專利名稱：飛輪及其拆卸裝置的制作方法
技術領域：
飛輪及其拆卸裝置
技術領域：
本實用新型涉及一種機械拆卸工具，尤其涉及一種飛輪及其拆卸裝
置。背景技術：
在半導體芯片生產(chǎn)制造工藝中，經(jīng)常需要將硅片在密封的環(huán)境下進行 沉淀、熱氧化等工藝，而需要一個密封的反應設備，其中使用較為常見的比
如NOVELLUS公司SEQUEL型機臺，專門使用于密封條件下的各種半導體 制成反應。在密封反應室中經(jīng)常使用到加熱器， 一般都是可拆卸形，通過將 加熱器上方的轉(zhuǎn)盤將其固定在密封反應室的旋轉(zhuǎn)軸上。加熱器在反應室內(nèi)工 作時作旋轉(zhuǎn)運動，以便對中心的待加工硅片進行均勻的加熱。
飛輪作為將加熱器的轉(zhuǎn)盤固定在旋轉(zhuǎn)軸的主要部件，其拆卸方式如圖1、 圖2所示，飛輪2安裝于旋轉(zhuǎn)軸1的端頭，現(xiàn)有的飛輪呈錐盤狀，其一側(cè)盤 面的中心設有一個旋轉(zhuǎn)軸安裝槽2-3。槽底設置有螺孔，用以固定旋轉(zhuǎn)軸的 端頭。拆卸時必須先解除飛輪與旋轉(zhuǎn)軸的固定連接，然后將飛輪從旋轉(zhuǎn)軸上 拔下。由于一般加熱器的使用壽命為一年，且經(jīng)常需要在多個密封反應室內(nèi) 使用，必須經(jīng)常地拆卸安裝，從而飛輪也經(jīng)常性的要在旋轉(zhuǎn)軸上人工插拔。 由于用力的不均勻性，很容易人為損壞旋轉(zhuǎn)軸的軸芯。所以需要一種安全有 效的拆卸工具，能夠方便安全地從旋轉(zhuǎn)軸上拆卸飛輪。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的技術目的在于提供一種飛輪及其拆卸裝置，以解決現(xiàn)在從 旋轉(zhuǎn)軸的端頭上手動拆卸飛輪容易損壞軸芯的問題。
本實用新型所述的飛輪拆卸裝置，包括一 中心設有長管狀通孔的支撐
體；以及至少三個固定爪圍繞支撐體的中心均勻設置，分別通過活動鉸與支 撐體鉸接；還包括一端頭設有手柄的活動頂桿?；顒禹敆U的桿身穿過通孔并 與之保持滑動約束。
作為優(yōu)選方案支撐體制作成圓盤狀，通孔垂直于盤面設置在圓盤中心 處，固定爪均勻設置于圓盤的邊緣，并分別與支撐體通過活動鉸鉸接。
作為另一種優(yōu)選方案，支撐體還可以制作成星狀體，包括至少三個等長 的支撐臂圍繞星狀體中心的通孔均勻設置，支撐臂的一端固定連接通孔，另 一端則通過活動鉸與固定爪鉸接。
使用本實用新型所述飛輪為錐盤狀，在其側(cè)錐面上均勻開有至少兩個容 納固定爪端齒的齒槽。其一側(cè)盤面的中心處還開有旋轉(zhuǎn)軸安裝槽，并且在飛 輪的軸心設置一貫穿旋轉(zhuǎn)軸安裝槽M槽底與飛輪的另一側(cè)盤面的通孔。
飛輪拆卸裝置在拆卸飛輪時，先將其固定爪的端齒咬合錐盤狀飛輪上相 應的齒槽，并將活動頂桿插入飛輪軸心的通孔中，端頭頂住飛輪所安裝的旋 轉(zhuǎn)軸軸芯，以活動頂桿的桿身為基準，向外側(cè)牽引支撐體，使得飛輪在拆卸 時各向受力均勻，避免發(fā)生橫向受力而損壞旋轉(zhuǎn)軸軸芯端頭的問題。其結(jié)構 簡單，方便有效

圖1 2為現(xiàn)有;5走轉(zhuǎn)軸端頭上飛l侖的拆卸示意圖。
圖3~5為本實用新型所述飛輪拆卸裝置拆卸飛輪的示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合說明書附圖對本實用新型的一個具體實施例作詳細說明。
本實用新型所述的技術方案，如圖3,首先對所使用的現(xiàn)有錐盤形飛輪 進行改造，先在其側(cè)錐面處均勻設置若干齒槽2-1,再于飛輪軸心處，貫穿 旋轉(zhuǎn)軸安裝槽的槽底與另 一側(cè)盤面設置一通孔2-2。
如圖4,本實用新型所述的飛輪拆卸裝置，主要由支撐體3、活動頂桿4、 以及固定爪5組成。固定爪5的一端設有端齒，可咬合飛輪的齒槽，另一端 通過活動鉸與支撐體3鉸接。支撐體3既可以設置成圓盤狀，也可以通過若 干等長的支撐臂組合而成，其中心處設置一長管狀通孔3-1,活動頂桿4的 桿身貫穿支撐體的中心通孔，并可以在通孔3-1內(nèi)沿通孔方向自由滑動。
為了在拆卸飛輪時，使得飛輪各向受力均衡，所以對應飛輪齒槽的固定 爪5也必須均勻設置。固定爪5圍繞支撐體3的中心，與圓盤狀支撐體3的 邊緣4交接。如果支撐體3由若干等長支撐臂圍繞中心通孔3-l組成，支撐臂 也同樣均勻設置，其一端連接通孔，另一端與固定爪5鉸接?；顒鱼q可方便 固定爪5咬合齒槽2-l，固定爪的數(shù)量、飛輪齒槽的個數(shù)以及支撐臂的數(shù)量 保持一致。
如圖3 5所示的本實用新型所述裝置的拆卸示意圖，在使用拆卸裝置時， 先解除飛輪與旋轉(zhuǎn)軸軸芯間的固定連接，然后將拆卸裝置的固定爪5咬合對應飛輪側(cè)錐面上的齒槽2-1。通過手柄，將活動頂桿4的端頭插入飛輪軸心 處設置的貫穿通孔2-2，直到頂桿的端頭頂住旋轉(zhuǎn)軸1的軸芯。此時活動頂 桿4相對旋轉(zhuǎn)軸1保持靜止，以其桿身為基準，沿桿身滑動支撐體3，并帶 動固定爪5向外牽引飛輪2。
這樣飛輪2相對于旋轉(zhuǎn)軸1，受到了均衡的沿軸線方向的牽引力，避免 了可能出現(xiàn)的橫向受力對軸芯造成損壞，另外為了更加穩(wěn)定的拆卸，還可以 在牽引過程中旋轉(zhuǎn)支撐體3，帶動飛輪2自旋。
以上實施例僅用以說明而非限制本實用新型的技術方案。不脫離本實用 新型精神和范圍的任何修改或局部替換，均應涵蓋在本實用新型的權利要求 范圍當中。
權利要求1、一種飛輪拆卸裝置，其特征在于，包括一中心開有通孔的支撐體；至少三個固定爪，圍繞支撐體的中心均勻設置，且分別通過活動鉸與支撐體鉸接；還包括一端頭設有手柄的活動頂桿，其桿身穿過支撐體中心的通孔，并在通孔內(nèi)自由滑動。
2、 如權利要求1所述的飛輪拆卸裝置，其特征在于所述支撐體制成圓盤 狀，固定爪均勻設置于圓盤的邊緣并通過活動鉸與支撐體鉸接。
3、 如權利要求1所述的飛輪拆卸裝置，其特征在于所述支撐體還可以制 作成星狀體，包括至少三個等長的支撐臂，圍繞星狀體中心的通孔均 勻設置，支撐臂的一端固定連接通孔，另一端與通過活動鉸與固定爪 鉸接。
4、 如權利要求1所述的飛輪拆卸裝置，其特征在于所述支撐體中心的通 孔為長管狀，活動頂桿的桿身穿過通孔并與之保持滑動約束。
5、 一種飛輪，其特征在于所述飛輪為錐盤狀，在側(cè)錐面上均勻開有至少 兩個容納固定爪端齒的槽，在錐盤的軸心處開有一通孔。
6、 如權利要求5所述的飛輪，其特征在于所述錐盤狀的飛輪，其一側(cè)盤 面的中心處開有旋轉(zhuǎn)軸安裝槽，所述軸心的通孔貫穿旋轉(zhuǎn)軸安裝槽的 槽底與飛輪的另一側(cè)盤面。
專利摘要本實用新型提供了一種飛輪拆卸裝置，包括至少三個固定爪，分別通過活動鉸與一支撐體鉸接，且圍繞支撐體的中心均勻設置，還包括一端頭設有手柄的活動頂桿。支撐體中心設有長管狀通孔，活動頂桿的桿身穿過通孔并與之保持滑動約束。本實用新型拆卸飛輪時，通過均勻設置的固定爪咬合飛輪四周，活動頂桿穿過飛輪頂住旋轉(zhuǎn)軸軸芯，并牽引支撐體，使得拆卸過程中飛輪各向受力均衡，從而避免了因為橫向受力而損壞旋轉(zhuǎn)軸軸芯的問題，其結(jié)構簡單、方便有效。
文檔編號B25B27/14GK201320743SQ20082015433
公開日2009年10月7日 申請日期2008年10月22日 優(yōu)先權日2008年10月22日
發(fā)明者龐明磊, 華 田 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司