一種防止線(xiàn)切割鋼絲斷裂提高硅片得片率的方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種防止切割鋼絲斷裂提高硅棒得片率的方法，包括子錠坯的切割、子錠硅棒的切割、子錠硅棒粘接、切割鋼絲線(xiàn)分布切割步驟，其中，子錠硅棒由硅片切割區(qū)段和工藝保護(hù)段組成，在硅片切割區(qū)段兩端均設(shè)有工藝保護(hù)段；在分布切斷鋼絲線(xiàn)時(shí)，確保每一組切割鋼絲中位于外側(cè)的兩條鋼絲線(xiàn)落在硅片切割區(qū)段內(nèi)。由于在待切片子錠硅棒的兩端預(yù)留了工藝保護(hù)段，在硅片切割過(guò)程中，位于子錠硅棒兩端的工藝保護(hù)段對(duì)最外端的硅片起到保護(hù)作用，能防止硅片出現(xiàn)裂片、缺角、崩邊等缺陷，提高硅棒的出片率和合格率，又能有效防止切割鋼絲因受力不均而導(dǎo)致的斷線(xiàn)缺陷。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種防止線(xiàn)切割鋼絲斷裂提高硅片得片率的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】:
[0001]本發(fā)明涉及多晶硅片的線(xiàn)切割技術(shù)，尤其涉及一種防止硅片的線(xiàn)切割鋼絲斷裂，提高硅片合格率和得片率的方法。
技術(shù)背景:
[0002]太陽(yáng)能多晶硅片是太陽(yáng)能電池片的最基礎(chǔ)原料?，F(xiàn)有的多晶硅片的生產(chǎn)方法為多線(xiàn)切割。在加工多晶硅片前，先對(duì)硅錠進(jìn)行切方得到橫截面為方形的子錠坯，然后對(duì)方形子錠坯進(jìn)行少子壽命檢測(cè)，將方形子錠坯兩頭少子壽命低的部分(即無(wú)效長(zhǎng)度部分)截除得到子錠硅棒，最后將子錠硅棒粘接在工件板上，其粘接結(jié)構(gòu)如圖1所示，子錠硅棒I通過(guò)玻璃底板2粘接在工件板3上，在子錠硅棒I的外露側(cè)面粘合有垂直玻璃4，用多線(xiàn)切割機(jī)進(jìn)行切割，使多晶子錠加工成多晶硅片。在加工過(guò)程中，位于子錠兩頭的硅片在切割開(kāi)始或臨近切割結(jié)束時(shí)，由于受到砂漿的沖擊極易出現(xiàn)掉片、缺角、崩邊等情況，同時(shí)，由于子錠兩頭的端面都存在一定角度的斜坡，導(dǎo)致位于子錠兩端的硅片厚度不均，在切割過(guò)程中，由于硅片厚度不均，鋼絲受力不均勻，因此，在切割到此處時(shí)極易引起切割鋼線(xiàn)斷線(xiàn)，即使切割鋼絲沒(méi)斷，位于兩端的硅片破損率也較高，通常每一刀都有10多片缺陷硅片產(chǎn)生，這樣不僅影響硅棒的得片率，而且影響切割硅片切割的質(zhì)量，同時(shí)增加了停機(jī)接線(xiàn)時(shí)間，對(duì)于高質(zhì)量要求的硅片切割整卷鋼絲將全部報(bào)廢，如果在子錠硅棒I的外露端不增設(shè)垂直玻璃板4，每刀切割產(chǎn)生的缺陷硅片數(shù)量會(huì)更大。

【發(fā)明內(nèi)容】
:
[0003]本發(fā)明的目的是提供一種防止切割鋼絲斷裂提高硅棒得片率的方法，它既能防止切割鋼絲斷裂，又能提高硅棒的得片率和合格率。
[0004]本發(fā)明采取的技術(shù)方案包括如下步驟:
[0005]第一步，方形子錠坯的切割:將多晶硅錠切割成方形子錠坯；
[0006]第二步，待切片子錠硅棒的切割:將第一步得到的方形子錠坯進(jìn)行少子壽命檢測(cè)，根據(jù)少子壽命參數(shù)高低確定硅片切割區(qū)段和位于硅片切割區(qū)段兩端的硅棒無(wú)效區(qū)段，并在分界處打上標(biāo)記線(xiàn)，在截除兩端的硅棒無(wú)效區(qū)段時(shí)，在硅片切割區(qū)段的兩端各預(yù)留2?5_的工藝保護(hù)段，經(jīng)切割得到帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒，這種帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒，由硅片切割區(qū)段和工藝保護(hù)段組成，在硅片切割區(qū)段兩端均設(shè)有工藝保護(hù)段；
[0007]第三步，將帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒通過(guò)玻璃底板粘接在工件板上，使相鄰兩塊帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒共線(xiàn)對(duì)接；
[0008]第四步，在分布切割鋼絲線(xiàn)時(shí)，根據(jù)工件板上粘接子錠硅棒的塊數(shù)確定切割鋼絲分組數(shù)，在分布切斷鋼絲線(xiàn)時(shí)，確保每一組切割鋼絲中位于外側(cè)的兩條鋼絲線(xiàn)落在硅片切割區(qū)段內(nèi)。
[0009]由于在待切片子錠硅棒的兩端預(yù)留了工藝保護(hù)段，鋼絲在切割硅棒有效長(zhǎng)度兩端的硅片時(shí)，位于兩端的硅片在切割過(guò)程中，位于子錠硅棒兩端的工藝保護(hù)段對(duì)最外端的硅片起到保護(hù)作用，不僅避免在硅片切割過(guò)程中因子錠硅棒兩端斜坡導(dǎo)致切割鋼絲線(xiàn)斷線(xiàn)，而且能有效防止最外側(cè)的硅片出現(xiàn)裂片、缺角、崩邊等缺陷，既能保證硅棒的出片率和硅片的合格率，又能有效防止切割鋼絲因受力不均而導(dǎo)致的斷線(xiàn)缺陷。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中子徒娃棒粘接在工件板上的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0011]圖2為帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒粘接在工件板上的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖4為帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒的切割示意圖；
[0014]圖5為切割帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒時(shí)切割鋼絲的分布示意圖。
[0015]圖中，1-子錠硅棒；2_玻璃底板；3_工件板；4_垂直玻璃板；5_切割鋼絲；6-導(dǎo)向輪一 ；7_導(dǎo)向輪二 ； 11-硅片切割區(qū)段；12-工藝保護(hù)段；13-標(biāo)記線(xiàn)。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】:
[0017]實(shí)施例1:一種防止切割鋼絲斷裂提高硅棒得片率的方法，
[0018]第一步，方形子錠坯的切割:將多晶硅錠切割成方形子錠坯；
[0019]第二步，待切片子錠硅棒的切割:將第一步得到的方形子錠坯進(jìn)行少子壽命檢測(cè)，根據(jù)少子壽命參數(shù)高低確定硅片切割區(qū)段11和位于硅片切割區(qū)段兩端的硅棒無(wú)效區(qū)段，并在分界處打上標(biāo)記線(xiàn)13，在截除兩端的硅棒無(wú)效區(qū)段時(shí)，在硅片切割區(qū)段11的兩端各預(yù)留2?5_的工藝保護(hù)段12，經(jīng)切割得到帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒1，這種帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒I在硅片切割區(qū)段11的兩端都設(shè)有工藝保護(hù)段12，如圖2所示；
[0020]第三步，將帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒I通過(guò)玻璃底板2粘接在工件板3上，使相鄰兩塊帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒I共線(xiàn)對(duì)接，如圖3所示；
[0021]第四步，將粘有子錠硅棒I的工件板3固定硅片切割機(jī)上，切割鋼絲5繞制導(dǎo)向輪一 6和導(dǎo)向輪二 7之間，在分布切割鋼絲線(xiàn)時(shí)，根據(jù)工件板3上粘接的三塊子錠硅棒1，使切割鋼絲5等間距地分成三組數(shù)，確保每一組切割鋼絲5中位于外側(cè)的兩條鋼絲線(xiàn)落在硅片切割區(qū)段11內(nèi)，調(diào)整時(shí)，先將每一組切割鋼絲5中的一根外側(cè)切割鋼絲5與對(duì)應(yīng)的子錠硅棒上的分界線(xiàn)13對(duì)齊，然后按硅片厚度等間距分布切割鋼絲，確保另一根外則落在硅片切割區(qū)段11內(nèi)，如圖5所示，對(duì)接處的布線(xiàn)間隔寬度為:相鄰兩塊帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒的對(duì)接端的工藝保護(hù)段12長(zhǎng)度之和再加留縫寬度，調(diào)線(xiàn)方法與現(xiàn)有技術(shù)相同；
[0022]第五步，硅片切割，按現(xiàn)有切割技術(shù)參數(shù)對(duì)子錠硅棒進(jìn)行硅片線(xiàn)切割。
[0023]本發(fā)明的實(shí)施方式很多，只要在子錠硅棒的硅片切割區(qū)段11兩端預(yù)留工藝保護(hù)段12的一切技術(shù)方案都在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種防止切割鋼絲斷裂提高硅棒得片率的方法，其特征是:包括如下步驟: 第一步，方形子錠坯的切割:將多晶硅錠切割成方形子錠坯； 第二步，待切片子錠硅棒的切割:將第一步得到的方形子錠坯進(jìn)行少子壽命檢測(cè)，根據(jù)少子壽命參數(shù)高低確定硅片切割區(qū)段和位于硅片切割區(qū)段兩端的硅棒無(wú)效區(qū)段，并在分界處打上標(biāo)記線(xiàn)(13)，在截除兩端的硅棒無(wú)效區(qū)段時(shí)，在硅片切割區(qū)段(11)的兩端各預(yù)留2?5_的工藝保護(hù)段(12)，經(jīng)切割得到帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒，這種帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒，由硅片切割區(qū)段(11)和工藝保護(hù)段(12)組成，在硅片切割區(qū)段(11)兩端均設(shè)有工藝保護(hù)段(12); 第三步，將帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒(I)通過(guò)玻璃底板(2)粘接在工件板(3)上，使相鄰兩塊帶工藝保護(hù)端的子錠硅棒(I)共線(xiàn)對(duì)接； 第四步，在分布切割鋼絲線(xiàn)時(shí)，根據(jù)工件板(3)上粘接子錠硅棒(I)的塊數(shù)確定切割鋼絲分組數(shù)，在分布切斷鋼絲線(xiàn)時(shí)，確保每一組切割鋼絲中位于外側(cè)的兩條鋼絲線(xiàn)落在硅片切割區(qū)段(11)內(nèi)。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK103522429SQ201310463517
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】楊方, 談軍, 王慶峰, 丁海軍, 陳遠(yuǎn)峰 申請(qǐng)人:國(guó)電兆晶光電科技江蘇有限公司