技術(shù)編號：1859955
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及多晶硅制造設(shè)備，特別涉及一種石墨件腐蝕清洗機。 背景技術(shù)多晶硅是制備半導(dǎo)體器件和太陽能電池的原材料，是全球電子工業(yè)及光伏產(chǎn)業(yè)的基石。多晶硅按照純度和用途可分為太陽能級多晶硅和電子級多晶硅。在運行還原爐生產(chǎn)多晶硅之前，首先要將石墨件(由石墨底座和石墨卡瓣組成，是在還原爐中裝載硅芯的載體)安裝在還原爐的底盤上，然后將硅芯固定在石墨件上。所以說石墨件是生產(chǎn)多晶硅的必需品。在生產(chǎn)出完整的多晶硅之后，安裝在還原爐上的石墨件會被硅包裹住以至于無法再次利用...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。