專利名稱：石墨件腐蝕清洗機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及多晶硅制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種石墨件腐蝕清洗機。
背景技術(shù)：
多晶硅是制備半導(dǎo)體器件和太陽能電池的原材料，是全球電子工業(yè)及光伏產(chǎn)業(yè)的基石。多晶硅按照純度和用途可分為太陽能級多晶硅和電子級多晶硅。在運行還原爐生產(chǎn)多晶硅之前，首先要將石墨件(由石墨底座和石墨卡瓣組成，是在還原爐中裝載硅芯的載體)安裝在還原爐的底盤上，然后將硅芯固定在石墨件上。所以說石墨件是生產(chǎn)多晶硅的必需品。在生產(chǎn)出完整的多晶硅之后，安裝在還原爐上的石墨件會被硅包裹住以至于無法再次利用，要想重復(fù)使用石墨件，需要對石墨件進行腐蝕清洗，以去除表面雜質(zhì)。目前，去除石墨件表面雜質(zhì)所用方法，是將石墨件首先放置在王水(是鹽酸和硝酸以體積比3 1混合而成的酸，具有較強的腐蝕性)中腐蝕，再用高純水清洗并烘干后， 放入煅燒爐中煅燒，這樣石墨件就可以達到被重復(fù)利用的目的?，F(xiàn)在傳統(tǒng)的石墨件腐蝕清洗機在操作過程中，操作人員必須穿戴上防酸堿手套從王水中拿出或放入石墨件，由于王水具有較強的腐蝕性，所以操作者有被酸腐蝕的危險，而且如果人工的將花籃(用于承載石墨件的載體)取出或放入，由于石墨件本身質(zhì)量較大，所以會一定程度的增大了勞動強度，生產(chǎn)效率較低。因此，如何降低操作人員的勞動強度大，提高生產(chǎn)效率，并且防止操作人員被強酸腐蝕情況的發(fā)生，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種石墨件腐蝕清洗機，以降低操作人員的勞動強度大，提高生產(chǎn)效率，并且防止操作人員被強酸腐蝕情況的發(fā)生。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種石墨件腐蝕清洗機，包括腐蝕室和清洗室，所述腐蝕室和清洗室分別設(shè)有腐蝕槽和清洗槽，腐蝕槽和清洗槽內(nèi)均設(shè)有升降裝置。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽的底部，另一端與所述撐板相連。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，所述腐蝕槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；絲杠機構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機相連并可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，所述腐蝕槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽的底部，另一端與所述撐板相連。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；絲杠機構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機相連并可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機中，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實用新型提供的石墨件腐蝕清洗機，通過在其腐蝕槽和清洗槽內(nèi)設(shè)置升降裝置，可將腐蝕槽和清洗槽內(nèi)的花籃完成升降操作。通過將腐蝕槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃降下，可用于去除石墨件表面雜質(zhì)，通過將腐蝕槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃升起，可以將經(jīng)過去除雜質(zhì)工序的石墨件取出；通過將清洗槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃降下，可用于將表面的酸液去除，通過將清洗槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃升起，可以將經(jīng)過去除酸液工序的石墨件取出。本實用新型提供的石墨件腐蝕清洗機采用在花籃和槽體(腐蝕槽和清洗槽)之間添加了一種升降裝置從而優(yōu)化了設(shè)計，使操作更簡便，使操作者遠離了王水的腐蝕，勞動強度相應(yīng)的減少，且提高了生產(chǎn)效率。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1本實用新型實施例提供的石墨件腐蝕清洗機的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的花籃的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型公開了一種石墨件腐蝕清洗機，以降低操作人員的勞動強度大，提高生產(chǎn)效率低，并且防止操作人員被強酸腐蝕情況的發(fā)生。[0032]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-圖3，圖1本實用新型實施例提供的石墨件腐蝕清洗機的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實用新型實施例提供的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的花籃的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型提供的石墨件腐蝕清洗機，包括腐蝕室1和清洗室2，腐蝕室1和清洗室2分別設(shè)有腐蝕槽11和清洗槽21。腐蝕槽11內(nèi)設(shè)有王水，清洗槽21內(nèi)設(shè)有高純水。將石墨件首先放置在王水中腐蝕，再用高純水清洗并烘干后，放入煅燒爐中煅燒，這樣石墨件就可以達到被重復(fù)利用的目的。其中，腐蝕槽11和清洗槽21內(nèi)均設(shè)有升降裝置4，將用于盛放石墨件的花籃3放置在升降裝置4上，花籃3上設(shè)有多個孔，可將腐蝕槽11內(nèi)的王水以及清洗槽21內(nèi)的高純水漏入花籃3內(nèi)與其內(nèi)部的石墨件接觸。本實用新型通過將腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃3降下，可用于去除石墨件表面雜質(zhì)，通過將腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃升起，可以將經(jīng)過去除雜質(zhì)工序的石墨件取出；通過將清洗槽21內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃降下，可用于將表面的酸液去除，通過將清洗槽21內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃升起，可以將經(jīng)過去除酸液工序的石墨件取出。本實用新型提供的石墨件腐蝕清洗機采用在花籃和槽體(腐蝕槽和清洗槽)之間添加了一種升降裝置從而優(yōu)化了設(shè)計，使操作更簡便，使操作者遠離了王水的腐蝕，勞動強度相應(yīng)的減少，且提高了生產(chǎn)效率。設(shè)置在腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4可以為汽缸升降方式，其可具體包括撐板41和氣缸42，氣缸42可為兩個，汽缸的一端固定在腐蝕槽11的底部，另一端與撐板41相連。腐蝕槽11的側(cè)壁上還可設(shè)有滑槽，撐板上設(shè)有與滑槽滑動配合的滑軌。通過氣缸42的伸出桿的伸出，可將撐板41抬起，花籃3放置在撐板41上，從而可將花籃3抬起。由于撐板41 上設(shè)有與腐蝕槽11側(cè)壁上的滑槽滑動配合的滑軌，可保持撐板41上升的平穩(wěn)性。設(shè)置在腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4還可為絲杠升降方式，其可包括撐板和絲杠機構(gòu)，絲杠機構(gòu)的絲母固定在撐板上，其絲桿與電機相連并可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在腐蝕槽11內(nèi)。腐蝕槽11的側(cè)壁上可設(shè)有滑槽，撐板上可設(shè)有與滑槽滑動配合的滑軌。通過電機的轉(zhuǎn)動，可控制絲桿轉(zhuǎn)動，從而帶動絲母沿絲桿軸向移動，從而使得與絲母連接的撐板向上或向下移動，通過改變電機的轉(zhuǎn)動方向，以改變撐板的移動方向。本實用新型還可包括與電機連鎖的外置手柄和控制柜，操作人員通過控制手柄給控制柜信號，控制柜來啟動電機，腐蝕槽11 與花籃3之間的升降裝置通過電機啟動。操作人員在將需要處理的石墨件放入腐蝕清洗機之前，通過外置的控制手柄使花籃升起脫離王水，然后將需處理的石墨件放入花籃中，隨后用手柄將花籃降下使石墨件完全侵入到王水中即可。通過這種升降裝置的設(shè)計，操作人員可以最大程度的避免被強酸王水腐蝕的危險，并且大大的降低了勞動強度，提高了生產(chǎn)率。設(shè)置在清洗槽21內(nèi)的升降裝置4可以為汽缸升降方式，其可具體包括撐板41和氣缸42，氣缸42可為兩個，汽缸的一端固定在清洗槽21的底部，另一端與撐板41相連。清洗槽21的側(cè)壁上還可設(shè)有滑槽，撐板上設(shè)有與滑槽滑動配合的滑軌。通過氣缸42的伸出桿的伸出，可將撐板41抬起，花籃3放置在撐板41上，從而可將花籃3抬起。由于撐板41 上設(shè)有與清洗槽21側(cè)壁上的滑槽滑動配合的滑軌，可保持撐板41上升的平穩(wěn)性。設(shè)置在清洗槽21內(nèi)的升降裝置4還可為絲杠升降方式，其可包括撐板和絲杠機構(gòu)，絲杠機構(gòu)的絲母固定在撐板上，其絲桿與電機相連并可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在清洗槽21內(nèi)。清洗槽21的側(cè)壁上可設(shè)有滑槽，撐板上可設(shè)有與滑槽滑動配合的滑軌。通過電機的轉(zhuǎn)動，可控制絲桿轉(zhuǎn)動，從而帶動絲母沿絲桿軸向移動，從而使得與絲母連接的撐板向上或向下移動，通過改變電機的轉(zhuǎn)動方向，以改變撐板的移動方向。本實用新型還可包括與電機連鎖的外置手柄和控制柜，操作人員通過控制手柄給控制柜信號，控制柜來啟動電機，清洗槽21 與花籃3之間的升降裝置通過電機啟動。用手柄將花籃降下使石墨件完全侵入到高純水中即可。通過這種升降裝置的設(shè)計，操作人員可以最大程度的避免被強酸王水腐蝕的危險，并且大大的降低了勞動強度，提高了生產(chǎn)率。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種石墨件腐蝕清洗機，包括腐蝕室⑴和清洗室O)，所述腐蝕室⑴和清洗室 (2)分別設(shè)有腐蝕槽(11)和清洗槽(21)，其特征在于，腐蝕槽(11)和清洗槽內(nèi)均設(shè)有升降裝置G)。
2.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽(11)的底部，另一端與所述撐板相連。
3.如權(quán)利要求2所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，所述腐蝕槽(11)的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。
4.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；絲杠機構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機相連并可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，所述腐蝕槽(11)的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。
6.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽(11)的底部，另一端與所述撐板相連。
7.如權(quán)利要求6所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。
8.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；絲杠機構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機相連并可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的石墨件腐蝕清洗機，其特征在于，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動配合的滑軌。
專利摘要本實用新型公開了一種石墨件腐蝕清洗機，包括腐蝕室(1)和清洗室(2)，所述腐蝕室(1)和清洗室(2)分別設(shè)有腐蝕槽(11)和清洗槽(21)，腐蝕槽(11)和清洗槽(21)內(nèi)均設(shè)有升降裝置(4)。本實用新型提供的石墨件腐蝕清洗機采用在花籃和槽體(腐蝕槽和清洗槽)之間添加了一種升降裝置從而優(yōu)化了設(shè)計，使操作更簡便，使操作者遠離了王水的腐蝕，勞動強度相應(yīng)的減少，且提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號C04B41/53GK202038992SQ20112013077
公開日2011年11月16日 申請日期2011年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月28日
發(fā)明者侯俊峰, 張濱泉, 武在軍, 王耀挺, 胡永 申請人:國電寧夏太陽能有限公司