專利名稱:導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體、導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法以及驅(qū)動器元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體、導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法以及驅(qū)動器元件。
背景技術(shù):
已知發(fā)現(xiàn)了聚吡咯等導(dǎo)電性高分子因電化學性氧化還原而進行伸縮的現(xiàn)象,即, 電解伸縮。近年來,該導(dǎo)電性高分子的電解伸縮在人工肌肉、機械臂、假手、驅(qū)動器等用途中的應(yīng)用受到關(guān)注。導(dǎo)電性高分子通常通過電解聚合方法進行制造。作為電解聚合方法通常施行如下方法向電解液中加入吡咯等單體成分、摻雜劑成分等,在該電解液中設(shè)置聚合作用電極和聚合對置電極,對兩電極施加電壓,從而使導(dǎo)電性高分子在聚合作用電極上形成膜(導(dǎo)電性高分子膜)(例如非專利文獻1)。通過施加電壓,能夠使通過電解聚合而得到的導(dǎo)電性高分子膜進行伸縮、彎曲或扭曲的變位。在專利文獻1中記載了將金屬制彈簧狀構(gòu)件作為導(dǎo)電性基體,將該導(dǎo)電性基體作為聚合作用電極,在聚合作用電極上使導(dǎo)電性高分子進行電解聚合而得到導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體。公開了通過在電解聚合中對聚合作用電極即金屬制彈簧狀構(gòu)件施加電壓,從而使導(dǎo)電性高分子在導(dǎo)電性基體表面進行聚合,由聚合作用電極表面生長出導(dǎo)電性高分子, 填埋構(gòu)成金屬制彈簧狀構(gòu)件的線材間的空間,得到導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體。不僅將通過上述電解聚合法制造的導(dǎo)電性高分子膜用于微型電機等小型的驅(qū)動器中,還用于一次電池用電極、二次電池用電極、電容器用電極、太陽能電池用電極和電致發(fā)光元件等中。在用于前述電容器用電極等中時,需要在電極間配置間隔件,作為該間隔件,使用對電極間賦予絕緣性而且具有離子滲透性的多孔基材等。但是,從裝置的構(gòu)成構(gòu)件整體看,上述間隔件在其占用體積、成本方面占有大比例,進而,從裝置的小型化、低成本化的要求看,在間隔件的設(shè)置的操作性、經(jīng)濟性(成本方面)上具有問題。專利文獻專利文獻1 日本專利第4048236號非專利文獻非專利文獻1 緒方直哉編“導(dǎo)電性高分子”、第8版、SCIENTIFIC株式會社、1990 年2月10日、第70頁 第73頁
發(fā)明內(nèi)容
這樣的情況下,要求開發(fā)出在電極間不必另外設(shè)置間隔件,就能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、成本降低、操作性提高、耐沖擊性也優(yōu)異的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體及其制造方法、以及使用了前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件。
因此,本發(fā)明人對導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的構(gòu)成進行了深入的研究,結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過使用下述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體能夠解決上述課題,從而完成了本發(fā)明。S卩,本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的特征在于,為含有至少1層導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,前述導(dǎo)電性高分子層的表層為絕緣層。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,優(yōu)選前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的形狀為從平面狀、棒狀、桿狀、平面鋸齒狀、折皺狀、鏈狀、線圈狀、彈簧狀、纖維狀、管狀、袋狀、波紋管狀、網(wǎng)眼狀和編織物狀中選擇的至少1種。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,優(yōu)選前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體進一步含有基體。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,優(yōu)選前述導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子在分子鏈中含有吡咯和/或吡咯衍生物。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,優(yōu)選前述基體的形狀為從平面狀、棒狀、桿狀、平面鋸齒狀、折皺狀、鏈狀、線圈狀、彈簧狀、纖維狀、管狀、袋狀、波紋管狀、網(wǎng)眼狀和編織物狀中選擇的至少1種。本發(fā)明的驅(qū)動器元件,優(yōu)選使用前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體。本發(fā)明的驅(qū)動器元件,優(yōu)選前述基體具有伸縮性。本發(fā)明的驅(qū)動器元件,優(yōu)選前述導(dǎo)電性高分子層通過電解伸縮而伸縮、彎曲或扭曲地進行驅(qū)動。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法的特征在于,為含有至少1層導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法。包括形成至少1層前述導(dǎo)電性高分子層的工序和將前述導(dǎo)電性高分子層的表層進行絕緣化處理的工序。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,優(yōu)選前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體進一步含有基體。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,優(yōu)選前述導(dǎo)電性高分子層為至少將吡咯和/或吡咯衍生物進行電解聚合而得到。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,優(yōu)選前述絕緣化處理為從氧化處理、酸處理、堿處理、熱處理、光處理、電子束處理和臭氧處理中選擇的至少1種處理。本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體含有至少1層導(dǎo)電性高分子層,前述導(dǎo)電性高分子層的表層(絕緣層)兼具絕緣性與離子滲透性,因此,前述絕緣層具有作為間隔件的功能,不必另外設(shè)置作為間隔件的構(gòu)件就能夠由同一種導(dǎo)電性高分子形成作為電極部位(電極、電極層)的導(dǎo)電性高分子層和作為間隔件部位的絕緣層,因此,能夠形成電極與間隔件的一體型的電極。另外,使用了前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件等不必另外設(shè)置間隔件,因此,與另外設(shè)置作為間隔件的構(gòu)件的情況相比,能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、成本降低、操作性提高。進而,使用了前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件在驅(qū)動時,在含有基體的情況下能夠得到大的推動力和伸縮率。另外,在所使用的導(dǎo)電性高分子層和作為其表層的絕緣層中沒有接縫,因此,能夠防止在驅(qū)動時導(dǎo)電性高分子層裂開,耐沖擊性也優(yōu)異。另夕卜,本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體不僅能夠用于驅(qū)動器元件中,還能夠用于使用了驅(qū)動器元件的人工肌肉、一次電池用電極、二次電池用電極、電容器用電極、太陽電池用電極和電致發(fā)光元件等中,是有用的。
圖1是本發(fā)明所使用的基體的示意圖。圖2為在本發(fā)明所使用的基體表面形成了導(dǎo)電性高分子層的示意圖。圖3為本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的示意圖。圖4為本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的剖面圖的示意圖。圖5為將本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體作為驅(qū)動對置電極、在其外部配置有圓筒狀的驅(qū)動作用電極的驅(qū)動器元件的狀態(tài)圖。圖6為將本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體作為驅(qū)動對置電極、在其外部配置有板狀的驅(qū)動作用電極的驅(qū)動器元件的狀態(tài)圖。圖7為將本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體作為驅(qū)動對置電極、在其內(nèi)部配置有柱狀的驅(qū)動作用電極的驅(qū)動器元件的狀態(tài)圖。圖8為用于評價本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體有無短路的、以驅(qū)動對置電極和驅(qū)動作用電極密合的方式進行配置的短路評價裝置的狀態(tài)圖。
具體實施例方式(導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體)本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的特征在于,為含有至少1層導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,前述導(dǎo)電性高分子層的表層為絕緣層。應(yīng)予說明,以下使用附圖對本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的形狀、本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體含有基體的形態(tài)進行說明,但并不限于此。圖1中,作為基體1,作為具有伸縮性的結(jié)構(gòu)體的一例,示出線圈結(jié)構(gòu)體(例如金屬制線圈狀構(gòu)件、樹脂制線圈狀構(gòu)件)。圖2表示在前述基體1上覆蓋導(dǎo)電性高分子層2而得的導(dǎo)電性高分子覆蓋基體3。圖3表示對前述導(dǎo)電性高分子覆蓋基體3的導(dǎo)電性高分子層2進行絕緣化處理而形成有絕緣層2”的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4。圖4為在圖2的導(dǎo)電性高分子層2上進一步形成厚度和導(dǎo)電性不同的(更薄、具有更低的導(dǎo)電率)同種導(dǎo)電性高分子層2’且具有對前述導(dǎo)電性高分子層2’進行絕緣化處理而得的絕緣層2”的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4的縱剖面的示意圖。應(yīng)予說明,在形成多層的導(dǎo)電性高分子層時,各個導(dǎo)電性高分子優(yōu)選為同種或者基本同一種,這樣,只要為同種或者基本同一種,層彼此的親和性就高,因而可以與沒有接縫的情況進行相同的操作。如前述圖3所示,導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4采用導(dǎo)電性高分子層2 (在圖3中未圖示)覆蓋構(gòu)成金屬制線圈狀構(gòu)件的線材(基體1)的外側(cè)表面,將導(dǎo)電性高分子層與基體 1復(fù)合。另外,通過對前述導(dǎo)電性高分子層2的表層進行絕緣化處理而形成絕緣層2”,通過具有前述絕緣層,能夠得到導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4作為使作為電極層的功能與作為間隔件的功能一體化的電極(驅(qū)動對置電極)。在將前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4作為驅(qū)動器元件的驅(qū)動對置電極進行使用時,導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體能夠得到充分的伸縮、彎曲或者扭曲的變位而作為實用性能。另一方面,也容易制造微小的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,而沒有必要配置新的間隔件,因此,操作性也優(yōu)異。另外,導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4含
5有金屬制線圈狀構(gòu)件,因此,在從與外側(cè)表面垂直的方向施加外力的情況下,金屬制線圈狀構(gòu)件的線材(基體)能夠作為增強件而發(fā)揮功能,因而還能夠?qū)崿F(xiàn)機械強度的提高,在作為驅(qū)動器元件而進行驅(qū)動時,能夠得到大的推動力、伸縮率。應(yīng)予說明,雖然前述的能夠得到大的推動力、伸縮率的詳細理由尚不清楚,但是可以推測,在含有金屬制線圈狀構(gòu)件的線材這樣的基體時,能夠?qū)?dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體追加基體的機械強度(彈簧彈性),進而, 前述基體(有導(dǎo)電性)能夠發(fā)揮作為輔助電極的功能,實現(xiàn)電壓降低的減少,因此,可得到大的推動力和伸縮率。另外,如前述圖4所示,就導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4而言,在構(gòu)成金屬制線圈狀構(gòu)件的線材(基體1)的外側(cè)表面覆蓋導(dǎo)電性高分子層2,進一步在導(dǎo)電性高分子層2上覆蓋低導(dǎo)電性的導(dǎo)電性高分子層2’,將導(dǎo)電性高分子層2和2’與基體1進行復(fù)合。另外,通過制備成前述導(dǎo)電性高分子層2’的膜厚比導(dǎo)電性高分子層2的膜厚薄,從而能夠在短時間內(nèi)容易地進行絕緣化,得到的絕緣層2”能夠得到作為使作為電極層的功能與作為間隔件的功能一體化的電極(驅(qū)動對置電極)而發(fā)揮功能的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4。在將前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4用作驅(qū)動器元件時,導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體能夠得到充分的伸縮、彎曲或者扭曲的變位而作為實用性能,另一方面,也容易制造微小的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,而沒有必要配置新的間隔件,因此,操作性也優(yōu)異。另外,導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體4含有金屬制線圈狀構(gòu)件,因此,在從與外側(cè)表面垂直的方向施加外力時,金屬制線圈狀構(gòu)件的線材(基體)能夠作為增強材而發(fā)揮作用,因此,還能夠?qū)崿F(xiàn)機械強度的提高,在作為驅(qū)動器元件使其驅(qū)動時,能夠得到大的推動力、伸縮率。應(yīng)予說明,前述的能夠得到大的推動力、伸縮率的詳細理由尚不明確,但是可以推測,在含有金屬制線圈狀構(gòu)件的線材這樣的基體時,能夠?qū)?dǎo)電性高分子層追加基體的機械強度(彈簧彈性),進一步,前述基體(有導(dǎo)電性)能夠發(fā)揮作為輔助電極的功能,也能夠?qū)崿F(xiàn)電壓降低的減少,因此,推測可得到大的推動力和伸縮率。另外,在前述導(dǎo)電性高分子層2上的導(dǎo)電性高分子層2’上還能夠進一步形成多層,但從操作性等的觀點看,導(dǎo)電性高分子層優(yōu)選為1層(單層) 3層。另外, 作為前述絕緣層,在設(shè)置有多層導(dǎo)電性高分子層時,優(yōu)選僅最外層進行絕緣化處理,但只要殘存有能夠作為電極而發(fā)揮作用的程度的導(dǎo)電性高分子層,就沒有特別的限制。應(yīng)予說明,作為前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的形狀,沒有特別的限制,但是優(yōu)選為從平面狀、棒狀、桿狀、平面鋸齒狀、折皺狀、鏈狀、線圈狀、彈簧狀、纖維狀、管狀、袋狀、波紋管狀、網(wǎng)眼狀和編織物狀中選擇的至少1種。作為具有前述形狀的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,例如,只要為前述管狀,就能夠通過在棒狀的形狀的聚合用作用電極上形成導(dǎo)電性高分子層而容易地得到,因此,從操作性等的觀點看也優(yōu)選。(導(dǎo)電性高分子單體)作為在本發(fā)明中使用的導(dǎo)電性高分子的單體,包含在電解聚合法中使用的電解液中,只要為通過采用電解聚合法的氧化進行高分子化且顯示出導(dǎo)電性的化合物,就沒有特別的限定。例如,作為單體,可舉出吡咯、噻吩、異硫茚等五元雜環(huán)式化合物及其烷基、氧基烷基等的衍生物。其中,優(yōu)選為吡咯、噻吩等五元雜環(huán)式化合物及其衍生物,尤其是在為含有吡咯和/或吡咯衍生物的導(dǎo)電性高分子時,容易進行制造且作為導(dǎo)電性高分子而化學性穩(wěn)定,因此優(yōu)選。另外,上述單體能夠并用2種以上。(摻雜劑)
6
作為在采用前述電解聚合法時與前述單體一起配合于電解液的摻雜劑,只要為在電解聚合中所使用的溶劑中溶解的化合物,就沒有特別的限定。作為前述摻雜劑,例如可舉出鹵素、氫鹵酸、硝酸、硫酸、砷酸、銻酸、硼酸、磷酸、羧酸、磺酸、磺酰亞胺、磺酰甲基化物 (^Jt F )等的衍生物、色素化合物。作為前述化合物,具體而言,可例示出高氯酸、 四氟硼酸、六氟磷酸、六氟砷酸、六氟銻酸、三氟酢酸、三氟甲烷磺酸、對甲苯磺酸、雙(三氟甲烷磺?;?酰亞胺、三(三氟甲烷磺?;?甲基化物、芐基乙基-[4’ _(4”_(芐基乙基氨基)-二苯基亞甲基)-2,,5-亞環(huán)己二烯基]銨-2”,、3、3”,三磺酸、3-羥基-4-[2-磺酰-4-(4-磺酰苯基偶氮)苯基偶氮]_2,7-萘二磺酸。作為與它們的抗衡離子相對應(yīng)的鹽, 可舉出堿金屬鹽、銨鹽、鱗鹽、咪唑錯鹽、碘錯鹽等的衍生物。作為前述化合物,可例示出鋰鹽、鈉鹽、四丁基銨鹽、四丁基鱗鹽、1,3_ 二甲基咪唑錯鹽、4-異丙基4’ -甲基二苯基碘錯鹽。在前述摻雜劑中,優(yōu)選具有經(jīng)烷基化的磺?;幕衔锛捌溲苌?,特別優(yōu)選含有三氟甲烷磺酸離子(或者雙(三氟甲烷磺酰基)酰亞胺離子)和/或相對于中心原子含有多個氟原子的陰離子。另外,上述摻雜劑能夠并用2種以上。通過使用前述電解液進行電解聚合,能夠得到在電解伸縮中每個氧化還原循環(huán)的伸縮率優(yōu)異的導(dǎo)電性高分子。前述三氟甲烷磺酸離子(或者雙(三氟甲烷磺?;?酰亞胺離子)和/或相對于中心原子含有多個氟原子的陰離子在電解液中的含量沒有特別的限定,前述陰離子的總量優(yōu)選在電解液中含有0. 1 30重量%,更優(yōu)選含有1 15重量%。前述三氟甲烷磺酸離子為化學式CF3SO3-表示的化合物。另外,相對于中心原子含有多個氟原子的陰離子具有硼、磷、銻和砷等的中心原子與多個氟原子結(jié)合的結(jié)構(gòu)。作為相對于中心原子含有多個氟原子的陰離子,沒有特別的限定,可例示出四氟硼酸離子(BF4-)、 六氟磷酸離子(PF6-)、六氟銻酸離子(SBF6-)和六氟砷酸離子(ASF6-)。其中,考慮到對人體等的安全性而優(yōu)選CF3S03_、BF4_和PF6_,更優(yōu)選CF3S03_和BF4_。前述的相對于中心原子含有多個氟原子的陰離子可以使用1種陰離子,也可以同時使用多種陰離子,進一步可以同時使用三氟甲烷磺酸離子與多種相對于中心原子含有多個氟原子的陰離子。(其他添加劑)在前述電解聚合法中使用的電解液中,除了前述單體、摻雜劑以外,還可進一步配合聚乙二醇、聚丙烯酰胺等公知的其他添加劑。(電解液的溶劑)作為前述電解聚合時的電解液中所含的溶劑,沒有特別的限制,但為了容易得到每個氧化還原循環(huán)的伸縮率為3%以上的導(dǎo)電性高分子,優(yōu)選除了前述摻雜劑以外,還含有包含醚鍵、酯鍵、碳酸酯鍵、羥基、硝基、砜基和腈基中的至少1個以上鍵或者官能團的有機化合物和/或鹵代烴作為電解液的溶劑,進一步優(yōu)選含有1種以上帶有酯鍵的溶劑。還能夠并用2種以上的這些溶劑。作為前述有機化合物,可例示出1,2_ 二甲氧基乙烷、1,2-二乙氧基乙烷、四氫呋喃、2-甲基四氫呋喃、1,4_ 二噁烷(以上為含有醚鍵的有機化合物);Y-丁內(nèi)酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸叔丁酯、1,2_ 二乙酰氧基乙烷、3-甲基-2-噁唑烷酮、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、苯甲酸丁酯、鄰苯二甲酸二甲酯、鄰苯二甲酸二乙酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸芐基-2-乙基己基酯(以上為含有酯鍵的有機化合物);碳酸丙二酯、碳酸乙二酯、碳酸二甲酯、碳酸二乙酯、碳酸甲乙酯(以上為含有碳酸酯鍵的有機化合物);乙二醇、1-丁醇、1-己醇、環(huán)己醇、1-辛醇、1-癸醇、1-十二烷醇、1-十八烷醇(以上為含有羥基的有機化合物);硝基甲烷、硝基苯(以上為含有硝基的有機化合物)、環(huán)丁砜、二甲基砜(以上為含有砜基的有機化合物);以及乙腈、丁腈、芐腈(以上為含有腈基的有機化合物)。應(yīng)予說明,含有羥基的有機化合物沒有特別的限定,但是因?qū)щ娦愿叻肿拥纳炜s率良好而優(yōu)選多元醇和碳原子數(shù)4以上的1元醇。應(yīng)予說明,前述有機化合物除了前述的例示以外,還可以為在分子中任意組合地含有2個以上醚鍵、酯鍵、碳酸酯鍵、羥基、硝基、 砜基和腈基中的鍵或者官能團的有機化合物。其中,例如為3-甲氧基丙酸甲酯、2-苯氧基乙醇等。另外,作為前述鹵代烴,只要為烴中的氫至少被1個以上鹵原子取代的化合物、且在電解聚合條件下以液體的形式穩(wěn)定地存在的化合物,就沒有特別的限定。作為前述鹵代烴,例如可舉出二氯甲烷、二氯乙烷??梢詢H使用1種前述鹵代烴作為前述電解液中的溶齊U,還可以并用2種以上。另外,前述鹵代烴可以與上述有機化合物進行混合使用,還可以將與有機溶劑的混合溶劑作為前述電解液中的溶劑使用。(作用電極)為了得到前述導(dǎo)電性高分子層,能夠使用利用金屬的金屬電極、非金屬電極等作為聚合作用電極。前述聚合作用電極的形狀沒有特別的限定,只要為棒狀的電極,就能夠容易地形成導(dǎo)電性高分子層,進一步能夠從聚合作用電極上剝離出導(dǎo)電性高分子層,因此為優(yōu)選的形狀。作為前述聚合作用電極,例如可優(yōu)選使用從Au、Pt、Ti、Ni、Pd、Ta、Mo、Cr和W 中選擇的金屬元素的單質(zhì)或合金的電極,碳電極、ITO玻璃電極這種非金屬電極,通過電鍍、 濺鍍等的處理使這些不同種金屬或非金屬進行組合而得的電極。從前述得到的導(dǎo)電性高分子的伸縮率和推動力大且能夠容易地獲得電極看,特別優(yōu)選使用含有Ni、Ti等的金屬元素的金屬電極。應(yīng)予說明,作為前述合金,例如可使用商品名“INC0L0Y alloy 825”、“INC0NEL alloy 600'\"INC0NEL alloy X-750”(以上為 DAIDO-SPECIAL METALS LTD.)制)。另外, 前述聚合作用電極的形狀為平面狀、棒狀等單純的形狀時,形成于前述作用電極上的導(dǎo)電性高分子層可以從電極剝離,單獨地使用導(dǎo)電性高分子層作為驅(qū)動作用電極。(基體)作為本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體所含的基體(導(dǎo)電性基體和/或非導(dǎo)電性基體),其形狀沒有特別的限制,但是在用作驅(qū)動器元件時,例如優(yōu)選使用平面狀、棒狀、桿狀、平面鋸齒狀、折皺狀、鏈狀、線圈狀、彈簧狀、纖維狀、管狀、袋狀、波紋管狀、網(wǎng)眼狀和編織物狀及手風琴狀等的具有伸縮性的結(jié)構(gòu)體,從制作的容易性等看,特別優(yōu)選使用線圈狀的結(jié)構(gòu)體。復(fù)合前述基體與導(dǎo)電性高分子層而得的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體可以得到能夠作為驅(qū)動器元件實用的伸縮性、彎曲性、扭曲性(扭轉(zhuǎn)性)優(yōu)異的變位。另外,對于前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,從基體還能夠作為前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的芯材而發(fā)揮功能看,還能夠提高機械強度。進而,不僅能夠在前述基體上形成導(dǎo)電性高分子層而作為驅(qū)動對置電極進行使用,而且還能夠作為與驅(qū)動對置電極成對的驅(qū)動作用電極進行使用。應(yīng)予說明,前述基體優(yōu)選為能夠發(fā)揮伸縮性的基體,但是也可以為不具有伸縮性的基體,根據(jù)其用途而沒有特別的限制。對材質(zhì)沒有特別的限制,但是從導(dǎo)電性、機械強度的觀點出發(fā),可舉出導(dǎo)電性基體,可舉出金屬,經(jīng)金屬電鍍、濺鍍而得的高分子纖維、高分子膜、碳材料等。尤其是只要為顯示出高導(dǎo)電率的基體就優(yōu)選。作為前述導(dǎo)電性基體,具體而言,優(yōu)選使用Ag、Ni、Ti、Pd、Au、Pt、W、Cu等的金屬,鍍Ni的Cu、鍍Au的Ni、鍍Au的Cu等, SUS等的合金。另外,可以在Au、Ni等的金屬表面覆蓋聚吡咯等的導(dǎo)電性高分子。進而,為了得到具有大的伸縮性能的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,更優(yōu)選Ag、Au、Ni、Pd、Pt等金屬單質(zhì),鍍Ni的Cu、鍍Au的Ni。另外,作為前述非導(dǎo)電性基體,可使用聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)等。應(yīng)予說明,雖然非導(dǎo)電性基體在電位的到達方面無法期待達到導(dǎo)電性基體的效果,但是除電位以外,在有效的機械強度的提高或者操作性的提高方面有效。作為本發(fā)明中的基體,更優(yōu)選為使用導(dǎo)電性基體的方式。作為前述導(dǎo)電性基體的導(dǎo)電率,優(yōu)選為1.0Xl(fS/cm以上,更優(yōu)選為LOXlO4S/ cm以上,特別優(yōu)選為1.0X105S/cm以上。通過使前述導(dǎo)電率為1. 0X 103S/cm以上,即使在為使長度方向或者高度方向的尺寸進一步變大的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體時,也能夠?qū)υw施加足夠的電位來進行伸縮等的變位,是有效的。(電解聚合條件)在本發(fā)明中使用的導(dǎo)電性高分子(層)能夠通過使用公知的電解聚合法而得到導(dǎo)電性高分子單體,例如可使用恒電位法、恒電流法和電掃描法中的任一種。例如,前述電解聚合法能夠在電流密度0. 01 20mA/cm2、反應(yīng)溫度-70 80°C下進行,為了得到良好膜質(zhì)的導(dǎo)電性高分子,優(yōu)選在電流密度0. 1 2mA/cm2、反應(yīng)溫度-40 40°C的條件下進行,更優(yōu)選反應(yīng)溫度為-30 30°C的條件。(導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法)作為本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法的特征在于,包括形成至少1 層前述導(dǎo)電性高分子層的工序和對前述導(dǎo)電性高分子層的表層進行絕緣化處理的工序。進而,通過形成多層前述導(dǎo)電性高分子層,且對其最外層進行絕緣化處理,能夠得到導(dǎo)電性高分子復(fù)合體。應(yīng)予說明,進行絕緣化處理的最外層可以對其全部進行絕緣化處理,也可以對一部分進行處理,但是需要殘存作為電極發(fā)揮功能的導(dǎo)電性高分子層。另外,在形成(重疊、覆蓋)多層的導(dǎo)電性高分子層時,只要至少對最外層的全部或一部分進行絕緣化處理, 殘存作為電極層而發(fā)揮功能的導(dǎo)電性高分子層,就沒有特別的限制。應(yīng)予說明,在本發(fā)明中,從容易制造等的觀點看,在形成導(dǎo)電性高分子層時優(yōu)選使用電解聚合法,但例如只要在可得到與前述導(dǎo)電性高分子層相同的導(dǎo)電性高分子層的情況下,就可以使用其他的方法例如化學聚合法等來形成導(dǎo)電性高分子層。在形成多層前述導(dǎo)電性高分子層時,與聚合作用電極或者導(dǎo)電性基體接觸而形成的導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性比經(jīng)絕緣處理的導(dǎo)電性高分子層(表層側(cè))的導(dǎo)電性高。通過使前述表層(最外層)側(cè)的導(dǎo)電性低,從而易于進行表層側(cè)的絕緣化處理,能夠在形成絕緣層時充分地發(fā)揮作為間隔件的功能。另一方面,與基體接觸的導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高且未直接在表層露出,因此,不受絕緣化處理的影響,或者不易受到影響,因此,具有(殘存)作為電極的功能,因而優(yōu)選。應(yīng)予說明,只要與基體接觸的導(dǎo)電性高分子層和表層側(cè)的導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性的差異在能夠發(fā)揮作為間隔件和電極的功能的范圍內(nèi),就沒有特別的限制,例如,與基體接觸的導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電率優(yōu)選為50 lOOOS/cm,更優(yōu)選為 100 300S/cm。另外,作為表層(最外層)側(cè)的導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電率,優(yōu)選為0. 01 300S/cm,更優(yōu)選為0. 1 lOOS/cm。只要在前述范圍內(nèi),就能夠發(fā)揮作為間隔件和電極的功能,因而優(yōu)選。另外,為了設(shè)置前述導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性的差異,能夠不特別限制地使用公知的制造方法、制造條件。例如,可考慮對單體濃度、反應(yīng)溫度、施加電壓、使用的摻雜劑的種類等條件進行調(diào)節(jié)。(絕緣化處理)作為前述絕緣化處理,沒有特別的限定,例如能夠選擇從氧化處理、酸處理、堿處理、熱處理、光處理、電子束處理和臭氧處理中選擇的至少1種處理。其中,從設(shè)備方面、成本方面、操作性方面看,特別優(yōu)選為氧化(劣化)處理。通過進行前述絕緣化處理,雖然詳細的理由不明確,但是可以推測是由于發(fā)生導(dǎo)電性高分子的分子鏈的切斷、摻雜劑分子的相離等,導(dǎo)電性高分子所具有的導(dǎo)電性降低,電阻上升。本申請發(fā)明中的“絕緣化”是指絕緣層的電阻優(yōu)選在0. IkQ 200kQ的范圍內(nèi), 更優(yōu)選在OjkQ 50k Ω,特別優(yōu)選在IkQ IOkQ。在前述范圍內(nèi)時,絕緣層能夠充分地發(fā)揮作為間隔件的功能,因而優(yōu)選。作為前述絕緣層的厚度,沒有特別的限制,例如絕緣層的厚度與作為電極而殘存的導(dǎo)電性高分子層的厚度之比即(導(dǎo)電性高分子層的厚度)(絕緣層的厚度)= 1.5 1 6 1,更優(yōu)選為2 1 5 1。只要在前述厚度之比的范圍內(nèi),例如在將絕緣層的厚度制備為15 μ m的情況下,能夠?qū)⒂糜陔姌O的聚吡咯膜的厚度設(shè)定為約40 100 μ m 左右,因而優(yōu)選。應(yīng)予說明,通過進行絕緣化處理而使膜厚變薄(減少)的詳細理由雖然不明確,但是可以推測是由于導(dǎo)電性高分子膜內(nèi)部的聚吡咯的高分子鏈因氧化損傷等而被切斷,與此同時,保持在導(dǎo)電性高分子膜中、內(nèi)部的摻雜劑、溶劑分子被切斷且與經(jīng)低分子化而得的聚吡咯一起在用于氧化處理等的溶液中溶出,從而使膜厚減少。作為前述氧化處理,可舉出使用過氧化氫、臭氧氣體、次氯酸、高錳酸鉀等的處理, 但是特別優(yōu)選使用過氧化氫的氧化處理。作為使用過氧化氫的氧化處理的條件,能夠根據(jù)作為處理對象的導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子的種類而進行適當選擇,例如優(yōu)選使用過氧化氫濃度為1 40重量%的水溶液,更優(yōu)選為5 30重量%。若不足1重量%,則導(dǎo)電性高分子層的絕緣化(劣化)處理需要時間,難以形成具有間隔件功能的絕緣層,另外,若超過40重量%,則導(dǎo)電性高分子層的絕緣化(劣化)處理急劇地進行,未充分地殘存作為電極而發(fā)揮功能的導(dǎo)電性高分子層,因而不優(yōu)選。另外,導(dǎo)電性高分子層在前述過氧化氫水溶液中的浸漬時間優(yōu)選為5 180分鐘、 更優(yōu)選為10 60分鐘。若不足5分鐘,則導(dǎo)電性高分子層的絕緣化(劣化)處理未進行、不充分,另一方面,若超過180分鐘,則導(dǎo)電性高分子層的絕緣化處理進行過度,未充分地殘存作為電極而發(fā)揮功能的導(dǎo)電性高分子層,因而不優(yōu)選。作為浸漬溫度,優(yōu)選為0 80°C, 更優(yōu)選為20 40°C。若不足0°C,則導(dǎo)電性高分子層的絕緣化處理需要時間且操作性顯著變差,另一方面,若超過80°C,則水從過氧化氫水溶液中揮發(fā),過氧化氫濃度發(fā)生變動,因而不優(yōu)選。(驅(qū)動作用電極和驅(qū)動對置電極的制備)以下對具體的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法以及基于此而形成的驅(qū)動作用電極和驅(qū)動對置電極的制備方法進行說明。應(yīng)予說明,本發(fā)明并不限于下述制造方法等。 另外,在本發(fā)明中,例如在作為驅(qū)動器元件進行使用時,驅(qū)動作用電極是指用于伸縮驅(qū)動的作用電極(作用極),驅(qū)動對置電極是指用于伸縮驅(qū)動的對置電極(對極)。(1)為了形成由導(dǎo)電性高分子層形成的驅(qū)動對置電極,將吡咯等單體與摻雜劑和
10溶劑進行混合而形成混合溶液,將其作為電解液。(2)然后,在前述電解液中浸漬板狀、棒狀等的聚合作用電極或者作為基體的線圈狀結(jié)構(gòu)體(例如金屬制彈簧狀構(gòu)件),采用恒電流電解聚合、在規(guī)定條件下在前述聚合作用電極等的表面覆蓋聚吡咯(PPy)等的導(dǎo)電性高分子層,從聚合作用電極剝離前述導(dǎo)電性高分子層,或者未進行剝離就得到含有前述聚合作用電極、基體的覆蓋電極。應(yīng)予說明,例如, 通過對單體濃度、反應(yīng)溫度、施加電壓、使用的摻雜劑的種類等的條件進行調(diào)制,還能夠在前述導(dǎo)電性高分子層上形成導(dǎo)電率更低的導(dǎo)電性高分子層。(3)使得到的導(dǎo)電性高分子膜或者覆蓋電極干燥后,通過進行使用過氧化氫水溶液等的絕緣化處理,而能夠得到具有間隔件層的驅(qū)動對置電極。(4)然后,為了形成由導(dǎo)電性高分子層形成的驅(qū)動作用電極,將吡咯等的單體與摻雜劑和溶劑進行混合而形成混合溶液,將其作為電解液。(5)然后,在前述電解液中,能夠采用恒電流電解聚合,在板狀、棒狀等的聚合作用電極或者具有伸縮性的導(dǎo)電性基體的表面,在規(guī)定條件下在前述聚合作用電極等上得到聚吡咯(PPy)等的導(dǎo)電性高分子層,從前述聚合作用電極(聚合電極)等剝離導(dǎo)電性高分子層,或者不剝離就形成含有基體的驅(qū)動作用電極。(驅(qū)動器元件)作為使用了前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件的大小,沒有特別的限定就能夠制造,配合所使用的基體的大小而能夠制造從從微小至巨大的元件。例如,在使用金屬制線圈狀構(gòu)件作為基體時,能夠在線圈的外徑為400 μ m IOcm的基體上形成導(dǎo)電性高分子層而制造驅(qū)動器元件。應(yīng)予說明,從進行絕緣化處理的觀點出發(fā),優(yōu)選在能夠?qū)^緣化處理進行控制的范圍內(nèi)。(驅(qū)動器元件的電解伸縮)另外,通過使使用了上述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件在電解液(工作電解液)中采用電化學性氧化還原而進行伸縮的電解伸縮方法,可以進行驅(qū)動。通過使前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體進行電解伸縮,能夠得到在每個氧化還原循環(huán)中優(yōu)異的伸縮率,在平均特定時間中能夠得到高變位量。應(yīng)予說明,作為伸縮率,因使用驅(qū)動器元件的用途而不同,優(yōu)選為3%以上,更優(yōu)選為5%以上,特別優(yōu)選為10%以上。若不足3%,則為了得到實用的驅(qū)動器的變位量(伸縮量)而需要驅(qū)動器元件的大型化,因而不優(yōu)選。應(yīng)予說明,作為使驅(qū)動器元件進行電解伸縮的方法,沒有特別的限制,例如,使用在前述棒狀的聚合作用電極上形成導(dǎo)電性高分子層,從前述聚合作用電極上剝離而得的導(dǎo)電性高分子層(導(dǎo)電性高分子管)作為驅(qū)動作用電極,與此相對,能夠使用含有至少1層導(dǎo)電性高分子層、基體的前述導(dǎo)電性高分子層的表層為絕緣層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體作為驅(qū)動對置電極。通過在電解液中對驅(qū)動作用電極和驅(qū)動對置電極施加0. 1 IOV的電壓, 而能夠使前述驅(qū)動作用電極和/或驅(qū)動對置電極進行電解伸縮,能夠有效地作為驅(qū)動器元件利用。應(yīng)予說明,本發(fā)明的驅(qū)動器元件如上所述能夠由驅(qū)動作用電極和驅(qū)動對置電極構(gòu)成,作為驅(qū)動器元件,其配置(構(gòu)成)只要為伸縮、彎曲或者扭曲地進行驅(qū)動的配置,就沒有特別的限制,例如,能夠使用前述導(dǎo)電性高分子管作為驅(qū)動作用電極,使其內(nèi)側(cè)或外側(cè)不介由間隔件構(gòu)件而直接與作為驅(qū)動對置電極的例如前述導(dǎo)電性高分子層的表層為絕緣層的線圈狀結(jié)構(gòu)體的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體接觸而進行配置。應(yīng)予說明,本發(fā)明的驅(qū)動器元件如上所述能夠由驅(qū)動作用電極和驅(qū)動對置電極構(gòu)成,作為驅(qū)動器元件,只要其配置(構(gòu)成)為伸縮、彎曲或者扭曲地進行驅(qū)動的配置,就沒有特別的限制,例如,作為構(gòu)成驅(qū)動器元件的方法,優(yōu)選在前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體(相當于驅(qū)動對置電極)的外部和/或內(nèi)部配置驅(qū)動作用電極。具體而言,能夠使用如圖5所示以將驅(qū)動對置電極20的周圍采用圓筒狀的驅(qū)動作用電極30進行覆蓋的方式進行配置的方法(將驅(qū)動作用電極配置于外部);如圖6所示靠近驅(qū)動對置電極20配置板(片)狀的驅(qū)動作用電極30的方法(將驅(qū)動作用電極配置于外部);如圖7所示在驅(qū)動對置電極20的內(nèi)部配置柱(棒)狀的驅(qū)動作用電極30的方法(將驅(qū)動作用電極配置于內(nèi)部);進而,在驅(qū)動對置電極的內(nèi)部配置柱(棒)狀的驅(qū)動作用電極以及在外部配置圓筒狀、板(片)狀的驅(qū)動作用電極的方法等來構(gòu)成驅(qū)動器元件10。應(yīng)予說明,圖5 7中的正極和負極可以與附圖中的不同、相反。施行前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的電解伸縮的電解液即工作電解液并不限于上述電解液,因為易于調(diào)制濃度,所以優(yōu)選在單獨的作為主溶劑的水、乙醇、乙腈、Y-丁內(nèi)酯、碳酸二乙酯、碳酸乙二酯、碳酸丙二酯、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、環(huán)丁砜、二乙二醇二甲基醚、聚乙二醇等中或者2種以上的混合溶劑中含有電解質(zhì)的電解液。在前述電解伸縮方法中使用的電解液的溫度沒有特別的限定,為了以更快的速度使上述的導(dǎo)電性高分子電解伸縮,優(yōu)選為20 100°C,進而優(yōu)選為50 80°C。(用途)本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體因為能夠產(chǎn)生變位,所以可用作驅(qū)動器元件。 本發(fā)明的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體中,例如,就沒有利用樹脂等進行覆蓋的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體而言,可以用作能夠在電解液中進行直線變位的驅(qū)動器元件。S卩,前述驅(qū)動器元件可以在OA機器、天線、床或椅子等的載人的裝置、醫(yī)療機器、 發(fā)動機、光學機器、固定工具、修邊機、車輛、升降器械、食品加工裝置、清掃裝置、測定機器、 檢查機器、控制機器、工作機械、加工機械、電子機器、電子顯微鏡、電剃刀、電動牙刷、操縱裝置、桅桿、游戲裝置、娛樂機器、乘車用模擬裝置、乘車人員的緊固裝置和航空器用附屬裝備伸展裝置中,優(yōu)選用作產(chǎn)生直線驅(qū)動力的驅(qū)動部或者產(chǎn)生用于移動由圓弧部形成的履帶型軌道的驅(qū)動力的驅(qū)動部、或者進行直線工作或曲線工作的擠壓部。前述驅(qū)動器元件可以在例如用于包括OA機器、測定機器等的上述機器等的全部機械的閥、制動器和鎖裝置中, 用作用于產(chǎn)生直線驅(qū)動力的驅(qū)動部或用于產(chǎn)生移動由圓弧部形成的履帶型軌道的驅(qū)動力的驅(qū)動部、或者進行直線工作的擠壓部。另外,即使在前述的裝置、機器、器械等以外,也能夠在全部機械機器類中優(yōu)選用作定位裝置的驅(qū)動部、姿勢控制裝置的驅(qū)動部、升降裝置的驅(qū)動部、搬送裝置的驅(qū)動部、移動裝置的驅(qū)動部、量或方向等的調(diào)節(jié)裝置的驅(qū)動部、軸等的調(diào)整裝置的驅(qū)動部、引導(dǎo)裝置的驅(qū)動部和擠壓裝置的擠壓部。另外,前述驅(qū)動器元件作為關(guān)節(jié)裝置中的驅(qū)動部而優(yōu)選用作關(guān)節(jié)中間構(gòu)件等能直接驅(qū)動的關(guān)節(jié)部或者對關(guān)節(jié)賦予旋轉(zhuǎn)運動的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件還優(yōu)選用作轉(zhuǎn)換裝置的驅(qū)動部、搬送物等的反轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動部、電線等的纏繞裝置的驅(qū)動部、牽引裝置的驅(qū)動部和搖擺頭部等的向左右方向的回旋裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于CAD用打印機等噴墨打印機中的噴墨部分的驅(qū)動部,打印機的使前述光束的光軸方向變位的驅(qū)動部,外部記憶裝置等的磁盤驅(qū)動裝置的頭部驅(qū)動部,以及包括打印機、復(fù)印機和傳真機的圖像形成裝置的供紙裝置中紙的擠壓接觸力調(diào)整裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于使電波天文用的頻率共用天線等的高頻供電部向第2焦點進行移動等的測定部、供電部的進行移動設(shè)置的驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動部,以及車輛搭載壓空工作伸縮桅桿(可伸縮式桅桿)等的桅桿、天線中的升降機構(gòu)的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于椅子狀的按摩機的按摩部的驅(qū)動部,看護用或者醫(yī)療用床的驅(qū)動部,電動自動調(diào)節(jié)椅的姿勢控制裝置的驅(qū)動部,按摩機、安樂椅等中使用的自動調(diào)節(jié)椅的靠背·腳踏的自由進行起倒的伸縮桿的驅(qū)動部,椅子、看護用床等中的靠背、擱腿等的載人家具中的可倒式的椅子的靠背、擱腿或者看護用床的床鋪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動等中使用的驅(qū)動部,以及用于起立椅子的姿勢控制的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于檢查裝置的驅(qū)動部,體外血液治療裝置等中使用的血壓等的壓力測定裝置的驅(qū)動部,導(dǎo)尿管、內(nèi)窺鏡裝置、鉗子等的驅(qū)動部,使用超聲波的白內(nèi)障手術(shù)裝置的驅(qū)動部,下顎運動裝置等的運動裝置的驅(qū)動部,使病弱者用起重機的底盤的構(gòu)件相對地進行伸縮的裝置的驅(qū)動部,以及用于看護用床的升降、移動、姿勢控制的等的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用作使從發(fā)動機等的振動發(fā)生部向機架等的振動接受部傳遞的振動衰減的防振裝置的驅(qū)動部、用于內(nèi)燃裝置的吸排氣閥的氣門傳動裝置的驅(qū)動部、發(fā)動機的燃料控制裝置的驅(qū)動部、以及柴油機發(fā)動機等的發(fā)動機的燃料供給裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于帶有補正手抖動功能的攝像裝置的校正裝置的驅(qū)動部,家庭用攝像機鏡頭等的鏡頭驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動部,對靜像攝影機或攝影機等的光學機器的移動鏡頭組進行驅(qū)動的機構(gòu)的驅(qū)動部,照相機的自動對焦部的驅(qū)動部,照相機、攝像機等的攝像裝置中使用的鏡頭鏡筒的驅(qū)動部,引進光學望遠鏡的光的自動導(dǎo)向器的驅(qū)動部,立體照相機、雙筒望遠鏡等具有2個光學系統(tǒng)的光學裝置的鏡頭驅(qū)動機構(gòu)或者鏡筒的驅(qū)動部,對光通信、光信息處理、光測量等中使用的光纖型波長可變?yōu)V光器的波長轉(zhuǎn)換的光纖施加壓縮力的驅(qū)動部或者擠壓部,光軸對準裝置的驅(qū)動部,以及照相機的快門機構(gòu)的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于將軟管零件鉚接固定于軟管主體等的固定工具的擠壓部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于汽車的懸掛裝置的螺旋彈簧等的驅(qū)動部,對車輛的燃料加料器罩進行開啟的燃料加料器罩開啟工具的驅(qū)動部,推土機葉片的擴展和收縮的驅(qū)動的驅(qū)動部,用于自動地對汽車用變速器的變速比進行切換、自動地使離合器進行連接切斷的驅(qū)動裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于帶有座板升降裝置的車椅的升降裝置的驅(qū)動部,消除高低平面差異用升降機的驅(qū)動部,升降移載裝置的驅(qū)動部,醫(yī)療用床、電動床、電動桌、電動椅、看護用床、升降桌、CT掃描機、履帶的艙室傾斜裝置、真空吸盤式提升機構(gòu)等或各種升降機械裝置的升降用的驅(qū)動部,以及重物搬送用特殊車輛的載卸裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于食品加工裝置的食材排出用噴嘴裝置等的排
13出量調(diào)整機構(gòu)的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于清掃裝置的板車、清掃部等的升降等的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于對面的形狀進行測定的3維測定裝置的測定部的驅(qū)動部,臺裝置的驅(qū)動部,對輪胎的工作特性進行檢測的系統(tǒng)等的傳感器部分的驅(qū)動部,賦予力傳感器的沖擊應(yīng)答的評價裝置初速度的裝置的驅(qū)動部,包括孔內(nèi)透水試驗裝置的裝置的活塞筒的活塞驅(qū)動裝置的驅(qū)動部,聚光追尾式發(fā)電裝置中的用于向仰角方向轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部,包括氣體的濃度測定裝置的測定裝置的藍寶石激光器振蕩波長轉(zhuǎn)換機構(gòu)的調(diào)諧鏡的振動裝置的驅(qū)動部,在印刷基板的檢查裝置、液晶、PDP等的平板的面板顯示器的檢查裝置需要調(diào)整時XY θ工作臺的驅(qū)動部、在電子束(Ε束)系統(tǒng)或者預(yù)測離子束(FIB)系統(tǒng)等的帶電粒子束系統(tǒng)等中使用的能夠調(diào)節(jié)的孔徑裝置的驅(qū)動部,平面度測定器中的測定對象的支持裝置或者檢測部的驅(qū)動部,以及以微細裝置的組裝為代表的半導(dǎo)體曝光裝置、半導(dǎo)體檢查裝置、3維形狀測定裝置等的精密定位裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于電剃刀的驅(qū)動部、以及電動牙刷的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于3維物體的攝像裝置或者⑶、DVD共用的讀取光學系統(tǒng)的焦點深度調(diào)整用設(shè)備的驅(qū)動部,通過利用多個驅(qū)動器元件將驅(qū)動對象面作為能動曲面而使其形狀發(fā)生變形從而近似地形成所需的曲面而能夠容易使焦點位置可變的可變鏡的驅(qū)動部,能夠使拾光器等的具有磁頭的至少一方的移動單元進行直線移動的磁盤裝置的驅(qū)動部,線性磁帶存儲器系統(tǒng)等的磁帶頭部制動器組合的頭部移行機構(gòu)的驅(qū)動部,電子照相方式的復(fù)印機、打印機、傳真機等中使用的圖像形成裝置的驅(qū)動部,磁頭構(gòu)件等的搭載構(gòu)件的驅(qū)動部,在光軸方向上對聚焦鏡頭組進行驅(qū)動控制的光磁盤原盤曝光裝置的驅(qū)動部,對光頭進行驅(qū)動的頭部驅(qū)動裝置的驅(qū)動部,進行記錄介質(zhì)的信息記錄或者記錄介質(zhì)所記錄的信息再生的信息記錄再生裝置的驅(qū)動部,以及電路遮斷器(配電用電路遮斷器)的開關(guān)操作的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于橡膠組合物的擠壓成型硫化裝置的驅(qū)動部,使被移送的部件形成單列、單層層化或者形成規(guī)定姿勢的排列的部件排列裝置的驅(qū)動部,壓縮成型裝置的驅(qū)動部,焊接裝置的保持機構(gòu)的驅(qū)動部,制袋充填包裝機的驅(qū)動部,機械加工中心等的工作機械、注塑成型機或擠壓機等的成型機械等的驅(qū)動部,印刷裝置、涂飾裝置、 噴漆裝置等的流體涂敷裝置的驅(qū)動部,制造凸輪軸等的制造裝置的驅(qū)動部,采礦件的吊起裝置的驅(qū)動部,無梭織機中的捆束器控制體等的驅(qū)動裝置、簇絨機的針驅(qū)動系統(tǒng)、捆扎機驅(qū)動系統(tǒng)和刀驅(qū)動系統(tǒng)等的驅(qū)動部,進行凸輪磨床、超精密加工部件等的部件的研磨的研磨裝置的驅(qū)動部,織機中的綜片框的制動裝置的驅(qū)動部,形成織機中的用于緯線插通的經(jīng)線的開口部的開口裝置的驅(qū)動部,半導(dǎo)體基板等的保護片剝離裝置的驅(qū)動部,通線裝置的驅(qū)動部,CRT用電子槍的組裝裝置的驅(qū)動部,用于制造用于衣料用飾邊、桌布、座套等的粗糙花邊機中的粗糙花邊驅(qū)動選擇線控制裝置的驅(qū)動部,退火窗驅(qū)動裝置的水平移動機構(gòu)的驅(qū)動部,玻璃熔融窗前爐的支持臂的驅(qū)動部,使彩色顯像管的熒光面形成方法等的曝光裝置的架子進退的驅(qū)動部,球焊裝置的火炬臂的驅(qū)動部,焊接頭部向XY方向的驅(qū)動部,在尖部件的使用架、探針的測定等中的部件的安裝工序、測定檢查工序的驅(qū)動部,基板洗滌裝置的洗滌工具支持體的升降驅(qū)動部,使掃描玻璃基板的檢測頭進退的驅(qū)動部,在基板上轉(zhuǎn)印圖案的曝光裝置的定位裝置的驅(qū)動部,精密加工等領(lǐng)域中的在亞微細米數(shù)量級下的微小定位裝置的驅(qū)動部,化學機械拋光工具的計量裝置的定位裝置的驅(qū)動部,適用于用光刻工序制造導(dǎo)體電路元件、液晶顯示元件等的電路裝置時使用的曝光裝置和掃描曝光裝置的臺裝置的定位的驅(qū)動部,作業(yè)等的搬送或者定位等的裝置的驅(qū)動部,標線片載物臺、晶片載物臺等的用于定位、搬送的驅(qū)動部,腔內(nèi)的精密定位臺裝置的驅(qū)動部,化學機械拋光系統(tǒng)中的工件或者半導(dǎo)體晶片的定位裝置的驅(qū)動部,半導(dǎo)體的步進電機的驅(qū)動部,在加工機械的導(dǎo)入站內(nèi)正確地進行定位的裝置的驅(qū)動部,以NC機械、機械加工中心等的工作機械等或者IC業(yè)界的步進電機為代表的各種機器用的被動除振和主動除振的除振裝置的驅(qū)動部,在半導(dǎo)體元件、液晶顯示元件制造的光刻工序中使用的曝光裝置等中使光束掃描裝置的基準格子板沿前述光束的光軸方向變位的驅(qū)動部,以及在傳送帶的橫斷方向上向物品處理單元內(nèi)進行移送的移送裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于電子顯微鏡等的掃描探頭顯微鏡的探頭的定位裝置的驅(qū)動部以及電子顯微鏡用試樣微動裝置的定位等的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于以包括自動焊接機器人、工業(yè)用機器人、看護用機器人的機器人或者操縱裝置中的機械臂的手腕等為代的關(guān)節(jié)機構(gòu)的驅(qū)動部,直接驅(qū)動型以外的關(guān)節(jié)驅(qū)動部,作為機器人的手指本身、機器人等的手進行使用的滑動開關(guān)式卡盤裝置的運動轉(zhuǎn)換機構(gòu)的驅(qū)動部,在細胞微小操作、微小構(gòu)件的組裝操作等中用于在任意的狀態(tài)下對微小的對象物進行操作的顯微操作裝置的驅(qū)動部,具有能夠開關(guān)的多個手指的電動假手等的假肢的驅(qū)動部,操縱用機器人的驅(qū)動部,輔助裝置的驅(qū)動部以及重型機床的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于修邊機的對上旋轉(zhuǎn)刀刃或者下旋轉(zhuǎn)刀刃等進行擠壓的裝置的擠壓部。前述驅(qū)動器元件例如可很好地用于彈子球等的游戲裝置中的工作部件等的驅(qū)動部,玩偶、寵物機器人等的娛樂機器的驅(qū)動部,以及乘車用模擬裝置的模擬裝置的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可用于包括上述機器等的全部機械中使用的閥的驅(qū)動部,例如可很好地用于蒸發(fā)氦氣的再液化裝置的閥的驅(qū)動部、風箱式的壓敏控制閥的驅(qū)動部、驅(qū)動綜片框的開口裝置的驅(qū)動部、真空門閥的驅(qū)動部、液壓系統(tǒng)用的螺線管工作型控制閥的驅(qū)動部、對使用旋轉(zhuǎn)桿的運動傳達裝置進行組裝而得的閥的驅(qū)動部、火箭的可動噴嘴的閥的驅(qū)動部、反吸閥的驅(qū)動部以及調(diào)節(jié)閥部的驅(qū)動部。前述驅(qū)動器元件例如可用作用于包括上述機器等的全部機械中使用的制動器的擠壓部,例如可用于緊急用、保安用、停留用等的制動器、電梯的制動器中很好地使用的控制裝置的擠壓部、以及制動器結(jié)構(gòu)或制動器系統(tǒng)的擠壓部。前述驅(qū)動器元件例如可用作用于包括上述機器等的全部機械中使用的鎖裝置的擠壓部,例如可很好地用于機械鎖裝置的擠壓部、車輛用舵輪鎖裝置的擠壓部、以及同時具有負荷限制機構(gòu)和結(jié)合解除機構(gòu)的動力傳達裝置的擠壓部。進而,作為前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件以外的用途,例如還可很好地用于一次電池用電極、二次電池用電極、電容器用電極、太陽電池用電極、電致發(fā)光元件、電致彩色顯示元件、EC顯示器、各種傳感器用電極(濕度、溫度、光、離子、氣體、味覺、壓力等)和臺式電子計算機用等的鍵盤用等的開關(guān)等。
實施例以下示出本發(fā)明的實施例和比較例,但本發(fā)明并不限于此。(實施例1)(1)將作為單體的吡咯(Aldrich公司制)0. 15mol/l,及混合摩爾比(9 1)的 0. 3mol/l的濃度的雙(三氟甲烷磺?;?酰亞胺四丁基銨(Aldrich公司制)與四氟硼酸四丁基銨(TBABF4) (Aldrich公司制),以及苯氧基乙醇(東京化成工業(yè)公司制)與乙酸乙酯(東京化成工業(yè)公司制)的混合溶液(混合體積比50 50)作為電解液。(2)在由鍍Au的Ni電線(NILAC0公司制、線徑0. 1mm、間距0. 4mm)構(gòu)成的外徑為 0. 85mm的線圈狀的聚合作用電極上,在0. 5mA/cm2下,于-10°C進行20小時的恒電流電解聚合,得到膜厚80μπι的聚吡咯(PPy)線圈。(3)使得到的PPy線圈干燥05°C Xl小時)后,在室溫下、在5%的過氧化氫水溶液(東京化成工業(yè)公司制)中浸漬3小時,得到膜厚75μπι的間隔件一體型PPy線圈的驅(qū)動對置電極。(4)為了測定得到的PPy線圈的驅(qū)動對置電極的電阻,使測定用端子與PPy線圈的金屬露出部分連接,使用2枚Au板(NICOLA公司制、面積22mmX22mm)作為另一個端子,使 PPy線圈的PPy覆蓋部分壓緊,測定電阻。(5)作為用于測定伸縮性能的PPy驅(qū)動作用電極,將作為單體的吡咯0. 15mol/ 1,及混合摩爾比(9 1)的0.3mol/l的濃度的雙(三氟甲烷磺酰基)酰亞胺四丁基銨 (TBATFSI)與四氟硼酸四丁基銨(TBABF4),以及在苯氧基乙醇、鄰苯二甲酸二乙酯(東京化成工業(yè)公司制)和鄰苯二甲酸芐基-2-乙基己基酯(東京化成工業(yè)公司制)混合溶液(混合體積比50 45 5)中含有芐基乙基”-(苯基乙基氨基)-二苯基亞甲基)-2’, 5-亞環(huán)己二烯基]銨-2”,、3、3”,_三磺酸二鈉(關(guān)東化學公司制)0. 5mmol/l的混合溶液作為電解液,(6)在直徑1. Omm的鎳棒(NICOLA公司制)的聚合作用電極上,在0. 15mA/cm2下, 于-10°c下進行12小時的恒電流電解聚合,得到膜厚25 μ m的PPy管的驅(qū)動作用電極。(7)使用得到的PPy線圈的驅(qū)動對置電極和PPy管的驅(qū)動作用電極,使其相互密合,進行通電,確認有無短路。應(yīng)予說明,有無短路的評價相當于前述驅(qū)動作用電極與驅(qū)動對置電極的位置關(guān)系如圖8所示的情況,兩電極相互密合,因此,在不存在前述驅(qū)動對置電極的絕緣層時發(fā)生短路,因此,通過未發(fā)生短路而確認了存在絕緣層。(8)另外,使用得到的PPy線圈的驅(qū)動對置電極與PPy管的驅(qū)動作用電極,將雙 (三氟甲烷磺?;?酰亞胺鋰(LiTFSI) (Aldrich公司制)的乙腈(關(guān)東化學公司制)/水 (混合體積比4 6)混合溶液作為工作(驅(qū)動)電解液,施加0. lHz、3.6Vp-p的電壓,測定電解伸縮。應(yīng)予說明,前述電解伸縮的評價相當于前述驅(qū)動作用電極與驅(qū)動對置電極的位置關(guān)系如圖6所示的情況,確認了即使在前述驅(qū)動對置電極的表面存在絕緣層,也能夠保持電極性能(包括伸縮驅(qū)動性能)。(實施例2)(1)作為對除了未進行過氧化氫處理這一點以外按照與上述實施例1相同的方法制得的PPy線圈(僅第一層)追加的電解聚合,制成作為單體的吡咯0. 25mol/l,及混合摩爾比(19 1)的0.5mol/l的濃度的雙(三氟甲烷磺?;?酰亞胺四丁基銨(TBATFSI)
16與三氟甲烷磺酸四丁基銨(TBATFS) (Aldrich公司制),以及苯甲酸異丙酯(關(guān)東化學公司制)與鄰苯二甲酸二乙酯的混合溶液(混合體積比17 83),在PPy線圈的聚合作用電極上,在2. 5mA/cm2下,于_10°C下進行20分鐘的恒電流電解聚合,得到膜厚110 μ m的聚吡咯 (PPy)線圈(第一層+第二層)。(2)使得到的PPy線圈干燥05°C Xl小時)后,在室溫下,在5%的過氧化氫水溶液中浸漬20分鐘,得到膜厚90 μ m的間隔件一體型PPy線圈的驅(qū)動對置電極。(3)使用得到的PPy線圈的驅(qū)動對置電極,按照與上述實施例1相同的方法測定電阻值。(4)按照與上述實施例1相同的方法,得到用于測定伸縮性能的PPy管的驅(qū)動作用電極。(5)使用得到的PPy線圈的驅(qū)動對置電極與PPy管的驅(qū)動作用電極,按照與上述實施例1相同的方法測定電解伸縮。(比較例1)使用除了未經(jīng)過氧化氫處理的點以外、按照與上述實施例1相同的方法得到的 PPy線圈的驅(qū)動對置電極,對按照與上述實施例1相同的方法得到的PPy管的驅(qū)動作用電極的性能進行評價。(實施例3)(1)作為第一層的電解聚合,將作為單體的吡咯(Aldrich公司制)0. 15mol/l,及混合摩爾比(9 1)的0. 3mol/l的濃度的雙(三氟甲烷磺?;?酰亞胺四丁基銨(Aldrich 公司制)與四氟硼酸四丁基銨(TBABF4) (Aldrich公司制),以及苯氧基乙醇(東京化成工業(yè)公司制)與乙酸乙酯(東京化成工業(yè)公司制)的混合溶液(混合體積比50 50)作為電解液,(2)在Ni金屬板(NICOLA公司制、縱30mm、橫30mm、厚0. 5mm)的聚合作用電極上, 在0. 3mA/cm2下,于_10°C進行7. 5小時的恒電流電解聚合,得到與Ni電極板粘接的狀態(tài)下膜厚40 μ m的膜狀(平膜狀)的聚吡咯(PPy)單層膜。(3)作為在得到的第一層的前述PPy單層膜(平膜)上追加的第二層的電解聚合, 制成作為單體的吡咯0. Wmol/Ι,及混合摩爾比(19 1)的0. 5mol/l的濃度的雙(三氟甲烷磺?;?酰亞胺四丁基銨(TBATFSI)與三氟甲烷磺酸四丁基銨(TBATFS) (Aldrich公司制),以及苯甲酸異丙酯(關(guān)東化學公司制)與鄰苯二甲酸二乙酯的混合溶液(混合體積比 17 83),在前述PPy線圈膜(第一層)上,在0.5mA/cm2下,于-10°C下進行1小時的恒電流電解聚合,從M電極板進行剝離,得到具有第二層的膜厚60μπι的PPy多層膜(第一層 +第二層、第二層的厚度為20 μ m)。(4)使前述PPy多層膜(第一層+第二層)干燥(25°C Xl小時)后,在室溫下, 在5%的過氧化氫水溶液(東京化成工業(yè)公司制)浸漬40分鐘,得到具有氧化處理后的膜厚55 μ m(作為氧化反應(yīng)后的第二層的絕緣層15 μ m)的PPy多層膜(平膜)。(5)為了測定前述PPy平膜的氧化處理后的導(dǎo)電率,使用電阻率計(LOW RESISTOR-GP MCP-T600、三菱化學公司制),采用四探針法使測定用端子與PPy平膜(測定條件為30mmX30mm、2(rC ;測定面為與聚合作用電極粘接的一側(cè),即,與聚合作用電極接觸的剝離后的導(dǎo)電性高分子層)壓緊,測定導(dǎo)電率。
(6)為了確認前述PPy平膜的經(jīng)氧化處理而形成的絕緣層的存在,使PPy平膜的表面和背面與測定計接觸,測定兩面間的電阻值(測定條件為30mmX30mm、2(rC ),將2枚 PPy平膜彼此(例如在使用2枚單層膜(平膜)時,按照絕緣層、導(dǎo)電性高分子層、絕緣層、 導(dǎo)電性高分子層的順序構(gòu)成。)以電阻值高的面?zhèn)葍?yōu)先壓緊,確認有無短路,評價間隔件功能。(比較例2)使用如下的PPy單層膜,即,未制備第二層的PPy膜,從Ni金屬板電極板僅將第一層的PPy單層膜(平膜)剝離,除了這一點以外,按照與上述實施例3相同的處理方法制得的PPy單層膜,按照與上述實施例3相同的方法對導(dǎo)電性與間隔件功能進行評價。(比較例3)使用如下的PPy單層膜,即,未制備第一層的PPy膜,除了從M金屬板電極板將僅第二層的PPy單層膜(平膜)剝離,除了這一點以外,按照與上述實施例3相同的方法制得的PPy單層膜,按照與上述實施例3相同的方法對導(dǎo)電性與間隔件功能進行評價。[表1]
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,其特征在于,為至少含有1層導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,所述導(dǎo)電性高分子層的表層為絕緣層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,其特征在于,所述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的形狀為從平面狀、棒狀、桿狀、平面鋸齒狀、折皺狀、鏈狀、線圈狀、彈簧狀、纖維狀、管狀、袋狀、波紋管狀、網(wǎng)眼狀和編織物狀中選擇的至少1種形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,其特征在于,所述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體進一步含有基體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,其特征在于,所述導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子在分子鏈中含有吡咯和/或吡咯衍生物。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,其特征在于,所述基體的形狀為從平面狀、棒狀、桿狀、平面鋸齒狀、折皺狀、鏈狀、線圈狀、彈簧狀、纖維狀、管狀、袋狀、波紋管狀、網(wǎng)眼狀和編織物狀中選擇的至少一種形狀。
6.一種驅(qū)動器元件,其特征在于,使用了權(quán)利要求1 5中任一項所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的驅(qū)動器元件,其特征在于,所述基體具有伸縮性。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的驅(qū)動器元件,其特征在于,所述導(dǎo)電性高分子層通過電解伸縮而伸縮、彎曲或者扭曲地進行驅(qū)動。
9.一種導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,其特征在于,為至少含有1層導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,包括形成至少1層所述導(dǎo)電性高分子層的工序和將所述導(dǎo)電性高分子層的表層進行絕緣化處理的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,其特征在于,所述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體進一步含有基體。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,其特征在于,所述導(dǎo)電性高分子層是至少將吡咯和/或吡咯衍生物進行電解聚合而得到的。
12.根據(jù)權(quán)利要求9 11中任一項所述的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的制造方法,其特征在于,所述絕緣化處理為從氧化處理、酸處理、堿處理、熱處理、光處理、電子束處理和臭氧處理中選擇的至少一種處理。
全文摘要
本發(fā)明提供不需要在電極間另外設(shè)置間隔件就能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、成本降低、操作性提高且耐沖擊性也優(yōu)異的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體及其制造方法,進而提供使用了前述導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體的驅(qū)動器元件。一種導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,其特征在于,為至少含有1層導(dǎo)電性高分子層的導(dǎo)電性高分子復(fù)合結(jié)構(gòu)體,前述導(dǎo)電性高分子層的表層為絕緣層。
文檔編號B32B27/00GK102481756SQ20108003499
公開日2012年5月30日 申請日期2010年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者中山實, 佐藤雄一, 田中昇 申請人:伊美克斯株式會社