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線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):1870250閱讀:379來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種導(dǎo)輪結(jié)構(gòu),尤指一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪結(jié)構(gòu)。
技術(shù)背景[0002]太陽(yáng)能電池目前主要分為結(jié)晶硅太陽(yáng)能電池及非晶硅太陽(yáng)能電池,其中結(jié)晶硅太陽(yáng)能電池的硅芯片是由硅晶碇切片而來(lái)。硅晶碇切片制做硅晶圓的常見(jiàn)方法是利用線形切割機(jī)進(jìn)行自由磨粒的切削作業(yè),例如線形切割機(jī)通常包括可旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)導(dǎo)輪及裝配在導(dǎo)輪的平行導(dǎo)槽上的線材,使形成多段的并行線鋸;而在切削作業(yè)時(shí)將內(nèi)含切削粉(如碳化硅等)的切削液澆注于并行線鋸上,此時(shí)利用馬達(dá)等牽動(dòng)并行線鋸使切削粉與硅晶錠接觸磨擦而產(chǎn)生切割,以將硅晶碇切成均勻薄片。[0003]但為了提高硅晶碇切片的切削速率,前述導(dǎo)輪的長(zhǎng)度日益提升,而導(dǎo)致線槽因 CNC(數(shù)控機(jī)床)加工的問(wèn)題而出現(xiàn)不一致型態(tài)。如,如圖1所示,CNC車床刀具由導(dǎo)輪11的入線端111處開(kāi)始進(jìn)行線槽加工,當(dāng)加工至出線端112處時(shí),會(huì)因車刀磨損導(dǎo)致出線端112 的線槽出現(xiàn)偏心(如圖3所示)、毛邊、突起、不對(duì)稱等問(wèn)題,而有別于圖2所示之正V形的線槽型態(tài)。因此,當(dāng)應(yīng)用于切削作業(yè)時(shí),在出線端112處的線材會(huì)因線損而形成較小的線徑,而較小線徑的線材容易因出線端112的較差的線槽而產(chǎn)生諸多問(wèn)題,例如,線材的晃動(dòng)程度加劇,使所切割的芯片產(chǎn)生波浪狀,甚至出現(xiàn)因線材的跳溝所導(dǎo)致的厚度不一致的芯片切片;也可能造成切削作業(yè)的線材搭線、斷線的問(wèn)題,均使得芯片切片的良率下降。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]為了克服上述缺陷,本實(shí)用新型提供了一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),該線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu)能夠有效補(bǔ)償在出線端的因線損而形成小線徑的線材,進(jìn)而提高晶圓切片的良率。[0005]本實(shí)用新型為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是[0006]一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)輪具有相對(duì)的一個(gè)入線端和一個(gè)出線端,所述導(dǎo)輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開(kāi)設(shè)有若干平行的環(huán)形的線槽, 線形切割機(jī)的線材沿所述環(huán)形的線槽纏繞于相鄰導(dǎo)輪之間形成若干條平行切線,若干環(huán)形的線槽之中靠近所述出線端的環(huán)形的線槽為第一線槽,所述第一線槽由U型槽和弧型槽一體連接構(gòu)成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開(kāi)口的寬度與所述線材直徑(指線材初始直徑)相同。[0007]本實(shí)用新型為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的進(jìn)一步技術(shù)方案是[0008]較佳地,所述U型槽的槽底面為圓弧形。[0009]較佳地,所述第一線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。[0010]較佳地,若干環(huán)形的線槽之中十分之一至二分之一的線槽且靠近所述出線端的線槽為所述第一線槽。[0011]較佳地,所有所述線槽之中除所述第一線槽之外的其余線槽為正V型線槽,每個(gè)正V型線槽具有槽底面和相對(duì)的兩槽壁,所述正V型線槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一,每個(gè)正V型線槽的相對(duì)的兩槽壁的夾角為30°至75°,每個(gè)所述正V型線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。[0012]較佳地,也可以所有所述線槽皆具有與所述第一線槽相同的結(jié)構(gòu)。[0013]較佳地,相鄰兩線槽的間距為0. 2mm至1mm。[0014]較佳地,所有環(huán)形的線槽為等間距排布。[0015]本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型提供了一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),靠近出線端的第一線槽由U型槽和弧型槽一體連接構(gòu)成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開(kāi)口的寬度與線材初始直徑相同,線材由弧型槽上端開(kāi)口進(jìn)入U(xiǎn)型槽內(nèi),由于U型槽上端為弧型槽且弧型槽上端開(kāi)口的寬度與線材直徑相同,因此與傳統(tǒng)大口的U型槽和V型槽相比,本實(shí)用新型的第一線槽的開(kāi)口較小,能避免線材跳線等,弧型槽更能有效減緩線材晃動(dòng)等,綜上,本實(shí)用新型可以有效補(bǔ)償在出線端的因線損而形成小線徑的線材,進(jìn)而提高晶圓切片的良率,并延長(zhǎng)導(dǎo)輪的使用壽命,進(jìn)而達(dá)到節(jié)省成本的目的。


[0016]圖1是傳統(tǒng)的導(dǎo)輪的示意圖;[0017]圖2是傳統(tǒng)的導(dǎo)輪在入線端的線槽(即圖1中A部的線槽)的示意圖;[0018]圖3是傳統(tǒng)的導(dǎo)輪在出線端的線槽(即圖1中B部的線槽)的示意圖;[0019]圖4是本實(shí)用新型的導(dǎo)輪的示意圖;[0020]圖5是本實(shí)用新型的導(dǎo)輪在出線端的線槽(即圖4中C部的線槽,也是本實(shí)用新型所述的第一線槽)的示意圖。
具體實(shí)施方式
[0021]實(shí)施例一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)輪11具有相對(duì)的一個(gè)入線端 111和一個(gè)出線端112,所述導(dǎo)輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開(kāi)設(shè)有若干平行的環(huán)形的線槽12,線形切割機(jī)的線材2沿所述環(huán)形的線槽纏繞于相鄰導(dǎo)輪之間形成若干條平行切線,若干環(huán)形的線槽之中靠近所述出線端的環(huán)形的線槽為第一線槽121,所述第一線槽由U型槽1211和弧型槽1212 —體連接構(gòu)成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開(kāi)口 1213的寬度與所述線材2直徑(指線材初始直徑)相同。[0022]所述U型槽的槽底面為圓弧形。[0023]所述第一線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。[0024]所有所述線槽皆具有與所述第一線槽相同的結(jié)構(gòu)。[0025]相鄰兩線槽的間距為0. 2mm至1mm。[0026]所有環(huán)形的線槽為等間距排布。[0027]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳可行實(shí)施例,非因此局限本實(shí)用新型的專利范圍,故舉凡運(yùn)用本實(shí)用新型說(shuō)明書及圖示內(nèi)容所為的等效技術(shù)變化,均包含于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)輪(11)具有相對(duì)的一個(gè)入線端(111)和一個(gè)出線端(112),所述導(dǎo)輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開(kāi)設(shè)有若干平行的環(huán)形的線槽(12),線形切割機(jī)的線材(2)沿所述環(huán)形的線槽纏繞于相鄰導(dǎo)輪之間形成若干條平行切線,其特征在于若干環(huán)形的線槽之中靠近所述出線端的環(huán)形的線槽為第一線槽(121),所述第一線槽由U型槽(1211)和弧型槽(121 —體連接構(gòu)成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開(kāi)口(121 的寬度與所述線材O)的直徑相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于所述U型槽的槽底面為圓弧形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于所述第一線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于若干環(huán)形的線槽之中十分之一至二分之一的線槽且靠近所述出線端的線槽為所述第一線槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于所有所述線槽之中除所述第一線槽之外的其余線槽為正V型線槽,每個(gè)正V型線槽具有槽底面和相對(duì)的兩槽壁,所述正V型線槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一,每個(gè)正V型線槽的相對(duì)的兩槽壁的夾角為30°至75°,每個(gè)所述正V型線槽的槽深為所述線材直徑的1.5倍至3倍。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于所有所述線槽皆具有與所述第一線槽相同的結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于相鄰兩線槽的間距為0. 2mm至1mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),其特征在于所有環(huán)形的線槽為等間距排布。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種線形切割機(jī)的導(dǎo)輪的線槽結(jié)構(gòu),靠近出線端的第一線槽由U型槽和弧型槽一體連接構(gòu)成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開(kāi)口的寬度與線材初始直徑相同,線材由弧型槽上端開(kāi)口進(jìn)入U(xiǎn)型槽內(nèi),與傳統(tǒng)大口的U型槽和V型槽相比,本實(shí)用新型的第一線槽的開(kāi)口較小,能避免線材跳線等,弧型槽更能有效減緩線材晃動(dòng)等,綜上,本實(shí)用新型可以有效補(bǔ)償在出線端的因線損而形成小線徑的線材,進(jìn)而提高晶圓切片的良率,并延長(zhǎng)導(dǎo)輪的使用壽命,進(jìn)而達(dá)到節(jié)省成本的目的。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202278675SQ201120430930
公開(kāi)日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月4日
發(fā)明者薛東妹 申請(qǐng)人:昆山翰輝電子科技有限公司
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