專利名稱:一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，包括：上接頭體，所述上接頭體的設(shè)定區(qū)域具有多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)；下接頭體，所述下結(jié)構(gòu)體具有與所述柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)；其中，所述上接頭體被設(shè)定去除了若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的若干個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型可以使生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)只能換用對(duì)應(yīng)正確的化學(xué)品，從根源上防止錯(cuò)誤化學(xué)品上線的可能，避免了因生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)錯(cuò)誤的化學(xué)品流入產(chǎn)線，造成生產(chǎn)線停線，產(chǎn)品報(bào)廢等風(fēng)險(xiǎn)。
【專利說(shuō)明】一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備結(jié)構(gòu)，特別是涉及一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件制造是被用于制造芯片，一種日常使用的電氣和電子器件中集成電路的處理工藝。它是一系列照相和化學(xué)處理步驟，在其中電子電路逐漸形成在使用純半導(dǎo)體材料制作的芯片上。
[0003]半導(dǎo)體制造在很大程度上是一種與化學(xué)有關(guān)的工藝過(guò)程。高達(dá)20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理。半導(dǎo)體工廠消耗大量的酸、堿、溶劑和水，為達(dá)到精確和潔凈的工藝，部分成本是由于化學(xué)品需要非常高的純度和特殊反應(yīng)機(jī)理，化學(xué)品使用的準(zhǔn)確程度往往決定著半導(dǎo)體產(chǎn)品最終的成品率和電學(xué)性能，可見(jiàn)，化學(xué)品的一些特殊的屬性對(duì)于半導(dǎo)體工藝存在有非常重要的意義。
[0004]目前大多數(shù)桶裝化學(xué)品采取生產(chǎn)線上的中央供應(yīng)系統(tǒng)輸出，必須嚴(yán)格確保生產(chǎn)線系統(tǒng)輸出正確對(duì)應(yīng)的化學(xué)品，否則所有使用該化學(xué)品管路系統(tǒng)的所有器件都會(huì)受到影響，甚至可能造成產(chǎn)線大量停線或者報(bào)廢。
[0005]現(xiàn)行生產(chǎn)線上的桶裝化學(xué)品大多以標(biāo)簽信息確認(rèn)，甚至人工掃條形碼(BARCODE)的方式進(jìn)行操作，但是人為操作仍然存在用錯(cuò)化學(xué)品的風(fēng)險(xiǎn)，無(wú)法從根源進(jìn)行杜絕。
[0006]為了解決上述的問(wèn)題，現(xiàn)在，對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)線上換用桶裝化學(xué)品的時(shí)候，需要加強(qiáng)標(biāo)簽信息的核對(duì)，確保掃條形碼(BARCODE)正確才可以上線使用，并要求供應(yīng)廠商盡量對(duì)不同種類的化學(xué)品采用具有明顯辨識(shí)度的包裝區(qū)分，如不同的桶裝化學(xué)品采用不同的桶身顏色，或不同的標(biāo)簽形狀等，但是，雖然在桶裝化學(xué)品上增加了辨別標(biāo)識(shí)，在人工操作換桶時(shí)，仍然不能完全避免化學(xué)品的錯(cuò)誤使用。
[0007]鑒于現(xiàn)有技術(shù)的以上缺陷，提供一種能夠避免因生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)錯(cuò)誤的化學(xué)品流入產(chǎn)線，造成產(chǎn)線停線，產(chǎn)品報(bào)廢等風(fēng)險(xiǎn)的新型結(jié)構(gòu)實(shí)屬必要。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中桶裝化學(xué)品容易出現(xiàn)錯(cuò)誤換用的問(wèn)題。
[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，包括:
[0010]上接頭體，所述上接頭體的設(shè)定區(qū)域具有多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)；
[0011]下接頭體，所述下結(jié)構(gòu)體具有與所述柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)；
[0012]其中，所述上接頭體被設(shè)定去除了若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的若干個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)。
[0013]作為本實(shí)用新型的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)選方案，所述上接頭體包括位于中部的螺紋凸起結(jié)構(gòu)以及環(huán)繞所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)的上圓環(huán)結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)的預(yù)設(shè)位置。
[0014]進(jìn)一步地，所述下接頭體包括位于中部的螺紋凹陷結(jié)構(gòu)以及環(huán)繞所述螺紋凹陷結(jié)構(gòu)的下圓環(huán)結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述下圓環(huán)結(jié)構(gòu)的預(yù)設(shè)位置，且所述螺旋凸起結(jié)構(gòu)于螺旋凹陷結(jié)構(gòu)可形成螺紋連接。
[0015]作為本實(shí)用新型的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)選方案，所述主體結(jié)構(gòu)及凹槽結(jié)構(gòu)的數(shù)量均為6?12個(gè)。
[0016]進(jìn)一步地，所述上接頭體被去除的柱體結(jié)構(gòu)的數(shù)量為I?11個(gè)。
[0017]作為本實(shí)用新型的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)選方案，所述上接頭體及下接頭體的材料包括高密度聚乙烯，所述柱體結(jié)構(gòu)的材料包括聚丙烯。
[0018]作為本實(shí)用新型的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)選方案，所述上接頭體設(shè)置于化學(xué)品供應(yīng)管道輸入端口，所述下接頭體設(shè)置于桶裝化學(xué)品的輸出端口。
[0019]如上所述，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，包括:上接頭體，所述上接頭體的設(shè)定區(qū)域具有多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)；下接頭體，所述下結(jié)構(gòu)體具有與所述柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)；其中，所述上接頭體被設(shè)定去除了若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的若干個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型可以使生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)只能換用對(duì)應(yīng)正確的化學(xué)品，從根源上防止錯(cuò)誤化學(xué)品上線的可能，避免了因生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)錯(cuò)誤的化學(xué)品流入產(chǎn)線，造成生產(chǎn)線停線，產(chǎn)品報(bào)廢等風(fēng)險(xiǎn)。

【附圖說(shuō)明】

[0020]圖1顯示為本實(shí)用新型的上接頭體的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2顯示為本實(shí)用新型的上接頭體的下視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3顯示為本實(shí)用新型的下接頭體的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4顯示為本實(shí)用新型的下接頭體的上視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0025]10上接頭體
[0026]101柱體結(jié)構(gòu)
[0027]102被去除的柱體結(jié)構(gòu)
[0028]103上圓環(huán)結(jié)構(gòu)
[0029]104螺紋凸起結(jié)構(gòu)
[0030]20下接頭體
[0031]201凹槽結(jié)構(gòu)
[0032]202堵塞體
[0033]203下圓環(huán)結(jié)構(gòu)
[0034]204螺紋凹陷結(jié)構(gòu)

【具體實(shí)施方式】
[0035]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0036]請(qǐng)參閱圖1?圖4。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0037]如圖1?圖4所示，本實(shí)施例提供一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，包括:
[0038]上接頭體10，所述上接頭體10的設(shè)定區(qū)域具有多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101 ;
[0039]下接頭體20，所述下結(jié)構(gòu)體具有與所述柱體結(jié)構(gòu)101位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)201 ；
[0040]其中，所述上接頭體10被設(shè)定去除了若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)102，所述下接頭體20被堵塞體202堵住了與所述若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)102位置相對(duì)應(yīng)的若干個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)201。
[0041]在本實(shí)施例中，所述上接頭體10設(shè)置于化學(xué)品供應(yīng)管道輸入端口，所述下接頭體20設(shè)置于桶裝化學(xué)品的輸出端口。
[0042]作為示例，所述上接頭體10包括位于中部的螺紋凸起結(jié)構(gòu)104以及環(huán)繞所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)104的上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103，所述多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101設(shè)置于所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103的預(yù)設(shè)位置。進(jìn)一步地，所述下接頭體20包括位于中部的螺紋凹陷結(jié)構(gòu)204以及環(huán)繞所述螺紋凹陷結(jié)構(gòu)204的下圓環(huán)結(jié)構(gòu)203，所述多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)201設(shè)置于所述下圓環(huán)結(jié)構(gòu)203的預(yù)設(shè)位置，且所述螺旋凸起結(jié)構(gòu)于螺旋凹陷結(jié)構(gòu)可形成螺紋連接。
[0043]作為示例，所述主體結(jié)構(gòu)及凹槽結(jié)構(gòu)201的數(shù)量均為6?12個(gè)。進(jìn)一步地，所述上接頭體10被去除的柱體結(jié)構(gòu)102的數(shù)量為I?11個(gè)。
[0044]作為示例，所述上接頭體10及下接頭體20的材料包括高密度聚乙烯，所述柱體結(jié)構(gòu)101的材料包括聚丙烯。
[0045]如圖1?4所示，一個(gè)更具體的實(shí)施方案如下:
[0046]如圖1所示，所述上接頭體10包括位于中部的螺紋凸起結(jié)構(gòu)104以及環(huán)繞所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)104的上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103，所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)104以及所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103為可活動(dòng)連接，當(dāng)所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)104旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103可以保持不動(dòng)。所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103的下表面上設(shè)置有9個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101，所述的9個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101分為3組，每組包括3個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101，其中，如圖2所示，位于左上角的第一組柱體結(jié)構(gòu)101中去除了 2個(gè)柱體結(jié)構(gòu)102，位于右方的第二組柱體結(jié)構(gòu)101中去除了 I個(gè)柱體結(jié)構(gòu)102。
[0047]如圖3所示，所述下接頭體20包括位于中部的螺紋凹陷結(jié)構(gòu)204以及環(huán)繞所述螺紋凹陷結(jié)構(gòu)204的下圓環(huán)結(jié)構(gòu)203，所述螺旋凸起結(jié)構(gòu)于螺旋凹陷結(jié)構(gòu)可形成螺紋連接，所述下圓環(huán)結(jié)構(gòu)203中設(shè)置有9個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)201，其位置與上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103中的9個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101--對(duì)應(yīng)，其中，如圖4所示，與所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)103中被去除的柱體結(jié)構(gòu)102位置對(duì)應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)中，設(shè)置有堵塞體202將其堵住，這樣，只有兩個(gè)對(duì)應(yīng)的上接頭體10與下接頭體20才能完成對(duì)接。對(duì)應(yīng)于其它的化學(xué)品，可以采用去除不同的柱體結(jié)構(gòu)及堵塞不同的凹陷結(jié)構(gòu)完成一一對(duì)應(yīng)，從而避免了因生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)錯(cuò)誤的化學(xué)品流入產(chǎn)線。
[0048]如上所述，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，包括:上接頭體10，所述上接頭體10的設(shè)定區(qū)域具有多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)101 ;下接頭體20，所述下結(jié)構(gòu)體具有與所述柱體結(jié)構(gòu)101位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)201 ;其中，所述上接頭體10被設(shè)定去除了若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)102，所述下接頭體20被堵塞體202堵住了與所述若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)102位置相對(duì)應(yīng)的若干個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)201。本實(shí)用新型可以使生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)只能換用對(duì)應(yīng)正確的化學(xué)品，從根源上防止錯(cuò)誤化學(xué)品上線的可能，避免了因生產(chǎn)線中央供應(yīng)系統(tǒng)換用桶裝化學(xué)品時(shí)錯(cuò)誤的化學(xué)品流入產(chǎn)線，造成生產(chǎn)線停線，產(chǎn)品報(bào)廢等風(fēng)險(xiǎn)。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0049]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 上接頭體，所述上接頭體的設(shè)定區(qū)域具有多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)； 下接頭體，所述下接頭體具有與所述柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)； 其中，所述上接頭體被設(shè)定去除了若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)，所述下接頭體被堵塞體堵住了與所述若干個(gè)柱體結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)的若干個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述上接頭體包括位于中部的螺紋凸起結(jié)構(gòu)以及環(huán)繞所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)的上圓環(huán)結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)柱體結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述上圓環(huán)結(jié)構(gòu)的預(yù)設(shè)位置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述下接頭體包括位于中部的螺紋凹陷結(jié)構(gòu)以及環(huán)繞所述螺紋凹陷結(jié)構(gòu)的下圓環(huán)結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述下圓環(huán)結(jié)構(gòu)的預(yù)設(shè)位置，且所述螺紋凸起結(jié)構(gòu)與螺紋凹陷結(jié)構(gòu)可形成螺紋連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述柱體結(jié)構(gòu)及凹槽結(jié)構(gòu)的數(shù)量均為6?12個(gè)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述上接頭體被去除的柱體結(jié)構(gòu)的數(shù)量為I?11個(gè)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述上接頭體及下接頭體的材料包括高密度聚乙烯，所述柱體結(jié)構(gòu)的材料包括聚丙烯。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品接頭結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述上接頭體設(shè)置于化學(xué)品供應(yīng)管道輸入端口，所述下接頭體設(shè)置于桶裝化學(xué)品的輸出端口。
【文檔編號(hào)】F16L23-032GK204300564SQ201420581402
【發(fā)明者】孫璐, 上官遨宇 [申請(qǐng)人]中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司