專利名稱:復(fù)合基板以及復(fù)合基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種復(fù)合基板以及復(fù)合基板的制造方法。
背景技術(shù):
以往公知有在由支撐基板和壓電基板貼合而成的復(fù)合基板上,設(shè)置電極以制作彈性波元件的技術(shù)。這里,彈性波元件作為例如手機(jī)等的通信設(shè)備的帶通濾波器來使用。例如在專利文獻(xiàn)I中,記載了使用鈮酸鋰或鉭酸鋰作為壓電基板、使用硅或石英等作為支撐基板的復(fù)合基板。另外,還記載了使用由旋涂法涂布的紫外線硬化粘結(jié)劑來將壓電基板和支撐基板貼合的方法?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I特開2006-319679號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問題但是,通過旋涂法在支撐基板上涂布粘結(jié)劑的話,由于旋涂時(shí)的離心力,在被涂布的粘結(jié)劑的外周部產(chǎn)生凸起部分。這樣介由有凸起部分的粘結(jié)劑來粘結(jié)支撐基板和壓電基板的話,在凸起部分會(huì)發(fā)生粘結(jié)不良,有時(shí)會(huì)導(dǎo)致支撐基板和壓電基板剝離。通常認(rèn)為產(chǎn)生這樣的剝離是因?yàn)樵谡辰Y(jié)層的凸起部分和壓電基板之間進(jìn)入了氣泡。本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的,其主要目的在于,對(duì)于介由在外周部存在凸起部分的粘結(jié)層而粘結(jié)的支撐基板和壓電基板,良好地保持其粘結(jié)狀態(tài)。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明中,為了達(dá)到上述目的采用了以下的方法。本發(fā)明的復(fù)合基板是壓電基板和支撐基板介由粘結(jié)層粘結(jié)而成的復(fù)合基板,所述粘結(jié)層包括平坦部分和形成于該平坦部分的外周部的凸起部分,所述壓電基板包括與所述粘結(jié)層的所述平坦部分粘結(jié)的第一面和該第一面的相反側(cè)的第二面,該壓電基板避開所述凸起部分粘結(jié)于所述支撐基板。雖然該復(fù)合基板在粘結(jié)層的外周部存在凸起部分,但壓電基板避開該凸起部分粘結(jié)于支撐基板。因此,粘結(jié)層的凸起部分和壓電基板之間難以進(jìn)入氣泡。由此,可以防止由這樣的氣泡而引起的剝離。因此,可以良好地保持介由在外周部存在凸起部分的粘結(jié)層而粘結(jié)的支撐基板和壓電基板的粘結(jié)狀態(tài)。本發(fā)明的復(fù)合基板的所述壓電基板中,該壓電基板的第一面的外周緣與所述粘結(jié)層的所述凸起部分和所述平坦部分的邊界相接。由此,作為壓電基板與粘結(jié)層的接合面的第一面的端部通過粘結(jié)層的凸起部分而被保護(hù)。因此,可以防止由在清洗復(fù)合基板時(shí)所使用的酸或堿溶液造成的壓電基板和粘結(jié)層的剝離。本發(fā)明的復(fù)合基板中,該壓電基板形成有膨出部,使得將該壓電基板的所述第一面向著該壓電基板的第二面按垂直方向投影的話,該第一面進(jìn)入該第二面的內(nèi)側(cè)。由此,可以防止在對(duì)復(fù)合基板進(jìn)行熱處理時(shí),壓電基板產(chǎn)生裂紋。其理由推測(cè)如下。即,壓電基板存在膨出部,使得相比于由粘結(jié)層粘結(jié)于支撐基板的壓電基板的第一面,沒有被粘結(jié)的壓電基板的第二面更大,自由度高的第二面一側(cè)的體積比較大。由此推測(cè),由于存在該膨出部, 使得被加熱時(shí),支撐基板以及壓電基板的膨脹 收縮而產(chǎn)生的端部的應(yīng)力能夠緩和。在這種情況下,所述壓電基板中,該壓電基板的所述第一面與該壓電基板的外周面所成的角為鈍角。本發(fā)明的復(fù)合基板的制造方法,包括如下工序(a)準(zhǔn)備壓電基板的工序;(b)通過旋涂法在支撐基板涂布粘結(jié)劑的工序;(c)通過所述粘結(jié)劑將所述支撐基板和所述壓電基板貼合形成復(fù)合基板的工序,所述工序(a)中準(zhǔn)備的壓電基板包括第一面,該壓電基板形成為如下形狀,該形狀使得在進(jìn)行所述工序(C)的所述壓電基板的貼合時(shí),該第一面能夠與所述工序(b)中由于旋涂法而產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的平坦部分粘結(jié),并且該壓電基板能夠避開所述工序(b)中由于旋涂法而在所述平坦部分的外周部產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的凸起部分,所述工序(c)中, 所述第一面與所述工序(b)中由于旋涂法而產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的平坦部分粘結(jié),并且該壓電基板避開所述工序(b)中由于旋涂法而在所述平坦部分的外周部產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的凸起部分地進(jìn)行所述貼合。根據(jù)本發(fā)明的復(fù)合基板的制造方法,雖然工序(b)中由于旋涂法而在粘結(jié)劑的外周部產(chǎn)生凸起部分,但在工序(C)中,壓電基板避開該凸起部分地粘結(jié)于支撐基板。因此, 粘結(jié)層的凸起部分和壓電基板之間難以進(jìn)入氣泡。由此,以該制造方法制造的復(fù)合基板可以防止由這樣的氣泡而引起的剝離。因此,可以得到介由在外周部存在凸起部分的粘結(jié)層而粘結(jié)的支撐基板和壓電基板的粘結(jié)狀態(tài)良好的復(fù)合基板。
圖I是復(fù)合基板10的平面圖。
圖2是圖I的A-A線的截面圖。
圖3是示意性地示出復(fù)合基板10制造過程的截面圖。
圖4是表示變形例的復(fù)合基板的概略的截面圖。
圖5是表示變形例的復(fù)合基板的概略的截面圖。
圖6是表示變形例的復(fù)合基板的概略的截面圖。
圖7是表示變形例的復(fù)合基板的概略的截面圖。
圖8是用于工序(a)的磨削前的壓電基板14的截面圖。
圖9是示意性地示出復(fù)合基板40的制造過程的截面圖。具體實(shí)施方式
下面,使用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖I是本發(fā)明的一實(shí)施方式的復(fù)
合基板10的平面圖,圖2是圖I的A-A線的截面圖。本發(fā)明的復(fù)合基板10由多個(gè)基板貼合而構(gòu)成。復(fù)合基板10包括支撐基板12、壓電基板14、粘結(jié)支撐基板12的表面12a和壓電基板14的反面14b的粘結(jié)層16。又,該復(fù)合基板10形成為一處為平面的圓形。該平面的部分是被稱為定向平面(OF)的部分,例如,在彈性表面波器件的制造工序中,在進(jìn)行各操作時(shí)等,用于進(jìn)行晶片的位置、方向的檢測(cè)等。支撐基板12是在作為其上表面的表面12a,通過粘結(jié)層16粘結(jié)壓電基板14,并對(duì)壓電基板14進(jìn)行支撐的基板。支撐基板12的材質(zhì)例如有硅、藍(lán)寶石、氮化鋁、氧化鋁、硼硅酸玻璃、石英玻璃、鉭酸鋰、鈮酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰固溶體單晶、硼酸鋰、硅酸鎵鑭、水晶等。該支撐基板12的熱膨脹系數(shù)比壓電基板14的熱膨脹系數(shù)小。支撐基板12與壓電基板的熱膨脹系數(shù)之差可以為5ppm/°C以上。又,在壓電基板14的熱膨脹系數(shù)為13 20ppm/°C 的情況下,支撐基板12的熱膨脹系數(shù)優(yōu)選為2 7ppm/°C。又,支撐基板12的大小并沒有特別地限定,例如,直徑為50 150mm、厚度為100 500 y m。表面12a是支撐基板12之中與粘結(jié)層16結(jié)合的接合面。又,“表面”是為了說明的方便,也可以例如將表面稱為反面。粘結(jié)層16是粘結(jié)支撐基板12的表面12a和壓電基板14的反面14b的層。在該粘結(jié)層16的外周部存在凸起部分16a。這樣的凸起部分16a是例如成為粘結(jié)層16的粘結(jié)劑以旋涂法在支撐基板12的表面12a涂布時(shí)所產(chǎn)生的。又,粘結(jié)層16的表面中,凸起部分 16a以外的部分為平坦部分16b。即,粘結(jié)層16包括平坦部分16b和形成于平坦部分16b 的外周部的凸起部分16a。粘結(jié)層16的材質(zhì)并沒有特別地限定,優(yōu)選為具有耐熱性的有機(jī)粘結(jié)劑,例如,環(huán)氧類粘結(jié)劑、丙烯類粘結(jié)劑等。壓電基板14是能夠傳播彈性波(尤其是彈性表面波)的基板。壓電基板14的材質(zhì)例如有鉭酸鋰、鈮酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰固溶體單晶、硼酸鋰、硅酸鎵鑭、水晶等。該壓電基板14的反面14b (第一面)與粘結(jié)層16的平坦部分16b粘結(jié),不與凸起部分16a粘結(jié)。 即,壓電基板14避開粘結(jié)層16的凸起部分16a,通過粘結(jié)層16粘結(jié)于支撐基板12。而且, 壓電基板的反面14b的外周緣14c與粘結(jié)層16的凸起部分16a和平坦部分16b的邊界16c 相接。又,該壓電基板14形成有膨出部14d,使得將反面14b相對(duì)于表面14a(第二面)沿垂直方向向表面14a投影的話,則該反面14b進(jìn)入表面14a的內(nèi)側(cè)。S卩,壓電基板14形成有從反面14b向表面14a外周逐漸變大的外周面14e。該外周面14e使得反面14b和外周面14e所成角度0大于90°小于180°,即為鈍角。角0優(yōu)選在110°以上170°以下。 又,反面14b是壓電基板14中與粘結(jié)層16接合的接合面,表面14a是接合面(反面14b) 的相反側(cè)的面。又,“表面”、“反面”只是為了說明的方便,將壓電基板14中與粘結(jié)層16接合的接合面(第一面)稱為表面、接合面的相反側(cè)的面(第二面)稱為反面也是可以的。然后,使用一般的光刻法技術(shù),將復(fù)合基板10分為多個(gè)彈性表面波器件的集合體,之后通過切割切出一個(gè)個(gè)的彈性表面波器件。作為彈性波器件舉例有彈性表面波器件、 蘭姆波元件、薄膜諧振器(FBAR)等。例如,彈性表面波器件在壓電基板14的表面14a,設(shè)有激勵(lì)彈性表面波的輸入側(cè)的IDT(叉指式換能器)電極(梳狀電極、也稱為簾狀電極)和接收彈性表面波的輸出側(cè)的IDT電極。向輸入側(cè)的IDT電極外加高頻信號(hào)的話,電極間產(chǎn)生電場(chǎng),彈性表面波被激勵(lì)之后在壓電基板上傳播。然后,可以從設(shè)于傳播方向的輸出側(cè)的 IDT電極取出傳播的彈性表面波作為電信號(hào)。又,如上所述,支撐基板12的熱膨脹系數(shù)小于壓電基板14的熱膨脹系數(shù)。因此,由這樣的復(fù)合基板10制作的彈性表面波器件,可以由支撐基板12來抑制溫度變化時(shí)的壓電基板11的大小的變化,可以抑制彈性表面波器件的頻率特性的溫度變化。
下面,使用圖3對(duì)這樣的復(fù)合基板10的制造方法進(jìn)行說明。圖3是示意性地示出復(fù)合基板10的制造工序的截面圖。復(fù)合基板10的制造方法包括(a)準(zhǔn)備外周部被磨削了的壓電基板24的工序;(b)通過旋涂法對(duì)準(zhǔn)備的支撐基板12的表面12a涂布粘結(jié)劑的工序;(c)通過粘結(jié)劑將支撐基板12的表面12a和壓電基板24的反面24b貼合以形成復(fù)合基板20的工序。在工序(a)中,準(zhǔn)備作為壓電基板14的壓電基板24(圖3 (a))。作為壓電基板24可以使用上述的材質(zhì)。壓電基板24的大小并沒有特別的限定,可以例如直徑為50 150mm、 厚度為250 500 ii m。又,該壓電基板24預(yù)先被磨削外周(圖3 (a)中的虛線部分)、使反面24b與磨削后的外周面24e所成的角度為角0。角0的取值在后文敘述。又,也可以不進(jìn)行磨削,一開始即準(zhǔn)備圖3(a)中實(shí)線所示形狀的壓電基板24。在工序(b)中,準(zhǔn)備支撐基板12,通過旋涂法在其表面12a涂布作為粘結(jié)層16的粘結(jié)劑26(圖3(b))。作為支撐基板12,可以采用上述的材質(zhì)以及大小。作為粘結(jié)劑26,可以采用上述的粘結(jié)層16的材質(zhì)。又,通過以旋涂法在支撐基板12涂布粘結(jié)劑26,使得在粘結(jié)劑26的外周部形成凸起部分26a,此外的部分為平坦部分26b。在工序(c)中,通過粘結(jié)劑26將支撐基板12的表面12a和壓電基板24的反面24b 貼合,通過使粘結(jié)劑26硬化來形成復(fù)合基板20 (圖3 (c))。粘結(jié)劑26通過這樣的硬化成為粘結(jié)層16。這里,工序(a)準(zhǔn)備的壓電基板24具有一定形狀,該形狀使得在其工序(c)的貼合中避開粘結(jié)劑26的凸起部分26a地與反面24b的平坦部分26b粘結(jié)、且反面24b的外周緣24c與粘結(jié)劑26的凸起部分26a和平坦部分26b的邊界26c相接。因此,對(duì)于貼合后的復(fù)合基板20,壓電基板24的反面24b與平坦部分26b粘結(jié)、與凸起部分26a不粘結(jié)。又, 工序(a)中準(zhǔn)備的壓電基板24的角度0是預(yù)先設(shè)定的值,使得壓電基板24成為能夠向上述那樣貼合的形狀。這里,凸起部分26a的大小由支撐基板12的直徑、粘結(jié)劑26的材質(zhì)、 工序(b)中旋涂法的旋轉(zhuǎn)速度等條件來決定。因此,角0可以基于這些條件,預(yù)先確定能夠避開凸起部分26a進(jìn)行貼合的值。一旦形成復(fù)合基板20,即在工序(d)中,磨削壓電基板24的表面24a(參照?qǐng)D 3(c))使厚度變薄的同時(shí),研磨鏡面(圖3(d))。由此,壓電基板24成為圖I所示的壓電基板14,得到復(fù)合基板10。這里,在上述的工序(a)準(zhǔn)備的壓電基板24沒有形成能夠在工序(C)避開凸起部分26a而貼合的形狀的情況下(例如、沒有進(jìn)行圖3(a)中虛線部分的磨削的情況下),工序 (C)的貼合可能會(huì)產(chǎn)生粘結(jié)不良。這是因?yàn)椋谫N合時(shí)粘結(jié)層16的凸起部分16a和壓電基板24之間進(jìn)入氣泡。與之相對(duì),在本實(shí)施方式的復(fù)合基板10的制造方法中,壓電基板24 形成為可以避開凸起部分26a而在工序(c)中進(jìn)行貼合的形狀,因此可以防止粘結(jié)不良。根據(jù)上述說明的本實(shí)施方式的復(fù)合基板10,雖然在粘結(jié)層16的外周部存在凸起部分16a,但是壓電基板14避開該凸起部分16a而粘結(jié)于支撐基板12。因此,粘結(jié)層16的凸起部分16a和壓電基板14之間難以進(jìn)入氣泡,可以良好地保持支撐基板12和壓電基板 14的粘結(jié)狀態(tài)。又,壓電基板14的反面14b的外周緣14c與凸起部分16a和平坦部分16b的邊界 16c相接。因此,壓電基板14和粘結(jié)層16的接合面的端部由凸起部分16a來保護(hù)。由此, 在清洗復(fù)合基板10的情況下,可以防止由清洗用的酸或堿溶液引起的壓電基板14和粘結(jié)層16的剝離。進(jìn)一步地,壓電基板14形成有膨出部14d,使得反面14b相對(duì)于表面14a在垂直方向向表面14a投影的話,反面14b進(jìn)入表面14a的內(nèi)側(cè)。由此,可以防止對(duì)復(fù)合基板10進(jìn)行熱處理時(shí)壓電基板14產(chǎn)生裂紋。其理由推斷如下,S卩,由于壓電基板14存在膨出部14d, 使得相比于由粘結(jié)層16粘結(jié)于支撐基板12的壓電基板14的反面14b,沒有被粘結(jié)的表面 14a更大,自由度高的表面14a側(cè)的體積比較大。由此推測(cè),由于存在該膨出部14d,使得被加熱時(shí),支撐基板12以及壓電基板14的膨脹 收縮而產(chǎn)生的端部處的應(yīng)力能夠緩和。又,本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式,在屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi),可以以各種形態(tài)實(shí)施。例如、在上述的實(shí)施方式中,粘結(jié)層16的邊界16c與壓電基板14的反面14b的外周緣14c相接,但只要壓電基板14避開凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12,不相接也是可以的。圖4是示出這種情況下的變形例的復(fù)合基板的概略的截面圖。在這種情況下,壓電基板14避開凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12,因此可以得到上述那樣的良好地保持支撐基板 12和壓電基板14的粘結(jié)狀態(tài)的效果。在上述的實(shí)施方式中,角0是鈍角,但角0也可以是銳角。圖5是示出這種情況下的變形例的復(fù)合基板的概略的截面圖。在這種情況下,壓電基板14避開凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12,反面14b的外周緣14c與邊界16c相接,因此,可以得到上述的效果。例如,在上述的實(shí)施方式中,外周面14e在截面視圖中為直線形狀,但是外周面 14e也可以為例如曲線形狀。又,也可以如圖6、7所示,在截面視圖中,在外周面14e形成收縮部14f。對(duì)于這樣的形狀,壓電基板14避開凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12,反面14b 的外周緣14c與邊界16c相接,形成有膨出部14d,因此,可以得到上述的效果。實(shí)施例[實(shí)施例I]在實(shí)施例I中,通過使用圖3說明的制造方法制作圖1,2所示的復(fù)合基板10。首先,在工序(a)中,壓電基板24是具有定向平面部(0F部)、直徑為4英寸、厚度為250 y m 的鉭酸鋰基板(LT基板),準(zhǔn)備像圖3(a)那樣外周磨削了的基板。該LT基板使用以聲表面波(SAW)的傳播方向?yàn)閄,Y旋轉(zhuǎn)46°切,X方向SAW傳播的LT基板。又,如圖8所示,對(duì)于磨削前的LT基板,在從LT基板的外周面向內(nèi)側(cè)300 u m的位置開始倒角,在該位置的倒角角度為20°。磨削是通過將LT基板以真空吸附方式保持在旋轉(zhuǎn)保持臺(tái),使自轉(zhuǎn)的LT基板的外周面與同樣自轉(zhuǎn)的砂輪接觸來進(jìn)行的。通過該磨削,使得LT基板成為圖3(a)中的角 0為120°,壓電基板24的反面24b的直徑小為96mm的形狀。又,角0以及直徑小的值,是通過預(yù)先的預(yù)備實(shí)驗(yàn)查出后續(xù)的工序(b)中粘結(jié)劑26的平坦部分26b的直徑以及凸起部分26a的高度是多少,再通過該結(jié)果來確定的。然后,在工序(b)中,準(zhǔn)備具有OF部、直徑為4英寸、厚度為230 iim的硅基板作為支撐基板12,通過旋涂法將作為粘結(jié)劑26的環(huán)氧類粘結(jié)劑涂布在表面12a。由此,被涂布的粘結(jié)劑26的直徑為100mm。又,粘結(jié)劑26中,平坦部分26b的直徑為98mm,此外的外周部分作為凸起部分26a。凸起部分的高度為0.5 iim。然后,在工序(C)中,涂布了粘結(jié)劑26的支撐基板12的表面12a和壓電基板24 的反面24b通過粘結(jié)劑26而貼合,從壓電基板24側(cè)照射2000mJ的紫外線使其硬化形成復(fù)合基板20。又,如上所述,該貼合是與反面24b的平坦部分26b粘結(jié)并避開壓電基板24的凸起部分26a而進(jìn)行的。硬化后的粘結(jié)層16的厚度為I ii m。然后,在工序(d)中,由研磨機(jī)研磨LT基板直至其厚度為40 iim。研磨機(jī)使用像如下那樣使LT基板的厚度變薄之后再進(jìn)行鏡面研磨的研磨機(jī)。即,在使厚度變薄時(shí),在研磨臺(tái)和壓力板之間夾著復(fù)合基板20,向復(fù)合基板20和研磨臺(tái)之間供給含有研磨粒子的漿液,一邊通過該壓力板將復(fù)合基板20壓向定盤面,一邊讓壓力板自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。然后,進(jìn)行鏡面研磨時(shí),將襯墊粘合在研磨臺(tái)的表面,同時(shí)將研磨粒子變更為粒度號(hào)高的,通過讓壓力板進(jìn)行自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以及公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),對(duì)壓電基板24的表面進(jìn)行鏡面研磨。具體來說,首先,將復(fù)合基板20的LT基板的表面壓向定盤面,自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)速度為lOOrpm、研磨的持續(xù)時(shí)間為60 分,進(jìn)行研磨。然后,將襯墊粘合在研磨臺(tái)的表面,同時(shí)將研磨粒子變更為粒度號(hào)高的,進(jìn)行將磨削后基板壓向定盤面的壓力為0. 2MPa、自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)速度為lOOrpm、公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)速度為lOOrpm、研磨的持續(xù)時(shí)間為60分的鏡面研磨。由此,得到圖1、2所示的復(fù)合基板 10。[實(shí)施例2]在工序(a)中,準(zhǔn)備以彈性表面波的傳播方向?yàn)閄、切出角為旋轉(zhuǎn)Y-CUT板的 42° Y-⑶T X方向傳播的LT基板作為壓電基板24,除此之外,與實(shí)施例I同樣地制作復(fù)合基板10,即為實(shí)施例2。[實(shí)施例3]在工序(a)中,準(zhǔn)備以彈性表面波的傳播方向?yàn)閄、切出角為旋轉(zhuǎn)Y-CUT板的 64° Y-⑶T X方向傳播的鈮酸鋰基板(LN基板)作為壓電基板24,除此之外,與實(shí)施例I同樣地制作復(fù)合基板10,即為實(shí)施例3。[實(shí)施例4]在工序(a)中,磨削成為圖3(a)的角0為95°、壓電基板24的反面24b的直徑小為98mm的形狀作為壓電基板24,除此之外,與實(shí)施例I同樣地制作復(fù)合基板10,即為實(shí)施例4。對(duì)于該實(shí)施例4的復(fù)合基板10,與實(shí)施例I同樣,壓電基板14避開粘結(jié)層16的凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12。[實(shí)施例5]在工序(a)中,磨削成為圖3(a)的角0為150°、壓電基板24的反面24b的直徑小為98_的形狀作為壓電基板24,除此之外,與實(shí)施例I同樣地制作復(fù)合基板10,即為實(shí)施例5。對(duì)于該實(shí)施例5的復(fù)合基板10,與實(shí)施例I同樣,壓電基板14避開粘結(jié)層16的凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12。[比較例I]作為比較例1,對(duì)工序(a)中準(zhǔn)備的LT基板的外周不進(jìn)行磨削,照原樣使用圖8 所示的LT基板,除此之外,與實(shí)施例I同樣地制作復(fù)合基板40。具體來說,首先,如圖9(a) 所示,準(zhǔn)備與圖8所示的LT基板同樣的基板即壓電基板54和與實(shí)施例I同樣的支撐基板 42。然后,在支撐基板42上,以與實(shí)施例I同樣的旋涂法將環(huán)氧類粘結(jié)劑作為粘結(jié)劑56涂布在支撐基板42的表面42a。然后,將涂布了粘結(jié)劑56的支撐基板42的表面42a和壓電基板54的反面54b介由粘結(jié)劑56而貼合。又,壓電基板54的外周沒有被磨削,因此,壓電基板54不能避開粘結(jié)劑56的凸起部分56a,由該貼合,使壓電基板54的反面54b和凸起部分56a成為粘結(jié)了的狀態(tài)。然后,從壓電基板54側(cè)照射2000mJ的紫外線使其硬化成為復(fù)合基板50。硬化后的粘結(jié)層46的厚度為I y m。然后,與實(shí)施例I同樣,如圖9(b)所示,通過研磨機(jī)研磨復(fù)合基板50直到LT基板的厚度為40 u m,由此得到復(fù)合基板40。[評(píng)價(jià)試驗(yàn)]對(duì)于實(shí)施例I 5的復(fù)合基板10以及比較例I的復(fù)合基板40,比較LT基板(實(shí)施例3中為L(zhǎng)N基板)和硅基板的粘結(jié)狀態(tài)。具體來說,對(duì)于復(fù)合基板10、40,使用微分干涉顯微鏡從LT基板(實(shí)施例3中為L(zhǎng)N基板)的表面?zhèn)冗M(jìn)行觀察。對(duì)于復(fù)合基板40,在壓電基板44的表面中的外周部分(位于凸起部分46a的正上方的部分)觀察到干涉條紋。考慮這是因?yàn)樵谕蛊鸩糠?6a和壓電基板44的反面44b之間產(chǎn)生氣泡。另一方面,對(duì)于實(shí)施例I 5的復(fù)合基板10,沒有觀察到上述那樣的干涉條紋。根據(jù)上述的結(jié)果可知,通過使得壓電基板14避開粘結(jié)層16的凸起部分16a粘結(jié)于支撐基板12,可以良好地保持支撐基板 12和壓電基板14的粘結(jié)狀態(tài)。又,根據(jù)實(shí)施例I 5的結(jié)果可知,即使變更壓電基板14的切角、材質(zhì)、或者角9,粘結(jié)層16的凸起部分16a和壓電基板14之間難以進(jìn)入氣泡這一效果也是相同的。符號(hào)說明10、20、40、50 復(fù)合基板,12,42 支撐基板,12a,42a 表面,14、24、44、54 壓電基板, 14a、24a 表面,14b、24b、44b、54b 反面,14c、24c、44c、54c 外周緣,14d、24d 膨出部,14e、24e 外周面,14f收縮部,16、26、46、56粘結(jié)層,16a、26a、46a、56a凸起部分,16b,26b平坦部分, 16c,26c 邊界。
權(quán)利要求
1.一種復(fù)合基板,其是壓電基板和支撐基板介由粘結(jié)層粘結(jié)而成的復(fù)合基板,其特征在于,所述粘結(jié)層包括平坦部分和形成于該平坦部分的外周部的凸起部分,所述壓電基板包括與所述粘結(jié)層的所述平坦部分粘結(jié)的第一面和該第一面的相反側(cè)的第二面,該壓電基板避開所述凸起部分粘結(jié)于所述支撐基板。
2.如權(quán)利要求I所述的復(fù)合基板,其特征在于,所述壓電基板中,該壓電基板的所述第一面的外周緣與所述粘結(jié)層的所述凸起部分和所述平坦部分的邊界相接。
3.如權(quán)利要求I或2所述的復(fù)合基板,其特征在于,所述壓電基板形成有膨出部,使得將該壓電基板的所述第一面向著該壓電基板的所述第二面按垂直方向投影的話,該第一面進(jìn)入該第二面的內(nèi)側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的復(fù)合基板,其特征在于,所述壓電基板中,該壓電基板的所述第一面與該壓電基板的外周面所成的角為鈍角。
5.一種復(fù)合基板的制造方法,其特征在于,包括如下工序(a)準(zhǔn)備壓電基板的工序;(b)通過旋涂法在支撐基板涂布粘結(jié)劑的工序;(C)通過所述粘結(jié)劑將所述支撐基板和所述壓電基板貼合形成復(fù)合基板的工序,所述工序(a)中準(zhǔn)備的壓電基板包括第一面,該壓電基板形成為如下形狀,該形狀使得在進(jìn)行所述工序(C)的所述壓電基板的貼合時(shí),該第一面能夠與所述工序(b)中由旋涂法而產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的平坦部分粘結(jié),并且該壓電基板能夠避開所述工序(b)中由旋涂法而在所述平坦部分的外周部產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的凸起部分,所述工序(C)中,所述第一面與所述工序(b)中由旋涂法而產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的平坦部分粘結(jié),并且該壓電基板避開所述工序(b)中由旋涂法而在所述平坦部分的外周部產(chǎn)生的所述粘結(jié)劑的凸起部分地進(jìn)行所述貼合。
全文摘要
一種復(fù)合基板以及復(fù)合基板的制造方法,其能夠良好地保持介由在外周部存在凸起部分的粘結(jié)層而粘結(jié)的支撐基板和壓電基板的粘結(jié)狀態(tài)。復(fù)合基板(10)是由壓電基板(14)的反面(14b)和支撐基板(12)的表面(12a)介由粘結(jié)層(16)粘結(jié)而成的,粘結(jié)層(16)在外周部存在凸起部分(16a),壓電基板(14)避開凸起部分(16a)粘結(jié)于支撐基板(12)。因此,在粘結(jié)層(16)的凸起部分(16a)和壓電基板(14)之間難以進(jìn)入氣泡。由此,可以防止由這樣的氣泡而引起的剝離。因此,可以良好地保持介由外周部存在凸起部分的粘結(jié)層而粘結(jié)的支撐基板和壓電基板的粘結(jié)狀態(tài)。
文檔編號(hào)B32B37/12GK102582142SQ20111043399
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月22日
發(fā)明者仲原利直 申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社