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鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置的制作方法

文檔序號:2010139閱讀:585來源:國知局
專利名稱:鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及氣體隔離裝置,特別是涉及一種鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置。
背景技術(shù)
隨著我國電子封裝業(yè)的飛速發(fā)展,直接促進著金屬-玻璃封裝技術(shù)的發(fā)展,作為 封裝形式之一的金屬-玻璃封裝,近年來已形成了一個龐大的技術(shù)產(chǎn)業(yè)。金屬-玻璃封裝 主要應用于集成電路、繼電器、接插件、鋰電池、微波器件、傳感器、鉭電容器、壓縮機等產(chǎn)品 中,這些產(chǎn)品廣泛應用于人類活動的各個領(lǐng)域,如航空、航天、兵器、船舶、汽車等工業(yè)以及 各類家用電器、各類通訊器材直至兒童玩具。因此金屬-玻璃封裝行業(yè)近年來得到了迅猛 發(fā)展,而金屬-玻璃封裝的關(guān)鍵工藝設(shè)備之一就是氣體保護燒結(jié)爐。根據(jù)金屬與玻璃封結(jié)的原理,金屬之所以能和玻璃封結(jié)到一起且具有較好的氣密 性,主要靠金屬氧化物與玻璃中的氧化物在高溫下牢牢的結(jié)合而成的。因此金屬在封結(jié)之 前其表面必須預先氧化,使其表面生成一層結(jié)合致密、牢固的氧化膜,而燒結(jié)過程中加入少 量氫氣主要是保護金屬零件,防止金屬零件在高溫下過氧化,但是由于氫氣在800°C左右對 金屬氧化物具有較強的還原作用,而玻璃與金屬氧化物牢固結(jié)合的溫度是980°C左右,如果 氫氣進入高溫爐膛,就會使得在玻璃與金屬結(jié)合之前,氫氣就把金屬氧化物還原掉,直接影 響玻璃和金屬封結(jié)的質(zhì)量,影響產(chǎn)品的性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是為了克服鏈式燒結(jié)爐氫氣易流入高溫區(qū)爐膛內(nèi)還原金屬氧化 物的缺點,提供的一種鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,包括高溫區(qū)爐膛、低溫區(qū)爐膛、冷卻區(qū)爐膛,在三個爐 膛端口處分別設(shè)有相應的氮氣管道、氮氫混合管道與爐膛相通,所述的氮氣管道共同與一 個氣體分配器連接,其特征在于在氮氫混合管道與爐膛連接處前端的高溫區(qū)爐膛四周設(shè) 有氣體通道,氣體通道內(nèi)的爐膛周邊上設(shè)有一組進氣孔,氣體通道上設(shè)有進氣口,進氣口通 過相應的氮氣管道與氣體分配器連接。在上述的主要技術(shù)方案的基礎(chǔ)上,可以增加以下進一步完善的技術(shù)方案在氣體通道上設(shè)有一對進氣口,每個進氣口通過相應的連接管與氮氣管道連接。在每個氮氣管道上依次設(shè)有相應的氣閥、流量計。所述的一組進氣孔在高溫區(qū)爐膛周邊上均勻分布,均勻分布的進氣孔可以是使氮 氣在高溫區(qū)爐膛內(nèi)形成一層封閉的氮氣幕,阻隔了后部的氫氣向高溫區(qū)爐膛流動。所述的一對的進氣口設(shè)置在氣體通道的上下兩側(cè)。本發(fā)明的有益效果是可以通過本裝置在高溫區(qū)爐膛端口形成氮氣保護幕,阻止氫 氣流入高溫區(qū)爐膛將金屬氧化物還原;提高了玻璃與金屬封結(jié)的質(zhì)量。下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。


圖1為本發(fā)明的主視圖;圖2為本發(fā)明的主視圖的A-A剖視圖。
具體實施例方式如圖1所示,本發(fā)明鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,包括依次相連接的高溫區(qū)爐膛3、 低溫區(qū)爐膛2和冷卻區(qū)爐膛1,另外還包括主氮氣管道8和氫氣管道11,在氫氣管道11上 依次設(shè)有相應的氫氣壓力表10、氣閥6和流量計5,在主氮氣管道8上依次設(shè)有相應的氮氣 壓力表9、氣閥6和流量計5,主氮氣管道8與氣體分配器7連接,氣體分配器7與五個分支 氮氣管道4連接,在每個氮氣管道4上設(shè)有相應的氣閥6和流量計5,其中兩個氮氣管道4 分別與高溫區(qū)爐膛3的進口端和冷卻區(qū)爐膛1的出口端配合連接,第三個氮氣管道4通過 連接管分別與高溫區(qū)爐 膛3的前端端口和后端端口配合連接,第四個氮氣管道4與氫氣管 道11共同與一個氮氫混合器12連接,氮氫混合器12通過氮氫混合管道13與低溫區(qū)爐膛 2的前端端口配合連接,如圖2所示,在氮氫混合管道連接處前端對應的高溫區(qū)爐膛3的端 口四周設(shè)有氣體通道14,氣體通道14在爐膛四周形成一個封閉的箱體,在氣體通道14上下 兩側(cè)上設(shè)有一對進氣口 15,每個進氣口通過相應的連接管與第五個氮氣管道連接,氣體通 道14內(nèi)的爐膛四周邊上設(shè)有一組進氣孔16,在高溫區(qū)爐膛3兩對稱長邊上均勻分布十一個 進氣孔16,在兩對稱短邊上均勻分布七個進氣孔16,進氣孔的數(shù)量可以根據(jù)爐膛的大小增 加或減少,氮氣通過進氣口進入氣體通道,再通過進氣孔進入爐膛形成氮氣幕,阻隔了后部 的氫氣向高溫區(qū)爐膛流動。
權(quán)利要求
鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,包括高溫區(qū)爐膛(3)、低溫區(qū)爐膛(2)、冷卻區(qū)爐膛(1),在三個爐膛端口處分別設(shè)有相應的氮氣管道(4)、氮氫混合管道(13)與爐膛相通,所述的氮氣管道(4)共同與一個氣體分配器(7)連接,其特征在于在氮氫混合管道與爐膛連接處前端的高溫區(qū)爐膛(3)四周設(shè)有氣體通道(14),氣體通道(14)內(nèi)的爐膛四周邊上設(shè)有一組進氣孔(16),氣體通道(14)上設(shè)有進氣口(15),進氣口(15)通過相應的氮氣管道與氣體分配器(7)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,其特征在于在氣體通道(14)上 設(shè)有一對進氣口(15),每個進氣口(15)通過相應的連接管與氮氣管道連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,其特征在于在每個氮氣管 道(4)上依次設(shè)有相應的氣閥、流量計。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,其特征在于所述的進氣孔(16) 在高溫區(qū)爐膛(3)周邊上均勻分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,其特征在于所述的一對的進氣 口(15)設(shè)置在氣體通道(14)的上下兩側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明涉及鏈式燒結(jié)爐氫氣隔離裝置,包括高溫區(qū)爐膛(3)、低溫區(qū)爐膛(2)、冷卻區(qū)爐膛(1),在三個爐膛端口處分別設(shè)有相應的氮氣管道(4)、氮氫混合管道(13)與爐膛相通,所述的氮氣管道(4)共同與一個氣體分配器(7)連接,其特征在于在氮氫混合管道與爐膛連接處前端的高溫區(qū)爐膛(3)四周設(shè)有氣體通道(14),氣體通道(14)內(nèi)的爐膛周邊上設(shè)有一組進氣孔(16),氣體通道(14)上設(shè)有進氣口(15),進氣口(15)通過相應的氮氣管道與氣體分配器(7)連接。本發(fā)明的有益效果是可以通過本裝置在高溫區(qū)爐膛端口形成氮氣保護幕,阻止氫氣流入高溫區(qū)爐膛將金屬氧化物還原;提高了玻璃與金屬封結(jié)的質(zhì)量。
文檔編號C03C27/02GK101885587SQ20101023049
公開日2010年11月17日 申請日期2010年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月15日
發(fā)明者李奎, 郭茂玉 申請人:蚌埠富源電子科技有限責任公司
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