專(zhuān)利名稱(chēng)：噴墨打印機(jī)頭及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴墨打印機(jī)頭及其制造方法。更具體而言，本發(fā)明涉及在墨水直接接觸加熱器時(shí)能夠保護(hù)電極免受墨水影響的噴墨打印機(jī)頭。
背景技術(shù)：
隨著計(jì)算機(jī)的普及，外圍設(shè)備也得到了廣泛應(yīng)用。在外圍設(shè)備當(dāng)中，諸如數(shù)字激光打印機(jī)的新型打印機(jī)已經(jīng)得到了發(fā)展并繼續(xù)擴(kuò)大使用。但是，對(duì)于個(gè)人消費(fèi)而言，數(shù)字打印機(jī)價(jià)格昂貴，因此，個(gè)人通常采用價(jià)格較低的噴墨打印機(jī)。
噴墨打印機(jī)采用打印機(jī)頭通過(guò)噴嘴將墨滴噴到紙上來(lái)打印圖像。在噴墨打印機(jī)中，有各種方法將墨水噴到紙上。通常采用熱傳遞噴墨法，這種方法從加熱層產(chǎn)生熱量，從而在含有墨水的墨室中產(chǎn)生氣泡，并通過(guò)噴觜噴出墨水。
依次淀積襯底、加熱層、電極、鈍化層和抗空化(anti-cavitation)層，以形成常規(guī)噴墨打印機(jī)頭。更具體而言，在除了形成噴嘴的部分以外的襯底中央部分上形成電極，在加熱層和電極上形成鈍化層和抗空化層，以保護(hù)加熱層和電極。
鈍化層使加熱層電絕緣，并保護(hù)加熱層免受外部影響，鈍化層保護(hù)加熱層免受因墨水氣泡消失而產(chǎn)生的空化力的損害。墨水氣泡是由熱能導(dǎo)致的。
但是，由于鈍化層和抗空化層的存在，墨水不能接觸加熱層，從而損失了熱量，降低了熱效率。將參照?qǐng)D1對(duì)這一點(diǎn)予以說(shuō)明。
圖1是說(shuō)明根據(jù)驅(qū)動(dòng)條件，常規(guī)噴墨打印機(jī)中每一層中溫度分布的曲線圖。
參照?qǐng)D1，在加熱層TaN中溫度最高，并朝著襯底Si逐漸降低。由于在鈍化層SiNx和SiOx中溫度梯度最陡峭，所以在鈍化層中產(chǎn)生最大的熱損失，由于抗空化層Ta中溫度梯度平緩，所以在抗空化層Ta中很少產(chǎn)生熱損失。
例如，在通過(guò)10V驅(qū)動(dòng)打印機(jī)時(shí)，如果提供0.64μs的能量，使接觸墨水的界面內(nèi)溫度升高至300度，從而形成墨水氣泡，那么加熱層的溫度就會(huì)升高至760度，因此，在加熱效率降低的影響下?lián)p失了460度的溫度差。
為了防止由鈍化層導(dǎo)致的熱量損失，可以形成薄的鈍化層和抗空化層，或者將其去除。
如果去除鈍化層和抗空化層，可以防止熱量損失，以提高加熱效率。但是，在暴露至墨水中時(shí)，電極通常采用的鋁(Al)在化學(xué)上是非常不穩(wěn)定的，因而易受到破壞。因此，縮短了電極的壽命。
此外，如果采用相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性的金(Au)或鉑(Pt)解決Al的不利影響，那么應(yīng)當(dāng)將Au和Pt用于與其他電極層連接的經(jīng)由結(jié)構(gòu)(viastructure)和邏輯部分。雖然Au或Pt相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性，但是采用Au或Pt不容易實(shí)現(xiàn)窄線寬，并且不能制造高度集成的小型打印頭。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種噴墨打印機(jī)頭，其形成了用來(lái)保護(hù)第一電極，使得加熱層直接接觸墨水的第二電極，所述第一電極能夠得到保護(hù)，避免受到墨水影響，本發(fā)明還提供了所述噴墨打印機(jī)頭的制造方法。
本發(fā)明的其他方面和效用一方面將在下文的說(shuō)明中得到闡述，另一方面，可以從說(shuō)明當(dāng)中顯而易見(jiàn)，或者通過(guò)對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐習(xí)知。
通過(guò)提供一種噴墨打印機(jī)頭實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明的上述和/或其他方面，所述噴墨打印機(jī)頭包括襯底；在襯底上形成的、用以生成熱能的加熱層；在除了所述加熱層的噴嘴形成部分以外的所述加熱層上形成的第一電極；以及從所述第一電極的頂部向所述加熱層的噴嘴形成部分延伸預(yù)定距離，從而與所述加熱層的中央部分接觸的第二電極。
所述噴墨打印機(jī)頭可以進(jìn)一步包括在未形成第二電極的第一電極部分上形成的鈍化層。
所述第二電極可以由相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性的材料構(gòu)成。
所述第一電極和第二電極可以由不同的金屬構(gòu)成。所述第一電極可以由鋁(Al)構(gòu)成，所述第二電極可以由金(Au)、鉭(Ta)和鉑(Pt)之一形成。
通過(guò)提供一種噴墨打印機(jī)頭，也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，所述噴墨打印機(jī)頭包括襯底；在所述襯底上形成的、用來(lái)加熱墨水的，并且具有墨水經(jīng)過(guò)的噴嘴形成部分的加熱層；在除了所述噴嘴形成部分以外的所述加熱層上形成的，用來(lái)將電信號(hào)傳輸至所述加熱層的第一導(dǎo)電金屬層；以及在所述第一導(dǎo)電金屬層和所述加熱層的部分噴嘴形成部分上形成的，用來(lái)防止墨水接觸所述第一導(dǎo)電金屬層的第二導(dǎo)電金屬層。
通過(guò)提供一種噴墨打印機(jī)頭，也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，所述噴墨打印機(jī)頭包括直接接觸墨水、并生成加熱所述墨水的熱量的加熱層；以及具有向所述加熱層傳輸電信號(hào)的第一電極層和防止所述第一電極層與墨水接觸的第二電極層的電極部分。
通過(guò)提供一種制造噴墨打印機(jī)頭的方法，也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，所述方法包括在襯底上形成用來(lái)生成熱能的加熱層；在除了所述加熱層的噴嘴形成部分以外的加熱層上形成第一電極；以及形成從所述第一電極的頂部向所述加熱層的噴嘴形成部分內(nèi)延伸預(yù)定距離，從而與所述加熱層的中央部分接觸的第二電極。
所述方法可以進(jìn)一步包括在形成第一電極之后，在所述第一電極上形成保護(hù)所述第一電極的鈍化層。
所述第二電極的形成可以包括形成從所述鈍化層的頂部和所述第一電極的頂部向所述噴嘴形成部分內(nèi)延伸預(yù)定距離的第二電極。
所述第二電極可以由相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性的材料構(gòu)成。
所述第一電極和第二電極可以由不同的金屬構(gòu)成。
所述第一電極可以由鋁(Al)構(gòu)成，所述第二電極可以由金(Au)、鉭(Ta)和鉑(Pt)之一構(gòu)成。
通過(guò)提供一種制造噴墨打印機(jī)頭的方法，也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述和/或其他方面，所述方法包括在襯底上淀積加熱層；在所述加熱層上形成第一導(dǎo)電金屬，從而向所述加熱層提供電信號(hào)；去除一部分第一導(dǎo)電金屬，以暴露墨水經(jīng)過(guò)的加熱層的噴嘴形成區(qū)域；以及在部分所述第一導(dǎo)電金屬和部分暴露的所述加熱層的噴嘴形成區(qū)域上淀積第二導(dǎo)電金屬，以防止墨水接觸所述第一導(dǎo)電金屬。


根據(jù)下文中參照附圖對(duì)實(shí)施例的說(shuō)明，本發(fā)明的這些和/或其他方面將變得清晰，并且更為易于理解，其中
圖1是說(shuō)明常規(guī)噴墨打印機(jī)頭的每一層中的溫度分布的曲線圖；圖2是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的噴墨打印機(jī)頭的橫截面圖；圖3A和3B是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施例的噴墨打印機(jī)頭的橫截面圖；圖4(a)-4(f)是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的圖3A所示的噴墨打印機(jī)頭的制造方法的工藝圖；以及圖5(a)-5(g)是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的圖3B所示的噴墨打印機(jī)頭的制造方法的工藝圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的實(shí)施例，在附圖中示出了其實(shí)例，其中，始終采用類(lèi)似的附圖標(biāo)記表示類(lèi)似的元件。在下文中將對(duì)實(shí)施例予以闡述，從而達(dá)到參照附圖對(duì)本發(fā)明予以說(shuō)明的目的。
圖2是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的噴墨打印機(jī)頭的橫截面圖。
參照?qǐng)D2，噴墨打印機(jī)頭根據(jù)熱傳遞法向上噴墨，并且包含襯底10、加熱層20、第一電極30和第二電極40。襯底10可以由Si制成。
加熱層20是在襯底10上形成的薄膜加熱器，其將從第一電極30處接收的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為熱能，從而產(chǎn)生瞬間加熱墨水的熱能。加熱層20可以由金屬材料構(gòu)成，例如鋁鉭Ta-Al、氮化鉭TaN、硅鋁鉭Ta-Al-Si和多晶硅Poly-Si。
在除了形成圓形通孔噴嘴的加熱層20的噴嘴形成部分50以外的加熱層20上形成第一電極30。第一電極30可以接收來(lái)自CMOS(互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)邏輯(未示出)和功率晶體管(未示出)的電信號(hào)，并將電信號(hào)傳遞給加熱層20。第一電極30可以由鋁(Al)制成，其具有高電導(dǎo)率。
第二電極40從第一電極30的頂部向噴嘴形成部分50內(nèi)延伸預(yù)定距離，以接觸加熱層20的中央部分。由于第二電極40接觸加熱層20，第一電極30沒(méi)有暴露到位于噴嘴形成部分50的墨水當(dāng)中，因此能夠保護(hù)第一電極30免受墨水影響。
根據(jù)本發(fā)明，第一電極30和第二電極40可以由不同金屬構(gòu)成。此外，第二電極40可以由相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性的材料構(gòu)成，因?yàn)榈诙姌O40與位于噴嘴形成部分50處的墨水直接接觸。例如，如果第一電極30由Al構(gòu)成，那么第二電極40則可以由Au、Ta和Pt之一構(gòu)成。
在圖2的噴墨打印機(jī)頭的制造過(guò)程中，在襯底10上淀積Ta-Al、TaN、Ta-Al-Si和Poly-Si之一，以形成加熱層20。
在加熱層20上淀積Al，以形成第一電極30，將與噴嘴形成部分50相對(duì)應(yīng)的第一電極30的部分蝕刻掉。之后，在第一電極30上淀積Au、Ta和Pt，以形成第二電極40，并在噴嘴形成部分50處將第二電極40的中央部分蝕刻掉一定寬度，從而在噴嘴形成部分50的一部分暴露加熱層20，并在噴嘴形成部分50的另一部分采用第二電極40覆蓋加熱層20。
如上所述，依次淀積襯底10、加熱層20、第一電極30和第二電極40，以形成噴墨打印機(jī)頭，第二電極40覆蓋第一電極30，使得第一電極30不會(huì)暴露到位于噴嘴形成部分50處的墨水當(dāng)中。因此，延長(zhǎng)了第一電極30的壽命。
圖3A到3B是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施例的噴墨打印機(jī)頭的圖示。
圖3A和3B的噴墨打印機(jī)頭具有與圖2的噴墨打印機(jī)頭類(lèi)似的結(jié)構(gòu)，但是，在圖3A和3B的噴墨打印機(jī)頭中均進(jìn)一步包含了使加熱層20絕緣的鈍化層60。
與圖2的噴墨打印機(jī)頭類(lèi)似，圖3A和3B的噴墨打印機(jī)頭包括在襯底10上形成的用以生成熱量的加熱層20，以及在處噴嘴形成部分50之外的加熱層20上形成的第一電極30。在第一電極30上形成第二電極40時(shí)，進(jìn)一步包括鈍化層60。在下文中僅說(shuō)明了與圖2不同的構(gòu)造，出于簡(jiǎn)要的原因，將省略對(duì)相同構(gòu)造的說(shuō)明。
鈍化層60接觸第一電極30和第二電極40，從而將加熱層20電絕緣，并保護(hù)加熱層20免受外部的影響。鈍化層60可以由SiNx或SiOx形成，其具有良好的絕緣能力和傳熱效率。
參照?qǐng)D3A，在襯底10上形成加熱層20，在加熱層20上形成第一電極30，在第一電極30上形成鈍化層60。之后在鈍化層60和第一電極30之上形成第二電極40，其延伸至噴嘴形成部分50中一定距離。
圖3B是說(shuō)明圖3A的噴墨頭的變型實(shí)例的圖示。
參照?qǐng)D3B，在襯底10上形成加熱層20，在加熱層20上形成第一電極30，第二電極40從第一電極30的頂部向噴嘴形成部分50中延伸一定距離。之后，在第一電極30和第二電極40之上形成鈍化層60。
圖3A和3B示出了噴墨打印機(jī)頭的示范性結(jié)構(gòu)，其中，分別在形成第二電極40之前或者形成第二電極40之后形成鈍化層60。因此，鈍化層60的結(jié)構(gòu)不受限制，可以根據(jù)形成鈍化層60的時(shí)間發(fā)生改變。
圖4(a)-4(f)是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的，圖3A的噴墨打印機(jī)頭的制造方法。參照?qǐng)D3A和圖4(a)-4(f)，將對(duì)所述制造方法予以說(shuō)明，其中，依次淀積襯底10、加熱層20、第一電極30、鈍化層60和第二電極40，以形成噴墨打印機(jī)頭。
如圖4(a)所示，在襯底10上淀積預(yù)定厚度的加熱層20，以生成熱能，在加熱層20上淀積具有預(yù)定厚度的第一電極30，從而向加熱層20提供電信號(hào)。
之后，從第一電極30蝕刻掉與噴嘴形成部分50相對(duì)應(yīng)的部分第一電極30，以形成如圖4(b)所示的第一電極30的圖案。
之后，在加熱層20和第一電極30上淀積鈍化層60，如圖4(c)所示。
從噴嘴形成部分50上蝕刻掉部分鈍化層60，以暴露第一電極30的預(yù)定部分，如圖4(d)所示。通過(guò)這一過(guò)程，鈍化層60從第一電極30的頂部的邊緣向內(nèi)延伸了預(yù)定距離。
之后，如圖4(e)所示，在鈍化層60、第一電極30和加熱層20的噴嘴形成部分50上淀積第二電極40。第二電極40可以由與第一電極30不同的材料形成。
如圖4(f)所示，將第二電極40從鈍化層60的頂部的邊緣向內(nèi)蝕刻預(yù)定距離。如圖4(f)所示，第二電極40形成圖案，從而覆蓋位于噴嘴形成部分50上的第一電極30。
圖5(a)-5(g)是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的，圖3B所示的噴墨打印機(jī)頭的制造方法的圖示。參照?qǐng)D3B和圖5(a)-5(g)，在下文中將對(duì)所述制造方法予以說(shuō)明，其中，依次淀積襯底10、加熱層20、第一電極30、第二電極40和鈍化層60，以形成噴墨打印機(jī)頭。圖5(a)-5(g)中的制造方法的一些操作與圖4(a)-4(f)中的制造方法的操作類(lèi)似。
如圖5(a)所示，在襯底10上淀積預(yù)定厚度的加熱層20，并在加熱層20上淀積具有預(yù)定厚度的第一電極30。
如圖5(b)所示，蝕刻掉與噴嘴形成部分50相對(duì)應(yīng)的第一電極30的中央部分，以形成第一電極30的圖案。
之后，如圖5(c)所示，在噴嘴形成部分50和第一電極30的預(yù)定部分上形成光致抗蝕劑膜70。
之后，如圖5(d)所示，在光致抗蝕劑膜70、第一電極30和加熱層20的噴嘴形成部分50上形成第二電極40。之后，如圖5(e)所示，去除光致抗蝕劑膜70，以形成第二電極40的圖案。
之后，如圖5(f)所示，在第一電極30、第二電極40和加熱層20的噴嘴形成部分50上形成鈍化層60。將除了與第一電極30和第二電極40都接觸的部分以外的鈍化層60蝕刻掉。通過(guò)這一過(guò)程，形成了如圖5(g)所示的噴墨打印機(jī)頭。
如上所述，在包含襯底10、加熱層20、第一電極30、第二電極40和鈍化層60的噴墨打印機(jī)頭的實(shí)施例中，第二電極40防止第一電極30在噴觜形成部分50處與墨水直接接觸，因而能夠延長(zhǎng)第一電極30的壽命。盡管由于鈍化層60的影響可能發(fā)生少量的熱量損失，但是，鈍化層60能夠保護(hù)加熱層20免受外部影響。此外，由于加熱層20直接接觸噴嘴形成部分50處的墨水，因此提高了噴墨打印機(jī)頭的熱效率。
如圖4(a)-4(f)和圖5(a)-5(g)所示，按照第二電極40和鈍化層60的順序形成的噴墨打印機(jī)頭與按照鈍化層60和第二電極40的順序形成的噴墨打印機(jī)頭具有相同的效果。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的噴墨打印機(jī)頭及其制造方法中，第二電極覆蓋第一電極，并且由具有化學(xué)穩(wěn)定性的材料制成，從而防止第一電極與墨水直接接觸。因此，能夠避免第一電極受到損害，并延長(zhǎng)了第一電極的壽命。而且，噴墨打印機(jī)頭具有高效率和耐用性。
盡管已經(jīng)通過(guò)圖示和文字對(duì)本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不背離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例做出改變，本發(fā)明的范圍是由權(quán)利要求及其等同要件界定的。
權(quán)利要求
1.一種噴墨打印機(jī)頭，其包括襯底；在所述襯底上形成的，用以生成熱能的加熱層；在除了所述加熱層的噴嘴形成部分以外的所述加熱層上形成的第一電極；以及從所述第一電極的頂部向所述加熱層的所述噴嘴形成部分延伸預(yù)定距離、從而與所述加熱層的中央部分接觸的第二電極。
2.如權(quán)利要求1所述的噴墨打印機(jī)頭，其進(jìn)一步包括在未形成所述第二電極的所述第一電極的部分上形成的鈍化層。
3.如權(quán)利要求2所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，在所述未形成第二電極的第一電極的部分和所述第二電極之間形成所述鈍化層。
4.如權(quán)利要求2所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，在所述未形成第二電極的第一電極的部分和鄰接所述未形成第二電極的第一電極的部分的第二電極的部分上形成所述鈍化層。
5.如權(quán)利要求1所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，所述第二電極由相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性的材料構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求1所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，所述第一電極和所述第二電極由不同的金屬構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求6所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，所述第一電極由鋁構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求6所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，所述第二電極由金、鉭和鉑之一形成。
9.一種噴墨打印機(jī)頭，其包括襯底；在所述襯底上形成的、用來(lái)加熱墨水的、并且具有所述墨水經(jīng)過(guò)的噴嘴形成部分的加熱層；在除了所述噴嘴形成部分以外的所述加熱層上形成的、用來(lái)將電信號(hào)傳輸至所述加熱層的第一導(dǎo)電金屬層；以及在所述第一導(dǎo)電金屬層和所述加熱層的部分所述噴嘴形成部分上形成的、用來(lái)防止墨水接觸所述第一導(dǎo)電金屬層的第二導(dǎo)電金屬層。
10.如權(quán)利要求9所述的噴墨打印機(jī)頭，其進(jìn)一步包括與所述第一和第二導(dǎo)電金屬層接觸、從而對(duì)所述加熱層絕緣的鈍化層。
11.一種噴墨打印機(jī)頭，其包括直接接觸墨水、并生成加熱所述墨水的熱量的加熱層；以及具有向所述加熱層傳輸電信號(hào)的第一電極層和保護(hù)所述第一電極層免于墨水影響的第二電極層的電極部分。
12.如權(quán)利要求11所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，所述第一和第二電極層由不同的導(dǎo)電金屬構(gòu)成。
13如權(quán)利要求11所述的噴墨打印機(jī)頭，其中，所述第一電極層相對(duì)于墨水不具有化學(xué)穩(wěn)定性，所述第二電極層相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性。
14.一種噴墨打印機(jī)頭的制造方法，其包括在襯底上形成用來(lái)生成熱能的加熱層；在除了所述加熱層的噴嘴形成部分以外的所述加熱層上形成第一電極；以及形成從所述第一電極的頂部向所述加熱層的所述噴嘴形成部分內(nèi)延伸預(yù)定距離、從而與所述加熱層的中央部分接觸的第二電極。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其進(jìn)一步包括在形成所述第一電極之后，在所述第一電極上形成保護(hù)所述第一電極的鈍化層。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述第二電極的形成包括形成從所述鈍化層的頂部和所述第一電極的頂部向所述噴嘴形成部分內(nèi)延伸預(yù)定距離的所述第二電極。
17.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述第二電極由相對(duì)于墨水具有化學(xué)穩(wěn)定性的材料構(gòu)成。
18.如權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述第一電極和所述第二電極由不同的金屬構(gòu)成。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述第一電極由鋁構(gòu)成。
20.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述第二電極由金、鉭和鉑之一構(gòu)成。
21.如權(quán)利要求14所述的方法，其進(jìn)一步包括在形成所述第二電極之后，在所述第一電極和所述第二電極的部分上形成鈍化層。
22.如權(quán)利要求21所述的方法，其中，所述第二電極的形成包括在所述第一電極和所述加熱層的所述噴嘴形成部分的預(yù)定部分上形成光致抗蝕劑膜；在所述光致抗蝕劑膜、所述第一電極和所述加熱層的所述噴嘴形成部分上形成所述第二電極；以及去除所述光致抗蝕劑膜，以暴露所述第一電極的預(yù)定部分和所述加熱層的所述噴嘴形成部分。
23.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述鈍化層的形成包括在所述第一電極的暴露的預(yù)定部分和鄰接所述第一電極的暴露的預(yù)定部分的第二電極的部分上形成鈍化層。
24.一種噴墨打印機(jī)頭的制造方法，其包括在襯底上淀積加熱層；在所述加熱層上形成第一導(dǎo)電金屬，從而向所述加熱層提供電信號(hào)；去除一部分所述第一導(dǎo)電金屬，以暴露墨水經(jīng)過(guò)的所述加熱層的噴嘴形成區(qū)域；以及在部分所述第一導(dǎo)電金屬和部分暴露的所述加熱層的所述噴嘴形成區(qū)域上淀積第二導(dǎo)電金屬，以防止所述墨水接觸所述第一導(dǎo)電金屬。
全文摘要
一種噴墨打印機(jī)頭及其制造方法。所述噴墨打印機(jī)頭包括襯底；在襯底上形成的，用以生成熱能的加熱層；在除了所述加熱層的噴嘴形成部分以外的所述加熱層上形成的第一電極；以及從所述第一電極的頂部向所述加熱層的噴嘴形成部分延伸預(yù)定距離，從而與所述加熱層的中央部分接觸的第二電極。因此，所述噴墨打印機(jī)頭具有高效率和耐用性。
文檔編號(hào)B41J2/05GK1883945SQ200610094579
公開(kāi)日2006年12月27日 申請(qǐng)日期2006年6月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月21日
發(fā)明者樸用植, 權(quán)明鐘, 樸性俊, 李鎮(zhèn)郁 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社