專利名稱：標記形成方法及液滴噴出裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及標記形成方法及液滴噴出裝置。
背景技術：
通常，液晶顯示裝置和電致發(fā)光顯示裝置等的顯示裝置包括用于顯示圖像的基板。在這種基板上形成有表示包含其制造商和產(chǎn)品編號的制造信息的識別碼(例如，二維碼)，識別碼目的在于質量管理和制造管理。這樣的識別碼例如包含有有色的薄膜和凹部構成的多個點。配置這些點以便形成規(guī)定的圖形，此點的配置圖形決定識別碼。
作為識別碼的形成方法，日本特開平11-77340號公報提出了一種對金屬箔照射激光來濺射成膜編碼圖形的激光濺射方法。日本特開2003-127537號公報提出了一種對基板等噴射含有研磨材料的水來刻印點的噴水(water jet)方法。
但是，在所述激光濺射方法中，為了獲得所期望尺寸的點，就必須將金屬箔和基板的間隙從幾μm調整到幾十μm。即，對于基板和金屬箔的表面要求非常高的平坦性，而且，必須按微米級的精度來調整它們的間隙。由此，所述方法的適用范圍受限于基板的限定范圍，所以相同的方法通用性差。在噴水方法中，當刻印基板時，水、塵埃、研磨劑等飛濺，就會污染該基板。
為了消除這種生產(chǎn)上的問題，近年來，作為識別碼的形成方法，正在關注噴墨方法。在噴墨方法中，通過從噴射頭的噴嘴向基板噴出含有金屬微粒的液滴，并經(jīng)過干燥，從而在基板上形成點。由此，可適用相同方法的基板材料的對象范圍比較寬，再有能夠形成不污染基板的識別碼。
但是，在所述噴墨方法中，根據(jù)基板的表面狀態(tài)和液滴的表面張力等，就會導致以下問題。即，著落基板的液滴沿著基板表面直接潤濕擴散。由此，液滴干燥需要時間時(例如，100毫秒以上)，液滴會在基板表面過多地濕潤擴散，從對應的數(shù)據(jù)單元內溢出。其結果，就不能讀取編碼圖形，就會損失基板信息。
通過對基板上的液滴照射激光，通過瞬時干燥著落的液滴，就能夠回避這樣的問題。但是，由于液滴噴射頭，使其噴嘴和基板表面之間的間隙保持在幾mm左右，就能夠提高噴射的液滴的著落位置的位置精度。當對著落之后的液滴照射激光時，就必須向噴射頭和基板之間的狹小縫隙發(fā)射激光。即，必須使激光的光軸相對于基板表面的法線方向大的傾斜。其結果，相對于基板表面或液滴的激光的光學剖面或光斑就會沿著基板的面方向過多地擴張。在此，就會擔心激光的照射強度的降低和照射位置的位置精度的下降。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，提供一種維持噴出液滴的著落位置的精度和激光照射位置的精度，并提高由液滴構成的標記形狀的控制性的標記形成方法及液滴噴出裝置。
為了實現(xiàn)所述目的，在本發(fā)明的一個方式中，提供一種標記形成方法，該標記形成方法包括從噴嘴向對象物表面的目標噴出位置沿噴出方向噴出液滴；從照射口向目標噴出位置沿照射方向照射激光，即通過對著落表面的液滴照射激光，從而在表面上形成標記。此方法的特征在于，以目標噴出位置為轉動中心噴嘴和照射口一起轉動，由此，在維持噴出方向和照射方向的形成角度的狀態(tài)下，一起改變相對對象物表面的法線和噴出方向的形成角度及法線和照射方向的形成角度。
在本發(fā)明的其它方式中，提供一種液滴噴出裝置，該液滴噴出裝置包括一種具有噴嘴的液滴噴射頭和一種具有照射口的激光照射裝置，該液滴噴射頭從噴嘴向對象物表面的目標噴出位置沿噴出方向噴出液滴，該激光照射裝置從照射口向目標噴出位置沿照射方向照射激光。此液滴噴出裝置的特征在于，包括轉動裝置，該轉動裝置以目標噴出位置為轉動中心使噴嘴和照射口一起轉動，由此，在維持噴出方向和照射方向的形成角度的狀態(tài)下，一起改變相對對象物表面的法線和噴出方向的形成角度及法線和照射方向的形成角度。
圖1是表示液晶顯示裝置的俯視圖。
圖2是表示液滴噴出裝置的示意性立體圖。
圖3是表示本發(fā)明的第一實施方式的噴射頭的示意性立體圖。
圖4是圖3的噴射頭的附圖。
圖4A是由圖4中的圓4A所包圍的部分的放大圖。
圖5是圖3的噴射頭的附圖。
圖5A是由圖5中的圓5A所包圍的部分的放大圖。
圖6是表示液滴噴出裝置的電氣結構的電氣方框電路圖。
具體實施例方式
在下文中，根據(jù)圖1～圖6，說明具體化本發(fā)明的一個實施方式。首先，說明具有利用本發(fā)明的標記形成方法形成的識別碼的液晶顯示裝置1。
在圖1中，在作為對象物的液晶顯示裝置1的基板2的一個表面即表面2a上，形成有顯示部3。顯示部3為四角形狀，在其大致中央位置封入液晶分子。表面2a是噴出液滴的表面。在顯示部3的外側，形成有掃描線驅動電路4及數(shù)據(jù)線驅動電路5。液晶顯示裝置1根據(jù)這些掃描線驅動電路4生成的掃描信號和數(shù)據(jù)線驅動電路5生成的數(shù)據(jù)信號來控制顯示部3內的液晶分子的取向狀態(tài)。液晶顯示裝置1根據(jù)液晶分子的取向狀態(tài)來調節(jié)來自照明裝置(未圖示)的平面光，并在顯示部3的區(qū)域中顯示出所期望的圖像。
在圖1中，在表面2a的左側下角，劃分形成有由一邊約為1mm的正方形構成的編碼形成區(qū)域S(以2點虛線表示的圓形內)。此編碼形成區(qū)域S假設被分割為16行×16列的數(shù)據(jù)單元C。在所選擇出的數(shù)據(jù)單元C(some selected data cells)中形成點D(標記)。配置這些多個點D，以便形成規(guī)定的圖形，這種點D的配置圖形構成了液晶顯示裝置1的別碼10。
在本實施方式中，目標噴出位置P是點D形成的數(shù)據(jù)單元C的中心位置。單元寬度W就是各數(shù)據(jù)單元C的一邊的長度。
各個點D為其外徑是數(shù)據(jù)單元C的一邊的長度即單元寬度W的半球。通過在數(shù)據(jù)單元C上噴出使作為點形成材料的金屬微粒(例如，鎳微粒或錳微粒)分散在分散劑中的液狀體F(參照圖4)的液滴Fb，干燥及烘焙在數(shù)據(jù)單元C上著落的液滴Fb來形成這些點D。通過照射激光B(參照圖5)來進行著落的液滴Fb的干燥及烘焙。在本實施方式中，雖然通過干燥及烘焙液滴Fb來形成點D，但不限于此。例如，也可以僅僅通過激光B的干燥來形成。
然后，按照各數(shù)據(jù)單元C內的點D的圖形，識別碼10再現(xiàn)含有液晶顯示裝置1的制造編號和批次編號的制造信息。
按照圖1～圖5，X方向為基板2的長方向。Y方向為基板2的橫方向，是與X方向正交的方向。Z方向為垂直X方向及Y方向的方向。特別地，圖中箭頭所示的方向作為+X方向、+Y方向、+Z方向，與此相反的方向就分別為-X方向、-Y方向、-Z方向。
接著，說明作為用于形成所述識別碼10的裝置的液滴噴出裝置20。在圖2中，液滴噴出裝置20具有基臺21?；_21被形成為長方體形狀，其長方向沿著X方向。在基臺21的上面，形成有按X方向延伸的一對引導溝槽22。在基臺21的上側，安裝有基板臺23。基板臺23與在基臺21上設置的X軸電動機MX(參照圖6)進行驅動連接，沿著引導溝槽22以規(guī)定速度(搬運速度Vx)沿X方向平移(translate)。在基板臺23的上面，設置有吸引式的緊固機構(未圖示)?；迮_23定位固定以表面2a(編碼形成區(qū)域S)為上側承載的基板2。
沿著基臺21的Y方向，架設引導構件24。當從X方向進行觀看時，引導構件24為門一樣的形狀。在引導構件24之上，配設有容納箱25。容納箱25容納液狀體F，在噴射頭30中導出相同的液狀體F。在引導構件24的下側，形成在Y方向上沿引導構件24的整個寬度延伸的一對導軌26。在一對導軌26上安裝滑架27?；?7與在引導構件24上設置的Y軸電動機MY(參照圖6)進行驅動連接，沿此導軌26在Y方向上平移。
在圖4中，在滑架27的下側，設置有導向構件28。導向構件28為長方體形狀，在Y方向延伸。導向構件28具有導向面28a，通過滑架27的Y方向的大致整個寬度來形成導向面28a。導向面28a的曲率中心Cr位于基板2的表面2a之上，其截面為圓弧狀的凹面。
在導向構件28的導向面28a上，設置有沿Y方向延伸的轉動臺29。轉動臺29構成轉動裝置。轉動臺29在其導向構件28側，具有相對于所述導向面28a的凸面即滑動面29a。此外，轉動臺29在基板臺23側，具有沿著基板2的表面2a的平面即臺面29b。轉動臺29通過在導向構件28內設置的蝸輪等(未圖示)與轉動電動機MR(參照圖6)進行驅動連接，沿著所述導向面28a使此滑動面29a滑動或轉動。即，轉動臺29以所述曲率中心Cr為轉動中心使臺面29b轉動，以便滑動面29a和所述導向面28a成為同一平面。
在本實施方式中，如圖4所示，基準位置是指與所述滑動面29a和所述導向面28a一致的轉動臺29的位置。此外，如圖5所示，描繪位置是指所述滑動面29a僅以右旋規(guī)定角度(轉動角θr)轉動的轉動臺29的位置。
如圖3所示，在轉動臺29的臺面29b上，設置與沿基板2側即-Z方向延伸的腳部連接的板狀支承構件31。在支承構件31的基板2的一側即-Z方向上，支承有噴射頭32。
在圖3中，在噴射頭32之上，具備噴嘴板33。噴嘴板33在基板2一側的側面具有沿著所述臺面29b的噴嘴形成面33a。噴嘴形成面33a沿著Y方向劃分形成以等間隔(所述單元寬度W的間距寬度)排列的16個圓形孔即噴嘴N。
如圖4所示，各個噴嘴N沿著各個噴嘴形成面33a的法線方向延伸，且沿著所述滑動面29a的徑向方向配置。在圖4中，噴出方向A1作為滑動面29a的徑向方向稱為噴嘴N的取向方向。此外，著落位置PF作為所述曲率中心Cr，位于液滴Fb著落基板2的表面2a上的位置。
在圖4A中，在各噴嘴N的上側，形成有與各個容納箱25連通的凹槽34。各個凹槽34將從各個容納箱25中導出的液狀體F供給到對應的噴嘴N內。在各個凹槽34的上側，粘貼有振動板35。振動板35可以在上下各個方向上振動，擴大或縮小凹槽34內的容積。在振動板35的上側，設置有分別與噴嘴N對應的16個壓電元件PZ。各個壓電元件PZ接收用于控制各個壓電元件PZ的驅動的信號(參照圖6壓電元件驅動電壓COM1)而在上下方向上收縮并伸張，并使對應的振動板35在上下方向上振動。當振動板35在上下方向上進行振動時，對應的噴嘴N就沿著其噴出方向A1噴出液滴Fb。
轉動電動機MR接收使位于基準位置處的轉動臺29以描畫位置進行轉動的信號(參照圖6轉動電動機SMR)而進行正向轉動。于是，轉動臺29的臺面29b(噴嘴形成面33a)以所述著落位置PF作為轉動中心僅以右旋轉動角θr進行轉動。由此，如圖5所示，存在作為激光照射裝置的激光頭37的噴射頭32(噴嘴形成面33a)和基板2之間的距離會在噴射頭32的+方向側擴大即存在激光頭37側擴大。
在數(shù)據(jù)單元C的目標噴出位置P位于著落位置PF的定時下，各壓電元件PZ接收壓電元件驅動電壓COM1。如圖5所示，接收壓電元件驅動電壓COM1的壓電元件PZ就從噴嘴N中沿著噴出方向A1(滑動面29a的徑向內側)噴出液滴Fb。由于噴出的液滴Fb沿著噴出方向A1飛行，所以無論轉動角θr的大小如何，都會在著落位置PF處著落。在著落位置PF處著落的液滴Fb就會沿著表面2a濕潤擴散，其外徑為所述單元寬度W。
因此，當存在激光頭37的一側擴大噴嘴形成面33a和基板2之間的距離時，噴射頭32就能夠維持液滴Fb的著落位置和液滴Fb的飛行距離(著落位置的位置精度)。
如圖3所示，在轉動臺29的臺面29a，在Y方向上延伸的大致三角形柱狀的支承構件36相對于所述噴射頭32位于+X方向的位置。支承構件36就相對于Z方向具有傾斜的支承面，在此支承面上，支承有在Y方向上延伸的長方體形狀的激光頭37。
在激光頭37的內部，配設有分別對應于所述噴嘴N的半導體激光器LD(參照圖6)。各半導體激光器LD接收用于驅動控制各個半導體激光器LD的信號(激光驅動電壓COM2參照圖6)時，射出對應于液滴Fb的吸收波長的波長區(qū)域的激光，激光頭37位于此基板2側的側面，沿Y方向劃分形成以等間隔(所述單元寬度W的形成間距)排列的16個照射口38。照射口38對應于各噴嘴38。
如圖4所示，形成朝向分別對應的所述著落位置PF、沿滑動面29a的徑向方向延伸的光軸，各噴射口38沿同一光軸發(fā)射激光B(參照圖5)。
如圖4A所示，照射方向A2是光軸延伸的方向，光軸通過各照射口38。照射角θb是指照射方向A2和表面2a的法線方向所成角度。
位于基準位置的轉動臺29在描繪位置轉動時，如圖5所示，各照射口38以著落位置PF為轉動中心右旋轉動。如圖5A所示，照射方向A2接近基板2的法線方向，照射角θb僅變小轉動角θr。
接著，在數(shù)據(jù)單元C的目標噴出位置P位于著落位置PF的定時下，激光器LD接收激光驅動電壓COM2。接收激光驅動電壓COM2的半導體激光器LD從對應的照射口38沿照射方向A2照射激光B。
此時，噴嘴形成面33a和基板2之間的距離由于噴射頭32的轉動，而在此激光頭37的附近擴大。為此，沿照射方向A2射出的激光B就不會被噴射頭32遮蔽，并照射著落位置PF(目標噴出位置P)。即，沿照射方向A2照射的激光B的照射角θb變小，且將此照射位置維持在著落位置，對外徑由單元寬度W形成的液滴Fb的區(qū)域進行照射。
因此，激光頭37改變激光B的“照射角θb”(能量密度)時，能夠維持激光B的照射位置和此位置精度。
由此，激光頭37能夠對液滴Fb的區(qū)域照射僅變小轉動角θr的照射角θb(能量密度高)的激光B。激光頭37能夠避免液滴Fb的干燥不足，能夠在對應的數(shù)據(jù)單元C內形成具有單元寬度W的外徑的點D。
接著，根據(jù)圖6說明所述結構的液滴噴出裝置20的電氣結構。
在圖6中，控制裝置41具備CPU、RAM、ROM等，在ROM等中保存有各種數(shù)據(jù)和各種控制程序。控制裝置41根據(jù)這些各種數(shù)據(jù)和各種控制程序，使基板臺23移動，驅動噴射頭32、激光頭37及轉動臺29。
在控制裝置41上連接有具有啟動開關、停止開關等操作開關的輸入裝置42。將識別碼10的圖像作為已定形式的描繪數(shù)據(jù)Ia從輸入裝置42輸入到控制裝置41中，同時還將轉動臺29的轉動角度θr作為已定形式的轉動角度數(shù)據(jù)Iθ從輸入裝置42輸入到控制裝置41中。然后，控制裝置41接收來自輸入裝置42的描繪數(shù)據(jù)Ia，生成位映像數(shù)據(jù)BMD、壓電元件驅動電壓COM1及激光驅動電壓COM2，接收來自輸入裝置42的轉動角度數(shù)據(jù)Iθ生成轉動電動機驅動信號SMR。
位映像數(shù)據(jù)BMD按照各位的值(0或1)規(guī)定壓電元件PZ的導通或斷開。位映像數(shù)據(jù)BMD是規(guī)定是否對二維描繪平面(編碼形成區(qū)域S)上的各數(shù)據(jù)單元C中噴出液滴Fb的數(shù)據(jù)。
控制裝置41連接到X軸電動機驅動電路43，向X軸電動機驅動電路43輸出對應的驅動控制信號。X軸電動機驅動數(shù)據(jù)43響應來自控制裝置41的驅動控制信號，使X軸電動機MX正轉或反轉?？刂蒲b置41連接到Y軸電動機驅動電路44，向Y軸電動機驅動電路44輸出對應的驅動控制信號。Y軸電動機驅動電路44響應來自控制裝置41的驅動控制信號，使Y軸電動機MY正轉或反轉。控制裝置41連接到能夠檢測基板2的端緣的基板檢測裝置45，根據(jù)來自基板檢測裝置45的檢測信號計算出通過著落位置PF的基板2的位置。
X軸電動機轉動檢測器46連接到控制41，向控制裝置41輸出檢測信號?？刂蒲b置41根據(jù)來自X軸電動機轉動檢測器46的檢測信號，運算基板臺23(基板2)的移動方向及移動量(移動位置)。然后，控制裝置41在各數(shù)據(jù)單元C的中心位置位于著落位置PF的定時下，向噴射頭驅動電路48輸出噴出定時信號LP1。
Y軸電動機轉動檢測器47連接到控制41，向控制裝置41輸出檢測信號?？刂蒲b置41根據(jù)來自Y軸電動機轉動檢測器47的檢測信號，運算噴射頭32(激光頭37)的Y方向的移動方向及移動量(移動位置)。然后，控制裝置41將對應各噴嘴的著落位置PF配置在各個目標噴出位置P的搬送路徑上。
控制裝置41連接到噴射頭驅動電路48，向噴射頭驅動電路48輸出噴出定時信號LP1。此外，控制裝置41使壓電元件驅動電壓COM1同步于規(guī)定的時鐘信號，并向噴射頭驅動電路48輸出。控制裝置41根據(jù)位映像數(shù)據(jù)BMD生成同步于規(guī)定的基準時鐘信號的噴出控制信號SI，將此噴出控制信號SI串行輸送到噴射頭驅動電路48。噴射頭驅動電路48使來自控制裝置41的噴出控制信號SI對應于各個壓電元件PZ(多數(shù))并順序進行串行/并行轉換。
噴射頭驅動電路48接收來自控制裝置41的噴出定時信號LP1時，對根據(jù)噴出控制信號SI選擇的壓電元件PZ分別供給壓電元件驅動電壓COM1。此外，噴射頭驅動電路48向激光驅動電路49輸出串行/并行轉換的噴出控制信號SI。
控制裝置41連接到激光驅動電路49，向激光驅動電路49輸出同步于規(guī)定的時鐘信號的激光驅動電壓COM2。激光驅動電路49接收來自噴射頭驅動電路48的噴出控制信號SI時，僅為待機規(guī)定時間(照射待機時間)，向對應于噴出控制信號SI的各半導體激光器LD分別供給激光驅動電壓COM2。即，每當液滴Fb在著落位置著落時，控制裝置41都通過激光驅動電路49向此液滴Fb的區(qū)域照射激光B。
控制裝置41連接到轉動電動機驅動電路50，對轉動電動機驅動電路50輸出轉動電動機驅動信號SMR。轉動電動機驅動電路50響應來自控制裝置41的轉動電動機驅動信號SMR使用于使轉動臺29轉動的轉動電動機MR正轉或反轉。轉動電動機驅動電路50接收來自控制裝置41的轉動電動機驅動信號SMR時，正轉或逆轉轉動電動機MR，使轉動臺29僅轉動轉動角度θr。
接著，說明使用液滴噴出裝置20形成識別碼10的方法。
首先，如圖2所示，在基板臺23上固定基板2使其表面2a為上側。此時，相對于引導構件24(滑架27)在-X方向一側配置基板2，在基準位置配置轉動臺29。
接著，操作輸入裝置42將描繪數(shù)據(jù)Ia和轉動角度數(shù)據(jù)Iθ輸入到控制裝置41。于是，控制裝置41根據(jù)描繪數(shù)據(jù)Ia生成并保存位映像數(shù)據(jù)BMD，生成壓電元件驅動電壓COM1及激光驅動電壓COM2。生成壓電元件驅動電壓COM1及激光驅動電壓COM2時，控制裝置41控制Y軸電動機MY的驅動。在+X方向上搬送基板2時，在Y方向上設置滑架27(各噴嘴N)以便各目標噴出位置P通過對應的著落位置PF。
此外，控制裝置41根據(jù)轉動角度數(shù)據(jù)Iθ生成轉動電動機驅動信號SMR，將此轉動電動機驅動信號SMR向轉動電動機驅動電路50輸出。輸出轉動電動機驅動信號SMR時，控制裝置41通過轉動電動機驅動電路50，使轉動電動機MR正轉，使轉動臺29從基準位置轉動到描繪位置。由此，控制裝置41維持在使從各噴嘴N噴出的液滴Fb的著落位置和從各照射口38照射的激光B的照射位置共通的著落位置PT，僅使激光B的照射角θb僅減少轉動角θr。
使轉動臺29在照射位置轉動時，控制裝置41控制X軸電動機MX的驅動，開始向基板2的+X方向進行搬送?？刂蒲b置41根據(jù)來自基板檢測裝置45及X軸電動機轉動檢測器46的檢測信號，判斷是否將位于最+X方向上的數(shù)據(jù)單元C的目標噴出位置P搬送到噴嘴N的正下方。
在此期間，控制裝置41對噴射頭驅動電路48輸出噴出控制信號SI，同時對噴射頭驅動電路48及激光驅動電路49分別輸出壓電元件驅動電壓COM1及激光驅動電壓COM2。
然后，將位于最+X方向一側的數(shù)據(jù)單元C的目標噴出位置P搬送到著落位置PF時，控制裝置41向噴射頭驅動電路48輸出噴出定時信號LP1。
對噴射頭驅動電路48輸出噴出定時信號LP1時，控制裝置41通過噴射頭驅動電路48，向根據(jù)噴出控制信號SI選擇出的壓電元件PZ分別供給壓電元件驅動電壓COM1，從選擇出的噴嘴N一齊噴出液滴Fb。噴出的液滴Fb著落各自對應的目標噴出位置P，向對應的數(shù)據(jù)單元C內濕潤擴散。當著落目標噴出位置P的液滴Fb從噴出動作的開始僅僅經(jīng)過照射待機時間時，其外徑為單元寬度W。
此外，向噴射頭驅動電路48輸出噴出定時信號LP1時，控制裝置41使激光驅動電路49僅待機照射待機時間后，對根據(jù)噴出控制信號SI選擇出的半導體激光器LD分別供給激光驅動電壓COM2。然后，控制裝置41使激光B從選擇出的半導體激光器LD一齊射出。
從半導體激光器LD射出的激光B使其照射角θb僅減小轉動角θr，使其相對于液滴Fb的能量密度增加。并且，避免了照射到液滴Fb的激光B的能量不足，即干燥不足，激光B在基板2的表面2a上形成外徑由單元寬度W構成的點D。由此，控制裝置41在位于最+X方向一側的數(shù)據(jù)單元C中形成與單元寬度W相匹配的點D。
此后，同樣地，控制裝置41在+X方向搬送基板2，每當各目標噴出位置P到達著落位置PF時，就從選擇出的噴嘴N中噴出液滴Fb，在著落的液滴Fb為單元寬度W的定時下，對液滴Fb的區(qū)域照射激光B。由此，在編碼形成區(qū)域S內，形成所有的點D。
接著，在下文中描述所述結構的本實施方式的優(yōu)點。
在滑架27上設置以著落位置PF為轉動中心的轉動臺29，在轉動臺29配設噴射頭32和激光頭37。使液滴Fb從噴射頭32的噴嘴N向著落位置PF沿噴射方向A1噴出。此外，噴出的液滴Fb使激光B從激光頭37的照射口38向著落位置PF，沿噴出方向A2照射。即，著落位置PF位于從各噴嘴N沿噴出方向A1噴出的液滴Fb的飛行軌跡和從對應的照射口38沿照射方向A2射出的激光B的光軸的交點。
因此，改變激光B的照射角θb時，就能夠將液滴Fb的著落位置維持在著落位置PF，能夠使激光B的照射位置維持在著落位置Fb。其結果，改變激光B的照射角θb時，就能夠維持噴出液滴Fb的著落位置和其位置精度、激光B的照射位置和其位置精度。因此，能夠擴大激光B的照射條件，能夠提高由液滴Fb構成的點D形狀的控制性。
轉動臺29右旋轉動，照射角θb僅減小轉動角θr。因此，激光B的光軸僅接近基板2的法線的部分，能夠使其對應于液滴Fb的能量密度增加，能夠避免液滴Fb的干燥不足。
在轉動臺29上搭載滑架27。因此，相對于表面2a上的任意位置，能夠僅以激光B的照射角θb進行改變。
在共通的轉動臺29上配設激光頭37和噴射頭32。因此，能夠維持激光B和噴射頭32的相對位置，當改變激光B的照射角θb時，能夠使噴射頭32從激光B的光路上離開。
再有，所述實施方式也可以進行如下變更。
也可以使照射角θb為0度。如果這樣，就能夠使對液滴Fb照射的激光B的能量密度為最大，能夠更確實地避免液滴Fb的干燥不足。
或者，轉動臺29也可以左旋轉動以增大照射角θb。在表面2a的面方向上擴大照射到液滴Fb的激光B的光剖面，就能夠降低其能量密度。如果這樣，就能避免激光照射引起的液滴Fb的突然沸騰，能夠平滑地干燥及烘焙液滴Fb。
即，轉動角θr也能夠按照液滴Fb的干燥條件為任何值。
替代在共通的轉動臺29上配設激光頭37和噴射頭32，也可以在各個不同的轉動臺上配設激光頭37和噴射頭32。此情況下，使激光頭37的轉動中心和噴射頭32的轉動中心成為相同的目標噴射位置P。
代替利用激光B干燥及烘焙液滴Fb，也可以通過照射激光B使液滴Fb在所希望的方向上流動?；蛘?，也可以對僅液滴Fb的外緣照射激光B，使液滴Fb鎖定。即，也可以通過照射激光B形成由液滴Fb構成的標記。
由液滴Fb形成的標記不限于半圓球的點D，例如也可以是橢圓形狀的點和線狀的標記。
除了將標記具體化成識別碼10的點D外，也可具體化成設置在液晶顯示裝置、有機電致發(fā)光顯示裝置或包括平面狀的電子發(fā)射元件的電場效應型裝置(FED和SED)的各種薄膜、金屬布線、濾色片等。也可以是由著落的液滴Fb形成的標記。電場效應型裝置對熒光物質照射從同一元素釋放出的電子，使同一熒光物質發(fā)光。
基板2也可以是硅基板、柔性基板或金屬基板，噴出液滴Fb的面也可以是這些基板的一個側面。即，噴出液滴Fb的面也可以是由著落的液滴Fb形成標記的對象物的一個側面。
權利要求
1.一種標記形成方法，具有從噴嘴向對象物表面的目標噴出位置沿噴出方向噴出液滴的步驟；從照射口向所述目標噴出位置沿照射方向照射激光，即通過對著落于所述表面的所述液滴照射激光，而在所述表面上形成標記的步驟，所述標記形成方法的特征在于，以所述目標噴出位置為轉動中心使所述噴嘴和所述照射口一起轉動，由此，在維持所述噴出方向和所述照射方向所成角度的狀態(tài)下，一起改變相對所述對象物表面的法線和所述噴出方向形成的角度、及所述法線和所述照射方向形成的角度。
2.根據(jù)權利要求1所述的標記形成方法，其特征在于，使所述噴嘴和所述照射口一起轉動，以使所述照射方向與所述法線大致平行。
3.一種液滴噴出裝置，具有具有噴嘴的液滴噴射頭，該液滴噴射頭從所述噴嘴向對象物表面的目標噴出位置沿噴出方向噴出液滴；具有照射口的激光照射裝置，該激光照射裝置從所述照射口向所述目標噴出位置沿照射方向照射所述激光，所述液滴噴出裝置的特征在于，具有轉動裝置，該轉動裝置以所述目標噴出位置為轉動中心使所述噴嘴和所述照射口一起轉動，由此，在維持所述噴出方向和所述照射方向所成角度的狀態(tài)下，一起改變相對所述對象物表面的法線和所述噴出方向形成的角度、及所述法線和所述照射方向形成的角度。
4.根據(jù)權利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述轉動裝置使所述噴嘴和所述照射口一起轉動，以使所述照射方向與所述法線大致平行。
5.根據(jù)權利要求3或4所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述轉動裝置具有能夠以所述目標噴出位置為轉動中心轉動的轉動臺，在該轉動臺上搭載有所述液滴噴射頭和所述激光照射裝置，所述液滴噴出裝置還具有相對于所述對象物的表面能夠移動的滑架，所述轉動臺被搭載在所述滑架上。
全文摘要
一種標記形成方法，從噴嘴向基板表面的目標噴出位置沿噴出方向噴出液滴。從激光頭的照射口向所述目標噴出位置沿照射方向發(fā)射激光。以目標噴出位置為轉動中心同時使噴嘴和照射口轉動，由此，在維持所述噴出方向和所述照射方向的形成角度的狀態(tài)下，同時改變相對所述對象物表面的法線和所述噴出方向的形成角度及所述法線和所述照射方向的形成角度。由此，能夠改變激光的照射角度，同時維持激光的位置精度。
文檔編號B41M1/26GK1982062SQ2006100640
公開日2007年6月20日 申請日期2006年10月27日 優(yōu)先權日2005年10月28日
發(fā)明者巖田裕二 申請人:精工愛普生株式會社