專利名稱：分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，尤指一種通用于承載一脆性材料并能將其旋轉(zhuǎn)對(duì)位以利于劃線或切割的機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明人基于這一問題，本著積極創(chuàng)作的精神，亟思一種可以解決上述問題的“分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)”，幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成此項(xiàng)創(chuàng)作。
為實(shí)現(xiàn)上述的目的，本實(shí)用新型提供了一種一種分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，主要包括有一軸承元件、一旋轉(zhuǎn)臺(tái)及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)組設(shè)于一脆性材料裂片機(jī)的基座上，以便以承載一脆性材料且能將其旋轉(zhuǎn)對(duì)位而利于劃線或切割；其中，軸承元件包含有一第一環(huán)體，其固設(shè)于脆性材料裂片機(jī)的基座上，另軸承元件尚包含有一第二環(huán)體與一附加環(huán)同軸組設(shè)于上述第一環(huán)體上，以便能相對(duì)于第一環(huán)體旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；一旋轉(zhuǎn)臺(tái)，固設(shè)于上述軸承元件的第二環(huán)體上，且旋轉(zhuǎn)臺(tái)外周緣形成有一外緣面；一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包含有一撓性驅(qū)動(dòng)件、一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)及一驅(qū)動(dòng)輪，此驅(qū)動(dòng)輪軸設(shè)于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸上，且撓性驅(qū)動(dòng)件繞設(shè)于驅(qū)動(dòng)輪與旋轉(zhuǎn)臺(tái)外緣面之間，故當(dāng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)后，借助輸出軸帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪并進(jìn)而驅(qū)動(dòng)撓性驅(qū)動(dòng)件，由于撓性驅(qū)動(dòng)件繞設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外緣面，故撓性驅(qū)動(dòng)件可再帶動(dòng)固設(shè)于軸承元件第二環(huán)體上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)相對(duì)于第一環(huán)體旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，而承載于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的脆性材料便可借此旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而加以旋轉(zhuǎn)定位以便利于劃線或切割。
由于本實(shí)用新型是利用一撓性驅(qū)動(dòng)件做為帶動(dòng)脆性材料旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，故因其撓性特性以及固設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的方式，可防止其與驅(qū)動(dòng)輪或旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間產(chǎn)生背隙或彼此摩擦產(chǎn)生微粒等問題，能有效實(shí)現(xiàn)減少微粒的產(chǎn)生、提高精密度的目的。此外，撓性驅(qū)動(dòng)件易于制造且成本低，同時(shí)于安裝過程中亦不需進(jìn)行非常精密的調(diào)整，故組裝也非常容易。
本實(shí)用新型的軸承元件，其第二環(huán)體與附加環(huán)可以螺絲相互結(jié)合而形成一環(huán)凹槽，且第一環(huán)體內(nèi)緣面凸設(shè)有一環(huán)凸緣恰能嵌入環(huán)凹槽內(nèi)，促使第二環(huán)體與附加環(huán)能同軸組設(shè)于第一環(huán)體上并能相對(duì)于第一環(huán)體旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，此即俗稱的滑動(dòng)軸承，當(dāng)然亦可使用其他如滾珠軸承、滾針軸承等等效軸承機(jī)構(gòu)。此外，環(huán)凹槽與環(huán)凸緣之間形成有一油膜層可用以增加潤滑效果。
于本實(shí)用新型中，撓性驅(qū)動(dòng)件可以至少一固定元件，如壓板等以壓設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外緣面，以便以帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。此撓性驅(qū)動(dòng)件可為一齒形皮帶，亦可使用鏈條、鏈輪等等效撓性機(jī)構(gòu)，同時(shí)其更可借助一張力調(diào)整輪以便以調(diào)整其張力。
圖2是本實(shí)用新型的立體分解圖。
圖3是本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)臺(tái)與軸承元件的剖面圖。
圖4是本實(shí)用新型的立體組合圖。
首先請(qǐng)參閱


圖1，其是本實(shí)用新型于晶圓裂片機(jī)8內(nèi)的實(shí)施狀態(tài)圖。請(qǐng)參閱圖2，是本實(shí)用新型的立體分解圖，其主要包括有一軸承元件2、一旋轉(zhuǎn)臺(tái)3及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4。請(qǐng)同時(shí)參閱圖2、圖3，其中，軸承元件2包含有一第一環(huán)體21，其借助螺絲(圖未示)螺鎖于晶圓裂片機(jī)8(請(qǐng)參閱
圖1)的基座1上，此第一環(huán)體21的內(nèi)緣面并凸設(shè)有一環(huán)凸緣211，此外，軸承元件2尚包括有一第二環(huán)體22，其同軸組設(shè)于第一環(huán)體21上，在此第二環(huán)體22的下方并組設(shè)一附加環(huán)221，此附加環(huán)221與第二環(huán)體22以螺絲相互結(jié)合而形成一環(huán)凹槽222，且此環(huán)凹槽222對(duì)應(yīng)于上述環(huán)凸緣211以使環(huán)凸緣211能嵌入此環(huán)凹槽222內(nèi)，并借其使第二環(huán)體22與附加環(huán)221能相對(duì)于第一環(huán)體21旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；而為增加第一環(huán)體21和附加環(huán)221與第二環(huán)體22間旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的流暢度，本實(shí)施例更在環(huán)凹槽222與環(huán)凸緣211之間形成有一油膜層23以增加潤滑效果。上述的軸承元件2為一滑動(dòng)軸承，當(dāng)然亦可使用其他如滾珠軸承、滾針軸承…等等效軸承機(jī)構(gòu)。
此外，一旋轉(zhuǎn)臺(tái)3利用螺絲7固設(shè)于上述軸承元件2的第二環(huán)體221，其借助一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4的帶動(dòng)而可相對(duì)于第一環(huán)體21旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。此驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4包含有一撓性驅(qū)動(dòng)件41、一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)42、一驅(qū)動(dòng)輪43及一張力調(diào)整輪44。其中，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)42是固定于一馬達(dá)座46上，且馬達(dá)座46再以一接合塊47而固定于基座1上，之后，驅(qū)動(dòng)輪43則軸設(shè)于驅(qū)動(dòng)馬達(dá)42的輸出軸421上。另上述馬達(dá)座46上并凹設(shè)有一長(zhǎng)凹孔461，一轉(zhuǎn)軸49是套設(shè)于此長(zhǎng)凹孔461內(nèi)，而張力調(diào)整輪44套設(shè)于轉(zhuǎn)軸49上后，即可于長(zhǎng)凹孔461內(nèi)滑移以調(diào)整張力調(diào)整輪44的位置，待調(diào)整完成后再使用固定座48將轉(zhuǎn)軸49固定于馬達(dá)座46上。此外，撓性驅(qū)動(dòng)件41的一部份是借一以前壓片453、壓板451及后壓片454所組成的固定元件45而將撓性驅(qū)動(dòng)件41壓設(shè)于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)3的外周緣所形成的外緣面31上，其中，壓板451先壓住撓性驅(qū)動(dòng)件41，若撓性驅(qū)動(dòng)件41不夠?qū)?，則可再以后壓片454放在撓性驅(qū)動(dòng)件41上方，然后再以螺絲452將前壓片453、壓板451、后壓片454及撓性驅(qū)動(dòng)件41予以鎖固，使得撓性驅(qū)動(dòng)件41可鎖固在旋轉(zhuǎn)臺(tái)3的外緣面31上，促使撓性驅(qū)動(dòng)件41可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)3轉(zhuǎn)動(dòng)。至于撓性驅(qū)動(dòng)件41的另一部份則繞設(shè)于上述驅(qū)動(dòng)輪43上，并再借上述張力調(diào)整輪44以調(diào)整其張力。在本實(shí)施例中，此撓性驅(qū)動(dòng)件41是一齒形皮帶，當(dāng)然亦可利用鏈輪、鏈條等等效撓性元件。
此外，于本實(shí)施例中，晶圓片9是借助一晶圓固定環(huán)5予以承載并置設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3上，雖本實(shí)施例是以晶圓片9為例，但亦可應(yīng)用于其它的脆性材料。上述晶圓固定環(huán)5呈一中空環(huán)體，其中間環(huán)狀透空部份則依附有一膠膜52，而晶圓片9即是貼付于此膠膜521，因此當(dāng)晶圓片9切割后所產(chǎn)生的各單位小晶圓片，可受膠膜52的黏著而不會(huì)散落。此晶圓固定環(huán)5另包括有二定位槽51，且旋轉(zhuǎn)臺(tái)3尚包括有二定位銷32，故晶圓固定環(huán)5可以定位槽51及定位銷32對(duì)應(yīng)定位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3，并再以真空吸力或磁力吸附方式而將晶圓固定環(huán)5固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3上。
請(qǐng)參閱圖4，是上述各元件的組合圖，當(dāng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)42啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)后，借助輸出軸421將動(dòng)力傳輸至驅(qū)動(dòng)輪43上，而驅(qū)動(dòng)輪43會(huì)再帶動(dòng)撓性驅(qū)動(dòng)件41，由于撓性驅(qū)動(dòng)件41的一部份是以固定元件45壓設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3的外緣面上31，因此撓性驅(qū)動(dòng)件41可再帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)3旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使承載于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3上的晶圓片9可旋轉(zhuǎn)對(duì)位以利于劃線或切割。在本實(shí)施例中，為使旋轉(zhuǎn)臺(tái)3的旋轉(zhuǎn)角度可受到有效的控制，可將上述固定元件45的前壓片453設(shè)計(jì)為L(zhǎng)型，并可于軸承元件2的第一環(huán)體211組設(shè)二個(gè)以上的感應(yīng)器6，促使前壓片453的L片狀與感應(yīng)器6相互感應(yīng)以便用以檢測(cè)控制旋轉(zhuǎn)臺(tái)3旋轉(zhuǎn)的角度，在本實(shí)施例中，控制旋轉(zhuǎn)臺(tái)3可在90°±10°內(nèi)旋轉(zhuǎn)。當(dāng)然，感應(yīng)器6亦可設(shè)置在如基板1等其它地方，不限于只能組設(shè)于軸承元件2的第一環(huán)體21上，且感應(yīng)器6的形式可利用光學(xué)感應(yīng)器、限位開關(guān)(Limit Switch)等元件，在本實(shí)施例中則是使用光學(xué)感應(yīng)方式達(dá)成旋轉(zhuǎn)臺(tái)3旋轉(zhuǎn)角度感測(cè)的目的。
由于在本實(shí)用新型中，主要利用一撓性驅(qū)動(dòng)件41做為帶動(dòng)承載晶圓片9的旋轉(zhuǎn)臺(tái)3旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，故因其撓性特性以及固設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3的方式，可防止其與驅(qū)動(dòng)輪43或旋轉(zhuǎn)臺(tái)3之間產(chǎn)生背隙或彼此摩擦產(chǎn)生微粒等問題，能有效達(dá)成減少微粒的產(chǎn)生、提高精密度的目的。此外，撓性驅(qū)動(dòng)件41易于制造且成本低，同時(shí)于安裝過程中亦不須進(jìn)行非常精密的調(diào)整動(dòng)作，故組裝上亦非常容易。
綜上所陳述，本實(shí)用新型的上述諸多實(shí)施例，僅是為了便于說明而舉例而已，本實(shí)用新型所主張的權(quán)利范圍應(yīng)以要求保護(hù)的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括一軸承元件，包含有一第一環(huán)體固設(shè)于一脆性材料裂片機(jī)的基座上，以及一第二環(huán)體與一附加環(huán)同軸組設(shè)于該第一環(huán)體上，并能相對(duì)于該第一環(huán)體旋轉(zhuǎn)；一旋轉(zhuǎn)臺(tái)，固設(shè)于該軸承元件的第二環(huán)體上，且該旋轉(zhuǎn)臺(tái)外周緣形成有一外緣面；以及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包含有一撓性驅(qū)動(dòng)件、一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)及一驅(qū)動(dòng)輪，該驅(qū)動(dòng)輪軸設(shè)于該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸上，且該撓性驅(qū)動(dòng)件繞設(shè)于該驅(qū)動(dòng)輪與該旋轉(zhuǎn)臺(tái)外緣面之間，并能受該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第二環(huán)體與附加環(huán)相互結(jié)合形成一環(huán)凹槽，且該第一環(huán)體內(nèi)緣面凸設(shè)有一環(huán)凸緣恰能嵌入該環(huán)凹槽內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第二環(huán)體與該附加環(huán)是以螺絲相互結(jié)合。
4.如權(quán)利要求2所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的環(huán)凹槽與該環(huán)凸緣之間形成有一潤滑油膜層。
5.如權(quán)利要求1所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的撓性驅(qū)動(dòng)件是指一齒形皮帶。
6.如權(quán)利要求1所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)更包括有一張力調(diào)整輪以便以調(diào)整該撓性驅(qū)動(dòng)件的張力。
7.如權(quán)利要求1所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)更包括有至少一固定元件以便將該撓性驅(qū)動(dòng)件固定于該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外緣面，上述該固定元件包括有一前壓片、一壓板、一后壓片及多個(gè)螺絲，且該螺絲將該前壓片、該壓板、該后壓片及該撓性驅(qū)動(dòng)件固定在該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外緣面。
8.如權(quán)利要求7所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的前壓片呈L型，且可與至少二感應(yīng)器相互感應(yīng)并檢測(cè)控制該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)角度。
9.如權(quán)利要求1所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于，更包括有一固定環(huán)，呈一中空環(huán)體狀并設(shè)置于該旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，該固定環(huán)尚包括有至少一定位槽，且該旋轉(zhuǎn)臺(tái)還包括有至少一定位銷，該定位銷通過該定位槽定位該固定環(huán)。
10.如權(quán)利要求1所述的分離脆性材料的旋轉(zhuǎn)對(duì)位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)固定在一馬達(dá)座上，該馬達(dá)座通過一接合塊固定在該基座上，該馬達(dá)座上設(shè)有一長(zhǎng)凹孔，一張力調(diào)整輪通過一轉(zhuǎn)軸安裝在該長(zhǎng)凹孔上。
專利摘要本實(shí)用新型主要包括有一軸承元件、一旋轉(zhuǎn)臺(tái)及一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其均組設(shè)于一脆性材料裂片機(jī)的基座上，用以承載脆性材料且將其旋轉(zhuǎn)對(duì)位而利于劃線或切割。其中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是利用一撓性驅(qū)動(dòng)件繞設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)做為帶動(dòng)脆性材料旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，故因其撓性特性以及固設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的方式，可防止其與驅(qū)動(dòng)輪或旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間產(chǎn)生背隙或彼此摩擦產(chǎn)生微粒等問題，能有效達(dá)成減少微粒產(chǎn)生、提高精密度的目的。此外，撓性驅(qū)動(dòng)件易于制造且成本低，同時(shí)于安裝過程中亦不須進(jìn)行非常精密的調(diào)整動(dòng)作，故組裝上亦非常容易。
文檔編號(hào)B26D5/08GK2579622SQ0228734
公開日2003年10月15日 申請(qǐng)日期2002年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月29日
發(fā)明者陳貴榮, 江錦忠 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院