本實(shí)用新型涉及晶體加工技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種定向儀用定向槽基板。

背景技術(shù)：

多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型加工方法；數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割機(jī)，成為硅片、藍(lán)寶石及其它脆性材料切割加工的主要工具，數(shù)控多線切割機(jī)通常與定向儀配合使用，定向儀利用X射線衍射原理，精密快速地測(cè)定天然和人造單晶（壓電晶體，光學(xué)晶體，激光晶體，半導(dǎo)體晶體）的切割角度，與數(shù)控多線切割機(jī)配套可用于上述晶體的定向切割，是精密加工制造晶體器件不可缺少的儀器,該儀器廣泛應(yīng)用于晶體材料的研究，加工，制造行業(yè)。

如圖1所示：晶體1切割前，需利用膠體將晶體1粘接在定向儀的鳩尾座上，鳩尾座固定在定向儀的底座2上，根據(jù)晶體1定向的要求，利用定向儀的控制機(jī)構(gòu)控制探針3擊打晶體1的側(cè)面，使晶體1在在鳩尾座上的位置發(fā)生變化，直至滿足切割定向要求；但是如果被切割晶體1的側(cè)面不平整，則當(dāng)探針3擊打晶體1時(shí)，容易在晶體1側(cè)面發(fā)生滑動(dòng)，導(dǎo)致晶體1定向不精確，進(jìn)而導(dǎo)致生產(chǎn)出的晶片存在嚴(yán)重的質(zhì)量問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種定向儀用定向槽基板，目的在于解決使用現(xiàn)有的定向儀時(shí)，由于探針擊打晶體的側(cè)面而導(dǎo)致晶體定向不精確的問題。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種定向儀用定向槽基板，包括基板和鳩尾座；基板固定連接在定向儀底座上；基板上設(shè)置有兩條限位塊，限位塊的長度值與基板的寬度值相同，兩條限位塊和基板配合構(gòu)成定向溝槽，定向溝槽設(shè)置的方向與探針的方向平行；鳩尾座卡設(shè)在定向溝槽內(nèi)，需切割材料用膠水固定在鳩尾座上。

所述的基板與定向儀底座的固定連接方式為：基板上開設(shè)有多個(gè)沉頭孔，沉頭孔內(nèi)設(shè)置有螺紋，底座上與沉頭孔對(duì)應(yīng)的位置開設(shè)有與沉頭孔直徑相同的螺孔，基板和底座通過螺釘、沉頭孔和螺孔固定連接。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型所述的一種定向儀用定向槽基板，利用設(shè)置在基板上的定向溝槽和鳩尾座，能夠使晶體的斷面與探針垂直，晶體的斷面是晶向最準(zhǔn)確的平面，同時(shí)，晶體的斷面也更平整，能夠有效的提高探針擊打的穩(wěn)定性，保證晶體定向的準(zhǔn)確性；并且如果有多個(gè)晶體需要定向，則可將多個(gè)晶體都粘接在鳩尾座上，則定向儀還能夠?qū)Χ鄠€(gè)晶體依次定向，有效的提高了晶體定向的效率。

附圖說明

圖1為利用傳統(tǒng)的定向儀定向時(shí)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖2所示：本實(shí)用新型所述的一種定向儀用定向槽基板4，包括基板4和鳩尾座6；基板4固定連接在定向儀底座2上，基板4與定向儀底座2的固定連接方式為：基板4上開設(shè)有多個(gè)沉頭孔，沉頭孔內(nèi)設(shè)置有螺紋，底座2上與沉頭孔對(duì)應(yīng)的位置開設(shè)有與沉頭孔直徑相同的螺孔，基板4和底座2通過螺釘、沉頭孔和螺孔固定連接；基板4上設(shè)置有兩條限位塊5，限位塊5的長度值與基板4的寬度值相同，兩條限位塊5和基板4配合構(gòu)成定向溝槽，定向溝槽設(shè)置的方向與探針的方向平行；鳩尾座6卡設(shè)在定向溝槽內(nèi)，需切割材料用膠水固定在鳩尾座6上。

使用本實(shí)用新型所述的一種定向儀用定向槽基板4時(shí)，首先將定向槽基板4固定在定向儀的底座2上，然后將需切割晶體1用膠水粘接在鳩尾座6上；為了方便敘述，需切割的晶體1利用晶棒舉例說明；晶棒為圓柱體，晶棒的斷面為平整的平面圓形，晶棒的側(cè)面不平整；由于定向溝槽設(shè)置的方向與探針的方向平行，因此探針在定向儀控制機(jī)構(gòu)的控制下將擊打在晶棒平整的斷面，擊打過程穩(wěn)定可靠，進(jìn)而保證了晶棒定向的準(zhǔn)確性；同時(shí)，如果有多個(gè)晶體1需要定向，則可將多個(gè)晶體1都粘接在鳩尾座6上，且使晶體1的斷面與探針垂直，則定向儀還能夠?qū)Χ鄠€(gè)晶體1依次定向，有效的提高了晶體1定向的效率。

本實(shí)用新型所述的一種定向儀用定向槽基板4，利用設(shè)置在基板4上的定向溝槽和鳩尾座6，能夠使晶體1的斷面與探針垂直，晶體1的斷面是晶向最準(zhǔn)確的平面，同時(shí)，晶體1的斷面也更平整，能夠有效的提高探針擊打的穩(wěn)定性，保證晶體1定向的準(zhǔn)確性；并且如果有多個(gè)晶體1需要定向，則可將多個(gè)晶體1都粘接在鳩尾座6上，則定向儀還能夠?qū)Χ鄠€(gè)晶體1依次定向，有效的提高了晶體1定向的效率。