本發(fā)明涉及液晶面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜板存儲裝置。

背景技術(shù)：

lcd(liquidcrystaldisplay，液晶顯示器)工廠隨著客戶需求的多樣化，曝光機用的掩模板數(shù)量也在不斷的增加，每開發(fā)一種產(chǎn)品，都要多出一套掩模板。以現(xiàn)在fhd(fullhighdefinition，全高清)產(chǎn)品為例，一套掩模板數(shù)量可達(dá)6個，甚至更多，這樣掩模板的存儲就會面臨很大壓力。一般工廠曝光機內(nèi)部以及現(xiàn)有存儲設(shè)備只能保證30％左右的掩模板存放在存儲盒里，其余70％的掩模板都存放在物流用保護(hù)箱中。這樣在存儲大量掩膜板時，就需要較大的存儲空間；同時，根據(jù)生產(chǎn)管理的安排，生產(chǎn)型號不斷的在變，這樣在更換掩模板時就要不斷的倒騰保護(hù)箱，勢必會導(dǎo)致雜質(zhì)顆粒對掩模板的污染，造成掩膜板生長性不良。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的實施例提供一種掩膜板存儲裝置，能夠大大節(jié)省掩膜板存儲所需空間，同時避免在存儲和更換掩膜板時對掩膜板造成污染。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明實施例提供一種掩膜板存儲裝置，包括：

箱體，所述箱體的側(cè)壁上設(shè)置有開口，所述開口處設(shè)置有門體，所述門體可封閉所述開口；掩膜板可通過所述開口進(jìn)入或退出所述箱體；

所述箱體的底壁上設(shè)置有搭載臺，所述搭載臺用于放置所述掩膜板；所述箱體內(nèi)設(shè)置有多組沿豎直方向排布的支撐組件，相鄰兩組所述支撐組件之間存在間隙；

所述箱體內(nèi)還設(shè)置有驅(qū)動單元和與所述驅(qū)動單元連接的抓取單元，所述抓取單元用于從所述搭載臺上抓取所述掩膜板；所述驅(qū)動單元可驅(qū)動所述抓取單元移動，使得所述抓取單元將抓取的所述掩膜板移動至所述支撐組件上。

可選的，所述驅(qū)動單元包括豎直驅(qū)動子單元和水平驅(qū)動子單元，所述豎直驅(qū)動子單元用于驅(qū)動所述抓取單元在豎直方向上移動；所述水平驅(qū)動子單元用于驅(qū)動所述抓取單元在所述水平方向上移動。

可選的，所述豎直驅(qū)動子單元包括垂直于所述箱體底壁設(shè)置的四個第一傳動絲杠以及驅(qū)動所述第一傳動絲杠轉(zhuǎn)動的第一電機；四個所述第一傳動絲杠圍成一個矩形；

每個所述第一傳動絲杠上均設(shè)置有聯(lián)動楔塊，四個所述聯(lián)動楔塊的設(shè)置高度相同；所述聯(lián)動楔塊可沿所述第一傳動絲杠上下移動；位于同一側(cè)的兩個所述聯(lián)動楔塊之間連接有聯(lián)動軸；所述抓取單元連接在所述聯(lián)動軸上。

可選的，所述水平驅(qū)動子單元包括第二電機，所述聯(lián)動軸的一端延伸至所述支撐組件的上方；所述聯(lián)動軸為第二傳動絲杠，所述第二電機驅(qū)動所述聯(lián)動軸旋轉(zhuǎn)，使得所述抓取單元可沿所述聯(lián)動軸水平移動至所述支撐組件的上方。

可選的，所述抓取單元包括多個裝載夾，每個所述聯(lián)動軸上設(shè)置有至少兩個所述裝載夾；

所述裝載夾包括與所述聯(lián)動軸固定的豎直部分和垂直連接在所述豎直部分的端部的水平部分，所述水平部分用于支撐所述掩膜板的底部；所述水平部分在水平方向上可伸縮。

可選的，連接有所述聯(lián)動軸的兩個聯(lián)動楔塊上還固定有固定載體，所述固定載體上設(shè)置有側(cè)導(dǎo)向槽，所述側(cè)導(dǎo)向槽用于對所述裝載夾在水平方向上的移動進(jìn)行導(dǎo)向。

可選的，每組所述支撐組件均包括四個支撐pin，四個所述支撐pin用于支撐所述掩膜板的四角位置。

可選的，還包括多個光電傳感器，每個所述支撐pin對應(yīng)一個所述光電傳感器；所述光電傳感器用于檢測所述支撐pin上是否放置有所述掩膜板。

可選的，所述箱體靠近所述支撐組件的側(cè)壁上設(shè)置有觀察窗口。

可選的，所述箱體為矩形封閉箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)置有空調(diào)系統(tǒng)，所述空調(diào)系統(tǒng)用于調(diào)節(jié)所述箱體內(nèi)的溫度和濕度。

本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置，包括箱體，箱體的側(cè)壁上設(shè)置有開口，開口處設(shè)置有門體，門體可封閉開口；掩膜板可通過開口進(jìn)入或退出箱體；箱體的底壁上設(shè)置有搭載臺，搭載臺用于放置掩膜板；箱體內(nèi)設(shè)置有多組沿豎直方向排布的支撐組件，相鄰兩組支撐組件之間存在間隙；箱體內(nèi)還設(shè)置有驅(qū)動單元和與驅(qū)動單元連接的抓取單元，抓取單元用于從搭載臺上抓取掩膜板；驅(qū)動單元可驅(qū)動抓取單元移動，使得抓取單元將抓取的掩膜板移動至支撐組件上。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置通過設(shè)置多組用于支撐掩膜板的支撐組件，利用抓取單元和驅(qū)動單元將搭載臺上的掩膜板移動至支撐組件上即可進(jìn)行存儲。由于存儲掩膜板時不需要存儲盒，而是裸存在箱體中，因而大大節(jié)省了掩膜板存儲所需空間；同時也避免了在存儲和更換掩膜板時對掩膜板造成污染，從而提高了液晶面板的生產(chǎn)良率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置右視示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置正視示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置俯視示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明實施例提供一種掩膜板存儲裝置，如圖1至圖4所示，包括：箱體10，箱體10的側(cè)壁上設(shè)置有開口，所述開口處設(shè)置有門體11，門體11可封閉所述開口；掩膜板12可通過所述開口進(jìn)入或退出箱體10；箱體10的底壁上設(shè)置有搭載臺13，搭載臺13用于放置掩膜板12；箱體10內(nèi)設(shè)置有多組沿豎直方向排布的支撐組件，相鄰兩組所述支撐組件之間存在間隙；箱體10內(nèi)還設(shè)置有驅(qū)動單元和與所述驅(qū)動單元連接的抓取單元，所述抓取單元用于從搭載臺13上抓取掩膜板12；所述驅(qū)動單元可驅(qū)動所述抓取單元移動，使得所述抓取單元將抓取的掩膜板12移動至所述支撐組件上。

其中，箱體10一般為矩形封閉箱體，箱體10內(nèi)通常設(shè)置有用于調(diào)節(jié)箱體10內(nèi)的溫度和濕度的空調(diào)系統(tǒng)23。

參考圖1和圖2所示，為了提高所述掩膜板存儲裝置的智能化程度，在門體11上還可設(shè)置觸控面板24，通過觸控所述觸控面板24可以控制門體11的打開和關(guān)閉。

在實際應(yīng)用中，一般利用搬運車27運送掩膜板12和存放有掩膜板12的存儲盒。當(dāng)利用搬運車27運送存儲盒到所述掩膜板存儲裝置的門體11前時，打開門體11，并打開存儲盒頂蓋26，然后取出掩膜板12放置到箱體10內(nèi)的搭載臺13上，或者將存儲盒底座25和掩膜板12一起推放至搭載臺13上，本發(fā)明實施例對此不做限定。較佳的，將存儲盒底座25和掩膜板12一起推放至搭載臺13上，這樣方便施行，同時避免了單獨將掩膜板12從存儲盒中取出并放置到搭載臺13上的過程中，人工對掩膜板12造成污染。

所述支撐組件用于支撐掩膜板12，掩膜板12就存放在箱體10內(nèi)的所述支撐組件上；一組所述支撐組件上存放一個掩膜板12。

這樣一來，相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置通過設(shè)置多組用于支撐掩膜板的支撐組件，利用抓取單元和驅(qū)動單元將搭載臺上的掩膜板移動至支撐組件上即可進(jìn)行存儲。由于存儲掩膜板時不需要存儲盒，而是裸存在箱體中，因而大大節(jié)省了掩膜板存儲所需空間；同時也避免了在存儲和更換掩膜板時對掩膜板造成污染，從而提高了液晶面板的生產(chǎn)良率。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動單元包括豎直驅(qū)動子單元和水平驅(qū)動子單元，所述豎直驅(qū)動子單元用于驅(qū)動所述抓取單元在豎直方向上移動；所述水平驅(qū)動子單元用于驅(qū)動所述抓取單元在所述水平方向上移動。

所述抓取單元可通過所述豎直驅(qū)動子單元和所述水平驅(qū)動子單元的驅(qū)動將掩膜板12從搭載臺13上移動至所述支撐組件上，或者從所述支撐組件上移動至搭載臺13上；參考圖1和圖2所示，所述抓取單元可在掩膜板存儲裝置的前半?yún)^(qū)域垂直方向任意移動，在后半?yún)^(qū)域內(nèi)掩膜板存儲位置的水平高度上沿水平方向移動。

具體的，參考圖1和圖2所示，所述豎直驅(qū)動子單元包括垂直于箱體10底壁設(shè)置的四個第一傳動絲杠14以及驅(qū)動第一傳動絲杠14轉(zhuǎn)動的第一電機15；四個第一傳動絲杠14圍成一個矩形；每個第一傳動絲杠14上均設(shè)置有聯(lián)動楔塊16，四個聯(lián)動楔塊16的設(shè)置高度相同；聯(lián)動楔塊16可沿第一傳動絲杠14上下移動；位于同一側(cè)的兩個聯(lián)動楔塊16之間連接有聯(lián)動軸17；所述抓取單元連接在聯(lián)動軸17上。當(dāng)抓取單元抓取了掩膜板12后，第一電機15啟動，第一電機15的電機軸帶動第一傳動絲杠14轉(zhuǎn)動，第一傳動絲杠14上的聯(lián)動楔塊16沿第一傳動絲杠14上移或下移，從而帶動聯(lián)動軸17上移或下移，進(jìn)而帶動所述抓取單元和掩膜板12上移或下移。

進(jìn)一步的，參考圖1和圖2所示，所述水平驅(qū)動子單元包括第二電機，聯(lián)動軸17的一端延伸至所述支撐組件的上方；聯(lián)動軸17為第二傳動絲杠，所述第二電機驅(qū)動聯(lián)動軸17旋轉(zhuǎn)，使得所述抓取單元可沿聯(lián)動軸17水平移動至所述支撐組件的上方。當(dāng)抓取單元和掩膜板12一起上移至預(yù)設(shè)高度時，所述第二電機驅(qū)動聯(lián)動軸17轉(zhuǎn)動，使得連接在聯(lián)動軸17上的所述抓取單元可將掩膜板12沿聯(lián)動軸17水平移動至所述支撐組件的上方，進(jìn)而存放在所述支撐組件上。其中所述預(yù)設(shè)高度為與某一掩膜板存放位置的水平高度相同的高度。

在實際應(yīng)用中，所述抓取單元可以是包含多個裝載夾18的結(jié)構(gòu)，利用裝載夾18夾取掩膜板12，也可以是具有吸附功能的吸附面板，利用其上具有的多個真空吸附孔可以將掩膜板12緊緊吸附在吸附面板上，完成掩膜板12的抓取，本發(fā)明實施例對此不做限定。較佳的，選用利用裝載夾18夾取掩膜板12的方式，這樣可以使得掩膜板12的抓取更加穩(wěn)固和安全。具體的，參考圖1至圖4所示，所述抓取單元包括多個裝載夾18，每個聯(lián)動軸17上設(shè)置有至少兩個裝載夾18；裝載夾18包括與聯(lián)動軸17固定的豎直部分和垂直連接在所述豎直部分的端部的水平部分，所述水平部分用于支撐掩膜板12的底部；所述水平部分在水平方向上可伸縮。當(dāng)在抓取和移動掩膜板12時，裝載夾18的水平部分伸出用以支撐掩膜板12的底部；其余時候可將裝載夾18的水平部分縮回，便于裝載夾18自身移動。

進(jìn)一步的，參考圖1和圖2所示，連接有聯(lián)動軸17的兩個聯(lián)動楔塊16上還固定有固定載體19，固定載體19上設(shè)置有側(cè)導(dǎo)向槽20，側(cè)導(dǎo)向槽20用于對裝載夾18在水平方向上的移動進(jìn)行導(dǎo)向。這樣可以減少裝載夾18夾取的掩膜板12在水平方向上移動時產(chǎn)生晃動，使得水平移動更加平穩(wěn)。

需要說明的是，裝載夾18的豎直移動和水平移動還可利用齒輪和電機配合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)，或利用其它結(jié)構(gòu)實現(xiàn)，本發(fā)明實施例對此不做限定。

進(jìn)一步的，參考圖3所示，每組所述支撐組件均包括四個支撐pin21，四個支撐pin21用于支撐掩膜板12的四角位置。在實際應(yīng)用時，支撐pin21的支撐位置一般設(shè)置在裝載夾18與掩膜板12底部保護(hù)薄膜最外側(cè)之間，直接接觸掩膜板周邊石英玻璃的背面。這樣不但可以保證支撐的較為穩(wěn)固，而且避免了支撐pin21支撐在對掩膜板12底部保護(hù)薄膜或保護(hù)薄膜內(nèi)側(cè)的圖案上時，對掩膜板12底部保護(hù)薄膜和掩膜板12上的圖案造成損壞。

較佳的，參考圖4所示，所述掩膜板存儲裝置還包括多個光電傳感器22，每個支撐pin21對應(yīng)一個光電傳感器22；光電傳感器22用于檢測支撐pin21上是否放置有掩膜板12。當(dāng)掩膜板12放置在某一支撐組件上時，所述支撐組件的四個支撐pin21中，對應(yīng)的光電傳感器22有一個或多個檢測出支撐pin21上沒有放置掩膜板12，則表示掩膜板12放置位置不當(dāng)，可能發(fā)生了偏斜，需利用抓取單元重新調(diào)整掩膜板12的放置位置，直到四個光電傳感器22均檢測出其對應(yīng)的支撐pin21上放置有掩膜板12為止。

在實際應(yīng)用中，一般會在箱體10靠近所述支撐組件的側(cè)壁上設(shè)置觀察窗口。通過所述觀察窗口，可以方便的確認(rèn)掩膜板實時位置；并且在掩膜板存儲裝置出現(xiàn)故障時，可以通過所述觀察窗口進(jìn)行簡單維修。

本發(fā)明實施例中存儲掩膜板12的流程一般如下：人工用搬運車27將掩膜板儲存盒搬運至所述掩膜板存儲裝置前，打開存儲盒頂蓋26；將掩膜板12和存儲盒底座25一起推放至搭載臺13上，將搬運車27抽離；關(guān)閉門體11，初始化裝載夾18的位置，使其位于搭載臺13處；通過操作控制面板，驅(qū)動四個裝載夾18將搭載臺13上的掩膜板12抓起，垂直升至空的存儲位置前，再驅(qū)動裝載夾18順著側(cè)導(dǎo)向槽20在水平方向移至四個支撐pin21的正上方，支撐pin21周邊的光電傳感器22確認(rèn)掩膜板12到達(dá)設(shè)定位置后，驅(qū)動裝載夾18下降，掩膜板12最終落在四個支撐pin21上；完成后可再驅(qū)動四個裝載夾18順著側(cè)導(dǎo)向槽20在水平方向移動至垂直驅(qū)動區(qū)域，至此掩膜板12存儲完畢。

當(dāng)需要取出待生產(chǎn)的掩膜板12時，首先驅(qū)動裝載夾18垂直方向移動至需要生產(chǎn)的掩膜板12所在存儲槽位置前，再驅(qū)動裝載夾18順著側(cè)導(dǎo)向槽20在水平方向移至該存儲位置正上方，然后驅(qū)動裝載夾18下降至設(shè)定夾取位置，夾取該需要生產(chǎn)的掩膜板12后上升至裝載位置；接著驅(qū)動裝載夾18順著側(cè)導(dǎo)向槽20在水平方向移動至垂直驅(qū)動區(qū)域，如圖1所示的左側(cè)區(qū)域；打開門體11，用搬運車27將存儲盒底座25放置在搭載臺13上，然后抽離搬運車27；接著驅(qū)動裝載夾18垂直下降，將待生產(chǎn)的掩膜板12落在存儲盒底座25上；最后用搬運車將待生產(chǎn)的掩膜板12和存儲盒底座25一起抽離搭載臺13，并在裝置外部蓋上存儲盒頂蓋26，至此完成了掩膜板12取出。

本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置，包括箱體，箱體的側(cè)壁上設(shè)置有開口，開口處設(shè)置有門體，門體可封閉開口；掩膜板可通過開口進(jìn)入或退出箱體；箱體的底壁上設(shè)置有搭載臺，搭載臺用于放置掩膜板；箱體內(nèi)設(shè)置有多組沿豎直方向排布的支撐組件，相鄰兩組支撐組件之間存在間隙；箱體內(nèi)還設(shè)置有驅(qū)動單元和與驅(qū)動單元連接的抓取單元，抓取單元用于從搭載臺上抓取掩膜板；驅(qū)動單元可驅(qū)動抓取單元移動，使得抓取單元將抓取的掩膜板移動至支撐組件上。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實施例提供的掩膜板存儲裝置通過設(shè)置多組用于支撐掩膜板的支撐組件，利用抓取單元和驅(qū)動單元將搭載臺上的掩膜板移動至支撐組件上即可進(jìn)行存儲。由于存儲掩膜板時不需要存儲盒，而是裸存在箱體中，因而大大節(jié)省了掩膜板存儲所需空間；同時也避免了在存儲和更換掩膜板時對掩膜板造成污染，從而提高了液晶面板的生產(chǎn)良率。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。