專利名稱：波紋管氣缸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
波紋管氣缸
1、技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及真空技術(shù)和氣動(dòng)機(jī)械領(lǐng)域，
2、背景技術(shù):真空(Vacnnm)是指定空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)，可分為低真空(101325 1333Ν/Π11)、中真空(1333Ν/Π11 I X I(T1Pa)、高真空(I X KT1 I X I(T5Pa)、超高真空(IX 10_5 IX I(T9Pa)、極高真空(< I X I(T9Pa)。.波紋管(Bellows)是一種撓性、薄壁、有橫向波紋的管殼零件；能補(bǔ)償吸收管道軸向、橫向、角向熱變形，密封性好。它分為金屬波紋管、波紋膨脹節(jié)和金屬波紋軟管三種。制造方法有滾壓成形、焊接成形、橡膠成形、機(jī)械脹形、液壓成形、滾壓成形和電沉積成形等。其材質(zhì)為可以是不銹鋼，銅、橡膠和塑料等。作用:補(bǔ)償、吸收管道軸向、橫向、角向熱變形，吸收設(shè)備振動(dòng)；密封性好。氣缸同樣是夾緊或夾持作用，實(shí)際上就是小型、短行程氣缸；不同之處在于缸徑、行程和夾持力大小:例如德國費(fèi)斯托FESTO夾緊氣缸(型號(hào)DNCKE)缸徑Φ 40、63、100mm，行程10 2000mm和夾持力1300 8000N。FESTO夾緊模塊(型號(hào)EV)缸徑12 63mm、行程O 5mm和夾持力35 1650N。.目前應(yīng)用的夾緊氣缸，因?yàn)榇嬖谥鴼飧變?nèi)腔與活塞桿間不同程度的泄漏現(xiàn)象。因此夾緊氣缸不能用于高真空容器中，這是行業(yè)內(nèi)的共識(shí)?，F(xiàn)在德國費(fèi)斯托FESTO公司出品一種夾緊模塊。是無活塞桿短行程氣缸，具有膜片，行程3 5mm.。是用橡膠膜片執(zhí)行工作的。實(shí)際測試漏氣量較大，例如:費(fèi)斯托FESTO的EV-63夾緊模塊，將這種夾緊模塊6個(gè)放入水中，向夾緊模塊中通入6bar壓縮空氣，肉眼可見每個(gè)模塊，氣囊與底座結(jié)合處有很小的氣泡不斷從冒出。約I個(gè)/S，這樣高漏率是不能應(yīng)用在高真空腔室中的。目前市場上沒有供應(yīng)國內(nèi)外生產(chǎn)的可工作于高真空中的氣缸。
3、實(shí)用新型 內(nèi)容:本實(shí)用新型提供一種可以在高真空中工作，漏率低于lX10_5Pa/L*S(行業(yè)中可認(rèn)為是不漏的)的波紋管氣缸。


:圖1波紋管氣缸說明:(I)、后法蘭；(2)、波紋管；(3)限位機(jī)構(gòu)；⑷、回位彈簧；、前法蘭。波紋管(2)是焊接波紋管，其材質(zhì)是不銹鋼，銅或非金屬材料。回位彈簧(4)根據(jù)不同的工作需要設(shè)計(jì)成雙扭簧，彎曲板簧，或拉簧。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1:見圖1一種可在高真空中工作波紋管氣缸，其特征在于:后法蘭(I)將波紋管(2)等組成的氣缸固定在工作位置上，并導(dǎo)入導(dǎo)出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機(jī)構(gòu)(3);波紋管(2)內(nèi)沒有活塞，外部有保持行程走直線的限位機(jī)構(gòu)(3)和排除內(nèi)部空氣，能將氣缸拉回原狀的回位彈簧(4)，前法蘭(5)與波紋管(2)和后法蘭(I)構(gòu)成全封閉的空間。氣動(dòng)通過波紋管的伸縮作用完成氣缸夾緊或放松工作。工作空間過小的情況下，無法安排限位機(jī)構(gòu)，可以將限位機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)在模塊外部，或由被夾緊工件來限制它的行程。工作過程是:氣缸內(nèi)通入壓縮空氣，壓縮空氣被波紋管徑向和下法蘭軸向限制住。只有工作面方向可以膨脹。于是壓縮空氣推動(dòng)工作面向前運(yùn)動(dòng)。如果前面有被夾工件，工件就擋住了夾緊面繼續(xù)向前的運(yùn)動(dòng)。工件就被牢牢夾緊。如果沒有工件，在行程末端限位機(jī)構(gòu)將夾緊面拉住。使夾緊面停止運(yùn)動(dòng)。當(dāng)排除壓縮空氣，外部環(huán)境在一個(gè)大氣壓下。回位彈簧將夾緊面拉回初始位置。如果外部環(huán)境是真空，排除壓縮空氣后，由于氣缸內(nèi)部是一個(gè)大氣壓，內(nèi)外壓力差過大。彈簧是拉不回來夾緊面的。這種情況就要用真空泵將氣缸內(nèi)部抽成真空。內(nèi)外壓力差距不大的情況下加緊面就會(huì)被回位彈簧拉回到初始位置。例如:安徽威邁公司制作的焊接波紋管真空漏率=IXKTuiPa/!.S。使用壽命:10萬次 100萬次以上。壓縮比:50^-85 ^活塞桿進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)是氣缸內(nèi)漏主要因素，從結(jié)構(gòu)、運(yùn)行機(jī)制和性能完全達(dá)到了可工作于高真空中的要求。6、有益效果:可在高真空中工作的波紋管氣缸，經(jīng)實(shí)踐應(yīng)用，它的各種指標(biāo)均達(dá)到了設(shè)計(jì)要求，可應(yīng)用于真空鍍膜中真空度要求很高的的濺射腔室(I X IO-5Pa)。它為高真空領(lǐng)域氣動(dòng)元件的應(yīng)用，開辟 了一條嶄新的途徑。
權(quán)利要求1.一種可在高真空中工作波紋管氣缸，其特征在于:后法蘭(I)將波紋管(2)等組成的氣缸固定在工作位置上，并導(dǎo)入導(dǎo)出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機(jī)構(gòu)(3);波紋管(2)內(nèi)沒有活塞，外部有保持行程走直線的限位機(jī)構(gòu)(3)和排除內(nèi)部空氣，能將氣缸拉回原狀的回位彈簧(4)，前法蘭(5)與波紋管(2)和后法蘭(I)構(gòu)成全封閉的空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋管氣缸，其特征波紋管(2)是焊接波紋管，其材質(zhì)是不銹鋼，銅或非金屬材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波紋管氣缸，其特征是回位彈簧(4)根據(jù)不同的工作需要設(shè)計(jì)成雙扭簧，彎曲板簧·，或拉簧。
專利摘要一種可在高真空中工作的波紋管氣缸。屬于真空技術(shù)和氣動(dòng)機(jī)械領(lǐng)域，其特征是它由波紋管，夾緊面，前、后法蘭，導(dǎo)向限位結(jié)構(gòu)，回位彈簧組成。向氣缸內(nèi)部充入壓縮空氣，波紋管向兩端伸長，由于波紋管徑向有一定剛度，在通用的10bar以下壓力，能保證波紋管徑向不發(fā)生變形。由于波紋管氣缸是全封閉結(jié)構(gòu)，沒有往復(fù)運(yùn)動(dòng)于氣缸內(nèi)外的活塞桿，所以它在真空中有很好的密封性能。經(jīng)實(shí)踐測試它適用于真空鍍膜的真空腔室等高真空環(huán)境工作。
文檔編號(hào)B25B11/00GK203146471SQ20122060547
公開日2013年8月21日 申請日期2012年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月6日
發(fā)明者苑玉坤 申請人:苑玉坤