專(zhuān)利名稱(chēng)：晶片吸附式傳輸機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片傳輸機(jī)械手技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體行業(yè)，許多半導(dǎo)體設(shè)備都需要進(jìn)行晶片的搬運(yùn)、傳輸，現(xiàn)在常見(jiàn)的機(jī)械手 較為簡(jiǎn)單，只是由一個(gè)電機(jī)或兩個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)單自由度或雙自由度的運(yùn)動(dòng)，不能實(shí)現(xiàn)復(fù) 雜的運(yùn)動(dòng)。要實(shí)現(xiàn)多維運(yùn)動(dòng)，以往的機(jī)械手采用液壓式、氣動(dòng)式，其設(shè)備體積大，成本高，運(yùn) 行不穩(wěn)定，可靠性低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種晶片吸附式傳輸機(jī)械手，不僅能夠提高和保證晶片傳輸 的可靠性、精確性和穩(wěn)定性，而且可以方便實(shí)現(xiàn)3個(gè)或2個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)，其使用靈活、結(jié)構(gòu)緊 湊、體積小、成本低。特別適合在半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備上使用。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的一種晶片吸附式傳輸機(jī)械手，包括電機(jī)，其特征在于懸臂上 裝有第三電機(jī)，連接小軸通過(guò)第三軸承裝在懸臂上，連接小軸和第三電機(jī)軸相連，連接小軸 的另一端設(shè)有可吸附晶片的真空吸盤(pán)；懸臂和三維或二維運(yùn)送裝置相連。所述的第三電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)較好。所述的三維運(yùn)送裝置的結(jié)構(gòu)可以是第一架體上裝有第一電機(jī)，第一電機(jī)的軸和 絲杠相連，絲杠通過(guò)第一軸承裝在第一架體上，絲杠和滑塊式絲母配合，滑塊式絲母和裝在 第一架體上的直線(xiàn)滑軌滑動(dòng)配合；第二架體固定在滑塊式絲母上，第二架體上裝有第二電 機(jī)，第二電機(jī)和連接軸相連，連接軸通過(guò)第二軸承和懸臂相連。所述的二維空間傳輸裝置的結(jié)構(gòu)可以是第二架體上裝有第二電機(jī)，第二電機(jī)和 連接軸相連，連接軸通過(guò)第二軸承和懸臂相連。所述的第一電機(jī)、第二電機(jī)均為伺服電機(jī)較好。所述的三維或二維運(yùn)送裝置還可為其他結(jié)構(gòu)，如反之，一級(jí)旋轉(zhuǎn)、二級(jí)Z向平動(dòng)； 或三維都為直線(xiàn)平動(dòng)，等結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的積極效果是能有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，不僅能夠提高和保證 晶片傳輸?shù)目煽啃浴⒕_性和穩(wěn)定性，而且可實(shí)現(xiàn)2個(gè)或3個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)，如實(shí)現(xiàn)Z向直線(xiàn) 運(yùn)動(dòng)、機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)、直線(xiàn)伸縮運(yùn)動(dòng)、手爪的翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)等；其使用靈活、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、 工作效率高、成本低，有利于提高經(jīng)濟(jì)效益。特別適合在減薄機(jī)等半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備上使用。 用途廣，通過(guò)減少電機(jī)個(gè)數(shù)以及驅(qū)動(dòng)臂的個(gè)數(shù)，也可以變?yōu)?維機(jī)械手使用。下面結(jié)合一較佳實(shí)施例及附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。


圖1是本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖2的局部放大圖。
圖中1-第一電機(jī)，2-第一架體，3-第一聯(lián)軸器，4-第-軸承，5-絲杠，6_滑塊式 絲母，7-直線(xiàn)滑軌，8-第二架體，9-第二電機(jī)，10-第二聯(lián)軸器，11-第二軸承，12-連接軸， 13-懸臂，14-第三電機(jī)，15-第三聯(lián)軸器，16-連接小軸，17-第三軸承，18-轉(zhuǎn)接塊，19-真空 吸盤(pán)，20-晶片。
具體實(shí)施例方式見(jiàn)圖1 圖2，該晶片吸附式傳輸機(jī)械手，包括電機(jī)，懸臂13上裝有第三電機(jī)14， 連接小軸16通過(guò)第三軸承17裝在懸臂13上，連接小軸16和第三電機(jī)14軸相連，連接小 軸16的另一端設(shè)有可吸附晶片的真空吸盤(pán)19 ；懸臂13和三維或二維運(yùn)送裝置相連。三維 運(yùn)送裝置的結(jié)構(gòu)為第一架體2上裝有第一電機(jī)1，第一電機(jī)1的軸和絲杠5相連，絲杠5通 過(guò)第一軸承4裝在第一架體2上，絲杠5和滑塊式絲母6配合，滑塊式絲母6和裝在第一架 體2上的直線(xiàn)滑軌7滑動(dòng)配合；第二架體8固定在滑塊式絲母6上，第二架體8上裝有第二 電機(jī)9，第二電機(jī)9和連接軸12相連，連接軸12通過(guò)第二軸承11和懸臂13相連。本實(shí)施例為3自由度機(jī)械手的設(shè)計(jì)，通過(guò)對(duì)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)3個(gè)自由度的 運(yùn)動(dòng)。工作時(shí)1、驅(qū)動(dòng)第一電機(jī)1旋轉(zhuǎn)，第一電機(jī)1的輸出軸通過(guò)第一聯(lián)軸器與絲杠5固定在一 起，第一電機(jī)1的旋轉(zhuǎn)可以帶動(dòng)絲杠5旋轉(zhuǎn)，就可實(shí)現(xiàn)固定在直線(xiàn)滑軌7上的滑塊式絲母6 上的機(jī)構(gòu)的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，第二架體8固定在滑塊上，于是可完成整個(gè)機(jī)構(gòu)的Z向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。2、驅(qū)動(dòng)第二電機(jī)9旋轉(zhuǎn)，第二電機(jī)9的輸出軸通過(guò)第二聯(lián)軸器10與連接軸12固 定在一起，第二電機(jī)9的旋轉(zhuǎn)可以帶動(dòng)連接軸12的旋轉(zhuǎn)，懸臂13固定在連接軸12上，于是 可實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)的整體旋轉(zhuǎn)。3、驅(qū)動(dòng)第三電機(jī)14旋轉(zhuǎn)，第三電機(jī)14的輸出軸通過(guò)第三聯(lián)軸器15與連接小軸16 固定在一起，第三電機(jī)14的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)連接小軸16進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，晶片20、真空吸盤(pán)20都與連接 小軸16固定在一起，于是可實(shí)現(xiàn)晶片20的翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。真空吸盤(pán)20可為彈性式吸盤(pán)，也可通過(guò)軟管和空壓機(jī)相連，或具有活塞抽拉式吸 盤(pán)等結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
一種晶片吸附式傳輸機(jī)械手，包括電機(jī)，其特征在于懸臂(13)上裝有第三電機(jī)(14)，連接小軸(16)通過(guò)第三軸承(17)裝在懸臂(13)上，連接小軸(16)和第三電機(jī)(14)軸相連，連接小軸(16)的另一端設(shè)有可吸附晶片的真空吸盤(pán)(19)；懸臂(13)和三維或二維運(yùn)送裝置相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的第三電機(jī)(14)為 步進(jìn)電機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的三維運(yùn)送裝置的 結(jié)構(gòu)為第一架體(2)上裝有第一電機(jī)(1)，第一電機(jī)(1)的軸和絲杠(5)相連，絲杠(5)通 過(guò)第一軸承(4)裝在第一架體(2)上，絲杠(5)和滑塊式絲母(6)配合，滑塊式絲母(6)和 裝在第一架體(2)上的直線(xiàn)滑軌(7)滑動(dòng)配合；第二架體(8)固定在滑塊式絲母(6)上，第 二架體(8)上裝有第二電機(jī)(9)，第二電機(jī)(9)和連接軸(12)相連，連接軸(12)通過(guò)第二 軸承(11)和懸臂(13)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的第一電機(jī)(1)、第 二電機(jī)(9)均為伺服電機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片吸附式傳輸機(jī)械手，其特征在于所述的二維空間傳輸裝 置的結(jié)構(gòu)為第二架體(8)上裝有第二電機(jī)(9)，第二電機(jī)(9)和連接軸(12)相連，連接軸 (12)通過(guò)第二軸承(11)和懸臂(13)相連。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種晶片吸附式傳輸機(jī)械手，涉及半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片傳輸機(jī)械手技術(shù)領(lǐng)域。包括電機(jī)，懸臂上裝有第電機(jī)，連接小軸通過(guò)第三軸承裝在懸臂上，連接小軸和第三電機(jī)軸相連，連接小軸的另一端設(shè)有可吸附晶片的真空吸盤(pán)；懸臂和三維或二維運(yùn)送裝置相連。本發(fā)明不僅能夠提高和保證晶片傳輸?shù)目煽啃?、精確性和穩(wěn)定性，而且可實(shí)現(xiàn)2個(gè)或3個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)，如實(shí)現(xiàn)Z向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)、機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)、直線(xiàn)伸縮運(yùn)動(dòng)、手爪的翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)等；其使用靈活、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、工作效率高、成本低，有利于提高經(jīng)濟(jì)效益。特別適合在減薄機(jī)等半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備上使用。
文檔編號(hào)B25J15/06GK101890710SQ20101019593
公開(kāi)日2010年11月24日 申請(qǐng)日期2010年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月10日
發(fā)明者張瑋琪, 衣忠波, 馬林 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所