專利名稱：多級機(jī)械傳輸模塊用腔體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，尤其涉及一種用于為生產(chǎn)設(shè)備 之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設(shè)備。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體行業(yè)、電子工業(yè)及機(jī)械領(lǐng)域的加工集群設(shè)備中，產(chǎn)品與半成品之 間的傳輸也是很重要的一部分。因為它關(guān)系到提高產(chǎn)品的質(zhì)量及合格率的重要 因素之一，也是降低企業(yè)生產(chǎn)成本重要因素之一。因此，在企業(yè)用地的成本日 益增加的今天，企業(yè)越來越重視傳輸設(shè)備的空間利用率，減少企業(yè)對土地的使 用量，以降低企業(yè)生產(chǎn)產(chǎn)品的成本，從而提高企業(yè)在市場中竟?fàn)幜?。但是，?br> 場上的傳輸設(shè)備普遍存在以下的缺點
目前，在傳輸系統(tǒng)中，傳輸設(shè)備一般都是單對單對的工作模式，都是通過 一個工序?qū)?yīng)一個傳輸設(shè)備進(jìn)行產(chǎn)品的傳輸。與傳統(tǒng)的傳輸系統(tǒng)相對應(yīng)，傳統(tǒng)
的傳輸腔體一般都是一個傳輸腔體對應(yīng)兩個生產(chǎn)設(shè)備，即在傳品傳輸時，只能 通過傳輸腔體將從一個生產(chǎn)設(shè)備出來的產(chǎn)品通過傳輸設(shè)備在傳輸腔體內(nèi)傳輸給 另一個生產(chǎn)設(shè)備。因而，在產(chǎn)品流水線的生產(chǎn)過程中，為了能滿足產(chǎn)品的流水 線生產(chǎn)要求，尤其是滿足生產(chǎn)工序種類繁多的半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)要求，需要許 多傳輸腔體和傳輸設(shè)備去負(fù)責(zé)完成各工序的生產(chǎn)設(shè)備之間的產(chǎn)品傳輸以實現(xiàn)流 水線生產(chǎn)作業(yè)目的。這一方面由于半導(dǎo)體行業(yè)較多的工序步驟，需要大量的傳 輸腔過渡腔和傳輸設(shè)備去執(zhí)行產(chǎn)品和半產(chǎn)品的傳輸，增加了制造和使用傳輸腔 體和傳輸設(shè)備的成本；另一方面使得傳輸設(shè)備占用了大量的土地資源，增加了 土地的使用成本，從而增加了企業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)成本以及降低企業(yè)在市場上竟?fàn)?力。另，由于傳輸腔體是針對某一半導(dǎo)體產(chǎn)品的流水線作業(yè)要求而涉及制定的，當(dāng)該半導(dǎo)體產(chǎn)品更新?lián)Q代后，應(yīng)用于該半導(dǎo)體產(chǎn)品上的大多數(shù)傳輸腔體不能適 用新的半導(dǎo)體產(chǎn)品的傳輸要求，從而使得傳輸設(shè)備的兼容性差。
因此，急需要一種結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間利用率高、與多臺生產(chǎn)設(shè)備相連的、 兼容性強(qiáng)的傳輸腔體。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間利用率高、且能與多臺生 產(chǎn)設(shè)備相連兼容性好、能有效縮小整個生產(chǎn)線的占地面積的用于為生產(chǎn)設(shè)備之 間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動提供密封傳輸空間的集束傳輸設(shè)備。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為 一種多級機(jī)械傳輸模塊用腔體， 用于為生產(chǎn)設(shè)備之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動提供密封空間，所述 多級機(jī)械傳輸模塊用腔體包括腔體頂蓋、腔體主體、支撐環(huán)及多個側(cè)部法蘭， 所述腔體主體呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成^M成手活動腔，所述腔體主體上 端開設(shè)有腔體開口，所述腔體主體下端開設(shè)有機(jī)械手伸入口，所述支撐環(huán)安裝 于所述機(jī)械手伸入口內(nèi)，所述機(jī)械手密封穿過所述支撐環(huán)并伸入所述機(jī)械手活 動腔，所述腔體頂蓋樞接于所述腔體主體上且密封所述腔體開口，所述側(cè)部法 蘭呈平板狀且具有連接通道，所述連接通道貫穿所述側(cè)部法蘭，所述側(cè)部法蘭 安裝于所述腔體主體的側(cè)壁上，且所述連接通道與所述機(jī)械手活動腔連通。
較佳地，所述腔體主體包括上封頭、具有所述腔體開口的頂部法蘭、下封 頭、具有所述機(jī)械手伸入口的底部法蘭及腔體側(cè)部，所述上封頭套設(shè)于所述腔 體側(cè)部上端的內(nèi)壁上，所述頂部法蘭套^:于所述上封頭的內(nèi)側(cè)；所述下封頭套 設(shè)于所述腔體側(cè)部下端的內(nèi)壁上，所述底部法蘭套設(shè)于所述下封頭的內(nèi)側(cè)；所 述側(cè)部法蘭安裝于所述腔體側(cè)部的側(cè)壁上。這樣，使得所述多級機(jī)械傳輸模塊 用腔體密封性能更好。
較佳地，所述側(cè)部法蘭均勻分布于所述腔體主體的側(cè)壁上。其中，與所述 側(cè)部法蘭相連的生產(chǎn)設(shè)備也以所述腔體為中心安裝在腔體四周，使得整個生產(chǎn) 線上的設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、規(guī)律。較佳地，所述側(cè)部法蘭上還具有連接導(dǎo)管，所述連接導(dǎo)管一端與所述側(cè)部 法蘭的連接通道連通，另一端與所述腔體主體的側(cè)壁連接且與所述機(jī)械手活動 腔連通。所述連接導(dǎo)管使得側(cè)部法蘭突出的安裝于所述腔體的側(cè)壁上，這樣使 得側(cè)部法蘭方便的連接在生產(chǎn)設(shè)備上，并使成品和半成品方便的穿過所述側(cè)部 法蘭的連接通道傳輸?shù)缴a(chǎn)設(shè)備上。
較佳地，所述側(cè)部法蘭上還設(shè)有閘門裝置，所述閘門裝置包括閘門、閘門 驅(qū)動機(jī)構(gòu)及傳感器，所述傳感器安裝于所述腔體主體上并與所述閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu) 電連接，所述閘門安裝于所述側(cè)部法蘭的連接通道內(nèi)，所述傳感器控制所述驅(qū) 動機(jī)構(gòu)對所述閘門進(jìn)行開啟或關(guān)閉。工作時，所述側(cè)部法蘭與所述生產(chǎn)設(shè)備相 連且所述連接通道與所述生產(chǎn)設(shè)備相連通，當(dāng)被傳輸?shù)漠a(chǎn)品或半產(chǎn)品需要傳輸 到某一生產(chǎn)設(shè)備時，機(jī)械手將產(chǎn)品或半產(chǎn)品傳輸?shù)较鄳?yīng)的連接通道，所述傳感 器感應(yīng)到被傳輸產(chǎn)品或半產(chǎn)品，從而控制所述閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)對所述間門打開， 產(chǎn)品或半產(chǎn)品穿過該連接通道到達(dá)與^目連的生產(chǎn)設(shè)備。
較佳地，所述支承環(huán)與所述腔體主體的內(nèi)壁之間設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)筋，所述腔體 側(cè)部與所述連接導(dǎo)管之間還設(shè)有外加強(qiáng)筋。內(nèi)加強(qiáng)筋和外加強(qiáng)筋可靠的加強(qiáng)了 所述多級傳輸模塊用腔體的強(qiáng)度。
較佳地，所述腔體主體的頂部和底部相對應(yīng)的位置上分別設(shè)有與所述側(cè)部 法蘭數(shù)目相對應(yīng)的多個窗口法蘭，所述窗口法蘭的頂面呈透明狀，所述窗口法 蘭與所述機(jī)械手活動腔連通且位于所述連接通道之前。通過所述窗口法蘭可以 觀測到產(chǎn)品或半產(chǎn)品進(jìn)入連接通道的傳輸過程。
較佳地，所述窗口法蘭上還具有連接套管，所述連接套管分別與所述腔體 主體的頂部和底部連接且與所述機(jī)械手活動腔連通。所述窗口法蘭通過所述連 接套管使所述窗口法蘭方便穩(wěn)定地連接到所述腔體主體上。
較佳地，所述多級傳輸模塊用腔體還包括頂蓋控制機(jī)構(gòu)，所述腔體頂蓋控 制^L構(gòu)包括支架、安裝在支架上的轉(zhuǎn)^"和頂蓋傳動^l構(gòu)，所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)與 所述支架樞接，所述支架與所述頂部法蘭固定連接，所述轉(zhuǎn)輪控制所述頂蓋傳
動機(jī)構(gòu)繞所述支架轉(zhuǎn)動。當(dāng)需要多級傳輸模塊用腔體或者該腔體內(nèi)的才;i4戎手時，轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)輪，所述轉(zhuǎn)輪驅(qū)動所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)，所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)帶動所述 腔體頂蓋繞所述支架轉(zhuǎn)動，從而控制所述腔體頂蓋打開。
較佳地，所述腔體頂蓋上具有觀察窗口?？梢酝ㄟ^所述觀察窗口觀測機(jī)械 手傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的工作狀況。
與傳統(tǒng)技術(shù)相比，本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體的腔體主體的側(cè)壁上具 有若干個與生產(chǎn)設(shè)備相連的側(cè)部法蘭，輔助用來傳遞產(chǎn)品和半產(chǎn)品的機(jī)械手，
實現(xiàn)多臺相連設(shè)備之間進(jìn)行產(chǎn)品和半產(chǎn)品的相互傳遞，節(jié)省了多余的空間和多 余的傳輸設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間利用率高、與多臺生產(chǎn)設(shè)備相連、兼 容性強(qiáng)優(yōu)點。另一方面，本發(fā)明的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體側(cè)壁上的側(cè)部法蘭 呈平板狀，可以和多種生產(chǎn)設(shè)備相連接，使得本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體 的兼容性好，可以集多功能設(shè)備于一體，實現(xiàn)產(chǎn)品或半產(chǎn)品在多種不同功能的 生產(chǎn)設(shè)備之間方便快捷的傳遞，有效地節(jié)省了多余的空間、多余的傳輸設(shè)備和 多余的傳遞時間。因此，本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間 利用率高、密封性好、且能與多臺生產(chǎn)設(shè)備相連兼容性好、集多功能設(shè)備于一 體，能有效縮小整個生產(chǎn)線的占地面積。


圖1是本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體與底座連接的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體與底座連接的另一結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體的分解示意圖。
圖4a是本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4b是本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體的另 一結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4c是本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體的又一結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
如圖l、圖2及圖3所示，本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體l，用于為生產(chǎn) 設(shè)備之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動提供密封空間，所述多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1包括腔體頂蓋13、腔體主體11、支撐環(huán)12及多個側(cè)部法蘭41, 所述腔體主體ll呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成機(jī)械手活動腔14，所述腔體主 體11上端開設(shè)有腔體開口 211，所述腔體主體11下端開設(shè)有才幾械手伸入口 311， 所述支撐環(huán)12安裝于所述機(jī)械手伸入口 311內(nèi)，所述機(jī)械手密封穿過所述支撐 環(huán)12并伸入所述機(jī)械手活動腔14，所述腔體頂蓋13樞接于所述腔體主體11上 且密封所述腔體開口 211,具體地，通過手動轉(zhuǎn)動具有手柄的轉(zhuǎn)輪134使腔體頂 蓋13繞支架131轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)腔體頂蓋13對腔體開口 211的密封關(guān)閉或開 啟，所述側(cè)部法蘭41呈平板狀且具有連接通道411,所述連接通道411貫穿所 述側(cè)部法蘭41，所述側(cè)部法蘭41安裝于所述腔體主體11的側(cè)壁上，且所述連 接通道411與所述機(jī)械手活動腔14連通。更具體地，結(jié)合圖4a、圖4b及圖4c 所示，
較佳者，所述腔體主體11包括上封頭22、具有所述腔體開口 211的頂部法 蘭21、下封頭32、具有所述機(jī)械手伸入口 311的底部法蘭31及腔體側(cè)部15, 所述上封頭22套設(shè)于所述腔體側(cè)部15上端的內(nèi)壁上，所述頂部法蘭21套設(shè)于 所述上封頭22的內(nèi)側(cè)；所述下封頭32套設(shè)于所述腔體側(cè)部15下端的內(nèi)壁上， 所述底部法蘭31套設(shè)于所述下封頭32的內(nèi)側(cè)；所述側(cè)部法蘭41安裝于所述腔 體側(cè)部15的側(cè)壁上。這樣，所述多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1腔體通過上封頭22、 頂部法蘭21、及樞接于所述腔體主體11上的腔體頂蓋13使得所述腔體的頂部 密封，通過下封頭32、底部法蘭31、及密封穿過所述支撐環(huán)12的機(jī)械手使得 .腔體的底部密封，最終形成一個密封的機(jī)械手活動腔14，使所述多級機(jī)械傳輸 模塊用腔體1密封性能更好。
較佳者，所述側(cè)部法蘭41均勻分布于所述腔體主體11的側(cè)壁上。這樣的 結(jié)構(gòu)使所述腔體的整體布局規(guī)律、緊湊，與所述側(cè)部法蘭41相連的生產(chǎn)設(shè)備也 以所述腔體為中心安裝在腔體四周，有效地提高了空間利用率。
較佳者，所述側(cè)部法蘭41上還具有連接導(dǎo)管42，所述連接導(dǎo)管42 —端與 所述側(cè)部法蘭41的連接通道411連通，另一端與所述腔體主體11的側(cè)壁連接 且與所述機(jī)械手活動腔14連通。將所述側(cè)部法蘭41固定在所述腔體主體11的側(cè)壁上。所述連接導(dǎo)管42使得側(cè)部法蘭41突出的安裝于所述腔體的側(cè)壁上， 這樣使得側(cè)部法蘭41的另一側(cè)方便的連接在生產(chǎn)設(shè)備上，從而成品和半成品方 便的穿過所述側(cè)部法蘭41的連接通道411傳輸?shù)缴a(chǎn)設(shè)備上。
較佳者，所述側(cè)部法蘭41上還設(shè)有閘門裝置，所述閘門裝置包括閘門(圖 中未示)、閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)43及傳感器53，所述傳感器53安裝于所述腔體主體上 并與所述閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)43電連接，所述閘門安裝于所述側(cè)部法蘭41的連接通 道411內(nèi)，所述傳感器53控制所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)43對所述閘門進(jìn)行開啟或關(guān)閉。 工作時，所述側(cè)部法蘭41與所述生產(chǎn)設(shè)備相連且所述連接通道411與所述生產(chǎn) 設(shè)備相連通，當(dāng)被傳輸?shù)漠a(chǎn)品或半產(chǎn)品需要傳輸?shù)侥骋簧a(chǎn)設(shè)備時，機(jī)械手將 產(chǎn)品或半產(chǎn)品傳輸?shù)较鄳?yīng)的連接通道411,所述傳感器53感應(yīng)到被傳輸產(chǎn)品或 半產(chǎn)品，所述閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)43控制所述閘門打開，產(chǎn)品或半產(chǎn)品穿過該連接通 道411時到達(dá)與^目連的生產(chǎn)設(shè)備。
較佳者，所述腔體主體11上還設(shè)有多個與所述側(cè)部法蘭41的數(shù)目相對應(yīng) 的窗口法蘭51和連接套管52，所述連接套管52 —端與所述窗口法蘭51連接， 另一端與所述腔體主體11的頂部或底部連4妾且與所述才;i4戒手活動腔14連通， 具體地，所述腔體主體11的頂部上且位于所述連接通道411之前的部位上設(shè)有 連接套管52和與所述連接套管52相連的窗口法蘭51，相應(yīng)的，所述腔體主體 11的底部與上述腔體主體11的頂部相對應(yīng)的部位上也i殳有連接套管52和與所 述連接套管52相連的窗口法蘭51,從而使所述窗口法蘭51通過所述連接套管 52連接到所述腔體主體11上且與所述才幾械手活動腔14相連通，又由于所述窗 口法蘭51的頂面呈透明狀，透過所述窗口法蘭51可以看到才幾械手活動腔14中 且位于所述連接通道411之前的部位，因此可以通過所述窗口法蘭51觀測到產(chǎn) 品或半產(chǎn)品進(jìn)入連接通道411的工作過程。更具體地，所述閘門裝置的傳感器 53安裝在與該側(cè)部法蘭41相對應(yīng)的窗口法蘭51的呈透明狀的窗口上，且所述 傳感器53可為光電傳感器，當(dāng)產(chǎn)品或半產(chǎn)品通過所述連接通道41時，光電傳 感器53通過感應(yīng)光度變化感應(yīng)被傳輸?shù)漠a(chǎn)品或半產(chǎn)品的傳輸狀態(tài)，從而控制與 其電連接的閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)43驅(qū)動所述閘門打開。較佳者，所述支承環(huán)12與所述腔體主體11的內(nèi)壁之間設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)筋61, 所述腔體側(cè)部15與所述連接導(dǎo)管42之間還"^殳有外加強(qiáng)筋62。內(nèi)加強(qiáng)筋61和外 加強(qiáng)筋62有效地加強(qiáng)了設(shè)備的強(qiáng)度，使得本發(fā)明多級機(jī)械傳輸才莫塊用腔體l的 強(qiáng)度可靠。
較佳者，所述多級傳輸模塊用腔體1還包括頂蓋控制才幾構(gòu)，所述腔體頂蓋 控制機(jī)構(gòu)包括支架131、安裝在支架131上的具有手柄的轉(zhuǎn)輪134、及頂蓋傳動 機(jī)構(gòu)133，所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)133與所述支架131樞接，所述支架131通過設(shè)置 在支架131上的螺釘13a和所述頂部法蘭21上的螺孔21a相配合，將所述支架 131固定在所述頂部法蘭21上。工作時，順時針或逆時針地旋轉(zhuǎn)所述轉(zhuǎn)輪134， 所述轉(zhuǎn)輪134驅(qū)動所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)133繞著所述支架131轉(zhuǎn)動，從而帶動所 述腔體頂蓋13對腔體開口 211的關(guān)閉或開啟；其中，當(dāng)所述腔體頂蓋13相對 于所述腔體開口 211關(guān)閉時，所述腔體頂蓋13上的螺釘13b與所述頂部法蘭21 上的螺孔21b相配合，使得所述腔體頂蓋13相對于所述腔體開口 211密封閉合。 具體地，所述腔體頂蓋13上具有呈透明狀的觀察窗口 132?？梢酝ㄟ^所述觀察 窗口 132XC測機(jī)械手傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的工作狀況。
結(jié)合圖1和圖2說明本發(fā)明多級傳輸才莫塊用腔體1的工作過程 所述多級傳輸模塊用腔體1工作時，所述腔體主體11安裝在底座16上， 所述螺釘13b與所述螺孔21b相配合，所述腔體頂蓋13相對于所述腔體開口 211 密封閉合使得所述機(jī)械手活動腔14形成一個密封的空間，位于所述腔體側(cè)部15 上的多個側(cè)部法蘭41分別與相應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)備相連，其連接通道411也與上述生 產(chǎn)設(shè)備相連通，當(dāng)需要將與一個生產(chǎn)設(shè)備中的產(chǎn)品傳輸?shù)脚c另一個生產(chǎn)設(shè)備中 時，與上述第一個生產(chǎn)設(shè)備相連的側(cè)部法蘭41的閘門驅(qū)動^L構(gòu)43動作，控制 該側(cè)部法蘭41內(nèi)的閘門打開，所述才/l4戒手抓持上述產(chǎn)品通過上迷連接通道411 進(jìn)入到機(jī)械手活動腔14中，并該產(chǎn)品傳輸?shù)脚c后一個生產(chǎn)i殳備相連側(cè)部法蘭41 的連接通道411中，安裝在相應(yīng)窗口法蘭51上的傳感器53感應(yīng)到產(chǎn)品進(jìn)入上 述連接通道411，并控制側(cè)部法蘭41的閘門驅(qū)動裝置43打開位于上述側(cè)部法蘭 內(nèi)的閘門，所述產(chǎn)品通過上述側(cè)部法蘭41的連"t妄通道411進(jìn)入到后一個的生產(chǎn)設(shè)備中，完成將產(chǎn)品從一個生產(chǎn)設(shè)備通過本發(fā)明多級傳輸模塊用腔體1傳輸?shù)?另一個的生產(chǎn)設(shè)備的工作。其中，本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1所涉及的機(jī)械手包括了機(jī)械手夾持部、機(jī)械手驅(qū)動裝置和機(jī)械手轉(zhuǎn)動軸17,所述機(jī)械手 夾持部與所述機(jī)械手轉(zhuǎn)動軸17相連接，所述機(jī)械手驅(qū)動軸17固定安裝在所述 支撐環(huán)12，且所述機(jī)械手驅(qū)動軸17具有機(jī)械手夾持部的一端密封穿過所述機(jī)械 手伸入口 311并伸入所述才幾械手活動腔14內(nèi)，所述機(jī)械手驅(qū)動裝置驅(qū)動機(jī)械手 轉(zhuǎn)動軸17轉(zhuǎn)動且控制所述機(jī)械手夾持部的夾持動作，需要傳輸產(chǎn)品或半產(chǎn)品時， 機(jī)械手驅(qū)動裝置通過控制所述機(jī)械手轉(zhuǎn)動軸17與所述機(jī)械手夾持部動作，將產(chǎn) 品或半產(chǎn)品從一個側(cè)部法蘭41的連接通道411內(nèi)傳輸?shù)搅硪粋€側(cè)部法蘭41的 連接通道411內(nèi)。另，由于本實施例中共有七個與生產(chǎn)設(shè)備相連的側(cè)部法蘭41, 因此可以將其中任意一個生產(chǎn)設(shè)備中的產(chǎn)品或半產(chǎn)品傳輸?shù)搅硗饬鶄€生產(chǎn)設(shè)備 中。本發(fā)明的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1的腔體主體11的側(cè)壁上具有若干個與 生產(chǎn)設(shè)備相連的側(cè)部法蘭41，輔助用來傳遞產(chǎn)品和半產(chǎn)品的^L械手，實現(xiàn)多臺 相連設(shè)備之間進(jìn)行產(chǎn)品和半產(chǎn)品的相互傳遞，節(jié)省了多余的空間和多余的傳輸 設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間利用率高、可與多臺生產(chǎn)設(shè)備相連的優(yōu)點。另 一方面，本發(fā)明的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1的側(cè)部法蘭41呈平板狀，可以與 多種規(guī)格多種功能的生產(chǎn)設(shè)備相連接，使得本發(fā)明多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1 的兼容性好，集多功能設(shè)備于一體，實現(xiàn)產(chǎn)品或半產(chǎn)品在多種不同功能的生產(chǎn) 設(shè)備之間方便快捷的傳遞，具有兼容性強(qiáng)，集多功能設(shè)備于一體的優(yōu)點。因此， 本發(fā)明多級機(jī)械傳輸才莫塊用腔體1有效地節(jié)省了傳輸產(chǎn)品和半產(chǎn)品過程中多余 的空間、多余的傳輸設(shè)備和多余的傳遞時間，具有結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間利用率 高、密封性好、且能與多臺生產(chǎn)設(shè)備相連兼容性好、集多功能設(shè)備于一體，能 有效縮小整個生產(chǎn)線的占地面積的優(yōu)點。本發(fā)明的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體1所涉及的的機(jī)械手驅(qū)動裝置、門閥驅(qū) 動裝置及設(shè)置在窗口法蘭上的傳感器的工作原理及結(jié)構(gòu)均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人 員根據(jù)實際需要所熟知的，在此不再做詳細(xì)的說明。當(dāng)然，本發(fā)明中與生產(chǎn)設(shè)備相連的側(cè)部法蘭的數(shù)目可以根據(jù)生產(chǎn)地需要設(shè)置，例如本發(fā)明實施例中傳輸 通道的數(shù)量為七個，根據(jù)實際需要可以是五個、六個，也可以是八個，九個等等。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明 之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求
1、一種多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，用于為生產(chǎn)設(shè)備之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動提供密封空間，其特征在于所述多級機(jī)械傳輸模塊用腔體包括腔體頂蓋、腔體主體、支撐環(huán)及多個側(cè)部法蘭，所述腔體主體呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成機(jī)械手活動腔，所述腔體主體上端開設(shè)有腔體開口，所述腔體主體下端開設(shè)有機(jī)械手伸入口，所述支撐環(huán)安裝于所述機(jī)械手伸入口內(nèi)，所述機(jī)械手密封穿過所述支撐環(huán)并伸入所述機(jī)械手活動腔，所述腔體頂蓋樞接于所述腔體主體上且密封所述腔體開口，所述側(cè)部法蘭呈平板狀且具有連接通道，所述連接通道貫穿所述側(cè)部法蘭，所述側(cè)部法蘭安裝于所述腔體主體的側(cè)壁上，且所述連接通道與所述機(jī)械手活動腔連通。
2、 如權(quán)利要求l所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于所述腔體主體 包括上封頭、具有所述腔體開口的頂部法蘭、下封頭、具有所述機(jī)械手伸入口 的底部法蘭及腔體側(cè)部，所述上封頭套設(shè)于所述腔體側(cè)部上端的內(nèi)壁上，所述 頂部法蘭套設(shè)于所述上封頭的內(nèi)側(cè)，所述下封頭套"^殳于所述腔體側(cè)部下端的內(nèi) 壁上，所述底部法蘭套"&于所述下封頭的內(nèi)側(cè)，所述側(cè)部法蘭安裝于所述腔體 側(cè)部的側(cè)壁上。
3、 如權(quán)利要求l所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于所述側(cè)部法蘭 均勻分布于所述腔體主體的側(cè)壁上。
4、 如權(quán)利要求l所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于還包括閘門裝 置，所述閘門裝置包括閘門、閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)及傳感器，所述傳感器安裝于所述 腔體主體上并與所述閘門驅(qū)動機(jī)構(gòu)電連接，所述閘門安裝于所述側(cè)部法蘭的連 接通道內(nèi)，所述傳感器控制所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)對所述閘門進(jìn)行開啟或關(guān)閉。
5、 如權(quán)利要求l所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于所述側(cè)部法蘭 上還具有連接導(dǎo)管，所述連接導(dǎo)管一端與所述側(cè)部法蘭的連接通道連通，另一 端與所述腔體主體的側(cè)壁連接且與所述機(jī)械手活動腔連通。
6、 如權(quán)利要求5所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于所述支承環(huán)與 所述腔體主體的內(nèi)壁之間設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)筋，所述腔體側(cè)部與所述連接導(dǎo)管之間設(shè) 有外加強(qiáng)筋。
7、 如權(quán)利要求l所迷的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于所述腔體主體 的頂部和底部相對應(yīng)的位置上分別設(shè)有與所述側(cè)部法蘭數(shù)目相對應(yīng)的多個窗口 法蘭，所述窗口法蘭的頂面呈透明狀，所述窗口法蘭與所述機(jī)械手活動腔連通 且位于所述連接通道之前。
8、 如權(quán)利要求7所述的多級機(jī)械傳輸-漠塊用腔體，其特征在于所述窗口法蘭 上還具有連接套管，所述連接套管分別與所述腔體主體的頂部和底部連接且與 所述機(jī)械手活動腔連通。
9、 如權(quán)利要求l所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于還包括頂蓋控 制機(jī)構(gòu)，所述腔體頂蓋控制機(jī)構(gòu)包括支架、安裝在所述支架上的轉(zhuǎn)輪和頂蓋傳 動^/L構(gòu)，所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)與所述支架樞接，所述支架與所述頂部法蘭固定連 接，所述轉(zhuǎn)輪控制所述頂蓋傳動機(jī)構(gòu)繞所述支架轉(zhuǎn)動。
10、 如權(quán)利要求1所述的多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，其特征在于所述腔體頂 蓋上具有呈透明狀的觀察窗口。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種多級機(jī)械傳輸模塊用腔體，用于生產(chǎn)設(shè)備之間機(jī)械手活動用腔體，所述腔體包括腔體頂蓋、腔體主體、支撐環(huán)及多個側(cè)部法蘭，腔體主體呈中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)形成機(jī)械手活動腔，腔體主體上端開設(shè)有腔體開口，腔體主體下端開設(shè)有機(jī)械手伸入口，支撐環(huán)安裝于機(jī)械手伸入口內(nèi)，機(jī)械手密封穿過支撐環(huán)并伸入機(jī)械手活動腔，腔體頂蓋樞接于腔體主體上且密封腔體開口，側(cè)部法蘭呈平板狀且具有連接通道，連接通道貫穿所述側(cè)部法蘭，側(cè)部法蘭安裝于腔體主體的側(cè)壁上，且連接通道與機(jī)械手活動腔連通。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊、內(nèi)部空間利用率高、密封性好、且能與多臺生產(chǎn)設(shè)備相連兼容性好、集多功能設(shè)備于一體，能有效縮小整個生產(chǎn)線的占地面積。
文檔編號B25J19/00GK101642909SQ20091004058
公開日2010年2月10日 申請日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者楊明生, 勇 王, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司