專利名稱：：改進(jìn)的涂敷設(shè)備和涂敷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種改進(jìn)的涂敷設(shè)備和涂敷方法。更具體地說，本發(fā)明涉及一種改進(jìn)的涂敷設(shè)備和涂敷方法，通過使用能接收多個基板的夾具，以及通過按照整個表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷(sporadiccoating)的方式、以及部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到多個基板上，能夠制造對應(yīng)于各種基板尺寸的基板、移除基板的死區(qū)(deadregion)、顯著地減小總制造費用和單件工時(tacttime)、以及輕松滿足市場/客戶偏好或喜好。
背景技術(shù)：
：通常，涂敷設(shè)備用于通過使用噴嘴分配器或狹縫模式噴嘴(slitdienozzle)(此后統(tǒng)稱作“噴嘴裝置”)將涂敷液施加到基板(例如玻璃)上，從而制造包括rop、LCD和OLED等在內(nèi)的平板顯示器(FPD)。更具體地說，圖Ia簡要例示了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)制造PDP或IXD的涂敷設(shè)備。參照圖la，在用于制造FPD的桌面型涂敷機(jī)(此后稱作“涂敷設(shè)備”)100中，使用一種施加涂敷液的涂敷方法，該方法包括，例如，在將基板G布置在吸臺(suctiontable)12上之后，在水平方向上移動附接到支架125的噴嘴裝置120的同時，形成包括形成于基板G上的R、G、B單元的像素的操作，或者施加保護(hù)涂層以保護(hù)在基板G等上面順序形成的多個涂層的操作。更具體地說，首先需要把基板G傳送到吸臺112，從而把涂敷液施加到基板G上。此后，基板G通過在吸臺112上形成的抽吸區(qū)域(未示出)和連接到該抽吸區(qū)域的真空裝置(未示出)而保持抽吸狀態(tài)。此后，通過在噴嘴裝置120的底部形成的排放部分122把涂敷液施加到基板G上。圖Ib簡要例示了示出圖Ia例示的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。參考圖lb，在根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的使用涂敷設(shè)備100的涂敷方法中，噴嘴裝置120把涂敷液施加到整個表面以形成涂層130，同時噴嘴裝置120按照箭頭所示方向在基板G上方移動。當(dāng)完成整個表面的涂敷液涂敷時，通過把基板G切割成需要的尺寸，能夠獲得多個面板P。更具體地說，在基板G是例如高清晰度電視(HDTV)的情況下，通過把基板G切割成需要的尺寸(例如40英寸、50英寸、60英寸等)，能夠獲得用于電視的多個面板，而在基板G是例如用于智能電話(諸如使用直接圖形化窗口技術(shù)的i-pon)的觸摸屏幕面板(TouchScreenPanel,TSP)的情況下，通過把基板G切割成需要的尺寸能獲得多個TSP。這里，用于電視的多個面板和多個TSP將被統(tǒng)稱為面板P。在上面詳細(xì)描述的現(xiàn)有技術(shù)中，因為需要在基板G位于吸臺112上的狀態(tài)下通過利用噴嘴裝置120把涂敷液施加到基板G的整個表面上，并且然后把基板G切割成需要的尺寸，所以會出現(xiàn)下列問題。I.例如，在用于蜂窩電話的IXD面板的情況下，取決于各個制造商(例如，三星電子、摩托羅拉、諾基亞等)以及取決于單個制造商(例如三星電子)，制造了各種尺寸的蜂窩電話產(chǎn)品。為了大量生產(chǎn)各種尺寸的LED面板，需要使用昂貴的制造裝備，包括取決于LED面板尺寸的不同種類的涂敷設(shè)備100。因此，由于取決于各種LCD面板的尺寸而需要使用不同類型的制造裝備，所以制造成本顯著增加。2.因為現(xiàn)有技術(shù)中在基板G上采用整個表面涂敷的方式，所以涂敷液被施加到基板G的整個表面上。此后，如圖Ib所示，由于只有切割得到的多個面板P被用作最終產(chǎn)品，所以基板G上會出現(xiàn)不能利用的死區(qū)(DeadRegion,DR)?；錑是昂貴的部件，因此由于這種死區(qū)(DR)的出現(xiàn)而大大增加了制造成本。3.另外，利用單獨的清洗處理和單獨的處理過程來去除施加到死區(qū)(DR)上的不必要的涂敷液。因此，由于用于去除死區(qū)(DR)上不必要的涂敷液131的單獨的清洗處理和單獨的處理過程而導(dǎo)致制造成本和單件工時進(jìn)一步增加。4.如上所述，即使通過使用單獨的、昂貴的制造裝備來制造各種尺寸的面板，但是當(dāng)取決于市場/客戶偏好或喜好而沒有成功地進(jìn)行最終產(chǎn)品(例如HDTV或智能電話等)的銷售時，不可能把這種已經(jīng)安裝好的、單獨的、昂貴的制造裝備應(yīng)用到不同尺寸面板的制造中。因此，就生產(chǎn)率和商業(yè)可行性方面而言，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的涂敷設(shè)備和利用該涂敷設(shè)備的涂敷方法不適于少量制造具有各種尺寸的許多種類面板。因此，需要用于解決現(xiàn)有技術(shù)的問題的新解決方案。
發(fā)明內(nèi)容技術(shù)問題本發(fā)明的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的至少一個或更多個問題以及提供一種改進(jìn)的涂敷設(shè)備和涂敷方法，通過利用能接收多個基板的夾具以及通過按照整個表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷方式、以及部分且零星的涂敷方式把涂敷液施加到多個基板上，能夠制造對應(yīng)于各種基板尺寸的基板、去除基板的死區(qū)、顯著減小整體制造成本和單件工時、以及容易滿足市場/庫戶偏好或喜好。技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明的第一方面，本發(fā)明提供了一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照整個表面涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以形成涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，本發(fā)明提供了一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照部分涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以沿著施加涂敷液的方向形成多個涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴>J-Uρα裝直。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，本發(fā)明提供了一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向形成多個涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，本發(fā)明提供了一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以在其上形成各自的多個涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。根據(jù)本發(fā)明的第五方面，本發(fā)明提供了一種涂敷方法，包括以下步驟a)把多個基板接收到設(shè)置有夾具的多個接收部件中；b)把所述夾具安裝到吸臺上；以及c)在通過利用安裝有噴嘴裝置的支架按照往復(fù)的方式在夾具上方移動所述噴嘴裝置的同時，把涂敷液施加到所述多個基板上。有益.效果當(dāng)采用根據(jù)本發(fā)明的改進(jìn)的涂敷設(shè)備和涂敷方法時，能夠?qū)崿F(xiàn)下列優(yōu)點I.能輕易地少量制造具有各種尺寸的、許多種類的面板。2.極大地減小安裝制造裝備的成本，因為為了制造各種尺寸的面板，僅需要針對不同尺寸的面板而更換能接收基板的夾具。此外，由于在制造各種尺寸面板時僅需要安裝制造裝備的一個單元，與根據(jù)面板尺寸需要安裝制造裝備的多個單獨的單元的現(xiàn)有技術(shù)相t匕，顯著減少了制造裝備的整個單元的成本。3.由于采用了能接收多個基板的夾具，所以基板上不出現(xiàn)死區(qū)，這與現(xiàn)有技術(shù)不同，并且由此顯著地減小了制造成本。此外，除了整個表面涂敷的方式外，還能使用部分涂敷的方式、零星涂敷的方式、以及部分且零星涂敷的方式，減少、最小化或消除不必要的涂敷液的使用，從而減小制造成本和單件工時。4.即使當(dāng)市場/客戶的偏好或喜好發(fā)生變化時，也能通過更換夾具非常容易地制造不同尺寸的面板，從而就生產(chǎn)率和商業(yè)可行性方面而言能符合這種變化。參照附圖能更明顯地理解本發(fā)明的進(jìn)一步特征和優(yōu)點，其中相同或相似的附圖標(biāo)記表示相同的構(gòu)件。圖Ia簡要例示了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的用于制造PDP或IXD的涂敷設(shè)備。圖Ib簡要例示了在圖Ia中例示的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。圖2a簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。圖2b簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。圖2c簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。圖2d簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。圖3例示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的涂敷方法的流程圖。附圖標(biāo)記100、200:涂敷設(shè)備112、212:吸臺120,220:噴嘴裝置125:支架222、222a、222b、222c:排放部230、230a、230b、230c:涂層132,231:多余涂敷液240:夾具242:接收部件244:釋放部件G、Ga、Gb、Gc:基板DR:死區(qū)P:面板W、Wa、Wb、Wc:排放部的寬度具體實施方式在下文中參照優(yōu)選的實施例和附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明。注意，根據(jù)本發(fā)明的全部實施例的涂敷設(shè)備200(將在后面參照圖2a至2d進(jìn)行描述)與圖Ia和圖Ib例示的現(xiàn)有技術(shù)的涂敷設(shè)備100基本上相同，區(qū)別在于本發(fā)明使用I)用于接收多個基板Ga、Gb、Gc的夾具240，以及2)各種涂敷方式(具體地說，整個表面涂敷方式、部分涂敷方式、零星涂敷方式、以及部分且零星涂敷方式中的任一種)。另外，還應(yīng)當(dāng)注意，在根據(jù)本發(fā)明全部實施例的涂敷設(shè)備200中，多個基板Ga、Gb、Ge對應(yīng)于圖Ia和圖Ib例示的現(xiàn)有技術(shù)的面板P。此外，必要時，在圖2a至圖2d中例示的本發(fā)明的全部實施例中表示多個基板的附圖標(biāo)記Ga、Gb、Ge(將在下面描述)將被統(tǒng)稱為G。圖2a簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。參照圖2a以及圖Ia和lb，根據(jù)本發(fā)明的涂敷設(shè)備200包括夾具240，夾具240具有用于接收多個基板Ga、Gb、Ge的多個接收部件242以及用于釋放多個基板Ga、Gb、Ge的多個釋放孔244，所述多個釋放孔244設(shè)置于多個接收部件242的底部；安裝有夾具240的吸臺212;位于吸臺212上面的噴嘴裝置220，用于按照整個表面涂敷的方式把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge，從而形成涂層230;以及安裝有噴嘴裝置220的支架125，用于按照往復(fù)的方式在夾具240上方移動噴嘴裝置220。此后，將更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200的結(jié)構(gòu)和操作。參照圖2a以及圖Ia和圖Ib，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200包括具有多個接收部件242的夾具240。在夾具240的多個接收部件242中接收對應(yīng)于所需尺寸面板的多個基板G。例如，當(dāng)需要制造不同尺寸面板時，顯然應(yīng)當(dāng)使用具有符合基板G的尺寸(對應(yīng)于相關(guān)面板的尺寸)的多個接收部件242的夾具240。另外，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的夾具240具有設(shè)置在多個接收部件242底部的多個釋放孔244，用于在把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge之后，將多個基板Ga、Gb、Ge從夾具240釋放。這種多個釋放孔244被設(shè)置在多個接收部件242底部的原因是在利用例如真空等從夾具240的上表面對多個基板Ga、Gb、Ge進(jìn)彳了抽吸時，保護(hù)涂層230(由涂敷液在多個基板Ga、Gb、Ge上形成)免受損壞。同時，接收多個基板Ga、Gb、Gc的夾具240安裝在吸臺212上。安裝在支架125上的噴嘴裝置220能借助支架125按照往復(fù)方式在夾具240上方移動。當(dāng)噴嘴220沿著箭頭所示方向在夾具240上方移動時，噴嘴220把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge上，從而形成涂層230.此外，在根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200中，按照整個表面涂敷的方式施加涂敷液。在這種情況下，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向上(即垂直于圖2a所示箭頭的方向)，噴嘴裝置200的排放部222的寬度Wl與多個基板Ga、Gb、Gc的寬度W2相同或更寬。因此，在根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200中，由于采用整個表面涂敷的方式，多余的涂敷液231被施加到夾具240上，而在多個基板Ga、Gb、Gc上沒有出現(xiàn)死區(qū)(DR)。圖2b簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。參照圖2b以及圖Ia和圖lb，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的涂敷設(shè)備200包括夾具240，夾具240具有用于接收多個基板Ga、Gb、Ge的多個接收部件242以及用于釋放多個基板Ga、Gb、Ge的多個釋放孔244，所述多個釋放孔244設(shè)置于多個接收部件242的底部；安裝有夾具240的吸臺212;位于吸臺212上面的噴嘴裝置220，用于按照部分涂敷的方式把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge，從而沿著施加涂敷液的方向形成多個涂層230a、230b、230c;以及安裝有噴嘴裝置220的支架125，用于按照往復(fù)的方式在夾具240上方移動噴嘴裝置220。根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的上述涂敷設(shè)備200與根據(jù)圖2a例示的本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200基本上相同，區(qū)別在于對多個基板Ga、Gb、Ge使用部分涂敷的方式。因此，下面將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的涂敷設(shè)備200的部分涂敷的方式?；貋韰⒄請D2b以及圖Ia和圖lb，在根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的涂敷設(shè)備200中，按照部分涂敷的方式施加涂敷液。在這種情況下，噴嘴裝置220具有多個排放部222a、222b、222c。雖然在圖2b的實施例中例示的噴嘴裝置220具有三個排放部222a、222b、222c，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)充分理解，多個排放部222a、222b、222c的數(shù)量對應(yīng)于多個基板Ga、Gb、Gc的列方向(垂直于圖2b中所示箭頭的方向)的數(shù)量，因此可以少于3個，或者為4個或更多個。同時，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向，多個排放部222a、222b、222c的各自的寬度與多個基板Ga、Gb、Gc的各自的寬度Wa、Wb、Wc相同或者更寬。因此，在根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的涂敷設(shè)備200中，沿著施加涂敷液的方向上仍然有多余的涂敷液231被施加到夾具240上，同時由于采用部分涂敷的方式，在多個基板Ga、Gb、Gc上不出現(xiàn)死區(qū)(DR)。在這種情況下，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的夾具240上的多余涂敷液231的量顯然少于根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的夾具240上的多余涂敷液231的量。圖2c簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。參照圖2c以及圖Ia和圖lb，根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備200包括夾具240，夾具240具有用于接收多個基板Ga、Gb、Gc的多個接收部件242以及用于釋放多個基板Ga、Gb、Ge的多個釋放孔244，所述多個釋放孔244設(shè)置于多個接收部件242的底部；安裝有夾具240的吸臺212;位于吸臺212上面的噴嘴裝置220，用于按照零星涂敷的方式把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge上，從而沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向形成多個涂層230a、230b、230c；以及安裝有噴嘴裝置220的支架125，用于按照往復(fù)的方式在夾具240上方移動噴嘴裝置220。根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的上述涂敷設(shè)備200與根據(jù)圖2a例示的本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200基本上相同，區(qū)別在于對多個基板Ga、Gb、Ge使用零星涂敷的方式。因此，下面將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備200的零星涂敷的方式?；貋韰⒄請D2c以及圖Ia和圖lb，在根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備200中，按照零星涂敷的方式施加涂敷液。在這種情況下，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向上(垂直于圖2c中所示的箭頭的方向)，噴嘴裝置220的排放部222的寬度Wl與多個基板Ga、Gb、Ge的寬度W2相同或者更大。同時，噴嘴裝置220從經(jīng)過多個基板Ga、Gb、Ge的第一列Gal、Gbl、Gcl的前端時起立刻通過排放部222開始嗔射涂敷液，并且在經(jīng)過弟一列Gal、Gbl、Gcl的后端之后立刻停止涂敷液的噴射。此后，當(dāng)支架125繼續(xù)移動噴嘴裝置220時，噴嘴裝置220從經(jīng)過多個基板Ga、Gb、Ge的第二列Ga2、Gb2、Gc2的前端時起立刻通過排放部222開始噴射涂敷液，并且在經(jīng)過第二列Ga2、Gb2、Gc2的后端之后立刻停止涂敷液的噴射。此后，當(dāng)支架125繼續(xù)移動噴嘴裝置220時，噴嘴裝置220從經(jīng)過多個基板Ga、Gb、Ge的第三列Ga3、Gb3、Gc3的前端時起立刻通過排放部222開始噴射涂敷液，并且在經(jīng)過第三列Ga3、Gb3、Gc3的后端之后立刻停止涂敷液的噴射。也就是說，沿著多個基板Ga、Gb、Ge的列方向(與施加涂敷液的方向垂直的方向)，噴嘴裝置220在經(jīng)過多個基板Ga、Gb、Gc的前端時和經(jīng)過多個基板Ga,Gb,Ge的后端之后，依次立刻開始和立刻停止噴射涂敷液。涂敷液的這種涂敷方式被稱作零星涂敷的方式。雖然多個基板Ga、Gb、Gc被例示為具有3列，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠充分理解多個基板Ga、Gb、Gc可以小于3列，或者為4列或更多列。根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備200還可以額外包括具有內(nèi)建控制程序的控制器(未示出)，該控制器用于根據(jù)零星涂敷的方式控制噴射涂敷液的開始和停止操作。這種控制器(未示出)可以通過例如微處理器或個人計算機(jī)(PC)等來實現(xiàn)，而控制程序可以為預(yù)編程的。在根據(jù)上述本發(fā)明的第三實施例的涂敷設(shè)備200中，由于采用零星涂敷的方式，仍然把多余的涂敷液231施加到夾具240上，而在多個基板Ga、Gb、Gc上不出現(xiàn)死區(qū)(DR)。在這種情況下，顯然根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的夾具240上的多余涂敷液231的量少于根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的夾具240上的多余涂敷液231的量。圖2d簡要例示了根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備的頂視圖和一個側(cè)視圖。參照圖2d以及圖Ia和圖lb，根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備200包括夾具240，夾具240具有用于接收多個基板Ga、Gb、Gc的多個接收部件242以及用于釋放多個基板Ga、Gb、Ge的多個釋放孔244，所述多個釋放孔244設(shè)置于多個接收部件242的底部；安裝有夾具240的吸臺212;位于吸臺212上面的噴嘴裝置220，用于按照部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Gc上，從而在其上形成各自的涂層；以及安裝有噴嘴裝置220的支架125，用于按照往復(fù)的方式在夾具240上方移動噴嘴裝置220。根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的上述涂敷設(shè)備200與根據(jù)圖2a例示的本發(fā)明的第一實施例的涂敷設(shè)備200基本上相同，區(qū)別在于對多個基板Ga、Gb、Gc使用部分且零星涂敷的方式。因此，下面將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備200的部分且零星涂敷的方式?；貋韰⒄請D2d以及圖Ia和圖lb，在根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備200中按照部分且零星涂敷的方式施加涂敷液。在這種情況下，與圖2b所示的情況類似，噴嘴裝置220具有多個排放部222a、222b、222c。雖然在圖2d的實施例中例示了噴嘴裝置220具有三個排放部222a、222b、222c，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠充分理解多個排放部222a、222b、222c的數(shù)量對應(yīng)于多個基板Ga、Gb、Gc的列方向(垂直于圖2d所示箭頭的方向)的數(shù)目，因此能夠小于3個，或者為4個或更多個。同時，多個排放部222a、222b、222c的各自的寬度等于或者寬于多個基板Ga、Gb、Ge的各自的列方向?qū)挾萕a、Wb、Wc。在根據(jù)上述本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備200中，在噴嘴裝置220沿著施加涂敷液的方向(即圖2d所示的箭頭方向)移動的同時，噴嘴裝置220從經(jīng)過多個基板Ga、Gb、Ge的第一列Gal、Gbl、Gcl至第三列Ga3、Gb3、Gc3的各自的前端時起立刻通過多個排放部222a、222b、222c開始噴射涂敷液，并且在經(jīng)過多個基板Ga、Gb、Ge的第一列Gal、GbI、Gcl至第三列Ga3、Gb3、Gc3的各自的后端之后立刻停止涂敷液的噴射。也就是說，在本發(fā)明的第四實施例中，噴嘴裝置220按照部分涂敷的方式施加涂敷液，從而在沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向的多個基板Ga、Gb、Ge的列方向上具有各自的寬度Wa、Wb、Wc，同時按照零星涂敷的方式在沿著施加涂敷液的方向的多個基板Ga、Gb、Gc的行方向(即圖2d所示的箭頭方向)的各自的長度LI、L2、L3上施加涂敷液。涂敷液的這種涂敷方式被稱作部分且零星涂敷的方式。根據(jù)本發(fā)明第四實施例的涂敷設(shè)備200可以額外包括具有內(nèi)建控制程序的控制器(未示出)，該控制器用于按照部分且零星涂敷的方式控制噴射涂敷液的開始和停止操作。這種控制器(未示出)可以通過例如微處理器或個人計算機(jī)(PC)等來實現(xiàn)，而控制程序可以為預(yù)編程的。另外，在根據(jù)上述本發(fā)明的第四實施例的涂敷設(shè)備200中，例示了多個排放部222a、222b、222c的各自的寬度與多個基板Ga、Gb、Gc的各自的列方向?qū)挾萕a、Wb、Wc相同，并且按照零星的方式在多個基板Ga、Gb、Ge的各自的行方向長度L1、L2、L3上施加涂敷液。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠充分理解，多個排放部222a、222b、222c的各自的寬度值可以大于多個基板Ga、Gb、Ge的各自的列方向?qū)挾萕a、Wb、Wc,并且按照零星的方式在稍微超過多個基板Ga、Gb、Ge的各自的行方向長度LI、L2、L3上施加涂敷液。在上述根據(jù)本發(fā)明第四實施例的涂敷設(shè)備200中，不但死區(qū)(DR)不出現(xiàn)在多個基板Ga、Gb、Gc上，而且由于采用了部分且零星涂敷的方式，施加到夾具240上的多余涂敷液也被最小化或去除。因此，顯然本發(fā)明的第四實施例是最優(yōu)選的實施例。上述根據(jù)本發(fā)明的第一至第四實施例的涂敷設(shè)備200還可以額外包括傳送裝置(未示出)，用于在把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Gc上之后從吸臺212傳送夾具240，從而執(zhí)行后續(xù)操作。這種傳送裝置(未示出)可以通過例如機(jī)械臂來實現(xiàn)，并且可以把接收另一多個基板(未示出)的另一個夾具(未示出)傳送到吸臺212。此后，如上面詳細(xì)描述的那樣，涂敷設(shè)備200可以對另一多個基板執(zhí)行施加涂敷液的操作。此外，根據(jù)上述本發(fā)明的第一至第四實施例的涂敷設(shè)備200還可以額外包括連接到多個釋放孔244的進(jìn)氣管和鼓風(fēng)機(jī)，用于把空氣注入由傳送裝置傳送的夾具240的多個釋放孔244中，或者可以額外包括上升和下降裝置(未示出)，該上升和下降裝置具有能在多個釋放孔244內(nèi)上升和下降的多個上升和下降條。通過利用進(jìn)氣管和鼓風(fēng)機(jī)的空氣注入操作，或者通過利用上升和下降裝置的多個上升和下降條的上升和下降操作，能夠從夾具240釋放多個基板Ga、Gb、Ge。此后，在圖2a至2c例示的本發(fā)明的第一至第三實施例的情況下，通過清洗處理去除夾具240上殘留的多余涂敷液231，并且在夾具240上接收另一多個基板(未示出)。此后，夾具240被傳送到吸臺212并且可用于把涂敷液施加到另一多個基板上(未示出)。另外，根據(jù)本發(fā)明第一至第四實施例的涂敷設(shè)備200中使用的夾具240可以由下列任何一種材料制成玻璃材料；金屬材料，例如鋼、不銹鋼或鋁(Al);以及非金屬材料，例如PTFE(聚四氟乙烯)樹脂(商標(biāo)名稱特氟龍)。同時，在圖2d例示的本發(fā)明的第四實施例的情況下，因為夾具240上基本上不存在殘留的多余涂敷液，所以不需要清洗處理。因此，在夾具240接收另一多個基板(未示出)之后，可以立刻把夾具240再次傳送到吸臺212上并且能用于把涂敷液施加到另一多個基板上(未示出)。如上所述，與現(xiàn)有技術(shù)不同，由于在本發(fā)明中使用能接收預(yù)定尺寸的多個基板Ga、Gb、Ge的夾具240，所以當(dāng)把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge上時不出現(xiàn)死區(qū)(DR)，并且進(jìn)一步地，完成涂敷液的施加之后不必進(jìn)行基板的切割處理。同時，在圖2b和圖2c例示的本發(fā)明的第二和第三實施例的情況下，分別按照部分涂敷的方式和零星涂敷的方式施加涂敷液，與整個表面涂敷的方式相比較，減少了多余施加的涂敷液231的量。進(jìn)一步地，在圖2d中例示的本發(fā)明的第四實施例的情況下，按照部分且零星涂敷的方式施加涂敷液，因此與整個表面涂敷的方式相比較，多余施加的涂敷液231的使用被最小化或去除。圖3例示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的涂敷方法的流程圖。參照圖3以及圖la、lb、2a_2d，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的涂敷方法300包括以下步驟a)把多個基板Ga、Gb、Gc接收到設(shè)置有夾具240的多個接收部件242中(步驟310)；b)把夾具240安裝到吸臺212上(步驟320);以及c)在通過安裝有噴嘴裝置220的支架125在夾具240上方按照往復(fù)的方式移動噴嘴裝置220的同時，把涂敷液施加到多個基板Ga、Gb、Ge上(步驟330)。上述本發(fā)明的涂敷方法300還可以額外包括d)從多個接收部件242釋放多個基板Ga、Gb、Gc(步驟340)。在這種情況下，可以通過利用連接到設(shè)置在多個接收部件242底部的多個釋放孔244的進(jìn)氣管和鼓風(fēng)機(jī)的空氣注入操作，或者可以通過具有對應(yīng)于多個釋放孔244的多個上升和下降條的上升和下降裝置的上升和下降操作，來執(zhí)行步驟d)。另外，在上述本發(fā)明的涂敷方法300中，可以通過下列方式中的任何一種來執(zhí)行步驟c)中的施加涂敷液整個表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷的方式、以及部分且零星的方式。進(jìn)一步地，在零星涂敷的方式和部分且零星涂敷的方式中，可以通過內(nèi)建有控制程序的控制器(未示出)來控制涂敷液的噴射的開始和停止。工業(yè)實用件在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，能夠在本申請描述的結(jié)構(gòu)和方法中進(jìn)行各種修改，上述描述中所含或附圖所示的全部內(nèi)容應(yīng)當(dāng)被解釋成例示性的而非限制。因此，本發(fā)明的范圍不限于任何上述示例性實施例，而應(yīng)當(dāng)根據(jù)所附權(quán)利要求及其等同物進(jìn)行限定。權(quán)利要求1.一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照整個表面涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以形成涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求I的涂敷設(shè)備，其中，所述噴嘴裝置具有排放部，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向，所述排放部的寬度大于或等于所述多個基板的寬度。3.一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照部分涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以沿著施加涂敷液的方向形成多個涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。4.根據(jù)權(quán)利要求3的涂敷設(shè)備，其中，所述噴嘴裝置具有多個排放部，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向，所述多個排放部的寬度大于或等于所述多個基板的各自的寬度。5.一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向形成多個涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。6.根據(jù)權(quán)利要求5的涂敷設(shè)備，其中，所述噴嘴裝置具有多個排放部，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向，所述多個排放部的寬度大于或等于所述多個基板的各自的寬度。7.根據(jù)權(quán)利要求5的涂敷設(shè)備，其中，沿著與施加涂敷液的方向垂直的多個基板的列方向，所述噴嘴裝置在經(jīng)過多個基板的前端時和經(jīng)過多個基板的后端之后，依次立刻執(zhí)行噴射涂敷液的開始和停止操作。8.根據(jù)權(quán)利要求5的涂敷設(shè)備，其中，所述涂敷設(shè)備還包括具有內(nèi)建控制程序的控制器，用于控制噴射涂敷液的開始和停止操作。9.一種涂敷設(shè)備，包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照部分且零星涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以在其上形成各自的多個涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。10.根據(jù)權(quán)利要求9的涂敷設(shè)備，其中，所述噴嘴裝置具有多個排放部，沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向，所述多個排放部的寬度等于所述多個基板的各自的寬度。11.根據(jù)權(quán)利要求10的涂敷設(shè)備，其中，所述噴嘴裝置按照部分涂敷的方式施加涂敷液，從而在沿著與施加涂敷液的方向垂直的方向，在多個基板的列方向上具有各自的寬度，同時按照零星涂敷的方式在沿著施加涂敷液的方向的多個基板的行方向的各自的長度上施加涂敷液。12.根據(jù)權(quán)利要求11的涂敷設(shè)備，其中，所述涂敷設(shè)備還包括具有內(nèi)建控制程序的控制器，用于根據(jù)部分且零星涂敷的方式控制噴射涂敷液的開始和停止操作。13.根據(jù)權(quán)利要求1、3、5和9中任一項的涂敷設(shè)備，其中，所述涂敷設(shè)備還包括連接到所述多個釋放孔的、用于把空氣注入所述多個釋放孔中的進(jìn)氣管和鼓風(fēng)機(jī)，或者還包括具有能夠在所述多個釋放孔內(nèi)上升和下降的多個上升和下降條的上升和下降裝置。14.根據(jù)權(quán)利要求1、3、5和9中任一項的涂敷設(shè)備，其中，所述夾具由下列任一種材料制成玻璃材料；金屬材料，例如鋼、不銹鋼或鋁(Al)；以及非金屬材料，例如PTFE樹脂。15.一種涂敷方法，包括以下步驟a)把多個基板接收到設(shè)置有夾具的多個接收部件中；b)把所述夾具安裝到吸臺上；以及c)在通過利用安裝有噴嘴裝置的支架按照往復(fù)的方式在夾具上方移動所述噴嘴裝置的同時，把涂敷液施加到所述多個基板上。16.根據(jù)權(quán)利要求15的涂敷方法，其中，所述涂敷方法還包括d)從所述多個接收部件釋放所述多個基板。17.根據(jù)權(quán)利要求16的涂敷方法，其中，通過利用連接到設(shè)置在所述多個接收部件的底部的多個釋放孔的進(jìn)氣管和鼓風(fēng)機(jī)的空氣注入操作，或者通過具有對應(yīng)于所述多個釋放孔的多個上升和下降條的上升和下降裝置的上升和下降操作，來執(zhí)行所述步驟d)。18.根據(jù)權(quán)利要求15-17中任一項的涂敷方法，其中，通過下列任一種方式在步驟c)中施加涂敷液整體表面涂敷的方式、部分涂敷的方式、零星涂敷的方式、以及部分且零星的方式。全文摘要本發(fā)明公開了一種改進(jìn)的涂敷設(shè)備和涂敷方法。根據(jù)本發(fā)明的涂敷設(shè)備包括夾具，所述夾具具有用于接收多個基板的多個接收部件，以及設(shè)置在所述多個接收部件底部的、用于釋放所述多個基板的多個釋放孔；安裝有所述夾具的吸臺；位于所述吸臺上的噴嘴裝置，用于按照整個表面涂敷的方式把涂敷液施加到所述多個基板上，以形成涂層；以及安裝有所述噴嘴裝置的支架，用于按照往復(fù)的方式在所述夾具上方移動所述噴嘴裝置。文檔編號C03C17/00GK102887648SQ20111024462公開日2013年1月23日申請日期2011年8月25日優(yōu)先權(quán)日2011年7月21日發(fā)明者李甲洙,金楹洙申請人:納瑞精密設(shè)備有限公司