專(zhuān)利名稱(chēng)：一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶面板的蝕刻領(lǐng)域，尤其涉及一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法。
背景技術(shù)：
目前在FDP顯示領(lǐng)域，液晶面板玻璃廣泛的應(yīng)用于電腦、電視、手機(jī)等顯示終端。隨著市場(chǎng)需求，液晶顯示器向重量輕、高清晰等方向發(fā)展，為了達(dá)到這些特點(diǎn)與要求，大部分液晶顯示面板均采用液晶面板玻璃薄化的方式進(jìn)行。目前，液晶面板玻璃的薄化技術(shù)，主要以化學(xué)蝕刻為主，物理研磨為輔。而且此類(lèi)化學(xué)薄化均是均衡薄化。目前均衡薄化主要有四種蝕刻方式可采用1、浸泡式(Dipping) ;2、側(cè)面噴灑式(Side-Spray) ;3、瀑布流式(Cascade) ;4、頂部噴灑式(Top-Spray)。 隨著市場(chǎng)日新月異的發(fā)展，液晶顯示器等應(yīng)用終端(如電腦、電視、手機(jī)等)向智能化發(fā)展。以其中一種智能化方向觸摸技術(shù)為例，傳統(tǒng)的觸摸屏工藝結(jié)構(gòu)如圖I所示。為了降低觸摸屏的成本，簡(jiǎn)化制造工藝，近年來(lái)出現(xiàn)了將觸摸面板功能與液晶面板一體化的技術(shù)，如圖2所示。觸摸面板和液晶面板的一體化包括“In-cell”方法和“On-cell”方法。In-cell是指將觸摸面板功能嵌入到液晶像素中的方法。On-cell是指將觸摸面板功能嵌入到彩色濾光片基板(C/F)和偏光板之間的方法。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述的觸摸屏發(fā)展趨勢(shì)(工藝簡(jiǎn)化，成本降低)及解決液晶面板玻璃薄化的問(wèn)題(由于透明電極層貼附在液晶顯示器層上，在薄化的過(guò)程中需要保護(hù))，本發(fā)明目的在于提供一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，該方法同樣適用于其他需要單面保護(hù)的蝕刻玻3 。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，包括以下工序
工序A :挑選出可以進(jìn)行單面蝕刻的液晶面板玻璃，可以單面蝕刻的條件為單面厚度> 0. Imm ;
工序B :把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面進(jìn)行貼膜保護(hù)；
工序C :采用蝕刻裝置將通過(guò)工序B處理過(guò)的液晶面板玻璃進(jìn)行蝕刻；
工序D :對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行脫膜處理；
工序E :將脫膜后的液晶面板玻璃清洗干凈。作為優(yōu)選，在工序B前對(duì)通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式進(jìn)行清洗，清洗設(shè)備采用PVC自動(dòng)化清洗機(jī)，清洗液的主要成分為質(zhì)量濃度1%的KOH水溶液，清洗液的成分包括重量百分率為2% 5%的非離子型表面活性劑、重量百分率為5% 10%的KOH水溶液、重量百分率為1% 5%的葡萄糖酸鈉、重量百分率為1% 5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率為1% 5%的四鈉酸、重量百分率為70% 85%的水，清洗溫度25°C，清洗時(shí)間5分鐘。作為優(yōu)選，所述工序B是采用自動(dòng)貼膜機(jī)，把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃的兩面分別貼上TFT保護(hù)膜和C/F保護(hù)膜，并在貼膜的過(guò)程中采用靜電防護(hù)措施，貼膜過(guò)程包括以下步驟
1)C/F保護(hù)膜準(zhǔn)備將卷成卷筒的C/F保護(hù)膜的開(kāi)放端由自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸和自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)之間的間隙拉放到工作平臺(tái)的后方；
2)TFT保護(hù)膜準(zhǔn)備及產(chǎn)品投入將TFT保護(hù)膜平鋪在自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)上與C/F保護(hù)膜的位置對(duì)應(yīng)，將液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保護(hù)膜上；
3)接產(chǎn)品將液晶面板玻璃從自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)和自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸之間的間隙通過(guò)，并在工作平臺(tái)的后方接住液晶面板玻璃；
4)一次裁切在液晶面板玻璃完全通過(guò)自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)和自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸之間的間隙后，裁斷C/F保護(hù)膜；· 5)二次裁切沿著液晶面板玻璃的邊沿裁切C/F保護(hù)膜或TFT保護(hù)膜，使其與液晶面板玻璃的尺寸一致；
6)貼膜完成去除液晶面板玻璃需要蝕刻的一面上的保護(hù)膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保護(hù)膜。作為優(yōu)選，所述靜電防護(hù)措施選擇采用離子風(fēng)機(jī)對(duì)貼膜過(guò)程中產(chǎn)品的靜電進(jìn)行靜電中和，或者選擇采用防靜電膜降低貼膜過(guò)程的靜電產(chǎn)生量，其中采用防靜電膜的方式包括以下步驟
在B工序的步驟1)C/F保護(hù)膜準(zhǔn)備中增加靜電膜的準(zhǔn)備將靜電膜的一端由自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸和自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)之間的間隙拉放到工作平臺(tái)的后方，使貼膜后靜電膜位于C/F保護(hù)膜的上方；
在B工序的步驟6)貼膜完成中增加靜電膜的去除。作為優(yōu)選，所述工序C的蝕刻方式為頂部噴灑式，蝕刻時(shí)液晶面板玻璃采用專(zhuān)用PVC工裝裝載，蝕刻液為HF混酸，溫度為25±2°C。作為優(yōu)選，所述工序D的脫膜處理過(guò)程包括采用堿液加熱浸泡方式對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行化學(xué)脫膜，然后通過(guò)人工將堿液軟化的保護(hù)膜進(jìn)行手動(dòng)脫膜，所述化學(xué)脫膜的設(shè)備為PVC自動(dòng)化清洗機(jī)，所述堿液主要成分為由NaOH和DI水配置而成的質(zhì)量濃度15%的NaOH溶液，化學(xué)脫膜的溫度為50°C，時(shí)間為20分鐘；所述手動(dòng)脫膜在防靜電手動(dòng)脫模臺(tái)上進(jìn)行。作為優(yōu)選，所述工序E采用的清洗設(shè)備為流水清洗線(xiàn)，具體清洗流程為
1)投入將液晶面板玻璃投入流水清洗線(xiàn)內(nèi)；
2)堿液清洗堿液的主要成分為濃度1%的NaOH，清洗溫度為40°C；
3)DI水清洗第一階段；
4)風(fēng)切利用風(fēng)刀裝置，采用壓縮高壓氣體，將液晶面板玻璃表面水分吹干，風(fēng)刀壓力為 0. 4 0. 5mpa ；
5)打包。作為優(yōu)選，在工序E后通過(guò)觸點(diǎn)式厚度測(cè)量機(jī)對(duì)液晶玻璃面板進(jìn)行厚度檢查，并對(duì)液晶玻璃面板進(jìn)行外觀(guān)檢查，將液晶玻璃面板分為良品、可修復(fù)產(chǎn)品和報(bào)廢品。作為優(yōu)選，將檢查挑選出的可修復(fù)的產(chǎn)品通過(guò)拋光機(jī)進(jìn)行物理研磨修復(fù),拋光的輔助材料為拋光粉、拋光墊和附墊。
作為優(yōu)選，拋光后通過(guò)流水清洗線(xiàn)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行清洗，清洗流程為
1)投入將液晶面板玻璃投入流水清洗線(xiàn)內(nèi)；
2)滾刷清洗；
3)DI水清洗第一階段；
4)風(fēng)切利用風(fēng)刀裝置，采用壓縮高壓氣體，將液晶面板玻璃表面水分吹干，風(fēng)刀壓力為 0. 4 0. 5mpa ；
5)打包；
清洗后的合格品和工序E后檢查出來(lái)的良品通過(guò)OQC檢查，將產(chǎn)品進(jìn)行分類(lèi)。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明克服了均衡薄化對(duì)液晶面板玻璃兩個(gè)面進(jìn)行蝕刻的問(wèn)題，液晶面板玻璃的其中一面需要進(jìn)行保護(hù)，例如液晶面板一面上存在一層“透明電極層”(不能被腐蝕)，單面蝕刻工藝可以有效的保護(hù)有“透明電極層”的一面，而最終達(dá)到薄化的目的，也減少了工藝和成本。


圖I為傳統(tǒng)觸摸屏工藝結(jié)構(gòu) 圖2為觸摸面板與液晶面板一體化結(jié)構(gòu) 圖3為本發(fā)明的生產(chǎn)流程 圖4為液晶面板玻璃的結(jié)構(gòu)示意 圖5為PVC工裝的主視 圖6為PVC工裝的俯視 圖7為PVC工裝的左視 圖8為防靜電手動(dòng)脫模臺(tái)的主視 圖9為防靜電手動(dòng)脫模臺(tái)的俯視 圖10為防靜電手動(dòng)脫模臺(tái)的右視 圖11為液晶面板玻璃的測(cè)試點(diǎn)位置圖。
具體實(shí)施例方式作為本發(fā)明的一種實(shí)施方式，如圖3所示，一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，包括以下工序
工序A :挑選出可以進(jìn)行單面蝕刻的液晶面板玻璃，可以單面蝕刻的條件為單面厚度> 0. Imm (如圖4所示，IXD玻璃即液晶面板玻璃，是由C/F基板(即彩色濾光片)和TFT基板組合而成的液晶顯示器層。單面厚度為C/F基板或者TFT基板的厚度。目前最薄單面厚度可以做到0. 1mm)。在工序B前對(duì)通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式進(jìn)行清洗，清洗設(shè)備采用PVC自動(dòng)化清洗機(jī)(PVC自動(dòng)化清洗機(jī)的中文名稱(chēng)為蝕刻前清洗機(jī))，清洗液的主要成分為質(zhì)量濃度1%的KOH水溶液，清洗液的成分與含量如下
花W稱(chēng)I化學(xué)文摘號(hào)I重量百分率
非離子型表面活性劑一_2^5_
KOH 水溶液_ 1310-58-3 5~10_
面萄糖酸納丨527-07-1 |r5—
權(quán)利要求
1.一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于包括以下工序 工序A :挑選出可以進(jìn)行單面蝕刻的液晶面板玻璃，可以單面蝕刻的條件為單面厚度> O. Imm ； 工序B :把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面進(jìn)行貼膜保護(hù)； 工序C :采用蝕刻裝置將通過(guò)工序B處理過(guò)的液晶面板玻璃進(jìn)行蝕刻； 工序D :對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行脫膜處理； 工序E :將脫膜后的液晶面板玻璃清洗干凈。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于在工序B 前對(duì)通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式進(jìn)行清洗，清洗設(shè)備采用PVC自動(dòng)化清洗機(jī)，清洗液的主要成分為質(zhì)量濃度1%的KOH水溶液，清洗液的成分包括重量百分率為2% 5%的非離子型表面活性劑、重量百分率為5% 10%的KOH水溶液、重量百分率為1% 5%的葡萄糖酸鈉、重量百分率為1% 5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率為1% 5%的四鈉酸、重量百分率為70% 85%的水，清洗溫度25°C，清洗時(shí)間5分鐘。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于所述工序B是采用自動(dòng)貼膜機(jī)，把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃的兩面分別貼上TFT保護(hù)膜和C/F保護(hù)膜，并在貼膜的過(guò)程中采用靜電防護(hù)措施，貼膜過(guò)程包括以下步驟 1)C/F保護(hù)膜準(zhǔn)備將卷成卷筒的C/F保護(hù)膜的開(kāi)放端由自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸和自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)之間的間隙拉放到工作平臺(tái)的后方； 2)TFT保護(hù)膜準(zhǔn)備及產(chǎn)品投入將TFT保護(hù)膜平鋪在自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)上與C/F保護(hù)膜的位置對(duì)應(yīng)，將液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保護(hù)膜上； 3)接產(chǎn)品將液晶面板玻璃從自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)和自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸之間的間隙通過(guò)，并在工作平臺(tái)的后方接住液晶面板玻璃； 4)一次裁切在液晶面板玻璃完全通過(guò)自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)和自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸之間的間隙后，裁斷C/F保護(hù)膜； 5)二次裁切沿著液晶面板玻璃的邊沿裁切C/F保護(hù)膜或TFT保護(hù)膜，使其與液晶面板玻璃的尺寸一致； 6)貼膜完成去除液晶面板玻璃需要蝕刻的一面上的保護(hù)膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保護(hù)膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于所述靜電防護(hù)措施選擇采用離子風(fēng)機(jī)對(duì)貼膜過(guò)程中產(chǎn)品的靜電進(jìn)行靜電中和，并且選擇采用防靜電膜降低貼膜過(guò)程的靜電產(chǎn)生量，其中采用防靜電膜的方式包括以下步驟 在B工序的步驟1)C/F保護(hù)膜準(zhǔn)備中增加靜電膜的準(zhǔn)備將靜電膜的一端由自動(dòng)貼膜機(jī)的滾軸和自動(dòng)貼膜機(jī)的工作平臺(tái)之間的間隙拉放到工作平臺(tái)的后方，使貼膜后靜電膜位于C/F保護(hù)膜的上方； 在B工序的步驟6)貼膜完成中增加靜電膜的去除。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于所述工序C的蝕刻方式為頂部噴灑式，蝕刻時(shí)液晶面板玻璃采用專(zhuān)用PVC工裝裝載，蝕刻液為HF混酸，溫度為25±2°C。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于所述工序D的脫膜處理過(guò)程包括采用堿液加熱浸泡方式對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行化學(xué)脫膜，然后通過(guò)人工將堿液軟化的保護(hù)膜進(jìn)行手動(dòng)脫膜，所述化學(xué)脫膜的設(shè)備為PVC自動(dòng)化清洗機(jī)，所述堿液主要成分為由NaOH和DI水配置而成的質(zhì)量濃度15%的NaOH溶液，化學(xué)脫膜的溫度為50°C，時(shí)間為20分鐘；所述手動(dòng)脫膜在防靜電手動(dòng)脫模臺(tái)上進(jìn)行。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于所述工序E采用的清洗設(shè)備為流水清洗線(xiàn)，具體清洗流程為 1)投入將液晶面板玻璃投入流水清洗線(xiàn)內(nèi)； 2)堿液清洗堿液的主要成分為濃度1%的NaOH，清洗溫度為40°C； 3)DI水清洗； 4)風(fēng)切利用風(fēng)刀裝置，采用壓縮高壓氣體，將液晶面板玻璃表面水分吹干，風(fēng)刀壓力為 O. 4 O. 5mpa ； 5)打包。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7任一項(xiàng)所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于在工序E后通過(guò)觸點(diǎn)式厚度測(cè)量機(jī)對(duì)液晶玻璃面板進(jìn)行厚度檢查，并對(duì)液晶玻璃面板進(jìn)行外觀(guān)檢查，將液晶玻璃面板分為良品、可修復(fù)產(chǎn)品。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于將檢查挑選出的可修復(fù)的產(chǎn)品通過(guò)拋光機(jī)進(jìn)行物理研磨修復(fù)，拋光的輔助材料為拋光粉、拋光墊和附墊。
10.根據(jù)權(quán)利要求9述的一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，其特征在于拋光后通過(guò)流水清洗線(xiàn)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行清洗，清洗流程為 1)投入將液晶面板玻璃投入流水清洗線(xiàn)內(nèi)； 2)滾刷清洗； 3)DI水清洗第一階段； 4)風(fēng)切利用風(fēng)刀裝置，采用壓縮高壓氣體，將液晶面板玻璃表面水分吹干，風(fēng)刀壓力為 O. 4 O. 5mpa ； 5)打包； 清洗后的合格品和工序E后檢查出來(lái)的良品通過(guò)OQC檢查，將產(chǎn)品進(jìn)行分類(lèi)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種液晶面板玻璃的單面蝕刻方法，包括以下工序；工序A挑選出可以進(jìn)行單面蝕刻的液晶面板玻璃，可以單面蝕刻的條件為單面厚度＞0.1mm；工序B把通過(guò)工序A挑選出的液晶面板玻璃需要保留的一面進(jìn)行貼膜保護(hù)；工序C采用蝕刻裝置將通過(guò)工序B處理過(guò)的液晶面板玻璃進(jìn)行蝕刻；工序D對(duì)蝕刻后的液晶面板玻璃進(jìn)行脫膜處理；工序E將脫膜后的液晶面板玻璃清洗干凈。利用本發(fā)明方法加工液晶面板玻璃可以有效解決現(xiàn)有技術(shù)中液晶面板玻璃薄化的問(wèn)題，該方法同樣適用于其他需要單面保護(hù)的蝕刻玻璃。
文檔編號(hào)C03C15/00GK102951845SQ201210432138
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月2日
發(fā)明者李福春, 蒲中軍, 鄧飛, 唐忠于, 唐毅強(qiáng), 向勇, 黃毅, 李正元, 趙興華, 黃立雄, 李輝, 錢(qián)華軍, 張以洪, 蒲琨, 王勇, 張永強(qiáng), 謝秋乙, 陽(yáng)利民, 舒茜, 王曉, 黎岸, 劉俊杰, 廖志勇 申請(qǐng)人:成都工投電子科技有限公司