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截?cái)嗟闹圃旆椒?

文檔序號(hào):1926289閱讀:237來源:國(guó)知局
截?cái)嗟闹圃旆椒?br> 【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種截?cái)鄼C(jī),包括切割平臺(tái),切割平臺(tái)上設(shè)有切割擋塊及夾持組件,夾持組件包括動(dòng)力源、由動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)的推進(jìn)組件及設(shè)于推進(jìn)組件末端的夾板,將推進(jìn)組件的主體固定在切割平臺(tái)上,其一端在動(dòng)力源的驅(qū)動(dòng)下能夠朝向或遠(yuǎn)離切割擋塊的方向運(yùn)動(dòng),從而帶動(dòng)夾板夾緊或松開硅錠。在使用過程中,硅錠放置于切割平臺(tái)上,其一面與切割擋塊緊靠,相對(duì)的一面由夾持組件的夾板固定。上述截?cái)鄼C(jī)采用夾持組件來夾緊硅錠,并通過系統(tǒng)控制自動(dòng)對(duì)硅錠進(jìn)行固定,避免了手動(dòng)夾具的人工安裝所造成的誤差,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度,提高了截?cái)嘈?,同時(shí)夾板具有較大接觸面積能夠與硅錠表面充分接觸,能夠防止硅錠產(chǎn)生移動(dòng)及崩邊問題,從而使硅錠截?cái)嗟墓に嚫臃€(wěn)定。
【專利說明】
截?cái)鄼C(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅錠加工領(lǐng)域,特別是涉及用于截?cái)喙桢V的截?cái)鄼C(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]硅錠切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它的原理是附著有切割刃料的切削鋸帶在高速運(yùn)動(dòng)切削力作用下,對(duì)硅錠等硬脆材料進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割及截?cái)嗟哪康?。硅錠在進(jìn)行切割之前,操作人員需要手動(dòng)將硅錠的兩端緊固在截?cái)鄼C(jī)的切割平臺(tái)上,在對(duì)硅錠進(jìn)行緊固的過程中,由于操作人員對(duì)硅錠所施加的緊固力不同及操作人員的對(duì)位視覺誤差等因素,時(shí)常會(huì)導(dǎo)致硅錠截?cái)辔恢闷?,截?cái)喙に嚪€(wěn)定性較差等的問題。除此之外,在實(shí)際操作過程中,操作人員還需要伸入到截?cái)鄼C(jī)內(nèi)部對(duì)硅錠進(jìn)行手動(dòng)固定,從而導(dǎo)致整個(gè)操作過程安全性較差,工作效率低下。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]基于此,有必要針對(duì)上述問題,提供一種能夠提高硅錠截?cái)喙に嚨姆€(wěn)定性及能夠提高硅錠截?cái)嘈实慕財(cái)鄼C(jī)。
[0004]一種截?cái)鄼C(jī),包括切割平臺(tái),傳動(dòng)組件,切削鋸帶,凹槽及切割擋塊,所述傳動(dòng)組件分別位于所述切割平臺(tái)的上、下部,所述切削鋸帶張緊在所述傳動(dòng)組件上并貫穿于所述切割平臺(tái)上的凹槽,所述切割擋塊設(shè)于所述切割平臺(tái)上;所述截?cái)鄼C(jī)還包括夾持組件,所述夾持組件包括動(dòng)力源、由所述動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)的推進(jìn)組件及設(shè)于所述推進(jìn)組件末端并能夠朝向/遠(yuǎn)離所述切割擋塊運(yùn)動(dòng)的夾板,所述夾持組件與所述切割擋塊相對(duì)放置。
[0005]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述推進(jìn)組件包括固定于所述切割平臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)件及設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)件末端的伸縮桿,所述伸縮桿的末端設(shè)有所述夾板。
[0006]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述驅(qū)動(dòng)件為驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述動(dòng)力源與所述推進(jìn)組件之間還設(shè)有控制開關(guān)。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述驅(qū)動(dòng)件為驅(qū)動(dòng)氣缸,所述動(dòng)力源為氣源,所述控制開關(guān)為設(shè)置于所述氣源與所述驅(qū)動(dòng)氣缸之間的電磁閥。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述氣源及所述電磁閥之間設(shè)有過濾器。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述電磁閥與所述驅(qū)動(dòng)氣缸之間設(shè)有節(jié)流閥。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述截?cái)鄼C(jī)還包括用于檢測(cè)所述推進(jìn)組件工作狀態(tài)的傳感器組件及用于輸入控制指令及顯示所述推進(jìn)組件工作狀態(tài)的控制顯示單元。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述夾板上設(shè)有用于夾持所述待切割工件的抵壓平面,所述抵壓平面為塑料材質(zhì)。
[0013]上述截?cái)鄼C(jī),在切割平臺(tái)上設(shè)有切割擋塊及與切割擋塊相對(duì)的夾持組件,夾持組件為動(dòng)力驅(qū)動(dòng)組件。在使用過程中,硅錠放置于切割平臺(tái)上,并使其一面與切割擋塊緊靠,另一面由夾持組件的夾板固定。上述截?cái)鄼C(jī)采用夾持組件來夾緊硅錠,并通過系統(tǒng)控制自動(dòng)對(duì)硅錠進(jìn)行固定,避免了手動(dòng)夾具的人工安裝所造成的誤差,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度,提高了截?cái)嘈?,同時(shí)夾板具有較大接觸面積能夠與硅錠表面充分接觸,能夠防止硅錠產(chǎn)生移動(dòng)及崩邊問題,從而使硅錠截?cái)嗟墓に嚫臃€(wěn)定。除此之外,在實(shí)際操作過程中,推進(jìn)組件經(jīng)過一次固定就可以對(duì)不同硅錠進(jìn)行夾緊或松開操作,從而提高了硅錠的截?cái)嘈省?br>
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為截?cái)鄼C(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖2為切割平臺(tái)表面結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖3為夾持組件固定待切割工具的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]請(qǐng)參圖1和圖3,本實(shí)施方式揭示了一種截?cái)鄼C(jī)100,該截?cái)鄼C(jī)100包括底座110,底座110上設(shè)有用于承載待切割工件200的切割平臺(tái)120。切割平臺(tái)120上設(shè)有切割擋塊130及與切割擋塊130相對(duì)的夾持組件140,夾持組件140包括動(dòng)力源141、由動(dòng)力源141驅(qū)動(dòng)的推進(jìn)組件142及設(shè)于推進(jìn)組件142末端并且能夠朝向或遠(yuǎn)離切割擋塊130運(yùn)動(dòng)的夾板143。此外,該截?cái)鄼C(jī)100還包括設(shè)于切割平臺(tái)120上的一對(duì)傳動(dòng)組件150及張緊在傳動(dòng)組件150上的切削鋸帶160。其中,傳動(dòng)組件150包括設(shè)于切割平臺(tái)120下部的主動(dòng)輪及設(shè)于切割平臺(tái)120上部的從動(dòng)輪,并通過上述主動(dòng)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)切削鋸帶160對(duì)硅錠進(jìn)行加工作業(yè)。切割平臺(tái)120上開設(shè)有用于放置待截?cái)喙桢V的截?cái)鄥^(qū)121以及能夠供切削鋸帶160伸出的凹槽122。在截?cái)鄼C(jī)100工作過程中,首先將硅錠放置于截?cái)鄥^(qū)121內(nèi)并與切割擋塊130緊靠,推進(jìn)組件142的一端固定在切割平臺(tái)120上,其另一端在動(dòng)力源141的驅(qū)動(dòng)力作用下朝向切割擋塊130的方向運(yùn)動(dòng),從而帶動(dòng)夾板143夾緊硅錠。啟動(dòng)傳動(dòng)組件150并使傳動(dòng)組件150上升運(yùn)動(dòng),此時(shí),切削鋸帶160通過凹槽122并在傳動(dòng)組件150繞自身軸線正向或逆向旋轉(zhuǎn)的作用力下,對(duì)硅錠進(jìn)行對(duì)刀截?cái)嘧鳂I(yè)。
[0018]請(qǐng)參圖2,推進(jìn)組件142包括固定于切割平臺(tái)120上驅(qū)動(dòng)件1421及設(shè)于驅(qū)動(dòng)件1421末端的伸縮桿1422,伸縮桿1422的末端設(shè)有夾板143。驅(qū)動(dòng)件1421可以為驅(qū)動(dòng)馬達(dá)或驅(qū)動(dòng)氣缸,且驅(qū)動(dòng)件1421可以通過履帶傳動(dòng)、齒條傳動(dòng)、導(dǎo)軌/導(dǎo)輪傳動(dòng)或絲杠/滾珠絲杠等方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿1422伸縮。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件1421為驅(qū)動(dòng)馬達(dá)時(shí),動(dòng)力源141為電源;當(dāng)驅(qū)動(dòng)件1421為驅(qū)動(dòng)氣缸時(shí),動(dòng)力源141為與氣缸連接的氣源。此外,動(dòng)力源141與推進(jìn)組件142之間還設(shè)有用于控制推進(jìn)組件142開啟或關(guān)閉的控制開關(guān)144,其中,控制開關(guān)144可以為機(jī)械控制開關(guān)也可以為電動(dòng)控制開關(guān),優(yōu)選方案中,在控制開關(guān)上還設(shè)有能夠輸入控制指令及能夠顯示推進(jìn)組件142工作狀態(tài)(包括推進(jìn)距離及推進(jìn)速度)的控制顯示單元147。
[0019]本實(shí)施方式中的動(dòng)力源141為氣源,驅(qū)動(dòng)件1421優(yōu)選為驅(qū)動(dòng)氣缸,而控制開關(guān)144為設(shè)置在氣源與驅(qū)動(dòng)氣缸之間的電磁閥,電磁閥的另一端與一電源電性連接,其上還設(shè)有控制顯示單元147。
[0020]優(yōu)選方案中,氣源及電磁閥之間設(shè)有用于過濾預(yù)流入電磁閥內(nèi)氣流的過濾器145,上述過濾器145用以過濾氣源內(nèi)的水汽、油氣以及大顆粒物質(zhì),從而能夠保證壓縮空氣質(zhì)量,延長(zhǎng)電磁閥及驅(qū)動(dòng)氣缸的使用壽命。此外,電磁閥與驅(qū)動(dòng)氣缸之間還設(shè)有節(jié)流閥146,用以控制氣流流入推進(jìn)組件142的速度,從而確保夾板能夠以既定速度平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)及按壓在待切割硅錠上。在夾持組件140上還設(shè)有傳感器組件(圖中未示出)用以實(shí)時(shí)檢測(cè)推進(jìn)組件142的工作狀態(tài),上述傳感器組件與控制顯示單元147之間電性連接。
[0021]夾持組件140在安裝時(shí),首先將驅(qū)動(dòng)氣缸固定在切割平臺(tái)120上,并依次安裝好驅(qū)動(dòng)氣缸與氣源之間的過濾器145、電磁閥及節(jié)流閥146。將電磁閥與控制顯示單元147電性連接。在硅錠切割的過程中,首先將硅錠的一面與切割擋塊緊靠,啟動(dòng)控制顯示單元147上的啟動(dòng)鍵,此時(shí),驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)伸縮桿1422以預(yù)定的速度進(jìn)給,并推動(dòng)夾板143將硅錠頂緊在切割擋塊130上,從而方便切削鋸帶160對(duì)硅錠進(jìn)行對(duì)刀截?cái)嘧鳂I(yè)。
[0022]在硅錠截?cái)嗟倪^程中,截?cái)鄼C(jī)100內(nèi)會(huì)不斷的向硅錠的截?cái)辔恢脟娚淅鋮s液,因此,與硅錠抵緊的切割擋塊130優(yōu)選為穩(wěn)定、不易變形及不易腐蝕的材質(zhì),如不銹鋼材質(zhì)。夾板143與硅錠的接觸面為抵壓平面1431,從而能夠確保夾板與硅錠之間具有較大接觸面積且能夠與硅錠表面充分接觸,通常情況下,夾板143 (抵壓平面1431)的材質(zhì)優(yōu)選為輕質(zhì)、軟性及不易腐蝕的材質(zhì),如,塑料材質(zhì),從而能夠降低推進(jìn)組件142對(duì)夾板143的驅(qū)動(dòng)力,并防止夾板143在夾緊硅錠的過程中而使硅錠產(chǎn)生的移動(dòng)和崩邊問題。本實(shí)施方式中的夾板143為一塊厚15mm、長(zhǎng)寬均為80mm的塑料板。該夾板143具有較大接觸面積且能夠與硅錠表面充分接觸,并且通過設(shè)定節(jié)流閥146的大小以控制氣流流入推進(jìn)組件142的速度,并能夠確保夾板143對(duì)硅錠的夾緊力恒定,進(jìn)一步保證了硅錠截?cái)喙に嚨姆€(wěn)定性。夾持組件140經(jīng)過一次固定就可以對(duì)不同的硅錠進(jìn)行夾緊或松開操作,相比較傳統(tǒng)手動(dòng)固定的夾持組件而言,這種自動(dòng)驅(qū)動(dòng)的夾持組件140能夠提高截?cái)鄼C(jī)的工作效率,并降低勞動(dòng)強(qiáng)度。上述夾持組件140在實(shí)際使用中,由于能夠簡(jiǎn)化硅錠截?cái)嗉庸さ某绦?,每臺(tái)截?cái)鄼C(jī)100每天能夠多截?cái)?塊硅錠,并且每年還能夠節(jié)省80萬左右的生產(chǎn)成本。
[0023]除此之外,本實(shí)施方式中的截?cái)鄼C(jī)100還包括設(shè)于底座110上的門體170,該門體170用于防止冷卻液濺出截?cái)鄼C(jī)100外部,夾持組件140安裝在切割平臺(tái)120上且位于門體170的內(nèi)部,在使用上述夾持組件140時(shí),門體170始終處于關(guān)閉狀態(tài),從而能確保冷卻液不會(huì)濺出截?cái)鄼C(jī)100外部。
[0024]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此,本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種截?cái)鄼C(jī),包括切割平臺(tái),傳動(dòng)組件,切削鋸帶,凹槽及切割擋塊,所述傳動(dòng)組件分別位于所述切割平臺(tái)的上、下部,所述切削鋸帶張緊在所述傳動(dòng)組件上并貫穿于所述切割平臺(tái)上的凹槽,所述切割擋塊設(shè)于所述切割平臺(tái)上;其特征在于,還包括夾持組件,所述夾持組件包括動(dòng)力源、由所述動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)的推進(jìn)組件及設(shè)于所述推進(jìn)組件末端并能夠朝向/遠(yuǎn)離所述切割擋塊運(yùn)動(dòng)的夾板,所述夾持組件與所述切割擋塊相對(duì)放置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述推進(jìn)組件包括固定于所述切割平臺(tái)上的驅(qū)動(dòng)件及設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)件末端的伸縮桿,所述伸縮桿的末端設(shè)有所述夾板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)件為驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述動(dòng)力源與所述推進(jìn)組件之間還設(shè)有控制開關(guān)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)件為驅(qū)動(dòng)氣缸,所述動(dòng)力源為氣源,所述控制開關(guān)為設(shè)置于所述氣源與所述驅(qū)動(dòng)氣缸之間的電磁閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述氣源及所述電磁閥之間設(shè)有過濾器。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述電磁閥與所述驅(qū)動(dòng)氣缸之間設(shè)有節(jié)流閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述截?cái)鄼C(jī)還包括用于檢測(cè)所述推進(jìn)組件工作狀態(tài)的傳感器組件及用于輸入控制指令及顯示所述推進(jìn)組件工作狀態(tài)的控制顯示單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述夾板上設(shè)有用于夾持所述待切割工件的抵壓平面,所述抵壓平面為塑料材質(zhì)。
【文檔編號(hào)】B28D5/00GK203919417SQ201420343802
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月24日
【發(fā)明者】張舉祥 申請(qǐng)人:江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司
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