專利名稱:圖案形成裝置和圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及例如用于制造平板顯示器、布線電路板、IC標(biāo)簽等的圖案 形成裝置和圖案形成方法。
背景技術(shù):
以往,作為在基體材料表面形成微細(xì)圖案的技術(shù),光刻制版技術(shù)一直起 中心作用。然而,此光刻制版技術(shù)在日益提高其析像度和性能的反面,需 要巨大且高額的制造設(shè)備,制造成本也隨析像度不斷提高。另一方面,半導(dǎo)體器件當(dāng)然不斷提高圖像顯示裝置等的制造領(lǐng)域中改善 性能并降低成本的要求,上述光刻制板技術(shù)一直不能充分滿足這種要求。 這樣的狀況下,正在關(guān)注使用數(shù)字印刷技術(shù)的圖案形成技術(shù)。另一方面,噴墨技術(shù)作為有效利用裝置簡便性和非接觸圖案制作的特征 的圖案制作技術(shù),開始付諸實(shí)用,但不得不說其高析像度化和高生產(chǎn)率有 限。也就是說,在這方面,電子照相技術(shù),特別是使用液體調(diào)色劑的電子 照相技術(shù),具有優(yōu)良的可能性。已提出使用一種電子照相技術(shù)形成平板顯示器用的正面基片的熒光體 層和黑矩陣、濾色片等的方法(例如參考專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。平板顯示器領(lǐng)域中,高析像度的要求日益提高,要求以進(jìn)一步高的位置 精度形成高析像度的圖案。然而,上述電子照相技術(shù)難以解答此課題。其原因在于,寫入光學(xué)系統(tǒng)的析像度最高也不過1200點(diǎn)/英寸(dpi),在析像 度和對(duì)位方面不充分。而且,還存在不能實(shí)現(xiàn)能適應(yīng)近年大屏幕化的大范 圍寫入光學(xué)系統(tǒng)的課題。針對(duì)這點(diǎn),已提出的技術(shù)使用預(yù)先在表面形成電阻不同的圖案的靜電印刷板,以代替感光體,并使液體調(diào)色劑作用于該板,對(duì)圖案進(jìn)行顯像,將 此圖案的像復(fù)制到玻璃板,從而在顯示器用正面玻璃上形成熒光體等的圖 案(例如參考專利文獻(xiàn)3)。然而,本申請(qǐng)發(fā)明人等專心進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究的結(jié)果,在此方法中發(fā)現(xiàn)如下 實(shí)質(zhì)性問題。首先,液體調(diào)色劑造成的圖案像的厚度一般小于等于1微米Oim)的情況 不少,不適合形成顯示裝置的熒光體和濾色片等的厚膜,高清晰厚膜的形 成還需要新思路。而且,將圖案像復(fù)制到玻璃板時(shí)使用電暈帶電器,則電暈電荷傳到玻璃 表面并泄漏,復(fù)制特性容易不穩(wěn)定。又,玻璃的內(nèi)部容易積存空間電荷, 電暈復(fù)制中難形成戰(zhàn)勝此空間電荷的復(fù)制電場。復(fù)制l色的顯像像時(shí),進(jìn) 一步助長此問題,極難將第2色、第3色的顯像像復(fù)制到玻璃板。作為其它圖案形成裝置,己知一種柔版印刷裝置,其中采取的組成固定 設(shè)置載放玻璃基片的工作臺(tái),并將滾筒狀的版(版體)在設(shè)置在工作臺(tái)兩側(cè)的 直線軌道上一面旋轉(zhuǎn)一面來回移動(dòng),從而謀求減小設(shè)置空間和移動(dòng)空間, 并高精度控制版體與玻璃基片的相互移動(dòng)(例如參考專利文獻(xiàn)4)。此裝置中, 不使玻璃基片移動(dòng),所以能減小裝置的設(shè)置空間。這種柔版印刷中, 一般將墨供給把橡膠凸版巻繞在滾筒周圍的柔版,并 將該柔版壓接被復(fù)制媒體,從而對(duì)墨進(jìn)行復(fù)制,所以即使被復(fù)制媒體為玻 璃板的情況下,也能避免版的按壓而破損。然而,這種柔版印刷中,版發(fā) 生彈性形變,所以復(fù)制在基體上圖案的析像度以40微米左右為極限,墨層 的厚度也限于0.8微米 2.5微米的程度,其應(yīng)用范圍有限。而且,由于同 樣的緣由,形成圖案的位置精度也有限,難滿足位置精度±5微米的要求。專利文獻(xiàn)l:日本國專利特開2004 — 30980號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本國專利特開平6 — 265712號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本國 專利特開2002 — 527783號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:日本國專利特開平2005—14468號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于,提供一種能以高精度形成厚膜圖案的圖案形成裝置 和圖案形成方法。為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成裝置,具有在帶有導(dǎo) 電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷 的凹部造成的圖案的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的供給構(gòu)件, 供給使帶電的顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的液體顯像劑,并在此供給 構(gòu)件與所述基體之間形成第1電位差,從而將所述液體顯像劑中的所述顯 像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的顯像裝置;以及在使被復(fù)制媒體接 近所述凹部內(nèi)匯集所述顯像劑粒子的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀 態(tài)下,此被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第2電位差,從而將匯集在所述 凹部內(nèi)的所述顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的復(fù)制裝置。又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成裝置,具有在帶有導(dǎo)電性的基體的表 面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的凹部造成的圖 案的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電 的第1顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供 給構(gòu)件與所述基體之間產(chǎn)生第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的 所述第1顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像裝置;使被復(fù) 制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的 表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第2電位 差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述第1顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體 的第l復(fù)制裝置;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給 使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此 第2供給構(gòu)件與所述基體之間產(chǎn)生第3電位差,從而將所述第2液體顯像 劑中的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像裝置; 以及使已復(fù)制所述第1顯像劑粒子的所述被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第4電位差,從而將匯集在所述凹部 內(nèi)的所述第2顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第2復(fù)制裝置。又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成裝置,具有含形成在高電阻層的第l凹部造成的第1圖案和第2凹部造成的第2圖案,并含分別獨(dú)立設(shè)置在這 些第1和第2圖案的所述凹部的底的第1和第2的電極的凹版;通過與所 述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件供給使帶電的第1顯像劑粒子散布 在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與所述第1電極 之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述第1顯像劑粒 子匯集在所述第1凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像裝置;通過與所述高電阻層 的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性 液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與所述第2電極之間形成 第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述第2顯像劑粒子匯集在 所述第2凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像裝置;以及使被復(fù)制媒體接近所述第1 凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子且所述第2凹部內(nèi)匯集所述第2顯像劑粒 子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與 所述第1和第2電極之間形成第2電位差,從而將匯集在所述第1和第2 凹部內(nèi)的所述第1和第2顯像劑粒子一起復(fù)制到該被復(fù)制媒體的復(fù)制裝置。 又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成裝置,具有在帶有導(dǎo)電性的基體的表 面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的凹部造成的圖 案的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第l供給構(gòu)件,供給使帶電 的第1顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供 給構(gòu)件與所述基體之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的 所述第1顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像裝置;與所述 凹版的所述高電阻層的表面對(duì)置的中間復(fù)制體;將所述第1顯像裝置中顯 像的所述第1顯像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所述中間復(fù)制體的第1復(fù)制裝 置;通過與所述凹版的所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2 供給構(gòu)件與所述基體之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中 的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像裝置;將所 述第2顯像裝置中顯像的所述第2顯像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所述中間 復(fù)制體的第2復(fù)制裝置;以及使被復(fù)制媒體接近已復(fù)制所述第1和第2顯 像劑粒子的所述中間復(fù)制體并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述 中間復(fù)制體之間形成第2電位差,從而將所述第1和第2顯像劑粒子一起 復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第3復(fù)制裝置。而且,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成方法,具有以下工序準(zhǔn)備在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版的工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的供給 構(gòu)件,供給使帶電的顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的液體顯像劑,并在 此供給構(gòu)件與所述基體之間形成第1電位差,從而將所述液體顯像劑中的 所述顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的顯像工序;以及在使被復(fù)制 媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述顯像劑粒子的所述高電阻層的表面并與其對(duì) 置的狀態(tài)下,此被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第2電位差,從而將匯集 在所述凹部內(nèi)的所述顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的復(fù)制工序。又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成方法,具有以下工序準(zhǔn)備在帶有導(dǎo)電 性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述體下陷的凹 部造成的圖案的凹版的工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給 構(gòu)件,供給使帶電的第1顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像 劑,并在此第1供給構(gòu)件與所述基體之間形成第1電位差,從而將所述第1 液體顯像劑中的所述第1顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯 像工序;使被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述第l顯像劑粒子的狀態(tài)的 所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述基體之 間形成第2電位差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述第1顯像劑粒子復(fù)制 到該被復(fù)制媒體的第1復(fù)制工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與所述基體之間形成第3電位差,從而將所 述第2液體顯像劑中的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像工序;以及使已復(fù)制所述第1顯像劑粒子的所述被復(fù)制媒體接近 所述凹部內(nèi)匯集所述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其 對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第4電位差,從而將 匯集在所述凹部內(nèi)的所述第2顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第2復(fù)制 工序。又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成方法,具有以下工序準(zhǔn)備含形成在高 電阻層的第1凹部造成的第1圖案和第2凹部造成的第2圖案,并含分別 獨(dú)立設(shè)置在這些第1和第2圖案的所述凹部的底的第1和第2電極的凹版 工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1 顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件 與所述第1電極之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所 述第1顯像劑粒子匯集在所述第1凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像工序;通過 與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒 子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與所述第2 電極之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述第2顯像 劑粒子匯集在所述第2凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像工序;以及使被復(fù)制媒 體接近所述第1凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子且所述第2凹部內(nèi)匯集所 述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在 該被復(fù)制媒體與所述第1和第2電極之間形成第2電位差,從而將匯集在 所述第l和第2凹部內(nèi)的所述第l和第2顯像劑粒子一起復(fù)制到該被復(fù)制 媒體的復(fù)制工序。又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成方法,具有以下工序準(zhǔn)備在帶有導(dǎo)電 性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的 凹部造成的圖案的凹版工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像 劑,并在此第1供給構(gòu)件與所述基體之間形成第1電位差,從而將所述第1 液體顯像劑中的所述第1顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯 像工序;將所述第1顯像裝置中顯像的所述第1顯像劑粒子從所述凹部復(fù) 制到所述中間復(fù)制體的第1復(fù)制工序;通過與所述凹版的所述高電阻層的 表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液 體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與所述基體之間形成第3電 位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹 部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像工序;將所述第2顯像裝置中顯像的所述第2顯 像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所述中間復(fù)制體的第2復(fù)制工序;以及使被復(fù) 制媒體接近已復(fù)制所述第1和第2顯像劑粒子的所述中間復(fù)制體并與其對(duì) 置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述中間復(fù)制體之間形成第2電位差,從 而將所述第1和第2顯像劑粒子一起復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第3復(fù)制工序。 而且,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成裝置,具有保持平板狀的被復(fù)制媒 體的保持機(jī)構(gòu);鼓狀的像保持體;使該像保持體沿所述保持機(jī)構(gòu)保持的平 板狀的被復(fù)制媒體轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu);在所述像保持體的周面上形成帶電的 顯像劑造成的圖案像的顯像裝置;以及在所述轉(zhuǎn)動(dòng)的像保持體與所述被復(fù) 制媒體之間形成電場,并將所述周面上的圖案像復(fù)制到所述被復(fù)制媒體的 復(fù)制裝置。又,本發(fā)明實(shí)施方式的圖案形成方法,具有以下工序在鼓狀的像保持 體的周面形成帶電的顯像劑造成的圖案像的顯像工序;使該顯像工序在所 述周面形成圖案像的所述像保持體沿保持在固定位置的平板狀被復(fù)制媒體 轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)工序;以及在所述轉(zhuǎn)動(dòng)的像保持體與所述被復(fù)制媒體之間形成 電場,并將所述周面上的圖案像復(fù)制到所述被復(fù)制媒體的復(fù)制工序。
圖1是示出本發(fā)明實(shí)施方式1的圖案形成裝置的概略圖。圖2A是示出圖1的圖案形成裝置中使用的凹版的俯視圖。圖2B是示出圖2A的凹版的剖視圖。圖3是局部放大地示出圖2A的凹版的關(guān)鍵部的結(jié)構(gòu)的局部放大圖。 圖4是說明圖2A的凹版的1個(gè)凹部的結(jié)構(gòu)用的局部放大立體圖。 圖5是示出內(nèi)置于圖1的圖案形成裝置的顯像裝置的概略圖。 圖6是控制圖1的圖案形成裝置的動(dòng)作用的控制系統(tǒng)的框圖。 圖7是與圖1一起說明圖案形成裝置的動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖8是與圖1一起說明圖案形成裝置的動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖9是與圖1一起說明圖案形成裝置的動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖IO是與圖l一起說明圖案形成裝置的動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖11是與圖1 一起說明圖案形成裝置的動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖12是與圖1 一起說明圖案形成裝置的動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖13是說明圖1的圖案形成裝置的顯像動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖14是說明圖1的圖案形成裝置的復(fù)制動(dòng)作用的動(dòng)作說明圖。 圖15是示出本發(fā)明實(shí)施方式2的圖案形成裝置的概略圖。 圖16是示出將圖15的圖案形成裝置的凹版做成3色用的凹版的例子的 關(guān)鍵部放大剖視圖。圖17是說明圖16的3色用凹版的布線結(jié)構(gòu)用的模式圖。圖18是示出本發(fā)明實(shí)施方式3的圖案形成裝置的概略圖。圖19是示出本發(fā)明實(shí)施方式4的圖案形成裝置的概略圖。圖20是示出本發(fā)明實(shí)施方式5的圖案形成裝置的概略圖。圖21是示出本發(fā)明實(shí)施方式6的圖案形成裝置的概略組成的立體圖。圖22A是示出圖21的圖案形成裝置中使用的底版的俯視圖。圖22B是圖22A的底版的剖視圖。圖23是局部放大地示出圖22A的底版的放大俯視圖。圖24是說明圖22A的底版的1個(gè)凹部的結(jié)構(gòu)用的局部放大圖。圖25是示出將圖22A的底版巻繞在滾筒坯管的狀態(tài)的概略圖。圖26是示出使圖22A的底版的高電阻層表面帶電用的組成的概略圖。 圖27是示出對(duì)圖22A的底版供給液體顯像劑并形成調(diào)色劑粒子造成的圖案用的組成的概略圖。圖28是示出將形成在圖22A的底版的圖案復(fù)制到玻璃板用的組成的概略圖。圖29是示出使圖22A的底版沿玻璃板轉(zhuǎn)動(dòng)用的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的關(guān)鍵部組成 的概略圖。圖30是說明將匯集在底版的凹部的調(diào)色劑粒子復(fù)制到玻璃板用的動(dòng)作 說明圖。圖31是示出使底版接觸玻璃板的例子的概略圖。圖32是示出在玻璃板的表面形成結(jié)構(gòu)物后復(fù)制調(diào)色劑粒子的例子的概 略圖。圖33是示出使用設(shè)置在玻璃板的背面?zhèn)鹊膶?duì)置電極復(fù)制調(diào)色劑粒子的 例子的概略圖。具體實(shí)施方式
下面,參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。首先,參照?qǐng)D1至圖13說明本發(fā)明實(shí)施方式1的圖案形成裝置10。 如圖l所示,圖案形成裝置IO具有往圖中箭頭號(hào)T方向輸送的平板狀 的凹版l;配置成與此凹版1的輸送路徑的下方對(duì)置并將各色(r:紅、g: 綠、b:藍(lán))的液體顯像劑供給凹版1進(jìn)行顯像的多個(gè)顯像裝置2r、2g和2b(下 文有時(shí)統(tǒng)稱為顯像裝置2);以及將保持在凹版1的顯像劑粒子復(fù)制到在圖 中左側(cè)等待的平板狀被復(fù)制媒體M的復(fù)制滾筒3(復(fù)制裝置)。而且,此圖案形成裝置具有對(duì)凹版1的后文闡述的高電阻層13的表面 13a進(jìn)行消電的交流電暈帶電器4;使高電阻層13的表面13a帶電例如十 400伏(V)的直流電暈帶電器5(帶電裝置);以及清理復(fù)制后的凹版l以便接 著復(fù)制的清理器6。如圖2A中俯視圖所示,將本實(shí)施方式的凹版1形成矩形平板狀。如圖2B中剖視圖所示,利用蒸鍍?cè)诰匦蔚牟AО?1的表面形成例如鋁等導(dǎo)電 的金屬層12(基體),在其表面形成高電阻層13,從而構(gòu)成此凹版l。利用 例如聚酰亞胺、丙烯、聚乙烯、(聚)氨酯、環(huán)氧樹脂、特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))、 尼龍等體電阻率大于等于1(T歐厘米(Qcm)的材料(包括絕緣體)形成高電阻 層13,將其厚度形成10微米 40微米,最好20微米±5微米。又,在高電阻層13的表面13a,形成將圖3中局部放大地示出的矩形的 凹部14a直線對(duì)準(zhǔn)配置多個(gè)的圖案14。本實(shí)施方式中,例如作為制造在平 面型圖像顯示裝置的正面基片上形成的熒光屏的凹版,以從高電阻層13的 表面下陷的方式僅形成相當(dāng)于1色份額的凹部14a,圖中虛線所示的其它2 色份額的區(qū)域不形成凹部,僅確??諜n。圖4中示出將1個(gè)凹部14a放大 的剖視圖。凹部14a的底露出在金屬層12的表面12a,其深度實(shí)質(zhì)上相當(dāng) 于高電阻層13的層厚。圖5中以放大方式示出顯像裝置2的概略結(jié)構(gòu)。所述各色的顯像裝置 2r、 2g、 2b除使用的液體顯像劑不同外,具有相同的結(jié)構(gòu),所以這里當(dāng)作 顯像裝置2進(jìn)行說明。顯像裝置2具有沿凹版1的輸送方向T排列的2個(gè)殼體21、 22。將凹 版1以其圖案14與配置在下方的顯像裝置2對(duì)置的姿勢進(jìn)行輸送。上游側(cè) 的殼體21內(nèi),設(shè)置顯像滾筒23(供給構(gòu)件)。相對(duì)于輸送的凹版1的高電阻 層13的表面13a,將顯像滾筒23配置在其周面以150微米± 5微米程度的 間隙為中介對(duì)置的位置,并以1.2倍的至4倍(1.5倍至2.5倍更好)的速度, 往與凹版1的輸送方向相同的方向(圖中順時(shí)針方向)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。將往與顯像滾筒23相反的方向旋轉(zhuǎn)的海綿滾筒24配置在顯像滾筒23 的離開凹版1的下方并與其接觸。此海綿滾筒24清除通過與凹版1對(duì)置的 位置的顯像滾筒23的周面上附著的液體顯像劑。又,在殼體21的內(nèi)側(cè)面 設(shè)置對(duì)顯像滾筒23的周面供給液體顯像劑用的噴嘴25。將液體顯像劑收裝在未圖示的顯像劑容器中,利用未圖示的泵等通過噴嘴25供給殼體21的內(nèi)部。將由海綿滾筒回收的剩余液體顯像劑通過設(shè)置 在殼體21的下端底部的排出口 26回收到顯像劑容器。使帶電的各色熒光 體粒子(顯像劑粒子)散布在絕緣性液體中,從而構(gòu)成液體顯像劑。各色的熒 光體粒子添加金屬皂等,使其帶正電。沿凹版1的輸送方向處在下游側(cè)的殼體22內(nèi),設(shè)置擠液滾筒27(去除裝 置)。將擠液滾筒27配置在其周面比顯像滾筒23接近凹版1并與其對(duì)置的 位置,也就是說,本實(shí)施方式中配置成從高電阻層13的表面13a離開25 微米至75微米(30微米至50微米更好)的距離,而且往與凹版1的輸送方 向T相反的方向旋轉(zhuǎn)??刂茢D液滾筒27,使其局部去除顯像滾筒23供給 凹版1的液體顯像劑,并且殘留在凹版1的液體顯像劑的厚度為1微米 30微米的程度。在擠液滾筒27的周面配置由橡膠片形成的清理葉片28并接觸該周面。 將清理葉片28從擠液滾筒27的周面回收的剩余液體顯像劑通過設(shè)置在殼 體22的底部的排出口 29回收到未圖示的顯像劑容器。圖6示出控制上述圖案形成裝置IO的動(dòng)作的控制系統(tǒng)的框圖。圖案形 成裝置10的控制部30連接將凹版1往圖1或圖5的箭頭號(hào)T方向輸送的 輸送裝置31。此輸送裝置31也往相反方向輸送凹版1,后文將闡述。而且, 控制部30連接使各色的顯像裝置2r、 2g、 2b分別在圖5所示的動(dòng)作位置 與從凹版1的輸送路徑往下方離開的等待位置之間移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)32???制部30又連接使往作為被復(fù)制媒體M的玻璃板M在圖中的上方輸送的凹 版1對(duì)玻璃板M接近或離開的攏近分離裝置33。后文將闡述,使該攏近分 離裝置33以對(duì)玻璃板M傾斜的狀態(tài)接近凹版1 ,而且以對(duì)玻璃板M傾斜 的狀態(tài)離開凹版1??刂撇?0還連接利用所述攏近分離裝置33將與玻璃板 M對(duì)置配置的凹版1對(duì)玻璃板M定位的定位機(jī)構(gòu)34。而且,控制部30連接對(duì)各色的顯像裝置2的顯像滾筒23供電的電源裝 置35、對(duì)各色顯像裝置2的擠液滾筒27供電的電源裝置36、對(duì)復(fù)制滾筒3 供電的電源裝置37、對(duì)交流電暈帶電體4供電的電源裝置38和對(duì)直流電暈帶電器5供電的電源裝置39??刂撇?0還連接去除非所需的殘留在玻璃板 M的電荷的電荷去除裝置40,以便將各色的熒光體層復(fù)制到玻璃板M后復(fù) 制下一色的熒光體層(后文將闡述)。接著,與圖1 一起參照?qǐng)D7至圖13說明上述圖案形成裝置10的動(dòng)作。 再者,這里以在平面型圖像顯示裝置的正面基片內(nèi)表面形成各色熒光體層 的情況為例進(jìn)行說明。首先,控制部30控制輸送裝置31,如圖1所示那樣以恒定速度往圖中 箭頭號(hào)T的方向進(jìn)行輸送。這時(shí),交流電暈帶電器4對(duì)未圖示的電暈線施 加交流高壓,對(duì)凹版1的高電阻層13的表面13a進(jìn)行消電。其后,直流電 暈帶電器5對(duì)電暈線施加正極性高壓,產(chǎn)生正電暈,使凹版l的高電阻層 13的表面13a帶電(例如+400伏)。而且,控制部30如上述那樣輸送凹版1并使高電阻層13的表面13a帶 電,并控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)32,將執(zhí)行第l色(紅色)的顯像的顯像裝置2r配置到 動(dòng)作位置(圖5所示的位置)。然后,控制部30通過顯像裝置2r將含紅色的 熒光體粒子的液體顯像劑供給凹版1的高電阻層13的表面13a。這時(shí),利 用圖5中往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的顯像滾筒23的周面將液體顯像劑當(dāng)作厚幾百 微米程度的液膜進(jìn)行輸送,將該液膜供給凹版1的高電阻層13的表面13a 并以該表面接觸。再者,這時(shí)也將液體顯像劑供給形成在高電阻層13的表 面13a的圖案14的凹部14a。這時(shí),控制部30如圖13所示,通過電源裝置35對(duì)顯像滾筒23施加+ 200伏電壓,在例如接地凹版1的金屬層12與顯像滾筒23之間形成第1 電位差。于是,介入在顯像滾筒23與凹版1之間并接觸它們的液體顯像劑 中的帶正電的熒光體粒子由于此第1電場,受帶電+ 400伏的高電阻層13 的表面13a排斥,并因200伏電位差的作用而受接地電位的金屬層露出在 凹部14a的底的表面12a吸引,兩者的作用使熒光屏粒子凝集在凹版14a 內(nèi)。由此,在圖案14的各凹部14a面形成所希望厚度(例如15微米)的熒光 體層。這樣,紅色顯像劑的顯像結(jié)束,則由海綿滾筒24清理顯像滾筒23的周 面,通過排出口 26將未供給凹版1的液體顯像劑回收到未圖示的容器。上述紅色顯像劑的顯像后,凹版1的高電阻層13的表面13a附著厚100 微米程度的液膜,其內(nèi)部飄浮著未凝集在圖案14的凹部14a內(nèi)的熒光體粒 子。即,此液膜以絕緣性液體幾乎占據(jù)其全部為理想。這就是說,凹版l 的圖案14外飄浮著熒光體粒子,則成為灰霧的原因,所以需要利用擠液滾 筒27擠壓此液膜,且同時(shí)使飄浮的熒光體粒子附著在擠液滾筒27的表面 并進(jìn)行回收。這時(shí),通過電源裝置31對(duì)擠液滾筒27施加200伏± 50伏程度的電壓, 利用此電壓將液膜內(nèi)飄浮的熒光體粒子吸引到擠液滾筒27。經(jīng)過擠液滾筒 27的擠液工序后的凹版1的高電阻層13的表面13a上,這時(shí)殘留厚1微米 30微米程度的液膜。換句話說,控制擠液滾筒27的液膜去除量,使此程度 的液膜殘留在凹版1的表面。S卩,將第1色的顯像結(jié)束后的凹版1維持浸 濕狀態(tài)原樣不變地輸送到下一復(fù)制工序。將這樣利用輸送裝置31輸送到復(fù)制工序的凹版1配置成離開在圖1的 左側(cè)等待的玻璃板M并與其上方對(duì)置。此狀態(tài)下,凹版1按玻璃板M不接 觸浸濕凹版1的高電阻層13的表面13a的液體顯像劑的程度往上方離開玻 璃板M。再者,此狀態(tài)下,可利用定位機(jī)構(gòu)34使凹版1對(duì)玻璃板M實(shí)質(zhì) 上對(duì)位。此后,使攏近分離裝置33動(dòng)作,將凹版1傾斜成圖7中虛線所示的姿 勢,把成為傾斜方向下端的凹版1的圖中的左端靠近玻璃板M。這時(shí),附 著在凹版1的液體顯像劑中附著在凹版1的圖中左端的液體顯像劑先接觸 玻璃板M。然后,攏近分離裝置33使傾斜的凹版1逐漸接近玻璃板M,直 到形成與圖中實(shí)線所示的玻璃板M平行的姿勢。由此,浸濕凹版l的液體 顯像劑對(duì)玻璃板M的接觸區(qū)逐漸擴(kuò)大到圖中左側(cè),最后使玻璃板M與凹版 1以液膜為中介全面接觸。圖7中用實(shí)線示出這時(shí)凹版1的姿勢。上文那樣將保持液體顯像劑的凹版1接近玻璃板M時(shí),使介入兩者之間的液體顯像劑的液膜以逐漸接觸的方式接近玻璃板M,從而能防止液膜 產(chǎn)生過度的紊流。由此,能抑制液膜產(chǎn)生過度紊流而使凝集在圖案"的凹部14a的熒光體粒子流出的弊病。根據(jù)同樣的理由,后文所述那樣使凹版1 離開玻璃板M時(shí),最好也使凹版1傾斜地逐漸從玻璃板M剝下。此后,在上述那樣使凹版1與玻璃板M以液膜為中介接觸的狀態(tài)下, 利用定位機(jī)構(gòu)34進(jìn)行凹版1與玻璃板M的對(duì)位。這時(shí),定位機(jī)構(gòu)34使用 光學(xué)手段讀取預(yù)先刻印在凹版1和玻璃板M雙方的對(duì)位標(biāo)記,檢測出兩者 之間的錯(cuò)位,并使凹版1和玻璃板M相對(duì)移動(dòng),以校正此錯(cuò)位。最好以緩 慢的速度移動(dòng),以免介入兩者之間的液體顯像劑產(chǎn)生紊流。上文那樣將凹版1與玻璃板M高精度對(duì)位后,通過配置在玻璃板M的 離開凹版1的背面(圖中的下表面)并與其接觸的復(fù)制滾筒3施加負(fù)高壓。具 體而言,如圖14所示,通過電源裝置37對(duì)按壓并配置在玻璃板M的背面 的導(dǎo)電彈性滾筒3施加例如一7千伏左右的負(fù)高壓,在玻璃板M與凹版1 的金屬層12之間形成電位差,將凝集在凹部14a內(nèi)的帶正電的熒光體粒子 用庫侖力復(fù)制到玻璃板M的表面。由此,將形狀與圖案14相同的紅色的 熒光體層Tr復(fù)制到玻璃板M的表面。本實(shí)施方式的裝置中,與己有使用電暈復(fù)制器的情況相比,通過復(fù)制滾 筒3能形成更強(qiáng)的復(fù)制電場,從而能使復(fù)制特性大幅度提高。而且,在凹 版1至玻璃板M的方向形成復(fù)制時(shí)的電場,所以凝集在圖案14的凹部14a 內(nèi)的熒光體粒子直接往玻璃板M遷移,將圖案14保持其形狀不變地原樣 復(fù)制到玻璃板M。這樣,將熒光體粒子復(fù)制到玻璃板M后,上文所述那樣使攏近分離裝 置33動(dòng)作,使凹版1逐漸傾斜并逐漸離開玻璃板M,從而從玻璃板M的 上方剝離凹版l。即,通過按凹版1與玻璃板M之間浸濕的液膜不產(chǎn)生過 度紊流的方式將兩者剝離,能抑制復(fù)制在玻璃板M的不穩(wěn)定(未固定)的熒 光體粒子脫離玻璃板M的弊病,可保護(hù)己復(fù)制的熒光體層Tr。這樣從玻璃板M剝離的凹版1如圖8所示,由輸送裝置31往圖中右方輸送。這時(shí),未圖示的升降機(jī)構(gòu)使清理器6上升到圖中所示的工作位置,清除殘留在凹版1的高電阻層13的表面13a的液體顯像劑。此后,可使配備在下一色的熒光體粒子的復(fù)制并包含在已復(fù)制的紅色熒 光體層Tr樹脂成分融化并某種程度固定在玻璃板M。由此,能防止復(fù)制 下一色的熒光體粒子時(shí)2種色的熒光體粒子混雜的弊病。然而,雖然不使 上一色的熒光體層固定在玻璃板M,但復(fù)制下一色時(shí)也通過復(fù)制滾筒3供 給校強(qiáng)的復(fù)制電場,所以復(fù)制在玻璃板M的熒光體粒子剝離的方向的電場 不起作用,大體上不擔(dān)心上述混色的問題。又,紅色熒光體層的復(fù)制結(jié)束后,使電荷去除裝置40動(dòng)作,去除殘留 在玻璃板M的非所需電荷。這時(shí),有利用電暈帶電或X射線去除殘留在玻 璃板M表面的電荷的方法、將玻璃板M以10(TC 20(TC程度的高溫加熱3 分鐘至30分鐘左右從而去除殘留在玻璃板M的內(nèi)部的電荷的方法等。由 此,能防止將下一色熒光體層復(fù)制到玻璃板M時(shí),殘留電荷作用于抵消復(fù) 制電場的方向,可防止使第2色及其后的復(fù)制特性劣化。利用上述處理動(dòng) 作,結(jié)束紅色的顯像動(dòng)作。此后,又將與上述紅色顯像同樣地進(jìn)行清理并初始化后的凹版1往圖中 左方輸送,使凹版1的表面13a帶+ 400伏的正電,并且如圖9所示,將綠 色顯像裝置2g上升到動(dòng)作位置,利用包含綠色熒光體粒子的液體顯像劑對(duì) 圖案14進(jìn)行顯像。這時(shí),授給顯像滾筒23與金屬層12之間的電位差未必 限于設(shè)定成與上述紅色顯像時(shí)的電位差相同,能依據(jù)各色顯像劑的特性適 當(dāng)設(shè)定。然后,又將這樣完成綠色熒光體粒子的顯像后的凹版1輸送到在圖中左 方進(jìn)行導(dǎo)電的玻璃板M的上方,通過液體顯像劑接觸玻璃板M后,將綠色 熒光體層Tg與紅色熒光體層Tr并排地復(fù)制到玻璃板M的表面。這時(shí),如圖IO所示,由定位機(jī)構(gòu)34將凹版1定位并配置成對(duì)玻璃板M 錯(cuò)開1像素份額后,將綠色熒光體粒子Tg以高精度定位于與紅色熒光體粒 子Tr的圖案相鄰的狀態(tài)復(fù)制在玻璃板M的表面上。同樣,將藍(lán)色熒光體層Tb復(fù)制到與綠色熒光體層Tg相鄰的位置(圖11、 圖12)后,完成平板顯示器用正面板的3色熒光體圖案的復(fù)制。此后,可在 例如10(TC的高溫中對(duì)3色熒光體層Tr、 Tg、 Tb進(jìn)行加熱,將其樹脂成 分融化,從而固定在玻璃板N的表面,也可用30(TC至60(TC左右的溫度進(jìn) 行加熱,使樹脂成分蒸發(fā)。綜上所述,根據(jù)本實(shí)施方式,復(fù)制各色熒光體粒子時(shí),在以液膜為中介 將凹版1和玻璃板M對(duì)置配置的狀態(tài)下,由定位機(jī)構(gòu)34將兩者高精度對(duì) 位,所以各色熒光體圖案的對(duì)位精度極高,例如能保持土5微米程度的位 置精度。而且,從深度20微米左右的凹部14a內(nèi)復(fù)制各色熒光體層Tr、 Tg、 Tb。所以與以往那樣從平坦的板進(jìn)行復(fù)制時(shí)相比,能形成形狀散亂顯著減 小的高質(zhì)量厚膜圖案。又,根據(jù)本實(shí)施方式,對(duì)玻璃板M復(fù)制1色熒光體層結(jié)束后,利用電 荷去除裝置40去除殘留在玻璃板M的電荷,所以能防止復(fù)制下一色熒光 體層時(shí)復(fù)制特性劣化,可在實(shí)質(zhì)上相同的條件下將各色熒光體層Tr、 Tg、 Tb穩(wěn)定地復(fù)制到玻璃板M。再者,上述實(shí)施方式中,說明了將3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb有規(guī)則 地排在玻璃板M的表面進(jìn)行制圖的情況,但也能用本實(shí)施方式的圖案形成 裝置10將3色的濾色片形成在玻璃板M的表面上,并將各色的熒光體層 Tr、 Tg、 Tb復(fù)制得疊在該表面上。又,上述實(shí)施方式中,說明了用平板狀的凹版1和平板狀的玻璃板M 形成圖案的情況,但不限于此,也能將凹版1或玻璃板M(被復(fù)制媒體)的至 少一方做成圓筒狀。此情況下,不必上述實(shí)施方式1那樣利用攏近分離裝 置22使凹版1 一面傾斜一面對(duì)玻璃板M接近或離開,不擔(dān)心介入兩者之 間的液膜產(chǎn)生過度紊流。接著,參照?qǐng)D15說明本發(fā)明實(shí)施方式2的圖案形成裝置50。再者,下 面的說明中,對(duì)所起作用與上述實(shí)施方式1相同的組成單元標(biāo)注相同的標(biāo) 號(hào),省略其詳細(xì)說明。如圖15所示,圖案形成裝置50具有形成圓筒形鼓狀的凹版51。此凹 版51未在這里示出,但在例如厚3毫米的鋁圓筒(相當(dāng)于金屬層12)的周面 設(shè)置厚20微米的高電阻層13,并且在此高電阻層13利用激光刻蝕設(shè)置并 形成凹部14a。用此凹版51在玻璃板M形成3色熒光體層時(shí),首先,利用交流電暈帶 電器4對(duì)凹版51的周面消電,利用直流電暈帶電器5使凹版51的高電阻 層13的表面13a帶正電。然后,用顯像裝置2r使紅色的熒光體粒子凝集在 凹版51的凹部14a,對(duì)紅色的圖案14進(jìn)行顯像。另一方面,由輸送裝置31以恒定速度從圖中右方往左方輸送玻璃板M, 使其進(jìn)入復(fù)制滾筒3與凹版51之間。利用例如橡膠硬度40度的帶電橡膠 滾筒形成復(fù)制滾筒3,并通過電源裝置37對(duì)其施加一7千伏的電壓。而且, 對(duì)進(jìn)入復(fù)制滾筒3與凹版51之間的玻璃板M施加例如復(fù)制滾筒3的長度 方向平均l千克/厘米(Kg/cm)的負(fù)載。在此條件下,將紅色熒光體層Tr 復(fù)制到玻璃板M。復(fù)制時(shí),由定位機(jī)構(gòu)34探測出刻印在玻璃板M和凹版 51的對(duì)位標(biāo)記, 一面高精度控制兩者的相對(duì)移動(dòng)、 一面進(jìn)行復(fù)制。此后,用清理器6清理凹版51的高電阻層13的表面13a后,進(jìn)行下一 色熒光體層的顯像和復(fù)制用的消電和帶電。而且,由輸送裝置31將玻璃板 M往逆向輸送,使其返回初始位置,并由電荷去除裝置40消除非所需的殘 留電荷。此后,重復(fù)上述顯像工序和復(fù)制工序,在玻璃板M上復(fù)制3色的熒光 體層Tr、 Tg、 Tb。最后,將復(fù)制后的3色熒光體層融化并固定于玻璃板M。綜上所述,根據(jù)本實(shí)施方式,由于將凹版51做成圓筒狀,能將裝置組 成小型化。而且,本實(shí)施方式中,通過將凹版51形成圓筒形,能使凹版51 對(duì)平板狀的玻璃板M逐漸接近或離開,可抑制介入兩者之間的液膜產(chǎn)生紊 流,從而能防止復(fù)制在玻璃板M的熒光體層剝離的弊病。而且,通過安排裝置組成,也可用本實(shí)施方式的圖案形成裝置50首先 在玻璃板M上復(fù)制黑矩陣,接著復(fù)制濾色片,最后復(fù)制熒光體層。再者,上述實(shí)施方式1和2中,說明了使用具有1色份額的凹部14a的 圖案14的凹版1、 51在玻璃板M的表面復(fù)制3次各色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb的情況,但不限于此,也可以使用具有3色份額的凹部14a的單一凹版 將3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb—起復(fù)制到玻璃板M。此情況下,可以除圖 3中說明的1色份額的凹部14a外,還在虛線所示的空檔14b也形成凹部 14a,并設(shè)置分別獨(dú)立連接各色用的凹部14a的示于圖16和圖17的電極, 以代替金屬層12。例如,改進(jìn)上述實(shí)施方式2的圓筒形凹版51的情況下,如圖16所示, 在鋁的滾筒坯管52的表面形成例如厚30微米的絕緣層53,在該層上設(shè)置 作為像素電極的銅電極54和作為保護(hù)層的鎳電極55(下文統(tǒng)稱為像素電極 56),又在該電極上設(shè)置高電阻層13,最后用蝕刻等去除與像素電極56對(duì) 置的位置的高電阻層13,形成凹部14a。如圖17所示,各色的像素電極56連接同色的像素電極56,并與不同 色的像素電極56電分離,能每色施加不同的電壓。例如將2個(gè)紅色的像素 電極56r通過電源線57r和58r連接到未圖示的紅用電源。同樣,將綠色的 像素電極56g通過電源線57g和58g連接到未圖示的綠用電源,將藍(lán)色的 像素電極56b通過電源線57b和58b連接到未圖示的藍(lán)用電源。通過這樣對(duì)各色的像素電極56獨(dú)立布線,能用單一的凹版對(duì)3色的熒 光體圖案進(jìn)行顯像。例如,對(duì)紅色的熒光體圖案進(jìn)行顯像時(shí),僅使紅色的 像素電極56r為接地電位,并使綠色和藍(lán)色的像素電極56g、 56b為+400 伏,從而僅將帶正電的紅色熒光體粒子吸引到紅色的像素電極56r,進(jìn)行顯 像。同樣,對(duì)綠色的熒光體圖案進(jìn)行顯像時(shí),僅使綠色的像素電極56g為 接地電位,并使紅色和藍(lán)色的像素電極56r、 56b為+400伏,從而僅將綠 色熒光體粒子吸引到綠色的像素電極56g,進(jìn)行顯像。又,對(duì)藍(lán)色的熒光體 圖案進(jìn)行顯像時(shí),僅使藍(lán)色的像素電極56b為接地電位,并使紅色和綠色 的像素電極56r、 56g為+400伏,從而僅將藍(lán)色熒光體粒子吸引到藍(lán)色的 像素電極56b,進(jìn)行顯像。這樣,就在單一的凹版對(duì)3色的熒光體圖案進(jìn)行顯像。此后,將3色的熒光體圖案一起復(fù)制到玻璃板M。 g卩,通過使用可同時(shí)保持3色的熒光體圖案的凹版,能一起實(shí)施對(duì)玻璃板M的復(fù)制,從而能避 免玻璃板M的內(nèi)部電荷造成的第2次及其后的復(fù)制欠佳,而且僅1次高精 度對(duì)位就可以。接著,參照?qǐng)D18說明本發(fā)明實(shí)施方式3的圖案形成裝置60。此圖案形 成裝置60除在凹版1與玻璃板M之間配置中間復(fù)制體61夕卜,具有與上述 實(shí)施方式l相同的結(jié)構(gòu)。再者,下文說明的各實(shí)施方式的中間復(fù)制體有時(shí) 作為本發(fā)明的被復(fù)制媒體起作用。用此圖案形成裝置60在玻璃板M的表面形成3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb時(shí),暫且在中間復(fù)制體61的周面上復(fù)制各色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb后, 將這些3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb—起復(fù)制到玻璃板M。艮P,對(duì)凹版l通過顯像裝置2r將紅色熒光體粒子顯像,并以電場的作 用將凝集在凹版1的凹部14a的紅色熒光體圖案復(fù)制到具有導(dǎo)電性的中間 復(fù)制體61的周面。這時(shí),與例如上述實(shí)施方式1那樣從玻璃板M的背面 側(cè)施加高壓不同,由于中間復(fù)制體61在表面或表面附近存在導(dǎo)電性電極, 用一200伏程度的復(fù)制電壓也能高效率復(fù)制形狀極為良好的熒光體層。同樣,將綠色熒光體圖案和藍(lán)色熒光體圖案并排地復(fù)制在中間復(fù)制體 61的周面上。這樣重復(fù)將3色的熒光體圖案復(fù)制到中間復(fù)制體61時(shí),沒有 例如上述實(shí)施方式1的玻璃板M時(shí)那樣復(fù)制特性劣化。又,在中間復(fù)制體61上復(fù)制第2色及其后的熒光體圖案時(shí),也考慮先 前已復(fù)制的熒光體圖案壓壞的可能性。因此,可在中間復(fù)制體61的周面設(shè) 置未圖示的間隔件,在此周面與凹版1之間確保物理上的間隙。利用中間復(fù)制體61的旋轉(zhuǎn),輸送上文所述那樣復(fù)制在中間復(fù)制體61的 周面的3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb,將它們一起復(fù)制到玻璃板M。再者, 這樣用中間復(fù)制體61將3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb復(fù)制到玻璃板M時(shí), 最好用絕緣性液體浸濕熒光體層。綜上所述,根據(jù)本實(shí)施方式,在中間復(fù)制體61上復(fù)制3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb后,將這些3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb—起復(fù)制到玻璃板M, 所以能使對(duì)玻璃板M的復(fù)制1次就結(jié)束。由此,不產(chǎn)生上述實(shí)施方式l說 明的在玻璃板M內(nèi)部積存電荷的問題。接著,參照?qǐng)D19說明本發(fā)明實(shí)施方式4的圖案形成裝置70。此圖案形 成裝置70具有各色用的凹版lr、 lg、 lb,并具有平板狀的中間復(fù)制體71。 在這2點(diǎn)上與上述實(shí)施方式不同。即,此圖案形成裝置70采用打算用平板 狀的多個(gè)凹版的"級(jí)聯(lián)"方式。使用此圖案形成裝置70將3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb復(fù)制到玻璃板M 時(shí),首先,在離開中間復(fù)制體71的輸送路徑的位置通過顯像裝置2r將紅 色熒光體粒子供給紅色用的凹版lr,對(duì)紅色熒光體圖案進(jìn)行顯像。將這樣 已把紅色熒光體圖案顯像的凹版lr移動(dòng)到中間復(fù)制體71的輸送路徑,配 置成與中間復(fù)制體71對(duì)置,將保持的紅色熒光體圖案復(fù)制到中間復(fù)制體 71。同樣,將綠色熒光體圖案復(fù)制到中間復(fù)制體71且與紅色熒光體圖案并 排,將藍(lán)色熒光體圖案復(fù)制到中間復(fù)制體71且與紅色和綠色熒光體圖案并 排。然后,配置保持3色熒光體圖案的中間復(fù)制體71,使其與在中間復(fù)制 體71的輸送路徑終點(diǎn)等待的玻璃板M對(duì)置后,將3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb—起復(fù)制到玻璃板M。綜上所述,本實(shí)施方式中,也與上述實(shí)施方式3相同,能使對(duì)玻璃板M 的復(fù)制為1次,而且由于平板復(fù)制,能實(shí)現(xiàn)高對(duì)位精度。接著,參照?qǐng)D20說明本發(fā)明實(shí)施方式5的圖案形成裝置80。此圖案形 成裝置80,其特征為組合上述實(shí)施方式2說明的圓筒狀的凹版51和上述 實(shí)施方式3說明的圓筒狀中間復(fù)制體61。用此圖案形成裝置80將3色的熒光體層Tr、 Tg、 Tb復(fù)制到玻璃板M 時(shí),首先,通過顯像裝置2r將紅色熒光體粒子供給凹版51,對(duì)紅色熒光體圖案進(jìn)行顯像后,將此熒光體圖案復(fù)制到中間復(fù)制體61。同樣將綠色熒光 體圖案和藍(lán)色熒光體圖案依次復(fù)制到中間復(fù)制體61,最后將3色的熒光體圖案一起從中間復(fù)制體61復(fù)制到玻璃板M。綜上所述,根據(jù)本實(shí)施方式,分別將凹版51和中間復(fù)制體61做成圓筒 形,所以能使裝置小型化,可謀求節(jié)省空間。而且,將熒光體圖案從圓筒 形的凹版51復(fù)制到中間復(fù)制體61時(shí),大體上不產(chǎn)生介入兩者之間的液體 顯像劑的紊流,無熒光體粒子散逸。將熒光體圖案從中間復(fù)制體61復(fù)制到 玻璃板M時(shí),也能取得同樣的效果。而且,本實(shí)施方式這樣使平板狀的玻璃板M以幾乎接觸的狀態(tài)與圓筒 形的中間復(fù)制體61對(duì)置的情況下,能利用玻璃板M的撓性使中間復(fù)制體 61的周面與玻璃板M之間的間隙保持適當(dāng)?shù)闹?。圖21示出本發(fā)明實(shí)施方式6的圖案形成裝置100的概略立體圖。此圖案形成裝置100具有巻繞在往圖中順時(shí)針方向(箭頭號(hào)R方向)旋 轉(zhuǎn)的滾筒坯管(后文闡述)的周面的底版101(像保持體);將電荷供給此底版 101的后文闡述的高電阻層并使其帶電的帶電器102;將各色(r:紅、g:綠、 b:藍(lán))液體顯像劑供給底版101進(jìn)行顯像的多個(gè)顯像裝置103r、 103g和 103b(下文有時(shí)統(tǒng)稱為顯像裝置103);利用鼓風(fēng)使因顯像而附著在底版101 的液體顯像劑的溶媒成分汽化并干燥的干燥器104(干燥裝置);在一定位置 上保持成為復(fù)制附著在底版101的顯像劑粒子并形成圖案的被復(fù)制媒體的 玻璃板105的工作臺(tái)106(保持機(jī)構(gòu))106;復(fù)制前在玻璃板105的表面涂覆 固定在或絕緣的溶媒的涂覆裝置107(浸濕裝置);清理結(jié)束復(fù)制的底版101 的清理器108和去除底版101的電荷的除電器109。收裝在各色顯像裝置103r、 103g、 103b的液體顯像劑,是在碳化氫類 或硅類等絕緣溶媒中散布帶電的微粒子(顯像劑粒子)的顯像劑,通過此微粒 子在電場下的電泳進(jìn)行顯像。作為微粒子,可實(shí)施例如平均粒徑小于4微 米左右的樹脂粒子包圍平均粒徑4微米左右的各色熒光體粒子且樹脂粒子 具有離子性帶電區(qū)并在電場中進(jìn)行離子分離從而帶電的組成、在樹脂粒子內(nèi)部包含各色顏料微粒子的組成或在樹脂粒子的表面承載各色顏料微粒子 的組成。如圖22A所示俯視圖那樣,將底版101形成矩形薄板狀。如圖22B所 示剖視圖那樣在厚0.05毫米(mm)至0.4毫米(厚0.1毫米至0.2毫米更好)的 矩形金屬膜112的表面形成高電阻層113,從而構(gòu)成此底版101??捎删哂?撓性的鋁、不銹鋼、鈦、殷鋼等原材料構(gòu)成金屬膜112,還可在聚酰亞胺或 PET等的表面蒸鍍金屬,但為了高精度形成復(fù)制圖案,最好用難產(chǎn)生熱膨 脹或應(yīng)力造成的伸展的原材料構(gòu)成。而且,利用例如聚酰亞胺、丙烯、聚 乙烯、(聚)氨酯、環(huán)氧樹脂、特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))、尼龍等體電阻率大于等于 1(T歐厘米(Qcm)的材料(包括絕緣體)形成高電阻層13,將其厚度形成10 微米 40微米,形成20微米±5微米更好。又,在高電阻層113的表面113a,形成將圖23中局部放大地示出的矩 形的凹部114a直線對(duì)準(zhǔn)配置多個(gè)的圖案114。本實(shí)施方式中,例如作為制 造在平面型圖像顯示裝置的正面基片上形成的熒光屏的凹版,以從高電阻 層113的表面下陷的方式僅形成相當(dāng)于1色份額的凹部114a,圖中虛線所 示的其它2色份額的區(qū)域不形成凹部,僅確保空檔。圖24中示出將l個(gè)凹部114a放大的底版101的剖視圖。本實(shí)施方式中, 凹部114a的底露出在金屬膜112的表面112a,此金屬膜112的露出的表面 112a作為本發(fā)明的圖案狀電極層起作用。凹部114a的深度實(shí)質(zhì)上相當(dāng)于高 電阻層113的層厚。包含在凹部114a的底露出的金屬膜112的表面112a 和高電阻層113的表面113a的底版101的整個(gè)表面鍍覆厚0.5微米至3微 米程度的表面脫模層,則得到復(fù)制特性進(jìn)一步提高的較佳特性。圖25示出描繪將上述結(jié)構(gòu)的膜狀底版101巻繞在滾筒坯管131的狀況 的概略剖視圖。在滾筒坯管131的圖中上部的切口部131a設(shè)置將底版101 的一端固定的夾板132和將另一端固定的夾板133。將底版101巻繞在滾筒 坯管131的周面上時(shí),首先,將底版101的一端固定在夾板132;其后,一 面鋪開底版101 —面將其另一端134用夾板133固定。由此,能將底版101不松弛地巻繞在滾筒坯管131周面的規(guī)定位置。圖26是說明利用帶電器104使這樣巻繞在滾筒坯管131的底版101的 高電阻層113的表面113a帶電的工序用的局部組成圖。帶電器104是熟知 的電暈帶電器,基本上由電暈線142和防護(hù)盒143構(gòu)成,通過設(shè)置網(wǎng)狀柵 極144,能提高帶電的均勻性。例如,將底版101的金屬模112和防護(hù)盒 143接地,利用未圖示的電源裝置對(duì)電暈線142施加+ 5.5千伏的電壓,又 對(duì)柵極144施加+ 500伏的電壓,并使底版101往圖中箭頭號(hào)R方向移動(dòng), 則使高電阻層113的表面113a均勻地帶電實(shí)質(zhì)上+ 500伏。該圖所示的除電器109,其結(jié)構(gòu)與帶電器104實(shí)質(zhì)上相同,但連接未圖 示的交流電源,以便對(duì)電暈線146施加有效電壓6千伏、頻率50赫(Hz)的 交流電壓,并且設(shè)置防護(hù)盒147和柵極148,則可在帶電器104造成的帶電 前,進(jìn)行消電,使底版101的高電阻層113的表面113a為實(shí)質(zhì)上0伏,從 而能使高電阻層113的重復(fù)帶電特性穩(wěn)定。圖27示出說明對(duì)上文所述那樣帶電的底版101的顯像動(dòng)作用的圖。顯 像時(shí),使進(jìn)行顯像的色的顯像器103與底版101對(duì)置,并使其顯像滾筒 151(供給構(gòu)件)和擠液滾筒152接近底版101,將上述液體顯像劑供給底版 101。將顯像滾筒151配置在其周面對(duì)輸送的底版101的高電阻層113的表 面113a以100微米 150微米程度的間隙為中介相互對(duì)置的位置,并以1.5 倍至4倍程度的速度往與底版101的旋轉(zhuǎn)方向相同的方向(圖中逆時(shí)針方向) 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。使作為顯像劑粒子的帶電的調(diào)色劑粒子155散布在作為絕緣性液體的 溶媒154中,從而構(gòu)成由未圖示的供給系統(tǒng)供給顯像滾筒151的周面的液 體顯像劑153,并將其隨著顯像滾筒151的旋轉(zhuǎn)供給底版101的周面。這里, 由未圖示的電源裝置對(duì)顯像滾筒151施加例如+250伏的電壓,則帶正電的 調(diào)色劑粒子155在溶媒154中往接地電位的金屬膜112遷移,匯集在底版 101的凹部114a內(nèi)。這時(shí),高電阻層113的表面113a帶電+ 500伏左右, 所以帶正電的調(diào)色劑粒子155受表面113a排斥,不附著在該表面。這樣,在底版101的凹部114a內(nèi)匯集調(diào)色劑粒子155后,接著調(diào)色劑 粒子155的濃度變稀的液體顯像劑153介入擠液滾筒152與底版101對(duì)置 的間隙。這里,將間隙(絕緣層113的表面113a與擠液滾筒152的表面之間 的距離)設(shè)定為30微米至50微米,并且擠液滾筒152的電位為+250伏, 擠液滾筒152往與底版101相反的方向以底版101的速度的3倍至5倍程 度的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn),所以取得一面進(jìn)一步促進(jìn)顯像且同時(shí)一面擠掉部分附 著在底版101的溶媒156的效果。這樣進(jìn)行動(dòng)作,從而在底版101的凹部 114a形成調(diào)色劑的圖案157??墒牵诓AО?05上形成3色熒光體圖案的情況下,如圖28所示, 首先,收裝含藍(lán)色熒光體粒子的液體顯像劑的顯像器103b移動(dòng)到底版101 的下方,由這里未圖示的升降機(jī)構(gòu)使顯像器103b上升并接近底版101。此 狀態(tài)下,底版101往箭頭號(hào)R的方向旋轉(zhuǎn),對(duì)凹部114a造成的圖案進(jìn)行顯 像。藍(lán)色圖案的顯像結(jié)束時(shí),顯像器103b下降,離開底版IOI。此藍(lán)色顯像工序的期間,涂覆裝置107沿未圖示的輸送裝置預(yù)先輸送并 保持在工作臺(tái)106上的玻璃板105的離開工作臺(tái)106的表面,往圖中虛線 箭頭號(hào)T1的方向移動(dòng),在玻璃板105的表面涂覆溶媒(絕緣性液體)。后文 闡述此溶媒的作用和材料組成。此后,周面承載藍(lán)色圖案的底版IOI—面旋轉(zhuǎn)、 一面沿圖中的虛線箭頭 號(hào)T2移動(dòng)(將此動(dòng)作稱為轉(zhuǎn)動(dòng)),把藍(lán)色圖案像復(fù)制到玻璃板105的表面。 后文闡述復(fù)制的詳況。結(jié)束藍(lán)圖案的復(fù)制的底版往圖中左方平行移動(dòng),返 回顯像時(shí)的初始位置。這時(shí),保持玻璃板105的工作臺(tái)106下降,避免與 返回初始位置的底版101接觸。接著,3色的顯像器103r、 103g、 103b往圖中左方移動(dòng),綠色顯像器 103g在位于底版101下方的地方停止,與綠色顯像時(shí)同樣地進(jìn)行顯像器 103g的上升、顯像、下降。接著,用與上述相同的操作將綠圖案從底版101 復(fù)制到玻璃板105的表面。這時(shí),當(dāng)然將綠色圖案在玻璃板105表面上的 復(fù)制位置從所述藍(lán)色圖案錯(cuò)開1色份額。然后,對(duì)紅色顯像重復(fù)上述動(dòng)作,從而在玻璃板105的表面上并排地復(fù)制3色圖案,將3色的圖案像形成在玻璃板105的表面。這樣,將玻璃板 105保持并固定在一定位置,并使底版101對(duì)玻璃板105移動(dòng),從而玻璃板 105不需要來回移動(dòng),能抑制確保移動(dòng)空間大和裝置大型化。圖29示出使上述底版101沿玻璃板105轉(zhuǎn)動(dòng)用的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的關(guān)鍵部結(jié) 構(gòu)。在周面上巻繞底版101的滾筒坯管131的軸向兩端安裝稱為小齒輪的 齒輪Hl。底版101利用此齒輪171與電動(dòng)機(jī)172的驅(qū)動(dòng)齒輪173的咬合進(jìn) 行旋轉(zhuǎn),并利用設(shè)置在工作臺(tái)106兩端的直線軌道的齒條174與小齒輪(齒 輪171)的咬合往圖中左方平移。設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)各部的結(jié)構(gòu),使這時(shí)保持在 工作臺(tái)106上的玻璃板105的表面與底版101的表面之間不產(chǎn)生相對(duì)偏移。 權(quán)利要求書中,將這樣一面旋轉(zhuǎn)、 一面沿玻璃板105平行移動(dòng)的動(dòng)作稱為 轉(zhuǎn)動(dòng)。根據(jù)這種齒條加小齒輪機(jī)構(gòu),沒有傳遞驅(qū)動(dòng)用的空轉(zhuǎn),所以能實(shí)現(xiàn)無間 隙的高精度旋轉(zhuǎn)平移驅(qū)動(dòng),從而能在玻璃板105上復(fù)制例如土5微米的高 位置精度的高清晰圖案。另一方面,將玻璃板105(圖29中未圖示)配置在工作臺(tái)106上,使其背 面105b(離開底版101反的面)的實(shí)質(zhì)上整個(gè)面對(duì)接工作臺(tái)106的平坦的接 觸面106a,如圖28所示。而且,從連接管道175經(jīng)主管道177將未圖示的 真空泵連接到貫穿工作臺(tái)106并延伸至接觸面106a的吸氣口 176,從而通 過開在吸氣口 176的接觸面106a的未圖示的吸附孔對(duì)玻璃板105作用負(fù)壓, 將其吸附在工作臺(tái)106的接觸面106a上。利用此吸附機(jī)構(gòu),使玻璃板105 的背面105b的實(shí)質(zhì)上整個(gè)面按壓并緊貼在具有高平面度的接觸面106a,以 平面性高的狀態(tài)保持在工作臺(tái)106上。通過這樣將玻璃板105壓緊在平坦 的接觸面106a,也能校正玻璃板105的畸變等,能高精度維持與后文闡述 的底版101之間的復(fù)制間隙。圖30是說明將調(diào)色劑粒子從底版101復(fù)制到玻璃板105時(shí)的狀態(tài)的關(guān) 鍵部剖視圖。在玻璃板105的表面105a涂覆由例如導(dǎo)電性高分子等組成的導(dǎo)電層181,將該導(dǎo)電層181的表面181a和底版101的高電阻層113的表 面113a以間隙d2為中介,設(shè)置成非接觸狀態(tài),將d2設(shè)置為例如10微米 至40微米范圍的值。高電阻層131的厚度為例如20微米時(shí),金屬膜112 與導(dǎo)電層181的表面181a之間的距離為30微米至60微米。此狀態(tài)下,通過電源裝置182(復(fù)制裝置)對(duì)導(dǎo)電層181施加例如一500 伏的電壓時(shí),與接地電位的金屬膜112之間形成500伏的電位差,調(diào)色劑 粒子155因其電場而在溶媒154中電泳,被復(fù)制到導(dǎo)電層181的表面181a。 這樣,調(diào)色劑粒子155在非接觸狀態(tài)下也能復(fù)制,所以不需要膠版印刷和 柔版印刷時(shí)那樣介入橡皮布或柔版的彈性體,能實(shí)現(xiàn)總為位置精度高的復(fù) 制。通過復(fù)制調(diào)色劑粒子155后,將玻璃板105投入未圖示的烘烤爐進(jìn)行 燒結(jié),使導(dǎo)電層181消失。再者,上述那樣用電場將調(diào)色劑粒子復(fù)制到玻璃板105的情況下,必要 條件為復(fù)制間隙中存在溶媒并將玻璃板105側(cè)的導(dǎo)電層181與底版101之 間浸濕,所以有效的是復(fù)制前預(yù)先用溶媒將玻璃板105的表面105a預(yù)濕。 作為預(yù)濕溶媒,只要絕緣或電阻高就可以,但與用于液體顯像劑的溶媒或 其中添加帶電控制劑的溶媒則更好。將預(yù)濕溶媒如用圖28說明的那樣利用 涂覆裝置107按適當(dāng)?shù)亩〞r(shí)以適當(dāng)?shù)耐扛驳牧客糠笤诓AО?05的表面 105a。綜上所述,根據(jù)上述實(shí)施方式,使底版101對(duì)配置在一定位置的玻璃板 105轉(zhuǎn)動(dòng),將已顯像的調(diào)色劑粒子155復(fù)制到玻璃板105的表面105a,所 以能將使底版101轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組成小型化,可減小裝置的設(shè)置空間。 而且,根據(jù)上述實(shí)施方式,用電場將調(diào)色劑粒子155從以非接觸狀態(tài)對(duì)置 配置的底版101復(fù)制到玻璃板105,所以與以往那樣用柔版的復(fù)制方式相 比,能提高復(fù)制像的析像度,可形成高清晰的圖案。又,上述實(shí)施方式中,利用來自干燥器104的送風(fēng)使匯集在底版101的 凹部114a的調(diào)色劑粒子155(已顯像)適當(dāng)干燥一下后,由溶媒浸濕(預(yù)濕) 玻璃板105的表面105a,對(duì)調(diào)色劑粒子155進(jìn)行復(fù)制,所以能使復(fù)制在玻璃板105的表面105a的調(diào)色劑像形狀穩(wěn)定,顯明地形成圖案的輪廓。這里,參照?qǐng)D31至圖33說明上述實(shí)施方式6的若干變換例。再者,這 里對(duì)作用與上述實(shí)施方式6的圖案形成裝置100相同的組成單元標(biāo)注同一 標(biāo)號(hào),省略其詳細(xì)說明,并省略用圖示出與說明無關(guān)的組成。圖31示出使底版101的高電阻層113的表面113a接觸設(shè)置在玻璃板105 的表面105a上的導(dǎo)電層181的表面181a的狀態(tài)下復(fù)制調(diào)色劑粒子155的 例子。施加的玻璃板105因位置而有厚度波動(dòng),存在波動(dòng)的大小達(dá)30微米 的情況,所以也考慮圖30那樣將與底版101之間的間隙d2設(shè)定為20微米 的情況下,有些位置上導(dǎo)電層181的表面也如圖31所示那樣接觸高電阻層 113的表面113a??傊?,匯集在底版101的凹部114a內(nèi)的調(diào)色劑粒子155 對(duì)導(dǎo)電層181非接觸或輕接觸,所以能利用電泳作良好的復(fù)制。然而,在工作臺(tái)106的接觸面106a上原樣載放玻璃板105并使底版10 接觸導(dǎo)電層181時(shí),玻璃板105的厚度波動(dòng)等兩者之間的間隙變動(dòng)的情況 下,在該部位應(yīng)力集中,產(chǎn)生弊病。因此,使底版101與玻璃板105接觸 的情況下,有效的是實(shí)施圖31所示那樣在工作臺(tái)106的接觸面106a上設(shè) 置高精度控制厚度的板狀的彈性構(gòu)件191(例如硬度為61度且厚1毫米的聚 胺酯橡膠等)并在其上設(shè)置玻璃板105等措施。由此,即使玻璃板105存在 厚度波動(dòng),彈性構(gòu)件191也能吸收該波動(dòng),從而能維持良好的復(fù)制特性。 再者,不必高精度控制底版101與玻璃板105之間的間隙,所以能簡化裝 置組成,可價(jià)廉地進(jìn)行制造。彈性構(gòu)件191未必需要為板狀,其組成也可 例如在工作臺(tái)106上設(shè)置多個(gè)橡膠制的吸盤狀的彈性構(gòu)件,用此吸盤保持 玻璃板105。此情況下,能利用橡膠制吸盤的應(yīng)力形變控制接觸狀態(tài)。圖32示出的例子在玻璃板105的表面105a上形成黑矩陣或電阻層的結(jié) 構(gòu)物201后,將已在底版101顯像的調(diào)色劑粒子155復(fù)制在玻璃板155的 表面105上。此例中,使用高電阻層113中沒有凹部114a的底版101,。此 情況下,通過使電場作用于底版101的調(diào)色劑粒子155,也能將調(diào)色劑粒子 155良好地復(fù)制到玻璃板105。艮P,此情況下,底版101未必需要是凹版,也可以是金屬膜112的表面和高電阻層133的表面存在于同一表面的所謂平版。例如,底版101與玻 璃板105之間設(shè)置一定間隙的情況下,匯集在無高電阻層113的金屬膜112 露出的表面的調(diào)色劑粒子155對(duì)導(dǎo)電層181為非接觸狀態(tài),所以進(jìn)行良好 的電場復(fù)制。而且,此情況下,玻璃板105上的結(jié)構(gòu)物201作為區(qū)分調(diào)色 劑粒子155的隔板起作用,所以能使復(fù)制的圖案的輪廓清晰。圖33示出的例子將用于形成在底版101的金屬膜112與玻璃板105之 間復(fù)制用的電場的導(dǎo)電層211(對(duì)置電極)設(shè)置在玻璃板105面對(duì)工作臺(tái)106 的接觸面106a的背面105b側(cè)。此情況下,設(shè)定通過電源裝置212施加在 導(dǎo)電層211的電壓,使底版101的金屬膜112與玻璃板105的表面105a之 間得到足夠的電場強(qiáng)度,則也能進(jìn)行良好的復(fù)制。例如,玻璃板105的厚度為1.8毫米的情況下,對(duì)導(dǎo)電層211施加一5 千伏至一7千伏程度的高壓,則得到足夠的電場強(qiáng)度。此結(jié)構(gòu),則不必事先 在玻璃板105的表面105a涂覆導(dǎo)電層181,可為預(yù)先在工作臺(tái)106的接觸 面106a上設(shè)置導(dǎo)電層211的簡單組成。而且,不需要復(fù)制后使不需要的表 面?zhèn)鹊膶?dǎo)電層181消失的工序。再者,本發(fā)明不受上述實(shí)施方式原樣限定,實(shí)施階段可在不脫離其要旨的范圍變換組成單元并付諸實(shí)施。而且,利用適當(dāng)組合上述實(shí)施方式揭示 的多個(gè)組成單元,能形成各種發(fā)明。例如,可從上述實(shí)施方式所示全部組 成單元?jiǎng)h除若干組成單元。還可適當(dāng)組合涉及不同實(shí)施方式的組成單元。例如,上述實(shí)施方式1至5中說明了僅使凹版、中間復(fù)制體和玻璃板中 的任一方對(duì)其它方移動(dòng)的情況,但不限于此,也可使對(duì)置的2個(gè)根據(jù)相對(duì)移動(dòng)。又,上述實(shí)施方式中,說明了以使熒光體粒子帶正電的方式使圖案形成 裝置進(jìn)行工作的情況,但不限于此,也可使全部組成以帶相反極性的方式 進(jìn)行工作。又,上述實(shí)施方式中,說明了本發(fā)明用于在平面型圖像顯示裝置的正面基片形成熒光體層或?yàn)V色片的裝置的情況,但本發(fā)明也能當(dāng)作其它技術(shù)領(lǐng) 域的制造裝置廣泛利用。例如,改變液體顯像劑的組分,則本發(fā)明也能用于電路板或ic標(biāo)簽等形成導(dǎo)電圖案的裝置。此情況下,由例如平均粒徑0.3微米的樹脂粒子、附著在其表面的平均粒徑0.02微米的金屬粒子(例如銅、鉑、銀等)和金屬皂那樣的電荷控制劑構(gòu)成液體顯像劑,則利用與上述實(shí)施方式相同的方法, 也能在例如硅片上形成顯像劑造成的布線圖案。僅用這種顯像劑一般不容 易形成具有足夠?qū)щ娦缘碾娐穲D案,因此最好形成圖案后以上述金屬微粒 子為核,實(shí)施電鍍。這樣處理,也能進(jìn)行導(dǎo)電電路、電容器、電阻等的圖 案制作。又,上述實(shí)施方式中,說明了使用形成凹部造成的圖案的版的裝置,但 不限于此,例如本發(fā)明也能用于利用熟知的電子照相法在感光體表面形成 潛像并且用液體顯像劑將其顯像后進(jìn)行復(fù)制的裝置。工業(yè)上的實(shí)用性本發(fā)明的圖案形成裝置具有上述組成和作用,因此能高析像度且高精度 地形成厚膜的圖案。
權(quán)利要求
1、一種圖案形成裝置,其特征在于,具有在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的供給構(gòu)件,供給使帶電的顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的液體顯像劑,并在此供給構(gòu)件與所述基體之間形成第1電位差,從而將所述液體顯像劑中的所述顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的顯像裝置;以及復(fù)制裝置,該復(fù)制裝置在使被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述顯像劑粒子的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,此被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第2電位差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體。
2、 如權(quán)利要求1中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述凹部的底露出在所述基體的表面。
3、 如權(quán)利要求2中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有通過所述供給構(gòu)件將所述液體顯像劑供給所述高電阻層的表面前,使該表面帶電成所述顯像劑粒子不附著的電位的帶電裝置。
4、 如權(quán)利要求3中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有局部去除包含通過所述供給構(gòu)件供給所述高電阻層的表面的所述液體顯像劑中未匯集在所述凹部內(nèi)的所述顯像劑粒子的絕緣性液體,并 將液體顯像劑的量控制為適當(dāng)?shù)牧康娜コb置。
5、 如權(quán)利要求4中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述去除裝置在使所述被復(fù)制媒體接近所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,按所述液體顯像劑接觸該被復(fù)制媒體的程度,去除所述絕緣 性液體。
6、 如權(quán)利要求1中所述的圖案形成裝置,其特征在于,還具有使該高電阻層的表面與該被復(fù)制媒體接近到通過所述供給機(jī)構(gòu) 供給所述高電阻層的所述表面的所述液體顯像劑接觸所述被復(fù)制媒體的程 度并對(duì)置,并且復(fù)制后使該被復(fù)制媒體與該高電阻層的表面分開的攏近分 離裝置。
7、 如權(quán)利要求6中所述的圖案形成裝置,其特征在于,所述攏近分離裝置將所述被復(fù)制媒體以逐漸接觸的方式接近供給所述 高電阻層的表面的所述液體顯像劑,以免供給所述高電阻層的表面的所述 液體顯像劑產(chǎn)生紊流,并且在復(fù)制后使所述液體顯像劑與所述被復(fù)制媒體 逐漸分開,以免在所述高電阻層的表面與所述被復(fù)制媒體之間介入并進(jìn)行 接觸的所述液體顯像劑產(chǎn)生紊流。
8、 如權(quán)利要求1中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 將所述凹版的基體形成圓筒形的鼓狀。
9、 如權(quán)利要求1中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 將所述被復(fù)制媒體形成圓筒形。
10、 一種圖案形成裝置,其特征在于,具有在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與 所述基體之間產(chǎn)生第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述第1顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像裝置;使被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第2電位差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述第1顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第1復(fù)制裝置;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與所述基體之間產(chǎn)生第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像裝置;以及使已復(fù)制所述第1顯像劑粒子的所述被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下, 在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第4電位差,從而將匯集在所述凹部 內(nèi)的所述第2顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第2復(fù)制裝置。
11、 如權(quán)利要求IO中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有將所述凹版和所述被復(fù)制媒體相對(duì)地對(duì)準(zhǔn)位置,以便在與將所述第1顯像劑粒子復(fù)制到所述被復(fù)制媒體的位置重疊的位置上復(fù)制所述第2 顯像劑粒子的定位機(jī)構(gòu)。
12、 如權(quán)利要求IO中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有將所述凹版和所述被復(fù)制媒體相對(duì)地對(duì)準(zhǔn)位置,以便與在將所述第1顯像劑粒子復(fù)制到所述被復(fù)制媒體的位置不同的位置上復(fù)制所述第2 顯像劑粒子的定位機(jī)構(gòu)。
13、 如權(quán)利要求IO中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有將所述第1顯像劑粒子復(fù)制到所述被復(fù)制媒體后且在該被復(fù)制媒體上復(fù)制所述第2顯像劑粒子前,至少局部去除該被復(fù)制媒體中殘留的 電荷的電荷去除裝置。
14、 一種圖案形成裝置,其特征在于,具有含形成在高電阻層的第1凹部造成的第1圖案和第2凹部造成的第2圖 案,并含分別獨(dú)立設(shè)置在這些第l和第2圖案的所述凹部的底的第l和第2 的電極的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與 所述第1電極之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述 第1顯像劑粒子匯集在所述第1凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像裝置;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與 所述第2電極之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述 第2顯像劑粒子匯集在所述第2凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像裝置;以及使被復(fù)制媒體接近所述第1凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子且所述第2 凹部內(nèi)匯集所述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置 的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述第1和第2電極之間形成第2電位差, 從而將匯集在所述第1和第2凹部內(nèi)的所述第1和第2顯像劑粒子一起復(fù) 制到該被復(fù)制媒體的復(fù)制裝置。
15、 一種圖案形成裝置,其特征在于,具有在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所 述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與 所述基體之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述第1 顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像裝置;與所述凹版的所述高電阻層的表面對(duì)置的中間復(fù)制體;將所述第1顯像裝置中顯像的所述第1顯像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所 述中間復(fù)制體的第1復(fù)制裝置;通過與所述凹版的所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶 電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2 供給構(gòu)件與所述基體之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中 的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像裝置;將所述第2顯像裝置中顯像的所述第2顯像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所 述中間復(fù)制體的第2復(fù)制裝置;以及使被復(fù)制媒體接近已復(fù)制所述第l和第2顯像劑粒子的所述中間復(fù)制體 并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述中間復(fù)制體之間形成第2電 位差,從而將所述第1和第2顯像劑粒子一起復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第3復(fù)制裝置。
16、 一種圖案形成方法,其特征在于,具有以下工序準(zhǔn)備在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面 往所述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版的工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的供給構(gòu)件,供給使帶電的顯像劑粒子 散布在絕緣性液體中的液體顯像劑,并在此供給構(gòu)件與所述基體之間形成 第1電位差,從而將所述液體顯像劑中的所述顯像劑粒子匯集在所述凹部 內(nèi)進(jìn)行顯像的顯像工序;以及在使被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述顯像劑粒子的所述高電阻層 的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第2電位差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的復(fù) 制工序。
17、 一種圖案形成方法,其特征在于,具有以下工序準(zhǔn)備在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面 往所述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版的工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與 所述基體之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述第1 顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像工序;使被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子的狀態(tài)的所述 高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形 成第2電位差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述第1顯像劑粒子復(fù)制到該 被復(fù)制媒體的第1復(fù)制工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與 所述基體之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述第2 顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像工序;以及使已復(fù)制所述第1顯像劑粒子的所述被復(fù)制媒體接近所述凹部內(nèi)匯集 所述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置的狀態(tài)下, 在該被復(fù)制媒體與所述基體之間形成第4電位差,從而將匯集在所述凹部內(nèi)的所述第2顯像劑粒子復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第2復(fù)制工序。
18、 一種圖案形成方法,其特征在于,具有以下工序準(zhǔn)備含形成在高電阻層的第1凹部造成的第1圖案和第2凹部造成的第 2圖案,并含分別獨(dú)立設(shè)置在這些第1和第2圖案的所述凹部的底的第1和第2電極的凹版工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與 所述第1電極之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述第1顯像劑粒子匯集在所述第1凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶電的第2顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2供給構(gòu)件與 所述第2電極之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中的所述 第2顯像劑粒子匯集在所述第2凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像工序;以及使被復(fù)制媒體接近所述第1凹部內(nèi)匯集所述第1顯像劑粒子且所述第2 凹部內(nèi)匯集所述第2顯像劑粒子的狀態(tài)的所述高電阻層的表面并與其對(duì)置 的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述第1和第2電極之間形成第2電位差, 從而將匯集在所述第1和第2凹部內(nèi)的所述第1和第2顯像劑粒子一起復(fù) 制到該被復(fù)制媒體的復(fù)制工序。
19、 一種圖案形成方法,其特征在于,具有以下工序 準(zhǔn)備在帶有導(dǎo)電性的基體的表面含高電阻層,并含從該高電阻層的表面往所述基體下陷的凹部造成的圖案的凹版工序;通過與所述高電阻層的表面對(duì)置的第1供給構(gòu)件,供給使帶電的第1顯 像劑粒子散布在絕緣性液體中的第1液體顯像劑,并在此第1供給構(gòu)件與 所述基體之間形成第1電位差,從而將所述第1液體顯像劑中的所述第1顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第1顯像工序;將所述第1顯像裝置中顯像的所述第1顯像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所述中間復(fù)制體的第1復(fù)制工序;通過與所述凹版的所述高電阻層的表面對(duì)置的第2供給構(gòu)件,供給使帶 電的第2顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的第2液體顯像劑,并在此第2 供給構(gòu)件與所述基體之間形成第3電位差,從而將所述第2液體顯像劑中 的所述第2顯像劑粒子匯集在所述凹部內(nèi)進(jìn)行顯像的第2顯像工序;將所述第2顯像裝置中顯像的所述第2顯像劑粒子從所述凹部復(fù)制到所 述中間復(fù)制體的第2復(fù)制工序;以及使被復(fù)制媒體接近已復(fù)制所述第l和第2顯像劑粒子的所述中間復(fù)制體 并與其對(duì)置的狀態(tài)下,在該被復(fù)制媒體與所述中間復(fù)制體之間形成第2電 位差,從而將所述第1和第2顯像劑粒子一起復(fù)制到該被復(fù)制媒體的第3 復(fù)制工序。
20、 一種圖案形成裝置,其特征在于,具有 保持平板狀的被復(fù)制媒體的保持機(jī)構(gòu); 鼓狀的像保持體;使該像保持體沿所述保持機(jī)構(gòu)保持的平板狀的被復(fù)制媒體轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng) 機(jī)構(gòu);在所述像保持體的周面上形成帶電的顯像劑造成的圖案像的顯像裝置; 以及在所述轉(zhuǎn)動(dòng)的像保持體與所述被復(fù)制媒體之間形成電場,并將所述周面 上的圖案像復(fù)制到所述被復(fù)制媒體的復(fù)制裝置。
21、 如權(quán)利要求20中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)一面在所述像保持體的周面與所述被復(fù)制媒體之間保持一定的間隙, 一面使所述像保持體轉(zhuǎn)動(dòng)。
22、 如權(quán)利要求20中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述保持機(jī)構(gòu)具有接觸所述被復(fù)制媒體的離開所述像保持體的背面的接觸面。
23、 如權(quán)利要求22中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述保持機(jī)構(gòu)具有通過在所述接觸面開口的吸孔對(duì)所述被復(fù)制媒體的背面作用負(fù)壓,從而使所述被復(fù)制媒體吸附的吸附機(jī)構(gòu)。
24、 如權(quán)利要求22中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 在所述保持機(jī)構(gòu)的接觸面與所述被復(fù)制媒體的背面之間具有彈性構(gòu)件。
25、 如權(quán)利要求20中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有利用絕緣性液體,將所述轉(zhuǎn)動(dòng)的像保持體的周面與所述保持機(jī)構(gòu)保持的被復(fù)制媒體的表面之間浸濕的浸濕機(jī)構(gòu)。
26、 如權(quán)利要求20中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述像保持體具有在其周面形成所述圖案像用的圖案狀的電極層, 所述顯像裝置通過供給部,將使帶電的顯像劑粒子散布在絕緣性液體中的液體顯像劑供給所述像保持體的周面,并且在所述供給構(gòu)件與所述電極 層之間形成電場,將使所述供給構(gòu)件與周面之間浸濕的液體顯像劑中的顯 像劑粒子匯集在所述電極層,形成所述圖案像。
27、 如權(quán)利要求26中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述復(fù)制裝置在所述電極層與所述被復(fù)制媒體之間形成電場,將匯集在所述電極層的顯像劑粒子復(fù)制到所述被復(fù)制媒體。
28、 如權(quán)利要求27中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述復(fù)制裝置在所述被復(fù)制媒體的離開所述像保持體背面?zhèn)扰渲玫膶?duì)置電極與所述電極層之間施加復(fù)制偏壓,將所述圖案像復(fù)制到所述被復(fù)制 媒體的表面。
29、 如權(quán)利要求28中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述保持機(jī)構(gòu)具有與所述被復(fù)制媒體的所述表面接觸的接觸面,并且 將所述對(duì)置電極設(shè)置在所述接觸面。
30、 如權(quán)利要求26中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 還具有由所述復(fù)制裝置將所述顯像裝置形成在所述像保持體的周面的圖案像復(fù)制到所述被復(fù)制媒體前,使該圖案像干燥一下的干燥裝置。
31、 如權(quán)利要求30中所述的圖案形成裝置,其特征在于,還具有復(fù)制所述圖案像前利用絕緣性液體將通過所述干燥裝置的所述 保持體的周面與所述保持機(jī)構(gòu)保持的被復(fù)制媒體之間浸濕的浸濕裝置。
32、 如權(quán)利要求31中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述浸濕裝置在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述像保持體沿所述被復(fù)制媒體轉(zhuǎn)動(dòng)前,使涂覆裝置沿所述被復(fù)制媒體移動(dòng),并將絕緣性液體供給所述被復(fù)制 媒體。
33、 如權(quán)利要求27中所述的圖案形成裝置,其特征在于, 所述保持媒體是具有將顯像劑粒子匯集在其周面用的圖案狀凹部,并在此凹部的底具有所述電極層的凹版。
34、 一種圖案形成方法,其特征在于,具有以下工序 在鼓狀的像保持體的周面形成帶電的顯像劑造成的圖案像的顯像工序; 使該顯像工序在所述周面形成圖案像的所述像保持體沿保持在固定位置的平板狀被復(fù)制媒體轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)工序;以及在所述轉(zhuǎn)動(dòng)的像保持體與所述被復(fù)制媒體之間形成電場,并將所述周面 上的圖案像復(fù)制到所述被復(fù)制媒體的復(fù)制工序。
35、 如權(quán)利要求34中所述的圖案形成方法,其特征在于, 所述轉(zhuǎn)動(dòng)工序中,使所述像保持體對(duì)保持在所述固定位置的被復(fù)制媒體接近并轉(zhuǎn)動(dòng)。
36、 如權(quán)利要求34中所述的圖案形成方法,其特征在于, 所述顯像工序中,通過供給構(gòu)件對(duì)所述保持體的周面供給使帶電的顯像劑粒子分散在絕緣性液體中的液體顯像劑,并在所述供給構(gòu)件與像保持體 之間形成電場,從而在所述周面形成所述圖案像。
37、 如權(quán)利要求36中所述的圖案形成方法,其特征在于, 還具有使所述顯像工序中在所述周面形成的所述圖案像干燥一下的干燥工序。
38、如權(quán)利要求37中所述的圖案形成方法,其特征在于,還具有所述復(fù)制工序?qū)⑺鲋苊嫔系膱D案像復(fù)制到所述被復(fù)制媒體前 利用絕緣性液體浸濕該被復(fù)制媒體的表面的浸濕工序。
全文摘要
圖案形成裝置(10)具有含凹部造成的圖案的凹版(1);將含熒光體粒子的液體顯像劑供給凹版的圖案并形成第1電位差,從而使熒光體粒子凝集在凹部進(jìn)行顯像的顯像裝置(2a、2g、2b);以及使顯像后的凹版與玻璃板(M)對(duì)置的狀態(tài)下形成第2電位差,并將由各顯像裝置匯集在凹版的凹部的熒光體粒子依次復(fù)制到玻璃板(M)的復(fù)制滾筒(3)。
文檔編號(hào)B41M1/10GK101336169SQ2006800520
公開日2008年12月31日 申請(qǐng)日期2006年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月26日
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