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一種粘固硅棒的載體的制作方法

文檔序號:1865842閱讀:188來源:國知局
專利名稱:一種粘固硅棒的載體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種粘固硅棒的載體。
背景技術(shù)
目前,對于生產(chǎn)半導(dǎo)體電子級硅片,其粘固硅棒的載體是利用樹脂作材料制成樹脂長條,這種長條與硅棒的接觸面上具有凸出的條紋,目的是粘接更加牢固。但是,這種樹脂長條很不便于粘接前的清洗,同時,因樹脂價格昂貴,極大地增加了生產(chǎn)成本,而且由于樹脂是高分子化工材料,生產(chǎn)過程中污染大,不利于環(huán)境保護。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供既便于清洗,又能降低生產(chǎn)成本的一種粘固硅棒的載體的制作方法。本實用新型采取的技術(shù)方案是一種粘固硅棒的載體,其特征在于該載體為長條玻璃,其橫截面為凹槽狀且凹面呈弧形。采用本實用新型,既方便清洗又能直接降低生產(chǎn)成本,且玻璃與樹脂相比,更利于環(huán)境保護。

圖1是本實用新型的截面示意圖。圖中序號表示弧形凹面1和長條玻璃具體實施方式
下面結(jié)合具體的實施例對本實用新型作進一步說明。參照圖1,該粘固硅棒的載體為長條玻璃2,其橫截面為凹槽狀且具有弧形凹面1。使用時,只要將該長條玻璃2的相對于弧形凹面1的另一面粘接在工裝的鐵板條上,同時將圓形的硅棒粘接在弧形凹面1上即可。
權(quán)利要求1. 一種粘固硅棒的載體,其特征在于該載體為長條玻璃,其橫截面為凹槽狀且凹面呈弧形。
專利摘要本實用新型涉及一種粘固硅棒的載體,該載體為長條玻璃,其橫截面為凹槽狀且凹面呈弧形。采用本實用新型,既方便清洗又能直接降低生產(chǎn)成本,且玻璃與樹脂相比,更利于環(huán)境保護。
文檔編號B28D5/00GK202192691SQ20112029371
公開日2012年4月18日 申請日期2011年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月10日
發(fā)明者余溪雄, 郜美君 申請人:開化美盛電子科技有限公司
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