專利名稱：用于調(diào)節(jié)帶槽襯底的方法和系統(tǒng)的制作方法
背景技術：
電子設備市場一直要求低成本高性能。為了滿足這些要求，必須更加有效地制造包括各種電子設備的元件并使其具有更小的容差。
一種類型的電子設備包括流體噴射設備。許多流體噴射設備利用了帶槽襯底，所述襯底可以利用各種合適的襯底去除技術來制造。許多襯底去除技術可能會無意地在帶槽襯底上產(chǎn)生碎屑和/或產(chǎn)生容易開裂的襯底材料區(qū)。
附圖簡述在所有附圖中使用相同的元件是指相似的特征和元件，只要可行。利用字母后綴可以表示不同的實施例。


圖1示出了根據(jù)一個示例性實施例示例性打印機的示意性表示的正視圖。
圖2示出了根據(jù)一個示例性實施例適合于在圖1示出的示例性打印機中使用的打印盒的示意性表示的透視圖。
圖3示出了根據(jù)一個示例性實施例在圖2中示出的部分打印盒的示意性表示的側視截面圖。
圖4a-4h示出了根據(jù)一個實施例用于調(diào)節(jié)示例性帶槽襯底的處理步驟的示意性表示。
圖5a-5c示出了根據(jù)一個實施例用于形成示例性帶槽襯底的處理步驟的示意性表示。
圖5d-5g示出了根據(jù)一個實施例的示例性機械調(diào)節(jié)結構的示意性表示的截面圖。
圖6-6b示出了根據(jù)一個示例性實施例用于調(diào)節(jié)示例性帶槽襯底的處理步驟的示意性表示。
優(yōu)選實施例的詳細描述概述下面描述的實施例涉及調(diào)節(jié)帶槽襯底的方法和系統(tǒng)。利用一種或多種制造技術選擇性地去除襯底材料可以在襯底中形成槽。合適的制造技術其中包括蝕刻、激光加工、磨料噴射加工、鋸切和/或上述方法的任意組合。在槽形成過程中和/或槽形成之后的某一點，可以調(diào)節(jié)襯底。在一些實施例中，這種調(diào)節(jié)可以去除帶槽襯底上的碎屑。所述碎屑包括各種材料，例如已處理的襯底材料和/或已處理襯底材料的副產(chǎn)品，所述副產(chǎn)品在槽形成過程中保留在襯底上。
帶槽襯底可以結合到噴墨打印盒和/或各種微機電系統(tǒng)(MEMS)設備等類似設備中。下面描述的各種元件的尺寸可能沒有準確地示出。但是，包括的附圖是示意性的表示，是為了給讀者示出這里描述的各種發(fā)明原理。
示例性打印設備圖1示出了利用一示例性打印盒的示例性打印設備的示意性表示。在該實施例中，打印設備包括一打印機100。這里示出的打印機類型為噴墨打印機。打印機100能夠以黑白和/或黑白及彩色的方式印刷。術語“打印設備”表示任何類型的打印設備和/或圖像形成設備，它可利用帶槽襯底以實現(xiàn)至少部分功能。這種打印設備的實例包括但不限于打印機、傳真機和影印機。在該示例性打印設備中，帶槽襯底包括結合到打印盒中的部分打印頭，下面將描述其實例。
示例性的產(chǎn)品和方法圖2示出了在示例性打印設備中使用的示例性打印盒202的示意性表示。該打印盒包括打印頭204和支撐打印頭的盒體206。盡管在該打印盒202上使用了一個打印頭204，但是其他示例性結構可以在單個墨盒上使用多個打印頭。
打印盒202布置成具有位于盒體206內(nèi)的自含式流體或墨源?？商鎿Q地或額外地其他打印盒結構可以布置成接受來自外部源的流體。本領域技術人員將了解其他的示例性結構。
對于打印機100的正常工作來說，打印盒202的可靠性是期望的。此外，在制造過程中打印盒故障會增加產(chǎn)品成本。打印盒故障由打印盒元件失效引起。而這種元件失效由開裂引起。因此，下面描述的各種實施例可以提供不容易開裂的打印頭。
打印盒的可靠性還受污染物的影響，所述污染物會干涉或堵塞正常的流體(墨水)流動。一種污染源是在開槽過程中產(chǎn)生的碎屑。因此，下面描述的各種實施例可以提供由不充足的墨水流動引起的故障發(fā)生率減小的打印頭。
圖3示出了沿圖2中的線2-2取的部分示例性打印頭204的示意性表示的側視截面圖。圖3是橫過流體供給槽(下面將描述)的長軸x取的，該長軸延伸到和延伸出呈現(xiàn)圖3的紙張平面。這里，襯底300的厚度為t，其在第一襯底表面(“第一表面”)302和第二襯底表面(“第二表面”)304之間延伸。正如下面更加詳細描述的，在處理和操作過程中由襯底300經(jīng)受的力集中在和圍繞著接近第一表面302的襯底材料。一些描述的實施例可以在襯底材料的特定區(qū)域內(nèi)減小應力集中，特別是在接近第一表面302的襯底材料中的區(qū)域和圍繞接近第一表面302的襯底材料的區(qū)域。
這里，槽305穿過第一和第二表面302、303之間的襯底300。正如下面更加詳細描述的，一些槽形成技術可能會無意地在限定槽305的襯底材料和/或第一和第二表面302、303上產(chǎn)生碎屑。這些碎屑會由流體帶到最終的打印頭中，并導致性能降低。一些描述的實施例可以去除這些碎屑。
在該特定實施例中，襯底300包括摻雜或未摻雜的硅。其他合適的襯底材料包括但不限于砷化鎵、磷化鎵、磷化銦或其他適合于支撐上覆層的晶體材料。
襯底厚度(圖3中沿z方向)可以是任何合適的尺寸，所述尺寸適合于襯底的期望應用。在一些實施例中，在z方向截開的襯底厚度的范圍從小于100微米到大于2000微米。一個示例性實施例采用的襯底厚度為大約675微米。盡管這里描述了單個襯底，但是其他合適的實施例可以包括一襯底，其在裝配中和/或最終產(chǎn)品中具有的多個元件。例如，一個這樣的實施例可以采用一襯底，其具有第一元件和第二犧牲元件，所述犧牲元件在處理過程中的某個點上被拋棄。
在該特定實施例中，一個或多個薄膜層314位于襯底的第二表面303上面。在至少一些實施例中，阻擋層316和孔板或孔層318位于薄膜層314上面。
在一個實施例中，一個或多個薄膜層314可以包括一個或多個導電跡線(未示出)和電子元件如電阻320。利用控制器如處理器，可以通過電跡線選擇性地控制單個電阻。在一些實施例中，薄膜層314還可以至少部分地限定多個流體供給通道322的壁或表面，流體可流過所述供給通道。此外，薄膜層314可以包括一場或熱氧化層。阻擋層316可以至少部分限定多個發(fā)射腔324。在一些實施例中，阻擋層316可以單獨地或與薄膜層314組合地限定流體供給通道322?？讓?18可以限定多個噴嘴326。單個噴嘴可以分別與單個發(fā)射腔324對準。
阻擋層316和孔層318可以任何適當?shù)姆绞叫纬?。在個特定實施例中，阻擋層316和孔層318包括厚膜材料，例如感光聚合材料。該感光聚合材料可以任何適當?shù)姆绞绞┘?。例如，如本領域人員所熟知的，材料可以被“旋涂”。
在旋涂之后，可以對阻擋層316進行構圖，以便在其中形成至少部分期望的特征，例如通道和發(fā)射腔。在一個實施例中，帶圖案的阻擋層區(qū)域可以在通常稱為“脫蠟”的處理中被填充犧牲材料。在該實施例中，孔層318包括與阻擋層相同的材料，并在阻擋層316上面形成。在一個這種實例中，孔層材料可‘旋涂’在阻擋層上。然后如所期望的對孔層318進行構圖，以便在各個腔324上形成噴嘴326。然后從阻擋層的腔324和通道322中去除犧牲材料。
在另一個實施例中，阻擋層316包括一厚膜，而孔層318包括電鑄成型的鎳或其他合適金屬的材料。可替換地孔層可以是具有激光切出的噴嘴的聚合物，例如Kapton或oriflex。其他合適的實施例可以采用一孔層，該孔層實現(xiàn)阻擋層和孔層的功能。
在操作中，流體如墨水可以從盒體進入槽305，如圖2所示。然后流體可以穿過單個通道322流進單個腔室324中。當電流經(jīng)過單個電阻320時，流體從腔室噴出。電流可以充分地加熱電阻，從而將發(fā)射腔中含有的一些流體加熱到其沸點，使得流體膨脹而從分別定位的噴嘴326噴出部分流體。然后通過來自通道322的附加流體可以填充噴出的流體的位置。
圖4a-4h示出了形成示例性的帶槽襯底的處理步驟的示意性表示并構成如圖3所示的襯底300的側視截面圖。更加具體地，圖4a-4h示出了在襯底300中形成槽305的示例性襯底去除處理。如在圖4a-4d中所示出的，槽305僅僅部分穿過襯底形成。圖4e-4f示出了延伸穿過第一表面302和第二表面303之間的襯底300的槽305。圖4a、4c、和4e示出了槽305中沿紙張內(nèi)外方向以及沿槽的長軸x的襯底300的視圖。圖4b、4d和4f類似于圖3中所示的視圖，并構成橫過槽305的長軸x截開的視圖。
現(xiàn)在參考圖4a-4b，激光器402位于襯底300上面。如這里所示出的，該激光器402發(fā)出指向襯底的第一表面302的激光束404，以去除襯底材料406，從而形成一寬度為w、長度為1的襯底300。激光束404可逐漸地朝第二表面303去除襯底材料406。為了清楚的目的，圖4b中省略了激光器402和激光束404。
圖4c-4d示出了分別類似于圖4a和4b的視圖，其中激光器404已經(jīng)去除了額外的襯底材料406。
圖4e-4f示出了從第一表面302到第二表面303穿過襯底300形成的槽305。
圖4a-4f中示出的槽形成處理僅僅是多種合適處理中的一種。例如，蝕刻、磨料噴射加工和鋸切等類似技術也可以形成帶槽襯底。磨料噴射加工將磨粒如二氧化硅以可控的方式引導到襯底，以選擇性地去除襯底材料。蝕刻可以包括各向異性蝕刻和/或各向同性蝕刻或上述二者的組合。在一個合適的實施例中，蝕刻可以包括蝕刻和鈍化的交替動作，從而獲得穿過襯底的期望蝕刻輪廓。鋸切可以利用圓鋸機械地去除足夠的襯底材料以形成槽。作為利用單一處理形成槽的可替換方案，可以利用多個處理來形成合適的槽。例如，利用蝕刻去除襯底材料，然后利用激光加工去除足夠的附加襯底材料，從而形成期望的槽。本領域技術人員應該了解其他合適的組合。
通過從襯底的兩個側面去除襯底材料也可以形成槽。例如圖4g-4h示出了如圖4a-4b所示的襯底300，其中通過第二表面303去除附加的襯底材料406。在該實例中，利用激光束404去除附加的襯底材料。激光束可以進一步去除襯底材料406，以便產(chǎn)生如圖4e-4f所示的槽305。與在第一表面302利用的去除技術相比，其他合適的實施例可以通過第二表面303應用不同的去除技術。
槽形成過程會產(chǎn)生碎屑，所述碎屑會妨礙帶槽襯底集成到功能性的流體噴射設備如打印頭中。這些碎屑至少部分包括沒有完全從襯底去除和/或沉積在襯底上的襯底材料。所述碎屑還包括去除過程的副產(chǎn)品，包括但不限于在襯底材料和在襯底去除過程中使用的材料之間形成的物理和/或化學化合物。例如，碎屑可以包括一化合物，該化合物至少部分包括由蝕刻劑提供的成分，例如TMAH以及包括襯底材料的成分。
現(xiàn)在參考圖5，一示意性表示出了在圖4f中示出的帶槽襯底300的放大視圖。圖5a示出了圖5中顯示的部分襯底300的另一個放大視圖。在接近槽305的第一表面302上可以看到碎屑500，該碎屑至少部分因?qū)⒉?05激光加工到襯底300中而產(chǎn)生。
在將帶槽襯底集成到流體噴射設備之前，可以調(diào)節(jié)帶槽襯底來去除碎屑500。在一些實施例中，這種調(diào)節(jié)包括機械地調(diào)節(jié)襯底。機械地調(diào)節(jié)襯底包括用研磨材料如磨粒研磨襯底。在一些實施例中，這種研磨包括將磨粒朝襯底引導。一些合適的實施例可以通過在襯底上移動研磨材料將磨粒朝襯底引導。圖5b-5d中可以看到這樣的實例。其他這種實例如圖5e、5f和5g所示。
圖5b示出了襯底300的透視圖的示意性表示。襯底可以定位在任何合適類型的支架(未示出)上。一形式為研磨刷504的研磨結構502鄰近襯底定位。研磨刷504圍繞旋轉軸a旋轉。當研磨刷504繞其其軸線旋轉時可以在襯底上移動，以便沿襯底移動研磨材料。
如圖5b所示，通過旋轉研磨刷可以形成研磨作用，使得刷的外表面比沿襯底移動的刷的旋轉軸移動的更快。在另一個實例中，該刷可以在與圖5b所示的相反的方向旋轉，同時沿通常與長軸x平行的方向在襯底上移動刷。
在這種情況下，利用通常垂直于長軸x的長軸a可以定向研磨刷504。研磨刷504通常位于第一表面302的水平，并且在使刷旋轉的同時通常沿整個第一表面302平行于長軸x移動。其他實施例可以沿與這里示出的不同的一個或多個方向移動研磨刷?？商鎿Q地或額外地，研磨刷504可以僅在部分第一部分表面302上移動，例如鄰近槽305的部分?？商鎿Q地或額外地，其他實施例可以使刷在第二表面303(圖5所示)上移動?？商鎿Q地或額外地，所述刷可以位于一固定位置，并且在襯底300和其表面302相對刷移動的同時進行旋轉以便研磨襯底表面。為了清楚的目的，可以利用研磨刷504機械地調(diào)節(jié)單個襯底。許多合適的實施例可以機械地同時調(diào)節(jié)多個襯底。例如，這種機械調(diào)節(jié)可以在將晶片切成單個襯底之前在包括多個帶槽襯底的晶片上實施。
在一些實施例中，通過利用同時的或隨后的處理來輔助調(diào)節(jié)處理以進一步去除碎屑。一個這種實施例可將液體如水或氨輸送到襯底，同時機械地調(diào)節(jié)襯底。所述流體有助于去除碎屑。其他實例可以向液體添加其他材料，以便改進碎屑的去除。此外其他實施例可以利用其他合適的方法，例如施加真空或壓縮空氣來幫助調(diào)節(jié)處理。
圖5c示出了在機械調(diào)節(jié)襯底之后在圖5a中示出的部分襯底300的示意性表示。通過調(diào)節(jié)襯底可以去除在第一表面302上如圖5a所示的碎屑500。
圖5d示出了研磨刷504沿長軸a取的截面圖的示意性表示。該示例性研磨刷包括中央芯520、多根刷毛522通常徑向地沿長度背離中央芯延伸。合適的刷毛可以由各種合適的材料構成，例如聚乙烯醇和尼龍等類似材料。在該實施例中，刷毛522通常沿其長度是柔性的。這種柔性可允許當刷毛接觸襯底時從此處示出的相對軸向結構變形。其他合適的結構可以采用更小的柔性，即更大剛度的刷毛，或者可以采用不具有刷毛的研磨結構。下面參考圖5e描述這種實例。
在圖5d示出的實施例中，至少部分刷毛522的遠端部分上具有形式為磨粒的研磨材料524。在這里描述的實施例中，可采用直徑為大約15-50微米的磨粒。其他合適的實施例可以采用其他尺寸的磨粒。這僅僅是一種合適的結構。例如，另一種合適的結構可以采用由一種材料如鋼或其他金屬構成的刷毛，其中刷毛材料本身具有足夠的研磨性，以便調(diào)節(jié)襯底，而不用添加提供研磨的材料。
在本實施例中，磨粒位于具有粘性的刷毛上。在該特定實施例中，采用防水粘合劑如Gorilla Glue。其他實施例可以采用其他合適的定位方法，例如在制造處理過程中將磨粒集成到刷毛材料中。
圖5e示出了與圖5d中示出的視圖相似的研磨結構502a的截面圖的示意性表示。在該實例中，研磨結構包括相對剛性的磨輪530，因為當該磨輪接觸襯底時通常會傾向于保持其圓筒形的截面形狀。磨輪530具有位于其外部遠端表面532處的研磨材料524，用于機械地調(diào)節(jié)襯底。
盡管圖5d-5e示出了多種研磨結構，其通常為圓筒形并圍繞一中心軸旋轉，但是這僅僅是一種合適的結構。例如，圖5f示出了具有研磨旋轉表面540的研磨結構502b的截面圖的示意性表示。該研磨旋轉表面具有兩個通常彎曲的端部區(qū)域，并通常與在上述端部區(qū)域之間延伸的平面區(qū)域相聯(lián)。通常用542表示該平面區(qū)域。襯底可以鄰近通常為平面的區(qū)域542定位，以便由研磨旋轉表面540進行機械調(diào)節(jié)。
在另一個實例中，圖5g示出了研磨結構502c的示意性表示，其形式為平面的研磨結構550，該研磨結構具有布置成可機械調(diào)節(jié)襯底的研磨表面552。在該實例中，研磨表面522具有附著在基礎介質(zhì)556上的研磨材料524。平面研磨結構550布置成通過沿x軸、y軸和/或x軸與y軸的組合移動研磨表面552、同時研磨表面物理接觸襯底300來調(diào)節(jié)襯底300?？梢酝ㄟ^研磨結構和/或支架實現(xiàn)上述移動。
上面參考圖5-5g的描述提供了幾種通過用研磨材料物理接觸襯底來機械調(diào)節(jié)襯底的合適方法。一些實施例可以采用化學過程來改善機械調(diào)節(jié)過程，其以另外的方式實施就是已知的化學機械拋光。
在化學機械拋光中，液體或其他介質(zhì)可有助于和/或加快調(diào)節(jié)過程，使得該過程可以比如果僅采用研磨材料完成得更快。例如，在一個實施例中，包括部分晶片的襯底表面可以在存在研磨漿料的情況下靠在拋光墊上定位。然后晶片和/或拋光墊可以相對彼此移動來調(diào)節(jié)襯底表面，以及在一些實施例中，平坦化襯底表面。這些實施例類似于圖5g中描述的實施例，其中用拋光墊替代了研磨結構550，用研磨漿料替代了研磨表面552。在一些實施例中，研磨漿料包括至少一種研磨材料和一種液體。襯底和/或拋光墊可以各種方式相對彼此移動，所述方式包括往復的、旋轉的和/或上述方式的各種組合。
下面參考圖6-6b提供另一個合適的實施例，用于將磨粒朝襯底引導。圖6-6a示出了分別與圖5和5a相似的視圖的示意性表示。在第一表面302和第二表面303a之間的襯底300a中形成槽305a。在該特定實施例中，開槽過程會在限定槽305a的壁602的襯底材料和第一表面302a上產(chǎn)生碎屑500a。此外，在該實施例中，鄰近第一表面302a的相對較小區(qū)域的襯底材料604背離襯底材料604的其余部分延伸并延伸到槽305a中。在由于應力集中以及其他因素，襯底材料604可作為裂紋發(fā)生位置。這些裂紋發(fā)生位置在形成流體噴射設備的處理過程中和/或在流體噴射設備的工作期限中導致帶槽襯底失效。
圖6b示出了機械調(diào)節(jié)襯底300a的示例性處理步驟。這里，噴砂機噴嘴606可以朝帶槽襯底300a噴射研磨材料例如磨粒608。研磨材料608可以研蝕如圖6-6a所示來自襯底300a的碎屑500a。此外，在一些實施例中，磨粒608可以去除圖6a中示出的凸出襯底材料604，并產(chǎn)生更好成型的槽輪廓。圖6b中顯示了這種實例，其中壁602的一部分610通常為曲線，并曲線連接(contour)到第一表面302a中。
噴砂機噴嘴606通過載運磨粒的加壓流體使磨粒608推向襯底。所述流體可使磨粒運動。通過遠離襯底300a輸送碎屑，該流體也有助于調(diào)節(jié)過程。在該特定實施例中，所述流體包括空氣。在各個實施例中也可以采用其他氣體來輸送磨粒608。其他實施例可采用流體使磨粒推向襯底。在這種實施例中，所述流體包括水。在一些實施例中，所述流體包括與襯底反應的成分。在這種實例中，可以采用具有磨粒的TMAH和水溶液。
之前，已經(jīng)使用磨料噴射加工在襯底中形成槽。一些示例性實施例可以利用磨料噴射加工主要來機械地調(diào)節(jié)襯底，而不是主要在襯底中形成槽。在這種實例中，可以將磨粒朝襯底引導相對短的一段時間。在一些實施例中，該相對短的時間至少是比當利用磨料噴射加工在襯底中形成槽所花時間小一個數(shù)量級。例如可以利用范圍在3-8秒的磨料噴射加工處理在襯底中形成槽，而在一些實施例中機械調(diào)節(jié)用0.05-02秒。將磨粒噴射相對較短的時間是一種合適的處理，以使用磨料噴射加工主要調(diào)節(jié)襯底，而不是主要在襯底中形成槽。
結論所描述的實施例可以調(diào)節(jié)帶槽襯底。利用一種或多種制造技術來選擇性地去除襯底材料可以在襯底中形成槽。在槽形成過程中和/或槽形成之后的某一點，可以調(diào)節(jié)襯底。在一些實施例中，這種調(diào)節(jié)可以包括機械地調(diào)節(jié)以便從帶槽襯底上去除碎屑。
盡管描述了具體的結構特征和方法性步驟，但是應該理解在隨附的權利要求書中限定的發(fā)明原理不必限于具體的特征或所描述的方法。這些具體特征和步驟是作為實施本發(fā)明原理形式而公開的。
權利要求
1.一種方法，包括從襯底(300)上去除襯底材料(406)，以形成穿過襯底(300)的流體處理槽(305)；以及機械地調(diào)節(jié)接近流體處理槽(305)的襯底(300)，以至少部分地去除由所述去除產(chǎn)生的碎屑(500)。
2.按照權利要求1的方法，其中所述機械地調(diào)節(jié)操作包括用研磨材料(524)磨蝕第一襯底表面(302)。
3.按照權利要求2的方法，其中所述磨蝕操作包括在第一襯底表面(302)噴射研磨材料(524)。
4.一種方法，包括去除襯底材料(406)以形成在第一襯底表面(302)和第二襯底表面(303)之間延伸的流體處理槽(305)；以及使用旋轉的研磨刷(504)機械地調(diào)節(jié)第一和第二襯底表面(302)和(304)中的至少一個。
5.按照權利要求4的方法，其中所述去除襯底材料(406)的操作包括通過將激光束(404)沿一大致垂直于第一襯底表面(302)的方向引導進行激光加工，以及其中所述激光束(404)在到達第二襯底表面(303)之前穿過第一襯底表面(302)，以及其中所述機械地調(diào)節(jié)第一和第二襯底表面(302)和(304)中的至少一個的操作包括機械地調(diào)節(jié)第一襯底表面(302)。
6.按照權利要求4的方法，其中所述機械調(diào)節(jié)操作包括機械地調(diào)節(jié)第一和第二襯底表面(302)和(304)中的至少一個的全部。
7.按照權利要求4的方法，其中所述機械調(diào)節(jié)操作包括使研磨刷(504)圍繞旋轉軸旋轉，所述旋轉軸大致垂直于流體處理槽(305)的長軸；以及沿一大致與流體處理槽(305)的長軸平行的方向移動研磨刷(504)。
8.一種方法，包括去除襯底材料(406)以形成延伸穿過第一襯底表面(302)和第二襯底表面(303)之間的襯底(300)的流體處理槽(305)；以及朝第一襯底表面(302)噴射磨粒(608)，主要調(diào)節(jié)接近流體處理槽(305)的襯底(300)，而不是主要形成流體處理槽(305)。
9.按照權利要求8的方法，其中所述去除操作包括利用至少兩種不同的去除技術去除襯底材料(406)以形成流體處理槽(305)。
10.按照權利要求8的方法，其中所述噴射操作去除由所述去除操作產(chǎn)生的碎屑(500)。
全文摘要
所描述的實施例涉及帶槽的襯底。一種示例性的方法可從襯底(300)上去除襯底材料(406)，從而形成穿過襯底(300)的流體處理槽(305)。該特定方法還可以機械地調(diào)節(jié)鄰近流體處理槽(305)的襯底(300)，從而至少部分地去除由所述去除產(chǎn)生的碎屑(500)。
文檔編號B41J2/16GK1860029SQ200480023215
公開日2006年11月8日 申請日期2004年8月9日 優(yōu)先權日2003年8月13日
發(fā)明者B·霍爾恩, K·柯比, S·霍爾姆斯, M·哈瓦里, R·里瓦斯, G·G·特倫克, D·J·貝里斯特倫, C·范 申請人:惠普開發(fā)有限公司