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一種在線砂漿回收處理系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:1985003閱讀:140來源:國知局
專利名稱:一種在線砂漿回收處理系統(tǒng)的制作方法
技術領域
本發(fā)明涉及硅切割技術領域的在線砂漿回收處理系統(tǒng)。
背景技術
硅切割領域中切片機利用碳化硅砂漿進行切割,現(xiàn)有的技術中砂漿通過單機循環(huán)使用。使用一段時間后砂漿中含有金屬顆粒和硅顆粒會影響硅片的切割質量,所以砂漿使用一段時間后需要更新。使用過的砂漿可以經(jīng)過再生后還可以重復使用,節(jié)約了使用成本?,F(xiàn)有技術中更換砂漿需要停機進行,且砂漿使用后期硅片切割質量與前期會有一定的差別
發(fā)明內容
本發(fā)明目的在于針對現(xiàn)有技術的缺陷提供ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng)。本發(fā)明為實現(xiàn)上述目的,采用如下技術方案
ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng),其特征在干其包括回收砂漿管道、再生砂漿管道、砂漿緩沖槽和砂漿再生線;所述回收砂漿管道和再生砂漿管道與切片機連接,回收砂漿管道將切片機使用過的砂漿傳送到砂漿緩沖槽,再泵至砂漿再生線進行砂漿再生,經(jīng)過再生的砂漿再經(jīng)過砂漿緩沖槽通過再生砂漿管道傳送到切片機進行硅片切割。所述砂漿傳輸采用隔膜泵。優(yōu)選的所述回收砂漿管道和再生砂漿管道與多臺切片機連接,所述砂漿再生線為多條并列,根據(jù)砂漿的回收量選擇啟用砂漿再生線數(shù)量。本發(fā)明能夠實現(xiàn)為多臺切片機同時提供砂漿,而且砂漿可以在線實時的再生更新,循環(huán)供給,生產效率明顯提高,降低了更換砂漿的人工成本,同時還保持了砂漿的一致性,保證產品質量的可靠性。


圖I為本發(fā)明示意圖中,I、回收砂漿管道;2、再生砂漿管道;3、砂漿緩沖槽;4、砂漿再生線;5、切片機。
具體實施例方式如圖I所示ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng),其包括回收砂漿管道I、再生砂漿管道2、砂漿緩沖槽3和砂漿再生線4 ;所述回收砂漿管道I和再生砂漿管道2與切片機5連接,回收砂漿管道I將切片機5使用過的砂漿傳送到砂漿緩沖槽3,再泵至砂漿再生線4進行砂漿再生,經(jīng)過再生的砂漿再經(jīng)過砂漿緩沖槽3通過再生砂漿管道2傳送到切片機5進行硅片切割。所述砂漿傳輸采用隔膜泵。所述回收砂漿管道I和再生砂漿管道2與多臺切片機5連接,所述砂漿再生線4為多條并列,根據(jù)砂漿的回收量選擇啟用砂漿再生線4數(shù)量。這樣可以節(jié)約能源,提高工作效率。
權利要求
1.ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng),其特征在于其包括回收砂漿管道、再生砂漿管道、砂漿緩沖槽和砂漿再生線;所述回收砂漿管道和再生砂漿管道與切片機連接,回收砂漿管道將切片機使用過的砂漿傳送到砂漿緩沖槽,再泵至砂漿再生線進行砂漿再生,經(jīng)過再生的砂漿再經(jīng)過砂漿緩沖槽通過再生砂漿管道傳送到切片機進行硅片切割。
2.根據(jù)權利要求I所述的ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng),其特征在于所述砂漿傳輸采用隔膜泵。
3.根據(jù)權利要求I所述的ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng),其特征在于所述回收砂漿管道和再生砂漿管道與多臺切片機連接,所述砂漿再生線為多條并列,根據(jù)砂漿的回收量選擇啟用砂漿再生線數(shù)量。
全文摘要
本發(fā)明公布了一種在線砂漿回收處理系統(tǒng),其特征在于其包括回收砂漿管道、再生砂漿管道、砂漿緩沖槽和砂漿再生線;所述回收砂漿管道和再生砂漿管道與切片機連接,回收砂漿管道將切片機使用過的砂漿傳送到砂漿緩沖槽,再泵至砂漿再生線進行砂漿再生,經(jīng)過再生的砂漿再經(jīng)過砂漿緩沖槽通過再生砂漿管道傳送到切片機進行硅片切割。本發(fā)明能夠實現(xiàn)為多臺切片機同時提供砂漿,而且砂漿可以在線實時的再生更新,循環(huán)供給,生產效率明顯提高,降低了更換砂漿的人工成本,同時還保持了砂漿的一致性,保證產品質量的可靠性。
文檔編號B28D7/00GK102649295SQ20121018779
公開日2012年8月29日 申請日期2012年6月7日 優(yōu)先權日2012年6月7日
發(fā)明者何江濤, 劉愛軍, 李曉建, 胥大鵬, 袁黎平 申請人:寧夏隆基硅材料有限公司, 無錫隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司
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