技術(shù)編號:1985003
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅切割的在線砂漿回收處理系統(tǒng)。背景技術(shù)硅切割領(lǐng)域中切片機(jī)利用碳化硅砂漿進(jìn)行切割,現(xiàn)有的技術(shù)中砂漿通過單機(jī)循環(huán)使用。使用一段時間后砂漿中含有金屬顆粒和硅顆粒會影響硅片的切割質(zhì)量,所以砂漿使用一段時間后需要更新。使用過的砂漿可以經(jīng)過再生后還可以重復(fù)使用,節(jié)約了使用成本。現(xiàn)有技術(shù)中更換砂漿需要停機(jī)進(jìn)行,且砂漿使用后期硅片切割質(zhì)量與前期會有一定的差別發(fā)明內(nèi)容 本發(fā)明目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷提供ー種在線砂漿回收處理系統(tǒng)。本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的,采用如下技術(shù)...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。