本實用新型涉及一種高級別凈化設備，尤其涉及一種高級別凈化室吊頂。

背景技術：

高級別潔凈室對環(huán)境的要求十分嚴格又十分苛刻，對室內潔凈度有非常嚴格的要求，一般要求的潔凈度為ISO6級、5級，要求高的潔凈度為ISO 3級、ISO2級甚至更高。因此，凈化廠房凈化空調系統(tǒng)末端的FFU內還要設有U15、U16或U17等超高效過濾器。同時，光電子和微電子用的潔凈室對環(huán)境的化學污染的去除的要求非常高，一般要求達到PPb級，除此之外對環(huán)境的溫度、相對濕度也提出極為嚴格的要求，一般溫度為23±0.5℃，相對濕度為45±5％；要求嚴格的可能高到溫度23±0.1℃；相對濕度45±2％；不僅如此，對室內環(huán)境的正壓、照度、噪聲、靜電、屏蔽、微振都有很嚴格的要求。因此，目前用于高級別潔凈室的凈化空調系統(tǒng)大都采用MAU(新風機組)加FFU(風機過濾器機組)加DC(干冷盤管)的方案。

凈化室的吊頂板上布置有數百、數千臺FFU，F(xiàn)FU內裝有高效過濾器或超高效過濾器和化學濾網，吊頂板安裝的精密度和平整度是保證凈化室潔凈度的重要因素。

用于光電子和微電子的潔凈室對于防微振有很嚴的要求，有的設備要設有防微振的減振臺，對外來的振動都要進行控制，對于凈化室上技術夾層上布滿FFU的吊頂板安裝的精密度和平整度和防止和控制內部和外來的振動是目前需要解決的技術問題。目前，一般來說，高級別潔凈室的吊頂板是通過與下面的墻體來解決防微振問題，普遍認為吊掛式含F(xiàn)FU吊頂板是設計的“瓶頸”。

技術實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種高級別凈化室吊頂，具有：安裝FFU3的吊頂板2，一端與凈化室頂部固定連接另一端吊裝所述吊頂板2的吊桿1，所述吊桿1上還設置有彈性部件5和花籃螺栓4。

在一個優(yōu)選的實施例中，其還具有頂板6，所述頂板6與所述吊頂板2分別限定了上技術夾層A的上、下邊界。

在一個優(yōu)選的實施例中，所述彈性部件5為減振彈簧。

在一個優(yōu)選的實施例中，所述吊頂板2安裝有多臺所述FFU3，且每一個所述FFU3四周至少有2個所述吊桿1,優(yōu)選為每一個所述FFU3四周有4個所述吊桿1?？梢岳斫猓绢I域普通技術人員能夠根據實際需要來確定FFU的臺數。

在一個優(yōu)選的實施例中，所述吊頂板2與下方墻板9之間的上馬槽內10還設置有彈性密封墊8。

在一個優(yōu)選的實施例中，所述彈性密封墊8為橡膠密封墊，厚度為8-12mm。

本實用新型還提供了一種高級別凈化室吊頂的安裝方法，其包括將安裝有FFU3的吊頂板2通過吊桿1固定安裝在凈化室頂部，且所述吊桿1上設置有彈性部件5和花籃螺栓4。

在一個優(yōu)選的實施例中，所述吊頂板2與下方墻板9之間的上馬槽10內還設置有彈性密封墊8。

本實用新型的技術方案糾正了傳統(tǒng)觀點：認為用于高級別凈化室的裝有FFU吊頂板不能采用上掛式的技術偏見。本實用新型技術方案可以防止和控制外來的振動影響吊頂板安裝的精密度和平整度，從而簡化高級別凈化室的吊頂板安裝工序，提高了生產效率，降低了成本。

附圖說明

圖1是根據本實用新型一實施例縱剖面示意圖。

圖2是安裝有本實用新型吊頂板的高級別凈化室剖面圖。

附圖中附圖標記說明如下：

1 吊桿

2 吊頂板

3 FFU,也即高效過濾器和/或超高效過濾器

4 花籃螺栓

5 彈性部件

6 頂板

7 屋面鋼結構

8 彈性密封墊

9 墻板

10 上馬槽

11 新風機組MAU

A 上技術夾層

B、B₁、B₂、B₃ 潔凈室

C 干冷盤管

D 新風機房

E 空壓、冷凍站房

F 氣流方向

G 排風機房

H 氣體入口

I 純水站房

J 下技術夾層

具體實施方式

為了更好地說明本實用新型，下面參照附圖予以說明。

本申請所指高級別潔凈室是指潔凈室的潔凈度至少為I SO6級或者更高。

圖1顯示了根據本實用新型一實施例縱切面示意圖。圖1中吊桿1與頂板6和屋面鋼結構7固定在一起。籍此，通過多個吊桿1從上方將吊頂板2和吊頂板2上的FFU3吊裝在潔凈室的建筑結構上。在每個吊桿1上都具有花籃螺栓4和彈性部件5。在吊桿上設有花籃螺栓4可以保證吊頂板2安裝的精密度和平整度。吊桿1的下方在FFU3的一側將吊頂板2固定。在吊桿1上設有減振彈簧可以把內部產生的和通過建筑結構傳導來的外來振動對吊頂板和吊頂板上的FFU3的影響降到最低。FFU3工作時，氣流方向沿著F方向從上技術夾層A通過FFU3進入潔凈室B。潔凈室B是由吊頂板2和側面墻板9圍成的空間。在吊頂板2和墻板9的連接處具有上馬槽10，在上馬槽10內填裝有10mm厚的橡膠密封墊用來減振和密封。

圖2顯示了根據安裝有本實用新型一實施例的吊頂板的高級別凈化室剖面圖。安裝有多個FFU3的吊頂板2通過多個吊桿1固定在上方的建筑結構上。一個實施例是固定在屋面鋼結構7上。每個FFU3至少有4個吊桿1。每個吊桿1上都設置有花籃螺栓4和彈性部件5。頂板6的下方構成了上技術夾層A。從設置新風機房D中的新風機組MAU11引入的新風通過管道系統(tǒng)送至上技術夾層A。然后通過FFU3凈化后進入潔凈室B。吊頂板2上安裝FFU3，可以根據潔凈度的實際需求增減FFU3的數量。在一個實施例種，吊頂板2的中心部位為單向流區(qū)滿布FFU3，而兩邊區(qū)域為非單向流區(qū)FFU3的數量則相對較少。由此潔凈室B相應的區(qū)域潔凈度是不一樣的。在一個實施例中，與FFU3的數量相對應，B1的潔凈度達到ISO 3級，B2和B3的潔凈度為ISO 6級。潔凈室B正下方為下技術夾層J。在下技術夾層J的回風夾道處設置有C干冷盤管。新風機房D的下方設置為空壓、冷凍站房。在上下技術夾層的另一側，從上至下設置有排風機房G、氣體入口H、純水站房I。

上述實施例僅僅是通過舉例的方式描述。在不偏離本實用新型所附權利要求限定的保護范圍的情況下，可有各種變體。