專利名稱：具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種線切割技術，特別是涉及一種采用單個貯絲滾筒的金剛線截
斷機。
背景技術：
線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術，它的原理是通過一根高速運 動的鋼線帶動附著在鋼線上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割目 的。線切割技術與傳統的刀鋸片、砂輪片及內圓切割相比有具有效率高，產能高，精度高等 優(yōu)點。 在對工件的切割過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線
網，而待加工工件通過工作臺的上升下降實現工件的進給，并在壓力泵在的作用下，裝配在
設備上的研磨劑自動噴灑裝置將研磨劑噴灑至鋼線和工件的切削部位，由鋼線帶動研磨劑
往復運動，利用研磨砂對工件產生切削，以將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片，在
上述的作業(yè)中，鋼線的作用舉足輕重，但即便最好的鋼線，其延伸度及耐磨度也是有限度
的，也就是說鋼線在帶動研磨劑往復運動中會逐漸變細，直至最終被拉斷。 在現有技術中，常見的線切割設備(機床)都會設計鋼線張力補償機構，為彌補鋼
線往返行走中的延伸度，鋼線的抽出及巻取均是獨立驅動的，即在鋼線左、右運動中把鋼線
抽出、巻取的。因此一根鋼線要在其拉伸強度限度內克服鋼線所受到的所有阻力，才會對鋼
線進行巻取。但是，如此一來就不得不在設備的走絲系統中配置兩個貯絲滾筒，即一個用于
放線，另一個用于收線，相應地，每一個貯絲滾筒都需要單獨裝配一個驅動電機。由于線切
割設備(機床)具有兩個獨立驅動貯絲滾筒，在運行及維護過程中，分立元件的調節(jié)非常不
方便，操作步驟也相當繁瑣，增加了調節(jié)的技術難度，再者，每一個貯絲滾筒都需要單獨裝
配一個驅動電機也大大增加了設備的成本。 另外，現有技術中運用的鋼線往往需要配合研磨劑才能進行切割作業(yè)，不但增加 了用料成本，也會導致后續(xù)對設備及工件的清洗十分不便，而且研磨液的回收難度很大，對 工件的污染也比較嚴重，實為不容忽視的一大問題。 所以，如何提供一種線切割設備，以避免以上所述的缺點，實為相關領域之業(yè)者目 前亟待解決的問題。

發(fā)明內容鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種具有單貯絲滾筒 的金剛線截斷機，以解決現有技術中在設備中配置多個貯絲滾筒及驅動電機而導致的設備 成本昂貴的問題。 本實用新型的另一目的在于提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，以降低用
料的成本、解決工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題。 為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其至少包括貯絲筒、用于驅動所述貯絲筒于正向或逆向旋轉的電機、均勻地纏繞在所述貯絲筒上的切割絲、用于對所述切割絲進行導向的第一導絲輪及第二導絲輪、以及切割輥，其特征在于所述貯絲筒及電機的數量均為一個，且纏繞在所述貯絲筒上的切割絲為一層；所述第一導絲輪及第二導絲輪之間設置有張力補償裝置，所述張力補償裝置具有用以調整所述切割絲張力的調整輪，以及用于拉動所述調整輪于水平方向運動的氣動伸縮件。 本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述切割絲為表層具有金剛砂的金剛線，且纏繞在所述貯絲筒上的切割絲為單層，進而避免了多層切割絲易交錯而發(fā)生糾纏的問題。 本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述張力補償裝置還具有一滑塊，所述滑塊一端連接所述調整輪，另一端連接所述氣動伸縮件，具體地，所述滑塊滑動設置于一滑軌上，且所述滑塊與滑軌之間設有多個滾珠。所述氣動伸縮件具有一氣缸以及可根據所述氣缸內氣壓變化做伸縮運動的伸縮桿，所述氣缸具有一進氣口，用于向所述氣缸內輸送氣壓。 如上所述，本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，采用了單一貯絲筒及電機，并配合有張力補償裝置，進而解決了現有技術中需要在設備的走絲系統中配置多個貯絲滾筒到達補償張力的目的，而導致的成本昂貴的問題；再者，本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述切割絲為表層具有金剛砂的金剛線，避免了浪費用料、解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題，進而提高產品合格率也提高了設備的運行效率，即有效克服了現有技術中的種種缺點。

圖1顯示本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機的走絲示意圖。 圖2為本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機的張力補償裝置結構示意圖。 元件標號的簡單說明11貯絲筒12電機13切割絲14第一導絲輪15第二導絲輪16切割輥17張力補償裝置171調整輪172氣動伸縮件1721氣缸1722伸縮桿1723進氣口173滑塊
4[0029]18滑軌19滾珠2工件
具體實施方式以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說 明書所揭示的內容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外 不同的具體實方式加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用， 在不背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。 請參閱圖1及圖2，其顯示為本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機的實 施方式示意圖。如圖所示，本實用新型提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，用于對例 如晶體硅等工件2進行切割或截斷作業(yè)，本實施例中，所述具有單貯絲滾筒的金剛線截斷 機至少包括貯絲筒11、電機12、切割絲13、第一導絲輪14、第二導絲輪15、切割輥16、以及 張力補償裝置17。然，并不僅限于此，為簡化的示意圖式，而僅以示意方式說明本實用新型 的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機有關的組件 而非按照實際實施時的組件數目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數量及比 例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復雜。 所述切割絲13均勻地纏繞在所述貯絲筒11上，所述切割絲13藉由所述電機12 驅動，于具體的運行過程中，所述電機12于正向或反向交替旋轉，以使所述切割絲13往復 運動以達到對所述工件2的截斷作業(yè)。本實用新型重點指出的是，所述金剛線截斷機的貯 絲筒11及電機12的數量均為一個，于現有技術中的設備相比，則達到了降低成本的目的。 本實用新型還要重點指出的是，本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機所 采用的切割絲13為表層具有金剛砂的金剛線，選用該種金剛線在加工過程中避免使用具 有研磨砂的研磨液，不但減少了用料成本，也解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大， 以及對工件污染嚴重的問題。 本發(fā)明再要重點指出的是，本發(fā)明之金剛線截斷機所纏繞在所述貯絲筒11上的 切割絲13為單層，進而避免了現有技術中采用多層貯絲的切割絲易交錯而發(fā)生糾纏的問 題。 所述第一導絲輪14及第二導絲輪15用于對所述切割絲13進行導向或改變所述 切割絲13的路徑，所述切割輥16具有一個即用切割槽(未圖示)及多個備用切割槽(未 圖示)，所述切割絲13經由所述導絲輪14或15引導并纏繞在所述切割輥16的即用切割槽 中，以確保所述切割絲13在反復運行中不發(fā)生跳絲現象。 本實用新型的金剛線截斷機采用了單一貯絲筒11及電機12，并配合有張力補償 裝置17以到達補償所述切割絲13因反復運行而產生張力的目的。于本實施例中，所述張 力補償裝置17包括調整輪171、氣動伸縮件172以及滑塊173。 所述調整輪171位于所述第一導絲輪14及第二導絲輪15之間，具體地，所述切割 絲13自所述貯絲筒11以此經過所述第一導絲輪14、調整輪171、第二導絲輪15、切割輥16， 最后返回所述貯絲筒ll。 所述調整輪171固定所述滑塊173上，所述滑塊173滑動設置于一滑軌18上，且
5所述滑塊173與滑軌18之間設有多個滾珠19，以使所述滑塊173于滑軌18上輕松滑行。[0041] 所述氣動伸縮件172具有一個氣缸1721以及可根據所述氣缸1721內氣壓變化做伸縮運動的伸縮桿1722，S卩，所述伸縮桿1722可在所述氣缸1721內做活塞運動，所述氣缸1721具有一個進氣口 1723，用于向所述氣缸1721內輸送氣壓。 于具體的實施方式中，所述伸縮桿1722之遠端固定于所述滑塊173上，用于拉動所述滑塊173的調整輪171于水平方向運動，所述進氣口 1723藉由一通氣導管(未圖示)連通有一加壓裝置(未圖示)，用以對所述氣缸1721進行加壓。較詳細地，所述加壓裝置可設置一個恒定氣壓，以使所述氣缸1721內的伸縮桿1722也受到一個恒定值，這樣可使所述氣動伸縮件172帶動所述調整輪171保持一個穩(wěn)定狀態(tài)，當補償纏繞于所述調整輪171上的切割絲13產生的張力發(fā)生變化的時候，所述氣動伸縮件172之伸縮桿1722會拉動所述滑塊173的調整輪171于水平方向運動，進而達到調節(jié)的效果，以補償了該張力的變化。[0043] 綜上所述，本實用新型主要是在采用了單一貯絲筒及電機，并配合有張力補償裝置，進而解決了現有技術中需要在設備的走絲系統中配置多個貯絲滾筒到達補償張力的目的，而導致的成本昂貴的問題；再者，本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述切割絲為表層具有金剛砂的金剛線，避免了浪費用料、解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題，進而提高產品合格率也提高了設備的運行效率，即有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業(yè)利用價值。 上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟習此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由后述的權利要求所涵蓋。
權利要求一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其至少包括貯絲筒、用于驅動所述貯絲筒于正向或逆向旋轉的電機、均勻地纏繞在所述貯絲筒上的切割絲、用于對所述切割絲進行導向的第一導絲輪及第二導絲輪、以及切割輥，其特征在于所述貯絲筒及電機的數量均為一個，且纏繞在所述貯絲筒上的切割絲為一層；所述第一導絲輪及第二導絲輪之間設置有張力補償裝置，所述張力補償裝置具有用以調整所述切割絲張力的調整輪，以及用于拉動所述調整輪于水平方向運動的氣動伸縮件。
2. 如權利要求1所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述切割絲為表層具有金剛砂的金剛線。
3. 如權利要求1所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述張力補償裝置還具有一滑塊。
4. 如權利要求3所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述滑塊一端連接所述調整輪，另一端連接所述氣動伸縮件。
5. 如權利要求4所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述滑塊滑動設置于一滑軌上。
6. 如權利要求5所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述滑塊與滑軌之間設有多個滾珠。
7. 如權利要求1所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述氣動伸縮件具有一氣缸以及可根據所述氣缸內氣壓變化做伸縮運動的伸縮桿。
8. 如權利要求7所述的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述氣缸具有一進氣口。
專利摘要本實用新型提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其至少包括貯絲筒、用于驅動該旋轉的電機、均勻地纏繞在所述貯絲筒上的切割絲、用于對該切割絲進行導向的第一導絲輪及第二導絲輪、及切割輥，其中，該貯絲筒及電機的數量僅為一個，大大降低了設備的成本；且纏繞在該貯絲筒上的切割絲為一層，避免了多層切割絲因交錯而發(fā)生糾纏；該第一導絲輪及第二導絲輪之間設置有張力補償裝置，該張力補償裝置具有用以調整該切割絲張力的調整輪，以及用于拉動該調整輪于水平方向運動的氣動伸縮件，以補償該切割絲在往返運動中產生的張力，進而解決了現有技術中需要在設備的走絲系統中配置多個貯絲滾筒到達補償張力的目的，而導致的成本昂貴的問題。
文檔編號B23H7/02GK201483106SQ20092007432
公開日2010年5月26日 申請日期2009年7月24日 優(yōu)先權日2009年7月24日
發(fā)明者盧建偉 申請人:上海日進機床有限公司