本發(fā)明涉及劃片機(jī)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種阻擋水霧裝置及劃片機(jī)。

背景技術(shù)：

信息化高速發(fā)展的背景下，半導(dǎo)體制品需求量增大，從而使自動(dòng)劃片機(jī)的需求量日益增多。但產(chǎn)品的老化及損壞，增加著售后維修成本。其中水霧對(duì)Z向溜板及光柵尺的腐蝕，加速了自動(dòng)劃片機(jī)設(shè)備的老化及損壞。Z向溜板的材料為灰口鑄鐵，極易被腐蝕；光柵尺精度微米級(jí)，附著污漬會(huì)改變光的反射角度，影響側(cè)值增加誤差。

目前，多數(shù)自動(dòng)劃片機(jī)采用通過(guò)塑料卷簾阻擋水霧，但在高速劃切過(guò)程中產(chǎn)生的大量水霧會(huì)從各個(gè)方向滲出，顯微鏡觀測(cè)口尤甚，現(xiàn)有裝置阻擋水霧效果不佳，水霧通過(guò)顯微鏡觀測(cè)口附著在Z向溜板及光柵尺上產(chǎn)生腐蝕和污漬。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種阻擋水霧裝置及劃片機(jī)，解決阻擋水霧效果不佳的問(wèn)題。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種阻擋水霧裝置，包括：底板和與底板連接的相對(duì)設(shè)立的側(cè)壁，底板表面沿底板的厚度方向設(shè)置有第一氣孔和第二氣孔，第一氣孔和第二氣孔的孔壁上沿著徑向方向分別設(shè)置有具有導(dǎo)向作用的第一氣槽和第二氣槽，底板的側(cè)面設(shè)置有第一進(jìn)氣口和第二進(jìn)氣口，底板的內(nèi)部設(shè)置有第一氣體流通通道和第二氣體流通通道，第一氣體流通通道的一端與第一氣槽連通，第一氣體流通通道的另一端連接第一進(jìn)氣口，第二氣體流通通道的一端與第二氣槽連通，第二氣體流通通道的另一端連接第二進(jìn)氣口，第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口連接輸送壓力氣體的氣管。

壓力氣體依次通過(guò)氣管、第一進(jìn)氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽，在第一氣孔中形成阻擋水霧的氣旋，壓力氣體同時(shí)還依次通過(guò)氣管、第二進(jìn)氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽，在第二氣孔中形成阻擋水霧的氣旋。

可選地，底板與側(cè)壁上設(shè)置有用于將阻擋水霧裝置與鏡頭連接的第一連接部。

可選地，第一連接部為固定孔。

可選地，底板上遠(yuǎn)離第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口的一側(cè)設(shè)置有用于連接鏡頭除水吹氣管的第二連接部。

可選地，底板上靠近第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口一側(cè)設(shè)置有用于固定阻擋水霧裝置的第三連接部。

可選地，第一氣孔與第二氣孔均為圓形通孔。

可選地，第一氣槽與第一氣體流通通道相切連接，第二氣槽與第二氣體流通通道相切連接。

可選地，第一氣槽與第二氣槽、第一氣體流通通道與第二氣體流通通道、第一進(jìn)氣口與第二進(jìn)氣口均軸對(duì)稱設(shè)置，第一氣孔與第二氣孔內(nèi)形成的氣旋方向相反。

可選地，第一氣孔中形成的氣旋方向與第二氣孔中形成的氣旋方向相同，均為逆時(shí)針?lè)较颉?/p>

本發(fā)明還提供一種劃片機(jī)，包括上述阻擋水霧裝置。

綜上所述，阻擋水霧裝置包括設(shè)置在第一氣孔和第二氣孔的孔壁上具有導(dǎo)向作用的第一氣槽、第二氣槽和分別與第一氣槽、第二氣槽連通的第一氣體流通通道、第二氣體流通通道以及第一進(jìn)氣口、第二進(jìn)氣口，壓力氣體依次通過(guò)氣管、第一進(jìn)氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽，壓力氣體同時(shí)還依次通過(guò)氣管、第二進(jìn)氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽，分別在第一氣孔和第二氣孔中形成氣旋，水霧接觸到旋渦狀氣旋被彈開，從而改變水霧流動(dòng)方向，防止水霧腐蝕設(shè)備零部件,延緩設(shè)備老化，保證設(shè)備精度，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，便于維修的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)水霧阻擋裝置與顯微鏡鏡頭連接形成顯微固定裝置，空間利用率高，成本低，實(shí)用性強(qiáng)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明具體實(shí)施例的阻擋水霧裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明具體實(shí)施例的阻擋水霧裝置的原理示意圖；

圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例的劃片機(jī)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1、底板；2、側(cè)壁；3、第一進(jìn)氣口；4、第一氣流流通通道；5、第一氣槽；6、第一氣孔；7、第二氣孔；8、第二氣槽；9、第二氣流流通通道；10、第二進(jìn)氣口；11、阻擋水霧裝置；12、鏡頭除水吹氣管；13、顯微鏡觀測(cè)口；14、顯微鏡外罩；15、空氣主軸；16、Z向溜板；17、Z向光柵尺；A、旋轉(zhuǎn)氣旋運(yùn)動(dòng)方向；B、水霧運(yùn)動(dòng)方向。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

參見(jiàn)圖1～圖3，本實(shí)施例中，阻擋水霧裝置11包括：底板1和與底板1連接的一對(duì)相對(duì)設(shè)立的側(cè)壁2，底板1表面上沿厚度方向設(shè)置有第一氣孔6和第二氣孔7，第一氣孔6和第二氣孔7為圓形通孔，第一氣孔6和第二氣孔7的孔壁上均開有具有導(dǎo)向作用的第一氣槽5和第二氣槽8。

本實(shí)施例中，底板1的側(cè)面設(shè)置有第一進(jìn)氣口3和第二進(jìn)氣口10，底板1的內(nèi)部設(shè)置有第一氣體流通通道4和第二氣體流通通道7，其中第一氣槽5與第二氣槽8均為環(huán)形氣槽。其中，第一氣體流通通道4的一端與第一氣槽5連通，第一氣體流通通道4的另一端連接第一進(jìn)氣口3。第二氣體流通通道7的一端與第二氣槽8連通，第二氣體流通通道7的另一端連接第二進(jìn)氣口10，第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10連接輸送壓力氣體的氣管。

本實(shí)施例中，第一氣槽5與第一氣體流通通道4相切連接，第二氣槽8與第二氣體流通通道7相切連接。

當(dāng)空氣主軸15高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，刀片接觸到冷卻水流，水流被打散霧化，向各個(gè)方向流動(dòng)。此時(shí)壓力氣體接通，經(jīng)氣管流向阻擋水霧裝置11，壓力氣體依次通過(guò)氣管、第一進(jìn)氣口3、第一氣體流通通道4以及第一氣槽5，在第一氣孔6中形成氣旋；壓力氣體同時(shí)還依次通過(guò)氣管、第二進(jìn)氣口10、第二氣體流通通道7以及第二氣槽8，在第二氣孔7中形成氣旋。

其中，第一氣槽5與第二氣槽8、第一氣體流通通道4與第二氣體流通通道7、第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10均軸對(duì)稱設(shè)置，第一氣孔6與第二氣孔7內(nèi)形成的氣旋方向相反。本實(shí)施例中，第一氣體流通通道4在第一氣槽5的左邊相切，第二氣體流通通道2與第二氣槽7在右邊相切，故而第一氣孔6的氣旋為順時(shí)針?lè)较?，第二氣?的氣旋為逆時(shí)針?lè)较?，?dāng)然，本實(shí)施例并不限定相切的具體位置，具體位置取決于安裝空間。

本實(shí)施例中，第一氣孔6中形成的氣旋方向與第二氣孔7中形成的氣旋方向可以相同，均為逆時(shí)針?lè)较?，在地球北半球，科里奧利力(簡(jiǎn)稱科氏力)造成流體逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，本實(shí)施例中，氣旋方向與科氏加速度方向一致，即氣旋方向?yàn)槟鏁r(shí)針?lè)较?，可以減小氣體運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的能量損失，從而提高防水霧的質(zhì)量。

本實(shí)施例中，氣旋分布在鏡頭的四周并沿著第一氣孔6或第二氣孔7的軸線(即鏡頭的軸線)方向向下移動(dòng)并經(jīng)過(guò)顯微鏡觀測(cè)口13排出，即為圖3中的旋轉(zhuǎn)氣膜運(yùn)動(dòng)方向A。

飛向顯微鏡觀測(cè)口13的水霧遇到氣旋后，運(yùn)動(dòng)軌跡改變，向周圍運(yùn)動(dòng)(圖3中的水霧運(yùn)動(dòng)方向B)，無(wú)法經(jīng)過(guò)顯微鏡觀測(cè)口13飄向上方附著在其它部件(例如Z向溜板16、Z向光柵尺17)上面，從而起到了阻礙水霧的作用，防止水霧腐蝕部件。

本實(shí)施例中，阻擋水霧裝置11還包括第一連接部和第二連接部，其中，第一連接部(例如固定孔)設(shè)置在底板1與側(cè)壁2上，第一連接部用于連接阻擋水霧裝置11與顯微鏡鏡頭，置于顯微鏡外罩14的內(nèi)部，第二連接部設(shè)置在底板上遠(yuǎn)離第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10的一側(cè)，第二連接部連接鏡頭除水吹氣管12，當(dāng)需要通過(guò)鏡頭觀測(cè)時(shí)，鏡頭除水吹氣管12吹去鏡頭附近的水霧。

本實(shí)施例中，顯微鏡鏡頭觀測(cè)口11下面布置傳統(tǒng)的防水霧裝置，例如擋板，共同起到阻擋水霧的作用。

本實(shí)施例中，阻擋水霧裝置11在有限的空間內(nèi)將鏡頭固定機(jī)構(gòu)和氣膜包覆保護(hù)機(jī)構(gòu)相結(jié)合，能有效提高空間的利用率。

本實(shí)施例中，阻擋水霧裝置11還包括底板上第一進(jìn)氣口3與第二進(jìn)氣口10一側(cè)的第三連接部，例如凸臺(tái)，凸臺(tái)上設(shè)置有安裝孔，用于將連接后的阻擋水霧裝置11與顯微鏡鏡頭進(jìn)行固定，例如固定在劃片機(jī)上。

綜上所述，阻擋水霧裝置包括設(shè)置在第一氣孔和第二氣孔的側(cè)壁的具有導(dǎo)向作用的第一氣槽、第二氣槽和分別與第一氣槽、第二氣槽連通的第一氣體流通通道、第二氣體流通通道以及第一進(jìn)氣口、第二進(jìn)氣口，壓力氣體依次通過(guò)氣管、第一進(jìn)氣口、第一氣體流通通道以及第一氣槽，壓力氣體同時(shí)還依次通過(guò)氣管、第二進(jìn)氣口、第二氣體流通通道以及第二氣槽，分別在第一氣孔與第二氣孔中形成氣旋，水霧接觸到旋渦狀氣旋被彈開，從而改變水霧流動(dòng)方向，防止水霧腐蝕設(shè)備零部件，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，便于維修的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)與原有顯微鏡部件連接，空間利用率高，成本低，實(shí)用性強(qiáng)。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。