專利名稱:減少斷線率的多晶硅棒的切割工裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及硅材料加工領(lǐng)域,特別涉及一種減少斷線率的多晶硅棒切割工裝。
背景技術(shù):
隨著我國工業(yè)現(xiàn)代化進程的發(fā)展,硅晶體材料的應(yīng)用日益廣泛。在硅晶材料的各種加工方法中,切割加工占很重要的地位?,F(xiàn)有的切割工藝中,一塊切割工裝上放置一塊大小相同或略小的方形多晶硅棒,切割線鋸成弓形,先對方形的多晶硅棒的兩角進行切割,在切割多晶硅時,由于快速摩擦切割會使切割線的溫度很高,溫度升高后使切割線容易變形或者容易斷線。尤其是切割兩角的部位更加容易變形,而使線弓過大。切割線變形對多晶硅棒的切割帶來很大的切損,影響生產(chǎn)質(zhì)量,并且斷線后還需更換切割線,所需的換線時間較長,一般為3-5小時,換線時如果沒有備用的設(shè)備則生產(chǎn)將暫停,給企業(yè)帶來很大的經(jīng)濟損失。
實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供一種減少斷線率的多晶硅棒切割工裝。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,具有底板和玻璃隔板,所述的底板上表面與玻璃隔板的下表面通過膠水固定連接,所述的玻璃隔板上具有至少一個可拆卸的長方形薄片,所述的長方形薄片寬度為 lmm-3mm0本實用新型減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,在玻璃隔板上設(shè)置長方形薄片,可以控制放置在玻璃隔板上的多晶硅棒之間的間距,一般控制間距為3mm-5mm。為了將多晶硅棒固定,保證切割效果,多晶硅棒下表面通過膠水固定在玻璃隔板的上表面上。本實用新型的有益效果是,本實用新型減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,減小每個多晶硅棒的長度,在一塊玻璃隔板上放置至少兩個多晶硅棒并且在每個多晶硅棒之間空有一定的間隙,減少跳線率,延長切割線的使用壽命,從而延長更換周期,提高生產(chǎn)效率。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型減少斷線率的多晶硅棒切割工裝最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、底板,2、玻璃隔板,3、多晶硅棒,4、長方形薄片。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖, 僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。[0011]如
圖1所示,本實用新型減少斷線率的多晶硅棒切割工裝最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。一種減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,具有底板1和玻璃隔板2,底板1上表面與玻璃隔板2的下表面通過膠水固定連接,玻璃隔板2上具有至少一個可拆卸的長方形薄片4, 長方形薄片4寬度為1mm。在玻璃隔板2上放置三個并排緊靠的長方形薄片4,即薄片的總寬度為3mm ;多晶硅棒3緊靠在長方形薄片4兩邊,則兩個多晶硅棒3之間的間距為3mm ;放置好多晶硅棒3 之后將長方形薄片4拆除。為了將多晶硅棒3固定,保證切割效果,多晶硅棒3下表面通過膠水固定在玻璃隔板2的上表面上。以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示,通過上述的說明內(nèi)容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi),進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容,必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1. 一種減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,其特征在于具有底板(1)和玻璃隔板0), 所述的底板(1)上表面與玻璃隔板O)的下表面通過膠水固定連接,所述的玻璃隔板O) 上具有至少一個可拆卸的長方形薄片G),所述的長方形薄片寬度為lmm-3mm。
專利摘要本實用新型減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,具有底板和玻璃隔板,底板上表面與玻璃隔板的下表面通過膠水固定連接,玻璃隔板上具有至少一個可拆卸的長方形薄片,長方形薄片寬度為1mm-3mm。本實用新型減少斷線率的多晶硅棒切割工裝,在玻璃隔板上設(shè)置長方形薄片,可以控制放置在玻璃隔板上的多晶硅棒之間的間距,一般控制間距為3mm-5mm;減小每個多晶硅棒的長度,在一塊玻璃隔板上放置至少兩個多晶硅棒并且在每個多晶硅棒之間空有一定的間隙,減少跳線率,延長切割線的使用壽命,從而延長更換周期,提高生產(chǎn)效率。
文檔編號B28D5/04GK202147321SQ20112027272
公開日2012年2月22日 申請日期2011年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月29日
發(fā)明者周靜, 孫志蘭, 李長喜 申請人:江蘇兆晶光電科技發(fā)展有限公司