性 樹脂液即功能液的功能液滴噴頭，形成成為液晶顯示裝置的濾色器或有機(jī)EL裝置的各像素的發(fā)光元件等。如圖1和圖2所示，液滴噴出裝置l包括X軸臺ll，其配置在由石 底盤支撐的X軸支撐基座2上，并且在成為主掃描方向的X軸方向上延 伸，使工件W在X軸方向(主掃描方向)上移動；Y軸臺12，其配置在 通過多個(gè)支柱4跨X軸臺11地架設(shè)的1對(2個(gè))Y軸支撐基座3上， 并且在成為副掃描方向的Y軸方向上延伸；和搭載有多個(gè)功能液滴噴頭 17 (省略圖示)的10個(gè)滑架單元51， 10個(gè)滑架單元51吊設(shè)在Y軸臺12 上。而且，與X軸臺11以及Y軸臺12的驅(qū)動同步地對功能液滴噴頭17 進(jìn)行噴出驅(qū)動，噴出R、 G、 B這3色的功能液滴，對工件W描繪規(guī)定的 描繪圖案。此外，液滴噴出裝置1具有由沖洗(flushing)單元14、吸引單元15、 擦拭單元16、噴出性能檢查單元18構(gòu)成的維護(hù)裝置5，這些單元用于功 能液滴噴頭17的維護(hù)，實(shí)現(xiàn)功能液滴噴頭17的功能維持和功能恢復(fù)。另 外，構(gòu)成維護(hù)裴置5的各單元中，沖洗單元14和噴出性能檢査單元18搭 載在X軸臺11上，吸引單元15和擦拭單元16與X軸臺11分離，并且 配置在架臺6上，架臺6配置在滑架51能通過Y軸臺12移動的位置。另外，雖然在圖1和圖2中省略了圖示，但是在液滴噴出裝置1中具 有控制裝置整體的控制部件7 (參照圖9)，根據(jù)基于控制部件7的控制， 進(jìn)行所述描繪處理和維護(hù)處理。以下，說明液滴噴出裝置1的構(gòu)成要素。如圖1或圖2所示，X軸臺 ll具有安放工件W的安放臺21;使安放臺21在X軸方向上能自由滑 動地支撐的X軸第一動器22;使上述沖洗單元14和噴出性能檢查單元18 在X軸方向上能自由滑動地支撐的X軸第二動器23;在X軸方向上延伸， 通過X軸第一動器22使工件W在X軸方向上移動，并且通過X軸第二 動器23使沖洗單元14和噴出性能檢査單元18在X軸方向上移動的左右 一對X軸線性電機(jī)(linear motor)(省略圖示)；與X軸線性電機(jī)一同設(shè) 置，引導(dǎo)X軸第一動器22和X軸第二動器23的移動的一對(2個(gè))X軸 公共支撐基座24。另外，由X軸第一動器22和X軸公共支撐基座24構(gòu) 成技術(shù)方案中所述的臺移動部件，由X軸第二動器23和X軸公共支撐基 座24構(gòu)成技術(shù)方案中所述的單元移動部件。安放臺21具有吸附工件W的吸附臺31;支撐吸附臺31，用于將 修正吸附臺31上安放的工件W的位置修正到e軸方向上的e臺32。此外， 在安放臺21的與Y軸方向平行的一對邊上，設(shè)置描繪前沖洗單元111的 一對描繪前沖洗盒121。另外，圖1中的圖示跟前一側(cè)的位置成為工件W的對準(zhǔn)位置41 (更 換位置)，在將未處理的工件W向吸附臺31導(dǎo)入時(shí)或回收處理完畢的工 件W時(shí)，使吸附臺31移動到該位置。然后，通過后面描述的機(jī)械臂71 (工件更換部件)，進(jìn)行工件W相對于吸附臺31的搬入和搬出(更換)(參 照圖ll)。此外，圖中的符號42是用于進(jìn)行工件W的位置識別的工件對 準(zhǔn)相機(jī)(工件對準(zhǔn)部件)，根據(jù)工件對準(zhǔn)相機(jī)42的攝像結(jié)果，進(jìn)行X軸方 向和Y軸方向的數(shù)據(jù)修正，并且進(jìn)行基于e臺32的工件W的e修正。Y軸臺12具有分別將構(gòu)成頭單元13的10個(gè)滑架51固定的10個(gè) 橋板(bridge plate) 52;從兩側(cè)支撐10個(gè)橋板52的10組Y軸動器(省 略圖示)；設(shè)置在所述一對Y軸支撐基座3上，通過10組Y軸動器使橋 板52在Y軸方向移動的一對Y軸線性電機(jī)(省略圖示)。若對一對Y軸線性電機(jī)進(jìn)行(同步)驅(qū)動，則各Y軸動器就在一對Y 軸支撐基座3上進(jìn)行引導(dǎo)，同時(shí)在Y軸方向上平行移動。由此，橋板52 在Y軸方向上移動，與此同時(shí)，滑架51在Y軸方向上移動(副掃描)。 另外，這時(shí)，通過控制Y軸線性電機(jī)的驅(qū)動，也能使滑架51獨(dú)立個(gè)別移 動，也能將10個(gè)滑架51作為一體移動。各滑架51具有12個(gè)功能液滴噴頭17、將12個(gè)功能液滴噴頭17按 每組6個(gè)分為2組來支撐的滑架板53 (參照圖4)。如圖3所示，功能液滴噴頭17是所謂的雙聯(lián)式的，包括具有雙聯(lián)的 連接針92的功能液導(dǎo)入部91、與功能液導(dǎo)入部91相連的雙聯(lián)的頭基板
93、與功能液導(dǎo)入部91的下方相連并且形成有內(nèi)部充滿功能液的頭內(nèi)流 道的頭主體94。連接針92與圖外的功能液容器連接，對功能液導(dǎo)入部91 供給功能液。頭主體94由腔95 (壓電元件)、具有開口了多個(gè)噴出噴嘴 98的噴嘴面97的噴嘴板96構(gòu)成。若對功能液滴噴頭17進(jìn)行噴出驅(qū)動， 就通過(在壓電元件上施加電壓)腔95的泵作用，從噴出噴嘴98噴出功 能液。另外，形成在噴嘴面97上的多個(gè)噴出噴嘴98以等間隔排列，形成2 列由180個(gè)噴出噴嘴98構(gòu)成的分割噴嘴列98b。而且，2列分割噴嘴列98b 彼此偏離半個(gè)間隔的位置。即，在功能液滴噴頭17，通過2列分割噴嘴列 98b，可進(jìn)行高分辨率的描繪。如圖4所示，各滑架單元51通過滑架板53搭載有多個(gè)(12個(gè))功能 液滴噴頭17。 12個(gè)功能液滴噴頭17在Y軸方向上分為2組，每組6個(gè)在 X軸方向排列，構(gòu)成頭組54。而且，由搭載在多個(gè)滑架上的全部功能液滴 噴頭17 (12x10個(gè))形成在Y軸方向上連續(xù)的描繪線。該描繪線的長度與 能在安放臺21上搭載的最大尺寸的基板W的寬度對應(yīng)?；軉卧?i具有能對滑染板53進(jìn)行e修正(e旋轉(zhuǎn))地支撐的e旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)61、通過0旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)61將滑架板53在Y軸臺12 (各橋板52)上 支撐的吊設(shè)構(gòu)件62。另外，雖然省略圖示，但在吊設(shè)構(gòu)件62嵌入通過e 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)61使滑架板53升降的頭升降機(jī)構(gòu)(省略圖示)，能調(diào)整滑架板 53 (功能液滴噴頭17的噴嘴面97)的高度位置?？墒牵钶d在頭單元13上的12x10個(gè)功能液滴噴頭17與R、 G、 B 這3色的功能液的任意一個(gè)對應(yīng)，能對工件W描繪由3色的功能液構(gòu)成 的描繪圖案。圖5表示本實(shí)施方式的頭單元13的功能液滴噴頭17的配色 圖案的說明圖。如圖5所示，頭單元13的功能液滴噴頭17的配色圖案是 對于在Y軸方向上連續(xù)的12x10個(gè)功能液滴噴頭17，將R、 G、 B這3色 以規(guī)定的順序(在本實(shí)施方式中，從圖示右側(cè)按R、 G、 B的順序)重復(fù)， 每次對應(yīng)1個(gè)，IO個(gè)滑架單元51的功能液滴噴頭17的配色圖案全部相同。因此，若對頭單元13以2頭份的噴嘴列長度(160噴嘴)進(jìn)行副掃 描，就能使R、 G、 B這3色的功能液滴噴頭17'面對移動方向的第3以下 的功能液滴噴頭17 (在副掃描移動之前)所面對的區(qū)域，能在該區(qū)域內(nèi)描 繪由3色構(gòu)成的描繪圖案。這里，參照圖7，以生成液晶顯示裝置的濾色器的情形為例，說明液 滴噴出裝置1的描繪區(qū)內(nèi)的一系列的描繪處理。雖然后面詳細(xì)描述，但是 濾色器500具有透光性的(透明)基板501;在工件W上，在X軸方 向和Y軸方向上排列為矩陣狀的多個(gè)像素區(qū)域(濾色器元件)507a;形成 在像素區(qū)域507a上的R、 G、 B這3色的著色層508 (508R、 508G、 508B)、 分隔各像素區(qū)域507a的遮光性的隔板(bank) 503 (參照圖7、圖13等)。 而且，在描繪處理中，生成隔板503的基板501作為工件W被導(dǎo)入，按 照向各像素區(qū)域507a內(nèi)噴出對應(yīng)的R、 G、 B這3色中的任一色的功能液 的方式，在工件W上描繪規(guī)定的描繪圖案。另外，濾色器的配色圖案可采用如下排列方式中的任一方式豎條排 列，在Y軸方向上排列的像素區(qū)域507a的橫隊(duì)都是同色，并且在X軸方 向上重復(fù)排列R、 G、 B這3色；鑲嵌排列，在X軸方向和Y軸方向上排 列的縱隊(duì)和橫隊(duì)的連續(xù)3個(gè)像素區(qū)域507a成為彼此不同的R、 G、 B這3 色；以及三角排列，多個(gè)像素區(qū)域507a交錯(cuò)(每次錯(cuò)開半個(gè)間隔)配置， 相鄰排列的3個(gè)像素區(qū)域507a成為彼此不同的R、 G、 B這3色；這里說 明生成豎條排列的濾色器的情形(參照圖6)。接著工件W (吸附臺31)從工件W的對準(zhǔn)位置41開始的移動，進(jìn) 行描繪處理，首先開始第一描繪動作。在第一描繪動作中，X軸臺11被 原樣驅(qū)動，通過安放臺21，工件W前往運(yùn)動，并且與此同步，面對原位 置的頭單元13的功能液滴噴頭17有選擇地被噴出驅(qū)動，對工件W噴出 功能液(主掃描)。若工件W的前往運(yùn)動結(jié)束，則驅(qū)動Y軸臺12，頭單 元13向Y軸方向少量移動(副掃描)。然后，再次同步進(jìn)行X軸臺11的 驅(qū)動和功能液滴噴頭17的選擇性的噴出驅(qū)動，對返回運(yùn)動的工件噴出功 能液。若工件W的返回運(yùn)動結(jié)束，就再驅(qū)動Y軸臺12，頭單元13向Y 軸方向少量移動，并且再重復(fù)所述的一系列動作，第一描繪動作結(jié)束。另 外，也可以代替通過Y軸臺12使頭單元13在Y軸方向上少量移動，進(jìn) 行副掃描，而在X軸臺上設(shè)置子Y軸臺(省略圖示)，通過該子Y軸臺使 安放臺21在Y軸方向上少量移動，進(jìn)行副掃描。如圖7 (a)所示，頭單元13的1描繪線與在工件W上形成矩陣狀的 像素區(qū)域507a的縱隊(duì)正交，功能液滴噴頭17面對各像素區(qū)域列。此外， 頭單元13在面對原位置時(shí)，頭單元13的(與R、 G對應(yīng))圖示右端的2 個(gè)功能液滴噴頭17 (在圖1中，位于左端)從圖示最右端的像素區(qū)域列再 向右側(cè)偏移。若進(jìn)行所述的第一描繪動作，各功能液滴噴頭17就面對各 列，功能液滴噴頭17向與對應(yīng)的顏色同色所對應(yīng)的像素區(qū)域507a噴出功 能液。若第一描繪動作結(jié)束，就驅(qū)動Y軸臺12，頭單元13向Y軸方向移動 大致1頭噴嘴列長度L。由此，與B色對應(yīng)的功能液滴噴頭17面對在第 一描繪動作時(shí)與R色對應(yīng)的功能液滴噴頭17面對的位置，與R色對應(yīng)的 功能液滴噴頭17面對與G色對應(yīng)的位置，與G色對應(yīng)的功能液滴噴頭17 面對與B色對應(yīng)的位置。接著，進(jìn)行第二描繪動作，與第一描繪動作同樣， 重復(fù)2次工件W的往返運(yùn)動和伴隨于此的功能液滴噴頭17的噴出驅(qū)動。 如圖7(b)所示，由此，在第二描繪動作中，對在第一描繪動作中噴出R 色的像素區(qū)域列噴出B色的功能液，對噴出G色的像素區(qū)域列噴出R色 的功能液，對噴出B色的像素區(qū)域列噴出G色的功能液。若第二描繪動作結(jié)束，就驅(qū)動Y軸臺12，頭單元13再向Y軸方向移 動大致1頭噴嘴列長度。由此，與G色對應(yīng)的功能液滴噴頭17面對在第 一描繪動作時(shí)與R色對應(yīng)的功能液滴噴頭17所面對的位置，與B色對應(yīng) 的功能液滴噴頭17面對與G色對應(yīng)的位置，與R色對應(yīng)的功能液滴噴頭 17面對與B色對應(yīng)的位置。而且，然后，進(jìn)行第三描繪動作，與第一描 繪動作以及第二描繪動作同樣，進(jìn)行2次工件W的往返運(yùn)動。由此，對 各像素區(qū)域列的全部像素區(qū)域507a噴出R、 G、 B全部顏色的功能液，對 工件W的描繪處理結(jié)束。另外，在描繪處理結(jié)束時(shí)，頭單元13的(與G、 B對應(yīng)的)圖示左端的2個(gè)功能液滴噴頭17 (在圖1中，位于右端)從圖 示最左端的像素區(qū)域列進(jìn)一步向左側(cè)偏離(參照圖7 (c))。這樣，在本實(shí)施方式中，在Y軸方向上連續(xù)的12x10個(gè)功能液滴噴頭 17的配色圖案作為R、 G、 B不同的3色的重復(fù)圖案，所以只通過進(jìn)行2 頭部分的噴嘴列長度(2L)的移動，就能對工件W的整個(gè)像素區(qū)域507a 噴出全部顏色的功能液。此外，對同一列的像素區(qū)域507a(在豎條排列時(shí)， 也對橫隊(duì)的像素區(qū)域507a)不會同時(shí)噴出R、 G、 B這3色的功能液，所 以，即使(飛行彎曲等引起)功能液著落到隔板503上時(shí)，也難以產(chǎn)生混 色(由于時(shí)間差，隔板503上的功能液干燥)，能以高精度生成濾色器。另外，在本實(shí)施方式中，對各像素區(qū)域507a，使頭單元13往返運(yùn)動 2次，進(jìn)行描繪處理，但是也能按照實(shí)情，任意設(shè)定該次數(shù)。接著，按順序說明構(gòu)成維護(hù)部件的沖洗單元14、吸引單元15、擦拭 單元16、以及噴出性能檢查單元18。沖洗單元14用于接受由來自功能液 滴噴頭17的全部噴出噴嘴98的拋棄噴出(沖洗)而噴出的功能液滴，由 描繪前沖洗單元lll、定期沖洗單元112構(gòu)成。描繪前沖洗單元111是如下單元在向工件W噴出功能液之前對頭 單元13的全部功能液滴噴頭17進(jìn)行噴出驅(qū)動時(shí)，接受描繪前沖洗的功能 液的單元。該描繪前沖洗單元111由接受功能液的一對描繪前沖洗盒121、 使吸附臺31 (支撐基座省略圖示)支撐一對中的各描繪前沖洗盒121 的一對盒支撐構(gòu)件(省略圖示)構(gòu)成(參照圖1和圖2)。各描繪前沖洗盒 121形成為在Y軸方向上長的俯視長方形的細(xì)長箱狀，在其底部鋪設(shè)吸收 功能液的吸收材料122。一對中的各支撐構(gòu)件按照使各描繪前沖洗盒121沿著吸附臺31的與 Y軸方向平行的一對邊(邊緣)的方式，從吸附臺31伸出對其進(jìn)行支撐。 即，描繪前沖洗盒121配置為夾著吸附臺31的前后，若工件W在X軸方 向往返運(yùn)動，則頭單元13的功能液滴噴頭17在面對工件W之前，依次 面對描繪前沖洗盒121，進(jìn)行描繪前沖洗。由此，能使來自功能液滴噴頭 17的功能液滴的噴出穩(wěn)定，能以高精度對工件W進(jìn)行描繪處理。如圖1或2和圖8所示，定期沖洗單元112是如下單元在如工件W 的更換時(shí)等暫時(shí)停止描繪處理時(shí)，接受對頭單元13的全部功能液滴噴頭 17進(jìn)行噴出驅(qū)動的定期沖洗的功能液的單元。該定期沖洗單元112具有 接受功能液的定期沖洗盒131;搭載在所述X軸第二動器23上，可調(diào)整 高度地支撐定期沖洗盒131的兩端的一對盒支柱構(gòu)件132。定期沖洗盒131其上面開放，形成沿Y軸方向長的俯視為方形的盒狀。 定期沖洗盒131構(gòu)成為能包含搭載在頭單元13上的12x10個(gè)的全部功能 液滴噴頭17的尺寸，能同時(shí)對頭單元13的全部功能液滴噴頭17進(jìn)行定 期沖洗。在定期沖洗盒131的底面，突出設(shè)置沿Y軸方向延伸的多個(gè)(3
個(gè))肋(rib) 133，在這些肋133上配置有吸收功能液的薄板狀的薄板吸 收材料134。薄板吸收材料134的上端面與定期沖洗盒131的上端面大致 一致。然后，使X軸第二動器23移動，若吸附臺31面對工件更換位置， 則定期沖洗盒131就面對頭單元13，能接受定期沖洗的功能液。吸引單元15用于吸引功能液滴噴頭17，使功能液從功能液滴噴頭17 的噴出噴嘴98強(qiáng)制排出。如圖1所示，吸引單元15構(gòu)成為與頭單元13 即10個(gè)滑架單元51對應(yīng)，將同樣構(gòu)成的10個(gè)分割吸引單元141排列配 置在所述架臺6上。各分割吸引單元141具有罩單元142，其從下側(cè)面 對進(jìn)行吸引的滑架單元51，分別使對應(yīng)的12個(gè)罩143密接在滑架單元51 上搭載的12個(gè)功能液滴噴頭17的噴嘴面97上；罩升降機(jī)構(gòu)(省略圖示)， 其使罩單元142升降，從而使罩143相對于功能液滴噴頭17 (噴嘴面97) 離開或靠近；以及吸引部件(噴射器省略圖示)，其通過密接的罩143 對各功能液滴噴頭17作用吸引力。功能液的吸引除了為消除/防止功能液滴噴頭17 (噴出噴嘴98)的堵 塞而進(jìn)行之外，還在新設(shè)置液滴噴出裝置1時(shí)或進(jìn)行功能液滴噴頭17的 頭更換時(shí)等，為了向從功能液容器到功能液滴噴頭17的功能液流道填充 功能液而進(jìn)行。此外，吸引單元15的罩143在液滴噴出裝置1非工作時(shí)， 用于保管功能液滴噴頭17。這時(shí)，使頭單元13面對吸引單元15，使罩143 與功能液滴噴頭17的噴嘴面97密接，來密封噴嘴面97，防止功能液滴噴 頭17 (噴出噴嘴98)的干燥。擦拭單元16用噴灑有洗滌液的擦拭薄板151擦凈功能液滴噴頭17的 噴嘴面97 (進(jìn)行擦拭)，具有 一邊陸續(xù)放出巻成巻狀的擦拭薄板151， 一邊將其巻繞起來的巻繞單元152;對陸續(xù)放出的擦拭薄板151散布洗滌 液的洗滌液供給單元153;用散布了洗滌液的擦拭薄板151擦凈噴嘴面97 的擦凈單元154 (參照圖1)。擦拭動作在基于吸引單元15的吸引后進(jìn)行， 擦拭附著在噴嘴面97上的污跡。而且，擦拭單元16配置在比吸引單元15 更靠X軸臺11 一側(cè)，面對基于吸引單元15的吸引后回到原位置的頭單元 13 (各滑架單元51)，能高效地進(jìn)行擦拭動作。如圖1或2和圖8所示，噴出性能檢查單元18用于檢查從搭載在頭 單元13上的全部功能液滴噴頭17 (的噴出噴嘴98)是否適當(dāng)?shù)貒姵隽斯?能液，具有接受從頭單元13的全部功能液滴噴頭17的全部噴出噴嘴98 檢査噴出的功能液，用于描繪規(guī)定的檢查圖案的被描繪單元161;拍攝在 被描繪單元161上描繪的檢查圖案以進(jìn)行檢査的攝像單元162。另外，被 描繪單元161搭載在X軸臺11上，攝像單元162固定設(shè)置在Y軸臺12 正下方的檢查位置(不過，后面描述的檢查相機(jī)181移動)。被描繪單元161具有接受來自功能液滴噴頭17的檢查噴出，繞成 巻狀，描繪檢查圖案的長條的描繪薄片171 (巻紙等)；安放描繪薄片171 的檢查臺172;薄片輸送部件173，其按照將描繪薄片171的檢査完畢部 分向檢查臺172送出，并且將未檢查完畢部分向檢査臺172送入的方式輸 送描繪薄片171;支撐薄片輸送部件173的薄片輸送支撐構(gòu)件174;支撐 薄片輸送支撐構(gòu)件174的單元基座175;檢測安放在檢查臺172上的描繪 薄片171的安放不良的真空傳感器178 (參照圖9)。薄片輸送部件173具 有填裝描繪薄片171，陸續(xù)放出描繪薄片171的巻軸176;巻繞陸續(xù)放 出的描繪薄片171的巻繞巻軸177;用于使巻繞巻軸177旋轉(zhuǎn)的巻繞電機(jī) (齒輪電機(jī)省略圖示)。陸續(xù)放出的描繪薄片171在露出于外部的狀態(tài) 下沿Y軸方向水平行進(jìn)，由巻繞巻軸177巻繞起來，但是該描繪薄片171 的水平行進(jìn)部成為接受檢查圖案的被描繪部。水平行進(jìn)部的Y軸方向的長 邊的長度設(shè)定為能接受來自頭單先13的所有功能液滴噴頭17的檢査噴 出，在本實(shí)施方式中，與描繪前沖洗盒121或定期沖洗盒131同樣，與l 描繪線的長度+2頭份的噴嘴列長度的長度對應(yīng)設(shè)定。如圖2所示，攝像單元162由所述的Y軸支撐基座3支撐，具有2 個(gè)檢查相機(jī)181，從上側(cè)面對X軸臺ll，拍攝在描繪薄片171上描繪的檢 查圖案；保持2個(gè)檢查相機(jī)181的相機(jī)支架182;相機(jī)移動機(jī)構(gòu)183，其 固定在Y軸支撐基座3上，通過相機(jī)支架182將2個(gè)檢查相機(jī)181在Y 軸方向上滑動自如地支撐；相機(jī)移動電機(jī)(省略圖示)，其用于通過相機(jī) 移動機(jī)構(gòu)183使檢查相機(jī)181在Y軸方向上移動。2個(gè)檢查相機(jī)181分別 拍攝在描繪薄片171上描繪的檢查圖案的各一半。例如，將2個(gè)檢查相機(jī) 181相隔頭單元13的1描繪線的長度的約一半的距離配置，在該狀態(tài)下， 使2個(gè)檢查相機(jī)181移動，用左側(cè)的檢查相機(jī)181拍攝檢查圖案的左側(cè)一 半，用右側(cè)的檢查相機(jī)181拍攝右側(cè)一半。由此，能在短時(shí)間高效拍攝(掃
描)檢查圖案，能削減功能液滴噴頭17的噴出性能檢查所需的時(shí)間。攝像單元162配置為當(dāng)吸附臺31面對工件更換位置時(shí)，2個(gè)檢查相機(jī) 181面對描繪薄片171，在本實(shí)施方式中，在工件更換中和對準(zhǔn)中能進(jìn)行 檢查圖像的拍攝。而且，基于2個(gè)檢查相機(jī)181的攝像結(jié)果被發(fā)送至控制 部件7以進(jìn)行圖像識別，根據(jù)該圖像識別，判斷各功能液滴噴頭17的各 噴出噴嘴98是否正常噴出功能液(是否堵塞)，該判斷也在工件更換中和 對準(zhǔn)中進(jìn)行。即，噴出檢查部件由攝像單元162和控制部件7構(gòu)成。真空傳感器178設(shè)置在連通吸附臺31和空氣吸引部件(省略圖示) 的吸引管(省略圖示)中，由真空傳感器178檢測到負(fù)壓比規(guī)定的負(fù)壓還 小(負(fù)壓的絕對值小)，可檢測到伴隨著吸附不良的描繪薄片171的浮出。將檢查結(jié)果發(fā)送至控制部件7，停止噴出性能檢査單元18的驅(qū)動。由 此，防止描繪薄片171與功能液滴噴頭17的噴嘴面97接觸。另外，將檢 查臺172沿長度方向分割為多份，按各分割臺設(shè)置真空傳感器178。此外， 雖然后面詳細(xì)描述，但是在本實(shí)施方式中，與向工件W的描繪并行，進(jìn) 行基于真空傳感器178的描繪薄片171的安放不良的檢測。另外，代替真空傳感器H8，也可按照使被描繪單元161從上部面對 上述避讓位置的方式配置位移傳感器(在多個(gè)位置檢測距描繪薄片171的 間隔尺寸)，檢測描繪薄片171的安放不良。此外，也可以按照使被描繪 單元161從側(cè)面面對避讓位置的方式配置激光傳感器(在多個(gè)位置檢測激 光是否被描繪薄片171遮蔽),檢測描繪薄片171的安放不良。下面，參照圖9，說明液滴噴出裝置1的主控制系統(tǒng)。如圖9所示， 液滴噴出裝置1包含具有頭單元13 (功能液滴噴頭17)的液滴噴出部 191;具有X軸臺ll，用于使工件向X軸方向移動的工件移動部192;具 有Y軸臺12，用于使頭單元13向Y軸方向移動的頭移動部193;具有維 護(hù)部件的各單元的維護(hù)部194;具有各種傳感器，進(jìn)行各種檢測的檢測部195;具有驅(qū)動控制各部的各種驅(qū)動器的驅(qū)動部196;連接在各部上，進(jìn)行液滴噴出裝置1整體的控制的控制部197 (控制部件7)。在控制部197中具有用于連接各部件的接口 201;具有能暫時(shí)進(jìn)行存儲的存儲區(qū)域，作為用于控制處理的作業(yè)區(qū)域而使用的RAM202;具有 各種存儲區(qū)域，存儲控制程序或控制數(shù)據(jù)的ROM203;存儲用于對工件W
描繪規(guī)定的描繪圖案的描繪數(shù)據(jù)、來自各種部件的各種數(shù)據(jù)等，并且存儲用于處理各種數(shù)據(jù)的程序等的硬盤204;按照ROM203或硬盤204中存儲 的程序等，計(jì)算處理各種數(shù)據(jù)的CPU205;將上述各部件彼此連接的總線 206。而且，控制部197將來自各部件的各種數(shù)據(jù)通過接口201輸入，并且 按照硬盤204中存儲的(或由CD-ROM驅(qū)動器等依次讀出的)程序，使 CPU205進(jìn)行計(jì)算處理，將處理結(jié)果通過驅(qū)動部196 (各種驅(qū)動器)對各 部件輸出。由此，控制裝置整體，進(jìn)行液滴噴出裝置1的各種處理。接著，參照圖10的流程圖和圖11的說明圖，描述對工件W的描繪 處理和功能液滴噴頭17的噴出性能檢查的動作步驟。首先，通過機(jī)械臂 71 (工件更換部件)向面對工件W的對準(zhǔn)位置41的X軸第一動器22上 的安放臺21 (吸附臺31)安放未處理的工件W (更換處理)。與此同時(shí)， 通過控制部197， X軸第二動器23上的被描繪單元161移動到面對檢查相 機(jī)181的檢查位置，檢查相機(jī)181拍攝由功能液滴噴頭17向被描繪單元 161上檢查噴出的檢查圖案，讀入檢查圖案的數(shù)據(jù)(圖10: Sl，圖11: a)。接著，控制部197驅(qū)動工件對準(zhǔn)相機(jī)42，拍攝X軸第一動器22上的 安放臺21上安放的工件W的位置，并且對該拍攝結(jié)果進(jìn)行圖像識別。然 后，根據(jù)該圖像識別，驅(qū)動X軸第一動器22、 Y軸動器和e臺32，在X、 Y、 e方向進(jìn)行對準(zhǔn)處理(X、 Y方向也可以作為數(shù)據(jù)修正)。而在被描繪 單元161中，由控制部197控制的檢査相機(jī)181繼續(xù)拍攝對描繪薄片171 檢查噴出的檢查圖案，讀入檢査圖案的數(shù)據(jù)(圖10: S2，圖ll: b)。這時(shí)，能同時(shí)并行進(jìn)行工件W的更換處理和對準(zhǔn)處理、功能液滴噴 頭17的噴出性能檢查，所以能利用工件W的更換處理和對準(zhǔn)處理的時(shí)間， 高效進(jìn)行噴出性能的檢查。因此，能縮短工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，能提 高工件W的生產(chǎn)率。此外，在同一圖中雖然省略，但是若X軸第二動器23上的被描繪單 元161移動到面對檢査相機(jī)181的檢查位置，則配置在同一動器上的定期 沖洗單元112 (定期沖洗盒131)移動到面對功能液滴噴頭17的位置。因 此，在下一描繪動作之前，對定期沖洗盒131進(jìn)行來自功能液滴噴頭17 的拋棄噴出并待機(jī)。通過在X軸第二動器23設(shè)置定期沖洗盒131，能縮
短從待機(jī)到描繪的轉(zhuǎn)移時(shí)間，所以能在轉(zhuǎn)移時(shí)間中有效防止噴嘴的干燥。 接著，若工件W的對準(zhǔn)處理和功能液滴噴頭17的噴出性能檢查結(jié)束，則控制部197使X軸第一動器22在掃描方向上滑動，使安放臺21和工件 W移動到描繪區(qū)，并且使X軸第二動器23在掃描方向上滑動，使被描繪 單元161移動到其原位置即避讓位置(圖10: S3，圖ll: c)。接著，移動到描繪區(qū)的安放臺21相對功能液滴噴頭17進(jìn)行往返運(yùn)動， 與此同步，驅(qū)動功能液滴噴頭17，進(jìn)行對工件W的描繪動作。被描繪單 元161無需進(jìn)行移動，所以在上述的避讓位置待機(jī)(圖10: S4，圖11: d)。 此外，在對安放臺21上的工件W繼續(xù)進(jìn)行描繪時(shí)，被描繪單元161也在 避讓位置待機(jī)(圖10: S5，圖ll: e)。這時(shí)，如上所述，向X軸第二動器23搭載定期沖洗單元112 (定期 沖洗盒131)，由此X軸第一動器22的搬送重量減輕，所以描繪輸送的響 應(yīng)性能提高。此外，在將被插繪單元161移動到偏離描繪區(qū)的避讓位置的狀態(tài)下， 并行進(jìn)行對工件W的描繪、描繪薄片171的薄片輸送和薄片輸送后的安 放不良的檢測，從而能利用描繪處理的時(shí)間來高效進(jìn)行描繪薄片171的薄 片輸送和安放不良的檢測。進(jìn)而，使被描繪單元161移動到避讓位置，在 與描繪區(qū)以及安放臺21之間確保一定的距離，使得伴隨著描繪薄片171 的薄片輸送而產(chǎn)生的紙屑或塵埃不會附著在功能液滴噴頭17和安放臺21 上安放的工件W上，能確保功能液滴噴頭17或工件W的清潔度。接著，若對安放在安放臺21上的工件W的描繪動作結(jié)束，則通過控 制部197，使配置在X軸第二動器23上的被描繪單元161移動到面對功 能液滴噴頭17的位置，對描繪薄片171進(jìn)行來自功能液滴噴頭17的功能 液的檢查噴出(圖10: S6,圖ll: f)。然后，控制部197使X軸第一動 器22滑動，使安放臺21移動到面對工件對準(zhǔn)相機(jī)42的對準(zhǔn)位置41，并 且使X軸第二動器23滑動，將被描繪單元161移動到面對檢查相機(jī)181 的檢查位置(圖10: S7，圖11: g)。最后，通過機(jī)械臂71將安放臺21上的描繪完畢工件W搬出(更換 處理)，并且與此并行，控制部197驅(qū)動檢查相機(jī)181，拍攝對安放在被描 繪單元161上的描繪薄片171噴出的檢查圖案，讀入檢査圖案的數(shù)據(jù)(圖 io: S8，圖ii: h)。然后，回到"sr的動作，再度開始描繪處理。 如上所述，在本實(shí)施方式的液滴噴出裝置i中，能同時(shí)并行進(jìn)行工件w的更換處理和對準(zhǔn)處理、檢査處理，利用工件w的更換處理和對準(zhǔn)處理的時(shí)間來高效地進(jìn)行噴出性能的檢查。因此，能縮短工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，能提高工件w的生產(chǎn)率。此外，在本實(shí)施方式的液滴噴出裝置i中，通過在避讓位置進(jìn)行接受功能液滴噴頭17的檢查噴出的描繪薄片171的薄片輸送，從而伴隨著此 而產(chǎn)生的紙屑或塵埃不會附著到功能液滴噴頭17和工件W上。由此，能 以清潔的狀態(tài)維持功能液滴噴頭17和工件W并進(jìn)行描繪處理。此外，利 用向工件W描繪的時(shí)間能進(jìn)行描繪薄片171的薄片輸送和安放不良的檢 測，所以能縮短工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，能提高工件W的生產(chǎn)率。下面，作為使用本實(shí)施方式的液滴噴出裝置l制造的電光裝置(平板 顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置、等離子體顯示器(PDP 裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、形成在這些顯示裝置中的 有源矩陣基板等為例，說明它們的構(gòu)造及其制造方法。另外，有源矩陣基 板是指形成薄膜晶體管、與薄膜晶體管電連接的源極線、數(shù)據(jù)線的基板。首先，說明嵌入液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置中的濾色器的制造方法。 圖12是說明濾色器制造工序的流程圖，圖13是按制造工序順序表示的本 實(shí)施方式的濾色器500 (濾色器基體500A)的示意剖視圖。首先，在黑底(black matrix)形成工序(S101)中，如圖13 (a)所 示，在基板(W) 501上形成黑底502。黑底502由金屬鉻、金屬鉻和氧 化鉻的層疊體或樹脂黑(black)等形成。為了形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑底 502,能使用濺射法和蒸鍍法等。此外，在形成由樹脂薄膜構(gòu)成的黑底502 時(shí)，能使用照相凹板印刷法、光致抗蝕劑法、熱轉(zhuǎn)印法等。接著，在隔板的形成工序(S102)中，以重疊于黑底502上的狀態(tài)形 成隔板503。目卩，首先如圖13 (b)所示，按照覆蓋基板501和黑底502 的方式形成由負(fù)片型透明感光性樹脂構(gòu)成的抗蝕劑層504。然后，在用形 成矩陣圖案形狀的掩模薄膜505覆蓋其上表面的狀態(tài)下，進(jìn)行曝光處理。進(jìn)而，如圖13 (c)所示，通過對抗蝕劑層504的未曝光部分進(jìn)行蝕 刻處理，對抗蝕劑層504進(jìn)行圖案化，形成隔板503。另外，當(dāng)通過樹脂
黑形成黑底時(shí)，能兼用黑底和隔板。該隔板503和其下的黑底502成為劃分各像素區(qū)域507a的劃分壁部 507b，在以后的著色層形成工序中，在通過功能液滴噴頭17形成著色層 (成膜部)508R、 508G、 508B時(shí)，規(guī)定功能液滴的著落區(qū)域。經(jīng)過以上的黑底的形成工序和隔板的形成工序，獲得所述濾色器基體 500A。另外，在本實(shí)施方式中，作為隔板503的材料，使用涂膜表面為疏液 (疏水)性的樹脂材料。而且，基板(玻璃基板)501的表面是親液(親 水)性的，所以在后面描述的著色層的形成工序中，能自動修正向由隔板 503 (劃分壁部507b)包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)的液滴著落位置的偏差。接著，在著色層的形成工序中(S103)中，如圖13 (d)所示，通過 液滴噴頭17噴出功能液滴，使其著落到由劃分壁部507b包圍的各像素區(qū) 域507a內(nèi)。這時(shí)，使用液滴噴頭17導(dǎo)入R、 G、 B這3色的功能液(過 濾器材料)，進(jìn)行功能液滴的噴出。另外，作為R、 G、 B三色的排列圖案， 有豎條排列、鑲嵌排列和三角排列等。然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)，使功能液固定，形成3色的著 色層508R、 508G、 508B。若形成著色層508R、 508G、 508B完畢，則轉(zhuǎn) 移到保護(hù)膜的形成工序(S104)，如圖13 (e)所示，按照覆蓋基板501、 劃分壁部507b、著色層508R、 508G、 508B的上表面的方式形成保護(hù)膜 509。艮口，向基板501的形成有著色層508R、 508G、 508B的整個(gè)面噴出保 護(hù)膜用涂敷液后，經(jīng)過干燥處理，形成保護(hù)膜509。然后，在形成保護(hù)膜509后，濾色器500轉(zhuǎn)移到下一工序的成為透明 電極的ITO (Indium Tin Oxide)等的膜添加工序。圖14表示作為使用了所述濾色器500的液晶顯示裝置的一個(gè)例子的 無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。在該液晶裝 置520上安裝液晶驅(qū)動用IC、背光燈、支撐體等附帶要素，獲得作為最終 產(chǎn)品的透射型液晶顯示裝置。另外，濾色器500與圖13所示的濾色器相 同，所以對于對應(yīng)的部位標(biāo)注相同的符號，省略說明。該液晶裝置520大致由濾色器500、由玻璃基板構(gòu)成的對置基板521、
夾在它們之間的由STN (Super Twisted Nematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶 層522構(gòu)成，將濾色器500配置在圖中上方(觀察者一側(cè))。另外，雖然未圖示，但是在對置基板521和濾色器500的外表面(與 液晶層522 —側(cè)相反一側(cè)的面)分別配置偏振片，此外在位于對置基板521 一側(cè)的偏振片的外側(cè)配置背光燈。在濾色器500的保護(hù)膜509 (液晶層一側(cè))上，以規(guī)定間隔形成多個(gè) 在圖14中的左右方向上較長的長方形的第一電極523，按照覆蓋該第一電 極523的與濾色器500相反一側(cè)的面的方式形成第一取向膜524。另一方面，在對置基板521的與濾色器500相對的面上，以規(guī)定間隔 形成多個(gè)第二電極526，第二電極526形成為在與濾色器500的第一電極 523正交的方向上較長的長方形，按照覆蓋該第二電極526的液晶層522 一側(cè)的面的方式形成第二取向膜527。這些第一電極523和第二電極526 由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。設(shè)置在液晶層522內(nèi)的隔離塊528是用于將液晶層522的厚度(單元 間隔)保持為一定的構(gòu)件。此外，密封材料529是用于防止液晶層522內(nèi) 的液晶組成物向外部泄漏的構(gòu)件。另外，第一電極523的一端部作為包圍 布線523a延伸到密封材料529的外側(cè)。而且，第一電極523和第二電極526交叉的部分是像素，構(gòu)成為濾 色器500的著色層508R、 508G、 508B位于該成為像素的部分。在通常的制造工序中，對濾色器500進(jìn)行第一電極523的圖案化和第 一取向膜524的涂敷，生成濾色器500 —側(cè)的部分，并且另外在對置基板 521上進(jìn)行第二電極526的圖案化和第二取向膜527的涂敷，生成對置基 板521—側(cè)的部分。然后，在對置基板521—側(cè)的部分，生成隔離塊528 和密封材料529，在該狀態(tài)下貼合濾色器500 —側(cè)的部分。接著，從密封 材料529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶，密封注入口。然后，層疊 兩個(gè)偏振片和背光燈。實(shí)施方式的液滴噴出裝置1涂敷構(gòu)成所述單元間隔的隔離材料(功能 液)，并且在向?qū)χ没?21 —側(cè)的部分貼合濾色器500—側(cè)的部分之前， 能對由密封材料529包圍的區(qū)域均勻涂敷液晶(功能液)。此外，能用液 滴噴頭17進(jìn)行所述密封材料529的印刷。進(jìn)而，也能用功能液滴噴頭17 進(jìn)行第一和第二取向膜524、 527的涂敷。圖15是在表示使用本實(shí)施方式中制造的濾色器500的液晶裝置的第 二例的概略結(jié)構(gòu)的要部剖視圖。該液晶裝置530與所述液晶裝置520的差異較大之處在于將濾色器 500配置在圖中下方(與觀測者一側(cè)相反的一側(cè))。該液晶裝置530在濾色器500和由玻璃基板等構(gòu)成的對置基板531之 間夾著由STN液晶構(gòu)成的液晶層532。另外，雖然未圖示，但是在對置基 板531和濾色器500的外表面分別配置有偏振片。在濾色器500的保護(hù)膜509上(液晶層532 —側(cè))，以規(guī)定間隔形成 多個(gè)在圖中向里的方向上較長的長方形的第一電極533，按照覆蓋該第一 電極533的液晶層532 —側(cè)的面的方式形成第一取向膜534。在對置基板531的與濾色器500相對的面上以規(guī)定間隔形成第二電極 536，第二電極536形成為在與濾色器500 —側(cè)的第一電極533正交的方 向上延伸的多個(gè)長方形，按照覆蓋該第二電極536的液晶層532 —側(cè)的面 的方式形成第二取向膜537。在液晶層532中設(shè)置用于將該液晶層532的厚度保持為一定的隔離塊 538、用于防止液晶層532內(nèi)的液晶組成物向外部泄漏的密封材料539。而且，與所述液晶裝置520詞樣，第一電極533和第二電極536交叉 的部分是像素，濾色器500的著色層508R、 508G、 508B位于成為該像素 的部位。圖16是表示使用應(yīng)用本發(fā)明的濾色器500構(gòu)成液晶裝置的第三例， 是表示透射型的TFT (Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解 立體圖。該液晶裝置550在圖中上方(觀察者一側(cè))配置濾色器500。 該液晶裝置550大致由濾色器500、與它相對地配置的對置基板551、 夾在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色器500的上表面一側(cè)(觀察 者一側(cè))的偏振片555、配置在對置基板551的下表面一側(cè)的偏振片(未 圖示)構(gòu)成。在濾色器500的保護(hù)膜509的表面(對置基板551 —側(cè)的面)形成液 晶驅(qū)動用的電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，成為覆蓋
形成后面描述的像素電極560的整個(gè)區(qū)域的整個(gè)面電極。此外，以覆蓋該 電極556的與像素電極560相反一側(cè)的面的狀態(tài)設(shè)置有取向膜557。在對置基板551的與濾色器500相對的面上形成有絕緣層558,在該 絕緣層558上以彼此正交的狀態(tài)形成掃描線561和信號線562。而且，在 由這些掃描線561和信號線562包圍的區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。另外， 在實(shí)際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)置取向膜，但這里省略圖示。此外，在由像素電極560的切口部、掃描線561和信號線562包圍的 部分組入具有源電極、漏電極、半導(dǎo)體、柵電極的薄膜晶體管563。而且， 通過施加針對掃描線561和信號線562的信號，使薄膜晶體管563導(dǎo)通/ 斷開，能進(jìn)行對像素電極560的通電控制。另外，所述各例的液晶裝置520、 530、 550為透過型結(jié)構(gòu)，但是可以 設(shè)置反射層或半透半反層，作為反射型的液晶裝置或半透半反型的液晶裝 置。接著，圖17是有機(jī)EL裝置的顯示區(qū)域(以下只稱作顯示裝置600) 的要部剖視圖。該顯示裝置600構(gòu)成為在基板(W) 601上層疊有電路元件部602、 發(fā)光元件部603和陰極604的狀態(tài)。在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601 —側(cè)發(fā)出的光透 過電路元件部602和基板601，出射到觀測者一側(cè)，并且從發(fā)光元件部603 向基板601的相反一側(cè)發(fā)出的光由陰極604反射后，透射電路元件部602 和基板601，出射到觀測者一側(cè)。在電路元件部602和基板601之間，形成由硅氧化膜構(gòu)成的基底保護(hù) 膜606，在基底保護(hù)膜606上(發(fā)光元件部603 —側(cè))形成有由多晶硅構(gòu) 成的島狀的半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右的區(qū)域，分別通過高 濃度陽離子注入，形成源極區(qū)域607a和漏極區(qū)域607b。然后，未注入陽 離子的中央部成為溝道區(qū)域607c。此外，在電路元件部602上形成覆蓋基底保護(hù)膜606和半導(dǎo)體膜607 的透明的柵極絕緣膜608，在該柵極絕緣膜608上的與半導(dǎo)體膜607的溝 道區(qū)域607c對應(yīng)的位置上，形成有例如由A1、 Mo、 Ta、 Ti、 W等構(gòu)成的 柵電極609。在該柵電極609和柵極絕緣膜608上，形成有透明的第一層
間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。此外，形成貫通第一、第二層間 絕緣膜611a、611b而分別與半導(dǎo)體膜607的源極區(qū)域607a、漏極區(qū)域607b 連通的接觸孔612a、 612b。然后，在第二層間絕緣膜6Ub上形成由ITO等構(gòu)成的透明的像素電 極613，其被圖案化為規(guī)定的形狀，該像素電極613通過接觸孔612a與源 區(qū)607a連接。此外，在第一層間絕緣膜611a上配置電源線614，該電源線614通過 接觸孔612b與漏極區(qū)域607b連接。這樣，在電路元件部602上分別形成有與各像素電極613連接的驅(qū)動 用薄膜晶體管615。所述發(fā)光元件部603大致由分別層疊在多個(gè)像素電極613上的功能層 617、設(shè)置在各像素電極613和功能層617之間并且對各功能層617進(jìn)行 劃分的隔板部618構(gòu)成。由這些像素電極613、功能層617、配置在功能層617上的陰極604 構(gòu)成發(fā)光元件。另外，形成像素電極613，將其圖案化為俯視近似為矩形 狀，在各像素電極613之間形成隔板部618。隔板部618由以下部分構(gòu)成:例如由SiO、 Si02、 Ti02等無機(jī)材料形 成的無機(jī)物隔板層618a (第一隔板層)；層疊在該無機(jī)物隔板層618a上， 并且由丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異的抗蝕劑形成 的截面梯形的有機(jī)物隔板層618b (第二隔板層)。該隔板部618的一部分 形成為跨在像素電極613的周緣部上的狀態(tài)。而且，在各隔板部618之間，形成有相對于像素電極613向上方逐漸 擴(kuò)大的開口部619。所述功能層617構(gòu)成為包括在開口部619內(nèi)以層疊在像素電極613 上的狀態(tài)而形成的空穴注入/輸送層617a、形成在該空穴注入/輸送層617a 上的發(fā)光層617b。另外，還可以與該發(fā)光層617b相鄰地形成具有其他功 能的其他功能層。例如也能形成電子輸送層?？昭ㄗ⑷?輸送層617a具有從像素電極613 —側(cè)輸送空穴并注入到發(fā) 光層617b的功能。通過噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物 (功能液)，形成該空穴注入/輸送層617a。作為空穴注入/輸送層形成材料，
使用眾所周知的材料。發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)中的任意光， 通過噴出包含發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第二組成物(功能液)而形 成。作為第二組成物的溶劑(非極性溶劑)，希望對空穴注入/輸送層617a 使用不溶解的眾所周知的材料，通過對發(fā)光層617b的第二組成物使用這 樣的非極性溶劑，可不會使空穴注入/輸送層617a再溶解地形成發(fā)光層 617b。然后，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴、從陰 極604注入的電子在發(fā)光層中重新結(jié)合而發(fā)光。以覆蓋發(fā)光元件部603的整個(gè)面的狀態(tài)形成陰極604，與像素電極613 成對地實(shí)現(xiàn)在功能層617中流動電流的任務(wù)。另外，在該陰極604的上部配置未圖示的密封構(gòu)件。下面，參照圖18 圖26說明所述顯示裝置600的制造工序。該顯示裝置600如圖18所示，經(jīng)過隔板部形成工序(Slll)、表面處 理工序(S112)、空穴注入/輸送層的形成工序(S113)、發(fā)光層的形成工序 (S114)、對置電極的形成工序(S115)制造。另外，制造工序并不局限 于例示的工序，根據(jù)需要有時(shí)會除去其他工序或進(jìn)行追加。首先，在隔板部形成工序(S111)中，如圖19所示，在第二層間絕 緣膜611b上形成無機(jī)物隔板層618a。在形成位置形成無機(jī)物膜后，通過 光刻技術(shù)對該無機(jī)物膜圖案化，從而形成該無機(jī)物隔板層618a。這時(shí)，無 機(jī)物隔板層618a的一部分與像素電極613的周圍部重疊形成。若形成無機(jī)物隔板層618a，則如圖20所示，在無機(jī)物隔板層618a上 形成有機(jī)物隔板層618b。該有機(jī)物隔板層618b也與無機(jī)物隔板層618a同 樣，通過光刻技術(shù)等圖案化而形成。這樣形成隔板部618。此外，伴隨于此，在各隔板部618之間，對于 像素電極613，形成向上方開口的開口部619。該開口部619規(guī)定像素區(qū) 域。在表面處理工序(S112)中，進(jìn)行親液化處理和疏液化處理。進(jìn)行親 液化處理的區(qū)域是無機(jī)物隔板層618a的第一層疊部618aa和像素電極613 的電極面613a，通過以氧氣為處理氣體的等離子體處理將這些區(qū)域表面處
理為親液性。該等離子體處理也兼任像素電極613的ITO的洗凈。此外，疏液化處理對有機(jī)物隔板層618b的壁面618s和有機(jī)物隔板層 618b的上表面618t進(jìn)行，例如通過以四氟甲烷為處理氣體的等離子體處 理，表面被氟化處理(處理為疏液性)。通過進(jìn)行該表面處理工序，在使用液滴噴頭17形成功能層617時(shí)， 能使功能液滴更可靠地著落到像素區(qū)中，此外能防止著落到像素區(qū)中的功 能液滴從開口部619溢出。而且，經(jīng)過以上的工序，獲得顯示裝置基體600A。將該顯示裝置基 體600A安放在圖1所示的液滴噴出裝置1的安放臺21上，進(jìn)行以下的空 穴注入/輸送層的形成工序(S113)、發(fā)光層的形成工序(S114)。如圖21所示，在空穴注入/輸送層的形成工序(S113)中，從功能液 滴噴頭17對作為像素區(qū)域的各開口部619內(nèi)噴出包含空穴注入/輸送層形 成材料的第一組成物。然后，如圖22所示，進(jìn)行干燥處理和熱處理，使 第一組成物所包含的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極(電極面613a) 613上形 成空穴注入/輸送層617a。接著說明發(fā)光層的形成工序(S114)。該發(fā)光層的形成工序中，如上 所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為形成發(fā)光層時(shí)使用 的第二組成物的溶劑，使用相對于空穴注入/輸送層617a不溶解的非極性 溶劑?？墒牵硪环矫?，空穴注入/輸送層617a相對于非極性溶劑的親和性 低，所以，即使向空穴注入/輸送層617a上噴出包含非極性溶劑的第二組 成物，也有可能無法使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b密接，或者無 法均勻涂敷發(fā)光層617b。因此，為了提高空穴注入/輸送層617a相對于非極性溶劑以及發(fā)光層 形成材料的表面親和性，希望在形成發(fā)光層之前進(jìn)行表面處理(表面改質(zhì) 處理)。通過在空穴注入/輸送層617a上涂敷與形成發(fā)光層時(shí)使用的第二組 成物的非極性溶劑相同的溶劑或類似于它的溶劑即表面改質(zhì)材料，使它干 燥，由此進(jìn)行該表面處理。通過進(jìn)行這樣的處理，空穴注入/輸送層617a的表面變得相對于非極 性溶劑容易親和，在此后的工序中，能對空穴注入/輸送層617a均勻涂敷
包含發(fā)光層形成材料的第二組成物。然后，如圖23所示，將包含與各色中的任意(在圖23的例子中為藍(lán) 色(B))對應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第二組成物作為功能液滴，向像素區(qū)域 (開口部619)內(nèi)注入規(guī)定量。注入像素區(qū)域內(nèi)的第二組成物在空穴注入/ 輸送層617a上擴(kuò)散，充滿開口部619內(nèi)。另外，萬一第二組成物偏離像 素區(qū)域而著落到隔板部618的上表面618t上時(shí)，由于該上表面618t如上 所述被進(jìn)行了疏液處理，所以第二組成物也容易落入開口部619內(nèi)。然后，通過進(jìn)行干燥工序等，對噴出后的第二組成物進(jìn)行干燥處理， 使第二組成物中包含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖24所示，在空穴注入/輸送 層617a上形成發(fā)光層617b。在該圖中，形成與藍(lán)色(B)對應(yīng)的發(fā)光層 617b。同樣，使用功能液滴噴頭17，如圖25所示，依次進(jìn)行與所述藍(lán)色(B) 所對應(yīng)的發(fā)光層617b時(shí)同樣的工序，形成與其它顏色(紅色(R)和綠色 (G))對應(yīng)的發(fā)光層617b。另外，發(fā)光層617b的形成順序并不局限于例 示的順序，可以用任意的順序形成。例如能根據(jù)發(fā)光層的形成材料決定形 成的順序。作為R、 G、 B三色的排列圖案，有豎條排列、鑲嵌排列和三 角排列。 '如上所述，在像素電極613上形成功能層617即空穴注入/輸送層617a 和發(fā)光層617b。然后轉(zhuǎn)移到對置電極的形成工序(S115)。在對置電極的形成工序(S115)中，如圖26所示，在發(fā)光層617b和 有機(jī)物隔板層618b的整個(gè)面，通過例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等而形 成陰極604 (對置電極)。該陰極604在本實(shí)施方式中，例如由鈣層和鋁層 層疊構(gòu)成。在該陰極604的上部，適當(dāng)設(shè)置作為電極的A1膜、Ag膜、用于防止 其氧化的Si02、 SiN等保護(hù)層。這樣形成陰極604后，進(jìn)行通過密封構(gòu)件來密封該陰極604的上部的 密封處理和布線處理等其他處理等，從而獲得顯示裝置600。下面，圖27是等離子體型顯示裝置(PDP裝置，以下只稱作顯示裝 置700)的要部分解立體圖。另外，在圖27中，以切掉其一部分的狀態(tài)表 示顯示裝置700。 該顯示裝置700大致構(gòu)成為包含彼此相對配置的第一基板701、第二 基板702、形成在它們之間的放電顯示部703。放電顯示部703由多個(gè)放 電室705構(gòu)成。在這些多個(gè)放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電 室705G、藍(lán)色放電室705B這三個(gè)放電室705成為組而構(gòu)成一個(gè)像素。在第一基板701的上表面以規(guī)定間隔將地址電極706形成條紋狀，按 照覆蓋該地址電極706和第一基板701的上表面的方式形成電介質(zhì)層707。 在電介質(zhì)層707上立設(shè)隔板708，使其位于各地址電極706之間，并且沿 著各地址電極706。該隔板708如圖所示，包含沿地址電極706的寬度方 向兩側(cè)延伸的部分、在與地址電極706正交的方向上延伸的未圖示的部分。而且，由該隔板708隔離的區(qū)域成為放電室705。在放電室705內(nèi)配置有熒光體709。熒光體709發(fā)出紅色(R)、綠色 (G)、或藍(lán)色(B)中的任意一色的熒光，在紅色放電室705R的底部形 成紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部形成紅色熒光體709G， 在藍(lán)色放電室705B的底部形成紅色熒光體709B。在第二基板702的圖中下側(cè)的面，在與所述地址電極706正交的方向 上，以規(guī)定間隔使多個(gè)顯示電極711形成為條紋狀。而且，按照覆蓋它們 的方式形成介質(zhì)層712、由MgO等構(gòu)成的保護(hù)層713。第一基板701和第二基板702在地址電極706和顯示電極711彼此正 交的狀態(tài)下相對貼合在一起。另外，所述地址電極706和顯示電極711連 接在未圖示的交流電源上。而且，通過對各電極706、 711通電，在放電顯示部703中，熒光體 709激勵(lì)發(fā)光，能進(jìn)行彩色顯示。在本實(shí)施方式中，能利用圖1所示的液滴噴出裝置1形成所述地址電 極706、顯示電極711和熒光體709。下面，列舉第一基板701的地址電 極706的形成工序。這時(shí)，在將第一基板701放在液滴噴出裝置1的安放臺21上的狀態(tài) 下，進(jìn)行以下的工序。首先，通過功能液滴噴頭17，將含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材 料(功能液)作為功能液滴，著落到地址電極形成區(qū)中。該液體材料作為 導(dǎo)電膜布線形成用材料，將金屬等的導(dǎo)電性微粒分散在分散劑中而形成。
作為該導(dǎo)電性微粒，使用含有金、銀、銅、鈀、或鎳等的金屬微粒、或?qū)?電性聚合物。若關(guān)于成為補(bǔ)充對象的全部地址電極形成區(qū)，液體材料的補(bǔ)充結(jié)束， 則將噴出后的液體材料進(jìn)行干燥處理，通過使液體材料中包含的分散劑蒸發(fā)，形成地址電極706。可是，在所述中表示地址電極706的形成，但是關(guān)于所述顯示電極711 和熒光體709，也能通過所述各工序形成。在形成顯示電極711時(shí)，與地址電極706同樣，將含有導(dǎo)電膜布線形 成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，著落到顯示電極形成區(qū)中。此外，在形成熒光體709時(shí)，從功能液滴噴頭17將包含與各色(R、 G、 B)對應(yīng)的熒光材料的液體材料(功能液)作為液滴噴出，著落到對 應(yīng)的顏色的放電室705內(nèi)。接著，圖28是電子發(fā)射裝置(也稱作FED裝置或SED裝置以下只 稱作顯示裝置800)的要部剖視圖。另外，在圖28中，使其一部分為截面 表示顯示裝置800。該顯示裝置800包含彼此相對配置的第一基板801、第二基板802、 形成在它們之間的電場發(fā)射顯示部803。電場發(fā)射顯示部803由配置為矩 陣狀的多個(gè)電子發(fā)射部805構(gòu)成。在第一基板801的上表面，彼此正交地形成構(gòu)成陰極電極806的第一 元件電極806a和第二元件電極806b。此外，在由第一元件電極806a和第 二元件電極806b劃分的部分，形成具有間隔808的導(dǎo)電性膜807。即由第 一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807構(gòu)成多個(gè)電子發(fā)射 部805。導(dǎo)電性膜807例如由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，此外，在形成導(dǎo)電 性膜807后，通過成形等形成間隔808。在第二基板802的下表面，形成有與陰極電極806對峙的陽極電極 809。在陽極電極809的下表面形成格子狀的隔板部811，在由該隔板部 811包圍的向下的各開口部812，按照與電子發(fā)射部805對應(yīng)的方式配置 有熒光體813。熒光體813發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)中的 任意一色的熒光，在各開口部812，以所述規(guī)定的圖案配置有紅色熒光體 813R、綠色熒光體813G、藍(lán)色熒光體813B。
然后，將這樣構(gòu)成的第一基板801和第二基板802保持微小的間隔地 貼合在一起。在該顯示裝置800中，通過導(dǎo)電性膜(間隔808) 807，從作 為陰極的第一元件電極806a或第二元件電極806b飛出的電子撞擊作為陽 極的陽極電極809上形成的熒光體813，激勵(lì)發(fā)光，從而能進(jìn)行彩色顯示。這時(shí)與其它實(shí)施方式同樣，能使用液滴噴出裝置1形成第一元件電極 806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807和陽極電極809，并且能使用液 滴噴出裝置1形成各色熒光體813R、 813G、 813B。第一元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807具有圖29 (a) 所示的平面形狀，在形成它們時(shí)，如圖29 (b)所示，預(yù)先殘留形成第一 元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807的部分，形成隔板部 BB (光刻法)。接著，在由隔板部BB構(gòu)成的槽部分，形成(第一元件電 極806a、第二元件電極806b基于液滴噴出裝置1的噴墨法)，使該溶劑干 燥而進(jìn)行成膜后，形成導(dǎo)電性膜807 (基于描繪裝置1的噴墨法)。然后， 在形成導(dǎo)電性膜807后，除去隔板部BB (灰化剝離處理)，轉(zhuǎn)移到所述成 形處理。另外，與所述有機(jī)EL裝置時(shí)同樣，希望進(jìn)行對第一基板801以 及第二基板802的親液化處理、對隔板部811、 BB的疏液化處理。此外，作為其他電光裝置，可考慮金屬部線的形成、透鏡的形成、抗 蝕劑的形成和光擴(kuò)散體的形成等的裝置。通過在各種電光裝置(器件)的 制造中使用所述液滴噴出裝置1，能高效制造各種電光裝置。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其一邊使工件安放且面對描繪區(qū)的安放臺相對于功能液滴噴頭在掃描方向上移動，一邊從所述功能液滴噴頭向所述工件噴出功能液來進(jìn)行描繪，該液滴噴出裝置具備噴出檢查部件，其具有配置在所述安放臺的移動軌跡上并通過來自所述功能液滴噴頭的檢查噴出而被描繪檢查圖案的被描繪單元，對描繪于所述被描繪單元上的所述檢查圖案進(jìn)行圖像識別，來檢查所述功能液滴噴頭的噴出性能；工件對準(zhǔn)部件，其進(jìn)行所述工件相對于所述安放臺的對準(zhǔn)；臺移動部件，其使所述安放臺在所述描繪區(qū)內(nèi)沿所述掃描方向移動，并且在所述描繪區(qū)與所述描繪區(qū)近前的對準(zhǔn)位置之間沿所述掃描方向移動；單元移動部件，其使所述被描繪單元與所述安放臺獨(dú)立地，并且在所述描繪區(qū)前方的避讓位置與所述功能液滴噴頭正下方的檢查位置之間沿所述掃描方向移動；和控制部件，其控制所述功能液滴噴頭、所述噴出檢查部件、所述臺移動部件、所述單元移動部件和所述工件對準(zhǔn)部件；所述控制部件并行進(jìn)行使所述安放臺移動到所述對準(zhǔn)位置并且進(jìn)行所述工件的對準(zhǔn)的對準(zhǔn)處理、使所述被描繪單元移動到所述檢查位置并且進(jìn)行所述檢查噴出以及所述噴出性能的檢查的檢查處理。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 還具有工件更換部件，其在所述對準(zhǔn)位置相對所述安放臺進(jìn)行搬出描繪完畢的工件并搬入描繪前的工件的更換處理，所述控制部件還控制所述工件更換部件，在使所述安放臺移動到所述 對準(zhǔn)位置后且在進(jìn)行所述對準(zhǔn)之前，進(jìn)行所述更換處理，并且并行進(jìn)行所 述更換處理和所述檢查處理。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述臺移動部件具有第一動器，其支撐所述安放臺；和公共支撐基 座，其將所述第一動器滑動自如地支撐在所述掃描方向上；所述單元移動部件具有第二動器，其支撐所述被描繪單元；和所述 公共支撐基座，其將所述第二動器滑動自如地支撐在所述掃描方向上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具有定期沖洗盒，其配置在所述第二動器上，接受來自所述功能液 滴噴頭的功能液的拋棄噴出。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述被描繪單元具有描繪薄片，其被描繪所述檢查圖案；檢査臺，其安放所述描繪薄片；和薄片輸送部件，其按照將所述描繪薄片的檢查完畢部分從所述檢查臺 送出并將未檢査完畢部分向所述檢査臺送入的方式輸送所述描繪薄片；所述控制部件在使所述被描繪單元移動到所述避讓位置的狀態(tài)下，并 行進(jìn)行向所述工件的描繪和所述描繪薄片的輸送。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述被描繪單元還包括不良檢測傳感器，其檢測由所述檢查臺送入的所述描繪薄片的安放不良，所述控制部件在使所述被描繪單元移動到所述避讓位置的狀態(tài)下，并 行進(jìn)行向所述工件的描繪、和基于所述不良檢測傳感器的所述安放不良的
7. —種電光裝置的制造方法，使用權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的液 滴噴出裝置，在所述工件上形成基于功能液的成膜部。
8. —種電光裝置，其使用權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝 置，在所述工件上形成有基于功能液的成膜部。
9. 一種電子設(shè)備，其搭載有由權(quán)利要求7所述的電光裝置的制造方 法制造的電光裝置、或權(quán)利要求8所述的電光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種即使進(jìn)行功能液滴噴頭的噴出性能檢查，也不會使工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變長的液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置包括噴出檢查部件，其具有由功能液滴噴頭(17)描繪檢查圖案的被描繪單元(161)，對該檢查圖案進(jìn)行圖像識別來檢查噴出性能；進(jìn)行工件的對準(zhǔn)的工件對準(zhǔn)部件；使安放臺(21)在描繪區(qū)和對準(zhǔn)位置(41)之間移動的臺移動部件；使被描繪單元(161)在避讓位置和檢查位置之間移動的單元移動部件；和控制所述各部件的控制部件(7)；控制部件(7)并行進(jìn)行使安放臺(21)移動到對準(zhǔn)位置(41)來進(jìn)行工件對準(zhǔn)的對準(zhǔn)處理、使被描繪單元(161)移動到檢查位置來進(jìn)行噴出性能檢查的檢查處理。
文檔編號B41J2/01GK101164782SQ20071016268
公開日2008年4月23日 申請日期2007年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者小島健嗣 申請人:精工愛普生株式會社