專利名稱：液滴圖案形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液滴圖案形成裝置，更具體地說，涉及在通過噴射液滴進(jìn)行記錄操作時(shí)用于改變噴射間距的技術(shù)，該技術(shù)可以噴射多種液滴，并且可以沿輔助掃描方向微細(xì)、精確地調(diào)節(jié)噴嘴頭。
背景技術(shù)：
近年來，已經(jīng)有多種噴墨打印機(jī)投入實(shí)際使用。具有與照片級(jí)別相同的高分辨率的色彩進(jìn)行記錄操作的彩色噴墨打印機(jī)日益普遍。在噴墨打印機(jī)中，多個(gè)噴嘴頭附連在托架上，例如，每個(gè)噴嘴頭中設(shè)有128個(gè)噴嘴，以便對(duì)準(zhǔn)成一行或多行。通過從噴嘴中噴出墨滴，用點(diǎn)圖案記錄圖像。日本公開專利公開No.11-334049揭示了用于改變噴嘴間距的技術(shù)，該技術(shù)通過相對(duì)于固定連桿移動(dòng)一可移動(dòng)連桿以使噴嘴頭旋轉(zhuǎn)，從而以多種噴嘴間距進(jìn)行記錄操作。
通常，液晶顯示器適合與個(gè)人電腦、文字處理機(jī)、復(fù)印機(jī)、傳真機(jī)、移動(dòng)電話和多種便攜式終端一起使用。近來，可以借助濾色器顯示色彩的彩色液晶顯示器也被廣泛使用。由濾色器提供的光線(紅R、綠G和藍(lán)B)的原色的象素與點(diǎn)圖案一起有規(guī)律地形成在透明薄膜上。可以使用與噴墨打印機(jī)類似的液滴圖案形成裝置生產(chǎn)濾色器。
日本專利No.3121226揭示了一種用于提供濾色器的液滴圖案形成裝置。在液滴圖案形成裝置中，通過從設(shè)置在每個(gè)紅、藍(lán)和綠色噴嘴頭中的多個(gè)噴嘴中噴出液滴，使用紅、綠和藍(lán)色液體在玻璃基片上形成點(diǎn)圖案。日本專利No.3121226提出一種通過相對(duì)于輔助掃描方向旋轉(zhuǎn)噴嘴頭以便調(diào)整該點(diǎn)間距，從而進(jìn)行記錄操作的技術(shù)，該操作具有一比噴嘴間距窄的點(diǎn)間距(噴射間距)。日本專利No.3121226還提出一種在噴嘴頭旋轉(zhuǎn)時(shí)通過改變1號(hào)噴嘴到N號(hào)噴嘴的噴射定時(shí)以用于對(duì)準(zhǔn)玻璃基片的記錄起始位置的技術(shù)，以及一種用于控制噴射定時(shí)的技術(shù)，以便校正每個(gè)噴嘴與每個(gè)噴嘴頭中的多個(gè)噴嘴的中心線的位置偏移。
日本公開專利公開No.9-300664揭示了一種液滴圖案形成裝置，該裝置設(shè)有一用于彩色液晶顯示器的濾色器。在該裝置中，將具有平板形狀并沿著與玻璃基片垂直的方向延伸的紅、綠和藍(lán)色噴嘴頭設(shè)置成與輔助掃描方向平行。
每個(gè)噴嘴頭的兩端由一保持件支承。每個(gè)保持件的一端通過一旋轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地連接在一頭部支架(框架)上，另一端通過一旋轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地連接在一滑動(dòng)構(gòu)件上。通過一螺旋彈簧將每個(gè)噴嘴頭推向每個(gè)噴嘴頭的一端，并且可以使用一細(xì)調(diào)螺釘相對(duì)于保持件的一端將每個(gè)該噴嘴頭調(diào)整到適當(dāng)位置。另外，提供一用于相對(duì)于頭部支架細(xì)微地移動(dòng)滑動(dòng)構(gòu)件的細(xì)調(diào)螺釘。通過使用細(xì)調(diào)螺釘沿主掃描方向調(diào)整滑動(dòng)構(gòu)件的位置，可以相對(duì)于輔助掃描方向改變?nèi)齻€(gè)噴嘴頭的旋轉(zhuǎn)角，以便沿輔助掃描方向適當(dāng)?shù)卣{(diào)整點(diǎn)間距。
有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示器已經(jīng)作為代替上述液晶顯示器的下一代顯示器投入實(shí)際使用。例如，用于有機(jī)EL顯示器的EL基片是一玻璃基片，其上形成一陽極層、一空穴傳輸層、一發(fā)射體層和一陰極層。根據(jù)所需發(fā)光顏色，將多種發(fā)光有機(jī)化合物應(yīng)用為發(fā)射體層。在用于彩色EL顯示器的EL基片的發(fā)射體層中，紅(R)、綠(G)和藍(lán)(B)發(fā)光元件有規(guī)律地形成一點(diǎn)圖案。有機(jī)EL顯示器具有一細(xì)長(zhǎng)本體，其重量較輕、成本較低，并且具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。另外，有機(jī)EL顯示器通過廣闊的視角提供良好的可見度，而且需要極少電力。
用于有機(jī)彩色EL顯示器的EL基片的生產(chǎn)如下所述。從液滴圖案形成裝置的噴嘴頭中將用于形成一空穴傳輸層的液滴噴射在玻璃基片上，然后通過在真空或惰性空氣(氣體)中加熱以便固定玻璃基片上的液滴。此后，從三個(gè)噴嘴頭中將三種與R、G、B對(duì)應(yīng)的液體(用于形成一EL發(fā)射體層)噴射在玻璃基片上，以形成一點(diǎn)圖案。然后，將熱量施加在真空中的點(diǎn)圖案上，然后通過鋁的汽化在其上形成一電極層(陰極層)。
日本公開專利公開No.11-334049揭示了通過相對(duì)于固定連桿移動(dòng)可移動(dòng)連桿以使噴嘴頭旋轉(zhuǎn)的噴墨打印機(jī)。因此，為使噴嘴頭保持于旋轉(zhuǎn)后的位置，至少需要將固定連桿、可移動(dòng)連桿和噴嘴頭附連在頭部支架上。然而，在該結(jié)構(gòu)中，由于可移動(dòng)連桿相對(duì)于固定連桿沿一弧線移動(dòng)，因此噴墨打印機(jī)的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。因此，設(shè)計(jì)一包括噴嘴頭的噴嘴頭單元變得困難。
日本專利No.3121226沒有揭示一種用于支承噴嘴頭，以使噴嘴頭能夠相對(duì)于輔助掃描方向旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，也沒有揭示一種用于旋轉(zhuǎn)噴嘴頭的致動(dòng)器。多個(gè)噴嘴頭并未可拆卸地附連成一噴嘴頭單元。日本專利No.3121226沒有提到噴嘴頭旋轉(zhuǎn)時(shí)的旋轉(zhuǎn)中心。
日本公開專利公開No.9-300664揭示了需要三個(gè)設(shè)置成直立姿勢(shì)的噴嘴頭的液滴圖案形成裝置，以便限制噴嘴頭的形狀。當(dāng)噴嘴頭被設(shè)計(jì)成可以從上方將噴嘴頭附連在保持件的兩端和從該兩端處卸下時(shí)，很難精確地沿垂直方向設(shè)置噴嘴頭的位置。另一方面，當(dāng)噴嘴頭被設(shè)計(jì)成不能從上方將噴嘴頭附連在保持件的兩端和從該兩端處卸下時(shí)，很難在修理或更換噴嘴頭時(shí)方便地卸下噴嘴頭。因而，無法確?？删S護(hù)性。
此外，在液滴圖案形成裝置中，需要通過手工操作細(xì)調(diào)螺釘，每次沿輔助掃描方向改變一點(diǎn)間距(噴射分辨率)，以便沿主掃描方向移動(dòng)滑動(dòng)構(gòu)件。因此，無法設(shè)置一用于使噴嘴頭傾斜到非常大的角度的最大旋轉(zhuǎn)角。因而，通過旋轉(zhuǎn)噴嘴頭可實(shí)現(xiàn)的點(diǎn)間距范圍變窄。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種液滴圖案形成裝置，其中可方便地附連和拆卸噴嘴頭，改進(jìn)噴嘴頭的可維護(hù)性，并且通過擴(kuò)大噴嘴頭可以旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角的范圍以使噴射間距的可變范圍擴(kuò)大，并且通過沿輔助掃描方向移動(dòng)噴嘴頭以使噴嘴方便地進(jìn)行噴射位置的調(diào)整，而且與噴嘴頭的旋轉(zhuǎn)角無關(guān)。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，液滴圖案形成裝置包括多個(gè)將液滴噴射在記錄介質(zhì)上的噴嘴、多個(gè)以預(yù)定間距沿主掃描方向?qū)?zhǔn)的噴嘴頭、多個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置、多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)和多個(gè)位置調(diào)整裝置。多個(gè)噴嘴頭具有多個(gè)沿著垂直于主掃描方向的輔助掃描方向?qū)?zhǔn)的噴嘴。多個(gè)支承構(gòu)件可旋轉(zhuǎn)地支承相應(yīng)的噴嘴頭。多個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置使相應(yīng)的噴嘴頭相對(duì)于支承構(gòu)件圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)，該軸線沿著平行于液滴噴射方向并垂直于噴嘴對(duì)準(zhǔn)方向的方向延伸。多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)沿輔助掃描方向可滑動(dòng)地支承多個(gè)支承構(gòu)件。多個(gè)位置調(diào)整裝置沿輔助掃描方向借助滑動(dòng)機(jī)構(gòu)微細(xì)地調(diào)整支承噴嘴頭的相應(yīng)支承構(gòu)件。


參照以下附圖詳細(xì)敘述本發(fā)明的一實(shí)施例，其中圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的液滴圖案形成裝置的主視圖；圖2是液滴圖案形成裝置的平面圖；圖3是液滴圖案形成裝置的基本部分的放大平面圖；圖4是液滴圖案形成裝置的放大主視圖；圖5是介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置、基片保持件和X、Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面圖；
圖6是表示噴嘴頭的頭部的升高位置的說明性示意圖；圖7是噴嘴頭保持機(jī)構(gòu)的立體圖；圖8是用于噴嘴頭中的噴嘴間尺寸誤差和噴嘴間距誤差的說明性示意圖；圖9是顯示分成幾個(gè)等級(jí)的噴嘴間尺寸誤差和它的中間值誤差的表格；圖10是液體供應(yīng)機(jī)構(gòu)的主視圖；圖11A至11C是包括紅、綠、藍(lán)點(diǎn)的發(fā)射體層的噴射點(diǎn)圖案的說明性示意圖；圖12是包括噴射檢查機(jī)構(gòu)的控制系統(tǒng)的方塊圖的放大平面圖；圖13是用于評(píng)價(jià)噴射狀態(tài)的CCD照相機(jī)的掃描區(qū)域的說明性示意圖；圖14是在觀察窗中掃描到的液滴圖像的局部放大圖；圖15是基片保持件和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)上的玻璃基片的說明性示意圖；圖16是頭部保持機(jī)構(gòu)的立體圖；圖17是用于將液滴噴射在玻璃基片上的說明性示意圖；圖18是顯示隔行記錄方法中的噴嘴頭相對(duì)于玻璃基片移動(dòng)的說明性示意圖；圖19是顯示隔行記錄方法中的噴嘴頭相對(duì)于玻璃基片移動(dòng)的說明性示意圖；圖20是液滴圖案形成裝置的控制系統(tǒng)的框圖；圖21是液滴圖案形成裝置的控制系統(tǒng)的框圖；圖22和23是連續(xù)記錄操作的控制流程圖；圖24是噴射狀態(tài)檢查的控制流程圖；以及圖25是相對(duì)于紅色噴嘴頭的噴射狀態(tài)檢查的控制流程圖。
具體實(shí)施例方式
結(jié)合附圖敘述本發(fā)明的示范性實(shí)施例。在該實(shí)施例中，將本發(fā)明應(yīng)用于一液滴圖案形成裝置，該裝置產(chǎn)生一用于有機(jī)EL顯示器裝置的電致發(fā)光(EL)基片(該基片是一薄玻璃板，其上形成一用于發(fā)射三色光線(紅、綠和藍(lán))的發(fā)射體層)。
一液滴圖案形成裝置1包括一底架2(圖1)、一外殼3(圖1)、一介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置5(圖4)、一Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6(圖1)、一噴嘴頭保持裝置7(圖1)、一檢查/調(diào)整裝置9(圖3)、一液體供應(yīng)裝置(液體供應(yīng)機(jī)構(gòu))12(圖1)和一控制裝置13(圖20)。介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置5保持一玻璃基片(記錄介質(zhì))4，并且可以沿主和輔助掃描方向單獨(dú)移動(dòng)玻璃基片4。Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6保持噴嘴頭保持裝置7，以使噴嘴頭保持裝置7可以沿上下方向移動(dòng)。檢查/調(diào)整裝置9檢查來自噴嘴頭8(圖5)的液滴的噴射狀態(tài)，并且進(jìn)行有關(guān)噴嘴頭8的維護(hù)和調(diào)整。噴嘴頭8包括噴嘴頭8R、8G、8B(圖7)。液體供應(yīng)裝置12提供用于形成三色的EL反射體層的待噴射液體10和沖洗溶劑11(圖10)?？刂蒲b置13控制上述裝置和機(jī)構(gòu)。
利用液滴圖案形成裝置1的圖2所示方向在實(shí)施例中進(jìn)行一個(gè)說明，并且應(yīng)用于全部附圖。將右左方向、前后方向和上下方向分別稱為X方向(主掃描方向)、Y方向(輔助掃描方向)和Z方向。
如圖1至4所示，在液滴圖案形成裝置1中，矩形平行六面體外殼3設(shè)置在底架2上。外殼3的內(nèi)部被一水平設(shè)置于中間位置的隔板14分成一圖案形成室15和一維護(hù)室16。圖案形成室15設(shè)置在底架2的側(cè)面，而維護(hù)室16設(shè)置在圖案形成室15的上方。隔板14具有一開口14a(圖2)，噴嘴頭保持裝置7可以通過該開口。只要將圖案形成室15和維護(hù)室16相互分開，任何構(gòu)件可作為隔板14，并且不必水平地設(shè)置隔板14。在圖案形成室15中的圖案形成階段中，在玻璃基片4上進(jìn)行記錄操作，以形成一包括多個(gè)精細(xì)的三色象素的點(diǎn)圖案。在維護(hù)室16中的檢查/調(diào)整階段44中，在噴嘴頭8上進(jìn)行檢測(cè)和調(diào)整操作。
首先，敘述介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置5。介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置5接納玻璃基片4，如圖2所示，該玻璃基片沿箭頭A所示的方向從位于外部系統(tǒng)后面的裝載機(jī)H被運(yùn)送到圖2中的雙點(diǎn)劃線所示的預(yù)定通過位置(準(zhǔn)備位置)21b，然后將玻璃基片4移動(dòng)到噴射開始位置，并且使玻璃基片4對(duì)準(zhǔn)初始設(shè)定位置(原位)。在記錄操作期間，介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置5單獨(dú)地沿X和Y方向移動(dòng)玻璃基片4。在記錄操作之后，介質(zhì)保持/移動(dòng)裝置5將玻璃基片4移動(dòng)到準(zhǔn)備位置，以使玻璃基片4通過到達(dá)裝載機(jī)H。
如圖1和4所示，一帶大理石斑紋的基部17設(shè)置在圖案形成室15中的底架2上(例如，1500毫米長(zhǎng)、1500毫米寬和500毫米高)。柱18從基部17的四個(gè)角部延伸。在圖案形成室15中，用空氣代替氮?dú)猓⑺羝麧舛群脱鯕鉂舛冉档偷筋A(yù)定水平或更低，以便進(jìn)行記錄操作。
如圖4至6所示，一Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19設(shè)置在基部17上。一X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20附連在Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19的可移動(dòng)構(gòu)件19a上。一其上保持玻璃基片4的基片保持件21附連在X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20的可移動(dòng)構(gòu)件20a上。X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19、20可以沿X和Y方向單獨(dú)移動(dòng)玻璃基片4?；３旨?1可以圍繞銷22的中心旋轉(zhuǎn)，以便對(duì)準(zhǔn)玻璃基片4。
基片保持件21由合成樹脂或燒結(jié)金屬的多孔材料制成，因而通過多孔材料制成的基片保持件21將負(fù)壓施加于玻璃基片4，以使基片保持件21可以粘附并保持玻璃基片4。基片保持件21沿右左方向具有一寬于玻璃基片4的寬度。一對(duì)接納沖洗溶液(用于清潔噴嘴頭8的溶液)11的托盤21a與基片保持件21構(gòu)成一體。設(shè)置四根提升桿23a和一基片提升機(jī)構(gòu)23(圖5)。當(dāng)玻璃基片被運(yùn)送到基片保持件21/從基片保持件運(yùn)送時(shí)，提升桿23a將玻璃基片4升高與基片保持件21相距一預(yù)定距離?；嵘龣C(jī)構(gòu)23包括一上下移動(dòng)提升桿23a的氣缸。
將敘述作為介質(zhì)運(yùn)送機(jī)構(gòu)24(圖5)的X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19。如圖1和4至6所示，基片保持件21和設(shè)置在基片保持件21上的玻璃基片4可以通過X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20沿主掃描方向移動(dòng)，還可以通過Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19沿輔助掃描方向移動(dòng)。當(dāng)玻璃基片4上形成圖案時(shí)，通過基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19、20使玻璃基片4和噴嘴頭保持機(jī)構(gòu)7的噴嘴頭8互相相對(duì)地沿主和輔助掃描方向移動(dòng)，同時(shí)使噴嘴頭保持裝置7保持在一預(yù)定下降位置處。
X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20的一X方向驅(qū)動(dòng)器26通過一伺服電動(dòng)機(jī)28(包括一X方向編碼器27)相對(duì)于一X方向引導(dǎo)構(gòu)件20b移動(dòng)可移動(dòng)構(gòu)件20a。Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19的一Y方向驅(qū)動(dòng)器29通過一伺服電動(dòng)機(jī)31(包括一Y方向編碼器30)相對(duì)于一Y方向引導(dǎo)構(gòu)件19b移動(dòng)可移動(dòng)構(gòu)件19a。
當(dāng)基片保持件21上的玻璃基片4對(duì)準(zhǔn)在原位時(shí)，首先，通過使用設(shè)置在維護(hù)室16中的CCD照相機(jī)32a至32d掃描對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記AM1至AM4，檢測(cè)設(shè)置在玻璃基片4上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記AM1至AM4(圖15)的位置?；趯?duì)準(zhǔn)標(biāo)記AM1至AM4的檢測(cè)位置信息，基片保持件21通過基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19、20沿X和Y方向移動(dòng)，并且通過一旋轉(zhuǎn)裝置35圍繞銷22旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)裝置包括一凸輪件33，該凸輪件摩擦結(jié)合基片保持件21的下側(cè)；以及一電控氣缸34，該電控氣缸可以沿X方向略微移動(dòng)凸輪件33。如上所述，使用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1至AM4將玻璃基片4調(diào)整到最初設(shè)定位置。
也就是說，X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19和20、旋轉(zhuǎn)裝置35、CCD照相機(jī)32a至32d和控制裝置13構(gòu)成一自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36，該機(jī)構(gòu)使用玻璃基片4的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1至AM4將玻璃基片4調(diào)整到最初設(shè)定位置。
如圖1至4和6所示，Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6沿上下方向支承并移動(dòng)噴嘴頭保持裝置7。一對(duì)沿前后方向延伸的箱形框架37在維護(hù)室16中的隔板14的右左兩側(cè)支承在柱18上。一支承框架38設(shè)置在箱形框架37上，以便橋接在兩箱形框架37之間。Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6附連在支承框架38上。Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6包括一滑動(dòng)殼體39，該滑動(dòng)殼體固定在支承框架38上；一可移動(dòng)構(gòu)件40，該構(gòu)件通過滑動(dòng)殼體39可移動(dòng)地沿上下方向被引導(dǎo)；一電控氣缸41，該氣缸用于沿上下方向移動(dòng)可移動(dòng)構(gòu)件40；以及一用于電控氣缸41的Z方向編碼器42。
如圖1、4、6和7所示，一頭部支架25固定在Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的可移動(dòng)構(gòu)件40的下端上。噴嘴頭保持裝置7可拆卸地附連在頭部支架25上。如圖6所示，噴嘴頭保持裝置7的一頭部43(包括多個(gè)噴嘴頭8)在噴射位置(下降位置)DP、檢查/對(duì)準(zhǔn)位置(升高位置)UP和原位HP之中上下移動(dòng)。噴射位置DP是圖案形成階段中在玻璃基片4上形成圖案的位置，該位置設(shè)置在圖案形成室15中的隔板14下方。檢查/調(diào)整位置UP是檢查/調(diào)整階段44中檢查和調(diào)整頭部43的位置。原位HP設(shè)置在略高于檢查/調(diào)整位置UP的位置處。
如圖1、4和7所示，噴嘴頭保持裝置7包括基板45、支承件46、滑動(dòng)機(jī)構(gòu)47、位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48、旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49和頭部保持件50。
頭部保持件50是窄的，并且沿輔助掃描方向延伸。當(dāng)頭部保持件50處于最初設(shè)定狀態(tài)時(shí)，頭部保持件50的表面沿輔助掃描方向平行延伸。窄的噴嘴頭8沿輔助掃描方向延伸，并且可拆卸地附連在相應(yīng)的頭部保持件50上。噴嘴頭8由抗溶劑材料(最好是陶瓷材料)制成，以便噴射一由溶液和有機(jī)物質(zhì)構(gòu)成的溶劑，例如一EL發(fā)光有機(jī)物質(zhì)?？谷軇┦侵缚谷軇└g的性質(zhì)。例如，每個(gè)噴嘴頭8具有64個(gè)帶有極小直徑的噴嘴51。諸噴嘴51沿輔助掃描方向(圖8)以極小的間距對(duì)準(zhǔn)成一行。頭部保持件50包括具有附連于其上的噴嘴頭8R、8G、8B的頭部保持件50R、50G、50B，所述噴嘴頭分別噴射紅色液體、綠色液體和藍(lán)色液體。沿主掃描方向以預(yù)定間隔互相平行地設(shè)置頭部保持件50R、50G、50B。從最后面的噴嘴51(設(shè)置在基部端側(cè)上)開始，在每個(gè)噴嘴頭8中將噴嘴51從一連續(xù)編號(hào)到六十四。最前面的噴嘴51稱為噴嘴64號(hào)。1號(hào)噴嘴是基準(zhǔn)噴嘴51-1。
沿輔助掃描方向延伸的三塊矩形基板45互相靠近地設(shè)置在頭部支架25上，以便從頭部支架25的前端突起。三個(gè)支承構(gòu)件46借助滑動(dòng)機(jī)構(gòu)47可滑動(dòng)地基本上附連在相應(yīng)基板45的前半部分上。每塊基板45設(shè)有位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48，該機(jī)構(gòu)包括一沿前后方向設(shè)置的位置調(diào)整伺服電動(dòng)機(jī)52?？梢酝ㄟ^關(guān)聯(lián)的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48沿輔助掃描方向細(xì)微地調(diào)整每個(gè)支承構(gòu)件46的位置，該支承構(gòu)件與每個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)47的可移動(dòng)構(gòu)件(圖中未示出)相連。
具有一向下延伸的輸出軸49a的旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49牢固附連在每個(gè)支承構(gòu)件46的前端上。每個(gè)頭部保持件50附連在旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49的輸出軸49a的端部上。頭部保持件50，即噴嘴頭8，通過伺服電動(dòng)機(jī)49并同時(shí)相對(duì)于支承構(gòu)件46圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)，該軸線沿著與液體噴射方向平行的方向延伸并垂直于噴嘴對(duì)準(zhǔn)方向。同時(shí)，如圖8所示，噴嘴頭8圍繞設(shè)置成旋轉(zhuǎn)中心的基準(zhǔn)噴嘴(1號(hào)噴嘴)51-1的位置旋轉(zhuǎn)。控制裝置13基于圖案形成的分辨率控制由旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49所旋轉(zhuǎn)的噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角。
附連在噴嘴頭保持裝置7上的噴嘴頭8包括噴射多種顏色的液滴的噴嘴頭，以形成一發(fā)出預(yù)定顏色的光的EL發(fā)射體層。在實(shí)施例中，噴嘴頭8包括分別噴射紅、綠和藍(lán)色液體的噴嘴頭8R、8G、8B，以形成一全色的EL發(fā)射體層。借助若干管子將紅、綠和藍(lán)色液體從液體供應(yīng)機(jī)構(gòu)12(圖10)供應(yīng)到相應(yīng)的噴嘴頭8R、8G和8B，以使液滴從多個(gè)噴嘴51中噴出。
如圖8和9所示，將噴嘴間尺寸誤差分成1至5級(jí)，噴嘴間尺寸誤差是與噴嘴間尺寸L的設(shè)計(jì)值誤差的數(shù)量，噴嘴間尺寸L是最前面的噴嘴51-64與最后面的噴嘴51-1之間的距離。噴嘴頭8R、8G、8B都被分成與噴嘴間尺寸誤差相同的級(jí)別，它們附連在噴嘴頭保持裝置7上。在通過旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49將噴嘴頭8旋轉(zhuǎn)處在0和60度之間的范圍內(nèi)的一任意角時(shí)，根據(jù)噴嘴頭8R、8G、8B的噴嘴間尺寸誤差的級(jí)別中的中間值誤差來校正旋轉(zhuǎn)角。在計(jì)算噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角時(shí)，通過使用一預(yù)先儲(chǔ)存在控制裝置13中的校正程序，可以用級(jí)別1至5中的中間值誤差(+10、+5、0、-5、-10微米)之一來校正旋轉(zhuǎn)角。為了代替噴嘴間尺寸誤差，可以使用相鄰噴嘴之間的噴嘴間距誤差(即，通過將噴嘴間尺寸誤差除以噴嘴之間的空間數(shù)量所獲得的值)。盡管該實(shí)施例中使用相同級(jí)別的噴嘴間尺寸誤差的噴嘴頭8R、8G、8B，但可以從不同級(jí)別中選擇噴嘴頭8R、8G、8B。將旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49設(shè)置成與噴嘴頭8具有一對(duì)一關(guān)系。因此，可以單獨(dú)校正不同級(jí)別中的噴嘴頭8的誤差，以使所有噴嘴頭8的噴嘴間距變?yōu)橄嗟鹊拈g距。
然后，將敘述維護(hù)室16和設(shè)置在維護(hù)室16中的設(shè)備和裝置。Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6使頭部43的位置通過隔板14的開口14a轉(zhuǎn)換到升高位置UP(圖6)，并保持在升高位置處，以便檢查噴嘴51的噴射狀態(tài)并進(jìn)行維護(hù)。在維護(hù)室16中，使用一噴射檢查機(jī)構(gòu)53來檢查每個(gè)噴嘴頭8R、8G、8B的噴嘴51的噴射狀態(tài)，并且在噴嘴頭保持裝置7上進(jìn)行維護(hù)。
如圖1至4和6所示，維護(hù)室16具有諸如1500毫米的長(zhǎng)度、1500毫米的寬度和700毫米的高度。維護(hù)室16容納Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的主要部分、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36的一部分以及用于檢查和維護(hù)頭部保持件50的噴嘴頭8的檢查/調(diào)整裝置9。檢查/調(diào)整裝置9包括一頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54和噴射檢查機(jī)構(gòu)53。
如圖1至4和16所示，頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54設(shè)置在維護(hù)室16中的隔板14的開口14a的前面。頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54具有一電控氣缸55、一吸收性片材卷繞機(jī)構(gòu)56、一片材卷繞機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)57、一清洗托盤58和一橡膠墊單元59。在噴射檢查機(jī)構(gòu)53檢查噴嘴51(沿噴嘴頭8的輔助掃描方向?qū)?zhǔn))的噴射狀態(tài)時(shí)，頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54與噴射檢查機(jī)構(gòu)53相協(xié)作。
一活動(dòng)工作臺(tái)60將吸收性片材卷繞機(jī)構(gòu)56、清洗托盤58和橡膠墊單元59整體支承于其上?；顒?dòng)工作臺(tái)60通過電控氣缸55沿前后方向移動(dòng)，以將吸收性片材卷繞機(jī)構(gòu)56、清洗托盤58和橡膠墊單元59放置在由噴嘴頭保持裝置7支承的噴嘴頭8的下方，該噴嘴頭保持裝置通過Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6保持在升高位置UP處。
如圖2、3和16所示，吸收性片材卷繞機(jī)構(gòu)56包括一單向離合器驅(qū)動(dòng)輥61、一背部張緊機(jī)構(gòu)63、隨動(dòng)輥64和65以及一支承板66?？蓪碜云木砝@機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)57的驅(qū)動(dòng)力傳送到驅(qū)動(dòng)輥61。背部張緊機(jī)構(gòu)63包括一帶62，該帶設(shè)置在驅(qū)動(dòng)輥61與背部張緊機(jī)構(gòu)63之間，并且沿著與片材卷繞方向相反的方向施加恒定的張力。將一吸收性片材67設(shè)定在驅(qū)動(dòng)輥61和背部張緊機(jī)構(gòu)63的隨動(dòng)輥64、65上，以便由片材卷繞機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)57通過驅(qū)動(dòng)輥61和隨動(dòng)輥64、65被驅(qū)動(dòng)輥61卷繞。吸收性片材67通過摩擦噴嘴表面以便去除粘附在噴嘴表面上的液體和污染物質(zhì)，以使噴嘴表面清潔。
片材卷繞機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)57包括一伺服電動(dòng)機(jī)68、一X方向電動(dòng)機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)69和一氣缸70。伺服電動(dòng)機(jī)68具有一輸出軸68a，該軸外部固定一具有高摩擦系數(shù)的橡皮。X方向電動(dòng)機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)69支承伺服電動(dòng)機(jī)68，以使伺服電動(dòng)機(jī)68可以沿X方向滑動(dòng)。氣缸70移動(dòng)X方向電動(dòng)機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)69，以使伺服電動(dòng)機(jī)68的輸出軸68a的位置在驅(qū)動(dòng)力傳送位置與非傳送位置之間轉(zhuǎn)換。在通過電控氣缸55將活動(dòng)工作臺(tái)60移動(dòng)到一準(zhǔn)備位置(吸收性片材卷繞位置)的同時(shí)，氣缸70將伺服電動(dòng)機(jī)68的輸出軸68a的位置轉(zhuǎn)換到驅(qū)動(dòng)力傳送位置，并且將伺服電動(dòng)機(jī)68的驅(qū)動(dòng)力傳送到驅(qū)動(dòng)輥61的輸入軸，以使吸收性片材67沿圖16的箭頭B所示的方向卷繞。
清洗托盤58包括三個(gè)凹部58B、58G、58R。噴嘴頭8B、8G、8R分別在凹部58B、58G、58R的上方移動(dòng)，以使噴嘴頭8B、8G、8R與凹部58B、58G、58R相對(duì)。在該條件下，通過從噴嘴51中噴射溶劑11可將頭部清潔溶劑11供應(yīng)給噴嘴頭8B、8G、8R，以使噴嘴51清潔。在進(jìn)行噴射狀態(tài)檢查時(shí)，噴嘴頭8B、8G、8R分別在凹部58B、58G、58R的上方移動(dòng)，并且在頭對(duì)頭的基礎(chǔ)上進(jìn)行噴射檢查。因此，在使用噴射檢查機(jī)構(gòu)53進(jìn)行噴射狀態(tài)檢查期間，從噴嘴頭8中噴出的液滴可以儲(chǔ)存在清洗托盤58中，而且不會(huì)散布液滴。橡膠墊單元59包括三個(gè)橡膠墊59B、59G、59R，它們分別在噴嘴頭8B、8G、8R的下方移動(dòng)，并且覆蓋噴嘴頭8B、8G、8R以防止噴嘴51干燥。
如圖1至4和12所示，噴射檢查機(jī)構(gòu)53設(shè)置在維護(hù)室16中的頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54附近。噴射檢查機(jī)構(gòu)53包括一Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)71a、一Y方向閃光移動(dòng)機(jī)構(gòu)71b、掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a和72b、一CCD照相機(jī)73和一閃光裝置74。Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)71a和掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a設(shè)置在隔板14的開口部分14a的左側(cè)，而Y方向閃光移動(dòng)機(jī)構(gòu)71b和掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72b設(shè)置在開口14a的右側(cè)，以便相互面對(duì)。提供CCD照相機(jī)73以便掃描液滴的噴射狀態(tài)。閃光裝置74用光充分照射(foods)CCD照相機(jī)73。
CCD照相機(jī)73設(shè)置在隔壁14的開口部分14a的左側(cè)。用于沿輔助掃描方向移動(dòng)CCD照相機(jī)73的Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)71a以及包括氣缸75、76(圖1)的掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a也設(shè)置在左側(cè)。氣缸76設(shè)置在氣缸75的下方，以使CCD照相機(jī)73可以沿主掃描方向移動(dòng)到位于除基部位置以外的兩個(gè)位置。閃光裝置74設(shè)置在開口部分14a的右側(cè)。用于沿輔助掃描方向移動(dòng)閃光裝置74的Y方向閃光移動(dòng)機(jī)構(gòu)71b以及具有類似于掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a的結(jié)構(gòu)的掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72b也設(shè)置在右側(cè)。
在頭對(duì)頭的基礎(chǔ)上進(jìn)行噴嘴頭8B、8G、8R的噴射狀態(tài)檢查。每個(gè)噴嘴頭8B、8G、8R具有六十四個(gè)沿輔助掃描方向?qū)?zhǔn)成一行的噴嘴51。在該實(shí)施例中，在每個(gè)噴嘴頭8B、8G、8R中，將十六個(gè)噴嘴51看成一組，例如，1號(hào)噴嘴至16號(hào)噴嘴為一組、17號(hào)噴嘴至32號(hào)噴嘴為一組，依此類推。進(jìn)行有關(guān)各組噴嘴51的噴射狀態(tài)檢查。在進(jìn)行噴射狀態(tài)檢查時(shí)，首先，沿輔助掃描方向?qū)CD照相機(jī)73和閃光裝置74設(shè)定在其最初位置處。然后，檢查第一組中的1號(hào)噴嘴至16號(hào)噴嘴的噴射狀態(tài)。然后，向前移動(dòng)CCD照相機(jī)73和閃光裝置74，并且檢查第二組中的17號(hào)噴嘴至32號(hào)噴嘴的噴射狀態(tài)。此后，以類似方式檢查第三和第四組中的噴嘴51。
Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)71a和Y方向閃光移動(dòng)機(jī)構(gòu)71b分別沿輔助掃描方向(Y方向)將CCD照相機(jī)73和閃光裝置74移動(dòng)16個(gè)噴嘴的距離。為了在特定條件下進(jìn)行噴嘴頭8R、8G、8B的噴嘴51的噴射狀態(tài)檢查，總是保持CCD照相機(jī)73和閃光裝置74之間的距離不變，并且在CCD照相機(jī)73與閃光裝置74之間的中點(diǎn)處掃描液滴。因此，相對(duì)于受到噴射狀態(tài)檢查的噴嘴頭8，可將CCD照相機(jī)73和閃光裝置74沿X方向設(shè)置于三個(gè)位置。在檢查噴嘴頭8R的噴射狀態(tài)時(shí)，左側(cè)掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a的氣缸75、76突伸到最大程度，而右側(cè)掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72b的氣缸75、76收縮到最大程度。
在檢查噴嘴頭8G的噴射狀態(tài)時(shí)，左側(cè)掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a的氣缸75、76之一收縮，而右側(cè)掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72b的氣缸75、76之一突伸。在檢查噴嘴頭8B的噴射狀態(tài)時(shí)，左側(cè)掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a的兩個(gè)氣缸75、76收縮到最大程度，右側(cè)掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72b的兩個(gè)氣缸75、76突伸到最大程度。如上所述，可以在掃描液滴的同時(shí)使CCD照相機(jī)73與閃光裝置74之間的距離相對(duì)于受到噴射狀態(tài)檢查的噴嘴頭8總是保持不變。因而，可以增加噴射狀態(tài)檢查的可靠性。
將敘述用于使玻璃基片4放置于原位的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36包括設(shè)置在檢查/調(diào)整階段44中的裝置，以及設(shè)置在圖案形成室15中的X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19和旋轉(zhuǎn)裝置35。
如圖1至4和15所示，玻璃基片4的后緣的右和左轉(zhuǎn)角上設(shè)有大的和小的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1至AM4。掃描對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1至AM4，然后通過控制裝置13分析掃描到的圖像數(shù)據(jù)，以獲得玻璃基片4與原位的偏移量?；讷@得的偏移量，將玻璃基片4設(shè)定在原位。
將低功率的CCD照相機(jī)32a和高功率的CCD照相機(jī)32c設(shè)置于支承板77，以便在檢查/調(diào)整階段44分別掃描玻璃基片4的開口部分14a的左側(cè)上的左側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1、AM3。CCD照相機(jī)32a、32c通過設(shè)置于隔板14的玻璃窗掃描對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1、AM3。CCD照相機(jī)32a、32c的位置可被一氣缸78改變，并且可以根據(jù)玻璃基片4的厚度手工對(duì)焦。
同樣，將低功率的CCD照相機(jī)32b和高功率的CCD照相機(jī)32d設(shè)置于支承板79，以便在檢查/調(diào)整階段44分別掃描開口部分14a的右側(cè)的右側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM2、AM4。CCD照相機(jī)32b、32d通過設(shè)置于隔板14的玻璃窗掃描對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM2、AM4。CCD照相機(jī)32b、32d的位置可被一氣缸80改變，并且可以根據(jù)玻璃基片4的厚度手工對(duì)焦。此外，將一X方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)81和一Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)82設(shè)置成沿X和Y方向單獨(dú)地精確移動(dòng)支承板79上的CCD照相機(jī)32b、32d，以便檢測(cè)右側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM2、AM4，當(dāng)運(yùn)送到原位的玻璃基片4大大偏離正確位置或玻璃基片4的尺寸被改變時(shí)，右側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志的位置有可能沿前后方向或右左方向變化。
當(dāng)放置在基片保持件21上的玻璃基片4在最初設(shè)定位置(原位)對(duì)準(zhǔn)時(shí)，通過右側(cè)和左側(cè)的低功率照相機(jī)32a、32b掃描大的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1、AM2，然后將掃描到的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到控制裝置13?？刂蒲b置13使用一預(yù)定的控制程序分析圖像數(shù)據(jù)，以獲得玻璃基片4沿X方向偏離原位的數(shù)量ΔX、玻璃基片4沿Y方向偏離原位的數(shù)量ΔY以及旋轉(zhuǎn)角圍繞銷22偏離的數(shù)量Δα?；讷@得的偏離量ΔX、ΔY、Δα，通過X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、19和旋轉(zhuǎn)裝置35將玻璃基片4大致定位在原位處。
然后，通過右側(cè)和左側(cè)高功率照相機(jī)32c、32d掃描小的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM3、AM4，然后將掃描到的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到控制裝置13?？刂蒲b置13使用預(yù)定的控制程序分析圖像數(shù)據(jù)，以獲得玻璃基片4沿X方向偏離原位的數(shù)量ΔX、玻璃基片4沿Y方向偏離原位的數(shù)量ΔY以及旋轉(zhuǎn)角圍繞銷22偏離的數(shù)量Δα?；讷@得的偏離量ΔX、ΔY、Δα，通過X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、19和旋轉(zhuǎn)裝置35將玻璃基片4精確定位在原位處。因此，即使在玻璃基片4的厚度或尺寸變化時(shí)，也可以將玻璃基片4精確且穩(wěn)妥地定位在原位處。
將敘述由噴射檢查機(jī)構(gòu)53進(jìn)行的噴射狀態(tài)檢查。如上所述，按噴嘴頭8中的噴嘴組進(jìn)行噴嘴51的噴射狀態(tài)檢查。此外，通過將噴嘴頭保持裝置7升高到檢查/調(diào)整階段44，同時(shí)將噴嘴頭保持裝置7附連在Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的可移動(dòng)構(gòu)件40上，能夠完成噴射狀態(tài)檢查。因此，在用于在玻璃基片4上形成圖案和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的圖案形成過程中、在玻璃基片4的運(yùn)送期間可以通過噴射檢查機(jī)構(gòu)53進(jìn)行噴射狀態(tài)檢查。因此，可以降低發(fā)生缺陷的可能性，以便增加液滴圖案形成裝置1的利用率。
將敘述用于檢查噴嘴51的噴射狀態(tài)是否正常的方法。如圖3、12至14所示，與一組十六個(gè)噴嘴51對(duì)應(yīng)的十六個(gè)觀察窗83沿輔助掃描方向以規(guī)則的間隔設(shè)置在CCD照相機(jī)73的掃描區(qū)域PA中(大約為6.5毫米×5毫米)。將諸觀察窗83設(shè)置在從諸噴嘴51的諸下端向下移動(dòng)到約1.5毫米的位置，并且從一個(gè)60×10象素的陣列產(chǎn)生各觀察窗83。
例如，以大約每秒7米的速度從十六個(gè)噴嘴51中噴出液滴，并且在觀察窗83的區(qū)域內(nèi)掃描該液滴。在那時(shí)，例如，CCD照相機(jī)73大約在第1/10000秒掃描，而閃光周期大約為1微秒。將掃描到的圖像數(shù)據(jù)以信號(hào)發(fā)送到控制裝置13，以便使用預(yù)定的圖像處理程序處理圖像。在該過程中，例如，當(dāng)噴嘴頭8噴出的液滴的大多數(shù)圖像處在觀察窗83(圖13中的1至7、9、10、12至16號(hào)噴嘴)內(nèi)時(shí)，可以確定噴嘴51的噴射狀態(tài)是正常的。當(dāng)液滴的圖像處在觀察窗83(8和11號(hào)噴嘴)之外時(shí)，可以確定噴嘴51的噴射狀態(tài)是反常的。例如，噴射速度的反常、不噴射或污染物質(zhì)積聚在噴嘴表面上(主要是EL聚合物的凝固)會(huì)產(chǎn)生反常噴射。
由設(shè)置在控制裝置13中的主控制單元107執(zhí)行用于通過液滴圖案形成裝置1使用不同記錄分辨率(噴射分辨率)的紅、綠和藍(lán)色液體將點(diǎn)圖案記錄在玻璃基片4上的控制。
假定沿噴嘴51的輔助掃描方向在每個(gè)噴嘴頭8的一行中對(duì)準(zhǔn)的噴嘴間距是每英寸75點(diǎn)(dpi)，噴嘴間距P是P＝(25.4/75)毫米。如圖17所示，當(dāng)諸旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49同時(shí)使三個(gè)頭部保持件50相對(duì)于輔助掃描方向旋轉(zhuǎn)一角度θ時(shí)，沿輔助掃描方向的噴嘴間距Pθ是P×cosθ。因此，通過在0和60度之間的范圍內(nèi)改變角度θ，可使噴嘴間距在P×(1.0)至P×(0.5)的范圍內(nèi)連續(xù)變窄。
a)在希望獲得75與150dpi之間的分辨率時(shí)(見圖18)將噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)定為處在0和60度之間的范圍內(nèi)的適當(dāng)角度，該角度提供理想的分辨率。沿主掃描方向執(zhí)行一條路徑的記錄操作，然后將玻璃基片4向后移動(dòng)(沿著與輔助掃描方向相反的方向)64×P×cosθ，并保持在該位置處。例如，在希望獲得75dpi的分辨率時(shí)，將旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)為0度，在希望獲得150dpi的分辨率時(shí)，將旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)為60度。
b)在希望獲得150與300dpi之間的分辨率時(shí)(見圖19)例如，用以下方式完成150dpi的分辨率的記錄首先，以75dpi的分辨率進(jìn)行記錄操作，然后將頭部保持件50移動(dòng)點(diǎn)劃線所示的一半間距，并且在以76dpi的分辨率形成的圖案上進(jìn)行記錄操作。因此，將噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)定為處在0和60度之間的范圍內(nèi)的適當(dāng)角度，該角度以類似上述方式的方式沿輔助掃描方向提供理想分辨率的一半。然后，沿主掃描方向執(zhí)行一條路徑的記錄操作，然后將玻璃基片4向后移動(dòng)0.5×P×cosθ。在該位置處，執(zhí)行一條路徑的記錄操作，然后將玻璃基片4向后移動(dòng)63.5×P×cosθ，并保持在該位置處。例如，在希望獲得150dpi的分辨率時(shí)，將旋轉(zhuǎn)角設(shè)為0度，在希望獲得300dpi的分辨率時(shí)，將旋轉(zhuǎn)角設(shè)為60度。
c)在希望獲得37.5與75dpi之間的分辨率時(shí)將噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)定為處在0和60度之間的范圍內(nèi)的適當(dāng)角度，該角度提供理想分辨率的兩倍。例如，沿主掃描方向使用奇數(shù)噴嘴51(1、3、5……號(hào)噴嘴)執(zhí)行一條路徑記錄操作。然后，將玻璃基片4向后移動(dòng)64×P×cosθ，并保持在該位置處。例如，在希望獲得37.5dpi的分辨率時(shí)，將旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)定為0度，在希望獲得75dpi的分辨率時(shí)，將旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)定為60度。
上面所述的只是一些設(shè)定分辨率的示例。通過在小間距中進(jìn)行記錄操作可以得到225和450dpi之間或300和600dpi之間的分辨率。如上所述，為了獲得理想的分辨率，通過同時(shí)旋轉(zhuǎn)伺服電動(dòng)機(jī)49，以便在0和60的范圍內(nèi)控制噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角θ。
將敘述用于校正噴嘴間距誤差的控制，該誤差是由使用旋轉(zhuǎn)角θ產(chǎn)生的變化所導(dǎo)致的。通過控制裝置13中的主控制單元107來執(zhí)行該控制。
假定相鄰噴嘴之間的噴嘴間距(設(shè)計(jì)值)是P0，噴嘴的數(shù)量是n，可通過以下方程式來表示最前面的噴嘴與最后面的噴嘴之間的距離(設(shè)計(jì)值)，即噴嘴間尺寸L0L0＝P0×(n-1) (1)假定最前面的噴嘴與最后面的噴嘴之間的距離(測(cè)量值)是L，測(cè)量值L與設(shè)計(jì)值L0的誤差量ΔL是ΔL＝(L-L0)。測(cè)量所有噴嘴頭8的噴嘴間距尺寸L，以獲得誤差量ΔL。將獲得的誤差ΔL分類到上述噴嘴間尺寸誤差的五個(gè)級(jí)別中。
假定沿輔助掃描方向的理想分辨率是R，旋轉(zhuǎn)角是θ，而實(shí)際的噴嘴間距是P1，通過以下方程式來表示實(shí)際的噴嘴間距P1P1＝L/(n-1)＝(ΔL+L0)/(n-1)＝〔ΔL+P0×(n-1)〕/(n-1)＝ΔL/(n-1)+P0當(dāng)旋轉(zhuǎn)角為θ時(shí)，沿輔助掃描方向的噴嘴間距是P1×cosθ。因此，P1×cosθ＝25.4/R＝〔ΔL/(n-1)+P0〕×cosθ，以及θ＝cos-1(25.4/R)/〔ΔL/(n-1)+P0〕也就是說，在理論上可以使用分辨率R計(jì)算出旋轉(zhuǎn)角θ。然而，實(shí)際上，由于噴嘴間距誤差的存在，噴嘴頭8將額外旋轉(zhuǎn)一角度Δθ。在噴嘴頭8旋轉(zhuǎn)之前，通過規(guī)定一理想分辨率和噴嘴間距誤差可以計(jì)算實(shí)際的旋轉(zhuǎn)角θ。
當(dāng)所有噴嘴頭8的噴嘴間尺寸誤差相同時(shí)，可以直接規(guī)定噴嘴間尺寸誤差的數(shù)值。通常，所有噴嘴頭8的噴嘴間尺寸誤差是相同的情況極少。因此，將噴嘴間尺寸誤差分成多個(gè)級(jí)別(例如五個(gè)級(jí)別)，以便于維護(hù)噴嘴頭8。通過為每個(gè)級(jí)別的噴嘴間尺寸誤差的上限值和下限值分等級(jí)，可以獲得中間值誤差。這樣做，可以在多種級(jí)別中從多個(gè)噴嘴頭8的相同誤差級(jí)別中選擇噴嘴頭8。此外，使用一實(shí)際旋轉(zhuǎn)角θ可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行精確的校正，該旋轉(zhuǎn)角可以從相同誤差級(jí)別中的噴嘴頭8的理想分辨率和中間值誤差中獲得。
使用上述方程式獲得旋轉(zhuǎn)角θ，并且使噴嘴頭8旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角θ所處范圍滿足0≤θ≤60°，也就是說，0.5≤cosθ≤1。這樣做，可以校正噴嘴間距誤差。當(dāng)P1×cosθ＝25.4/R＝P0時(shí)，旋轉(zhuǎn)角θ在正常情況下為0度。然而，當(dāng)噴嘴間尺寸L較小時(shí)，P1≤P0，因而cosθ≥1，因此，無法滿足P1×cosθ＝25.4/R＝P0。當(dāng)25.4/R＝P0/2時(shí)，旋轉(zhuǎn)角θ在正常情況下為60度。然而，當(dāng)噴嘴間尺寸L較大時(shí)，P0≤P1，因而cosθ≤0.5，無法滿足25.4/R＝P0/2＝P1×cosθ。也就是說，在該情況下，幾乎將旋轉(zhuǎn)角θ設(shè)為0度，并且執(zhí)行一條路徑的記錄操作和隔行記錄。
下面將敘述液體供應(yīng)裝置12。如圖1、2和10所示，液體供應(yīng)裝置12設(shè)置于液滴圖案形成裝置1的外殼3的一側(cè)，以便向頭部保持件50R、50G、50B供應(yīng)紅、綠和藍(lán)色液體10以及清潔(沖洗)溶劑11。
包括液體容器84R、84G、84B的液體容器84可容納對(duì)應(yīng)顏色的液體10。液體容器84被設(shè)計(jì)成能使液體容器84的升高和降低與Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的上升和下降運(yùn)動(dòng)同步。液體供給裝置12還包括一廢液貯存器85、一用于清潔溶劑11的溶劑容器86和一閥單元87。借助閥單元47將容納在液體容器84R、84G、84B中的紅、綠和藍(lán)色液體10供應(yīng)到噴嘴頭8R、8G、8B，并且分別從噴嘴頭8R、8G、8B中的噴嘴51中噴出。
在清潔噴嘴頭8時(shí)，借助閥單元87還將溶劑容器86中的清潔溶劑11供應(yīng)到噴嘴頭8R、8G、8B，并且從噴嘴51中噴出/吸出。頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54的清洗托盤58中的凹部58R、58G、58B與一管子相連。使用負(fù)壓通過管子吸出廢液，并且將吸出的廢液儲(chǔ)存在廢液貯存器85中。一從廢液貯存器85處延伸出管子88與濕氣分離容器(圖中未示出)相連。分別從液體容器84R、84G、84B處延伸的管子89、90、91以及一從溶劑容器86處延伸出的管子92與壓縮氮?dú)夤芫€(圖中未示出)相連。真空泵或噴射器和排氣裝置產(chǎn)生的負(fù)壓被排放到設(shè)置在一設(shè)備中的有機(jī)風(fēng)道。
液體供應(yīng)機(jī)構(gòu)12的支承框架93設(shè)有一保持件94，該保持件可以由一液體容器上升/下降機(jī)構(gòu)95上下移動(dòng)。液體容器上升/下降機(jī)構(gòu)95具有一電控氣缸，該電控氣缸帶有一金屬風(fēng)箱96。電控氣缸96的桿的尖端連接在保持件94上。電控氣缸96的上下移動(dòng)與Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的上下移動(dòng)同步，使保持構(gòu)件97(97R、97G、97B)移動(dòng)，以使液體容器84R、84G、84B中的液體水平面相對(duì)于噴嘴頭8R、8G、8B的水平面保持在一預(yù)定位置處。提供三個(gè)液體水平面保持機(jī)構(gòu)98，這些機(jī)構(gòu)可以根據(jù)液體容器84R、84G、84B中的液體10的消耗量將液體容器84R、84G、84B中的液體水平面保持在一穩(wěn)定或不變的位置處。將一鎖定機(jī)構(gòu)99設(shè)置于每個(gè)液體水平面保持機(jī)構(gòu)98。
總是將液體容器84R、84G、84B中的每個(gè)液體水平面校正到低于噴嘴51所處位置的基準(zhǔn)位置(例如50毫米)。每個(gè)液體水平面保持機(jī)構(gòu)98包括一沿垂直方向延伸的圓柱形殼體100、一軸構(gòu)件101、一作為彈性構(gòu)件的螺旋壓縮彈簧102、一套筒103以及用于保持液體容器84R、84G、84B的保持構(gòu)件97R、97G、97B。設(shè)置于每個(gè)殼體100的上端的凸緣100a可拆卸地附連在保持件94上。軸構(gòu)件101設(shè)置在每個(gè)殼體100中，以使其整體固定在殼體100上。
諸軸構(gòu)件101的諸上端連接在殼體100中的諸保持構(gòu)件97上。在每個(gè)液體水平面保持機(jī)構(gòu)98中，將一球形花鍵構(gòu)成的套筒103驅(qū)入殼體100。將螺旋壓縮彈簧102設(shè)置在被殼體100、軸構(gòu)件101和套筒103包圍的空間中。通過保持構(gòu)件97彈性支承容納液體10的液體容器84，并且將液體容器84中的液體水平面保持在某個(gè)位置處。隨著液體水平面根據(jù)液體10的消耗量下降，螺旋壓縮彈簧102根據(jù)體10的消耗量將保持構(gòu)件97向上推動(dòng)，以使液體水平面保持在某個(gè)水平面處。
在電控氣缸96上下移動(dòng)保持件94時(shí)，每個(gè)鎖定機(jī)構(gòu)99抑制螺旋壓縮彈簧102產(chǎn)生的振動(dòng)，并且包括一小型氣缸104和一固定在氣缸104的桿的尖端上的墊105。氣缸104處于水平位置固定在殼體100的上半部分的一側(cè)，桿的尖端同時(shí)插入殼體100。通過墊105推動(dòng)套筒103，以便抑制振動(dòng)。液體容器84R、84G、84B、廢液貯存器85和用于噴嘴頭清潔溶劑11的溶劑容器86容納在手套式工作箱106中，并且可以通過一開口(圖中未示出)用新的容器進(jìn)行替換。
將敘述包括液滴圖案形成裝置1的控制裝置13的控制系統(tǒng)。如圖20和21所示，控制裝置13的主控制單元107具有一計(jì)算機(jī)，該計(jì)算機(jī)包括一CPU、一ROM和一RAM，并且儲(chǔ)存了多種控制程序，這些控制程序用于控制設(shè)置在液滴圖案形成裝置1中的照相機(jī)和監(jiān)視器。主控制單元107與一操作板108、一外部?jī)?chǔ)存裝置109和一電源電路110相連。外部?jī)?chǔ)存裝置109存儲(chǔ)將要形成在玻璃基片4上的點(diǎn)圖案的圖像數(shù)據(jù)、液滴圖案形成裝置1的系統(tǒng)常數(shù)和生產(chǎn)管理信息。外部?jī)?chǔ)存裝置還可以是控制裝置13的部件。
主控制單元107通過一輸入/輸出線路111與一數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)112、移動(dòng)脈沖發(fā)生電路113和114、一輸出寄存器115、一輸入寄存器116、一對(duì)準(zhǔn)控制器117、一噴射檢查控制器118和一裝載機(jī)接口(I/F)119相連。DSP112通過一信號(hào)輸出電路120和一驅(qū)動(dòng)電路121與噴嘴頭8R、8G、8B相連。DSP112具有一CPU、一ROM和一RAM。DSP112的ROM儲(chǔ)存用于驅(qū)動(dòng)噴嘴頭8的記錄操作控制程序，以便進(jìn)行記錄操作。
驅(qū)動(dòng)電路121具有一脈沖發(fā)生電路(圖中未示出)，該脈沖發(fā)生電路產(chǎn)生一用于驅(qū)動(dòng)多個(gè)壓電元件的驅(qū)動(dòng)脈沖，所述壓電元件可致動(dòng)多個(gè)噴嘴51。將驅(qū)動(dòng)脈沖的波形設(shè)置成在噴嘴頭8R、8G、8B中共用，或者相對(duì)于噴嘴頭8R、8G、8B單獨(dú)設(shè)置。為了顯示驅(qū)動(dòng)脈沖的波形，將一波形監(jiān)視器122與驅(qū)動(dòng)電路121相連。可以在逐個(gè)噴嘴的基礎(chǔ)上單獨(dú)設(shè)置驅(qū)動(dòng)脈沖的波形。這樣做，可使液滴的噴射量和施加驅(qū)動(dòng)脈沖與噴射墨滴之間的時(shí)間在所有噴嘴51中相同。因而，可以精確控制噴射。
DSP112還與移動(dòng)脈沖發(fā)生電路113相連。通過一放大器(AMP)123a將X軸線性標(biāo)度123輸出的檢測(cè)信號(hào)發(fā)送到DSP112，該X軸線性標(biāo)度可以精確地檢測(cè)通過X軸伺服電動(dòng)機(jī)28驅(qū)動(dòng)的X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20的移動(dòng)量，以便根據(jù)玻璃基片4沿X方向的移動(dòng)進(jìn)行記錄操作。
將一儲(chǔ)存記錄數(shù)據(jù)和相位數(shù)據(jù)(用于設(shè)定一噴射定時(shí)的數(shù)據(jù))的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置124連接到DSP112。數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置124儲(chǔ)存自主控制單元107發(fā)送的數(shù)據(jù)，并且向DSP112輸出數(shù)據(jù)用于記錄操作。
移動(dòng)脈沖發(fā)生電路113與驅(qū)動(dòng)器125至131相連。驅(qū)動(dòng)器125驅(qū)動(dòng)用于X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20的X方向伺服電動(dòng)機(jī)28，該機(jī)構(gòu)可以沿X方向移動(dòng)玻璃基片4。驅(qū)動(dòng)器126驅(qū)動(dòng)用于Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19的Y方向伺服電動(dòng)機(jī)31。驅(qū)動(dòng)器127驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49，驅(qū)動(dòng)器128致動(dòng)沿輔助掃描方向調(diào)整頭部保持件50R、50G、50B的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48。驅(qū)動(dòng)器129驅(qū)動(dòng)一驅(qū)動(dòng)電控氣缸41的Z方向伺服電動(dòng)機(jī)129a，以使噴嘴頭保持裝置7上下移動(dòng)，而驅(qū)動(dòng)器131驅(qū)動(dòng)一驅(qū)動(dòng)電控氣缸96的Z1方向伺服電動(dòng)機(jī)130，用于移動(dòng)液體供應(yīng)機(jī)構(gòu)12的保持件94。通過一放大器150a將一檢測(cè)旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49的旋轉(zhuǎn)的編碼器150連接到驅(qū)動(dòng)器127。
驅(qū)動(dòng)器125基于內(nèi)裝在X方向伺服電動(dòng)機(jī)28中的X方向編碼器27輸出的檢測(cè)信號(hào)和X方向線性標(biāo)度123控制X方向伺服電動(dòng)機(jī)28。類似地，提供一Y方向線性標(biāo)度132，它可以精確檢測(cè)沿Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19的Y方向的移動(dòng)量。驅(qū)動(dòng)器126基于內(nèi)裝在Y方向伺服電動(dòng)機(jī)31的編碼器30輸出的檢測(cè)信號(hào)和Y方向線性標(biāo)度132控制Y方向伺服電動(dòng)機(jī)28。因此，通過X方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)19沿X和Y方向單獨(dú)且精確地移動(dòng)玻璃基片4，并且可以沿X和Y方向精確地控制玻璃基片4的位置。
移動(dòng)脈沖發(fā)生電路114與驅(qū)動(dòng)器134、136、138、140、141相連。驅(qū)動(dòng)器134驅(qū)動(dòng)調(diào)整式伺服電動(dòng)機(jī)133，使用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1至AM4用于調(diào)整玻璃基片4到達(dá)原位。驅(qū)動(dòng)器136驅(qū)動(dòng)一移動(dòng)式伺服電動(dòng)機(jī)135，該伺服電動(dòng)機(jī)用于移動(dòng)將要用于噴射狀態(tài)檢查的CCD照相機(jī)73，而驅(qū)動(dòng)器138驅(qū)動(dòng)一移動(dòng)式伺服電動(dòng)機(jī)137，該伺服電動(dòng)機(jī)用于移動(dòng)用于噴射狀態(tài)檢查的閃光裝置74。驅(qū)動(dòng)器140驅(qū)動(dòng)一用于移動(dòng)頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54的移動(dòng)式伺服電動(dòng)機(jī)139，而驅(qū)動(dòng)器141驅(qū)動(dòng)一用于卷繞吸收性片材67的卷繞機(jī)伺服電動(dòng)機(jī)68。
如圖20和21所示，連接到主控制單元107的輸入/輸出線11與輸出寄存器115、輸入寄存器116、對(duì)準(zhǔn)控制器117、噴射檢查控制器118和裝載機(jī)接口119相連。輸出寄存器115與一繼電器電路143相連，該繼電器電路驅(qū)動(dòng)液體供應(yīng)機(jī)構(gòu)87中的閥單元87的多個(gè)電磁閥(SOL1、SOL2)142。輸入寄存器116與一接口(I/F)145相連，該接口與多個(gè)檢測(cè)開關(guān)(LS1、LS2)144相連。對(duì)準(zhǔn)控制器117與一監(jiān)視器和鍵盤146和四個(gè)CCD照相機(jī)32a至32d相連，這些CCD照相機(jī)使用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志AM1至AM4來調(diào)整玻璃基片4。噴射檢查控制器118驅(qū)動(dòng)用于噴射狀態(tài)檢查的CCD照相機(jī)73和閃光裝置74。裝載機(jī)接口119發(fā)送/接收用于傳送玻璃基片4的進(jìn)/出裝載機(jī)H的信號(hào)。
然后，將敘述用于連續(xù)記錄操作的控制。在連續(xù)記錄操作中，通過在每次記錄操作完成之后用待處理的下一工件(玻璃基片4)替換原工件，可以將點(diǎn)圖案依次記錄在工件上。如圖22和23所示，在連通液滴圖案形成裝置1的主電源并手工操作開關(guān)時(shí)，開始連續(xù)記錄操作的控制。首先，從維護(hù)機(jī)構(gòu)54的橡膠墊(蓋)59B、59G、59R中釋放噴嘴頭8(S1，在下文中，S代表步驟)。然后，確定沿噴嘴頭保持裝置7的Z方向的準(zhǔn)備位置、關(guān)于X、Y方向的和圍繞基片保持件21的銷(旋轉(zhuǎn)軸)22旋轉(zhuǎn)的α方向的準(zhǔn)備位置，然后將基片保持件21移動(dòng)到圖2所示的準(zhǔn)備位置21b，并且將噴嘴頭保持裝置7移動(dòng)到圖6所示的準(zhǔn)備位置HP(S2)。
確定有關(guān)玻璃基片4的所有處理(記錄操作)是否完成(S3)。在完成所有處理時(shí)(S3是)，流向S5。在S5中，使用噴射檢查機(jī)構(gòu)53和頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54進(jìn)行噴射狀態(tài)檢查，如圖24和25所示。然后，將檢查結(jié)果記錄在玻璃基片歷史中(S6)，并且流向S7。在S7中，確定有關(guān)放置在基片保持件21上的玻璃基片4的所有操作是否完成(S7)。在完成所有處理時(shí)(S7是)，噴嘴頭8R、8G、8B接觸橡膠墊59R、59G、59B(S14)，然后完成控制。
在S3中，在未完成所有處理時(shí)(S3否)，確定基片保持件21上的工件(玻璃基片4)是否與先前的工件相同(玻璃基片4的尺寸或?qū)⒂糜谟涗洸僮鞯狞c(diǎn)圖案是否與先前相同)(S4)。在確定工件與先前的工件相同時(shí)(S4是)，并列地進(jìn)行S5的處理及S5之后的步驟和S17的處理及S17之后的步驟。在S5和隨后的步驟中，確定噴嘴51的噴射狀態(tài)是否正常(S8)。當(dāng)噴射狀態(tài)正常時(shí)(S8是)，流向圖23所示的S21。在噴射狀態(tài)不正常時(shí)(S8否)，流向S9。在S9中，確定清洗和擦拭操作的設(shè)定時(shí)間量是否完成。如果沒有(S9否)，使用頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54進(jìn)行從噴嘴51中噴出清潔溶劑11的清洗操作和擦拭操作，同時(shí)由Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6將噴嘴頭保持裝置7的頭部43保持在升高位置處(S10)。
此后，進(jìn)行上述噴射檢查(S11)，然后流回到S8。在噴嘴51的噴射狀態(tài)正常時(shí)(S8是)，流向S21。在噴射狀態(tài)不正常時(shí)(S8否)，確定清洗和擦拭操作的設(shè)定時(shí)間量是否完成(S9)。在未完成清洗和擦拭操作的設(shè)定時(shí)間量時(shí)(S9否)，重復(fù)S10、S11和S8中的處理，直到在S9中得到肯定的判斷。在完成清洗和擦拭操作的設(shè)定時(shí)間量并得到肯定的判斷時(shí)(S9是)，確定是否可以使用一替代噴嘴進(jìn)行記錄操作(S12)。在得到肯定的判斷時(shí)(S12是)，流向圖23所示的S21。在無法使用替代的噴嘴進(jìn)行記錄操作時(shí)(S12否)，進(jìn)行生產(chǎn)停止過程(S13)。然后，完成控制。此時(shí)，即使S17至S20的所有過程都未完成，與S5至S13的過程并列進(jìn)行的S17至S20的過程也停止在S13的執(zhí)行位置處。然后，如圖2所示，通過X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、19將基片保持件21和玻璃基片4移動(dòng)到準(zhǔn)備位置。此后，基片提升機(jī)構(gòu)23將玻璃基片4從基片保持件21處升高一預(yù)定距離，以通過玻璃基片4到達(dá)裝載機(jī)H。然后，完成控制。
在圖23所示的S21中，由Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6使噴嘴頭保持裝置7的頭部43向下移動(dòng)到下降位置(記錄位置)。然后，基于S15(S22)中輸入的設(shè)定相關(guān)數(shù)據(jù)，由相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49使三個(gè)噴嘴頭8同時(shí)旋轉(zhuǎn)一角度θ。此后，流向S23。
回到S4，如圖22所示，當(dāng)放置在基片保持件21上的工件與先前的工件不同時(shí)(當(dāng)玻璃基片4的形狀與先前不同時(shí)，即使其形狀與先前相同，玻璃基片4的尺寸也與先前的玻璃基片4的尺寸不同，或者即使其形狀和尺寸與先前相同，用于當(dāng)前待處理的玻璃基片4的點(diǎn)圖案也與先前不同)(S4否)，流向S15。在S15中，將主控制單元107中形成的所有相關(guān)數(shù)據(jù)(所有與記錄操作相關(guān)的數(shù)據(jù))輸入主控制裝置中的RAM、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置124和寄存器(圖中未示出)。輸入限定諸如圖11A至11C所示的將要噴射在記錄介質(zhì)上的紅、綠和藍(lán)色液體的噴射位置的點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)、分辨率數(shù)據(jù)和噴射開始位置數(shù)據(jù)。然后，在S16中，進(jìn)行獲得包括在相關(guān)數(shù)據(jù)中的旋轉(zhuǎn)角θ和旋轉(zhuǎn)角φG、φB的處理。
旋轉(zhuǎn)角θ是噴嘴頭8R、8G、8B的旋轉(zhuǎn)量。旋轉(zhuǎn)角φG、φB是位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48的伺服電動(dòng)機(jī)52的輸出軸的旋轉(zhuǎn)數(shù)量，以便在相對(duì)于紅色點(diǎn)沿輔助掃描方向使綠和藍(lán)色點(diǎn)的位置略微移動(dòng)一個(gè)象素時(shí)，借助滑動(dòng)機(jī)構(gòu)47使用相應(yīng)的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48沿輔助掃描方向使噴嘴頭8G、8B單獨(dú)移動(dòng)各自設(shè)定的微小距離。通過進(jìn)行S16的處理，使噴嘴頭8旋轉(zhuǎn)設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角θ，并且僅使噴嘴頭8G、8B沿輔助掃描方向移動(dòng)設(shè)定的微小距離。在S16以后，同時(shí)流向S5和S17。然后，和S17至S20的處理并列地進(jìn)行S5的處理及隨后的步驟。
如圖22和23所示，在S17中，由裝載機(jī)H將玻璃基片4運(yùn)送到位于圖2所示的準(zhǔn)備位置21b上的基片保持件21，然后通過將玻璃基片吸到基片保持件21以使其安裝在基片保持件21上。然后，通過相對(duì)于X、Y和α軸線控制基片保持件21和玻璃基片4，以使基片保持件21和玻璃基片4移動(dòng)到自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)起始位置(S18)。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)36獲得校正用移動(dòng)量ΔX、ΔY、Δα，并且通過根據(jù)獲得的校正用移動(dòng)量ΔX、ΔY、Δα來校正它們的位置，以使玻璃基片4和基片保持件21初始化到原位(S19)。此后，通過X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、19將玻璃基片4的記錄操作起始點(diǎn)定位到基準(zhǔn)噴嘴51-1(S20)。然后，流向S23。
現(xiàn)在將敘述S23的處理及隨后的步驟。在完成S20和S22的過程以后，進(jìn)行S23的過程及隨后的步驟。在S23中，確定噴射狀態(tài)是否正常。在確定噴射狀態(tài)正常時(shí)(S23是)，在S24中進(jìn)行正常的記錄操作。在正常的記錄操作期間，玻璃基片4和噴嘴頭8沿主和輔助掃描方向相對(duì)移動(dòng)，以便在玻璃基片4上形成一圖案。然后，流向S25。在S23中，在確定噴射狀態(tài)不正常時(shí)(S23否)，進(jìn)行跳過記錄操作(S28)。在跳過記錄操作中，用一些受控未致動(dòng)的噴嘴51進(jìn)行記錄操作。例如，首先，只使用奇數(shù)噴嘴(例如1、3、5……號(hào)噴嘴)執(zhí)行一條路徑的記錄操作，然后執(zhí)行一條路徑的隔行記錄操作。
在S29中，產(chǎn)生用于替代噴嘴記錄操作的數(shù)據(jù)，并將其輸入數(shù)據(jù)儲(chǔ)存裝置124的頁面儲(chǔ)存器和寄存器。在替代的噴嘴記錄中，例如，當(dāng)1和2號(hào)噴嘴無法使用時(shí)，3和4號(hào)噴嘴可用作1和2號(hào)噴嘴的替代品，以便另外地進(jìn)行記錄操作。在S30中，使用替代的噴嘴進(jìn)行記錄操作，然后流向S25。在S25中，將目前處理的玻璃基片4的歷史數(shù)據(jù)記錄在主控制單元107的存儲(chǔ)器中。然后，在S26中，由三個(gè)旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49將噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)角θ初始化到0度。在S27中，由Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6將噴嘴頭保持裝置7升高到準(zhǔn)備位置(原位)HP。此后，流回到S3。
與S26和27并列，如圖2所示，由X和Y方向基片移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、19將基片保持件21和玻璃基片4移動(dòng)到準(zhǔn)備位置21b(S31)。然后，在S32中，基片提升機(jī)構(gòu)23將玻璃基片4提升到與基片保持件2 1相距一預(yù)定距離，以使玻璃基片4通過到達(dá)裝載機(jī)H。然后，在S33中，使基片保持件21和玻璃基片4沿著與基片保持件21和玻璃基片4在S19中的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)校正用移動(dòng)量ΔX、ΔY、Δα。然后，流回到S3。
然后，將敘述噴射狀態(tài)檢查過程。如圖24所示，噴射狀態(tài)檢查開始，然后在S40中，確定是否由Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6使頭部保持裝置7的頭部43位于升高位置。當(dāng)頭部43沒有位于升高位置時(shí)(S40否)，由Z方向頭部保持件移動(dòng)機(jī)構(gòu)6使頭部43移動(dòng)到升高位置(S41)。當(dāng)頭部43位于升高位置時(shí)(S40是)或在S41之后，確定是否頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54位于檢查位置(S42)。當(dāng)頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54沒有位于檢查位置時(shí)(S42否)，將頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54移動(dòng)到檢查位置(S43)。
在確定頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54位于檢查位置時(shí)(S42是)或在S43之后，進(jìn)行有關(guān)噴嘴頭8R、8G、8B的噴射狀態(tài)檢查(S44至S46)。以后將敘述噴射狀態(tài)檢查的細(xì)節(jié)。然后，將Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)71a、Y方向閃光移動(dòng)機(jī)構(gòu)71b和噴射檢查機(jī)構(gòu)53的掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a、72b移動(dòng)到其自身的準(zhǔn)備位置，即CCD照相機(jī)73和閃光裝置74移動(dòng)到它們的準(zhǔn)備位置(S47)。此后，將頭部維護(hù)機(jī)構(gòu)54移動(dòng)到準(zhǔn)備位置(S48)。同時(shí)，完成控制。
結(jié)合圖25敘述有關(guān)噴嘴頭8R、8G、8B的噴射狀態(tài)檢查。以類似方式在所有噴嘴頭8R、8G、8B上進(jìn)行噴射狀態(tài)檢查。因此，作為一個(gè)示例，下面只敘述噴嘴頭8R的噴射狀態(tài)檢查。
如圖25所示，噴射狀態(tài)檢查開始，然后，首先，將位置Ri(是1、…、4)設(shè)至掃描位置寄存器(S50)。使用Y方向照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)71a、Y方向閃光移動(dòng)機(jī)構(gòu)71b和噴射檢查機(jī)構(gòu)53的掃描位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)72a、72b將CCD照相機(jī)73和閃光裝置74移動(dòng)到位置Ri(S51)。然后，向噴嘴頭8R的第i組中的16個(gè)噴嘴51發(fā)出一噴射指令(S52)。位置Ri對(duì)應(yīng)第i組中的噴嘴51。在S50中，將一計(jì)數(shù)器i設(shè)定為1。
在S52之后，將時(shí)間T1α和時(shí)間T2β分別設(shè)定于定時(shí)器T1和定時(shí)器T2。在S53中，確定經(jīng)過的時(shí)間是否等于或超過設(shè)定時(shí)間T1α。在確定經(jīng)過的時(shí)間等于或超過設(shè)定時(shí)間T1α?xí)r(S53是)，釋放CCD照相機(jī)37的快門以進(jìn)行掃描(S54)。在S55中，確定經(jīng)過的時(shí)間是否等于或超過設(shè)定時(shí)間T2β。在確定經(jīng)過的時(shí)間等于或超過設(shè)定時(shí)間T2β時(shí)(S55是)，致動(dòng)閃光裝置74使其閃光，以用于掃描(S56)。設(shè)定時(shí)間T1α和設(shè)定時(shí)間T2β基本上是相同的微小(非常小)時(shí)間。
在S54和S56的過程之后，處理十六個(gè)噴嘴51的液體噴射狀態(tài)的圖像數(shù)據(jù)，以確定噴射狀態(tài)是否正常，并且將檢查結(jié)果顯示在操作板108的顯示器上(S57)。當(dāng)液滴的圖像處在CCD照相機(jī)73的觀察窗83內(nèi)時(shí)，可以確定噴射狀態(tài)正常。另一方面，當(dāng)液滴的圖像處在觀察窗83以外時(shí)，可以確定噴射狀態(tài)不正常。為每個(gè)噴嘴頭41作出判斷。然后，使計(jì)數(shù)器i增加1(S58)。此后，確定所有組(第一至第四組)中的噴嘴51的噴射掃描是否完成(S59)。在作出否定的判斷時(shí)(S59否)，流回到S51，并且進(jìn)行隨后的步驟。如上所述，依次進(jìn)行有關(guān)十六個(gè)噴嘴的諸組(從第一組到第四組)中的噴嘴51的噴射狀態(tài)檢查。在完成有關(guān)所有組的噴射狀態(tài)檢查時(shí)(S59是)，將CCD照相機(jī)73和閃光裝置74移動(dòng)到準(zhǔn)備位置(S60)。然后，完成控制。
在玻璃基片4上形成圖案時(shí)，噴嘴頭8R、8G、8B由三個(gè)旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49同時(shí)沿輔助掃描方向旋轉(zhuǎn)。使用該結(jié)構(gòu)，通過沿輔助掃描方向移動(dòng)噴嘴頭8R、8G、8B可以將輔助掃描方向中的噴射間距調(diào)整到理想的噴射間距。此后，通過相對(duì)于玻璃基片4沿主掃描方向移動(dòng)噴嘴頭保持裝置7執(zhí)行一條路徑的記錄操作。然后，相對(duì)于玻璃基片4沿輔助掃描方向移動(dòng)噴嘴頭保持裝置7，并且執(zhí)行一條路徑的記錄操作。輪流進(jìn)行上述操作，以便在玻璃基片4上形成圖案。
特別地，提供多個(gè)沿輔助掃描方向可滑動(dòng)地支承相應(yīng)的支承構(gòu)件46的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)47。另外，提供相對(duì)于支承構(gòu)件46旋轉(zhuǎn)噴嘴頭8的旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49。由位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48沿輔助掃描方向微細(xì)地調(diào)整支承構(gòu)件46的位置。日本公開專利公開No.9-300664揭示了一種液滴圖案形成裝置，該裝置需要手工操作細(xì)調(diào)螺釘，以便在每次沿輔助掃描方向改變一點(diǎn)間距(分辨率)時(shí)沿主掃描方向調(diào)整滑動(dòng)構(gòu)件。然而，由于本發(fā)明的實(shí)施例的液滴圖案形成裝置1具有上述結(jié)構(gòu)，因此無需在每次沿輔助掃描方向改變一點(diǎn)間距(分辨率)時(shí)手工操作該細(xì)調(diào)螺釘。此外，可以使噴嘴頭8迅速旋轉(zhuǎn)到理想的旋轉(zhuǎn)角。
因此，可以通過旋轉(zhuǎn)噴嘴頭8以獲得點(diǎn)間距的廣闊范圍，以便將分辨率設(shè)定為多種等級(jí)。相應(yīng)的支承構(gòu)件46可旋轉(zhuǎn)地支承噴嘴頭8，以使噴嘴頭8可以方便地附連于支承構(gòu)件46和從其卸離。因而，可以提高噴嘴頭8的可維護(hù)性。
提供可以單獨(dú)控制多個(gè)位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48的位置調(diào)整控制器。因此，由相應(yīng)的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48可以單獨(dú)控制每個(gè)支承構(gòu)件46沿輔助掃描方向的位置，以便精確、微細(xì)地調(diào)整支承構(gòu)件46的位置。也就是說，在根據(jù)理想分辨率將噴嘴頭8R、8G、8B旋轉(zhuǎn)一角度θ時(shí)，每個(gè)噴嘴頭8R、8G、8B的基準(zhǔn)噴嘴51-1的位置不會(huì)改變。圖11A至11C示出了有關(guān)記錄介質(zhì)(玻璃基片4)的噴射點(diǎn)圖案。紅色液滴、藍(lán)色液滴和綠色液滴的位置互相改變，以便由位置調(diào)整機(jī)構(gòu)48沿輔助掃描方向調(diào)整噴嘴頭8。在該調(diào)整中，相對(duì)于特定噴嘴頭8(例如，噴嘴頭8R)中的基準(zhǔn)噴嘴51-1的位置，沿輔助掃描方向調(diào)整其它噴嘴頭8(例如，噴嘴頭8G、8B)中的基準(zhǔn)噴嘴51-1的位置。這樣做，可以通過沿主掃描方向的一條路徑的記錄操作方便地進(jìn)行一行包括紅R、綠G和藍(lán)B點(diǎn)的圖案形成。
另外，同時(shí)控制多個(gè)旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)49以旋轉(zhuǎn)一特定角度，以使多個(gè)以預(yù)定間距沿主掃描方向?qū)?zhǔn)的噴嘴頭8不會(huì)互相妨礙。多個(gè)噴嘴頭8包括各自噴射相應(yīng)顏色的液滴的噴嘴頭，用于形成一EL發(fā)射體層。因此，不必提供用于單獨(dú)形成一EL發(fā)射體層的過程。因而，可以改進(jìn)液滴圖案形成裝置1的生產(chǎn)能力，以便能夠生產(chǎn)全色的EL基片。
將敘述與上述實(shí)施例部分不同的變化型式。噴嘴頭可以包括一噴射液滴的噴嘴頭，用于形成一空穴傳輸層。然而，當(dāng)空穴傳輸部分與一EL發(fā)射體部分液態(tài)結(jié)合，以形成一包括空穴傳輸部分和EL發(fā)射體部分的層時(shí)，不可單獨(dú)地形成空穴傳輸層?？梢杂蓡螇K基板可滑動(dòng)地支承三個(gè)支承構(gòu)件。為了代替介質(zhì)運(yùn)送機(jī)構(gòu)24，可以設(shè)置一沿X和Y方向(主掃描方向和輔助掃描方向)互相相對(duì)地移動(dòng)噴嘴頭8和玻璃基片4的機(jī)構(gòu)。例如，可以沿主掃描方向移動(dòng)噴嘴頭8，并且沿輔助掃描方向移動(dòng)基片保持件21。
盡管已經(jīng)結(jié)合其特定實(shí)施例詳細(xì)敘述了本發(fā)明，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚的是，在不背離本發(fā)明的精神的情況下，可以在其中進(jìn)行多種變化和修改。
權(quán)利要求
1.一種液滴圖案形成裝置，它包括多個(gè)噴嘴，所述噴嘴將液滴噴射在記錄介質(zhì)上；多個(gè)噴嘴頭，所述噴嘴頭以預(yù)定間距沿主掃描方向?qū)?zhǔn)，并且具有多個(gè)沿著垂直于主掃描方向的輔助掃描方向?qū)?zhǔn)的噴嘴；多個(gè)支承構(gòu)件，所述支承構(gòu)件可旋轉(zhuǎn)地支承相應(yīng)的噴嘴頭；多個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置使相應(yīng)的噴嘴頭相對(duì)于所述支承構(gòu)件圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)，該軸線沿著平行于液滴噴射方向并垂直于噴嘴對(duì)準(zhǔn)方向的方向延伸；多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)沿輔助掃描方向可滑動(dòng)地支承多個(gè)支承構(gòu)件；以及多個(gè)位置調(diào)整裝置，所述位置調(diào)整裝置借助滑動(dòng)機(jī)構(gòu)沿輔助掃描方向微細(xì)地調(diào)整支承噴嘴頭的相應(yīng)支承構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1所述的液滴圖案形成裝置，其特征在于，它還包括一位置調(diào)整機(jī)構(gòu)控制器，所述控制器單獨(dú)控制多個(gè)位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述的液滴圖案形成裝置，其特征在于，它還包括一旋轉(zhuǎn)裝置控制器，所述控制器控制旋轉(zhuǎn)裝置，以使旋轉(zhuǎn)裝置將諸所述噴嘴頭同時(shí)旋轉(zhuǎn)一設(shè)定角度。
4.如權(quán)利要求1所述的液滴圖案形成裝置，其特征在于，多個(gè)噴嘴頭的每個(gè)噴嘴頭噴射多種顏色的單色液滴，以形成一發(fā)出多種預(yù)定色光的電致發(fā)光發(fā)射體層。
5.如權(quán)利要求1所述的液滴圖案形成裝置，其特征在于，多個(gè)噴嘴頭包括一噴嘴頭，所述噴嘴頭噴射用于形成一空穴傳輸層的液滴。
6.一種在記錄介質(zhì)上形成微滴圖案的裝置，它包括一可移動(dòng)構(gòu)件；一安裝構(gòu)件，所述安裝構(gòu)件安裝在所述可移動(dòng)構(gòu)件上；多塊基板，每塊基板互相聯(lián)合；一支承構(gòu)件，所述支承構(gòu)件可滑動(dòng)地安裝在所述基板上；一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述支承構(gòu)件沿一第一方向滑離所述可移動(dòng)構(gòu)件，一第二方向與所述第一方向相反；一旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件處于所述支承構(gòu)件的一端，該端部遠(yuǎn)離支承構(gòu)件可滑動(dòng)地安裝于基板的位置，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件具有一輸出軸；一頭部保持件，所述頭部保持件安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸的一端；以及一噴嘴頭，所述噴嘴頭具有多個(gè)安裝于頭部保持件的一側(cè)的噴嘴，該側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)軸的安裝相對(duì)；以及一控制單元，所述控制單元確定并控制每個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述第一和第二方向是裝置的輔助掃描方向。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，它還包括一第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿一第三方向和一與第三方向相反的第四方向移動(dòng)所述可移動(dòng)構(gòu)件，所述第三和第四方向與所述第一和第二方向垂直。
9.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一伺服電動(dòng)機(jī)。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括一螺紋輸出軸，所述輸出軸接納在所述支承構(gòu)件的一內(nèi)螺紋開口中。
11.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴頭的一第一噴嘴對(duì)準(zhǔn)所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的輸出軸的一軸線。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于，多個(gè)噴嘴沿所述噴嘴頭延伸遠(yuǎn)離所述可移動(dòng)構(gòu)件和軸線。
13.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述控制單元確定和控制所述可移動(dòng)構(gòu)件沿一第五方向和一與第五方向相反的第六方向的移動(dòng)，第五和第六方向橫越第一至第四方向的每個(gè)方向。
14.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件可以使所述頭部保持件在至少0°和±30°之間相對(duì)于第一和第二方向旋轉(zhuǎn)。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，0°對(duì)準(zhǔn)第一和第二方向。
16.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件可以使所述頭部保持件在至少0°和±30°之間相對(duì)于第一和第二方向旋轉(zhuǎn)。
17.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，所述控制單元控制每個(gè)旋轉(zhuǎn)構(gòu)件以旋轉(zhuǎn)所述頭部保持件，以使所有頭部保持件同時(shí)旋轉(zhuǎn)一設(shè)定角度。
18.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，有三塊基板。
19.如權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于，所述控制單元控制每個(gè)旋轉(zhuǎn)構(gòu)件以旋轉(zhuǎn)所述頭部保持件，以使所有頭部保持件同時(shí)旋轉(zhuǎn)一設(shè)定角度。
20.如權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于，每個(gè)與三塊基板中的一塊基板相連的噴嘴頭噴射一種不同顏色的電致發(fā)光墨水。
全文摘要
一種液滴圖案形成裝置，它包括多個(gè)支承構(gòu)件、旋轉(zhuǎn)式伺服電動(dòng)機(jī)、滑動(dòng)機(jī)構(gòu)和位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。支承構(gòu)件可旋轉(zhuǎn)地支承噴嘴頭。伺服電動(dòng)機(jī)使相應(yīng)的噴嘴頭相對(duì)于支承構(gòu)件圍繞一軸線旋轉(zhuǎn)，該軸線沿著平行于噴嘴頭的液滴噴射方向并垂直于噴嘴頭中的噴嘴對(duì)準(zhǔn)方向的方向延伸?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)沿輔助掃描方向可滑動(dòng)地支承相應(yīng)的支承構(gòu)件。
文檔編號(hào)B41J19/14GK1409131SQ021438
公開日2003年4月9日 申請(qǐng)日期2002年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月28日
發(fā)明者后藤誠(chéng) 申請(qǐng)人:兄弟工業(yè)株式會(huì)社