專利名稱：單晶硅線切割機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，特別涉及一種進(jìn)給量較為精確的單晶硅線 線切割機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
硅片是半導(dǎo)體和太陽能光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。硅片多線切割技術(shù)是目前采 用最廣泛的硅片加工技術(shù)，它不同于傳統(tǒng)的刀具片、砂輪片等切割方式，也不同于更先進(jìn)的 激光切割和內(nèi)圓切割方式，其原理是通過一根高速運(yùn)動的鋼絲帶動附著在鋼絲上的切割砂 漿，對硅棒進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果。但目前的單晶硅的線切割機(jī)構(gòu)的進(jìn)給量不均勻，常會造成切割不均、廢片比較多， 同時(shí)也對鋼絲的傷害較大，影響鋼絲的實(shí)用壽命。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種硅棒的進(jìn)給量穩(wěn)定的單晶硅切割機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)的進(jìn)給量穩(wěn) 定，避免了由于進(jìn)給量不均勻造成的切割不均、廢片比較多的問題。本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)單晶硅線切割機(jī)構(gòu)，包括一個(gè)密封箱體，箱體的頂部設(shè)置有一對支架，在一對支架 中間設(shè)置有一個(gè)控制硅棒上下運(yùn)動的升降機(jī)構(gòu)，在箱體內(nèi)部設(shè)置有一對導(dǎo)線輪，導(dǎo)線輪上 設(shè)置有金屬絲線，導(dǎo)線輪下方設(shè)置有承載裝置，位于導(dǎo)線輪上方的箱體上設(shè)置有噴砂裝置， 所述的升降機(jī)構(gòu)為由伺服電機(jī)、絲杠以及可以沿著絲杠運(yùn)動的運(yùn)動頭構(gòu)成的升降機(jī)構(gòu)，伺 服電機(jī)固定連接在一對支架之間設(shè)置的電機(jī)板上，伺服電機(jī)的輸出端與絲杠連接，運(yùn)動頭 連接在絲杠上。所述的運(yùn)動頭的下方設(shè)置有固定夾緊裝置，固定夾緊裝置包括設(shè)置在運(yùn)動頭下 方的燕尾槽，燕尾槽內(nèi)設(shè)置有粘結(jié)有硅棒的燕尾滑塊，在運(yùn)動頭兩邊的側(cè)面設(shè)置有對燕尾 滑塊進(jìn)行鎖緊的鎖緊螺母，這里通過燕尾槽的連接方式，便于更換硅棒，同時(shí)設(shè)置了鎖緊螺 母，保證了硅棒的固定，減少了切割過程中的晃動，也保證了切割的質(zhì)量。所述的噴砂裝置包括設(shè)置箱體上的與砂箱連接的砂漿連接管，砂漿連接管上設(shè)置 有多個(gè)出砂管。所述的出砂管的內(nèi)部設(shè)置有砂道，砂道一側(cè)的出砂管上設(shè)置有出砂縫，這樣保證 了一個(gè)出砂管上的砂漿能均勻的流出。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于1、通過伺服電機(jī)和絲杠機(jī)構(gòu)保證了硅棒的進(jìn)給量的穩(wěn)定，保證了單晶硅線切割的 質(zhì)量，減少了原料的浪費(fèi)。2、設(shè)置的鎖緊螺母，保證了硅棒的固定，減少了切割過程中的晃動，也保證了切割 的質(zhì)量。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為出砂管的截面圖，圖中1為支架，2為伺服電機(jī)，3為電機(jī)板，4為絲杠，5為出砂管，6為導(dǎo)線輪，7為 砂漿連接管，8為鎖緊螺母，9為承載裝置，10為燕尾槽，11為燕尾滑塊，12為箱體，13為運(yùn) 動頭，51為砂道，52為出砂縫。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明如圖1和圖2所示的單晶硅線切割機(jī)構(gòu)，包括一個(gè)密封箱體12，箱體12的頂部設(shè) 置有一對支架1，在一對支架1中間設(shè)置有一個(gè)控制硅棒上下運(yùn)動的升降機(jī)構(gòu)，在箱體內(nèi)部 設(shè)置有一對導(dǎo)線輪6，導(dǎo)線輪6上設(shè)置有金屬絲線，導(dǎo)線輪6下方設(shè)置有承載裝置，位于導(dǎo)線 輪6上方的箱體12上設(shè)置有噴砂裝置，所述的升降機(jī)構(gòu)為由伺服電機(jī)2、絲杠4以及可以沿 著絲杠運(yùn)動的運(yùn)動頭構(gòu)成的升降機(jī)構(gòu)，伺服電機(jī)2固定連接在一對支架之間設(shè)置的電機(jī)板 3上，伺服電機(jī)3的輸出端與絲杠4連接，運(yùn)動頭連接在絲杠4上。所述的運(yùn)動頭13的下方設(shè)置有固定夾緊裝置，固定夾緊裝置包括設(shè)置在運(yùn)動頭 下方的燕尾槽10，燕尾槽10內(nèi)設(shè)置有粘結(jié)有硅棒的燕尾滑塊11，在運(yùn)動頭兩邊的側(cè)面設(shè)置 有對燕尾滑塊進(jìn)行鎖緊的鎖緊螺母8，這里通過燕尾槽8的連接方式，便于更換硅棒，同時(shí) 設(shè)置了鎖緊螺母，保證了硅棒的固定，減少了切割過程中的晃動，也保證了切割的質(zhì)量。所述的噴砂裝置包括設(shè)置箱體12上的與砂箱連接的砂漿連接管7，砂漿連接管上 設(shè)置有多個(gè)出砂管5，所述的出砂管5的內(nèi)部設(shè)置有砂道51，砂道51 —側(cè)的出砂管上設(shè)置 有出砂縫52，這樣保證了一個(gè)出砂管上的砂漿能均勻的流出。本實(shí)用新型通過伺服電機(jī)和絲杠機(jī)構(gòu)保證了硅棒的進(jìn)給量的穩(wěn)定，保證了單晶硅 線切割的質(zhì)量，減少了原料的浪費(fèi)，設(shè)置的鎖緊螺母，保證了硅棒的固定，減少了切割過程 中硅棒的晃動，也保證了切割的質(zhì)量。
權(quán)利要求1.單晶硅線切割機(jī)構(gòu)，包括一個(gè)密封箱體，箱體的頂部設(shè)置有一對支架，在一對支架中 間設(shè)置有一個(gè)控制硅棒上下運(yùn)動的升降機(jī)構(gòu)，在箱體內(nèi)部設(shè)置有一對導(dǎo)線輪，導(dǎo)線輪上設(shè) 置有金屬絲線，導(dǎo)線輪下方設(shè)置有承載裝置，位于導(dǎo)線輪上方的箱體上設(shè)置有噴砂裝置，其 特征在于所述的升降機(jī)構(gòu)為由伺服電機(jī)、絲杠以及可以沿著絲杠運(yùn)動的運(yùn)動頭構(gòu)成的升 降機(jī)構(gòu)，伺服電機(jī)固定連接在一對支架之間設(shè)置的電機(jī)板上，伺服電機(jī)的輸出端與絲杠連 接，運(yùn)動頭連接在絲杠上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅線切割機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的運(yùn)動頭的下方設(shè)置 有固定夾緊裝置，固定夾緊裝置包括設(shè)置在運(yùn)動頭下方的燕尾槽，燕尾槽內(nèi)設(shè)置有粘結(jié)有 硅棒的燕尾滑塊，在運(yùn)動頭兩邊的側(cè)面設(shè)置有對燕尾滑塊進(jìn)行鎖緊的鎖緊螺母。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅線切割機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的噴砂裝置包括設(shè)置 箱體上的與砂箱連接的砂漿連接管，砂漿連接管上設(shè)置有多個(gè)出砂管。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶硅線切割機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的出砂管的內(nèi)部設(shè)置 有砂道，砂道一側(cè)的出砂管上設(shè)置有出砂縫。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，特別涉及一種進(jìn)給量較為精確的單晶硅線線切割裝置。包括一個(gè)密封箱體，箱體的頂部設(shè)置有一對支架，在一對支架中間設(shè)置有一個(gè)控制硅棒上下運(yùn)動的升降機(jī)構(gòu)，在箱體內(nèi)部設(shè)置有一對導(dǎo)線輪，導(dǎo)線輪上設(shè)置有金屬絲線，導(dǎo)線輪下方設(shè)置有承載裝置，位于導(dǎo)線輪上方的箱體上設(shè)置有噴砂裝置，所述的升降機(jī)構(gòu)為由伺服電機(jī)、絲杠以及可以沿著絲杠運(yùn)動的運(yùn)動頭構(gòu)成的升降機(jī)構(gòu)，伺服電機(jī)固定連接在一對支架之間設(shè)置的電機(jī)板上，伺服電機(jī)的輸出端與絲杠連接，運(yùn)動頭連接在絲杠上。本實(shí)用新型有益效果在于提高了單晶硅線切割的質(zhì)量，減少了原料的浪費(fèi)，減少了切割過程中硅棒的晃動，也保證了切割的質(zhì)量。
文檔編號B28D5/04GK201816149SQ201020525709
公開日2011年5月4日 申請日期2010年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月13日
發(fā)明者陳榮興 申請人:江蘇創(chuàng)大光伏科技有限公司