安裝模具的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種安裝模具，包括相互連接的本體和蓋體，分別在本體和蓋體上設置目標件和安裝件，通過目標件和安裝件的閉合接觸來將目標件和安裝件安裝到一起。另外，在目標件和安裝件上分別設置了固定結構，避免了安裝件在其容置空間內的移動而影響安裝的情況。
【專利說明】安裝模具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體領域，尤其涉及一種安裝模具。
【背景技術】
[0002]光刻是通過對準、曝光等一系列步驟將光罩上的目標圖案轉移到晶圓上的工藝過程。通常，光罩圖案設置在其相對中部的位置，光罩邊緣為無圖案區(qū)域。如圖5所示，在生產(chǎn)光罩時，此圖案部分所在的面通常被覆蓋上一層保護膜30，以起到保護作用，而在另一邊的周邊通常會設置固定裝置20，使得光罩在使用時方便被固定住。
[0003]在光罩生產(chǎn)過程中，一般是把固定裝置20放在一固定槽中并在固定裝置20表面涂上膠水，然后將貼完保護膜30的光罩按在所述固定裝置20上以實現(xiàn)粘貼固定。但是在實際操作中，固定槽的位置通常大于固定裝置的大小，而且固定槽的下方存在彈性件，膠水極易從固定裝置表面漏到下方導致彈性件實效。
[0004]綜上所述，提供一種新式的安裝模具并解決上述問題是十分必要的。
實用新型內容
[0005]本實用新型提供一種安裝模具，包括用于放置一目標件的本體和用于放置一安裝件的蓋體，其中所述本體與所述蓋體合并時能夠將所述安裝件安裝到所述目標件上。
[0006]進一步的，所述蓋體上設置有蓋體凹槽以放置所述安裝件。
[0007]進一步的，所述蓋體凹槽的壁采用可吸附所述安裝件的材料制成。
[0008]進一步的，所述安裝模具還包括設置于所述本體上的若干凸柱，以固定所述目標件。
[0009]進一步的，所述安裝模具還包括設置于所述本體一側的推送件，以推送所述目標件至所述凸柱固定。
[0010]進一步的，所述安裝模具還包括設置于所述本體上的目標件支撐結構。
[0011]進一步的，所述安裝模具還包括一翻轉件，所述蓋體通過所述翻轉件連接所述本體。
[0012]進一步的，所述本體與蓋體均為矩形，所述翻轉件分別連接所述本體與所述蓋體的一邊。
[0013]進一步的，所述本體上設置位于所述目標件兩側的本體凹槽。
[0014]進一步的，所述本體上設置位于所述目標件下方的凹陷部以容納所述目標件上的
一凸起部。
[0015]進一步的，安裝模具的所述目標件是光罩，所述安裝件是所述光罩的固定裝置。綜上所述，本實用新型的安裝模具包括相互連接的本體和蓋體，分別在本體和蓋體上設置目標件和安裝件，通過目標件和安裝件的閉合接觸來將目標件和安裝件安裝到一起。另外，在目標件和安裝件上分別設置了固定結構，避免了安裝件在其容置空間內的移動而影響安裝的情況。【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型一實施例的安裝模具本體的結構示意圖。
[0017]圖2為本實用新型一實施例的安裝模具蓋體的結構示意圖。
[0018]圖3為本實用新型一實施例的安裝模具的總體結構圖。
[0019]圖4為本實用新型一實施例的翻轉件結構示意圖。
[0020]圖5為本實用新型所適用的光罩、光照保護膜以固定裝置的結構圖。
【具體實施方式】
[0021]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0022]圖3為本實用新型一實施例的安裝模具的總體結構圖。如圖3所示，安裝模具包括用于放置目標件10的本體100和用于放置安裝件20的蓋體200，本體100和蓋體200通過翻轉件300連接，使得蓋體200可以以翻轉件300為軸相對本體100轉動并和本體100
I=I TT O
[0023]在本實施例中，本體100和蓋體200的形狀均為矩形，并且其長邊的長度相等，翻轉件300的數(shù)量為兩個，分別連接本體100和蓋體200的一長邊，且本體100和蓋體200對齊設置。本體100和蓋體200的材料可為塑料或特氟龍。本實施例可通過的本體100和蓋體200的相對轉動并合并，以將安裝件20安裝到目標件10上，圖3中的箭頭即蓋體200相對于本體100轉動的方向。
[0024]如圖4所示，翻轉件300包含兩個連接部310和設置于兩個連接部310中間的轉軸320，兩個連接部310可沿轉軸320轉動以張開和閉合。在本實施例中，本體100和蓋體200的一邊分別固定于每個翻轉件的兩個連接部310上，連接部310上包含孔洞，以便于固定本體100和蓋體200。
[0025]如圖1所示，安裝模具的本體100為矩形板狀，其表面具有若干凸柱110以固定目標件10。所述凸柱100凸起于本體100的表面，通過對目標件10的邊緣止擋來固定目標件10，防止其在本體100的表面滑動。另外，本體100的一側設置推送件140以推送所述目標件10至所述凸柱110固定。推送件140推送目標件10到位后，目標件10的三條邊被凸柱110止擋而停住，同時目標件10的另一條邊被推送件140擋住，如此即可將目標件10牢牢地固定在本體100上。圖3中的本體100即為目標件10被固定安裝后的情形。
[0026]本實施例中，所述推送件140和凸柱110的材料均為特氟龍。推送件140的數(shù)量為2，設置于本體100上遠離凸柱110的一側。具體地，推送件140為螺絲，通過轉動而推送目標件10直至和凸柱110接觸。
[0027]另外，本體100上還設置目標件支撐結構150，當目標件10固定于本體100后，其下方通過若干目標件支撐結構150支撐其邊緣，使得目標件10的中部懸空放置，以防其跟本體100的表面接觸而磨損。本體100上還設置有本體凹槽130，位于目標件10的兩側，方便放置時容納放置器具，比如用手放入目標件10時，捏合目標件10的兩根手指可被本體凹槽130容置，以更貼合本體100的表面而放置目標件10。本體100還包含位于其中部的一凹陷部120。
[0028]如圖2所示，安裝模具的蓋體200為矩形板狀，其表面具有蓋體凹槽210，適于放置安裝件20。蓋體凹槽210的壁采用可吸附所述安裝件20的材料制成，因此在放入安裝件20后蓋體凹槽210即可吸附住安裝件20。圖3中的蓋體200即為安裝件10被吸附在蓋體凹槽210后的情形。
[0029]下面描述本實用新型的本實施例中安裝模具的安裝過程。
[0030]安裝時，先手持目標件10將其放到本體100的相應位置，使得目標件支撐結構150支撐起目標件10，此時手指進入本體凹槽130。放好后手指離開目標件10，轉動推送件140推動目標件10直至其頂住凸柱110。之后放置安裝件20到蓋體凹槽210使其被吸附，然后在安裝件20露出的一側涂上粘貼劑，然后將蓋體200翻轉至緊貼本體100，向下按住蓋體200使得安裝件20涂粘貼劑的一側緊緊接觸目標件10，最后待安裝件20和目標件10粘貼完成后，將蓋體200翻轉至原處，取下貼好安裝件20的目標件10即可。
[0031]在本實施例中，目標件10為光罩,其帶有圖案的一面朝下，即朝向本體100放置，此時目標件支撐結構150支撐起光罩的邊緣，即無圖案的區(qū)域，而使中間有圖案的區(qū)域被懸空，防止其與本體100的表面接觸而被磨損；安裝件20為固定裝置，其目的是安裝到光罩的側邊，以便于在后續(xù)應用光罩的制程中通過固定裝置將光罩固定住。所述固定裝置為鐵片，因此蓋體凹槽210的壁采用磁鐵材料以吸附固定裝置。
[0032]在傳統(tǒng)的光罩制作過程中，通常過程是先貼光罩保護膜再貼固定裝置，如此一來當固定裝置粘貼出現(xiàn)問題需要將其拆下重貼，易損壞已粘貼的光罩保護膜。在應用本實用新型所述的安裝模具后，可以實現(xiàn)先貼安裝結構后貼光罩保護膜，有效避免拆固定裝置而導致光罩保護膜損害的問題。當然，對于一些已經(jīng)按照傳統(tǒng)的方法首先貼好光照保護膜的光罩，在拆下貼片重貼的時候，亦可使用本實用新型提供的安裝模具。此時，光罩為已貼好光照保護膜的，在將其放置到本體100上時，其貼過保護膜的一側朝下，即靠近本體100的方向。因此，本體100上還包含位于其中部的一凹陷部120，為了容置光罩表面的凸起部，gp光罩保護膜。
[0033]綜上所述，本實用新型通過設置相互連接的本體100和蓋體200，并分別將目標件10和安裝件20固定于本體100和蓋體200上。而在蓋體200上設置相當于安裝件20大小的蓋體凹槽210，避免了安裝件20蓋體凹槽里滑動。在蓋體凹槽內采用可吸附安裝件20的材料，取消了凹槽底部的彈性件以防止彈性件的損害，達到了更好地安裝效果。
[0034]顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種安裝模具，其特征在于:包括用于放置一目標件的本體和用于放置一安裝件的蓋體，其中所述本體與所述蓋體合并時能夠將所述安裝件安裝到所述目標件上。
2.如權利要求1所述的安裝模具，其特征在于:所述蓋體上設置有蓋體凹槽以放置所述安裝件。
3.如權利要求2所述的安裝模具，其特征在于:所述蓋體凹槽的壁采用可吸附所述安裝件的材料制成。
4.如權利要求1所述的安裝模具，其特征在于:還包括設置于所述本體上的若干凸柱，以固定所述目標件。
5.如權利要求4所述的安裝模具，其特征在于:還包括設置于所述本體一側的推送件，以推送所述目標件至所述凸柱固定。
6.如權利要求1所述的安裝模具，其特征在于:還包括設置于所述本體上的目標件支撐結構。
7.如權利要求1所述的安裝模具，其特征在于:還包括一翻轉件，所述蓋體通過所述翻轉件連接所述本體。
8.如權利要求7所述的安裝模具，其特征在于:所述本體與蓋體均為矩形，所述翻轉件分別連接所述本體與所述蓋體的一邊。
9.如權利要求1所述的安裝模具，其特征在于:所述本體上設置位于所述目標件兩側的本體凹槽。
10.如權利要求1所述的安裝模具，其特征在于:所述本體上設置位于所述目標件下方的凹陷部以容納所述目標件上的一凸起部。
11.如權利要求1至10中任意一項所述的安裝模具，其特征在于:所述目標件是光罩，所述安裝件是所述光罩的固定裝置。
【文檔編號】B25B11/00GK203792202SQ201420103144
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年3月7日 優(yōu)先權日:2014年3月7日
【發(fā)明者】馬俊, 曹燕芳 申請人:中芯國際集成電路制造（天津）有限公司, 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司