本發(fā)明涉及一種用于單線切割機(jī)中大直徑單晶對正的裝置，屬于硅單晶技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

在使用單線切割機(jī)對大直徑單晶進(jìn)行截?cái)鄷r(shí)，一般只提供簡單的對正工裝及方法，這就導(dǎo)致很難保證大直徑單晶的截?cái)嗝媾c其中心軸的垂直度，這就使得單晶的有效長度減少，造成損失；隨著市場競爭壓力的增大以及客戶要求的不斷提高，能夠很好地改善大直徑單晶的截?cái)嗝媾c其中心軸的垂直度，即可以減少大直徑單晶在截?cái)噙^程中的加工損失，提高單晶收率，降低生產(chǎn)成本，同時(shí)又可以降低大直徑單晶在客戶加工過程中的加工難度和加工損失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

基于此，本發(fā)明的目的在于提供一種用于單線切割機(jī)中大直徑單晶對正的裝置，以實(shí)現(xiàn)大直徑單晶的截?cái)嗝媾c其中心軸的垂直度，從而減少加工損失、提高收率。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種用于單線切割機(jī)中大直徑單晶對正的裝置，它包括一呈門形的固定框架，該固定框架由兩根直桿和一根橫桿構(gòu)成，該固定框架上設(shè)有三個(gè)調(diào)節(jié)桿，該三個(gè)調(diào)節(jié)桿分別對稱的設(shè)置在直桿和橫桿上；在三個(gè)調(diào)節(jié)桿的端部分別設(shè)有百分表；兩根直桿的固定腳分別通過固定螺栓固定在單線切割機(jī)上。

所述固定框架與單線切割機(jī)的切割面垂直；設(shè)置在橫桿上的百分表接觸大直徑單晶的上切面，設(shè)置在直桿上的百分表分別接觸大直徑單晶的兩側(cè)切面。

本發(fā)明的有益效果在于：

本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、便于操作、適應(yīng)性及可靠性很強(qiáng)，不需要繁雜的配套設(shè)施，便于裝卸，并不破壞原有切割設(shè)備，可以適用與不同直徑單晶的切割，并且不受單晶直徑變化的影響。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖。

圖2、3、4為顯示本發(fā)明單晶對正過程的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。

如圖1所示，本發(fā)明用于單線切割機(jī)中大直徑單晶對正的裝置包括一呈門形的固定框架1，該固定框架1由兩根直桿和一根橫桿構(gòu)成，該固定框架1上設(shè)有三個(gè)調(diào)節(jié)桿2，該三個(gè)調(diào)節(jié)桿2分別對稱的設(shè)置在直桿和橫桿上；在三個(gè)調(diào)節(jié)桿2的端部分別設(shè)有百分表3；兩根直桿的固定腳4分別通過固定螺栓5固定在單線切割機(jī)上。固定框架1與單線切割機(jī)的切割面9垂直。

如圖2所示，大直徑單晶7放置在可分別調(diào)整兩側(cè)支撐的“v”型支撐架6上，該支撐架6設(shè)置在移動導(dǎo)軌平臺8上，支撐架6可隨移動導(dǎo)軌平臺8移動，從而使得大直徑單晶7可以在固定框架1中穿行；通過三個(gè)調(diào)節(jié)桿2將三個(gè)百分表3分別固定在固定框架上，并可以自由調(diào)節(jié)百分表的位置，使百分表分別接觸大直徑單晶7的上切面及兩側(cè)切面。

如圖3所示，首先移動導(dǎo)軌平臺8，使裝置處于大直徑單晶7的位置a，分別記錄三個(gè)百分表的數(shù)值。

如圖4所示，再次移動導(dǎo)軌平臺8，使裝置處于大直徑單晶7的位置b，分別記錄三個(gè)百分表的數(shù)值。

通過調(diào)整單線切割機(jī)的可分別調(diào)整兩側(cè)支撐的“v”型支撐架6，使得兩個(gè)位置a、b處相同百分表的變化值一致，即可使大直徑單晶的軸線與切割設(shè)備的切割面垂直。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于單線切割機(jī)中大直徑單晶對正的裝置。它包括呈門形的固定框架，該固定框架由兩根直桿和一根橫桿構(gòu)成，該固定框架上設(shè)有三個(gè)調(diào)節(jié)桿，該三個(gè)調(diào)節(jié)桿分別對稱的設(shè)置在直桿和橫桿上；在三個(gè)調(diào)節(jié)桿的端部分別設(shè)有百分表；兩根直桿的固定腳分別通過固定螺栓固定在單線切割機(jī)上。設(shè)置在橫桿上的百分表接觸單晶的上切面，設(shè)置在直桿上的百分表分別接觸單晶的兩側(cè)切面，移動單晶，通過調(diào)整單線切割機(jī)的可分別調(diào)整兩側(cè)支撐的“V”型支撐架，使得兩個(gè)位置處相同百分表的變化值一致，即可使單晶的軸線與切割設(shè)備的切割面垂直。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、便于操作、適應(yīng)性及可靠性強(qiáng)，適用于不同直徑單晶的切割，能夠大大減少加工損失、提高收率。

技術(shù)研發(fā)人員：崔彬;劉冰;王雅楠;姜艦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：有研半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.24
技術(shù)公布日：2017.07.04