一種酸浸裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種酸浸裝置，包括酸槽、酸過濾系統(tǒng)和酸加熱系統(tǒng)，所述酸過濾系統(tǒng)包括酸泵和酸過濾器，所述酸泵的一端連接酸槽的底部，另一端連接酸過濾器的進(jìn)口，所述酸過濾器的出口連接酸槽的頂部。所述酸加熱系統(tǒng)包括加熱器和換熱器；所述加熱器連接換熱器，所述換熱器置于所述酸槽中。所述酸加熱系統(tǒng)還包括測(cè)溫儀，測(cè)溫儀連接加熱器的溫控系統(tǒng)。本實(shí)用新型通過酸過濾系統(tǒng)對(duì)酸液經(jīng)高效過濾器強(qiáng)制過濾，有效去除酸液內(nèi)漂浮物，降低酸液中氟硅酸含量，減緩酸液中金屬元素增長(zhǎng)的速度，延長(zhǎng)酸液使用的周期。本實(shí)用新型還通過酸加熱系統(tǒng)對(duì)酸液持續(xù)加熱，通過溫控系統(tǒng)對(duì)酸液溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)了酸液恒溫控制工藝要求，提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】一種酸浸裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種酸浸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]決定半導(dǎo)體用石英玻璃管質(zhì)量的一個(gè)重要因素就是其表面的潔凈度，因半導(dǎo)體用材料的純度都是以PPM級(jí)量化，所以對(duì)其表面要求同樣很高。又因半導(dǎo)體用石英玻璃管材經(jīng)酸浸工序處理，所以對(duì)酸浸半導(dǎo)體用石英玻璃管材的酸液雜質(zhì)含量要求也很高?，F(xiàn)有石英管酸浸都在簡(jiǎn)易酸槽內(nèi)進(jìn)行，而該酸槽無過濾功能，酸液與石英玻璃表面反應(yīng)產(chǎn)生一些雜質(zhì)如漂浮物、金屬元素以及氟硅酸等，當(dāng)這些雜質(zhì)積累到一定量時(shí)對(duì)石英玻璃管材的表面產(chǎn)生污染，為了保證半導(dǎo)體石英玻璃管的質(zhì)量，需要對(duì)酸液進(jìn)行頻繁更換，而酸液頻繁更換又增加了生產(chǎn)成本。
[0003]對(duì)于半導(dǎo)體用石英管材表面的刻蝕量工藝上要求是一個(gè)固定值，影響石英玻璃管材表面刻蝕量的因素主要包括酸浸時(shí)間、酸液濃度和酸液溫度。對(duì)于酸浸時(shí)間以及酸液濃度這兩個(gè)因素在生產(chǎn)過程中是可控的，而使用沒加熱設(shè)備的簡(jiǎn)易酸槽，其酸液溫度是不可控的，酸液溫度會(huì)因環(huán)境溫度變化而變化。為了滿足石英管材表面刻蝕量定值要求，當(dāng)酸液溫度降低時(shí)必須延長(zhǎng)石英管材酸浸時(shí)間，而延長(zhǎng)酸浸時(shí)間就大大降低生產(chǎn)效率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種酸浸裝置，適用于半導(dǎo)體石英玻璃管。
[0005]本實(shí)用新型提供一種酸浸裝置，包括酸槽、酸過濾系統(tǒng)和酸加熱系統(tǒng)，所述酸過濾系統(tǒng)、酸加熱系統(tǒng)均與酸槽連通。
[0006]進(jìn)一步地，所述酸過濾系統(tǒng)包括酸泵和酸過濾器，所述酸泵的一端連接酸槽的底部，另一端連接酸過濾器的進(jìn)口，所述酸過濾器的出口連接酸槽的頂部。
[0007]進(jìn)一步地，所述酸泵與酸槽之間、酸泵與酸過濾器之間、酸過濾器與酸槽之間均通過酸管道連通。
[0008]進(jìn)一步地，所述酸加熱系統(tǒng)包括加熱器和換熱器；所述加熱器連接換熱器，所述換熱器置于所述酸槽中。
[0009]進(jìn)一步地，所述加熱器通過循環(huán)水管道連接換熱器。
[0010]進(jìn)一步地，所述酸加熱系統(tǒng)還包括測(cè)溫儀，所述測(cè)溫儀設(shè)置于酸槽中。
[0011]進(jìn)一步地，所述加熱器內(nèi)具有溫控系統(tǒng)，所述測(cè)溫儀連接所述溫控系統(tǒng)。
[0012]進(jìn)一步地，所述換熱器采用材質(zhì)為聚四氟乙烯的換熱片。
[0013]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0014]本實(shí)用新型提供一種酸浸裝置，作為一種新型的適用于半導(dǎo)體石英管的過濾恒溫酸浸裝置，一方面，通過酸過濾系統(tǒng)對(duì)酸液經(jīng)高效過濾器強(qiáng)制過濾，有效去除酸液內(nèi)漂浮物，降低了酸液中氟硅酸含量并使其保持在一個(gè)穩(wěn)定值，減緩了酸液中金屬元素增長(zhǎng)的速度，從而延長(zhǎng)了酸液使用的周期，降低了生產(chǎn)成本。另一方面，通過酸加熱系統(tǒng)對(duì)酸液持續(xù)加熱，通過溫控系統(tǒng)即測(cè)溫儀對(duì)酸液溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)了酸液恒溫控制工藝要求，提高了
生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型提供的酸浸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中:1-酸槽；2_酸泵；3_酸過濾器；4_加熱器；5_換熱器；6_酸管道；7_測(cè)溫儀；8_石英管支架；9_半導(dǎo)體石英管；10-循環(huán)水管道。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本實(shí)用新型并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0018]本實(shí)用新型提供一種酸浸裝置，如圖1所示，包括酸槽1、酸過濾系統(tǒng)和酸加熱系統(tǒng)。將待酸浸的半導(dǎo)體石英管9設(shè)置于酸槽I中，并通過石英管支架8承載半導(dǎo)體石英管9。
[0019]所述酸過濾系統(tǒng)包括酸泵2、酸過濾器3和酸管道。利用所述酸液過濾進(jìn)行酸液過濾的過程如下:首先所述酸槽I中的酸液經(jīng)酸管道6進(jìn)入所述酸泵2中，并通過酸泵2打入酸過濾器2中，酸液經(jīng)所述酸過濾器2過濾后再通過酸管道6返回酸槽I，這樣實(shí)現(xiàn)酸液循環(huán)過濾。所述酸過濾器2 —般由濾袋和濾芯組成，通過選擇不同孔徑濾芯來實(shí)現(xiàn)過濾酸液中不同粒徑雜質(zhì)。
[0020]所述酸加熱系統(tǒng)包括加熱器4、循環(huán)水管道10、換熱器5和測(cè)溫儀7四部分。所述酸加熱過程進(jìn)行酸液加熱的過程如下:循環(huán)水經(jīng)加熱器4加熱后經(jīng)循環(huán)水管道10進(jìn)入換熱器5內(nèi)，換熱器5置于酸槽I的底部,換熱器5以熱傳導(dǎo)方式對(duì)酸槽I中的酸液持續(xù)加熱，換熱器5內(nèi)循環(huán)水因熱量損耗而溫度降低，溫度降低循環(huán)水通過循環(huán)水管道10再回到加熱器4內(nèi)再次進(jìn)行加熱。這樣通過換熱器5的熱傳導(dǎo)方式實(shí)現(xiàn)對(duì)酸液持續(xù)加熱。對(duì)于酸液溫度控制通過酸槽I內(nèi)測(cè)溫儀7檢測(cè)溫度信號(hào)，將測(cè)溫儀7設(shè)置于酸液中進(jìn)行測(cè)溫，并將溫度信號(hào)反饋給加熱器4中的溫控系統(tǒng)來調(diào)節(jié)的。當(dāng)酸液溫度達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)，控制加熱器4停止工作，當(dāng)溫度低于設(shè)定溫度時(shí)，酸加熱系統(tǒng)自動(dòng)運(yùn)行。這樣實(shí)現(xiàn)對(duì)酸槽酸液恒溫控制。所述換熱器5為換熱片，采用一種新型材料，即聚四氟乙烯，它具有耐高溫、耐氫氟酸腐蝕以及熱傳導(dǎo)性能好等多種優(yōu)點(diǎn)。
[0021]以上所述實(shí)施例僅是為充分說明本實(shí)用新型而所舉的較佳的實(shí)施例，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于此。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種酸浸裝置，其特征在于，包括酸槽、酸過濾系統(tǒng)和酸加熱系統(tǒng)，所述酸過濾系統(tǒng)、酸加熱系統(tǒng)均與酸槽連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸浸裝置，其特征在于，所述酸過濾系統(tǒng)包括酸泵和酸過濾器，所述酸泵的一端連接酸槽的底部，另一端連接酸過濾器的進(jìn)口，所述酸過濾器的出口連接酸槽的頂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸浸裝置，其特征在于，所述酸泵與酸槽之間、酸泵與酸過濾器之間、酸過濾器與酸槽之間均通過酸管道連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的酸浸裝置，其特征在于，所述酸加熱系統(tǒng)包括加熱器和換熱器；所述加熱器連接換熱器，所述換熱器置于所述酸槽中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的酸浸裝置，其特征在于，所述加熱器通過循環(huán)水管道連接換熱器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的酸浸裝置，其特征在于，所述酸加熱系統(tǒng)還包括測(cè)溫儀，所述測(cè)溫儀設(shè)置于酸槽中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的酸浸裝置，其特征在于，所述加熱器內(nèi)具有溫控系統(tǒng)，所述測(cè)溫儀連接所述溫控系統(tǒng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的酸浸裝置，其特征在于，所述換熱器采用材質(zhì)為聚四氟乙烯的換熱片。
【文檔編號(hào)】C03C15/00GK203683382SQ201320795219
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】陳士斌, 周明強(qiáng), 徐同根, 厲廣強(qiáng) 申請(qǐng)人:江蘇太平洋石英股份有限公司