LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料及制備方法
【專利摘要】本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，在滿足950℃以下低溫?zé)Y(jié)的情況下，提供一種具有低矯頑力、低鐵磁共振線寬和高飽和磁化強度特性的LiZnTi鐵氧體材料，用于LTCC移相器。該鐵氧體材料由主料和玻璃相助燒劑構(gòu)成，其中主料重量百分比為99.3～99.85％、玻璃相助燒劑重量百分比為0.15～0.7％；所述主料以Li2CO3、ZnO、TiO2和Fe2O3為原料，按照分子式Li0.43Zn0.27Ti0.13Fe2.17O4配制；所述玻璃相助燒劑按比例52.45mol％Li2O，31.06mol％B2O3，11.99mol％SiO2，2mol％CaO和2.5mol％Al2O3配料后經(jīng)12h球磨，加熱至1150℃保溫1h，降溫至1000℃快速淬火制成。該鐵氧體材料制備方法成功地將LiZnTi鐵氧體的燒結(jié)溫度降至900℃左右，并保持LiZnTi鐵氧體材料優(yōu)異的旋磁性能，從而使得該材料能與銀電極共燒可廣泛用于LTCC移相器的制造。
【專利說明】LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料及制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及LTCC技術(shù)應(yīng)用的旋磁鐵氧體材料和玻璃陶瓷制備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種低溫?zé)Y(jié)同時具有低矯頑力、低鐵磁共振線寬和高飽和磁感應(yīng)強度的旋磁鐵氧體材料及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]移相器作為關(guān)鍵元件廣泛應(yīng)用于相控陣陣列天線系統(tǒng)及相位調(diào)制通信系統(tǒng)中。近年來，電子信息技術(shù)不斷向高頻化和數(shù)字化方向發(fā)展，元器件包括移相器實現(xiàn)小型化，集成化以至模塊化顯得越來越迫切。利用LTCC(低溫共燒陶瓷)技術(shù)實現(xiàn)移相器小型化越來越引起研究者的廣泛興趣。其中，LTCC的共燒溫度一般在800°C~950°C之間。然而，作為移相器主要應(yīng)用材料，傳統(tǒng)方法制備LiZnTi鐵氧體的燒結(jié)溫度高于LTCC技術(shù)中與銀電極共燒的最高溫度(961°C )。因此，降低LiZnTi鐵氧體材料的燒結(jié)溫度同時保持優(yōu)異的旋磁性能是亟待解決的技術(shù)難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，在滿足950°C以下低溫?zé)Y(jié)的情況下，提供一種具有低矯頑力、低鐵磁共振線寬和高飽和磁化強度特性的LiZnTi鐵氧體材料，用于LTCC移相器。同時，本發(fā)明還提供該LiZnTi鐵氧體材料的制備方法。 [0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料，由主料和玻璃相助燒劑構(gòu)成，其中主料重量百分比為99.3~99.85 %、玻璃相助燒劑重量百分比為
0.15~0.7%，其特征在于，所述主料以Li2C03、ZnO、T12和Fe2O3為原料，按照分子式Li0.43Zn0.27Ti0.13Fe2.1704 配制；所述玻璃相助燒劑以 Li2O, B2O3, S12, CaO 和 Al2O3 為原料，按比例 52.45mol% Li2O, 31.06mol% B2O3,11.99mol% Si02,2mol% CaO 和 2.5mol% Al2O3 配制。
[0005]優(yōu)選的，所述主料中原料Li2C03、ZnO、T12和Fe2O3摩爾比為43:54:26:217 ;所述玻璃相助燒劑配料后經(jīng)12h球磨，加熱至1150°C保溫lh，降溫至1000°C快速淬火制成。
[0006]上述LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料的制備方法，包括以下步驟:
[0007]步驟1.以 Li2C03、Zn0、Ti02 和 Fe2O3 為原料，按照分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe^17O4 配制得主粉體；
[0008]步驟2.將步驟I配制得主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加入去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干、過80目篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升溫至780~800°C保溫2h，即制備得主料；
[0009]步驟3.以 Li2O, B2O3, S12, CaO 和 Al2O3 為原料，按比例 52.45mol % Li2O,31.06mol% B2O3,11.99mol% Si02,2mol% CaO 和 2.5mol% Al2O3 配料，用濕磨法球磨 12h,取出后在100~120°C下烘干、過80目篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升溫至1150°c保溫lh，降溫至1000°C取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒，即制備得LBSCA玻璃相助燒劑；
[0010]步驟4.在步驟2所得主料中加入LBSCA玻璃相助燒劑，配成粉料，其中主料重量百分比為99.3~99.85%、玻璃相助燒劑重量百分比為0.15~0.7% ;按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在900~920°C下燒結(jié)2h即制備得LiZnTi鐵氧體材料。
[0011]本發(fā)明提供一種LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料及制備方法，該制備方法成功地將LiZnTi鐵氧體的燒結(jié)溫度降至900°C左右，并保持LiZnTi鐵氧體材料優(yōu)異的旋磁性能，從而使得該材料能與銀電極共燒可廣泛用于LTCC移相器的制造。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明制備得LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體SEM圖，
[0013]從圖中可以看到，LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體微結(jié)構(gòu)致密，氣孔率低，平均粒徑約為5.5 μ m。
【具體實施方式】
[0014]本發(fā)明提供一種LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料及其制備方法，可通過下列非限定性實施例得到更加清楚的描述。
[0015]實施例1:
[0016](I)首先將 Li2C03、ZnO、T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0017](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0018](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；[0019](4)將步驟(2)所得的主料加入重量百分比為0.3%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在900°C下燒結(jié)2h即可得旋磁鐵氧體材料。飽和磁感應(yīng)強度、矯頑力用日本巖崎SY-8232B-H分析儀測試，密度用排煤油法測試，根據(jù)實測密度與理論密度計算孔隙率，按IEC標準在9.3GHz下測量樣品的鐵磁共振線寬。
[0020]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:358mT,鐵磁共振線寬ΛΗ:1830e，矯頑力 H。: 162A/m，矩形比 Br/Bs:0.81，孔隙率 p:5.8%0
[0021]實施例2:[0022](I)首先將 Li2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe^17O4 配制成主粉體；
[0023](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0024](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；
[0025](4)將步驟(2)所得的主料加入重量百分比為0.4%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在900°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0026]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:350mT,鐵磁共振線寬ΛΗ:1800e，矯頑力 Hc: 187A/m,矩形比 Br/Bs:0.81，孔隙率 p:5.5%0
[0027]實施例3:
[0028](I)首先將 Li 2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0029](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2°C /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0030](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；
[0031](4)將步驟⑵所得的主料加入重量百分比為0.55%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在900°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0032]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:345mT,鐵磁共振線寬ΛΗ:1750e，矯頑力 Hc: 183A/m,矩形比 Br/Bs:0.82，孔隙率 p:5.5%0
[0033]實施例4:
[0034](I)首先將 Li2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0035](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h左右；
[0036](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；
[0037](4)將步驟⑵所得的主料加入重量百分比為0.7%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在900°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0038]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:338mT,鐵磁共振線寬AH:1680e，矯頑力 Hc:197A/m,矩形比 Br/Bs:0.82，孔隙率 p:5.0%o
[0039]實施例5:
[0040](I)首先將 Li2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0041](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩 后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0042](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；
[0043](4)將步驟(2)所得的主料加入重量百分比為0.15%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在920°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0044]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:366mT,鐵磁共振線寬AH:2000e，矯頑力 Hc:153A/m,矩形比 Br/Bs:0.82，孔隙率 p:6.1%?
[0045]實施例6:
[0046](I)首先將 Li2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0047](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0048](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；[0049](4)將步驟⑵所得的主料加入重量百分比為0.3%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在920°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0050]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:360mT,鐵磁共振線寬ΛΗ:1820e，矯頑力 Hc: 168A/m,矩形比 Br/Bs:0.82，孔隙率 p:5.3%?
[0051]實施例7:
[0052](1)首先將 Li2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0053](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0054](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；
[0055](4)將步驟(2)所得的主料加入重量百分比為0.4%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在920°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0056]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:347mT,鐵磁共振線寬AH:1610e，矯頑力 Hc:174A/m,矩形比 Br/Bs:0.82，孔隙率 p:4.8%0
[0057]實施例8:
[0058](1)首先將 Li2CO3^ZnO,T12 和 Fe2O3 按分子式 Lia43Zna27Tiai3Fe2^7O4 配制成主粉體；
[0059](2)將步驟(1)配制好的主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升至780~800°C保溫2h
左右；
[0060](3)助燒劑 LBSCA 玻璃以 52.45mol % Li2O, 31.06mol % B2O3,11.99mol % S12,2mol% CaO和2.5mol% Al2O3配料，用濕磨法球磨12h，取出后在100~120°C下烘干，以80目的篩網(wǎng)過篩，過篩后的粉料放入坩堝以2V /min的升溫速率由室溫升至1150°C保溫lh，降溫至1000°C左右取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒；
[0061](4)將步驟⑵所得的主料加入重量百分比為0.55%的LBSCA玻璃粉末，配成粉料，按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10%有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在920°C下燒結(jié)2h即可得微波旋磁鐵氧體材料。
[0062]該LiZnTi鐵氧體材料的旋磁性能為:飽和磁感應(yīng)強度Bs:340mT,鐵磁共振線寬Δ H:1380e，矯頑力 Hc: 188A/m,矩形比 Br/Bs:0.83，孔隙率 p:4.5%0
[0063]綜上，本發(fā)明提供一種LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料及制備方法，該制備方法成功地將LiZnTi鐵氧體的燒結(jié)溫度降至900°C左右，并保持LiZnTi鐵氧體材料優(yōu)異的旋磁性能，從而使得該材料 能與銀電極共燒可廣泛用于LTCC移相器的制造。
【權(quán)利要求】
1.LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料，由主料和玻璃相助燒劑構(gòu)成，其中主料重量百分比為99.3~99.85%、玻璃相助燒劑重量百分比為0.15~0.7%，其特征在于，所述主料以Li2CO3' Zn。、T12和Fe2O3為原料，按照分子式Li0.43Zn0.27Ti0.13Fe2.1704配制；所述玻璃相助燒劑以 Li2O, B2O3, S12, CaO 和 Al2O3 為原料，按比例 52.45mol% Li20，31.06mol% B2O3,11.99mol% Si02,2mol% CaO 和 2.5mol% Al2O3 配制。
2.按權(quán)利要求1所述LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料，其特征在于，所述主料中原料Li2C03> ZnO, T12 和 Fe2O3 摩爾比為 43:54:26:217。
3.按權(quán)利要求1所述LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料，其特征在于，所述玻璃相助燒劑配料后經(jīng)12h球磨，加熱至1150°C保溫lh，降溫至1000°C快速淬火制成。
4.LTCC移相器用LiZnTi鐵氧體材料的制備方法，包括以下步驟: 步驟1.以Li2C03、Zn0、Ti02和Fe2O3為原料，按照分子式Lia43Zna27Tiai3Fe2J7O4配制得主粉體； 步驟2.將步驟I配制得主粉體混合均勻，按照主粉體與去離子水的重量比為1:1.5向主粉體中加入去離子水，采用濕磨法混合4~5h，取出后在100~120°C下烘干、過80目篩，過篩后的主粉料以2V /min的升溫速率由室溫升溫至780~800°C保溫2h，即制備得主料；
步驟 3.以 Li2O, B2O3, S12, CaO 和 Al2O3 為原料，按比例 52.45mol % Li2O, 31.06mol%B203，11.99mol% S12, 2mol % CaO 和 2.5mol % Al2O3 配料，用濕磨法球磨 12h，取出后在100~120°C下烘干、過80目篩，過篩后的粉料放入坩堝以2°C /min的升溫速率由室溫升溫至1150°C保溫lh，降溫至1000°C取出倒入去離子水中快速淬火，烘干后磨成微米級顆粒，即制備得LBSCA玻璃相助燒劑； 步驟4.在步驟2所得主料中加入LBSCA玻璃相助燒劑，配成粉料，其中主料重量百分比為99.3~99.85%、玻璃相助燒劑重量百分比為0.15~0.7% ;按照粉料與去離子水的重量比為1:1向粉料中加去離子水，球磨6h后取出，放入烘箱在100~120°C下烘干，將所得粉料按重量比加入10 %有機粘合劑造粒后壓制成坯件，再將坯件放入氣氛爐內(nèi)，于氧氣氛中，在900~920°C下燒結(jié)2h即制備得LiZnTi鐵氧體材料。
【文檔編號】C04B35/622GK104030671SQ201410252398
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年6月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月9日
【發(fā)明者】張懷武, 周廷川, 廖宇龍, 賈利軍 申請人:電子科技大學(xué)