專利名稱：制作光學(xué)膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制作形成在塑料基板上的光學(xué)膜的方法。
背景技術(shù)：
最近幾年中，使用形成在具有絕緣表面的基板上的半導(dǎo)體薄膜(具有大約從幾nm到幾百nm的厚度)形成薄膜晶體管(TFT)的技術(shù)已經(jīng)引起關(guān)注。薄膜晶體管已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多種電子器件例如IC和電子設(shè)備。特別地，關(guān)于薄膜晶體管作為液晶面板和發(fā)光顯示面板的開關(guān)元件的研究已經(jīng)在加快。
就液晶顯示面板來說，液晶材料夾在元件基板和相對基板之聞。這里，使用非晶硅或多晶硅作為半導(dǎo)體的TFT排列成矩陣，并且連接到每個(gè)TFT的像素電極、源極布線和柵極布線分別形成在元件基板上方。具有相對電極的相對基板與元件基板相對放置。另外，彩色顯示器的濾色器形成在元件基板或相對基板上。接著偏振片分別設(shè)置在元件基板和相對基板上作為光學(xué)快門以顯示彩色圖像。
液晶顯示器件的濾色器具有包括R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)的著色層和覆蓋像素之間的間隙的光屏蔽掩模(黑矩陣)，并且通過在其中傳播光來提取紅光、綠光、和藍(lán)光。濾色器的光屏蔽掩模通常由包含黑色顏料的金屬膜或有機(jī)膜制成。濾色器設(shè)置在與像素相對應(yīng)的位置，由此能夠?yàn)槊總€(gè)像素改變所提取的光的顏色。注意，對應(yīng)于像素的位置表示與像素電極相符合的位置。
就發(fā)光顯示器件來說，存在通過將發(fā)射紅光、綠光、或藍(lán)光的發(fā)光元件排列成矩陣的彩色化方法；通過利用使用發(fā)射白光的發(fā)光元件的濾色器的彩色化方法；等等。通過利用使用發(fā)射白色的發(fā)光元件的濾色器的彩色化方法大體上類似于使用濾色器的液晶顯示器件的彩色化方法(參見專利文獻(xiàn)1)。
日本專利申請公開物No.2001-217072發(fā)明內(nèi)容常規(guī)地，用于液晶顯示器件的濾色器形成在玻璃基板上。因此，存在的問題是其中形成在玻璃基板上的濾色器和使用該濾色器的液晶顯示器件具有差的抗沖擊特性并且隨著玻璃基板厚度的減小而趨向于容易破裂。因此，難以制作薄液晶顯示器件。
另外，由于玻璃基板不具有柔性，因此難以在具有彎曲表面的部分或顯示器件上形成彩色膜。
而且，有色樹脂和顏料分散樹脂(pigment dispersing resin)通常用作濾色器的原材料。然而，為了固化這些樹脂，有必要執(zhí)行在恒溫下加熱的步驟。因此，難以在熱塑性基板上形成濾色器。
根據(jù)上述問題，本發(fā)明提供制作形成在塑料基板上的光學(xué)膜的方法。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供制作光學(xué)膜的方法，其中在第一基板上形成分離層和具有濾光器的對象本體之后，通過使用第一粘合材料使第二基板以該第二基板面向第一基板的方式附著到對象本體上，并且在分離層和對象本體之間產(chǎn)生分離。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供制作光學(xué)膜的方法，其中在第一基板上形成分離層和具有濾光器的對象本體之后，通過使用可剝落的粘合劑使支撐介質(zhì)以該支撐介質(zhì)面向?qū)ο蟊倔w的方式附著到對象本體上，并且在分離層和對象本體之聞產(chǎn)生分離，以及在通過使用粘合材料在對象本體上形成第二基板之后，支撐介質(zhì)和可剝落的粘合劑與濾光器分離。
注意，分離層由下述形成從鈦(Ti)、鋁(Al)、鉭(Ta)、鎢(W)、鉬(Mo)、銅(Cu)、鉻(Cr)、釹(Nd)、鐵(Fe)、鎳(Ni)、鈷(Co)、釕(Ru)、銠(Rh)、鈀(Pd)、鋨(Os)、銥(Ir)中選擇的元素；包括合金材料或包含上述元素作為其主要構(gòu)成的化合物材料的單層；這些單層的疊層。另外，對象本體包括氧化硅、氮氧化硅、或金屬氧化物。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供制作光學(xué)膜的方法，其中在第一基板上形成金屬層、絕緣層、和濾光器之后，第二基板附著到濾光器上，并且第一基板與濾光器分離。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供制作光學(xué)膜的方法，其中在第一基板上形成金屬層、絕緣層和濾光器之后，濾光器與第一基板分離，并且第二基板附著到濾光器上。
在本發(fā)明中，在形成金屬層和絕緣層的同時(shí)可在金屬層和絕緣層之間形成金屬氧化物層。
另外，可以在加熱絕緣層之后形成濾光器以在金屬層和絕緣層之間形成金屬氧化物層。
在形成濾光器之后，通過加熱可以在分離層和絕緣層之間形成金屬氧化物層。
可以在氧化金屬層的表面以形成金屬氧化膜之后形成絕緣層。
在將濾光器與第一基板分離的步驟中，通過使用物理裝置引起金屬層和絕緣層之間，一般是金屬層和金屬氧化物層之間、或金屬氧化物層和絕緣層之間、或金屬氧化物層內(nèi)的分離。
濾光器是濾色器、色彩轉(zhuǎn)換濾波器、或全息濾色器。
第二基板由塑料基板制成。此時(shí)，光學(xué)膜是包括濾色器、色彩轉(zhuǎn)換濾波器、或全息濾色器的膜。
可以使用光學(xué)膜作為第二基板。彩色膜、偏振片、包括延遲板和偏振片的橢圓偏振片、和光反射膜可以用作光學(xué)膜。此時(shí)，具有濾光器的光學(xué)膜顯示出多種光學(xué)功能。
優(yōu)選地，第一基板是耐熱基板。一般，玻璃基板、石英基板、陶瓷基板、硅基板、金屬基板、和不銹鋼基板可以用作基板的典型實(shí)例。
下述材料可以用作金屬層的典型實(shí)例從鈦(Ti)、鋁(Al)、鉭(Ta)、鎢(W)、鉬(Mo)、銅(Cu)、鉻(Cr)、釹(Nd)、鐵(Fe)、鎳(Ni)、鈷(Co)、釕(Ru)、銠(Rh)、鈀(Pd)、鋨(Os)、銥(Ir)中選擇的元素；包括合金材料或包含上述元素作為其主要構(gòu)成的化合物材料的單層；這些單層的疊層；以及這些材料的氮化物。
絕緣層優(yōu)選由氧化物形成，例如氧化硅、氮氧化硅、或金屬氧化物的單層，或它們的疊層。
金屬氧化物層是通過熱處理來氧化金屬層的一部分所形成的層，該熱處理在形成絕緣層時(shí)或在形成絕緣層之后進(jìn)行。一般，金屬氧化物層是從鈦(Ti)、鋁(Al)、鉭(Ta)、鎢(W)、鉬(Mo)、銅(Cu)、鉻(Cr)、釹(Nd)、鐵(Fe)、鎳(Ni)、鈷(Co)、釕(Ru)、銠(Rh)、鈀(Pd)、鋨(Os)、和銥(Ir)中選擇的元素的氧化物。
在本發(fā)明中，顯示器件表示使用顯示元件的器件，即圖像顯示器件。另外，顯示器件包括下述所有模塊其中利用連接器例如FPC(柔性印刷電路)、TAB(帶式自動(dòng)接合)帶、或TCP(帶載封裝)附著發(fā)光元件的模塊；具有設(shè)置在TAB帶或TCP的一端上的印刷線路板的模塊；以及其中通過COG(玻璃上芯片)技術(shù)將顯示元件直接與IC(集成電路)或CPU安裝在一起的模塊。
根據(jù)以下實(shí)施例，可以在塑料基板上形成濾光器。即，可以制作其中濾光器形成在塑料基板上的光學(xué)膜。由于根據(jù)本發(fā)明制作的光學(xué)膜具有柔性，因此可以將該光學(xué)膜設(shè)置在具有彎曲表面的部分或顯示器件上。另外，該光學(xué)膜不易受高溫處理的影響，因此可以形成具有高可靠性和高成品率的光學(xué)膜。此外，可以形成具有極好的抗沖擊特性的光學(xué)膜。
使用根據(jù)本發(fā)明制作的光學(xué)膜的顯示器件具有這樣的結(jié)構(gòu)其中通過不同的步驟單獨(dú)形成具有在其中形成元件的層和光學(xué)膜，并且隨后該層和光學(xué)膜相互附著。通過利用該結(jié)構(gòu)，可以單獨(dú)控制具有在其中形成元件即TFT和顯示元件的層的成品率和光學(xué)膜的成品率，由此完全抑制了顯示器件的成品率的降低。
另外，制作有源矩陣基板的步驟和制作光學(xué)膜的步驟可以同時(shí)進(jìn)行，降低了顯示器件的制作交付周期。
而且，由于使用塑料基板，因此可以制作具有改善的抗沖擊特性和減小的重量的顯示器件。


圖1A到1E是解釋根據(jù)本發(fā)明制作光學(xué)膜的步驟的截面圖；圖2A到2E是解釋根據(jù)本發(fā)明制作光學(xué)膜的步驟的截面圖；圖3A到3E是解釋根據(jù)本發(fā)明制作具有濾色器的基板的步驟的截面圖；圖4A到4D是解釋根據(jù)本發(fā)明制作具有濾色器的基板的步驟的截面圖；圖5A和5B是解釋根據(jù)本發(fā)明的具有濾色器的發(fā)光顯示器件的截面圖；圖6A和6B是解釋根據(jù)本發(fā)明的具有濾色器的液晶顯示器件的截面圖；圖7A和7B是解釋根據(jù)本發(fā)明的具有濾色器的發(fā)光顯示器件面板的頂視圖和截面圖；圖8A和8B是解釋根據(jù)本發(fā)明的具有濾色器的液晶顯示器件的頂視圖和截面圖；
圖9A和9B是解釋根據(jù)本發(fā)明制作的具有濾色器的基板的圖；以及圖10A到10C是解釋電子設(shè)備的實(shí)例的圖。
具體實(shí)施例方式
下文將參考附圖描述本發(fā)明的最佳模式。正如本領(lǐng)域的技術(shù)人員所容易理解的，本發(fā)明可以體現(xiàn)為多種形式，并且在不脫離本發(fā)明的目的和范圍的情況下可以改變和修改實(shí)施例模式及其細(xì)節(jié)。因此，本發(fā)明的解釋不應(yīng)局限于實(shí)施例模式中所提及的描述。注意，在附圖中彼此相同的部分用相同的參考數(shù)字表示，并且將不被進(jìn)一步解釋。
將參考圖1A到1E描述在塑料基板上制作光學(xué)膜的方法。
首先，如圖1A所示在第一基板101上形成金屬層102。使用耐熱材料，即在制作光學(xué)膜的步驟和分離步驟中能承受熱處理的材料作為第一基板。一般，可以使用玻璃基板、石英基板、陶瓷基板、硅基板、金屬基板、或不銹鋼基板。
金屬層102可以由下述形成從鈦(Ti)、鋁(Al)、鉭(Ta)、鎢(W)、鉬(Mo)、銅(Cu)、鉻(Cr)、釹(Nd)、鐵(Fe)、鎳(Ni)、鈷(Co)、釕(Ru)、銠(Rh)、鈀(Pd)、鋨(Os)、銥(Ir)中選擇的元素；包括合金材料或包含上述元素作為其主要構(gòu)成的化合物材料的單層；或這些單層的疊層；或這些的氮化物，典型的是包括鉬或包含鉬的合金的單層或它們的疊層。注意，通過適當(dāng)調(diào)節(jié)金屬層中合金的金屬成分比或包含在金屬層中的氧或氮的成分比來改變隨后分離步驟的條件。因此，分離步驟可適于多種處理。金屬層102的膜厚度設(shè)置為10到200nm，優(yōu)選是50到75nm。
其次，氧化物層103形成在金屬層或氮化物層102上。此時(shí)，金屬氧化物層形成在金屬層102和氧化物層103之間。當(dāng)在隨后的步驟中產(chǎn)生分離時(shí)，將在金屬氧化物層內(nèi)部、在金屬氧化物層和氧化物層之間的界面內(nèi)、或在金屬氧化物層和金屬層之聞的界面內(nèi)產(chǎn)生分離。就氧化物層103來說，可以通過濺射或等離子體CVD形成包括氧化硅、氮氧化硅、或金屬氧化物的層。希望氧化物層103的膜厚度是氮化物層或金屬層102的膜厚度的大約1到3倍，優(yōu)選是至少1.5到2倍。這里，通過使用氧化硅靶的濺射形成具有從75到200nm的厚度的氧化硅膜。
接著，在氧化物層103上形成濾光器104?？梢允褂脼V色器、色彩轉(zhuǎn)換濾波器、全息濾色器等作為濾光器的典型實(shí)例。
如圖1B所示，接著利用粘合材料111來粘附用于固定濾光器104的第二基板112。就粘合材料來說，可以使用包括反應(yīng)固化粘合材料、熱固化粘合材料、光固化粘合材料例如紫外線固化粘合材料、厭氧固化粘合材料的多種粘合材料?？梢允褂糜袡C(jī)樹脂例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、和硅樹脂作為這些材料的典型實(shí)例。
第二基板112由塑料基板(由高分子量材料或樹脂制成的膜)形成?？梢允褂孟率鲎鳛樗芰匣宓牡湫蛯?shí)例由聚碳酸酯(PC)制成的塑料基板；由JSR公司制作的由具有極性基的降冰片烯樹脂形成的ARTON；聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)；聚醚砜(PES)；聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate)(PEN)；尼龍；聚醚醚酮(PEEK)；聚砜(PSF)；聚醚酰亞胺(PEI)；多芳基化合物(PAR)；聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)；聚酰亞胺；等等。除此之外，還可以使用諸如偏振片、延遲板、和散光膜之類的光學(xué)膜作為第二基板。
隨后，如圖1C所示，使用可剝落的粘合劑122將第一支撐介質(zhì)121附著到第二基板112上。此時(shí)，當(dāng)空氣泡侵入第二基板112和可剝落的粘合劑122之間時(shí)，在隨后的分離步驟中在濾光器中容易引起破裂。為了防止破裂，將第一支撐介質(zhì)附著到其上以便使空氣泡不侵入第二基板112和可剝落的粘合劑122之間。注意，在其間沒有侵入空氣泡的情況下通過使用帶式安裝器件等可以很快地附著上第一支撐介質(zhì)。
可以使用下述作為可剝落的粘合劑122由有機(jī)樹脂制成的粘合材料所形成的材料，典型的是包括反應(yīng)剝落粘合劑、熱剝落粘合劑、光剝落粘合劑例如紫外線剝落粘合劑、厭氧剝落粘合劑等的多種可剝落的粘合劑；或在其每個(gè)表面上具有由多種可剝落的粘合劑形成的粘合層的元件(一般是雙面帶和雙面薄片)。
優(yōu)選使用具有比第二基板的剛性高的剛性的基板作為第一支撐介質(zhì)，一般是玻璃基板、石英基板、金屬基板、或陶瓷基板。
而且，優(yōu)選使用具有比第一和第二基板的剛性高的剛性的基板作為第一支撐介質(zhì)。
在濾光器104的表面不平的情況下，可以在濾光器的表面上形成平面化層作為緩沖層。一般，可以使用有機(jī)樹脂、有機(jī)或無機(jī)絕緣涂敷膜、通過CMP(化學(xué)-機(jī)械拋光)技術(shù)等平面化的絕緣膜、粘合劑等。注意，絕緣膜可以具有單層或疊層結(jié)構(gòu)。除此之外，還可以通過使用絕緣膜和粘合劑兩者來形成平面化層。
在圖1C中，第一基板101和形成在其上的金屬層102被稱為分離本體123。同時(shí)，從氧化物層103到第二基板112的層(即夾在金屬層102和可剝落的粘合劑122之間的層)被稱為對象本體124。
優(yōu)選地，使用可剝落的粘合劑將支撐介質(zhì)接合到第一基板101上以防止每個(gè)基板破裂。通過將支撐介質(zhì)接合到其上，可以用較小的力來完成隨后將要進(jìn)行的分離步驟。優(yōu)選地，使用具有比第一基板的剛性高的剛性的基板作為支撐介質(zhì)，一般是石英基板、金屬基板、和陶瓷基板。
如圖1D所示，接著借助物理裝置使分離本體123與對象本體124分離。例如，物理力表示相對小的力，例如人手、用噴嘴施加的氣體壓力、和超聲波。
結(jié)果，在金屬層102內(nèi)部、金屬氧化物層內(nèi)部、金屬氧化物層和氧化物層103之間的界面內(nèi)、或金屬氧化物層和金屬層之間的界面內(nèi)產(chǎn)生分離，因此可以用相對小的力使分離本體123與對象本體124分離。
注意，為了容易地分開分離本體，優(yōu)選執(zhí)行預(yù)處理作為在分離步驟之前的前一步驟。一般，執(zhí)行用于部分地降低金屬層102和氧化物層103之間的粘附性的處理。用于部分地降低其間的粘附性的處理是通過沿將要分離的區(qū)域的邊緣將激光束部分地照射到金屬層102上來執(zhí)行的一種處理，或通過沿將要與外部部分分離的區(qū)域的邊緣局部施加壓力來部分地破壞金屬層102的內(nèi)部或界面所執(zhí)行的一種處理。特別地，當(dāng)將負(fù)荷施加到該處時(shí)可以垂直地按壓和移動(dòng)諸如金剛石筆之類的硬針。優(yōu)選地，當(dāng)施加壓力時(shí)可以使用劃片器件在0.1mm到2mm的范圍內(nèi)用按壓力移動(dòng)硬針。因此，在執(zhí)行分離步驟前形成容易引起分離現(xiàn)象的部分即分離現(xiàn)象的觸發(fā)是重要的。通過預(yù)先執(zhí)行選擇性地(部分地)降低粘附性的處理，可以防止不良分離，由此改善成品率。
如圖1E所示，接著可剝落的粘合劑122和第一支撐介質(zhì)121與第二基板112分離。
根據(jù)上述步驟可以形成光學(xué)膜。即，可以在第二基板112上形成濾光器104。
注意，粘合材料的有機(jī)樹脂111插入在濾光器104和第二基板112之間。另外，氧化物層103形成在濾光器104的表面上；該表面與濾光器104的其上形成有機(jī)樹脂的另一個(gè)表面相對。
另外，可以使用諸如偏振片、延遲板、和散光膜之類的光學(xué)膜作為第二基板112。除此之外，可以在第二基板的表面或氧化物層的表面上形成已知的抗反射膜。通過采用該結(jié)構(gòu)，可以形成具有多種功能的光學(xué)膜。
在實(shí)施例模式中制作的光學(xué)膜具有柔性，因此它可以設(shè)置在具有彎曲表面的部分或顯示器件上。另外，濾光器不在高溫下處理，由此獲得了具有高可靠性和高成品率的濾光器。而且，可以形成具有極好的抗沖擊特性的濾光器。
在本實(shí)施例模式中，將參考圖2A到2E描述制作濾光器的方法，該濾光器在濾光器和第二基板之間具有與實(shí)施例模式1的粘附表面不同的粘附表面。
如圖2A所示，金屬層102和氧化物層103順序?qū)盈B在第一基板101上，并且濾光器104以與實(shí)施例模式1相同的方式形成在氧化物層103上。注意，金屬氧化物層形成在金屬層和氧化物層之間。
如圖2B所示，接著利用可剝落的粘合劑122將第一支撐介質(zhì)121附著到濾光器104上。這里第一基板101和形成在其上的金屬層102被稱為分離本體211。另外，氧化物層103和濾光器104(即夾在金屬層102和可剝落的粘合劑122之間的層)被稱為對象本體212。
注意，優(yōu)選地，利用可剝落的粘合劑將支撐介質(zhì)附著到第一基板101上以防止每個(gè)基板破裂。通過將支撐介質(zhì)附著到其上，可以用較小的力來執(zhí)行隨后將要進(jìn)行的分離步驟。優(yōu)選地，支撐介質(zhì)可以由具有比第一基板的剛性高的剛性的基板形成，一般是石英基板、金屬基板、和陶瓷基板。
在濾光器104的表面不平的情況下，可以在濾光器的表面上形成平面化層。通過提供平面化層，可以防止大氣侵入濾光器和可剝落的粘合劑之間，由此改善了分離步驟的可靠性。平面化層可以由通過施加例如絕緣涂敷膜和有機(jī)樹脂制成的材料形成。當(dāng)平面化層由可剝落的材料一般是粘合劑形成時(shí)，以后可以除去該平面化層。
如圖2C所示，接著借助物理裝置使分離本體211與對象本體212分離。為了易于分離，優(yōu)選執(zhí)行如實(shí)施例模式1所述的預(yù)處理作為在分離步驟之前的前一步驟。根據(jù)該預(yù)處理，在金屬氧化物層內(nèi)部、金屬氧化物層和氧化物層之間的界面內(nèi)、或金屬氧化物層和金屬層之間的界面內(nèi)產(chǎn)生分離，因此可以用相對小的力將分離本體211與對象本體212分離。注意，實(shí)施例模式1中所提及的物理裝置是適合的。
如圖2D所示，接著利用粘合材料111將第二基板112附著到氧化物層103上。其后，可剝落的粘合劑122和第一支撐介質(zhì)121與濾光器104分離。
根據(jù)上述步驟可以形成光學(xué)膜。即，可以在第二基板112上形成濾光器104。
注意，粘合材料的有機(jī)樹脂111和氧化物層103插入第二基板112和在本實(shí)施例模式中形成的濾光器104之間。
或者，可以在濾光器104的表面上形成透明導(dǎo)電膜之后執(zhí)行分離步驟。依照該步驟，可以形成具有像素電極的光學(xué)膜。
而且，可以使用諸如偏振片、延遲板、和散光膜之類的光學(xué)膜作為第二基板112。除此之外，可以在第二基板的表面或氧化物層的表面上形成已知的抗反射膜。通過采用該結(jié)構(gòu)，可以形成具有多種功能的光學(xué)膜。
在實(shí)施例模式中制作的光學(xué)膜具有柔性，因此它可以設(shè)置在具有彎曲表面的部分或顯示器件上。另外，濾光器不在高溫下處理，由此獲得了具有高可靠性和高成品率的濾光器。而且，可以形成具有極好的抗沖擊特性的濾光器。
相對于實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?，在本實(shí)施例模式中將描述在分離本體和對象本體之間的界面內(nèi)的更容易的分離步驟。
在第一基板101上形成金屬層102和氧化物層103之后，加熱所得到的第一基板。其后，在氧化物層上形成濾光器104。通過執(zhí)行這些步驟，可以在金屬層102和氧化物層103之間產(chǎn)生分離。此時(shí)，可以在第一基板所能承受的溫度范圍下加熱第一基板，一般是在100℃到600℃的范圍內(nèi)，優(yōu)選是150℃到500℃。
作為熱處理步驟的替代，可以從第一基板101的一側(cè)照射激光束。另外，可以執(zhí)行激光照射和熱處理的組合處理。
這里可以使用連續(xù)波固態(tài)激光器或脈沖式固態(tài)激光器。一般，可以使用下述激光器中的一個(gè)或多個(gè)作為連續(xù)波固態(tài)激光器或脈沖式固態(tài)激光器YAG激光器；YVO4激光器；YLF激光器；YAlO3激光器；玻璃激光器；紅寶石激光器；變石激光器；和鈦藍(lán)寶石激光器。而且，可以使用下述激光器中的一個(gè)或多個(gè)作為其它連續(xù)波固態(tài)激光器或脈沖式固態(tài)激光器受激準(zhǔn)分子激光器；Ar激光器；和Kr激光器。
激光束可以從基板的一側(cè)、或從氧化物層的一側(cè)、或從基板和氧化物層的兩側(cè)照射到金屬層。
另外，激光束的射束形狀可以是圓形、三角形、正方形、多邊形、橢圓形、或線性形狀。激光束的尺寸可以是微米、毫米、和米中的任何尺寸(其也可以具有虛線形狀或平面形狀)。而且，在上述氧化步驟中，用激光束照射的區(qū)域可以與在上述區(qū)域之前已經(jīng)立即用激光束照射的區(qū)域交疊，或者也可以不與其交疊。另外，優(yōu)選使用具有從10nm到1mm的波長的激光束，更優(yōu)選是從100nm到10μm。
可以用較小的物理力將在本實(shí)施例模式中制作的光學(xué)膜與第一基板分離，由此改善了成品率及其可靠性。
相對于實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?，在本實(shí)施例模式中將描述在分離本體和對象本體之間的界面內(nèi)的更容易的分離步驟。在本實(shí)施例模式中，在形成濾光器之后執(zhí)行熱處理。
在第一基板101上形成金屬層102和氧化物層103，在氧化物層103上形成濾光器104，然后加熱所得到的第一基板。其后，利用實(shí)施例模式1中的粘合材料111將第二基板112附著到濾光器104上。另一方面，通過使用實(shí)施例模式2中的粘合劑122將第一支撐介質(zhì)121附著到濾光器104上。
作為上述步驟的替代，在第一基板101上形成金屬層102和氧化物層103之后，可以加熱所得到的第一基板，隨后可以在氧化物層103上形成濾光器104。
根據(jù)該步驟，可以在金屬層102和氧化物層103之間用較小的物理裝置使金屬層102與氧化物層103分離。此時(shí)，可以在第一基板所能承受的溫度范圍下加熱第一基板，一般是在100℃到300℃的范圍內(nèi)，優(yōu)選是150℃到250℃。
另外，作為熱處理步驟的替代，可以采用與實(shí)施例模式3相同的方式從第一基板101的一側(cè)照射激光束。或者，可以執(zhí)行激光照射和熱處理的組合處理。
可以用較小的物理力將在本實(shí)施例模式中制作的光學(xué)膜與第一基板分離，由此改善了成品率及其可靠性。
在本實(shí)施例模式中將解釋通過與實(shí)施例模式1和實(shí)施例模式2不同的形成金屬氧化物膜的步驟制作光學(xué)膜的方法。
采用與實(shí)施例模式1和實(shí)施例模式2相同的方式在第一基板101上形成金屬層102。接著在金屬層102的表面上形成金屬氧化物層?？梢允褂脽嵫趸幚怼⒀醯入x子體處理、利用強(qiáng)氧化溶液例如臭氧水的處理等作為形成金屬氧化物層的方法。通過使用上述處理中的任何一種來處理金屬層102的表面以形成具有從1到10nm的厚度的金屬氧化物層，優(yōu)選是從2到5nm。
其后，采用與實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?相同的方式形成氧化物層103和濾光器104，由此形成了光學(xué)膜。
在本實(shí)施例模式中可以形成作為分離層的一部分的金屬氧化物層，由此能夠形成具有高成品率的光學(xué)膜。
將根據(jù)本發(fā)明參考圖3A到3E和圖4A到4D解釋把形成在玻璃基板上的濾光器附著到塑料基板上的實(shí)例。盡管在本實(shí)施例中使用濾色器作為濾光器的典型實(shí)例，但是可以使用色彩轉(zhuǎn)換濾波器、全息濾色器等來代替濾色器。
如圖3A所示，在玻璃基板(第一基板301)上形成分離層。在該實(shí)施例中使用AN100作為玻璃基板。金屬層302即鉬膜(具有從10到200nm的厚度，優(yōu)選是從50到75nm)通過濺射形成在玻璃基板上。隨后，氧化物膜303即氧化硅膜(具有從10到400nm的厚度，優(yōu)選是從75到150nm)層疊在其上。在層疊氧化物層時(shí)，在金屬層302和氧化硅膜303之間形成金屬氧化物膜(即氧化鉬膜)。在隨后的分離步驟中，在氧化鉬膜內(nèi)部；在氧化鉬膜和氧化硅膜之間的界面內(nèi)；或氧化鉬膜和鉬膜之聞的界面內(nèi)產(chǎn)生分離。
如圖3B所示，濾色器形成在氧化物層303上。可以采用下述已知方法作為制作濾色器的方法使用有色樹脂的刻蝕法；使用彩色抗蝕劑(color resist)的彩色抗蝕劑法；染色法；電沉積法；膠束電解法；電沉積傳輸法；膜擴(kuò)散法；噴墨法(液滴放電法)；銀鹽著色法；等等。
現(xiàn)在，通過使用其中擴(kuò)散了顏料的光敏樹脂的刻蝕法形成濾色器。首先，通過施加將其中擴(kuò)散了黑色顏料的光敏丙烯酸樹脂施加到氧化物層303上。通過干燥、預(yù)先烘焙丙烯酸樹脂，然后將其曝光并顯影。其后，在220℃的溫度下加熱丙烯酸樹脂以將其固化，從而形成具有從0.5到1.5μm的厚度的黑矩陣311。隨后，通過施加在基板上分別施加其中擴(kuò)散了紅色顏料的光敏丙烯酸樹脂、其中擴(kuò)散了綠色顏料的光敏丙烯酸樹脂、和其中擴(kuò)散了藍(lán)色顏料的光敏丙烯酸樹脂。每種光敏丙烯酸樹脂經(jīng)受形成黑矩陣的相同步驟，以分別形成具有1.0到2.5μm的厚度的紅色層312(下文稱為有色層R)、綠色層313(下文稱為有色層G)、和藍(lán)色層314(下文稱為有色層B)。其后形成保護(hù)膜(未示出)以完成濾色器315。
在本說明書中，有色層R代表其中透射紅光(具有在650nm附近的峰值波長)的有色層。有色層G代表其中透射綠光(具有在550nm附近的峰值波長)的有色層。另外，有色層B代表其中透射藍(lán)光(具有在450nm附近的峰值波長)的有色層。
如圖3C所示，利用粘合材料321將塑料基板322附著到濾色器315上。就粘合材料321來說，采用環(huán)氧樹脂，其是光固化粘合材料。使用聚碳酸酯膜作為塑料基板322。
隨后如圖3D所示，執(zhí)行預(yù)處理以容易進(jìn)行分離處理。通過使用劃片器件，當(dāng)施加壓力時(shí)在從0.1mm到2mm的范圍內(nèi)用按壓力移動(dòng)硬針以便除去基板的邊緣。此時(shí)，在金屬層302和氧化物層303之間產(chǎn)生分離。通過在預(yù)處理中預(yù)先選擇性地(部分地)降低粘附性，可以防止不良分離，由此改善成品率。
如圖3E所示，通過使用可剝落的粘合劑341將第一支撐介質(zhì)342附著到塑料基板322上。使用雙面帶作為可剝落的粘合劑341，而使用石英基板作為第一支撐介質(zhì)342。通過把第一支撐介質(zhì)附著到塑料基板上，可以防止濾色器破裂和破損。
接著如圖4A所示，通過使用可剝落的粘合劑351將第一支撐介質(zhì)352附著到第一基板301上。使用雙面帶作為可剝落的粘合劑，而使用石英基板不但作為第一支撐介質(zhì)這里還作為第二支撐介質(zhì)。
如圖4B所示，接著使第一基板301與濾色器315分離。如圖3B所示，在經(jīng)受預(yù)處理以便容易執(zhí)行分離處理的部分中，即在金屬層302和氧化物層303之間的粘附性部分地降低的區(qū)域中，借助物理裝置使具有形成在其上的金屬層302的第一基板301和第二支撐介質(zhì)352分離?？梢杂孟鄬π〉牧?例如使用元件的負(fù)荷、人手、用噴嘴施加的氣體壓力、和超聲波等)來執(zhí)行該分離。在本實(shí)施例中，將具有尖端的元件例如楔形物的一部分插入金屬層302和氧化物層303之間以分離這兩層。因此，可以將形成在氧化硅層303上的濾色器315與第一基板301和金屬層302分離。
然后，如圖4C所示，第一支撐介質(zhì)342與塑料基板322分離。如果粘合材料保留在塑料基板上，那么該粘合材料的剩余物可能會(huì)引起缺陷。因此，優(yōu)選通過O2等離子體照射、紫外線照射、或臭氧清洗來洗滌塑料基板322的表面。另外，可以執(zhí)行真空加熱以除去塑料基板上所吸收的濕氣。
根據(jù)上述步驟，濾色器315形成在塑料基板322上同時(shí)將作為粘合材料的有機(jī)材料夾在其聞，如圖4D所示。注意，氧化物層303形成在濾色器的表面上。濾色器315、形成在該濾色器的表面上的氧化物層303、粘合材料(樹脂層)321、和塑料基板322被稱為具有濾色器的基板361。
圖9A示出具有在本實(shí)施例中制作的濾色器的基板的照片。圖9B是圖9A的摹制圖，其中參考數(shù)字901表示手；902表示塑料基板；以及903表示濾色器。塑料基板由于具有柔性，因此是彎曲的。
注意，實(shí)施例模式2可以代替實(shí)施例模式1應(yīng)用于本實(shí)施例。
根據(jù)該實(shí)施例，濾色器可以形成在塑料基板上。而且，通過在光學(xué)膜例如偏振片、延遲板、和散光膜上形成濾色器，可以形成集成了多種功能的光學(xué)膜。
具有根據(jù)本實(shí)施例制作的濾色器的塑料基板具有柔性，因此它可以設(shè)置在具有彎曲表面的部分或顯示器件上。另外，由于濾色器不在高溫下處理，因此可以將具有該濾色器的基板制作成具有高可靠性和高成品率。而且，可以形成包括極好的抗沖擊特性的具有濾色器的基板。
在本實(shí)施例中將參考圖5A和5B描述具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的發(fā)光顯示器件的實(shí)例。
能夠向下發(fā)射光的發(fā)光顯示器件在圖5A中示出。在圖5A中，參考數(shù)字501表示具有形成在其中的元件的層；361表示具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的基板；以及500表示第二基板。
在具有形成在其中的元件的層中，在絕緣膜520上形成TFT 502作為半導(dǎo)體元件。TFT 502的結(jié)構(gòu)沒有特別限制，可以使用頂柵TFT(一般是平面TFT)或底柵TFT(一般是倒置交錯(cuò)型TFT)。就所述元件來說，可以使用有機(jī)半導(dǎo)體晶體管、二極管、或MIM元件作為TFT的替代物。
由導(dǎo)電氧化物膜制成的第一電極連接到TFT 502上作為像素電極。在本實(shí)施例中，第一電極用作陽極503。第二電極與第一基板相對同時(shí)將包含發(fā)光物質(zhì)的層夾在其間。這里第二電極用作陰極505。此處使用的導(dǎo)電氧化物膜對于可見光是透明的。在發(fā)光層中產(chǎn)生的光通過陽極503被提取到外面(沿圖中箭頭的方向)。TFT 502和陽極503設(shè)置在多個(gè)像素的每一個(gè)中。
發(fā)光層504形成為與陽極503相接觸，并且陰極505形成在其上。發(fā)光層504對應(yīng)于發(fā)光元件的發(fā)光部分，并且包括單層或疊層。基本上，發(fā)光層包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子注入層、和電子傳輸層。此外，發(fā)光層還可以包括任何已知的結(jié)構(gòu)?？梢允褂糜袡C(jī)材料或者無機(jī)材料作為發(fā)光層材料。在使用有機(jī)化合物的情況下，可以使用高分子量有機(jī)材料或者低分子量有機(jī)材料。
陰極優(yōu)選由具有低功函數(shù)的材料制成，并且可以使用包含屬于周期表的1或2族的元素的金屬膜。當(dāng)然可以采用任何已知的陰極材料。
在本說明書中，發(fā)光元件表示包括陽極、發(fā)光層、和陰極的發(fā)光元件。因此，發(fā)光元件506包括陽極503、發(fā)光層504、和陰極505。
由于陽極503具有光透射特性而陰極505具有光屏蔽特性或光反射特性，因此發(fā)光元件朝向陽極即朝向TFT發(fā)射光(這里即底部發(fā)射)。因而，通過使用粘合材料508將具有在實(shí)施例1中形成的濾色器的基板361附著到光發(fā)射通過的表面上，即具有形成在其中的元件的層501的絕緣膜520的表面，其是具有形成在其中的元件的層501的TFT側(cè)。
同時(shí)，用密封材料507覆蓋發(fā)光元件506，并且利用該密封材料507將第二基板500附著到發(fā)光元件上。密封材料507包括樹脂，并且一般使用紫外線固化樹脂或環(huán)氧樹脂。
第二基板500保護(hù)發(fā)光元件506免受濕氣和氧氣影響，并且還用作用于保護(hù)發(fā)光元件506免受機(jī)械沖擊的保護(hù)層。盡管第二基板500可以由任何材料形成，但優(yōu)選使用塑料基板以降低發(fā)光顯示器件的重量并且增強(qiáng)抗沖擊特性。在本實(shí)施例中使用聚碳酸酯(PC)膜作為塑料基板。
下面將解釋如圖5A所示的制作發(fā)光顯示器件的步驟。
具有通過已知方法形成的形成在其中的元件的層501形成在第一基板(圖中未示出)上。通過使用密封材料507將第二基板500附著到具有形成在其中的元件的層501上。其后，從具有形成在其中的元件的層501中除去第一基板。作為除去第一基板的方法，可以適當(dāng)?shù)貞?yīng)用分離第一基板的步驟、拋光第一基板的步驟、熔解第一基板的步驟等等。注意，可以薄薄地拋光第一基板以用作第二基板。在本實(shí)施例中，通過利用與實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?相同的技術(shù)，金屬層、氧化物層、和具有形成在其中的元件的層順序?qū)盈B在第一基板上。然后，在金屬層和氧化物層之間產(chǎn)生分離以從具有形成在其中的元件的層501中除去第一基板。
接著，通過使用粘合材料508將具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的基板361附著到具有形成在其中的元件的層501的絕緣膜520上。此處，絕緣膜520形成在發(fā)光元件的通過其發(fā)射光的表面上，即具有形成元件的層501的表面，其與具有形成在其中的元件的層501的其上形成有第二基板500的另一表面相對。可以使用紫外線固化樹脂或環(huán)氧樹脂作為粘合材料508的典型實(shí)例。
根據(jù)以上步驟，可以制作使用塑料基板和形成在塑料基板上的濾色器的發(fā)光顯示器件(底部發(fā)射型發(fā)光顯示器件)。
接著，圖5B中示出能夠向上發(fā)射光的發(fā)光顯示器件。
在圖5B中，參考數(shù)字501表示具有形成在其中的元件的層；361表示具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的基板；以及511表示第二基板。
與圖5A一樣，TFT 502和發(fā)光元件506形成在具有形成在其中的元件的層501中。就發(fā)光元件來說，陽極包括光屏蔽特性或光反射特性，而陰極包括光透射特性。因此，如圖5B所示的發(fā)光元件朝向陰極即沿TFT 502的反方向發(fā)射光(這里即頂部發(fā)射)。用密封材料507覆蓋發(fā)光元件506。
通過使用密封材料507將具有在實(shí)施例1中形成的濾色器的基板361附著到光發(fā)射通過的一側(cè)上，即具有形成在其中的元件的層501的表面，其與具有形成在其中的元件的層501的其上形成TFT的另一表面相對。密封材料507是樹脂，并且一般使用紫外線固化樹脂或環(huán)氧樹脂。注意，可以在密封材料507和具有濾色器的基板361之間另外提供粘合材料。
同時(shí)，在具有形成在其中的元件的層的TFT的一側(cè)，即具有形成在其中的元件的層的表面，其與具有形成在其中的元件的層的其上形成具有濾色器的基板361的另一表面相對，通過使用粘合材料508將絕緣膜520附著到第二基板511上。
下面將描述制作圖5B中示出的發(fā)光顯示器件的步驟。
具有通過已知方法形成的形成在其中的元件的層501形成在第一基板(圖中未示出)上。通過使用密封材料507將具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的基板361附著到具有形成在其中的元件的層501上。其后，從具有形成在其中的元件的層501中除去第一基板。作為除去第一基板的方法，分離第一基板的步驟、拋光第一基板的步驟、熔解第一基板的步驟等可以完全適合。注意，可以薄薄地拋光第一基板以便有剩余。在本實(shí)施例中，通過利用與實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?相同的技術(shù)，金屬層、氧化物層、和具有形成在其中的元件的層順序?qū)盈B在第一基板上。然后，在金屬層和氧化物層之間產(chǎn)生分離以從具有形成在其中的元件的層501中除去第一基板。
隨后，在具有形成在其中的元件的層501中，通過使用粘合材料508將第二基板511附著到具有形成在其中的元件的層501的絕緣膜520上，即具有其中形成元件的層501的表面，其與具有形成在其中的元件的層501的其上形成具有濾色器的基板361的另一表面相對。可以使用紫外線固化樹脂或環(huán)氧樹脂作為粘合材料321的典型實(shí)例。
根據(jù)上述步驟，可以制作使用塑料基板和形成在塑料基板上的濾色器的發(fā)光顯示器件(頂部發(fā)射型發(fā)光顯示器件)。
注意，對于發(fā)光顯示器件優(yōu)選使用濾色器的有色層，其中的每一個(gè)都具有低顏料含量以獲得大量的光?；蛘?，通過使每個(gè)有色層的膜厚度變薄可以增加光的數(shù)量。并且，當(dāng)在有色層中摻入黑色顏料時(shí)，通過吸收從發(fā)光顯示器件外部進(jìn)入的外部光可以防止觀察者在陰極中被反射的這種缺陷。
另外，抗反射膜可以設(shè)置在具有濾色器的基板361的表面上?？狗瓷淠な蔷哂羞@樣的條件的單層膜或疊層膜，即在該條件下通過控制折射率和膜厚度幾乎不引起反射光。可以使用已知的抗反射膜。
另外，可以使用偏振片或圓偏振片(包括圓偏振膜)來代替塑料基板322。
盡管在實(shí)施例中示出了發(fā)光元件僅沿一個(gè)方向發(fā)射光的實(shí)例，但是本發(fā)明并不局限于此。本發(fā)明可以應(yīng)用于能沿兩個(gè)方向發(fā)射光的發(fā)光元件(也就是說陽極和陰極都包括光透射特性的發(fā)光元件，即雙發(fā)射型發(fā)光元件)。在這種情況下，可以將具有形成在其中的元件的層插入具有濾色器的兩個(gè)基板之間。
盡管本發(fā)明示出通過有源矩陣驅(qū)動(dòng)方法驅(qū)動(dòng)的發(fā)光元件，其中TFT形成在每個(gè)像素電極中，但是本發(fā)明并不局限于此?？梢酝耆褂猛ㄟ^無源矩陣驅(qū)動(dòng)方法驅(qū)動(dòng)的發(fā)光元件。
另外，可以通過使用作為設(shè)置在每個(gè)像素電極中的元件的有機(jī)半導(dǎo)體晶體管和作為第一基板的塑料基板形成發(fā)光顯示器件。在這種情況下，可以省略除去第一基板的步驟，由此提高生產(chǎn)量。
在該實(shí)施例中描述的發(fā)光顯示器件的一個(gè)特征在于，在分離步驟中單獨(dú)形成具有形成在其中的元件的層和濾色器，然后在完成之后兩者彼此附著。通過采用這種結(jié)構(gòu)，可以單獨(dú)控制具有形成在其中的元件即TFT和發(fā)光元件的層的成品率以及濾色器的成品率，這抑制了整個(gè)發(fā)光顯示器件的成品率的下降。
而且，可以同時(shí)進(jìn)行制作有源矩陣基板的步驟和制作濾色器的步驟，由此降低發(fā)光顯示器件的制作交付周期。
通過利用塑料基板，可以制作具有減小的重量以及改善的抗沖擊特性的發(fā)光顯示器件。
在本實(shí)施例中將解釋具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的液晶顯示器件的實(shí)例。
在圖6A中，參考數(shù)字601表示具有形成在其中的元件的層；361表示具有在實(shí)施例1中制作的濾色器的基板；以及500表示第二基板。
作為半導(dǎo)體元件的TFT 502和以后將被填充液晶的層采用與實(shí)施例2相同的方式形成在具有形成在其中的元件的層601中。TFT 502的結(jié)構(gòu)沒有具體限制，并且可以使用頂柵TFT(一般是平面TFT)或底柵TFT(一般是倒置交錯(cuò)型TFT)。作為TFT的替代物，可以使用有機(jī)半導(dǎo)體晶體管、二極管、和MIM元件作為所述元件。
由導(dǎo)電氧化物膜制成的第一電極602連接到TFT 502上作為像素電極。此處使用的導(dǎo)電氧化物膜對于可見光是透明的，并且從外部背光發(fā)射的光通過第一電極602被提取到外面。TFT 502和第一電極602設(shè)置在多個(gè)像素的每一個(gè)中對準(zhǔn)膜603形成在第一電極602上。在本實(shí)施例中使用通過研磨聚酰亞胺形成的對準(zhǔn)膜。此外，還可以使用通過利用氧化硅的傾斜沉積形成的對準(zhǔn)膜或光對準(zhǔn)膜作為所述對準(zhǔn)膜。
第二電極606和采用與對準(zhǔn)膜603相同的步驟形成的對準(zhǔn)膜605形成在第二基板500上。
形成在第二基板500上的對準(zhǔn)膜605和具有形成在其中的元件的層601利用密封材料(圖中未示出)彼此附著。
通過使用粘合材料607將具有濾色器的基板608附著到具有形成在其中的元件的層601的絕緣膜520的表面上。
下文將解釋制作如圖6A所示的液晶顯示器件的步驟。
由導(dǎo)電氧化物膜制成的第二電極606形成在第二基板500上。其后，對準(zhǔn)膜605形成在第二電極的表面上。
具有形成在其中的元件的層601借助已知方法形成在第一基板(圖中未示出)上。通過使用第一密封材料將第二基板500附著到具有形成在其中的元件的層601上。在這種情況下，第二基板附著到該處以便形成在具有形成在其中的元件的層601的表面上的對準(zhǔn)膜603與形成在第二基板上的對準(zhǔn)膜605彼此面對。另外，在兩個(gè)基板之間形成隔離物。第一密封材料與填充物混合以便兩個(gè)基板彼此附著同時(shí)保持隔離物和填充物其聞的均勻距離。
其后，從具有形成在其中的元件的層601除去第一基板。實(shí)施例2中所公開的已知技術(shù)可適于除去第一基板的步驟。在該實(shí)施例中，通過利用與實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?相同的技術(shù)，金屬層、氧化物層、和具有形成在其中的元件的層順序?qū)盈B在第一基板上。然后，在金屬層和氧化物層之間產(chǎn)生分離以從具有形成在其中的元件的層601中除去第一基板。
隨后，具有濾色器的基板361和具有形成在其中的元件的層601的絕緣膜520利用粘合材料607彼此附著。
液晶材料604注入兩個(gè)基板之間，即具有形成在其中的元件的層601中，并且利用第二密封材料(圖中未示出)完全密封這兩個(gè)基板。
根據(jù)上述步驟，可以制作使用塑料基板和形成在塑料基板上的濾色器的液晶顯示器件。
接著，在圖6B中，參考數(shù)字601表示具有形成在其中的元件的層；608表示具有濾色器的基板；以及511表示第二基板。
第二基板511和具有形成在其中的元件的層601的絕緣膜520利用包括有機(jī)樹脂的粘合材料607彼此附著。
具有形成在其中的元件的層601與具有濾色器的基板608通過密封材料(圖中未示出)粘附在一起。
依照實(shí)施例模式2形成具有濾色器的基板608。特別地，包括有機(jī)樹脂的粘合材料610和氧化物層303層疊在塑料基板322上。黑矩陣311、紅色層312、綠色層313、和藍(lán)色層314在氧化物層上排成直線，并且用于覆蓋這些層的外涂層形成在其上以形成濾色器。第二電極606形成在濾色器的表面上，并且對準(zhǔn)膜605形成在其上。注意，可以使用具有濾色器的基板，其中第二基板606和對準(zhǔn)膜605形成在具有實(shí)施例1中所公開的濾色器的基板361的氧化物層303的表面上。
下面將描述制作如圖6B所示的液晶顯示器件的步驟。
具有形成在其中的元件的層601借助已知方法形成在第一基板(圖中來示出)上。通過使用第一密封材料(圖中未示出)將基板608附著到具有形成在其中的元件的層601上。在這種情況下，具有濾色器的基板608附著到該處以便形成在具有形成在其中的元件的層601的表面上的對準(zhǔn)膜603與形成在具有濾色器的基板上的對準(zhǔn)膜605彼此面對。另外，在兩個(gè)基板之間形成隔離物。第一密封材料與填充物混合以便兩個(gè)基板彼此附著同時(shí)保持隔離物和填充物其間的均勻距離。
其后，從具有形成在其中的元件的層601除去第一基板。實(shí)施例2中所公開的已知技術(shù)可應(yīng)用于除去第一基板的步驟。在該實(shí)施例中，通過利用與實(shí)施例模式1或?qū)嵤├Ｊ?相同的技術(shù)，金屬層、氧化物層、和具有形成在其中的元件的層順序?qū)盈B在第一基板上。然后，在金屬層和氧化物層之間產(chǎn)生分離以從具有形成在其中的元件的層601中除去第一基板。
隨后，第二基板511和具有形成在其中的元件的層601的絕緣膜520利用粘合材料607彼此附著。
液晶材料604注入兩個(gè)基板之間，即具有形成在其中的元件的層601中，并且利用第二密封材料(圖中未示出)完全密封這兩個(gè)基板。
根據(jù)上述步驟，可以制作如圖6B所示的使用塑料基板和形成在塑料基板上的濾色器的液晶顯示器件。
注意，優(yōu)選在液晶顯示器件中使用的濾色器具有頂點(diǎn)波長。并且，當(dāng)在有色層中摻入黑色顏料時(shí)，通過吸收從發(fā)光顯示器件的外部進(jìn)入的外部光可以防止觀察者在陰極中被反射的這種缺陷。
另外，抗反射膜可以設(shè)置在具有濾色器的基板361和608的表面上。抗反射膜是具有這樣的條件的單層膜或疊層膜，即在該條件下通過控制折射率和膜厚度幾乎不引起反射光?？梢允褂靡阎目狗瓷淠ぁ?br> 另外，可以使用偏振片和圓偏振片(包括圓偏振膜)來代替塑料基板322。
盡管本實(shí)施例示出通過有源矩陣驅(qū)動(dòng)方法驅(qū)動(dòng)的液晶元件，其中TFT設(shè)置在每個(gè)像素電極中，但是本發(fā)明并不局限于此。還可以完全使用通過無源矩陣驅(qū)動(dòng)方法驅(qū)動(dòng)的液晶元件。
另外，可以通過使用作為設(shè)置在每個(gè)像素電極中的元件的有機(jī)半導(dǎo)體晶體管和作為第一基板的塑料基板形成液晶顯示器件。在這種情況下，可以省略除去第一基板的步驟，由此提高生產(chǎn)量。
在該實(shí)施例中描述的液晶顯示器件的一個(gè)特征在于，在分離步驟中單獨(dú)形成具有形成在其中的元件的層和濾色器，然后在完成之后兩者彼此附著。通過采用這種結(jié)構(gòu)，可以單獨(dú)控制具有形成在其中的元件即TFT和液晶元件的層的成品率以及濾色器的成品率，這抑制了整個(gè)液晶顯示器件的成品率的下降。
而且，可以同時(shí)進(jìn)行制作有源矩陣基板的步驟和制作濾色器的步驟，由此降低整個(gè)液晶顯示器件的制作交付周期。
通過利用塑料基板，可以制作具有減小的重量以及改善的抗沖擊特性的液晶顯示器件。
在本實(shí)施例中，將參考圖7A和7B解釋對應(yīng)于顯示器件的一個(gè)實(shí)施例的面板的外部外觀。圖7A示出面板的頂視圖，其中通過使用密封材料將具有形成在其中的元件(具體來說是TFT和發(fā)光元件)的層501封裝到濾色器和第二基板之間。圖7B對應(yīng)于沿圖7A的線A-A′的截面圖。
在圖7A中，用虛線表示的參考數(shù)字1201是信號線驅(qū)動(dòng)電路；1202是像素部分；以及1203是掃描線驅(qū)動(dòng)電路。另外，參考數(shù)字1204表示第二基板以及參考數(shù)字1205表示包含用于保持封閉空間的間隙的間隙材料的第一密封材料。被密封材料1205包圍的內(nèi)部填充了第二密封材料。優(yōu)選使用包含具有高粘性的填充物的環(huán)氧樹脂作為第一密封材料。優(yōu)選使用具有高光透射特性和低粘性的環(huán)氧樹脂作為第二密封材料。另外，希望密封材料1205和1207是盡可能地不透射濕氣和氧氣的材料。
在連接區(qū)1210中，參考數(shù)字1208表示用于傳送在信號線驅(qū)動(dòng)電路1201和掃描線驅(qū)動(dòng)電路1203中輸入的信號的連接線，并且從成為外部輸入端的FPC(柔性印制電路)1209中接收視頻信號和時(shí)鐘信號。
接著，將參考圖7B描述截面結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電路和像素部分形成在第一基板322上。如同具有濾色器的基板361，濾色器設(shè)置在第一基板322上。這里示出作為驅(qū)動(dòng)電路的信號線驅(qū)動(dòng)電路1201和像素部分1202。通過組合n溝道TFT 1223和p溝道TFT 1224而構(gòu)成的CMOS電路形成為信號線驅(qū)動(dòng)電路1201。
像素部分1202包括多個(gè)像素，其包括開關(guān)TFT 1211、電流控制TFT1212、以及由透明導(dǎo)電膜制成的第一電極(陽極)1213，其電連接到電流控制TFT 1212的漏極。
這些TFT 1211、1212、1223、和1224的層間絕緣膜1220可以由包含下述材料作為其主要構(gòu)成的材料形成無機(jī)材料(例如氧化硅、氮化硅、和氮氧化硅)；或有機(jī)材料(例如聚酰亞胺、聚酰胺、聚酰亞胺氨基化合物(polyimide amide)、苯并環(huán)丁烯、和硅氧烷聚合物)。當(dāng)使用硅氧烷聚合物作為層間絕緣膜的原材料時(shí)，形成具有硅和氧的骨架結(jié)構(gòu)并且在支鏈中包括氫或/和烷基團(tuán)的絕緣膜。
第一電極1213連接到連接電極以使得彼此交疊，并且經(jīng)由連接電極電連接到TFT的漏區(qū)。優(yōu)選地，第一電極1213具有透明性并且由具有高功函數(shù)的導(dǎo)電膜(例如ITO(氧化銦-氧化錫合金)、氧化銦-氧化鋅合金(In2O3-ZnO)、和氧化鋅(ZnO))形成。
絕緣體1214(被稱為堤、隔離壁、阻檔層、堤壩等)形成在第一電極(陽極)1213的每一端上。為了改善形成在絕緣體1214上的膜的覆蓋，絕緣體1214的上邊緣部分或下邊緣部分形成為具有曲率半徑的彎曲面。另外，可以用由氮化鋁膜、氧氮化鋁膜、包含碳作為其主要構(gòu)成的薄膜、或氮化硅膜制成的保護(hù)膜覆蓋絕緣體1214。
有機(jī)化合物材料汽相沉積在第一電極(陽極)1213上以便選擇性地形成包含發(fā)光物質(zhì)的層1215。
為了在執(zhí)行用于包含發(fā)光物質(zhì)的層1215的材料的汽相沉積之前除去包含在基板中的氣體，希望在降低的壓力環(huán)境或在惰性氣氛下在200到300℃的溫度下執(zhí)行熱處理。
為了使包含發(fā)光物質(zhì)的層1215發(fā)射白光，例如，通過使用汽相沉積順序?qū)盈BAlq3、部分地?fù)诫s了尼羅紅(其是紅光發(fā)射顏料)的Alq3、p-EtTAZ、和TPD(芳香族二胺)可以實(shí)現(xiàn)白光發(fā)射。另外，當(dāng)通過使用旋涂施加形成EL層時(shí)，優(yōu)選在其施加后通過真空加熱來烘焙該層。例如，用作空穴注入層的聚(乙烯二氧噻吩)/聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT/PSS)的水溶液可以施加到基板的整個(gè)表面上并且被烘焙。隨后，用作發(fā)光層的摻雜了用于發(fā)光中心的顏料(例如1，1，4，4-四苯基-1，3-丁二烯(TPB)、4-二氰基亞甲基-2-甲基-6-(對二甲氨基-苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM1)、尼羅紅、和香豆素6)的聚乙烯咔唑(PVK)的溶液可以接著施加到整個(gè)表面上并被烘焙。
可以形成具有單層的包含發(fā)光物質(zhì)的層1215。在這種情況下，具有電子傳輸特性的1，3，4-惡二唑衍生物(PBD)可以分散到具有空穴傳輸特性的聚乙烯咔唑(PVK)中。另外，通過擴(kuò)散30wt％的PBD作為電子傳輸劑并且擴(kuò)散適量的四種顏料(TPB、香豆素6、DCM1、和尼羅紅)也可以獲得白光發(fā)射。除了上述發(fā)射白光的發(fā)光元件之外，還可以通過適當(dāng)選擇包含發(fā)光物質(zhì)的層1215的材料來制作發(fā)射紅光、綠光、或藍(lán)光的發(fā)光元件。
另外，包括金屬復(fù)合物等的三重激發(fā)發(fā)光材料可以代替上述單重激發(fā)發(fā)光材料而用于包含發(fā)光物質(zhì)的層1215。即，包含發(fā)光物質(zhì)的層1215可以包括發(fā)射紅光的像素、發(fā)射綠光的像素、和發(fā)射藍(lán)光的像素，其中發(fā)射紅光的像素包含三重激發(fā)發(fā)光材料或單重激發(fā)發(fā)光材料，發(fā)射綠光的像素包含三重激發(fā)發(fā)光材料，以及發(fā)射藍(lán)光的像素包含單重激發(fā)發(fā)光材料。
可以使用具有低功函數(shù)的材料(Al、Ag、Li；這些的合金例如MgAg、MgIn、AlLi、CaF2、和CaN)作為第二電極(陰極)1216的材料。
因此，可以形成包括第一電極(陽極)1213、包含發(fā)光物質(zhì)的層1215、和第二電極(陰極)1216的發(fā)光元件1218。發(fā)光元件1218沿圖7B所示的箭頭的方向發(fā)射光。發(fā)光元件1218是發(fā)射白光的發(fā)光元件之一。通過從發(fā)光元件1218發(fā)射通過濾色器的透射光可以實(shí)現(xiàn)全色彩顯示。
或者，當(dāng)發(fā)光元件1218是發(fā)射R、G、或B單色光的發(fā)光元件之一時(shí)，選擇性地利用具有包含有機(jī)化合物的層、分別發(fā)射R、G、和B光的三種發(fā)光元件，由此實(shí)現(xiàn)全色彩顯示。在這種情況下，通過使濾色器的紅、綠、和藍(lán)的相應(yīng)有色層與每種發(fā)光顏色的發(fā)光元件對準(zhǔn)可以獲得具有高色純度的發(fā)光顯示器件。
形成保護(hù)層1217以封裝發(fā)光元件1218。通過層疊第一無機(jī)絕緣膜、應(yīng)力弛豫膜、和第二無機(jī)絕緣膜來構(gòu)成保護(hù)層。
在該實(shí)施例中，如實(shí)施例2的圖5A所示，具有濾色器的基板361通過粘合材料508附著到具有形成在其中的元件的層501上。注意，如實(shí)施例2的圖5B所示，可以使用濾色器作為第二基板，以及可以使用塑料基板作為第一基板。
盡管這里示出了通過使用TFT形成的掃描線驅(qū)動(dòng)電路，但本實(shí)施例并不局限于該結(jié)構(gòu)?？蛇x擇的，掃描線驅(qū)動(dòng)電路和信號線驅(qū)動(dòng)電路可以由使用單晶半導(dǎo)體的晶體管形成并且被附著。
在該實(shí)施例中描述的發(fā)光顯示器件的一個(gè)特征在于，在分離步驟中單獨(dú)形成具有形成在其中的元件的層和濾色器，然后在完成之后兩者彼此附著。通過采用這種結(jié)構(gòu)，可以單獨(dú)控制具有形成在其中的元件即TFT和發(fā)光元件的層的成品率以及濾色器的成品率，由此抑制了整個(gè)發(fā)光顯示器件的成品率的下降。
而且，可以同時(shí)進(jìn)行制作有源矩陣基板的步驟和制作濾色器的步驟，由此降低發(fā)光顯示器件的制作交付周期。
通過利用塑料基板，可以制作具有減小的重量以及改善的抗沖擊特性的發(fā)光顯示器件。
在本實(shí)施例中，將參考圖8A和8B解釋對應(yīng)于本發(fā)明的顯示器件的一個(gè)實(shí)施例的面板的外部外觀。圖8A示出面板的頂視圖，其中通過使用密封材料1205將具有形成在其中的元件(具體來說是TFT和液晶層)的層601封裝到具有濾色器的基板361和第二基板1204之間。圖8B對應(yīng)于沿圖8A的線A-A′的截面圖。
在圖8A中，用虛線表示的參考數(shù)字1201是信號線驅(qū)動(dòng)電路；1202是像素部分；以及1203是掃描線驅(qū)動(dòng)電路。另外，參考數(shù)字322表示第一基板以及參考數(shù)字1204表示第二基板，并且參考數(shù)字1205和1207分別表示第一密封材料和第二密封材料，這些密封材料包含用于保持封閉空間的間隙的間隙材料。其中形成半導(dǎo)體元件一般是TFT 1223、1224、和1311的層通過使用粘合材料607附著到第一基板上。利用密封材料1205將第一基板322和第二基板1204，即具有形成在其中的元件的層和第二基板密封，并且其間填充液晶。
接著，將參考圖8B描述截面結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電路和像素部分形成在第一基板322上，其包括由TFT表示的多個(gè)半導(dǎo)體元件。如同具有濾色器的基板361，濾色器設(shè)置在第一基板322上。這里示出作為驅(qū)動(dòng)電路的信號線驅(qū)動(dòng)電路1201和像素部分1202。通過組合n溝道TFT 1223和p溝道TFT 1224而構(gòu)成的CMOS電路形成為信號線驅(qū)動(dòng)電路1201。
液晶元件1315的第一電極1313通過布線1312電連接到TFT 1311。液晶元件1315的第二電極1316形成在第二基板1204上。與第一電極1313、第二電極1316、和液晶1314交疊的部分對應(yīng)于液晶元件1315。
參考數(shù)字1318表示球形隔離物，其被提供用于控制第一電極1313和第二電極1316之間的距離(單元間隙)。代替地，可以使用通過將絕緣膜刻蝕成預(yù)定形狀而形成的隔離物。通過連接布線1208從FPC 1209提供供給掃描線驅(qū)動(dòng)電路1203或像素部分1202的多種信號和電壓。
在本實(shí)施例中，如實(shí)施例3的圖6A所示，具有濾色器的基板361通過使用粘合材料607附著到具有形成在其中的元件的層601上。注意，可以使用濾色器作為第二基板，而塑料基板可以采用與實(shí)施例3的圖6B相同的方式用作第一基板。
盡管這里示出了通過使用TFT形成的掃描線驅(qū)動(dòng)電路，但本實(shí)施例并不局限于該結(jié)構(gòu)?？蛇x擇的，掃描線驅(qū)動(dòng)電路和信號線驅(qū)動(dòng)電路可以由使用單晶半導(dǎo)體的晶體管形成并且被附著。
在該實(shí)施例中描述的液晶顯示器件的一個(gè)特征在于，在分離步驟中單獨(dú)形成具有形成在其中的元件的層和濾色器，然后在完成之后兩者彼此附著。通過采用這種結(jié)構(gòu)，可以單獨(dú)控制具有形成在其中的元件即TFT和發(fā)光元件的層的成品率以及濾色器的成品率，由此抑制了整個(gè)液晶顯示器件的成品率的下降。
而且，可以同時(shí)進(jìn)行制作有源矩陣基板的步驟和制作濾色器的步驟，由此降低了液晶顯示器件的制作交付周期。
通過利用塑料基板，可以制作具有減小的重量以及改善的抗沖擊特性的液晶顯示器件。
通過并入根據(jù)本發(fā)明獲得的顯示器件可以制作多種電子設(shè)備。這些電子設(shè)備的實(shí)例包括電視機(jī)；攝像機(jī)；數(shù)碼相機(jī)；護(hù)目型顯示器(頭戴式顯示器)；導(dǎo)航系統(tǒng)；音頻再現(xiàn)裝置(例如汽車音響和音頻部件系統(tǒng))；個(gè)人膝上型計(jì)算機(jī)；游戲機(jī)；便攜式信息終端(例如可移動(dòng)計(jì)算機(jī)、蜂窩電話、便攜式游戲機(jī)、和電子書)；設(shè)有記錄媒體的圖像再現(xiàn)裝置(一般是可以再現(xiàn)諸如DVD(數(shù)字通用光盤)之類的記錄媒體并顯示其圖像的裝置)；等等。作為這些電子設(shè)備的典型實(shí)例，在圖10A到10C中將示出電視機(jī)、個(gè)人膝上型計(jì)算機(jī)、和設(shè)有記錄媒體的圖像再現(xiàn)裝置。
圖10A是電視機(jī)，其包括外殼2001；支撐底座2002；顯示器部分2003；揚(yáng)聲器部分2004；視頻輸入端2005；等等。本發(fā)明可以應(yīng)用于顯示器部分2003。該電視機(jī)包括用于顯示例如用于個(gè)人計(jì)算機(jī)之一的信息、用于接收電視廣播、以及用于廣告的所有電視機(jī)。通過實(shí)施本發(fā)明，可以制作具有薄且輕便的顯示器部分的電視機(jī)。
圖10B是個(gè)人膝上型計(jì)算機(jī)，其包括主體2201；外殼2202；顯示器部分2203；鍵盤2204；外部連接端口2205；指示鼠標(biāo)2206；等等。本發(fā)明可以應(yīng)用于顯示器部分2203。通過實(shí)施本發(fā)明，可以制作具有薄且輕便的個(gè)人膝上型計(jì)算機(jī)。
圖10C是設(shè)有記錄媒體的圖像再現(xiàn)裝置(具體來說是DVD播放器)，其包括主體2401；外殼2402；顯示器部分A 2403；顯示器部分B 2404；記錄媒體(例如DVD)讀取部分2405；操作鍵2406；揚(yáng)聲器部分2407；等等。顯示器部分A 2403主要顯示圖像信息，而顯示器部分B 2404主要顯示字符信息。本發(fā)明可以應(yīng)用于顯示器部分A 2403和顯示器部分B2404兩者。注意設(shè)有記錄媒體的圖像再現(xiàn)裝置包括家用游戲機(jī)等。通過實(shí)施本發(fā)明，可以制作設(shè)有記錄媒體的薄且輕便的便攜式圖像再現(xiàn)裝置。
權(quán)利要求
1.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成分離層；在分離層上形成具有濾光器的對象本體；通過使用第一粘合材料將第二基板以該第二基板面向第一基板的方式附著到對象本體上；以及在分離層和對象本體之間的區(qū)域中使第一基板和分離層與對象本體分離。
2.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成分離層；在分離層上形成具有濾光器的對象本體；通過使用可剝落的粘合劑將支撐介質(zhì)以該支撐介質(zhì)面向第一基板的方式附著到對象本體上；以及在分離層和對象本體之間的區(qū)域中使第一基板和分離層與對象本體分離；使用粘合材料在對象本體上形成第二基板；使支撐介質(zhì)和可剝落的粘合劑與對象本體分離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的制作光學(xué)膜的方法，其中分離層由從下述元素中選擇的一種形成鈦、鋁、鉭、鎢、鉬、銅、鉻、釹、鐵、鎳、鈷、釕、銠、鈀、鋨、銥；或由具有這些元素作為其主要構(gòu)成的合金材料或化合物材料制成的單層；或其疊層。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的制作光學(xué)膜的方法，其中分離層由從下述元素中選擇的一種形成鈦、鋁、鉭、鎢、鉬、銅、鉻、釹、鐵、鎳、鈷、釕、銠、鈀、鋨、銥；或由具有這些元素作為其主要構(gòu)成的合金材料或化合物材料制成的單層；或其疊層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的制作光學(xué)膜的方法，其中對象本體包括氧化硅、氮氧化硅、或金屬氧化物。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的制作光學(xué)膜的方法，其中對象本體包括氧化硅、氮氧化硅、或金屬氧化物。
7.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成金屬層；在金屬層上形成絕緣層；在絕緣層上形成濾光器；在濾光器上形成第一粘合材料；在第一粘合材料上形成第二基板；以及在金屬層和絕緣層之間的區(qū)域中使第一基板與濾光器分離。
8.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成金屬層；在金屬層上形成絕緣層；在絕緣層上形成濾光器；在濾光器上形成可剝落的粘合劑；在濾光器上形成支撐介質(zhì)；在金屬層和絕緣層之間的區(qū)域中使第一基板與濾光器分離；以及通過使用粘合材料在絕緣膜上形成第二基板；以及使支撐介質(zhì)和可剝落的粘合劑與濾光器分離。
9.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成金屬層；在金屬層上形成絕緣層；在絕緣層上形成濾光器；在濾光器上形成可剝落的粘合劑；在濾光器上形成支撐介質(zhì)；在金屬層和絕緣層之間的區(qū)域中使第一基板與濾光器分離；以及通過使用粘合材料在絕緣膜上方形成第二基板；以及使支撐介質(zhì)和可剝落的粘合劑與濾光器分離。
10.根據(jù)權(quán)利要求7～9中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，通過物理裝置在金屬層和絕緣層之間產(chǎn)生分離。
11.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成金屬層；在金屬層上形成絕緣層；在絕緣層上形成濾光器；通過使用第一粘合材料將第二基板以該第二基板面向第一基板的方式附著到濾光器上；以及在金屬層和絕緣層之間的區(qū)域中通過物理裝置使第一基板與濾光器分離。
12.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成金屬層；在金屬層上形成絕緣層；在絕緣層上形成濾光器；通過使用可剝落的粘合劑將支撐介質(zhì)以該支撐介質(zhì)面向第一基板的方式附著到濾光器上；在金屬層和絕緣層之間的區(qū)域中通過物理裝置使第一基板與濾光器分離；以及通過使用粘合材料在絕緣膜上形成第二基板；以及使支撐介質(zhì)和可剝落的粘合劑與濾光器分離。
13.一種制作光學(xué)膜的方法，包括在第一基板上形成金屬層；在金屬層上形成絕緣層；在絕緣層上形成濾光器；通過使用可剝落的粘合劑將支撐介質(zhì)以該支撐介質(zhì)面向第一基板的方式附著到濾光器上；在金屬層和絕緣層之間的區(qū)域中通過物理裝置使第一基板與濾光器分離；以及通過使用粘合材料在絕緣膜上方形成第二基板；以及使支撐介質(zhì)和可剝落的粘合劑與濾光器分離。
14.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中在形成金屬層和絕緣層的同時(shí)在該金屬層和絕緣層之間形成金屬氧化物膜。
15.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中在形成光學(xué)膜之前，通過在形成絕緣層之后進(jìn)行加熱，在金屬層和絕緣層之間形成金屬氧化物膜。
16.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中在形成濾光器之后，通過加熱在金屬層和絕緣層之間形成金屬氧化物膜。
17.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中在形成金屬氧化物膜之后通過氧化金屬層的表面形成絕緣層。
18.根據(jù)權(quán)利要求14、15、16、和17中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中通過物理裝置在金屬層和金屬氧化物膜之間、或在金屬氧化物膜和絕緣層之間、或在金屬氧化物膜內(nèi)產(chǎn)生分離。
19.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中金屬層由從下述元素中選擇的一種形成鈦、鋁、鉭、鎢、鉬、銅、鉻、釹、鐵、鎳、鈷、釕、銠、鈀、鋨、銥；或由具有這些元素作為其主要構(gòu)成的合金材料或化合物材料制成的單層；或其疊層。
20.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中絕緣層包括氧化硅、氮氧化硅、或金屬氧化物。
21.根據(jù)權(quán)利要求1、2、7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中濾光器是濾色器或色彩轉(zhuǎn)換濾波器。
22.根據(jù)權(quán)利要求1、2、7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中第二基板是塑料。
23.根據(jù)權(quán)利要求1、2、7、8、9、11、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中光學(xué)膜包括多種光學(xué)功能。
24.根據(jù)權(quán)利要求23的制作光學(xué)膜的方法，其中第二基板是偏振片、包括延遲板和偏振片的橢圓偏振片、反射膜、或散光板。
25.根據(jù)權(quán)利要求2、8、9、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中支撐介質(zhì)是玻璃基板、石英基板、金屬基板、或陶瓷基板。
26.根據(jù)權(quán)利要求2、8、9、12和13中的任何一個(gè)的制作光學(xué)膜的方法，其中可剝落的粘合劑是反應(yīng)可剝落的粘合劑、熱可剝落的粘合劑、光可剝落的粘合劑、或厭氧可剝落的粘合劑；或在其兩側(cè)都具有由這些粘合劑中的一種或多種形成的粘合層的材料。
全文摘要
為了提供了一種制作形成在塑料基板上的光學(xué)膜的方法。提供一種制作光學(xué)膜的方法，包括以下步驟將分離層和濾光器層疊在第一基板上，使濾光器與第一基板分離，將濾光器附著到第二基板上。由于根據(jù)本發(fā)明制作的光學(xué)膜具有柔性，因此可以將它設(shè)置在具有彎曲表面的部分或顯示器件上。另外，光學(xué)膜不在高溫下處理，因此可以形成具有高成品率和高可靠性的光學(xué)膜。而且，可以形成具有極好的抗沖擊特性的光學(xué)膜。
文檔編號B32B37/00GK1875298SQ200480032138
公開日2006年12月6日 申請日期2004年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月28日
發(fā)明者山下晃央, 福本由美子, 后藤裕吾 申請人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所