專利名稱：機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型公開的實(shí)施方式涉及機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。
背景技術(shù)：
[0002]以往，作為搬送玻璃基板和半導(dǎo)體晶片等工件的機(jī)器人，已知水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。 水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人例如具備基座；經(jīng)由第I減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與基座連結(jié)的第I 臂；以及經(jīng)由第2減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第I臂連結(jié)的第2臂(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。[0003]在專利文獻(xiàn)I中，公開了使用一個(gè)驅(qū)動(dòng)部使第I臂和第2臂這兩者旋轉(zhuǎn)的技術(shù)。具體來說，在專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)中，在驅(qū)動(dòng)部的輸出軸和第I減速器的輸入軸之間架設(shè)有第I同步帶，在驅(qū)動(dòng)部的輸出軸和第2減速器的輸入軸之間架設(shè)有第2同步帶。[0004]由此，驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力相對(duì)于第I同步帶和第2同步帶同時(shí)且獨(dú)立地傳遞，第I臂和第2臂分別借助由各同步帶傳遞的驅(qū)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)。[0005]專利文獻(xiàn)I :日本特許第3881579號(hào)公報(bào)[0006]可是，在現(xiàn)有的技術(shù)中，在使機(jī)器人小型化這一點(diǎn)上存在進(jìn)一步改善的余地。[0007]特別是，搬送玻璃基板和半導(dǎo)體晶片等的機(jī)器人有時(shí)被設(shè)置在保持為減壓狀態(tài)的真空腔室內(nèi)。在這樣的情況下，通過使機(jī)器人小型化，能夠減小真空腔室的容積，減壓狀態(tài)的維持變得容易。因此，對(duì)機(jī)器人的小型化的要求強(qiáng)烈。實(shí)用新型內(nèi)容[0008]實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)的目的在于，提供能夠使機(jī)器人小型化的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。[0009]實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)具備第I部件；第2部件；第3部件；驅(qū)動(dòng)部;第I傳動(dòng)部件;第2傳動(dòng)部件；以及中繼部件。第2部件經(jīng)由第I減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第I部件連結(jié)。第3部件經(jīng)由第2減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第2部件連結(jié)。 驅(qū)動(dòng)部用于產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力。第I傳動(dòng)部件對(duì)第I減速器的輸入軸傳遞驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力。第2 傳動(dòng)部件對(duì)第2減速器的輸入軸傳遞驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力。中繼部件沿著與驅(qū)動(dòng)部的輸出軸平行的軸延伸，并以該軸為中心旋轉(zhuǎn)。并且，第I傳動(dòng)部件和第2傳動(dòng)部件中的一方還對(duì)中繼部件傳遞驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力，第I傳動(dòng)部件和第2傳動(dòng)部件中的另一方傳遞從第I傳動(dòng)部件和第2傳動(dòng)部件中的一方經(jīng)由中繼部件傳遞來的驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力。[0010]此外，所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)中，所述第I減速器和所述第2減速器配置成輸入軸互相朝向反方向，且外殼的至少一部分在高度方向上互相重疊，所述驅(qū)動(dòng)部被設(shè)在輸出軸與所述第I減速器和所述第2減速器中的一方的輸入軸在高度方向上重疊的位置。[0011]此外，所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)還具備第2中繼部件，其沿著與所述驅(qū)動(dòng)部的輸出軸平行的軸延伸，并能夠以所述軸為中心旋轉(zhuǎn)；和第3傳動(dòng)部件，其對(duì)所述第2中繼部件傳遞所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力，所述第I傳動(dòng)部件和所述第2傳動(dòng)部件中的一方還將從所述第3傳動(dòng)部件經(jīng)由所述第2中繼部件傳遞來的所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力傳遞至所述中繼部件。[0012]此外，所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)中，在形成于所述第2部件的內(nèi)部且保持為大氣壓的收納部內(nèi)，至少收納有所述驅(qū)動(dòng)部、所述第I減速器、所述第2減速器以及所述中繼部件。[0013]此外，所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)中，所述第2部件還具備以能夠?qū)⑺鍪占{部與外部連通的方式封閉所述收納部的蓋部。[0014]此外，所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)還具備第4部件，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述第3部件連結(jié)；和連桿機(jī)構(gòu)，其用于在所述第2部件和所述第3部件旋轉(zhuǎn)的情況下限制所述第4部件的旋轉(zhuǎn)。[0015]此外，所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)被配置在保持為減壓狀態(tài)的腔室內(nèi)。[0016]根據(jù)實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)，能夠提供可使機(jī)器人小型化的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。


[0017]圖I是第I實(shí)施方式的機(jī)器人的示意立體圖。[0018]圖2是示出將機(jī)器人設(shè)置于真空腔室后的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。[0019]圖3是示出第I臂部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。[0020]圖4A是沿圖3所示的A — A線的箭頭方向的剖視圖。[0021]圖4B是從Y軸方向?qū)Φ贗臂部內(nèi)進(jìn)行觀察的情況下的示意剖視圖。[0022]圖4C是從Y軸方向?qū)Φ贗臂部內(nèi)進(jìn)行觀察的情況下的示意剖視圖。[0023]圖5A是示出第2實(shí)施方式的第I臂部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。[0024]圖5B是從Y軸方向?qū)Φ?實(shí)施方式的第I臂部內(nèi)進(jìn)行觀察的情況下的示意剖視圖。[0025]圖5C是從Y軸方向?qū)Φ?實(shí)施方式的第I臂部內(nèi)進(jìn)行觀察的情況下的示意剖視圖。[0026]標(biāo)號(hào)說明[0027]I、Ia :機(jī)器人；[0028]10 :機(jī)體部；[0029]11 :殼體;[0030]12 :凸緣部；[0031]15:升降凸緣部；[0032]20 :臂單元；[0033]21 :固定基座部；[0034]22,22a :第I臂部；[0035]221 :收納部；[0036]224 :蓋部；[0037]23 :第2臂部；[0038]24 :可動(dòng)基座部；[0039]24a :末端執(zhí)行器；[0040]25 :輔助臂部；[0041]30 :真空腔室；[0042]51 :第I減速器；[0043]511第I帶輪；[0044]512 :外殼；[0045]513 :輸入軸；[0046]514 :輸出軸；[0047]52 :第2減速器；[0048]521 :第2帶輪；[0049]522 :外殼；[0050]523 :輸入軸；[0051]524 :輸出軸；[0052]53 :馬達(dá)；[0053]531 :第3帶輪；[0054]532 :馬達(dá)主體部；[0055]533 :輸出軸；[0056]54 :中繼部件；[0057]541 :主體部；[0058]542 :旋轉(zhuǎn)軸；[0059]543 :第4帶輪；[0060]544 :第5帶輪；[0061]55,55a :第I傳動(dòng)帶；[0062]56、56a :第2傳動(dòng)帶；[0063]57 :第2中繼部件；[0064]571 :主體部；[0065]572 :旋轉(zhuǎn)軸；[0066]573 :第6帶輪；[0067]574 :第7帶輪;[0068]58 :第3傳動(dòng)帶。
具體實(shí)施方式
[0069]以下，參照附圖，對(duì)本申請(qǐng)公開的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說明。并且，本實(shí)用新型并不受以下所示的實(shí)施方式限定。[0070](第I實(shí)施方式)[0071]首先，利用圖I對(duì)第I實(shí)施方式的機(jī)器人的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖I是實(shí)施方式的機(jī)器人的示意立體圖。[0072]如圖I所示，機(jī)器人I是具備沿水平方向伸縮的兩個(gè)伸縮臂的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。 具體來說，機(jī)器人I具備機(jī)體部10和臂單元20。[0073]機(jī)體部10為設(shè)在臂單元20的下部的單元。所述機(jī)體部10在筒狀的殼體11內(nèi)具備升降裝置，利用所述升降裝置使臂單元20沿豎直方向升降。[0074]升降裝置例如構(gòu)成為包括馬達(dá)和滾珠絲杠、滾珠螺母等，通過將馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)，來使升降凸緣部15沿豎直方向升降。由此，使固定在升降凸緣部15上的臂單元20升降。[0075]在殼體11的上部形成有凸緣部12。通過將凸緣部12固定于真空腔室，從而機(jī)器人I成為設(shè)置于真空腔室的狀態(tài)。關(guān)于這一點(diǎn)，利用圖2進(jìn)行說明。[0076]臂單元20是經(jīng)由升降凸緣部15而與機(jī)體部10連結(jié)的單元。具體來說，臂單元20 具備固定基座部21、第I臂部22、第2臂部23、可動(dòng)基座部24以及輔助臂部25。并且，在本實(shí)施方式中，固定基座部21、第I臂部22、第2臂部23以及可動(dòng)基座部24分別對(duì)應(yīng)于第 I部件、第2部件、第3部件以及第4部件。[0077]固定基座部21以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于升降凸緣部15。固定基座部21具備由馬達(dá)和減速器等構(gòu)成的回轉(zhuǎn)裝置，所述固定基座部21利用所述回轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。[0078]具體來說，在回轉(zhuǎn)裝置中，經(jīng)由傳動(dòng)帶將馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)輸入至減速器，所述減速器的輸出軸固定于機(jī)體部10。由此，固定基座部21以減速器的輸出軸為回轉(zhuǎn)軸而在水平方向上自轉(zhuǎn)。[0079]并且，固定基座部21在內(nèi)部具備保持為大氣壓的箱狀收納部，在所述收納部內(nèi)具備馬達(dá)和減速器、傳動(dòng)帶等。由此，如后述那樣，即使是在真空腔室內(nèi)使用機(jī)器人I的情況， 也能夠防止?jié)櫥葷櫥偷母稍?，此外，還能夠防止真空腔室內(nèi)因起灰而污染。[0080]第I臂部22的基端部經(jīng)由后述的第I減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)于固定基座部21的上部。另外，第2臂部23的基端部經(jīng)由后述的第2減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)于第I臂部22的末端部的上部。[0081]并且，可動(dòng)基座部24以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)于第2臂部23的末端部?？蓜?dòng)基座部24在上部具備用于保持工件的末端執(zhí)行器24a，該可動(dòng)基座部24隨著第I臂部22和第 2臂部23的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作而直線移動(dòng)。[0082]機(jī)器人I通過使第I臂部22和第2臂部23同步動(dòng)作，來使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)。具體來說，在機(jī)器人I中，通過使用一個(gè)馬達(dá)使第I減速器和第2減速器這兩者旋轉(zhuǎn)， 來使第2臂部23與第I臂部22同步地動(dòng)作。[0083]具體來說，在機(jī)器人I中，以使第2臂部23相對(duì)于第I臂部22的旋轉(zhuǎn)量成為第I 臂部22相對(duì)于固定基座部21的旋轉(zhuǎn)量的2倍的方式，使第I臂部22和第2臂部23旋轉(zhuǎn)。 例如，在機(jī)器人I中，以在第I臂部22相對(duì)于固定基座部21旋轉(zhuǎn)了 α度的情況下使第2 臂部23相對(duì)于第I臂部22旋轉(zhuǎn)2 α度的方式，使第I臂部22和第2臂部23旋轉(zhuǎn)。由此， 機(jī)器人I能夠使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)。[0084]從防止真空腔室內(nèi)的污染等的觀點(diǎn)出發(fā)，第I減速器、第2減速器、馬達(dá)、傳動(dòng)帶這一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被收納在保持為大氣壓的第I臂部22的內(nèi)部。[0085]在此，在使一個(gè)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力向兩個(gè)減速器傳遞的情況下，以往，在馬達(dá)的輸出軸架設(shè)將馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力向一個(gè)減速器的輸入軸傳遞的傳動(dòng)帶和向另一個(gè)減速器的輸入軸傳遞的傳動(dòng)帶這兩個(gè)傳動(dòng)帶。[0086]可是，在這樣的傳動(dòng)帶的架設(shè)方法中，可能無法使第I臂部22的高度尺寸足夠小。[0087]因此，在第I實(shí)施方式的機(jī)器人I中，通過研究傳動(dòng)帶相對(duì)于第I減速器和第2減速器的架設(shè)方法，減小了第I臂部22的高度尺寸，使機(jī)器人I整體實(shí)現(xiàn)了小型化。對(duì)于這一點(diǎn)，利用圖3和圖4A 圖4C來詳細(xì)說明。[0088]輔助臂部25為這樣的連桿機(jī)構(gòu)與第I臂部22和第2臂部23的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地對(duì)可動(dòng)基座部24的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制，以使得移動(dòng)中的末端執(zhí)行器24a始終朝向恒定的方向。[0089]具體來說，輔助臂部25具備第I連桿部25a、中間連桿部25b以及第2連桿部25c。[0090]第I連桿部25a的基端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與固定基座部21連結(jié),第I連桿部 25a在末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與中間連桿部25b的末端部連結(jié)。另外，中間連桿部25b的基端部被軸支承在與第I臂部22和第2臂部23的連結(jié)軸相同的軸上，中間連桿部25b的末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第I連桿部25a的末端部連結(jié)。[0091]第2連桿部25c在基端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與中間連桿部25b連結(jié)，在末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與可動(dòng)基座部24的基端部連結(jié)。另外，可動(dòng)基座部24在末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第2臂部23的末端部連結(jié),在基端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第2連桿部25c連結(jié)。[0092]第I連桿部25a與固定基座部21、第I臂部22以及中間連桿部25b —起形成第I 平行連桿機(jī)構(gòu)。即，當(dāng)?shù)贗臂部22以基端部為中心旋轉(zhuǎn)時(shí)，第I連桿部25a和中間連桿部 25b 一邊保持分別與第I臂部22和固定基座部21平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。[0093]另外，第2連桿部25c與第2臂部23、可動(dòng)基座部24以及中間連桿部25b —起形成第2平行連桿機(jī)構(gòu)。即，當(dāng)?shù)?臂部23以基端部為中心旋轉(zhuǎn)時(shí)，第2連桿部25c和可動(dòng)基座部24 —邊保持分別與第2臂部23和中間連桿部25b平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。[0094]中間連桿部25b通過第I平行連桿機(jī)構(gòu)一邊保持與固定基座部21平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。因此，第2平行連桿機(jī)構(gòu)的可動(dòng)基座部24也一邊保持與固定基座部21平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，安裝在可動(dòng)基座部24上部的末端執(zhí)行器24a —邊保持與固定基座部21平行的狀態(tài)一邊直線移動(dòng)。[0095]這樣，機(jī)器人I利用第I平行連桿機(jī)構(gòu)和第2平行連桿機(jī)構(gòu)這兩個(gè)平行連桿機(jī)構(gòu)， 將末端執(zhí)行器24a的朝向保持恒定。因此，與例如將帶輪或傳動(dòng)帶設(shè)在第2臂部內(nèi)、并利用這些帶輪或傳動(dòng)帶將末端執(zhí)行器的朝向維持為恒定方向的情況相比，能夠抑制因帶輪或傳動(dòng)帶引起的起灰。[0096]另外，通過輔助臂部25能夠提高整個(gè)臂的剛性，因此能夠降低末端執(zhí)行器24a動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)。因此，與使用帶輪或傳動(dòng)帶將末端執(zhí)行器的朝向維持為恒定方向的情況相比， 還能夠抑制因末端執(zhí)行器24a動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)而引起的起灰。[0097]另外，第I實(shí)施方式的機(jī)器人I具備兩組由第I臂部22、第2臂部23、可動(dòng)基座部 24以及輔助臂部25構(gòu)成的伸縮臂部。因此，機(jī)器人I能夠同時(shí)平行地進(jìn)行例如使用一個(gè)伸縮臂部從某個(gè)搬送位置取出工件、同時(shí)使用另一個(gè)伸縮臂部將新工件搬入至所述搬送位置等兩個(gè)作業(yè)。[0098]接下來，利用圖2對(duì)將機(jī)器人I設(shè)置于真空腔室后的狀態(tài)進(jìn)行說明。圖2是示出將機(jī)器人設(shè)置于真空腔室后的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。[0099]如圖2所示，機(jī)器人I的形成于機(jī)體部10的凸緣部12經(jīng)由密封部件固定在開口部31的緣部，所述開口部31形成于真空腔室30的底部。由此，真空腔室30成為被密閉的狀態(tài)，利用真空泵等減壓裝置使內(nèi)部保持為減壓狀態(tài)。并且，機(jī)體部10的殼體11從真空腔室30的下部突出，位于對(duì)真空腔室30進(jìn)行支承的支承部35內(nèi)的空間。[0100]機(jī)器人I在真空腔室30內(nèi)進(jìn)行工件的搬送作業(yè)。例如，機(jī)器人I通過使用第I臂部22和第2臂部23使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)，從而從經(jīng)由未圖示的閘閥與真空腔室30連接的其它真空腔室取出工件。[0101]接著，機(jī)器人I在將末端執(zhí)行器24a拉回后，以回轉(zhuǎn)軸線O為中心使固定基座部21 在水平方向旋轉(zhuǎn)，由此，使臂單元20正對(duì)著作為工件的搬送目的地的其它真空腔室。然后， 機(jī)器人I使用第I臂部22和第2臂部23使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)，由此將工件搬入作為工件搬送目的地的其它真空腔室。[0102]真空腔室30與機(jī)器人I的形狀相對(duì)應(yīng)地形成。例如，如圖2所示，在真空腔室30 的底面形成有凹部，固定基座部21和升降凸緣部15這樣的、機(jī)器人I的向下方突出的部位收納于所述凹部。這樣，通過使真空腔室30與機(jī)器人I的形狀相對(duì)應(yīng)地形成，能夠減小腔室內(nèi)的容積。因此，能夠容易地維持真空腔室30的減壓狀態(tài)。[0103]并且，真空腔室30內(nèi)的空間確保了采取最小回轉(zhuǎn)姿勢(shì)的臂單元20能夠旋轉(zhuǎn)的空間以及臂單元20通過升降裝置進(jìn)行升降所需要的空間。最小回轉(zhuǎn)姿勢(shì)是指以回轉(zhuǎn)軸線O 為中心的臂單元20的旋轉(zhuǎn)半徑成為最小的機(jī)器人I的姿勢(shì)。[0104]接下來，利用圖3對(duì)收納于第I臂部22的馬達(dá)、第I減速器、第2減速器以及傳動(dòng)帶等的配置進(jìn)行說明。圖3是示出第I臂部22的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。[0105]并且，以下，將第I臂部22的延伸方向作為X軸方向，將在水平方向上與X軸方向正交的方向作為Y軸方向。另外，將與X軸方向和Y軸方向正交的方向、即豎直方向作為Z 軸方向。[0106]如圖3所示，第I臂部22在其內(nèi)部具備保持為大氣壓的箱型的收納部221。并且， 第I臂部22在所述收納部221內(nèi)具備第I減速器51、第2減速器52、馬達(dá)53、中繼部件54、 第I傳動(dòng)帶55以及第2傳動(dòng)帶56等。[0107]這樣，在第I實(shí)施方式的機(jī)器人I中，通過將減速器、馬達(dá)、傳動(dòng)帶這些部件收納于保持為大氣壓的收納部221中，除了能夠防止?jié)櫥葷櫥偷母稍?，還能夠防止因起灰而引起真空腔室30內(nèi)的污染。[0108]第I減速器51配置在第I臂部22的基端部，將固定基座部21和第I臂部22連結(jié)成能夠旋轉(zhuǎn)。另外，第2減速器52配置在第I臂部22的末端部，將第I臂部22和第2 臂部23連結(jié)成能夠旋轉(zhuǎn)。[0109]馬達(dá)53為產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)部，配置在第I臂部22的大致中央。中繼部件54沿著與馬達(dá)53的輸出軸平行的軸延伸，是能夠沿該軸旋轉(zhuǎn)的部件。該中繼部件54在Y軸方向上與馬達(dá)53排列配置。[0110]第I傳動(dòng)帶55為對(duì)第I減速器51的輸入軸傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力的第I傳動(dòng)部件。另外，第2傳動(dòng)帶56為對(duì)第2減速器52的輸入軸傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力的第2傳動(dòng)部件。[0111]如圖3所示，第2傳動(dòng)帶56架設(shè)于第2帶輪521、第3帶輪531以及中繼部件54， 所述第2帶輪521固定于第2減速器52的輸入軸，所述第3帶輪531固定于馬達(dá)53的輸出軸。另外，第I傳動(dòng)帶55架設(shè)于第I帶輪511和中繼部件54，所述第I帶輪511固定于第I減速器51的輸入軸。由此，第I傳動(dòng)帶55將從第2傳動(dòng)帶56經(jīng)由中繼部件54傳遞來的馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第I減速器51的輸入軸。[0112]這樣，機(jī)器人I分別利用第I傳動(dòng)帶55和第2傳動(dòng)帶56將一個(gè)馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第I減速器51和第2減速器52，由此，使第I臂部22和第2臂部23同步動(dòng)作。[0113]接下來，利用圖4A對(duì)馬達(dá)53和中繼部件54的配置更具體地進(jìn)行說明。圖4A是沿圖3所示的A — A線的箭頭方向的剖視圖。[0114]馬達(dá)53具備馬達(dá)主體部532 ;從馬達(dá)主體部532豎直向下突出的輸出軸533 ;固定于輸出軸533的末端的第3帶輪531 ;以及設(shè)在馬達(dá)主體部532和輸出軸533之間的安裝凸緣535。[0115]所述馬達(dá)53在凸緣535支承于從收納部221的側(cè)壁突出的支承部222a、222b的狀態(tài)下配置在收納部221內(nèi)。[0116]中繼部件54具備筒狀的主體部541 ;貫穿插入于主體部541的旋轉(zhuǎn)軸542 ;固定于旋轉(zhuǎn)軸542的基端部的第4帶輪543 ;以及固定在旋轉(zhuǎn)軸542的末端部的第5帶輪544。 另外，中繼部件54在主體部541的下部具備安裝凸緣545。[0117]所述中繼部件54在凸緣545支承于從收納部221的側(cè)壁突出的支承部222b、222c 的狀態(tài)下配置在收納部221內(nèi)。另外，中繼部件54的第4帶輪543配置在與馬達(dá)53的第 3帶輪531相同的高度。[0118]在馬達(dá)53的第3帶輪531和中繼部件54的第4帶輪543架設(shè)有第2傳動(dòng)帶56。 如圖3所示，該第2傳動(dòng)帶56還架設(shè)于固定于第2減速器52的輸入軸的第2帶輪521。因此，馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由中繼部件54的第4帶輪543和第2傳動(dòng)帶56被傳遞至第2減速器52的輸入軸。[0119]另外，在收納部221的上部設(shè)有蓋部224，該蓋部224以能夠?qū)⑹占{部221與外部連通的方式封閉收納部221。通過卸下所述蓋部224，能夠從收納部221的上部進(jìn)行馬達(dá)53 的更換以及第I減速器51和第2減速器52的潤滑脂更換。并且，蓋部224經(jīng)由密封部件固定在收納部221的上端。由此，能夠?qū)⑹占{部221內(nèi)保持為大氣壓。[0120]接下來，利用圖4B和圖4C，對(duì)第I減速器51和第2減速器52的配置、以及第I傳動(dòng)帶55和第2傳動(dòng)帶56的架設(shè)方法更具體地進(jìn)行說明。圖4B和圖4C是從Y軸方向?qū)Φ?I臂部23內(nèi)進(jìn)行觀察的情況下的示意剖視圖。并且，為了容易理解，在圖4B中省略中繼部件54進(jìn)行示出，在圖4C中省略馬達(dá)53進(jìn)行示出。[0121]如圖4B所示，第I減速器51具備外殼512 ;從外殼512上部豎直向上突出的輸入軸513 ;固定在輸入軸513的末端部的第I帶輪511 ;以及從外殼512下部豎直向下突出的輸出軸514。第I減速器51的輸出軸514固定于固定基座部21。另外，第I減速器51 的外殼512固定于第I臂部22。[0122]由于第I減速器51的輸出軸514固定于固定基座部21，因此，通過將馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力輸入至第I減速器51的輸入軸513,從而第I臂部22相對(duì)旋轉(zhuǎn)。[0123]第2減速器52具備外殼522 ;從外殼522下部豎直向下突出的輸入軸523 ;固定在輸入軸523的末端部的第2帶輪521 ;以及從外殼522上部豎直向上突出的輸出軸524。 第2減速器52的輸出軸524固定于第2臂部23。另外,第2減速器52的外殼522固定于第I臂部22。當(dāng)馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力輸入至第2減速器52的輸入軸523時(shí)，固定在第2減速器52的輸出軸524上的第2臂部23旋轉(zhuǎn)。[0124]這樣,第I減速器51和第2減速器52以輸入軸513、523互相朝向反方向的狀態(tài)配置在收納部221內(nèi)。具體來說，第I減速器51的輸入軸513配置在上側(cè)，第2減速器52 的輸入軸523配置在下側(cè)。[0125]另外，如圖4B所示，第I減速器51和第2減速器52配置在與馬達(dá)53大致相同的高度。具體來說，第I減速器51和第2減速器52配置成，第I減速器51的外殼512和第 2減速器52的外殼522在豎直方向(即，高度方向)上互相重疊。[0126]因此，第I減速器51的第I帶輪511和第2減速器52的第2帶輪521配置于不同的高度。[0127]配置于不同的高度的第I帶輪511和第2帶輪521中的第2帶輪521配置在與馬達(dá)53的第3帶輪531相同的高度。并且，將馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第2減速器52的輸入軸523的第2傳動(dòng)帶56架設(shè)于第2帶輪521、第3帶輪531、以及配置在與它們相同的高度的中繼部件54的第4帶輪543 (參照?qǐng)D4C)上。[0128]為了對(duì)第I減速器51的配置在與馬達(dá)53的第3帶輪531不同的高度的第I帶輪 511傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力，使用中繼部件54。[0129]具體來說，如圖4C所示，將馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第I減速器51的輸入軸513 的第I傳動(dòng)帶55架設(shè)于中繼部件54的配置在與第I減速器51的第I帶輪511相同的高度的第5帶輪544上。[0130]當(dāng)使馬達(dá)53動(dòng)作時(shí)，馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力通過第2傳動(dòng)帶56被傳遞至第2減速器52 的第2帶輪521和中繼部件54的第4帶輪543。進(jìn)而，中繼部件54的旋轉(zhuǎn)軸542旋轉(zhuǎn)，由此使得中繼部件54的第5帶輪544旋轉(zhuǎn)，第5帶輪544的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由第I傳動(dòng)帶55被傳遞至第I減速器51的第I帶輪511。[0131]在此，如上述那樣，在現(xiàn)有技術(shù)中，在馬達(dá)的輸出軸架設(shè)將馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第 I減速器的輸入軸的傳動(dòng)帶和傳遞至第2減速器的輸入軸的傳動(dòng)帶這兩者。[0132]在采用這樣的傳動(dòng)帶的架設(shè)方法的情況下，固定于第I減速器的輸入軸的帶輪、 固定于第2減速器的輸入軸的帶輪、以及固定于馬達(dá)的輸出軸的帶輪配置在相同的高度。 其結(jié)果是，第I減速器(以輸入軸朝向馬達(dá)的輸出軸的相反方向的狀態(tài)配置的減速器)向下方大幅突出，從而可能導(dǎo)致收納它們的第I臂部的高度尺寸變大。[0133]因此，在第I實(shí)施方式的機(jī)器人I中，采用了經(jīng)由中繼部件54將馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第I減速器51的輸入軸513的方式，所述中繼部件54沿著與馬達(dá)53的輸出軸533 平行的軸延伸。通過采用這種方式，能夠消除第I減速器51的第I帶輪511的配置的限制， 如圖4B所示，能夠?qū)⒌贗減速器51配置在與第2減速器52大致相同的高度。[0134]由此，在現(xiàn)有的方式中，需要在第I減速器51的上方和第2減速器52的下方形成與各個(gè)減速器51、52的高度尺寸相當(dāng)?shù)目臻g，但在第I實(shí)施方式的機(jī)器人I中，則沒有這種必要。因此，能夠減小第I減速器51的上方和第2減速器52的下方的空間。[0135]因此，在第I實(shí)施方式的機(jī)器人I中，能夠減小收納第I減速器51、第2減速器52、 馬達(dá)53等的第I臂部22的高度尺寸，從而能夠減小機(jī)器人I整體的高度尺寸。如果機(jī)器人I整體的高度尺寸變小，則能夠進(jìn)一步減小真空腔室30的容積，從而使得腔室內(nèi)的減壓狀態(tài)的維持變得容易。[0136]另外，在第I實(shí)施方式中，由于將馬達(dá)53、第I減速器51、第2減速器52等集中配置在第I臂部22的收納部221內(nèi)，因此能夠容易地進(jìn)行這些馬達(dá)53、第I減速器51、第2 減速器52等的維護(hù)。[0137]例如，存在定期進(jìn)行第I減速器51和第2減速器52的內(nèi)部的潤滑脂更換的情況。在所述潤滑脂的更換作業(yè)中，包含相對(duì)于第I減速器51和第2減速器52連接潤滑脂排出用的潤滑脂管的作業(yè)等。在第I實(shí)施方式中，通過將第I減速器51和第2減速器52集中配置在收納部221內(nèi)，從而僅通過卸下第I臂部22的蓋部224就能夠?qū)Φ贗減速器51和第2減速器52這兩者安裝潤滑脂管。因此，能夠容易地進(jìn)行潤滑脂的更換作業(yè)。[0138]另外，在第I實(shí)施方式中，還能夠容易地進(jìn)行馬達(dá)53的更換。即，在采用相對(duì)于馬達(dá)的第3帶輪架設(shè)第I傳動(dòng)帶和第2傳動(dòng)帶這兩者的方式的情況下，是將第I傳動(dòng)帶和第 2傳動(dòng)帶這兩者從第3帶輪卸下。因此，再次安裝馬達(dá)后，對(duì)于第I傳動(dòng)帶和第2傳動(dòng)帶這兩者進(jìn)行采用了張緊輪等的張力調(diào)整。[0139]與此相對(duì)，在第I實(shí)施方式中，在馬達(dá)53的第3帶輪531上架設(shè)的傳動(dòng)帶只有第 2傳動(dòng)帶56。因此，只需對(duì)第2傳動(dòng)帶56進(jìn)行張力調(diào)整即可，調(diào)整時(shí)間縮短，從而能夠縮短更換馬達(dá)所需要的時(shí)間。[0140]如上所述，在第I實(shí)施方式中，第2傳動(dòng)帶56還將馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至中繼部件54，第I傳動(dòng)帶55將從第2傳動(dòng)帶56經(jīng)由中繼部件54傳遞來的馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第I減速器51。因此，能夠減小機(jī)器人的高度尺寸，從而能夠使機(jī)器人小型化。[0141]并且，根據(jù)第I實(shí)施方式，馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力并不是分別相對(duì)于第I傳動(dòng)帶55和第 2傳動(dòng)帶56獨(dú)立傳遞,而是在通過第2傳動(dòng)帶56后被傳遞至第I傳動(dòng)帶55。[0142]當(dāng)?shù)?傳動(dòng)帶56被馬達(dá)53驅(qū)動(dòng)時(shí)，會(huì)在第2傳動(dòng)帶56產(chǎn)生與負(fù)載相對(duì)應(yīng)的伸長。如果在第2傳動(dòng)帶56產(chǎn)生伸長，則在機(jī)器人I會(huì)產(chǎn)生由第2傳動(dòng)帶56的伸長引起的旋轉(zhuǎn)延遲。該旋轉(zhuǎn)延遲被傳遞至第2減速器52的第2帶輪521和中繼部件54的第4帶輪 543。[0143]進(jìn)而，當(dāng)通過中繼部件54的第5帶輪544驅(qū)動(dòng)第I傳動(dòng)帶55時(shí),會(huì)在第I傳動(dòng)帶 55產(chǎn)生與負(fù)載相對(duì)應(yīng)的伸長。第I傳動(dòng)帶55的伸長與傳遞至中繼部件54的第4帶輪543 的第2傳動(dòng)帶56的伸長重疊并傳遞至第I減速器51的第I帶輪511。[0144]這樣，傳遞至第2減速器52的旋轉(zhuǎn)延遲僅由第2傳動(dòng)帶56的伸長引起，傳遞至第 I減速器51的旋轉(zhuǎn)延遲由第I傳動(dòng)帶55的伸長與第2傳動(dòng)帶56的伸長重疊而成的合成伸長引起。[0145](第2實(shí)施方式)[0146]另外，第I傳動(dòng)帶55和第2傳動(dòng)帶56的架設(shè)方法并不限于第I實(shí)施方式示出的示例。因此，以下，利用圖5A 圖5C，對(duì)第I傳動(dòng)帶55和第2傳動(dòng)帶56的架設(shè)方法的其它示例進(jìn)行說明。[0147]圖5A是示出第2實(shí)施方式的第I臂部22a的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。另外，圖5B 和圖5C是從Y軸方向?qū)Φ?實(shí)施方式的第I臂部22a內(nèi)進(jìn)行觀察的情況下的示意剖視圖。[0148]并且，為了容易理解，在圖5B中省略中繼部件54進(jìn)行示出，在圖5C中省略馬達(dá)53 和第2中繼部件57進(jìn)行示出。另外，在以下的說明中，對(duì)于與已經(jīng)進(jìn)行了說明的部分相同的部分，標(biāo)記與已經(jīng)進(jìn)行了說明的部分相同的標(biāo)號(hào)，并省略重復(fù)的說明。[0149]如圖5A所示，第2實(shí)施方式的機(jī)器人Ia除了中繼部件54之外還具備第2中繼部件57。中繼部件54和第2中繼部件57在馬達(dá)53的附近沿Y軸方向排列配置。[0150]另外，在第2中繼部件57和馬達(dá)53的第3帶輪531架設(shè)有第3傳動(dòng)帶58。第2 中繼部件57和馬達(dá)53之間的距離比馬達(dá)53和第I減速器51之間的距離及馬達(dá)53和第2減速器52之間的距離短。因此，第3傳動(dòng)帶58比第I減速器51和第2減速器52短。[0151]對(duì)第I減速器51的輸入軸513傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力的第I傳動(dòng)帶55a架設(shè)于第 I減速器51的第I帶輪511、中繼部件54以及第2中繼部件57。另外，對(duì)第2減速器52的輸入軸523傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力的第2傳動(dòng)帶56a架設(shè)于中繼部件54和第2減速器52 的第2帶輪521。[0152]如圖5B所示，第2中繼部件57具備與中繼部件54相同的結(jié)構(gòu)。具體來說，第2 中繼部件57具備筒狀的主體部571 ;貫穿插入于主體部571的旋轉(zhuǎn)軸572 ;固定于旋轉(zhuǎn)軸572的基端部的第6帶輪573 ;以及固定于旋轉(zhuǎn)軸572的末端部的第7帶輪574。[0153]第6帶輪573配置在與馬達(dá)53的第3帶輪531相同的高度，第7帶輪574配置在與第I減速器51的第I帶輪511相同的高度。在第6帶輪573和第3帶輪531之間架設(shè)有第3傳動(dòng)帶58，在第7帶輪574和第I帶輪511之間架設(shè)有第I傳動(dòng)帶55a。并且，第I 傳動(dòng)帶55a還架設(shè)于中繼部件54的第5帶輪544 (參照?qǐng)D5C)。[0154]另外，如圖5C所示，第2傳動(dòng)帶56a架設(shè)于中繼部件54的第4帶輪543和第2減速器52的第2帶輪521。[0155]當(dāng)使馬達(dá)53動(dòng)作時(shí),馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力通過第3傳動(dòng)帶58被傳遞至第2中繼部件 57的第6帶輪573。進(jìn)而，第2中繼部件57的旋轉(zhuǎn)軸572旋轉(zhuǎn)，由此使得第2中繼部件57 的第7帶輪574旋轉(zhuǎn)，第7帶輪574的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由第I傳動(dòng)帶55a被傳遞至第I減速器51的第I帶輪511和中繼部件54的第5帶輪544。[0156]而且，中繼部件54的旋轉(zhuǎn)軸542旋轉(zhuǎn)，由此使得中繼部件54的第4帶輪543旋轉(zhuǎn)， 第4帶輪543的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由第2傳動(dòng)帶56a被傳遞至第2減速器52的第2帶輪521。[0157]這樣，在第2實(shí)施方式中，還具備第2中繼部件57和第3傳動(dòng)部件，所述第2中繼部件57沿著與馬達(dá)53的輸出軸533平行的旋轉(zhuǎn)軸572延伸，并能夠以旋轉(zhuǎn)軸572為中心旋轉(zhuǎn)，所述第3傳動(dòng)部件對(duì)第2中繼部件57傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力。并且，在第2實(shí)施方式中，第I傳動(dòng)帶55a將從第3傳動(dòng)帶58經(jīng)由第2中繼部件57傳遞來的馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力還傳遞至中繼部件54。[0158]S卩，在第2實(shí)施方式中，沒有相對(duì)于馬達(dá)53的第3帶輪531直接架設(shè)第I傳動(dòng)帶 55a和第2傳動(dòng)帶56a，而是架設(shè)了比所述第I傳動(dòng)帶55a和第2傳動(dòng)帶56a短的第3傳動(dòng)帶58。[0159]由此，在更換馬達(dá)53的情況下，可以不卸下第I傳動(dòng)帶55a和第2傳動(dòng)帶56a，因此，在安裝馬達(dá)53之后，無需對(duì)這些第I傳動(dòng)帶55a和第2傳動(dòng)帶56a進(jìn)行張力調(diào)整。[0160]并且，在更換馬達(dá)53的情況下，雖然要卸下第3傳動(dòng)帶58，但由于第3傳動(dòng)帶58 比第I傳動(dòng)帶55a和第2傳動(dòng)帶56a短，因此，安裝馬達(dá)53后的張力調(diào)整比較容易。[0161]并且，在上述的各實(shí)施方式中，第2傳動(dòng)帶56、56a對(duì)中繼部件54傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力，第I傳動(dòng)帶55、55a將經(jīng)由中繼部件54傳遞的馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第I減速器51。但是，并不限于此，也可以是，第I傳動(dòng)帶55、55a對(duì)中繼部件54傳遞馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力， 第2傳動(dòng)帶56、56a將經(jīng)由中繼部件54傳遞的馬達(dá)53的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第2減速器52。[0162]另外，在上述的各實(shí)施方式中，對(duì)使用傳動(dòng)帶作為傳動(dòng)部件的情況下的示例進(jìn)行了說明，但傳動(dòng)部件也可以是鏈條和齒輪這樣的傳動(dòng)帶以外的傳動(dòng)部件。并且，在使用鏈條作為傳動(dòng)部件的情況下，只要使用鏈輪來代替帶輪即可。另外，在使用齒輪作為傳動(dòng)部件的情況下，只要使用齒輪來代替帶輪即可。[0163]另外，在上述的各實(shí)施方式中，對(duì)在真空腔室30內(nèi)使用機(jī)器人l、la的情況下的示例進(jìn)行了說明，但也可以在大氣中使用機(jī)器人l、la。[0164]對(duì)本領(lǐng)域人員來說，能夠容易地導(dǎo)出進(jìn)一步的效果和變形例。因此，本實(shí)用新型的更大范圍的方式并不受如以上那樣表示并記述的特定的詳細(xì)內(nèi)容和代表性的實(shí)施方式限定。因此，只要不脫離由所附的權(quán)利要求的范圍及其等同物所定義的總括的發(fā)明的概念的精神或范圍，則能夠進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求1.一種機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)具備 第I部件； 第2部件，其經(jīng)由第I減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述第I部件連結(jié)； 第3部件，其經(jīng)由第2減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述第2部件連結(jié)； 驅(qū)動(dòng)部，其用于產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力； 第I傳動(dòng)部件，其對(duì)所述第I減速器的輸入軸傳遞所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力； 第2傳動(dòng)部件，其對(duì)所述第2減速器的輸入軸傳遞所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力；以及中繼部件，其沿著與所述驅(qū)動(dòng)部的輸出軸平行的軸延伸，并能夠以所述軸為中心旋轉(zhuǎn)，所述第I傳動(dòng)部件和所述第2傳動(dòng)部件中的一方還對(duì)所述中繼部件傳遞所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力， 所述第I傳動(dòng)部件和所述第2傳動(dòng)部件的另一方傳遞從所述第I傳動(dòng)部件和所述第2傳動(dòng)部件中的一方經(jīng)由所述中繼部件傳遞來的所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第I減速器和所述第2減速器配置成輸入軸互相朝向反方向，且外殼的至少一部分在高度方向上互相重疊， 所述驅(qū)動(dòng)部被設(shè)在輸出軸與所述第I減速器和所述第2減速器中的一方的輸入軸在高度方向上重疊的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)還具備 第2中繼部件，其沿著與所述驅(qū)動(dòng)部的輸出軸平行的軸延伸，并能夠以所述軸為中心旋轉(zhuǎn)；和 第3傳動(dòng)部件，其對(duì)所述第2中繼部件傳遞所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力， 所述第I傳動(dòng)部件和所述第2傳動(dòng)部件中的一方還將從所述第3傳動(dòng)部件經(jīng)由所述第2中繼部件傳遞來的所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力傳遞至所述中繼部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 在形成于所述第2部件的內(nèi)部且保持為大氣壓的收納部內(nèi)，至少收納有所述驅(qū)動(dòng)部、所述第I減速器、所述第2減速器以及所述中繼部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第2部件還具備以能夠?qū)⑺鍪占{部與外部連通的方式封閉所述收納部的蓋部。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)還具備 第4部件，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述第3部件連結(jié)；和 連桿機(jī)構(gòu)，其用于在所述第2部件和所述第3部件旋轉(zhuǎn)的情況下限制所述第4部件的旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)被配置在保持為減壓狀態(tài)的腔室內(nèi)。
8.—種機(jī)器人,其特征在于， 所述機(jī)器人具備權(quán)利要求I 7中的任一項(xiàng)所述的臂結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種能夠使機(jī)器人小型化的機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。實(shí)施方式的臂單元具備固定基座部、第1臂部、第2臂部、馬達(dá)、第1傳動(dòng)帶、第2傳動(dòng)帶以及中繼部件。第1臂部經(jīng)由第1減速器而與固定基座部連結(jié)，第2臂部經(jīng)由第2減速器而與第1臂部連結(jié)。并且，第2傳動(dòng)帶對(duì)中繼部件傳遞馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力，第1傳動(dòng)帶將從第2傳動(dòng)帶經(jīng)由中繼部件傳遞來的馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力傳遞至第1減速器。
文檔編號(hào)B25J18/02GK202805210SQ20122043771
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者古川伸征, 野口忠隆 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)