本實用新型涉及單晶硅棒處理設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種半導(dǎo)體單晶硅棒截斷機夾緊固定裝置。

背景技術(shù)：
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在加工半導(dǎo)體單晶硅棒時，為了得到后續(xù)需要的產(chǎn)品，一般要對半導(dǎo)體單晶硅棒進行截斷處理，目前，通常采用單晶截斷機對半導(dǎo)體單晶硅棒進行截斷處理，在進行截斷前必須先對半導(dǎo)體單晶硅棒固定，然后再通過刀具切割進行截斷，目前的截斷機固定臺大多是在工作臺頂部設(shè)置兩相對斜面呈V字型的、且可移動的夾緊臺，首先將半導(dǎo)體單晶硅棒沿兩夾緊臺長度方向水平放置，通過調(diào)節(jié)兩夾緊臺之間的距離來實現(xiàn)對半導(dǎo)體單晶硅棒的夾緊。當(dāng)?shù)毒邔Π雽?dǎo)體單晶硅棒進行加工時，因刀具對其有較大的推力與扭矩，而這種夾緊方式因兩夾緊臺相對的斜面均為硬質(zhì)材質(zhì)且無緩沖裝置，因此容易導(dǎo)致半導(dǎo)體單晶硅棒從夾緊臺中向上移出或側(cè)旋，造成切削錯誤、切削精度低。另外，現(xiàn)有的夾緊固定方式只對半導(dǎo)體單晶硅棒只進行夾緊而未對其固定，或者只進行簡易、粗糙的固定，固定效果差、使用安全性低，顯然現(xiàn)有的單晶硅棒截斷機夾緊固定裝置無法更有效地滿足人們的需求。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
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本實用新型提供了一種半導(dǎo)體單晶硅棒截斷機夾緊固定裝置，它結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，操作簡單，可根據(jù)放置的待截斷的半導(dǎo)體單晶硅棒的粗細(xì)進行平衡定位，同時可對半導(dǎo)體單晶硅棒進行按壓固定，有效防止半導(dǎo)體單晶硅棒從夾緊臺中向上移出或側(cè)旋，加緊固定可靠性高，使用安全性高，夾緊裝置方便移動且不影響其它工步的操作，更有效地滿足了人們的需求，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體單晶硅棒截斷機夾緊固定裝置，包括一水平設(shè)置的長條形移動臺，在移動臺的底部沿其長度方向設(shè)有兩水平且平行設(shè)置的移動滑槽，移動臺通過兩移動滑槽活動卡接在截斷機工作臺頂部的滑軌上，在移動臺頂部中央沿其長度方向水平設(shè)有一端面呈V字型的夾緊槽，在夾緊槽的兩相對斜面上沿其長度方向分別對稱設(shè)有若干個平行設(shè)置的插接滑槽，在各夾緊槽斜面上方分別設(shè)有一通過插接滑槽與移動臺活動卡接的緩沖裝置，在移動臺兩側(cè)的截斷機工作臺頂部分別對稱且豎直設(shè)有一升降氣缸，在各升降氣缸的活塞桿上部外側(cè)壁上均設(shè)有外螺紋，在各活塞桿上部分別套接一通過內(nèi)螺紋與活塞桿活動連接的調(diào)節(jié)螺管，在各調(diào)節(jié)螺管上方的活塞桿頂部分別豎直固連一固定柱，在兩固定柱的頂部分別固連一限位塊，一水平設(shè)置的支撐板的左端通過安裝孔活動插裝在左側(cè)的固定柱外側(cè)壁上，支撐板的右端通過設(shè)置在其右端的弧形槽活動卡接在右側(cè)的固定柱外側(cè)壁上，在支撐板的底部中央豎直設(shè)有一固定氣缸，在固定氣缸底部的活塞桿下端固連一弧形卡板；升降氣缸、固定氣缸分別通過氣泵與外部控制裝置相連。

所述緩沖裝置包括一夾緊側(cè)板，在夾緊側(cè)板的外側(cè)壁上沿其長度方向分別設(shè)有若干個平行設(shè)置且與夾緊槽斜面上的各插接滑槽相對應(yīng)卡接的插接滑軌，在插接滑軌兩側(cè)的夾緊側(cè)板外側(cè)壁上設(shè)有若干個與夾緊側(cè)板外側(cè)壁相互垂直的緩沖彈簧，在夾緊側(cè)板的內(nèi)側(cè)壁上沿其長度方向設(shè)有若干個平行設(shè)置的橡膠防滑條。

本實用新型所具有的有益效果是，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，操作簡單，可根據(jù)放置的待截斷的半導(dǎo)體單晶硅棒的粗細(xì)進行平衡定位，同時可對半導(dǎo)體單晶硅棒進行按壓固定，加緊固定可靠性高，使用安全性高，夾緊裝置方便移動且不影響其它工步的操作，更有效地滿足人們的需求。

附圖說明：

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實用新型的緩沖裝置放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1、移動臺；2、移動滑槽；3、夾緊槽；4、插接滑槽；5、升降氣缸；6、活塞桿；7、調(diào)節(jié)螺管；8、固定柱；9、限位塊；10、支撐板；11、弧形槽；12、固定氣缸；13、弧形卡板；14、夾緊側(cè)板；15、插接滑軌；16、緩沖彈簧；17、橡膠防滑條。

具體實施方式：

為能清楚說明本方案的技術(shù)特點，下面通過具體實施方式，并結(jié)合其附圖，對本實用新型進行詳細(xì)闡述。

如圖1-3中所示，一種半導(dǎo)體單晶硅棒截斷機夾緊固定裝置，包括一水平設(shè)置的長條形移動臺1，在移動臺1的底部沿其長度方向設(shè)有兩水平且平行設(shè)置的移動滑槽2，移動臺1通過兩移動滑槽2活動卡接在截斷機工作臺頂部的滑軌上，在移動臺1頂部中央沿其長度方向水平設(shè)有一端面呈V字型的夾緊槽3，在夾緊槽3的兩相對斜面上沿其長度方向分別對稱設(shè)有若干個平行設(shè)置的插接滑槽4，在各夾緊槽3斜面上方分別設(shè)有一通過插接滑槽4與移動臺1活動卡接的緩沖裝置，在移動臺1兩側(cè)的截斷機工作臺頂部分別對稱且豎直設(shè)有一升降氣缸5，在各升降氣缸5的活塞桿6上部外側(cè)壁上均設(shè)有外螺紋，在各活塞桿6上部分別套接一通過內(nèi)螺紋與活塞桿6活動連接的調(diào)節(jié)螺管7，在各調(diào)節(jié)螺管7上方的活塞桿6頂部分別豎直固連一固定柱8，在兩固定柱8的頂部分別固連一限位塊9，一水平設(shè)置的支撐板10的左端通過安裝孔活動插裝在左側(cè)的固定柱8外側(cè)壁上，支撐板10的右端通過設(shè)置在其右端的弧形槽11活動卡接在右側(cè)的固定柱8外側(cè)壁上，在支撐板10的底部中央豎直設(shè)有一固定氣缸12，在固定氣缸12底部的活塞桿6下端固連一弧形卡板13；升降氣缸5、固定氣缸12分別通過氣泵與外部控制裝置相連。

所述緩沖裝置包括一夾緊側(cè)板14，在夾緊側(cè)板14的外側(cè)壁上沿其長度方向分別設(shè)有若干個平行設(shè)置且與夾緊槽3斜面上的各插接滑槽4相對應(yīng)卡接的插接滑軌15，在插接滑軌15兩側(cè)的夾緊側(cè)板14外側(cè)壁上設(shè)有若干個與夾緊側(cè)板14外側(cè)壁相互垂直的緩沖彈簧16，可以有效的起到緩沖作用，使半導(dǎo)體單晶硅棒逐步的進行向下運動并達到平衡狀態(tài)，在夾緊側(cè)板14的內(nèi)側(cè)壁上沿其長度方向設(shè)有若干個平行設(shè)置的橡膠防滑條17，可以防止半導(dǎo)體單晶硅棒滑動，固定更牢固。

使用時，分別轉(zhuǎn)動兩升降氣缸5的活塞缸上的調(diào)節(jié)螺管7使其向下轉(zhuǎn)動，此時支撐板10的上下面脫離了限位塊9與調(diào)節(jié)螺管7的擠壓，支撐板10的兩端均處于活動狀態(tài)，為防止后續(xù)支撐板10對安放半導(dǎo)體單晶硅棒造成困難，首先，轉(zhuǎn)動支撐板10的右端會使其左端的安裝孔繞固定柱8旋轉(zhuǎn)，當(dāng)支撐板10轉(zhuǎn)動到合適角度后，停止轉(zhuǎn)動。通過搬運機械將半導(dǎo)體單晶硅棒運送至截斷機移動臺1的夾緊槽3上方并保持半導(dǎo)體單晶硅棒與移動臺1頂部相平行，使半導(dǎo)體單晶硅棒向下并安放在兩緩沖裝置的夾緊側(cè)板14上，半導(dǎo)體單晶硅棒的側(cè)壁會抵接在各橡膠防滑條17上，在半導(dǎo)體單晶硅棒重力的作用下，會克服彈簧的彈力并擠壓夾緊側(cè)板14斜向外側(cè)下方運動，當(dāng)達到平衡時半導(dǎo)體單晶硅棒會處于靜止?fàn)顟B(tài)，此時回轉(zhuǎn)支撐板10使其通過弧形槽11活動卡接在固定柱8上，此時分別向上轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)螺管7使調(diào)節(jié)螺管7與限位塊9將支撐板10的上下面壓緊并使其固定，打開控制裝置，控制升降氣缸5調(diào)整至合適的高度，控制固定氣缸12的活塞桿6向下伸長，活塞桿6下端的弧形卡板13向下運動后會抵接在半導(dǎo)體單晶硅棒的外側(cè)壁上并將其壓緊，當(dāng)半導(dǎo)體單晶硅棒固定牢固后，通過控制裝置打開外部的截斷機使其對半導(dǎo)體單晶硅棒進行切削，通過控制裝置和外部控制裝置控制移動臺1在工作臺頂部的滑軌上移動。當(dāng)切削完成過后，控制裝置控制升降氣缸5升起、固定氣缸12的活塞桿6縮回，最終使弧形卡板13與半導(dǎo)體單晶硅棒脫離，分別向下轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)螺管7后，將支撐板10轉(zhuǎn)動至合適位置，將切削完成的半導(dǎo)體單晶硅棒取下，本裝置結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，操作簡單，可根據(jù)放置的待截斷的半導(dǎo)體單晶硅棒的粗細(xì)進行平衡定位，同時可對半導(dǎo)體單晶硅棒進行按壓固定，加緊固定可靠性高，使用安全性高，夾緊裝置方便移動且不影響其它工步的操作，更有效地滿足人們的需求。

上述具體實施方式不能作為對本實用新型保護范圍的限制，對于本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，對本實用新型實施方式所做出的任何替代改進或變換均落在本實用新型的保護范圍內(nèi)。

本實用新型未詳述之處，均為本技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)。