本實(shí)用新型涉及氧化鋯傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及氧化鋯傳感器芯片制作的氧化鋯基片流延生產(chǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)：

氧化鋯傳感器用于測(cè)量汽車(chē)燃燒過(guò)程中殘余氧量，它在減少環(huán)境污染、提高燃燒效率方面起著積極的作用。氧化鋯傳感器的關(guān)鍵部件是氧化鋯芯片，氧化鋯芯片最新采用多層氧化鋯基片上下疊壓工藝?，F(xiàn)有技術(shù)中，氧化鋯基片采用流延方式進(jìn)行生產(chǎn)，在流延生產(chǎn)的流延階段，目前通常采用單一刀頭的平刮刀來(lái)對(duì)漿料表面進(jìn)行刮平來(lái)形成坯料，由于漿料的黏度和流變特性的控制比較困難，所以坯片表面在流延階段易生成表面條紋；另外，當(dāng)通過(guò)多個(gè)供料管道對(duì)儲(chǔ)料槽進(jìn)行連續(xù)供料時(shí)，漿料在混合時(shí)也會(huì)導(dǎo)致因?yàn)闈{料在移動(dòng)過(guò)程中無(wú)法保持均勻而趨于短程有序，使坯片表面產(chǎn)生條紋；還有，在流延生產(chǎn)的干燥階段，坯片在干燥室內(nèi)的干燥過(guò)程通常采用鼓入熱風(fēng)的方式，鼓入熱風(fēng)的方式會(huì)在干燥室內(nèi)形成較大的空氣擾動(dòng)，由于漿料中含大量的添加劑和溶劑，在坯片的干燥過(guò)程中，每種漿料的坯片的干燥行為具有非常大的差異，而且坯片在干燥過(guò)程中坯片中的溶劑都是從坯片的上表面單面蒸發(fā)，并且因?yàn)榕髌暮穸缺。ㄒ话阍?.1-0.2mm），所以坯片在干燥階段非常容易產(chǎn)生彎曲開(kāi)裂等現(xiàn)象，嚴(yán)重制約氧化鋯基片的高效高質(zhì)生產(chǎn)，不僅影響氧化鋯芯片的制作質(zhì)量，而且影響氧化鋯傳感器的測(cè)量精度和工作穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種可滿(mǎn)足氧化鋯基片高效高質(zhì)生產(chǎn)的流延生產(chǎn)設(shè)備。

本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)施的：

氧化鋯基片的流延生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于：包括工作平臺(tái)和設(shè)于工作平臺(tái)前后端的放卷、收卷機(jī)構(gòu)，工作平臺(tái)的表面鋪設(shè)不銹鋼板材料的流延承載板，放卷機(jī)構(gòu)所放卷的膜帶在水平經(jīng)過(guò)工作平臺(tái)的表面后由收卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行收卷，工作平臺(tái)在靠近放卷機(jī)構(gòu)的一端設(shè)有流延裝置，工作平臺(tái)的上方沿前后方向設(shè)有多個(gè)干燥室，多個(gè)干燥室相互相通并在工作平臺(tái)的上方形成封閉干燥空間，封閉干燥空間內(nèi)在前端位置設(shè)有第一排氣管、在中間位置設(shè)有第二排氣管，第一、第二排氣管的排氣進(jìn)口朝上，第一、第二排氣管的排氣出口與抽風(fēng)風(fēng)機(jī)相通，干燥室內(nèi)設(shè)有玻璃擋板，玻璃擋板離開(kāi)工作平臺(tái)表面的高度距離不超過(guò)5cm，玻璃擋板對(duì)從干燥室內(nèi)通過(guò)的所述膜帶進(jìn)行上遮擋，玻璃擋板在橫向方向上與水平呈傾斜設(shè)置，所述流延承載板的底部安裝帶熱電偶的電阻絲加熱器，不同干燥室具有不同加熱溫度控制。

采用上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)的工作過(guò)程是：放卷機(jī)構(gòu)所放卷的膜帶在水平經(jīng)過(guò)工作平臺(tái)的表面后由收卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行收卷，在膜帶移動(dòng)的同時(shí)，流延裝置流延在膜帶上的漿料隨膜帶一起移動(dòng)到干燥室內(nèi)，漿料附著在膜帶的表面形成坯片，在干燥室內(nèi)，電阻絲加熱器對(duì)工作平臺(tái)表面進(jìn)行加熱，進(jìn)而對(duì)經(jīng)過(guò)工作平臺(tái)表面的膜帶和膜帶上的坯片進(jìn)行加熱，使坯片中的溶劑被蒸發(fā)，在溶劑的加熱蒸發(fā)過(guò)程中，坯片的上方始終有低矮的玻璃擋板對(duì)其進(jìn)行上遮擋，因此坯片的干燥過(guò)程會(huì)極少受空氣擾動(dòng)影響，避免產(chǎn)生彎曲開(kāi)裂等現(xiàn)象，從而實(shí)現(xiàn)氧化鋯基片的高效高質(zhì)生產(chǎn)，所生產(chǎn)的氧化鋯基片不開(kāi)裂，最后，蒸發(fā)的溶劑在排氣管的排氣作用下被抽離干燥室；在坯片干燥的初始階段，溶劑蒸發(fā)量大，所以在玻璃擋板上會(huì)形成很多的小液滴，玻璃擋板的橫向傾斜設(shè)置可避免小液滴匯集滴落到坯片上；還有，為更好完成對(duì)坯片的干燥，使流延設(shè)備在每一段都可達(dá)到精確的溫度控制，采用了多個(gè)干燥室的設(shè)計(jì)，不同干燥室具有不同加熱溫度，不同加熱溫度可通過(guò)電阻絲加熱器的熱電偶控制來(lái)實(shí)現(xiàn)，理想狀態(tài)下，干燥室入口處溫度接近室溫，然后溫度以一定溫度梯度逐漸升高。

作為優(yōu)選，所述流延裝置包括由料槽側(cè)板和刮刀共同圍出的儲(chǔ)料槽，刮刀位于儲(chǔ)料槽后側(cè)，料槽側(cè)板的底面與所述膜帶之間相互緊貼，刮刀的底部與所述膜帶之間留出流延間隙，所述刮刀具有圓底，圓底上開(kāi)出前、后刀槽以形成刮刀的雙刀頭結(jié)構(gòu)，前刀槽為三角形槽，后刀槽為平底形槽。

采用上述技術(shù)方案后，刮刀具有圓底設(shè)計(jì)，圓底可使?jié){料在進(jìn)入刮刀底部前被柔性延展，在漿料表面形成平滑延展面，減小漿料經(jīng)過(guò)刮刀底部時(shí)的摩擦力，使?jié){料在膜帶表面更容易鋪展，再經(jīng)雙刀頭對(duì)漿料的兩次刮平，從而確保坯片表面在流延過(guò)程中的平整而不會(huì)生成表面條紋，并且坯片厚度均勻。

作為優(yōu)選，所述儲(chǔ)料槽的上方設(shè)有液位傳感器，所述儲(chǔ)料槽的前側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)料槽，調(diào)節(jié)料槽連接漿料供料管道，漿料供料管道上安裝控制閥門(mén)，控制閥門(mén)與液位傳感器電連接，所述料槽側(cè)板的前側(cè)板傾斜設(shè)置形成斜面，所述調(diào)節(jié)料槽內(nèi)的溢出漿料通過(guò)斜面進(jìn)入儲(chǔ)料槽。

采用上述技術(shù)方案后，多供料管道送出的漿料首先進(jìn)入到調(diào)節(jié)料槽內(nèi)進(jìn)行混合，然后調(diào)節(jié)料槽內(nèi)的漿料以溢出方式并通過(guò)斜面緩和進(jìn)入儲(chǔ)料槽，而且儲(chǔ)料槽上方設(shè)有液位傳感器來(lái)控制和保持儲(chǔ)料槽中的漿料在刮刀旁具有恒定的高度，這樣一來(lái)，不僅調(diào)節(jié)料槽內(nèi)的漿料混合不會(huì)對(duì)坯片的流延造成影響，而且漿料高度的恒定能夠使儲(chǔ)料槽內(nèi)的漿料壓力穩(wěn)定，進(jìn)而使經(jīng)過(guò)刮刀底部的漿料具有穩(wěn)定均勻的流動(dòng)性，因此確保坯片表面的平整，有效解決多供料管道在供給漿料時(shí)由于漿料混合而導(dǎo)致的坯片表面產(chǎn)生條紋現(xiàn)象。

作為優(yōu)選，所述玻璃擋板的兩側(cè)具有向膜帶一側(cè)彎折的翻邊，翻邊下方的工作平臺(tái)上具有凹槽，且凹槽底面傾斜設(shè)置，凹槽最低處具有液體流出孔，該液體流出孔通過(guò)管路連接排液泵。通過(guò)上述設(shè)計(jì)，玻璃擋板能夠更好地減緩空氣擾動(dòng)對(duì)坯片干燥的影響，同時(shí)玻璃擋板上聚集的小液滴會(huì)通過(guò)翻邊落入凹槽中往外排掉。

綜上所述，本實(shí)用新型可滿(mǎn)足氧化鋯基片的高效高質(zhì)生產(chǎn)，所生產(chǎn)的氧化鋯基片不開(kāi)裂、表面平整、厚度均勻，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和進(jìn)步。

附圖說(shuō)明

本實(shí)用新型有以下附圖：

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，

圖2為圖1的局部放大圖，

圖3為干燥室內(nèi)部的橫向截面視圖。

具體實(shí)施方式

如圖所示，本實(shí)用新型的氧化鋯基片的流延生產(chǎn)設(shè)備，包括工作平臺(tái)5、設(shè)于工作平臺(tái)5前后端的放卷機(jī)構(gòu)1和收卷機(jī)構(gòu)8，工作平臺(tái)5的表面鋪設(shè)不銹鋼板材料的流延承載板，放卷機(jī)構(gòu)1所放卷的膜帶A在水平經(jīng)過(guò)工作平臺(tái)5的表面后由收卷機(jī)構(gòu)8進(jìn)行收卷，靠近收卷機(jī)構(gòu)8設(shè)有膜片自動(dòng)糾偏機(jī)構(gòu)7，工作平臺(tái)5在靠近放卷機(jī)構(gòu)1的一端設(shè)有流延裝置2，工作平臺(tái)5的上方沿前后方向設(shè)有九個(gè)干燥室4，九個(gè)干燥室相互相通并在工作平臺(tái)5的上方形成封閉干燥空間，封閉干燥空間內(nèi)在前端位置（第一干燥室的進(jìn)口側(cè)）設(shè)有第一排氣管3、在中間位置（第五干燥室的進(jìn)口側(cè)）設(shè)有第二排氣管6，第一、第二排氣管的排氣進(jìn)口31朝上，第一、第二排氣管的排氣出口與抽風(fēng)風(fēng)機(jī)相通，第一至第七干燥室內(nèi)設(shè)有玻璃擋板9，玻璃擋板9離開(kāi)工作平臺(tái)5表面的高度距離不超過(guò)5cm，玻璃擋板9對(duì)從干燥室4內(nèi)通過(guò)的所述膜帶A進(jìn)行上遮擋，進(jìn)而使玻璃擋板9在坯片B上方形成近似隔絕小空間，來(lái)避免干燥室4內(nèi)空氣擾動(dòng)對(duì)坯片B的干燥造成影響，玻璃擋板9在橫向方向上與水平呈傾斜設(shè)置，傾斜角度不大于5度；為更好地減緩空氣擾動(dòng)對(duì)坯片B干燥的影響，所述玻璃擋板9的兩側(cè)具有向膜帶A一側(cè)彎折的翻邊91，翻邊91下方的工作平臺(tái)5上具有凹槽51，且凹槽51底面傾斜設(shè)置，凹槽51最低處具有液體流出孔，該液體流出孔通過(guò)管路連接排液泵，這樣一來(lái)，玻璃擋板上聚集的小液滴會(huì)通過(guò)翻邊落入凹槽中往外排掉；所述流延承載板的底部安裝帶熱電偶的電阻絲加熱器10，每個(gè)干燥室4具有獨(dú)立的電阻絲加熱器，使不同干燥室4具有不同加熱溫度控制。

所述流延裝置2包括由料槽側(cè)板（前側(cè)板24、左右邊板23）和刮刀27共同圍出的儲(chǔ)料槽26，刮刀27位于儲(chǔ)料槽26后側(cè)，料槽側(cè)板的底面與所述膜帶A之間相互緊貼，刮刀27的底部與所述膜帶A之間留出流延間隙，所述刮刀27具有圓底，圓底上開(kāi)出前、后刀槽以形成刮刀的雙刀頭結(jié)構(gòu)，前刀槽28為三角形槽，后刀槽29為平底形槽；所述儲(chǔ)料槽26的上方設(shè)有液位傳感器25，所述儲(chǔ)料槽26的前側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)料槽22，調(diào)節(jié)料槽22連接漿料供料管道20，漿料供料管道20上安裝控制閥門(mén)21，控制閥門(mén)21與液位傳感器25電連接，所述料槽側(cè)板的前側(cè)板24傾斜設(shè)置形成斜面，所述調(diào)節(jié)料槽22內(nèi)的溢出漿料通過(guò)斜面進(jìn)入儲(chǔ)料槽26。

本實(shí)用新型的工作過(guò)程是：放卷機(jī)構(gòu)1所放卷的膜帶A在水平經(jīng)過(guò)工作平臺(tái)5的表面后由收卷機(jī)構(gòu)8進(jìn)行收卷，在膜帶A移動(dòng)的同時(shí)，儲(chǔ)料槽26內(nèi)的漿料經(jīng)圓底刮刀27底部的流延間隙在膜帶A上流延鋪展，漿料附著在膜帶A的表面形成厚度均勻而且平整的坯片B，然后坯片B隨膜帶A一起移動(dòng)到干燥室4內(nèi)，在干燥室4內(nèi)，電阻絲加熱器10對(duì)工作平臺(tái)5表面進(jìn)行加熱，干燥室入口處溫度接近室溫，然后溫度以一定溫度梯度逐漸升高，進(jìn)而對(duì)經(jīng)過(guò)工作平臺(tái)5表面的膜帶A和膜帶上的坯片B進(jìn)行加熱，使坯片B中的溶劑被有序蒸發(fā)，在溶劑的加熱蒸發(fā)過(guò)程中，坯片B的上方始終有低矮的玻璃擋板9對(duì)其進(jìn)行上遮擋，因此坯片B的干燥過(guò)程會(huì)極少受空氣擾動(dòng)影響，避免產(chǎn)生彎曲開(kāi)裂等現(xiàn)象，從而實(shí)現(xiàn)氧化鋯基片的高效高質(zhì)生產(chǎn)，所生產(chǎn)的氧化鋯基片不開(kāi)裂，最后，蒸發(fā)的溶劑在排氣管3、6的排氣作用下被抽離干燥室4；在坯片B干燥的初始階段，溶劑蒸發(fā)量大，所以在玻璃擋板9上會(huì)形成很多的小液滴，玻璃擋板9的橫向傾斜設(shè)置可避免小液滴匯集滴落到坯片B上。